1332475 九、發明說明： ‘ 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於—種用於搬運晶片型電子零件等多數工件 的件搬運裝置，更具體而言，係關於一種藉由在搬運平 台上移動設有作為收納工件之收納部之通孔的搬運台而搬 運工件之形式的工件搬運裝置及電子零件搬運裝置。 【先前技術】 先前’製造晶片型電子零件時，在製成晶片型電子零件 且檢查其特性之後，根據特性對良品或不良品進行分選。 亦根據特性將所獲得之晶片型電子零件區分為複數個 、-且。為使該等作業自動化並提$ 裝置。 x钕问生產性，提出有各種製造 專利文獻1中’揭示有該種電子零件搬運 =置之-例。在該電子零件搬運裝置中，為搬 :狀以：觸台底座之搬運面之方式配置有盤狀之搬運台： =:Γ台為了可在其中，圍旋轉，而與旋轉驅動 源相連接。又，沿著搬運么 ·^呢斯 …η 。之周向’形成有複數個收納由 漏斗依次供給之丨個電子零件之通孔。由 、由 孔内供給電子零件。搬運台邊底 D-各個通 ^ 運在σ底座之搬運面上、、典命•，息 ㈣，藉此將電子零件在搬運台之周向上搬運。'月動邊 而此處，在搬運自之周向上搬運電子零件_ =之特性。χ，基於測定結果，為分選良品、不；！子 或者根據特性值將其分類，利用合 =， 構，從上述通孔取出完成特性測定 4取出機 120570-990712.doc 1332475 另外，在上述搬運時，為保持電子零件之姿勢，而在上 逑搬運面上形成有與上述通孔相連接之吸㈣凹部，該吸 引用凹部與真空吸引源等相連接。 另一方面，在取出完成特性測定之電子零件時採用圖 10所不之構造。即，如圖10所示，在電子零件搬運裝置 101中，上述搬運台102具有通孔1023。在通孔1〇23收納有 ^•子零件104。另外，搬運台1〇2之一面1〇;^與台底座 之搬運面103a相抵接。 又，在台底座103之搬運面1〇3a上，於取出電子零件1〇4 的位置上，開口有噴射孔l〇3b。喷射孔1〇3b自搬運面1〇3a 向與搬運面103a相反側之面103c側延伸，且與壓縮空氣供 給管105相連接。壓縮空氣供給管1〇5與壓縮機或筒狀高壓 容器等壓縮空氣供給源相連接。 完成測定之電子零件1 04在藉由搬運台1 〇2之旋轉而來到 取出電子零件之位置時，上述喷射孔1〇3b會面臨通孔1〇2a 之一部分’上述喷射孔1 〇3b係較通孔1 〇2a之開口部更小的 直徑者。又，從喷射孔l〇3b噴射壓縮空氣。藉由壓縮空氣 之壓力’電子零件104向通孔l〇2a之外方移動，可取出電 子零件104。 基於該種方法，可不給予機械性衝擊而取出電子零件 104，故不易產生電子零件1〇4之損傷。 [專利文獻1]日本特開2004-226101號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 120570-990712.doc 1332475 惟，如前所述，搬運台102與台底座103獨立地邊在台底 座103之搬運面i〇3a上滑動邊移動。因而，藉由上述壓縮 空氣取出電子零件104後，搬運台102進一步被旋轉。其結 果’上述噴射孔103b會由搬運台102之一面i〇2b所再次關 閉〇 該情形下，壓縮空氣完全地排出至通孔1〇2a内而取出電 子零件104，此後，在停止供給壓縮空氣後，噴射孔i〇3b 被搬運台102之一面l〇2b關閉之情形下，不產生問題。 然而，在提尚搬運速度之情形下，保持壓縮空氣殘留於 喷射孔103b内之狀態，噴射孔1〇扑之開口部有時會由搬運 ，1〇2所_閉。該情形下，喷射孔1〇313内將殘留壓縮空 氣’產生餘壓。 因而’如搬運台102再旋轉，日胳私士卞〜丄 ^w 且收納有不得在上述電子 零件取出位置取出之電子零件之下一通孔向上述喷射孔 職上移動，則本來不應該取出的電子零件有時會由餘壓 所取出。因而，在先前之電子 电卞琴件搬運裝置中，在取出電 子零件104後，不立即旋韓蒋翻 奴轉移動搬運台1〇2，$將空氣完全 地排出，必須讓搬運台1〇2等 、+. ^ ^ 寸行将疋時間。即，為釋放上 述餘壓，需要待機時間，盔 …、忠阿逮運轉電子零件搬運裝 置0 尤其是隨著電子零件之尺寸 ，介士 了减小’上述噴射孔103b之大 小亦有必要減小。因此，如 合田*灰a l β 果噴射孔l〇3b之大小減小，則 _因工氣喷出s不充分，必 夕炷地吐叫. 、尺進—步延長用於除去餘壓 之待機時間。又，即使狃具 使乙長待機時間，亦存在餘塵難於被 120570-990712. doc ⑶ 2475 充分釋放之問題。 本么明之目的在於提供一種工 運裝置，4 運裝置及電子零件搬 崎衮置，该工件搬運裝置係 呈備銳晗& , 解决上述先别技術之缺點，並 備從噴射孔向收納有工半 + 孔取屮、孔赁射出高壓氣體而從通 取出工件之構造，可解決 ,,见馀壓而產生之問題，因 此可防止無法預料之工件 j™, ^ 可謀求包含工件取出 步驟的搬運步驟之高速化。
[解決問題之技術手段J 本發明之工件搬運裝置，其特徵為包括：搬運平台，1 具有搬運工件之搬運面；搬， ^ ^ α 其具有以與上述搬運平 口之上述搬運面相對之方式配置的第一面和與第i面相反 側之弟2面’並具備貫穿第1面與第2面之通孔；及驅動裝 置’其連接於上述搬運台及/或上述搬運平台，以便在使 上述搬運台之P面與上述搬運平台之搬運面相對之狀態 下，可使上述搬ϋ台相對於搬運面邊滑動邊移動為；在工 件插入上述搬運台之上述通孔之狀態下，藉由使上述搬運 台相對於上述搬運面移動而搬運上述工件，且更具備壓縮 氣體供給裝置’其在上述搬運平台之搬運面上，為取出插 入上述通孔之上述工件，以可與上述通孔重疊之方式設置 於工件取出位置，設有用於噴射壓縮氣體之喷出孔，與上 述喷射孔相連接，上述喷射孔之上述搬運台側之開口部總 面積為大於上述工件之上述搬運平台與上述搬運面侧相對 之端面面積之大小。 本發明之工件搬運裝置中，宜為更具備吸引裝置，其係 I20570-990712.doc -9- 1332475 在上述搬運平台之搬運面形成有與上述通孔相連接之吸引 用凹部，在上述搬運台之第丨面上與上述通孔相連接，且 形成有與上述吸引用凹部連通之吸引溝槽，與上述吸引用 凹邛相連接者。该情形下，藉由來自吸引裝置之吸引，可 在搬運工件時，確實使工件保持在適當的姿勢。 本發明之工件搬運裝置中，較好的是，上述喷射孔具有 喷射孔本體部和喷嘴部’該噴嘴部較噴射孔本體部細，且 連接喷射孔本體部與噴射孔之開口部外面，該喷嘴部之壓 縮氣體流路長度為低於上述通孔之上述搬運面側之開口部 面^之平方根的60%。該情形下，可降低壓縮氣體喷射時 的流體阻力，可增加壓縮氣體之流量。藉此，可更加確實 地從通孔取出工件。又，可縮短壓縮氣體從喷出至停止之 動作時間，可提高在工件搬運裝置上之處理速度。 本發明之工件搬運裝置中，較好的是，上述噴射孔之開 琿為以上述工件搬運方向為長度方向的長孔狀形狀。該 If形下，即使用於收納工件之通孔之位置在搬運方向上稍 有偏離，亦可確實地釋放餘壓❶即，即使降低上述通孔在 搬運方向上之定位精度，亦可釋放餘壓。 在上述喷射孔中設有複數個噴嘴部之情形下，由於工件 與複數個喷嘴部間之部分相抵接而載置，故工件不易卡在 噴嘴部的開口邊緣。 在複數個噴嘴部為第丨、第2喷嘴部，以工件之一部分位 於第1、第2噴嘴部間之部分之方式配置有第丨、第2噴嘴部 之h形下，因工件在第丨、第2喷嘴部間之部分上進行移 120570-990712.doc 1332475 動，故工件不易卡在第1、第2嘴嘴部之開口邊緣。 在本發明中’較好的是’上述搬運台具有包含中心轴之 盤狀形狀，且該搬運台以藉由上述驅
進行旋轉驅動之方式構成。該情形下，插人通1之=: 隨搬運台之旋轉而在搬運台之周向上被搬運H 狀搬運台内，可在周向上設置搬運路徑，故可使工件搬； 裝置小型化及降低設置空間。 :本發明之工件搬運裝置所搬運的工件，雖並無特別的 限定’但作為件搬運電子零件為佳。尤其是對搬運外步 尺寸小之晶片型電子零件等小型的電子零件，適合採用^ 發明之工件搬運裝置.。 [發明之效果] 本發明之·χ件搬運裝置中，以與搬運平台之搬運面相對 ，方式配置有搬運台，在卫件插人設於搬運台之通孔的狀 態下，藉由使搬運台相對於搬運面移動而搬運工件。 在工件取出位置，於搬運平台上以與通孔重疊之方式設 有噴射孔。因ffij，藉由從連接於喷射孔之壓縮氣體供給裝 置喷射出壓縮氣體，可在工件取出位置上藉由壓縮空氣之 壓力’快速地從通孔取出卫件H由於噴射孔之搬運 台側之開口部，總面積為大於與卫件之搬運平台之搬運面相 對之面的面積大小，故使壓縮空氣從噴射孔以高速且快速 地噴出。 口而上述嘴射孔在旋轉搬運台而關閉時，不易產生餘 壓因而，可以防止以後因餘壓而產生之不期望之工件飛 120570-990712.doc 出’且可提高工件搬運裝置之搬運速度，可提高工件的生 產性。 【實施方式】 卜· ’ ~邊參照圖式一邊說明本發明之具體實施形態， 藉此闡明本發明。 圖2(a)、圖2(b)係顯示本發明之一實施形態之電子零件 搬運裝置之略圖性正面圖及除後述之搬運台之狀態的略圖 性正面圖。 電子零件搬運裝置1具有底板2。本實施形態中，底板2 在"又置王間上立設為在上下方向延伸。但是，底板2亦可 k上下方向傾斜，又，底板2亦可設置成在水平方向延 伸0 在底板2之一面2a上配置有搬運平台3。本實施形態中， 搬運平台3係盤狀板，但亦可具有角板形等其他形狀。搬 運平台3相對於底板2而固定。搬運平台3在與底板二側相反 側的面上具有搬運面3a。 在搬運面3a上配置有搬遂如切 令撒運搬運台4具有盤狀形狀。 搬運台4配置成可在中心車由4¾之用圈始絲 , 干心周圍旋轉，該中心軸4a連 接於略圖性顯示之驅動裝置5。蕤 错由驅動裝置5，搬運台4 構成為順時針旋轉移動。 另外，本實施形態中，搬運A 4 ± ^ 慨逆α 4在中心軸4a之周圍順時 針旋轉，但搬運台4被固定，搬谨 游·運千台3在中心軸周圍旋轉 亦可，又’搬運平台3與搬運台4+ 之兩者在中心轴4a之周圍 以不同之速度或相反方向旋轉亦可。 120570-990712.doc -12- 1332475 即’搬運台4只要構成為相對地對於搬運平台3之搬運面 3 a移動即可。 搬運台4由例如金屬或合成樹脂等硬質材料構成。在該 搬運台4之外圍附近，周向上排列配置有複數個通孔4匕。 通孔4b構成收納作為工件之電子零件之收納部。該複數個 通孔4b在周向上形成2行。 但是，由複數個通孔4b所組成之行數並無特別限定，在 1行或3行以上之形態下，亦可配置複數個通孔4be 在圖3用部分切斷剖面圖顯示沿著圖2之A-A，線之部分。 如由圖3所明確’搬運台4具有與搬運平台3之搬運面“上 抵接或接近之第1面4c及與第1面4c相反側之面即第2面 4d。通孔4b自第1面4c朝第2面4d貫穿。通孔4b之第2面牝 之開口部為電子零件6可進入之大小。 本實施形態中’通孔4b在第2面4d上設置成具有矩形之 開口形狀》 返回至圖2(a)，電子零件藉由電子零件供給裝置7，自搬 運台4之第2面4d側向上述通孔仆插入。作為該電子零件供 給裝置7’可採用漏斗或合適之電子零件供給裝置，並無 特別限定。 又，藉由使上述搬運台4順時針旋轉，搬運台4移動，以 便搬運台4之第1面4(：在搬運平台3之搬運面3&上滑動。其 結果，通孔4b所收納之電子零件6在搬運台4之周向上被搬 運，但在該搬運路徑之中途配置有特性測定裝置8。特性 測疋裝置8例如具有抵接於電子零件之電極之複數個探 120570-990712.doc 13 1332475 針’為測定電子零件6之電氣特性而設。根據該測定結 果，鑒別良品或不良品，或根據特性值，對搬運來的電子 零件進行分組。 作為上述測定裝置8，可根據測定之特性而採用各種電 性測量裝置。 另外’在圖2(b)中，如取下上述搬運台4，顯示露出搬 運平台3之搬運面3a之狀態，在搬運面3a上，2條吸引用凹 部3b、3c設於同心圓上。該吸引用凹部3b、3c設置成經由 後述之吸引溝槽，與配置於搬運平台3上之搬運台4之通孔 4b的一部分相連接。複數個通孔在周向上排列配置2行， 而在同心圓上設置有2條吸引用凹部3b、&。即，一方之 吸引用凹部3b在由複數個通孔4b所組成之2行中，位於較 大直徑之行的徑向外側’而吸引用凹部3c則位於通孔扑之 較小直徑之行的徑向外側。又，在外側之行的通孔4b，經 由後述之吸引溝槽連接有吸引用凹部3c，而在内側之行的 通孔4b，藉由後述之吸引溝槽連接有内側之吸引用凹部 3b。吸引用凹部3b、3c如圖2(b)所示，連接於真空吸引源 等吸引源10。 如圖3所示，上述通孔4b在第1面4c側與向搬運台4之徑 向延伸之吸引溝槽4e相連接。該吸引溝槽4e之一部分設置 於與上述吸引用凹部3b或吸引用凹部3c重疊之位置上。 因而，藉由自吸引用凹部3b、3c以吸引源10吸引，電子 零件藉由其負壓，在通孔4b内保持在正確之位置。 另一方面，在電子零件取出裝置9中，如圖2(b)所示， 120570-990712.doc -14- 1332475 複數個喷射孔11開口於搬運面3a上。 在圖4(a)上用部分切斷放大剖面圖、在圖4(b)上用模式 性立體圖表示設置有該噴射孔u之部分。 如圖4(a)所不，在搬運平台3上設置有開口於搬運面“上 之喷射孔11。又，該噴射孔丨丨如前所述，在電子零件搬運 裝置1中，設置於應取出電子零件6之位置。 本實施形態中，喷射孔丨〗具有噴射孔本體部丨u及開口 於搬運面3a之第i、第2喷嘴部Ub、Uc。喷射孔本體部 11a與上述之壓縮空氣供給源相連接，且噴嘴部iib、Η。 之橫斷面較該喷射孔本體部Ua更細。另外，所謂橫斷 面，係指與壓縮空氣通過之方向正交之方向的截面。又， 该噴嘴部1 lb、1 lc之開口部之橫斷面方向的面積，即喷嘴 部ub、llc之開口總面積大於與電子零件6之搬運面“相 對之面6a的面積。換言之，& 了達到大於電子零件6在通 孔4b之搬運面3a側之開口内佔有之專有面積之大小的開口 總面積，設置有上述第丨、第2喷嘴部Ub、Uc。 又’如圖4⑷、（b)所示，在上述第i喷嘴部爪盘第：喷 嘴部UC置有卡止部lld。…部…載置上述電 子零件6,抑制電子零件6朝下方落下。又由於# 止部Ud，故電子零件6不易卡在噴嘴部叫、…的開口邊 緣。 即，如果未設置上述卡止部lld’則在電子零件6移動到 電子零件取出位置時，有卡在第丄、第2喷嘴部以、^之 開口邊緣’阻礙搬運台4移動之虞。 120570-990712.doc 15 對此，由於電子零件6確實载置 動，故電子兩丛Λ 戰置於上述卡止部lid上而滑 口邊緣。 易卡在第卜第2喷嘴部Ub、llc之開 部分如圖所令，由於外部電極形成部分之轉角 時，不二::度，故在通過卡—上方 有長孔狀(:1:二卜第2喷嘴部lib、uc之開口邊緣具 搬運方向約略―：二狀：狀的長度方向與電子零件6之 17，由於在搬運台4之周向上搬運電 7 ，故上述長孔之長度方向與上述搬運台4之周向約 略一致。 、’、電子零件6之搬運方向約略一致之方式選擇 I之長度方向，故在電子零件取出位置上， 7微在搬運方向偏離，亦可確實地使通孔4b位於喷射孔 11上。因而，可降低電子零件搬運裝置1之搬運台4旋轉時 之k孔4b的疋位精度’且即使在該情形下亦可確實地從 通孔4b取出電子零件6。 在本實施形態之電子零件搬運裝置1中，壓縮空氣供給 裝置12與上述喷射孔u相連接，藉此，作為壓縮氣體之壓 縮工氣從喷射孔u之第丨、第2喷嘴部nb、Uc向通孔物側 噴出。藉此，從通孔4b容易取出電子零件6。該情形下， 由於上述第1、第2噴嘴部lib、11c之開口總面積設置成如 上所述’故使壓縮空氣快速地向通孔4b内喷射。 如圖9所示，基於本實施形態，在從第1、第2噴嘴部 120570-990712.doc 1332475 .UC噴射壓縮空氣之情形，由於上述第i '第2噴嘴部 之開口總面積較大，故壓縮空氣從最初開始以較大流路噴 出。因而’可以短時間完成必要量之壓縮空氣的噴出。對 此’在先前之f子零件料裝置巾，由於喷射孔之開口面 積較小’故在噴出相同量之壓縮空氣之情形下，可知從開 始噴出至結束喷出之時間如圖9所示較長。 因而’可快速取出電子零件6。 又，在取出電子零件6後，旋轉驅動搬運台4’即使第 1、第2喷嘴部Ub、llc被搬運台4之第一所覆蓋，亦不 易產生餘壓。即，由於壓縮空氣不易殘留於喷射孔u内， 故不易產生餘壓。因而，即伯丁 ^ 口叫即使下一通孔4移動到該喷射孔 11之上方’也不會因餘壓而電子零件6無意中飛出。 再者，由於不易產生餘壓’故可提高搬運台4之搬運速 度’即不必縮短上述先前技術中所必要的待機時間，或根 據情㈣置待機時間，而可搬運電子零件6。因而，可提 高電子零件6之搬運速度或搬運效率，亦可提高電子零件6 之生產性。 較好的是’上述第！、第2喷嘴部Ub、⑴之開口部外表 面與連接於第！、帛2喷嘴部Ub、Ue之喷射孔本體部m 之間的距離H缩氣體噴出流路長度τ(參照圖4)為低於 上述通孔4b之開口面積平方根的6〇%。藉由該比例低於 6〇%，可更快速地將麼縮空氣向通孔4b内喷出’可更進一 步防止餘壓，同時亦可提高電子零件6之搬運效率。 另外，在本實施形態中，雖然設有上述第丨、第2喷嘴部 120570-990712.doc 1332475 w、山，但根據電子零件之形狀，亦可設有3個以上之 複數個噴嘴部。 又，賀嘴部之開口形狀’並非必須為長孔狀，亦可為正 方形或圓形等形狀。但是，較好的是，如上所述’最好形 成長度方向與搬運方向約略一致之形狀的開口。 其次，說明應用上述電子零件搬運裝置1之電子零件的 供給、搬運及取出步驟。 ，如圖2所示’在制電子零件搬運裝χι來分選特性，搬 運電子零件時’從電子零件供給裝置7將電子零件逐個地 插入上述搬運台4之通孔外内。然後’藉由驅動驅動裝置 5 ’順時針旋轉搬運台4。其結果，通孔倾收納之電子零 件6在搬運台4之周向上順時針被搬運。該情形下，藉由自 吸引用凹部 3b、3r 21 A , 引’電子零件6在通孔4b内保持在正 確的姿勢而進行搬運。 又，在特性測定裝置8中，對所搬運而來的電子零件6之 進行測；t，根據特性結|，對電子零件進行分類。 即’在電子零件取出裝置9中取出電子零件時’在特定之 ^置僅=出良品，在不同之位置取出不良品，或根據特性 ^定在複數個不同位置取出電子零件。如此， 性測定結果，在電子零件取出褒置9，在特定之電子零件 取出位置取出雷 子零件，如此之控制，在電子零件搬運裝 接控制機構，並根據從特性測定裝置8所獲得之測定 結果，驅動電子零件裝置9即可。 在電子零件取出裝置9中，如前所述，取出通孔4b内所 120570-9907l2.doc •18- ⑴2475 收納之電子零件6，但該情形下’從喷射孔丨丨之第丨、第2 噴嘴部m、llc噴出壓縮空氣，取出電子零件6。即，例 如在圖2(b)之C所示之位置，在取出第i組之電子突件之情 形，在以箭頭C所示之位置存在之喷射孔u，喷錢縮空 氣’取出電子零件。又，第2組之電子零件在以圖2〇5)之〇 所示之位置的噴射孔u内取出之情形，第2組之電子零件 來到以箭頭D所示之喷射孔W部分時，從該嘴射孔㈣ 出壓縮空氣’取出電子零件即可。 又’第2組之電子零件沿著上述搬運路徑移動而來時， 在以箭頭C所示之喷射孔u内不易產生㈣，故無第2組之 電子零件因餘壓而無意中從通孔仆飛出之虞。χ，由於不 易產生餘壓，故如前所述，容易提高搬運台4之搬運效 率 〇 其次’說明具體的第1〜第4實驗例。 第1實驗例中，評估搬運1麵W職後5 mm之晶片型 電子零件之情形。該情形下，晶片型電子零件以長度方向 成為通孔4b之深度方向之方式向通孔朴插入。如圖以模 式性俯視圖所示，通孔4b具有以實線表示之輪廓且具有 轉角部成圓度之略正方形形狀’相對2邊間之距離幻設為 〇·71職，在轉角部賦予尺，開口部分的面積設為0.4955 mm2 ° 另一方面，關於上述第1、第2噴嘴部Ub、iu，如圖$ 所示’將開口部設為長孔狀形狀，長度方向尺寸設為較 〇.71 _長’寬度方向尺寸Y1設為0.28 mm，第1、第2噴 120570-990712.doc •19- ⑴2475 嘴部的開口總面積設為0·3976 2。 m因而，上述電子零件 之開口部仆内之專有面積，即與搬運面3a相對向之面積 鄭0.5 mm=0.25随2,故較上述喷射㈣之第卜 弟2噴嘴部之開口總面積小。在 λ 牡如此之條件下，喷射出15〇 …之壓縮空氣，其結果，與具有先前之。.2麵直徑的喷 射=之情形相比較，可將取出電子零件所需之時間，即相 :β力之C縮工氣攸開始喷出至結束噴出之時間縮短約上$ 宅秒。 圖6(a)係用於說明第2實驗例之模式性立體圖，⑻與圖 相同，係模式性地顯示喷嘴孔形狀與電子零件之關係的a 面圖。第2實驗例中，通孔鳩具有圓筒狀之形狀。該圓舊 狀形狀中，開口部之直徑又2設為〇8mm。 件與第_例相同，採用lmmxG.5mmxG.rm= 寸者。如圖6(b)所示，第1、第2喷嘴部llb、llc之開口部 形狀與第！實驗例相同’為長孔狀，惟長度方向尺寸仏 長寬方向尺寸Y2設為0.28 mm。該情形下，通孔 24b的開口 面積為（〇 8/2)2兀=〇 5〇24 mm2。 第1第2喷嘴部之開口部總面積為〇 3麵麵2，面對電 子々件6之搬運面3a側之面6a的面積與第】實驗例相同，為 0.25 mm ^如此，即使在將圓形之通孔2朴設置於搬運台 之匱形下，亦與第1實驗例相同，與應用具有先前之0.2 臟直控之噴射孔的電子零件搬運裝置之情形相比較，可 將從壓縮空氣之噴射至結束噴射之時間縮短15毫秒。 從第2»式驗例可明白，通孔之開口部的平面形狀不限於 J20570-990712.doc •20- 1332475 矩形’亦可為圓形等其他形狀。 在第3實驗例中’預備0.6 mmx〇.3 mmx〇.3 mm尺寸的電 子零件，如圖7所示，將通孔34之開口部設為使其轉角之 〇P刀形成圓度形狀的〇 42 mmX0.42 mm之矩形。該開口 部34b之開口面積為0.1678 mm2。第1、第2噴嘴部nb、 UC之開口部的長度方向尺寸Z比0.42 mm長，寬度方向尺 寸Y3為〇.15 mm。該情形下，第1、第2噴嘴部llb、llc之 開口部面積之合計，即開口總面積為〇126 mm2，而面對 作為工件之電子零件之搬運面側之面的面積為 _χ〇·3 mm=〇 〇9 mm2。即使在第3實驗例中與採用先前 之具有〇.2 〇1„1直徑之一個喷嘴部之電子零件搬運裝置之情 形相比較，在喷射15〇 kpa之壓力的壓縮空氣之情形，可 將從開始噴出至結束喷出之時間縮短12毫秒。 圖8係模式性地顯示在第4實驗例中應用之通孔及第丄、 第2喷嘴部之開口部形狀的正面圖。在此，與第3實驗例相 同，知用0·6 mmx0.3 mmx〇 3 mm之電子零件。又，與第3 實驗例不同’而與第2實驗例相同，在搬運台4形成有開口 部為圓形之通孔44b。㈣通孔44b的直徑χ4設為〇45 麵，關於第1、第2喷嘴部nb、Uc之開口部其長度方 向尺寸設為G·45賴，寬度方向尺寸Y4設為0.15 mm。上 述通孔44b的開口面積為職2，而上述第 卜第2喷嘴部之開口面積的總面積為0.0956 mm2。另一方 面’面對電子零件6之搬運面之面的面積為〇 〇9職2 使在該情形下，亦與第3實驗例相同，將開始噴出至結束 120570-990712.doc 喷出之時間與在第3實驗 ^ 鐵例中應用之并針 較，可縮短丨2毫秒。 疋别例之情形相比 上述實施形態中，搬運台罝 4a之周圍被順時針旋轉驅動， ％狀，且在令心柄 形狀。又，亦可以搬運台向直線狀等^非必須具有盤狀 使設置於搬運台之通孔並 〃方向移動，藉此 方式構成搬運路徑。即，本向其他方向搬運之 使盤妝嫩噃a ^处， 搬運裝置並不限於 吏：狀搬運台相對於搬運平台之搬運面旋轉之行動。 在上㈣子料搬運裝置巾，搬運料工件之電子 令件，但亦可用於搬運電 上。 7 1干M汁之其他工件的用途 ，上述實施形態中，作為壓縮氣體採用壓縮空氣， 但亦可採用氮氣等其他惰性氣體。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示在本發明之電子零件搬運裝置中，藉由壓縮 乳體取出電子零件之部分的部分切斷放大侧面剖面圖。 圖2(a)係本發明之一實施形態之電子零件搬運裝置的正 面圖’（b)係用於說明設置於搬運面之吸引溝槽之正面圖。 圖3係放大顯示沿著圖2之A-A，線之部分的側面剖面圖。 圖4(a)係用於說明在本發明之一實施形態中，取出電子 零件之部分的喷射孔形狀的部分切斷放大側面剖面圖，（b) 係模式性地顯示通孔與第1、第2喷嘴孔之關係的立體圖。 圖5係模式性地顯示第1實驗例之通孔之開口部尺寸、面 對電子零件之搬運面之面積及第1、第2噴嘴孔尺寸之關係 120570-990712.doc • 22· 1332475 的正面圖。 圖6(a)係顯示在第2實驗例中所預備之通孔及第丨、第2喷 嘴孔與電子零件形狀之關係的模式性立體圖，（b)係模式性 地顯示第2實驗例之通孔、電子零件及第1、第2嘴嘴部之 開口尺寸關係的正面圖。 圖7係模式性地顯示第3實驗例之通孔之開口部尺寸、面 對電子零件之搬運面之面積與第1、第2喷嘴部之開口尺寸 之關係的正面圖。 圖8係模式性地顯示第4實驗例之通孔之開口部尺寸、面 對電子零件之搬運面之面積及第i、第2喷嘴部尺寸之關係 之正面圖。 從噴射孔噴射壓縮 圖9係顯示在先前例及實施形態中 空氣時之流路的時間性變化之圖。 取出電 圖丨〇係用於說明在先前之電子零件搬運裝置中 子零件之部分的模式性正面剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 電子零件搬運裝置 2 底板 3 搬運平台 3 a 搬運面 3b、3c 吸引用凹部 4 搬運台 4a 中轴 4b 通孔 I20570-990712.doc •23- 1332475 4c 第1面 4d 第2面 4e 吸引溝槽 5 驅動裝置 6 電子零件 7 電子零件供給裝置 8 特性測定裝置 9 取出裝置 10 吸引源 11 噴射孔 11a 喷射孔本體部 lib 、 11c 喷嘴部 lid 卡止部 24b 、 34b ' 44b 通孔 120570-990712.doc 24-