TWI328249B - - Google Patents

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九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本毛月係關於-種官理作為例如對半導體製造裝置、液 . 曰曰曰面板製造裝置等處理裝置進行控制之資訊之製程資訊之 製程資訊管理裝置等。 【先前技術】 先別’有對處理半導體晶JU等被處理基板之複數處理裝 • S在—元管理下進行控制，謀求提高製造系統整體保養性 之控制线（參照專利文獻丨）。本控料、統連接有AGC(高 T群組控制器），該AGC係以處理裝置各自之處方（製程條 ^值)之集中管理或基於處方之各處理裝置之製程控制為 首、’進行從各處理裝置得到之全部製程資料之解析處理， 並進行該解析結果或製程㈣之集中監㈣理、乃至 =统計結果反映到處方中之處理等。本控制系統中能夠 ::從各處理裝置得到之全部製程資料或其解析結果，因 鼸 Μ更詳細且早期發現處理裝置之異常或劣化狀態。 導體贺生Γ售之1^資訊管理裝置（例如構成管理複數半 體k裝置之製程之群組管理系統之飼服器裝置）令， =表示構成2個處方之⑽以上步驟中各步驟 冋之功能。 ，者’近年來，隨著半導體晶圓或液晶面板等製造系統 之大規模化，對被處理其如 _ '、、” 處理以 凡官理進行成膜處理、姓刻 益接：熱氧化處理等處理(製程)之多數處理裝置之要求曰 门八體而吕’例如出現了 —元管理多達數十個處理 120409.doc 1^^8249 裝置、控制裝置之必要。 [專利文獻1 ]日本特開平1丨_丨6 7 9 7號公极（ 等） 只、第1圖 【發明内容】 [發明所欲解決之問題]

另-方面’為了使處理裝置正確動作’必須在包含於控 制系統中之製程資訊管理裝置側’檢查主處方這_動作： 到某種程度保障之處方與其他處方之差異。 然而，先前之裝置中存在以下課題：提示主處方斑苴他 處方之差異時，僅能表示構成2個處方之⑽以上步驟/中各 步驟相同或不同。 因此，製程資訊管理爹署# #由土 t、j_ 貝扎&理褒置之使用者無法正確得知2個處 方間之差異之含意，不能進行高精度之下一動作。 具體而纟，例如在先前之控制系統中，能夠進行比較之

複數控制裝置之處方需控制裝置在該時刻連線，且存在於 控制裝置上，且能夠從製程資訊管理裝置對控制裝置進行 存取然而’虽著眼於不成為比較對象之處方時，先前之 控制系統不能得知不能比較之理由（控制裝置離線、控制 裝置連線但處方不存在、或無對控制裝置之存取權等）。 此外，能夠同時比較表示之處方之差別為2個，在一元 管理多達數十個之處理震置 '控制裝置之現今，尚不能同 時得知主處方與正在被其他控制裝置使用之處方有益差 別。 [解決問題之技術手段] 120409.doc 1328249 本發明之製程資訊營理罢―人 加. s理裝置包含：處方儲存部4 個以上之處方分別 ，其將1 J玎愿趴i個以上之控制 且儲存成為基準處方置進仃儲存， 卡爽方之主處方，該丨個以上之 控制執行對被處理美柘姓〜 处方係分別 輅理基板之特疋處理之丨個以上 之上述1個以上控制梦罢张位4士 的處理裝置 上控制裝置所保持之關於製程之 異同資訊取得部，立钟μ、+, , 7 、成.’處方 付。丨其就上述1個以上之每個虛t ^ 資訊’上述異同資哺孫關於l * 处方取得異同 L況係關於上述主處方與上述

處方之異同之資訊，係關於3種以上之里同 之 個異同之資气L · β s π — ’、η之#訊中關於1 … 異同貢訊輪出部’其就上述2個以上之 母個處方，將上诚步古s η^ 乂上之 肘上攻處方異冋育矾取得部所取 輸出。 丁<吳问貧訊 【實施方式】 以下，參照圖式就製程資訊管理裝 % Ba $ + 衣置寺之貫施形態加以 成月。再者，在實施形態令標注相同符號之構成要素執行 同樣之動作，所以有時會省略再次說明。 圖1為本實施形態令之控制系統之概念圖。控制系統係 例如控料導體t造裝置、液晶面板製造裝i等製造裝置 之系統。此外，控制系統具有⑽以上處理裝置11(從處理 裝置11(1)至處理裝置u⑷）、Hgl以上控制裝置！取控制 裝置12(1)至控制裝置12(n))及製程資訊管理裝置13。 處理裝置11為進行對被處理基板之特定製程之裝置。更 具體而言，處理裝置U為半導體製造裝置、液晶面板製造 裝置等製造裝置。處理裝置π進行例如成膜處理、勉刻處 理、熱氧化處理等對被處理基板之各種處理。處理裝置^ 120409.doc 1328249 為例如複合製程型半導體晶圓製造裝置 體晶圓製造裝置之例。如圖 ® 4不本+導 置传且備17 ®所不，本半導體晶圓製造裝 罝係具h τ部分而構成者： 理’例如成膜處理、姓刻處理〃日曰 '灯各種處 如3個）製程室卜2、3.存d、乳化處理等之複數（例 圓w之盒C1、C2之合— 勺收納多片（例如500牧）晶 風至4'5’及在製程室1、2、3盥盒室 、5之間進行晶圓W交接之搬運 P弓ώ丄， 主 谷至間經由閘閥G而 開關自由地連接。搬運室6 又有此夠屈伸動作及旋轉動 作之例如多關節式搬運臂7，藉 精由忒搬運臂7在室間搬運晶 0W。盒Cl、C2當被取入各宮4 士 田极取入皿至4、5内時，被反轉90度，同 時该盒d、C2之晶圓插拔σ旋轉成朝向搬運室6内之中 心’設置為搬運臂7能夠搬入搬出晶_之㈣。 此外，控制裝置為控制處理裝^之裝置’通常 理裝⑽應而設置。控制裝置12儲存關於對被處理基板 之特疋製程之資訊之處方（通常為製程條件值之集合卜使 用該處方控制處理裝㈣。控制裝置12具備例如各處理裝 置11之上位控制系統即ECC控制部 '各處理裝置u之下位 控制系統即MC(機器控制器）。此等情形下，ecc控制呈有 例如與製程資訊管理裝置部13之邏輯介面機構即:Μ (Remote Agent Prosess)，藉由該RAp在與製程資訊管理裝 置！3之間傳送、接收各種資料。此外’處理裝置h與控制 裝置12可以為一體，亦可分離。 製程貢訊管理裝置13為例如構成所謂群組管理系統之伺 服裝置。 I20409.doc 1328249 〜圖:為顯示製程資訊管理裝置】3之構成之方塊圖。製程 貝》孔S理裝置13具備受理部131、使用者資訊儲存部⑴' 處方錯存部133、處方異同資訊取得部⑶、異同資訊輸出 』135、控制裝置資訊儲存部m、處方接收部⑴、處方 積存部13 8、詳細輸出部〗3 9。 :欠方、同資訊取仔部134具備異同取得機構U41、不存 在貝訊取付機構1342、無法通信資訊取得機構^们、無法 輸出資訊取得機構1344。 .、 文理部13〗受理來自使用者 .4t ^ ?日不或使用者資訊。指示 二上處方之指定即處方指定指 不：出異同資訊之指示即異同資訊輸出指示，在2個以 上…進行表示不同含意之輸出時，用來 同點之詳細之指千gp疰* Μ山^ U不 一 即烊細輸出指示等。處方指定指示且右 1個處方識別符亦可。此情形下，處 八 ^ a ^ , 處方心疋^日示即為已指 疋/、有相同處方識別符之丨個 , 工？二制裝置之處方及φ虚 方。此外’處方指定指示亦可 此产拟下. 了具有2個以上處方識別符。 此“下，處方指定指示即為已指定 所具有之2個以上處方識別符…曰… 逆仃截別之2個以卜# 士 用者資訊係指識別使用者之資吨 處方。使 ⑴與密碼之組。詳細輸出指u例如使用者1〇或使用者 之指示。此情妒下鈐τ匕3例如主處方和1個處方 此“下，坪細輪出指 處方之差異詳細之指示 出主處方和心個 綠絲般 4 輸入機構係藉由數位 鍵、鍵盤、滑鼠或功能表晝面者等皆可 由^位 為從外部裝置傳送而來者’心不亦可 匕障形下，受理部131具有接 120409.doc 1328249 收機構。受理部13丨 稭由數位鍵或鍵盤等輸入機構之裝 置驅動程式、功能#蚩；—& λ 衣 現。 表旦面之控制軟體或通信機構等而實 使用者資訊儲存部丨 使用者資訊。使用者資所受理之 ... 孔儲存°Ρ 132適合使用RAM等揮發

性記錄媒體，但@ L 虚士 " 碟4非揮發性記錄媒體亦能實現。 處方健存部133中儲存有主處 子有主處方和1個以上處方（非主處 之處方）。處方係指1個 m ^ ^ ^ 们以上控制裝置12所保持之關於製 矛壬之貧訊，上述1個以上 我 基板之特定…♦二制裝置12係控制執行對被處理 之處理裳置11者。在此，處方為製程資訊 在」為控制處方以外之製程之命令串。 處方儲存部13 3中，處方分别 存。舲冰 ^ 处方刀別對應於控制裝置12而儲

心：處方可以為對應於1個控制裝置12之資I 者想之資訊。此外’主處方亦可為不固定。由使 者#日疋主處方亦可。處古紗六* 用 錄媒# _ 子邛133適合使用非揮發性記 、、-，但藉由揮發性記錄媒體亦能實現。 =方^貧訊取得部134就！個以上之每個處 2處==:關於主處方和—(心 關於！個異同之資訊。此外，處方 ^之處訊中 在就1個以上之每個處方取得里同資：訊取得部134適用 主處方與後述之控制裝置資訊儲 置資訊所表示之對應於!個以上於制二個以上控制裝 之里Ρ1次 制裝置12之1個以上處方 "间―貝訊。處方異同資訊取得心 方 乃J松測連接於網

12〇4〇9.dOI 1328249 路之m以上控制裝置，並就以上之每個處方取 資訊，上述異同資訊係關於主處方與該⑽以上控制I 之處方之異同之資訊，係關於存在3種以上之異同之^ ^ 中關於1個異同之資訊。異同資訊可取3 _、汛 ‘王μ工I值〇 3稽 以上之值係指下列中任一資訊：表示被比較之處方相同之 身讯即相同資訊(例如值「〇」）、表示被比較之處方不同之 資訊即不同資訊（例如值％)、表示被比較之處方不存在 之不存在資訊(例如值「2」）、表示對應於被比較之處方之 ^制，们2與製程資訊管理裝置13處於無法通信狀態之無 用身訊(例如值「3」）、表示為無法取得異同資訊之使 包含無法輸出資訊(例如值「4」)。異同資訊通常 ^ =问貝訊、不同資訊。3種以上之異同資訊為相同資 訊及其他1個以上異同資訊。其他1個以上異同 得受理:::;Γ已存在資訊。處方異同資訊取得部134通常取 方以外 、又理指定之主處方與已受理指定之除主處 同或不^ 1個以上處方之異同資訊。此外，不問2個處方相 個各處：：：斷方法。處方異同資訊取得部134通常比較2 處方是否之1個以上步驟之所彳詳細（内容），判斷2個 同，ΐ妝元全相同’即使1個步驟中之1個製程條件值不 處方異^同資訊作為不同資訊（作為處方不同）。此外， 處方之:冑孔取传部134不比較處方之内容，而比較2個各 同之俨，（更新日期或更新者等），即使屬性值有1個不 值而得引亦Τ將異同資訊作為不同資訊。藉由比較屬性 1異同資訊之情形，可謀求處理之高速化。處方異 •20409.(100 1^528249 =2部134通常可從MPU或記憶體等得到實現。處 該軟體2取得部134之處理程序通常藉由軟體而實現， 體6己錄於ROM等記錄媒體中。作是， (專用電路)來實現。 …亦可藉由硬體 同=ΓΙ_1341比較主處方内容和與該主處方比較異 (例如值「〇'，:=::方相同或不同，取得相同資訊 常具有!個：:驟二(例如值此外，處方通 乂上之步驟◦步驟係指 製程條件值之隼八„ ΠΒα 枉剌處理裝置11之 干值之集合。異同取得機構1341 憶體等得到患钼s门Α 、吊j攸^^1；或§己 軟體而會银 異同取得機構1341之處理程序通常藉由 ’該軟體5己錄於ROM等記錄媒體中。但是，亦 可措由硬體（專用電路）來實現。 不=資訊取得機構1342判斷被比較異同之處方不存 邱1 ·η p a细+ 資δί1取付機構〗342例如受理 二已受理處方指定指示時’判斷與識別該處方指定指 不所含之處方之處方識別符相對應之處方是否存在 错存部133，當判斷不存在 ； 在資糊如值「2」）旧在處Γ存部133時，得到不存 不存在資訊取得機構1342通 MPU或記憶體等得到實現。 理浐庠不存在資訊取得機構1342之處 理私序通常錯由軟體而實顼 體尹。但是，亦可藉由H體記錄於麵等記錄媒 _ J精由硬體（專用電路）來實現。 無法通“資訊取得機構〗3 4 丨版_〜 ^ A…. 與控制裝置12之通信是 否可月&，s…、法通信時，取得一 ㈣法通信時，係指控訊。與控制裝置 置〗2闕閉時或控制裝置12未連 i20409.doc -J3- 1328249 接於網路時等。通信可與不可之判斷能夠藉由眾所周知之 技術而進行，所以省略詳細說明。無法通信資訊取得機構 ⑽通常可從MPU或記憶體等得到實王見。無法通信資訊取 得機構U43之處理程序通常藉由軟體而實現，該^ 於ROM等記錄媒體中。但是，亦可 ° ' 實現。 w w 1篮（辱用電路）來 無法輸出資訊取得機構1344使用由受理部ΐ3ι受理、 存於使用者資訊儲存部132之使用 1 管舒晋η * 使用者貝讯，判斷製程資訊 裝置13之使用者是否為無法得到異同資訊之使 =法得到異同資訊之使用者時’取得無法輸出資訊。 ^輸出資訊取得機構1344例如儲存有能夠得到異同資1 以上使用者資訊’判斷該储存之⑽上使用者資訊 ^子在儲存於使用者資訊儲存部132之使用者資訊， 虽不存在時，將里固眘u> ' 「4、μ 八门貝成作為無法輸出資訊(例如值 $」 外，無法輸出資訊取得機構U44例如儲存 夠得到各個處方或控制裝置儲存有成 資訊，並使用兮蚀卢由 、。貝°孔之1個以上使用者 判斷資訊及受理之使用者資訊， 使用者，，⑽…飞控制裝置传到異同資訊之 為無法得到里η^ 使用者資訊而識別之使用者 仵幻異问貧訊之使用者時，將显 出資訊。無法輪出資訊取得機構 從〜法輸 體等得到實 通吊了從MPU或記憶 J貫現。無法輸出資訊 常藉由軟體而實現，該軟體記錚:=344程序通 是，亦可^ ^胆°己錄於R〇M等記錄媒體中 亦了猎由硬體（專用電路）來實現。 I204Q9.doc • 14. 異同資訊輪出部 卬。丨135就母個處方，將處方 部134所取得之里 、门貝訊取得 ·*、同貢讯輸出。不問異同資訊 樣。關於異同資邙 、之輪出態 在此’輸出為包含 後面力”乂闡述。 .，‘·貝不窃之顯不、向列印機 音輸出、向外部裝置$楂2 ^ 現之列印、聲 裒置之傳送、向記錄媒體之 念。異同資訊輸出邱M ^ 積存4之概 〇 无可認為包含顯示芎_ b 置，亦可認為不句入 s π 盗荨輪出裝 匕3。異同資訊輸出部135可藓 置之驅動軟體、戋輪 3由輪出裝 次輸出裝置之驅動軟體和輸出 到實現。 ·^罝寻而付 控制裝置資訊儲存部136儲存有關於^以 之資訊即1個以上控制裝置資訊。控制裝置資訊係= 識別控制裝置12樣或㈣裝置12之名料。控制裝置資 訊儲存部136適合使用非揮發性記錄媒體，但亦可笋由二 發性記錄媒體而實現。 J 7错由揮 處方接收部137從控制裝置12接受處方。處方接收部⑺ 在例如各控制裝置12更新處方之定時，從控制裝置U接受 處方。此情形下’控制裝置12具備：受理處方更新之處方 更新受理部；更新處方之處方更新部；檢測處方更新之處 方更新檢測部；處方更新檢測部檢測到處方更新時，將處 方傳送至製程資訊管理裝置之處方傳送部。此外，控制裝 置12當然還具備基於處方控制處理裝置之控制部。不過， 處方接收部m亦可定期與控制裝置12通信，取得處方 等。亦即，不問處方接收部137接受處方之定時。處方接 收部137通常藉由無線或有線之通信機構而實現’但亦可 120409.doc 1328249 藉由接收廣播之機構而實現。 處方積存部！38將處方接收部m所接受之處方積存於〆 方儲存部❿處方積存部138通f對應於傳送該處方之: =置12’將處方接收部137所接收之處方積存於處方儲 二：二對應於控制裝置12之處方積存’係指例如將識 H 制裝置Η之控制裝置資訊及處方配成對而積存。處方 a子WM38通常可從MPU或記憶體等得到實現。處方 ΓοΓ等之處理程序通常藉由軟體而實現’該軟體記錄於 現4記錄媒體中。但是’亦可藉由硬體（專用電路）來實 輸出部139取得、輸出被指定之處方詳細資訊即關 Γ上步驟不同之資訊，亦即步驟不同資訊。不問步 =資訊之輸出態樣。詳細輸出部139之處理程序 糟由軟體而實現，該軟體記錄於臟等記錄媒體 :裝包含向顯示器之顯示、向列印機之列印、向外 139既之达、向記錄媒體之積存等之概念。詳細輸出部 可遇為包含顯示器等輸出裝置，亦可認為不包含。 詳細輪出部139可藉由輸出裝置之驅動軟體、或輸出穿置 之^動軟體和輸出裳置等而得到實現。 出裝置 二從圖4至圖6之流程圖就製程資訊管理裝置之 (步驟S401)受理部131判斷是否已受理輪入。若受理輸 入，則至步驟S4〇2,若不受理輸入，則至步驟州卜 (乂驟84〇2)叉理部131判斷在步驟S401受理之輸入是否 120409.doc •16· 1328249 為使用者資訊。若為使用者資訊’則至步㈣彻，若非使 用者資訊，則至步驟S404。 (步驟S403)受理部131將在步驟以〇1受理之使用者資訊 2存至使用者資訊儲存部132。此外’亦可藉由未圖示： 理:使用使用者貝訊進行認證處理。此外，因為認證處 眾所周知之技術，所以省略詳細之說明。返回步驟 (步請4)受理部131判斷在步驟㈣受理之輸入是否 為處方指定指示。若為處方指定指示，則至步驟S彻，若 非處方指定指示’則至步驟S4〇7。 (步驟S405)未圖示之輸出機構取得並暫時儲存處方 才曰不中包含之處方識別符。 取:f驟未圖示之輸出機構變更例如藉由在步驟_ 仔之處方識別符而識別之處方識別符表示。例 _ 取得之處方識別符表示與其二 為别符進仃比較，以顯眼態樣進行表示（聚 符）。此外，假設輸入處方指定指 ，，、、為別 方識別符之列表。，此外，例如未圖顯示2個以上處 藉由在步驟S405取得之處方1 丁》出機構亦可讀出 登錄之1個以上控制裝置資訊之〗個以上 =方’對應於 1個以上處方識別符列表輸 》識別符’將該 订幻衣輸出。返回步驟S401。 (步驟S407)受理部131判 為異同資訊輸出指〜受理之輪入是否 S4〇8,若非異同資 貝° 出^ ’則至步騾 貝訊輸出指不’則至步驟S409。 J20409.doc 1328249

(步驟S4〇8)處方異同眘1 A 貧訊取侍部134及異同資訊輸出部 5進行異同資訊輸出處理。關於異同資訊輸出處理，將 使用圖5之流程圖在後面闡述。返回步驟s4〇i。 (步驟S409)受理部13 ]主丨磨„ ’又1 31判斷在步驟S401受理之輸入是否 1詳細輸出指示。若為詳細輸出指示，則至步驟㈣，若 非詳細輪出指示，則至步驟S4〇1。 /步驟S41〇)詳細輸出部139進行詳細輸出處理。關於詳 =出處理’將使用圖6之流程圖在後面闡述。返回步驟 (步驟S4⑴處方接收部137判斷是否從控制裝置η接到 -方。若接到處方’則至步驟S412 ’若非接到處 回步驟S401。 (步驟S412)處方積存部138將在步接到之處方積 ^於方儲存部Π3。處方積存部138通常對應於識別接到 1 方之控制裝置12之控㈣置資訊，積存處方。返回步驟 IS 4 〇 1 〇 此外’在圖4之流程圓中，亦可例如受理使用者資訊， 進行認證處理，為認證許可時，暫時積存使用者資訊，同 時從控制裝置資訊料部136讀出⑽以上控制裝置資訊， 將對應於該讀出之1個以上控制裝置資訊之處方識別符和 主處方之識別符以列表形式輪出。再者，處方指定指示且 有以該列表形式輸出之2個以上處方識別符（包含 識別符）中之2個以上處方識別符。亦即，使用者亦可在以 列表形式輸出之2個以上處方識別符中，用滑鼠等指示2個 J20409.doc -18- 1328249 以上處方識別符。 此外，在圖4之流程圖中’藉由電源關閉或插入處理終 了，結束處理。 其次，使用圖5之流程圖，就步驟84〇8之異同資訊輸出 處理加以說明。 (步驟S501)處方異同資訊取得部134進行初始處理。初 始處理係指例如從控制裝置資訊儲存部136讀出控制裝置 資訊之處理，上述控制裝置資訊係保持有藉由在步驟$他 取得之處方識別符而識別之處方者。此外，初始處理亦包 含向計數器i中代人1τ田 „ , 處里。此外，當在步驟S405未取 處方識別符時，步古g m -欠 、m取得部134亦可讀出控制裝 置貝讯储存部136之全部處方。 制Γ置驟資ST處方異同資訊取得部134判斷第1處方（第1控 ㈣置資訊之處方）是否存在。若^ S503 ’若第嘁方不存 牡則至步驟 # #盥主_ t 至步驟S524。此外，第i處方 J斷對象之處方中之第i處方。 (步驟S503)無法輪出眘 乂乃 ^ A 出貝訊取得機構1344從使用者眘邙襁 存部132讀出使用者資訊。 便用者資汛儲 輪:::::一使用在一 者是爛對第i處方=:由取該使用者資訊而識別之使用 (步驟S505)若步驟“⑼中 S508，若不能存取， 為旎夠存取，則至步驟 取則至步驟S506。 (步驟S506)無法輸 贫訊取得機構⑽將異同資訊作為 J20409.doc 1328249 無法輸出資訊。具體而言，無法輸出資訊取得機構⑽例 如向變數「異同資訊」代入無法輪出資訊。 (步驟⑽)處方異„訊取得部⑽計數㈣加}，返 回步驟S502。 (步驟S508)無法通信資訊取这 貝0扎取侍機構I343取得對應於第i處 方之控制裝置資訊。 (步驟S509)無法通信資訊取锃 貝1*取侍機構1 343使用在步驟S508 取得之控制裝置資訊，取得藉由 丁稚田控制裝置資訊而識別之控 制裝置與製程資訊管理與罟η —、x , 、 展置13之通化狀態。無法通信資訊 取得機構1 343例如發行「Di τρ T Plng ΙΡ位址」命令，藉由得到返 回值，取得控制裝置與製程資訊管理裝置13之通信狀態。 (步驟S510)無法通信資訊取得機構1343判斷在步驟 取得之通信狀態（例如步驟S5〇9之返回值）是否為無法通信 狀態。若為無法通信狀態，則至步驟S5丨丨，若非無法通信 狀態，則至步驟S512。 (步驟S511)無法通信資訊取得機構1343將異同資訊作為 無法通信資訊。具體而言，無法通信資訊取得機構1343例 如向變數「異同資訊」代入無法通信資訊。至步驟85〇<^ (步驟S512)不存在資訊取得機構1342讀出第丨處方。 (步驟S513)不存在資訊取得機構1342判斷第丨處方是否存 在。若第1處方存在，則至步驟S515，若第i處方不存在， 則至步驟S514。 (步驟S5 14)不存在資訊取得機構1342將異同資訊作為不 存在資訊。具體而言，不存在資訊取得機構1342例如向變 120409.doc -20、 -、同資。fl」代入不存在資訊。至步驟85〇7。 (步驟S5 15)異同取得機構1341從處方儲存部133讀出主 _匕外識別主處方之主處方識別符包含於處方指定 指不中。 (V驟S516)異同取得機構1341向計數器』代入卜 (步驟S517)異同取得機構1341判斷第}處方中是否存在第 J/驟。右存在第j步驟，則至步驟“Η，若不存在步 驟’則至步驟S522。 ^步驟S5 18)異同取得機構1341在第；處方中讀出第」步驟 ^資和對應於該步驟（具有相同步驟識別符）之主處方之 二驟之貝汛，比較該2個步驟之資訊。此外，當對應於第j 步驟之主處方之步驟不存在時，比較結果為步驟“Μ中之 比較結果為不同。 I步驟S519)異同取得機構⑼丨判斷步驟s5i8中之比較結 果疋否為相同。若為相@ ’則至步驟S520，若不為相同， 則至步驟S521。 (步驟S520)異同取得機構將計數^增加丨，返回步 驟 S 5 1 7 〇 訊（步驟S521)異同取得機構134〗將異同資訊作為不同資 ' 具體而言，異同取得機構1341例如向變數「異同資 訊」代入不同資訊。至步驟S5〇7。 ’、 。G踢S522)異同取得機構1341判斷是否存在未被第；處方 或主處方比較異同之步驟。若存在未被比較異同之步驟， 、乂驟8521，右不存在未被比較異同之步驟，則至步驟 I20409.doc 21 S523。 :(步驟S523)異同取得機構1341將異同資訊作為相同資 訊。具體而言，異同取得機構1341例如向變數「異同資 汛」代入相同資訊。至步驟§5〇7。 (步驟S524)異@資訊輸出部135將主處方與被比較之η固 乂上處方之異同資訊對應於該丨個以上處方進行輪出。 回上位函數。 能：外，纟圖5之流程圖中’不問處方之異同資訊之輸出 …策。此外，取得5種異同資訊時之處理程序不限於上述 處理私序。不過’上述處理程序為佳。原因在於上述處理 私序為可謀求處理高速化之判斷程序。 就步驟討10之詳細輪出處理 其次’使用圖6之流程圖 加以說明。 (穸驟S601)詳細輸出部 上 j ^:时厂,、/、上 _ (步驟S602)詳細輸出部139判斷被指示之處方是否 第1步驟。右具有第！步驟，則至步驟MM，若不具 驟’則返回上位函數。 1步 (步驟S603)詳細輸出部139讀出被指示之處方之第 和對應於該步驟之主處方之Mu i (步驟S6G4)詳細輸出部139判斷兩步驟之資訊是 相同。右兩者相同’則至步驟S6〇5 / S606。 〜至步驟 120409.doc •22- 1328249 (步驟S606)詳細輸出部139以顯示_ 跡伽 和不之處方之第i步 驟興主處方之步驟不同之態樣進行輪出。 (步驟S607)詳細輸出部139將計數琴彳 s6Q2。 。^加1。返回步驟 此外，在圖6之流程圖中 樣。 不問輪出步驟之異同之態 此外’在從圖4至圖6之流程圖中，藉出 猎由處方指定指示而

指定決定異同時之主處方，但亦可 .^ y 个夺日疋。此情形下，對 應於處方，已預先決定主處方。 以下，就本實施形態中之製程資訊管理裝置之具體動作 加以說明。圖7為包含製程資訊管理裝置之控制系統之概 念圖。本控制系統具備製程資訊管理裝置13、客戶終端 101、控制裝置（El、E2、E3、E4、E5、E6)及對應於各控 制裝置之處理裝置（從卩丨至％)。在本控制系統中，控制裝 置E3現在尚未連接於網路。

此外，製私資訊管理裝置13之處方儲存部n3保持有圖8 所示之處方管理表。處方管理表具有「m」「處方識別符」 「控制裝置資訊」「處方組」「編輯者」「更新日期」「版 本」等屬性。「ID」為識別記錄之資訊，為了表中之記錄 官理而存在。「處方識別符」在此為處方名。「控制裝置資 訊」為處方被利用之控制裝置名。此外’藉由「處方識別 符」和「控制裝置資訊」’特別指定1個處方。「處方組」 為處方之屬性值，表示組。「編輯者」為識別最後編輯處 方者之資訊’「更新曰期」為最後更新處方之曰期，「版 120409.doc -23 · 1328249 本」表示處方之版本號碼。此外，雖未圖# 部133中儲存有蕤Α+ —处方儲存 畀有藉由處方識別符」和「控制裝置 而被特別指定之處方之會 S」 上步驟。處方之貫體。此外’處方假設包含丨個以 圖9為控制裝置資訊儲存部136中所儲存之控制裝 管理表。控制裝置資訊管理表且 貝訊 目姓衣”有iD」控制裝詈咨 訊」之屬性。「控制裝置資訊」纟此為處方被利用之控制 裝置名。此外’亦可將控制裝置資訊儲存部136中所儲疒 之控制裝置資訊認為係圖8之屬性值「控制裝置資訊」。子 此外’圖10為無法輪出f訊取得機構⑽所保持之 者認證資訊管理表。使用者㈣f訊管理表用心M = 者之製程#訊管理裝置13之登人許可^許可之時。此 外，使用者認證資訊管理表用於決定對應於使用者能夠存 取之控制裝置之處方。使用者認證資訊管理表且有「m 「使用者識別符」「密碼」「控制裝置資訊」之屬性。「使」 用者識別符」為使用者名。「密碼」肖「使用者識別符」 一起用於決定向製程資訊管理裝置13之登入許可/不許可 (認證處理）。「控制裝置資訊」為對應於藉由「使用者識別 符」而識別之使用者能夠輸出之處方之控制裝置資訊。 「控制裝置資訊」既可稱為表示藉由「使用者識別符°」而 識別之使用者能夠輸出之處方之資訊，亦可稱為關於對應 於能夠輸出之處方之控制裝置之資訊。 假設在此狀況下，客戶終端1〇1之使用者代入使用者識 別符「Tanaka」、密碼「〇912」，嘗試向製程資訊管理裝置 120409.doc ‘24· 1328249 1 3登入〇 然後，製程資訊管理裝置13之受理部131受理使用者資 訊（使用者識別符「Tanaka」、密碼「〇912」）〇 然後，製程肓訊官理裝置13藉由未圖示之機構，進行级 證處理，判斷為認、證許可，許可從客戶終端1〇1向製^ 訊管理裝置13登人。此係'11由圖1G之資訊管理使用者資訊 (使用者識別符「Tanaka」、密碼「〇912」）之故。此外，製

程資訊管理裝置丨3將使用者資訊（使用者識別符 「T_ka」、密碼「0912」）暫時儲存於使用者資訊儲 132。 然後，製程資訊管理裝置13讀出圖8之處方管理表之 「處方識別符」’進行獨特處理，取得不重複之_以：處 方識別符。而1 ’假設製程資訊管理裝置"將具有不重： 之1個以上處方識別符之處方一覽表向客戶終端ι〇ι輸出， 客戶終端101如圖u所示，顯示處方一覽表。

然後’假設藉由使用者識別符「Tanaka」而識別之使用 者用滑鼠從客戶終端101指定處方識別符「RCP1」，按下 了「異同資訊輪出」按紐。 然後，製程資訊管理裝置13之受理部131受理具 硪別付「RCP1」之異同資訊輸出指示。 然後，處方異同資訊取得部134從圖8之處方管理表檢索 含有控制裝置資訊之記錄，得到圖12之暫時性表格，上述 控制裝置資訊為藉由處方識別符「Rcpi」而識別之處 方，且以控制裝置資訊儲存部136之「控制裝置資訊」表 120409.doc -25- 〇 在圖l2之暫時性表格中，處方異 P去啦鹿 「 貝讯取得部134假設 已知對應於「ID=1」之記錄之處方為 方當然亦可由使用者Μ。 外，主處 然後，處方異同資訊取得部 「s Γ 肝主處方與對應於從 D=2」至胸」之記錄之處方按序進行比較。

首先’係對應於「ID=2」之記锸夕步+ 士 太思η次 錄之處方處理。亦即，處 ，、同貝訊取得部134對於對應於藉由具有「山4 ^ :之控制裝置資…」而識別之控制震置之處方：判二 藉由使用者識別符「Tanaka」而識別之使用者能否存取。 亦即’從圖之使用者認證資訊管理表中判斷是否存在使 用者識別符「T_ka」與控制裝置資訊「E1」成對之記 錄。在此，因為圖10中存在使用者識別符與控 制裝置資訊「E1」成射之4. 」攻對之5己錄，所以處方異同資訊取得部

!34對於對應於藉由控制裝置資訊％」而識別之控制裝 置之處方’判斷藉由使用者識別符「Tanaka」而識別之使 用者能夠存取。 然後’處方異同資訊取得部134判斷是否能夠與藉由控 制裝置資訊「E1」而識別之控制裝置通信。在此，為圖7 之狀況，處方異同資訊取得部134判斷為能夠通信。 然後，處方異同t訊取得部134判斷肖由處方識別符 「RCP1」、控制裝置資訊「E1」而識別之處方之實體（例 如稽案）是否存在於處方儲存部133。在此，假設判斷為藉 由處方識別符「RCPlj、控制裝置資訊「El」而識別之處 120409.doc -26 - 1328249 方之實體存在。 然後’處方異同資訊取得部134從處方健存部酬出主 處方之實體（例如檔案）和藉由處方識別符「尺⑶」、控制 裝置資訊「E1」而識別之處方之實體(例如檔案卜而且， 判斷2個處方之全部步驟是否為 门+ 丨』在此，假設處方異 ^訊取得部134判斷為2個處方（播案）之内容完全相同。 此外’異同取得機構1341向對應於藉由處方識別符 RCP/」、控制裝置資訊「扪」而識別之處方之異同資訊 」）」此外，由於判斷2個處方 ^處方包含1個以上檔案）是否為相同之處理能夠藉由 眾所周知之技術而實行，因此省略詳細之說明。 然後’係對應於「ID=3」之記錄之處方處理。此處也和 樣，異同取得機構1341向對應於藉由處方識別符 W、控制裝置資訊％」而識別之處方之異同資訊 代入相同資訊（例如「 :後’係對應於广ID=4」之記錄之處方處理。在此，雖 /使用者識別符「Tanaka」而識別之使用者能夠存取 藉由控制裝詈眘却「p ^ /θ 責 E3j而識別之控制裝置，但無法通信 資s取彳于機構1343由圖7檢知藉由控制裝置資訊「Ε3」而 識別之控制裝置未連接於網路。此外，無法通信資訊取得 機構1343向對應於藉由處方識別符「Rcpi」、控制裝置資 訊「E3」而識別之處方之異同資訊代入「無 訊 」）J。此外，由於裝置是否連接於網路之檢測能 曰A所周知之技術而實行，因此省略詳細之說明❶ 120409.doc -27- 1328249 ，後，係對應於「ID=5」之記錄之處方處理。在此，假 設藉由使用者識別符「Tanakaj而識別之使用者能夠存取 藉由控制裝置資訊「E4j而識別之控制裝置，藉由控制裝 *置貢訊「E4j而識別之控制裝置連接於網路。此外，假設 藉由處方識別符「RCP1 控制穿 」迕剌屐置貧讯「E4」而識別之 處方存在於處方儲存部133。然而，假設異同取得機構 1341判斷藉由處方識別符「R⑶」、控制裝置資訊「£4」 2識別之處方與主處方不同。此假設異同取得機構洲取 知2個處方之内容差異，由 左 、由於存在差異，因此判斷2個處方 不同。在此等狀況下’異同取得機構叫向對應於藉由處 方識別符「RCPlj、控制裝置資訊「E4」而識別之處方之 異同資訊代入「不同資訊（例如「1」）」。 然後，係對應於「ID=6j之記錄之處方處理。在此，假 設精由使用者識別符「Tanaka」而識別之使用者能夠存取 藉由控制裝置資'「P < — ^ . 貢 E5j而硪別之控制裝置，藉由控制裝 ，資訊「E5」而識別之控制裝置連接於網路。但是，假設 藉由处方識別符「RCP1」、控制裝置資訊「Μ」而識別之 處方不存在於處方儲存部133。在此等狀況下，不存在資 Λ取:機構1342判斷被比較異同之處方不存在並取得不 存在資訊。亦gp，$古+ :欠 ， 子在資讯取得機構1342向對應於藉由 處方識：符「RCP1」、控制裝置資訊「E5」而識別之處方 之異同資訊代入「不存在資訊（例如「2」）」。 、然後’係對應於「ID=7」之記錄之處方處理。在此，無 法輸出貪訊取得機構1344由於藉由使用者識別符 120409.doc •28· 1328249 ―」而識別之使用者對藉由控制裝置資訊「Ε6」而 f別之控制裝置無法由圖1()進行存取，因此取得無法輸出 貝訊。此外’無法輸出f訊取得機構1344向對應於藉由處 方識別符「RCP1丨、批也丨姑「以 」控制裝置-貝讯E6」而識別之處方之 異同資訊代入「無法輸出資訊(例如「4」）」。 …S " /、同^ °孔輸出部135將處方異同資訊取得部134取 付之異同資讯向各個處方輸出。異同資訊輸出部⑴之輸 出例如圖13所示。 在圖13中，主虔.Γ 之結果」攔中輸出有「Master」。 此外，在圖1 3中，「处莫 _山上 、、·。果」攔中當異同資訊為相同資訊時 輸出「Same」，告s 田"同資訊為不同資訊時輸出

Diffe削t」，當異同資訊為不存在資訊時輸出「_ 告」…田:、同資訊為無法通信資訊時輸出「Offline」， 备異同資訊為無法輸出眘 J出貝訊時輸出「Disable」。此外，假 設異同資訊輸出部135當 田"冋貝訊為不存在資訊、無法通 k M sfL、無法輸出資訊之 — ..y^ 種時，不輸出處方之部分屬 性值。在圖13中，「編輯 ^ φ 」更新曰期」「版本」之屬性 值未被輸出。此係去里η次 訊輸出了*存在資訊' 無法通 t貝訊、無法輸出資訊— 「版太a, s π 種之「編輯者」「更新日期」 版本^」時，異同音却 5輪出部135將從圖12之資訊輪 確實之資訊，此非妥當。 圆U之貝巩輸出不 然後，假設使用者—，息_ 幹出浐干。心銓 冑察圖13之輸出，-邊輸入詳細 翰出才日不。砰細輪出指示 控制裝置資訊「Ε4」β ^ 假設為例如雙鍵擊圖U之 亦即，使用者欲得到主處方（藉由 120409.doc -29- 1328249 agC_rCP而識別之處方）與異同資訊為不同資訊之處方（藉 由E4而識別之處方）之差異之詳細。 然後’受理部131受理包含「…之詳細輸出指示。铁 後，詳細輸出部139讀出主處方（藉由AGC_Rcp而識別之處 方）和異同資訊為不同資訊之處方（藉由E4而識別之處方）， 2各對應之步驟，取得並輸出步驟不同資訊。此等輸出例 圖Μ所不。在圖14中’畫面左側為步驟之一覽表 網線之列表示具有2個處方之步驟不同。在圖Μ中， =之虎「步驟C」/步驟〇」不同。此外，之右側係關 方’被聚焦之步驟(晝面右側之箭頭所指示之「步 值等」為)所具有之製程條件值等，表示帶有網線之製程條件 專為不同製程條件值等。在圖14中，「—…」不同。 個由本實施形態之製程資訊管理裝置，在比Μ 態以外=時因'!能夠取得並輸出相同、不同此2個狀 同之八立"^使用者能夠正確得知2個處方間不 之不；：7:，使用者能夠更詳細地得知2個處方狀態 比較「個主::採取 之控制/Λ/多數控㈣置之處方時，能夠得知離線 之存取權等 存在於控制裝置，以及無向控制裝置 置及隨著半導體製造工廠而有數十台之控制裝 置間之處方轉的情形’在保障此等控制裝置及處理裝 者對祐至|至吐上有效。此外’進一步具體而言，使用 行例如中無法存取之無法輪出資訊之處方，進 業或使用者登錄（旨在得到輪出許可之登錄） 120409.doc -30- - A外’使用者對被判定為無法通信之無法通信資 T之處方’為了使處理該處方之控制裝置成為能夠通信狀 L ’而聯絡控制裝置之使用者或向該使用者指示控制裝置 2啟動。此外’使用者對被判定為不存在之不存在資訊之 例如複製最新之該處方。此外，使用者對被判定為 处方不同之不同資訊之處方，例如複製最新之該處 方。 此外’在本實施形態之具體例中，使用者從客戶終端進 打知作’當然亦可直接從製程f訊管理裝置13進行操作。 此外，本實施形態中之處理亦可藉由軟體而實現。而 且，該軟體亦可藉由軟體下載等進行分發。此外，亦可將 該軟體記錄於CD•職等記錄媒體進行傳播4外，此作 法在本說明書之其他實施形態中亦適用。此外，實現本實 施形態中之製程資訊管理裝置之軟體為以下之程式。即， 該程式為使電腦將1個以上之處方分別對應於】個以上之控 制裝置進行儲存，且儲存成為基準處方之主處方，該“固 以上之處方分別控制執行對被處理基板特定處理U個以 上的處理裝置之上述H固以上控制裝置所保持之關於製程 之資訊；且執行如下步驟：就上述1個以上之每個處方取 得異同資訊之處方異同資訊取得步驟，上述異同資訊係關 於上述主處方與上述1個以上處方之異同之資訊，係關於 存在3種以上之異同之資訊中關於L個異同之資訊；及以 述每個處方’將上述處方異同資訊取得步驟中所取得之異 同資訊輸出之異同資訊輸出步驟。 120409.doc -31 · "㈣#式u使電腦進__步執行從上述控制裝置接 J處方之處方接受步驟，前述處方之至少-部分為在前述 處方接受步驟中接受之處方為佳。 此外，儲存有關於前述！個以上控制裝置之資訊即請以 上控制裝置資訊，前述程式中之前述處方異同資訊取得步 :以將：述主處方與前述⑽以上控制裳置資訊所表示之 子應於刖述1個以上控制裝置之1個以L由士 & Α 展置之i個以上處方之異同資訊就 刖述1個以上之每個處方取得為佳。 =卜，在上述程式中，前述異同資訊能夠取得表示與前 ^處方比較異同之處方為相同之資訊之相同資訊、表示 _、士 门之處方不同之資訊之不同資訊、表 不破比較之處方不存在之 存在資訊、.表示對應於被比較 之處方之控制裝置與製程資訊管理裝置無法通信狀… 法通信資訊、或表示為不能 …、 ^ ' fa传到異同資訊之使用者之資訊 之法輸出資訊中之任一資二 ° 趣、θ 貝訊，刖述處方異同資訊取得步 驟以具備如下步驟為佳：比‘ 較昱同之處方之内—丨“逑主處方之内容與前述比 ，、 之内谷，判斷2個處方為相同或不同 相同資訊或不同資訊之異 于 之處方不存在，取得不存在資訊之不存在資訊颇门 判斷能否與前述控制裝置 。兮乂 , 通k資訊之無法通信資 …'去 一 〇 取付步驟；及受理關於操作萝轺 育訊管理裝置之使用者之眘 .之訊即使用者資訊，基於該你 者負訊判斷是否為不能得一 吏用 ^:丨Sm欠 仵到異同貢訊之使用者，為盔法;p 到異同資訊之使用者時， …、去件 取侍無法輸出資訊之無法 120409.doc -32- 1328249 訊取得少驟。 此外，上述程式以如下所述為 ^往·使電腦進一步執行受 理包含主處方之之2個以上處方 — 处万之指定之受理步驟，在前 述處方異同資訊取得步驟中，取一 輝甲取侍已受理前述指定之 方和前述已受理前述處方之指定 除' 主處方以外之1個以 上處方之異同資訊。 此外，在上述各實施形鲅中 心〜、中，各處理（各功能）既可 由單一裝置（系統）集中處理而實 田 員現，或者亦可藉由由複數 裝置分散處理而實現。 此外’在上述程式中，傳送資 L之步驟或接收資訊之步 驟中不包含藉由硬體而進行之處理，例如：傳送步驟中夢

由數據機或介面卡等而進行之處理（僅可藉由硬體而； 之處理）。 T 此外，執行上述程式之電腦既可為單數，亦可為複數。 亦即’既可進行集中處理，亦可進行分散處理。 此外，在上述各實施形態中，存在Μ個裝置中之2個以 上通仏機構，當然亦可物理上藉由1種媒體而實現。. 本發明不限定於以上之眚渝 之貫施形態，可能進行種種變更， 此等當然亦包含於本發明之範圍内。 此外’包含2_年4月28日提出中請之日本國專利申請 編號2006-124733之詳細說明、圖- -子°兒明圖不、申請專利範圍之揭 不’精由其整體之參照，包含於本揭示中。 [產業上之可利用性] 如以上所述，關於本發明之y g# 4¾乃冬展％貧訊#理裝置具有能夠 J20409.doc •33- 1328249 正確得知2個處方間不同含意之效果，能夠用作焚 尸S理例如 關於對半導體製造裝置、液晶面板製造裝置等處理裝置之 控制之資訊即製程資訊之製程資訊管理裝置等。 【圖式簡單說明】 圖1係實施形態中之控制系統之概念圖。 圖2表示該半導體晶圓製造裝置之例之圖。 圖3表示製程資訊管理裝置之構成之方塊圖。 # 圖4就δ亥製程資訊管理裝置之動作進行說明之流程圖。 圖5就該異同資訊輸出處理進行說明之流程圖。 圖6就該詳細輸出處理進行說明之流程圖。 圖7該控制系統之概念圖。 圖8表示該處方管理表之圖。 圖9表示該述控制裝置資訊管理表之圖。 圖10表示該使用者認證資訊管理表之圖。 圖11表示該製程資訊管理裝置之圖。 • 圖12表示該處方管理表之圖。 圖1 3表示該輸出例之圖。 圖14表示該輸出例之圖。 【主要元件符號說明】 1、2、3 製程室 4、5 盒室 6 搬運室 7 搬運臂 Cl ' C2 盒 120409.doc • 34 - 1328249 G 閘閥 W 晶圓 101 客戶終端 El 〜E6 控制裝置 PI 〜P6 處理裝置 11(1)〜ll(n) 處理裝置 12 、 12(1)〜12(n) 控制裝置 131 受理部 132 使用者資訊存儲部 133 處方儲存部 134 處方異同資訊取得部 135 異同資訊輸出部 136 控制裝置資訊儲存部 137 處方接收部 138 處方積存部 139 詳細輸出部 1341 異同取得機構 1342 不存在資訊取得機構 1343 無法通信資訊取得機構 1344 無法輸出資訊取得機構 120409.doc .35-

Claims (1)

1. 、申請專利範圍 1. -種製程資訊管理裝置，其包括： 之^制捉存°卩，其將1個以上之處方分別對應於1個以上 们V、置進行儲存’且儲存成為基準處方之主處方， S亥1個以上之# ^ 糸分別控制執行對被處理基板之特定 處理之則述1個以上的處 ^ °恩理裝置之前述1個以上控制裝置 所保持之關於製程之資訊； 直 取同資訊取得部’其就前述!個以上之每個處方 個以二=二異同資訊係關於前述主處方與前述1 資訊中關於Η固異同之資：二係關於3種以上之異同之 二Hi輪出部’其就前述每個處方，將前述處方異 门資讯取得部所取得之異同資訊輪出。 2·如=1之製程資訊管理裝置，其中進而包括： 2方接收部，其從前述控制裝置接收處方； 則述處方儲存部之虛 部所接收之處方。至少—部分為前述處方接收 3.如請求項1之製程資訊管理敦置，其中 儲存關於前述丨個以上斤 制裝置資訊之控制裝置資X置之貢訊的1個以上之控 取得部將前述主處方*前；邹與前述處方異同資訊 述杈制裝置資訊儲存部之：[個 :控制裝置資訊所表示之對應於前述η 個處方取得。 。门貝讯，就前述!個以上之每 120409.doc 如請求項1之製程資訊管理裝置，其中 刚述異同資訊能夠取得下述資訊中之任一資訊： 相同資訊’其表示與前述主處方比較異同之處方為相 同之資訊； 不同資訊’其表示與前述主處方比較異同之處方不同 之資訊； 不存在資訊’其表示被比較之處方不存在； ’、’、法通彳§資訊’其表示對應於被比較之處方之控制裝 置:製程資訊管理裝置為無法通信狀態；或 …、法輸出資訊，其表示為不能得到異同資訊之使用者 之資訊； 别述處方異同資訊取得部包括： 里:、同取侍機構，其比較前述主處方之内容與前述比較 f冋之處方之内容，判斷2個處方為相同或不同，取得 相同資訊或不同資訊； 疒 纟貝Λ取侍機構，其判斷前述比較異同之處方不 存在，取得不存在資訊； 無法通信資訊取 進行通信，在無法能否與前述控制裝置 彳° f取侍無法通信資訊；及 使用^訊取得機構，其受理關於使用者之資訊之 灸用貧讯’基於該使用者資 資訊之使用者，為不、。斷疋否為不能得到異同 取得無法輸出資訊/晴到異同資訊之使用者之情形， 如請求項1之製程資訊管理裝置，其中 39.doc 丄以8249 文理包含主處方之2個以上處方之指定的受理部盘前 迷處方異同資訊取得部取得已受理前述指定之主處方虚 :文理前述處方指定之除主處方以外之“固 異同資訊。 《 6. 程式之電腦可讀取之記錄媒體，該程式用於使 =個以上之處方分別對應於i個以上之控制裝置進 且儲存成為基準處方之主處方，該】個以上之 方係为別控制執行對被處理 個以上的處理裝置之針、…板之特疋處理之前述1 於製程之資訊；…個以上控制裝置所保持之關 且執行下述步驟： 二異=:取::％’其就前述一之每個處 Η固以上處方之異^關於前述主處方與前述 訊中關於1個異同之資1貝。’係關於3種以上之異同之資 〜貝讯；及 異同資訊輸出步驟，苴 異同資訊取得步驟中：就則述每個處方’將前述處方 所取得之異同資訊輸出。 120409.doc