TWI327755B - - Google Patents

Description

1327755 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係涉及一種晶圓密封供氣設備之相關裝置，特 別是指其氣體檢測裝置之創新型態設計者。 【先前技術】 按’晶圓於製程輸送過程中，必須將其置於晶圓盒中 ，以確保晶圓處於最潔淨的環境中，且進一步再藉由氣體 自動充填裝置的組配，將氮氣或鈍氣輸入晶圓盒空間中， 復藉由抽真空裝置將該輸入晶圓盒中之氮氣或鈍氣加以抽 出，此抽出過程中，可將對晶圓表面造成傷害之腐蝕性氣 體併抽出，使晶圓盒空間内達到充滿高純度氮氣或鈍氣 之狀癌’藉此以提昇晶圓製程之品質。 有關上述氣體自動充填裝置之結構型態，如臺灣專利 公告第527681號之「將氣體自動充人裝載埠上的晶圓盒之 裝置」所揭露者，其大致上係包括貫穿晶圓盒底座之進、 排氣孔，設置於裝载埠下方之進、排氣閥及管路，以 體提供裝置、抽真空裝置和控制電路，其運作i = 轧體提供裝置輸出氣體’經進氣閥及進氣管 日' = 置之運作，編盒中之氣體經由排 目 ^閥抽出外部；惟，此種習知 上仍存在下述之問題點： 貫際應用 中雖未揭露說明^此所述氣體自 其管路預定位署旁丹衣1於 置處通I會進一步組設有氣體偵測器’藉以 5 13277” 及晶圓盒空間中之氣體濃度狀態，藉此以控管 真之品質及運.作正常性、然而，此其間仍舊存在一 ’即’目前習知結構中’係將所述氣體_器組 汉於官路上，麸，瞢致由 ”、 中之乳體係為流動之不穩定狀態， 2體_器所檢測到的氣體濃度正確性顯然存在著相當 =差值…曰圓盒為可移動拆換之空間，故氣體偵測 -亦不可能組裝於該晶圓盒空間巾，是以，針對此一問題 點如何研發出一種更具理想實用性之創新構造 相關業界再加以思索突破之目標及方向者。 有鑑於此，發明人本於多年從事相關產品之製造開發 3汁經驗，針對上述之目#，詳加設計與審慎評估後， 終得一確具實用性之本發明。 【發明内容】 一種晶圓密封供氣設備 題點’係針對習知晶圓 於管路上而存在無法獲 心索突破；所述晶圓密 、一藉以連結該氣體供 氣裝置、—藉以連結該 中該進、排氣管路上並 置係藉以檢測該等管路 在於該氣體檢測裝置係 氣部’該進、出氣部係 本發明之主要目的’係在提供 之氣體檢測裝置，其所欲解決之問 密封供氣設備之氣體偵測器係組設 得正確氣體濃度狀態之問題點加以 封供氣設備係包括一氣體供應裝置 應裝置與晶圓盒之進氣管路、一抽 抽氣裝置與晶圓盒之排氣管路，直 組設有控制閥；而所述氣體檢測裝 與晶圓盒空間中之氣體狀態。 本發明解決問題之技術特點， 包括：一氣室，該氣室設有進、出 6 1327755 與晶圓盒之排氣管路相通，藉以可將該排氣管路中之氣體 導入氣室令’·至少一氣體感測器，藉以感測前述中 氣體狀態者。 、t τ < 進一步地，該氣室後置位置之排氣管路上並可再組設 有一旁通閥，藉該旁通闊之設置，以令該氣室及晶圓合内 之氣壓得與外部環境氣壓保持—致，使晶圓盒不 : 變者。 稭此創新獨特設計，使本發明對照先前技術而言，大 ❿致可達到如下優點·· 。 由於本創作係提供一氣室以將晶圓盒排氣管路中之氣 體導入俾可藉由該氣室形成一穩定之氣體容置空間，再 於該氣室組設氣體感㈣器，#此將能夠測得車交為穩定精確 之氣體濃度狀態，獲得一精確之檢測值，進以有效提昇晶 圓密封供氣設備之氣體監控品質者。 【實施方式】 广凊參閱第1、2圖所示，係本發明晶圓密封供氣設備 之氣體檢測裝置之較佳實施例，惟此等實施例僅供說明之 用，在專利申請上並不受此結、構之限制；所述晶圓密封供 氣設備A係包括—氣體供應裝置1〇、一藉以連結該氣體供 應裝置10與晶圓盒20之進氣管路11、-抽氣裝置30、-藉 以連該抽氣裝置3〇與晶圓盒2〇之排氣管路Μ，其中該 進氣&路11、排氣管路31上並各別組設有控制閥12、32 ; 而所述氣體檢測裝置4〇，係藉以檢測前述該等管路與晶圓 7 1327755 孤20二間中之氣體狀態（如含氮氣之濃度），該氣體檢測 裝置40係包括： 一氣室41，該氣室41係設有至少一進氣部411及一出 氣部412 ，該進、出氣部4U 、412之相對外端係與前述 晶圓盒20之排氣管路31相連通，藉以可將該排氣管路31中 之氣體導入該氣室41中； 至少一氣體感測器42，係可組設於氣室41之一側部， 藉以可感測前述氣室41令之氣體狀態者； 一旁通閥43，係組設於該氣室41後置位置之排氣管路 31上，藉以令泫氣室41以及晶圓盒2〇空間内之氣壓與外部 環境氣壓保持一致，亦即，設置該旁通閥43之目的，係當 抽氣裝置30之抽氣動作所造成之負壓大於氣體供應裝置ι〇 之氣體輸出壓力時，可透過該旁通閥43引入外部氣壓，以 達到穩壓、防止晶圓盒20、氣室41因負壓而内凹變形損壞 之防護目的者。 ' < 卜其中，所述氣體感測器42係可藉以感測該氣室中所含 虱氣或鈍氣之濃度；亦或者可藉由該氣體感測器42之設置 ，達到偵測是否有氣體導入錯誤情形之偵錯功能者。 藉由上揭之結構組成設計，茲就本發明之使用狀態 明如下： u /本發明之主要核心設計係在於該氣體檢測裝置仙係包 括*1室41、氣體感測器42、旁通閥43所構成之構造型緣匕 至於該晶圓密封供氣設備A之運作原理及結構部份係:習 8 2拉其運作時，請參第卜2圖所示，氣體供應裝錢 動時所輸出之氣胃（如氮氣或鈍氣）係經由其進氣管路 :控制閥'、進入晶圓盒2〇空間中，另一方面，藉由該 =置3G之運作抽吸，使得晶圓盒2()内之氣體得再經由 乳官路31、控制閥32排出外部；此過程中，經過該排氣 官路31之氣體W如第2圖所示，將可進入所述之氣室4” 形成-穩定容置而流動性趨於緩慢之狀態，此時，即可藉 由該氣體感測㈣進行該氣室41内部氣Μ之狀態檢财 【本發明之優點】 由於本創作係提供_氣室以將晶圓盒排氣管路中之氣 肢導入，俾可藉由垓氣室形成一穩定之氣體容置空間，再 於該氣室組設氣體感測器，故可將晶圓盒排氣管路中之氣 體導入一個空間中令其穩定容置其中’藉此將能夠測得較 為穩定精確之氣體濃度狀態，獲得更加精確之檢測值，進 以有效提昇晶圓密封供氣設備之氣體監控品質者。 上述實施例所揭示者係藉以具體說明本發明，且文中 雖透過特定的術語進行說明，當不能以此限定本發明之專 利範圍；熟悉此項技術領域之人士當可在瞭解本發明之精 神與原則後對其進行變更與修改而達到等效之目的，而此 等變更與修改，皆應涵蓋於如后所述之申請專利範圍所界 定範_中。 13-27755 【圖式簡單說明】 第1圖：本發明所揭氣體檢測裝置與晶 配狀態之平面簡示圖。 第2圖：本發明所揭氣體檢測裝置之平 【主要元件符號說明】

晶圓密封供氣設備 A 氣體供應裝置 10

圓密封供氣設備組 面圖。 進氣管路 11 控制閥 12 晶圓盒 20 抽氣裝置 30 排氣管路 31 控制閥 32 氣體檢測裝置 40 氣室 4 1 進氣部 411 出氣部 412 氣體感測器 42 旁通閥 43 10

Claims (1)

1. '申請專利範圍： -種晶圓密封供线備之氣體檢測裝置，所述晶圓密 封供氣設備係包括-氣體供騎置、—藉以連結該氣 體供應裝置與晶圓盒之進氣管路、一抽氣裝置、一藉 以連結該抽氣裝置與晶圓盒之排氣管路，其中該進、 排氣管路上並組設有控制閥；而所述氣體檢測裝置係 藉以檢測該等管路與晶圓盒空間中之氣體狀態，該氣 體檢測裝置係包括： —氣室，該氣室係設有至少一進氣部及—出氣部，該 進、出氣部外端係與前述排氣管路相連通，藉以可將 該排氣管路中之氣體導入該氣室中； 至少-氣體感測器’藉以感測前述氣室中之氣體狀態 者。 ，據申請專利範圍第i項所述之晶圓密封供氣設備之 氣體檢測裝置’其中所述氣體感測器係可藉以感測該 氣室令所含氮氣或鈍氣之濃度；亦或者可藉由該氣體 感測器之設置，達到偵測是否有氣體導入錯誤情形之 價錯功能者β 測裝置，所述晶圓密 置、一藉以連結該氣 、一抽氣裝置、一藉 氣管路，其中該進、 所述氣體檢測裝置係 —種晶圓密封供氣設備之氣體檢 封供氣設備係包括一氣體供應裝 體供應裝置與晶圓盒之進氣管路 以連結該抽氣裝置與晶圓盒之排 排氣管路上並組設有控制閥；而 13-27755 藉以檢測該等管路與晶圓盒空間中之氣體狀態，該氣 體檢測裝置係包括： 一氣室，該氣室係設有至少一進氣部及一出氣部，該 進、出氣部外端係與前述排氣管路相連通，藉以可將 該排氣管路中之氣體導入氣室中； 至少一氣體感測器，藉以感測前述氣室中之氣體狀態 者； 一旁通閥，係組設於該氣室後置位置之排氣管路上， • 藉以令該氣室以及晶圓盒空間内之氣壓得與外部環境 氣壓保持一致者。 . 4、依據申請專利範圍第3項所述之晶圓密封供氣設備之 氣體檢測裝置，其中所述氣體感測器係可藉以感測該 氣室中所含氮氣或鈍氣之濃度；亦或者可藉由該氣體 感測器之設置，達到偵測是否有氣體導入錯誤情形之 偵錯功能者。 12