TWI304795B

TWI304795B - Process for recovering onium hydroxides from solutions containing onium compounds

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Description

13〇4795 A7 B7____ 五、發明說明（/ ) 領域本發明係關於一種從含鑰化合物之溶液再生氫氧化鎗的方法。尤其是，本發明係關於使用陽離子交換材料及鹼 ’從含有氫氧化錄及/或鎗鹽之溶液再生氫氧化鎗的方法。 _背景氫氧化鑰，例如氫氧化四級銨-包括氫氧化四甲基銨（ TMAH)及氫氧化四乙基銨（TEAH)-〜直以來已知爲強有機鹼。已發現氫氧化四級銨有各種用途，包括用於沸石 _造及聚合物製造。氫氧化四級銨的水溶液，特別是 TMAH水溶液也已經廣泛地被用於印刷電路板及微電子晶片製造之光阻劑中作爲顯影劑。因各種因素所致，最好將印刷電路板及微電子晶片製造所用的顯影劑總量減到最少 °將氫氧化物顯影劑總量減到最少的方式之一爲再利用廢棄顯影劑。再利用顯影劑的作法爲使丟棄的數量降低並減少廢棄物問題。廢棄顯影劑含有雜質，包括離子性雜質及非離子性雜質。離子性雜質包括各種金屬陽離子，例如鈉，鉀，鋅，鎳，鋁，銅及鈣；及包括陰離子，例如鹵化物，硝酸鹽，亞硝酸鹽，碳酸鹽，羧酸鹽，硫酸鹽。非離子性雜質包括光阻劑，表面活性劑，胺類及其它許多的有機分子。廢棄顯影劑也包含相當低濃度的氫氧化物顯影劑。因此，仍需要有效回收可再利用的氫氧化物顯影劑，使其可以再利用，藉以減少印刷電路板及微電子晶片製造所用的顯影劑總量。 __________ 4__. P氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) ' ~ ---------------------訂---------線---------------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ A7 1304795 _________B7_____ 五、發明說明（2 ) 美國專利4,714,530 ( Hale等人）描述一種製備高純度氫氧化四級銨的方法’其係利用包含以陽離子交換薄膜分隔之陰極電解液隔間及陽極電解液隔間的電池。該方法包括將氫氧化四級銨水溶液倒入陽極電解液隔間，將水加入陰極電解液隔間中’及使直流電通過電解式電池以在陰極電解液隔間內產生接著要回收的高純度氫氧化四級銨。 ’530號專利案也描述一種包括在將氫氧化物加入電解式電池之陽極電解液間格前將氫氧化四級銨於提升溫度下加熱的改良。美國專利4,938,854 (Sharifian等人）也描述一種以降低潛在的鹵化物含量來純化氫氧化四級銨的電解方法。電解式電池可以利用隔板（其可爲陰離子或陽離子選擇性薄膜）分爲陽極電解液隔間及陰極電解液隔間。陰極電解液隔間內的陰極包括鋅，鎘，錫，鉛，銅，或鈦，或其合金，汞或汞齊。日本公開專利案第60-131985號（ 1985 ) (Takahashi 等人）描述一種在電解式電池內製造高純度氫氧化四級銨的方法，該電解式電池以陽離子交換薄膜分隔爲陽極室及陰極室。含有雜質的氫氧化四級銨溶液被加入陽極室中，而直流電在水已經加入陰極室後施加於二電極之間。已純化的氫氧化四級銨係從陰極室獲得。已純化的氫氧化四級鞍包含減少數量的鹼金屬，鹼土金屬，陰離子等。美國專利5,439,564及5,545,309(Shimizu等人)係關於一種處理含有機氫氧化四級銨之廢棄液體的方法，該方法 5 紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ___ I _ — — III — _ ·1111111 a — — — — — — — · — — III—— — - — — I — I — — — — — - —1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 1304795 五、發明說明（$ ) 包括將廢棄液體與陽離子交換材料接觸，從陽離子交換材料沖提出有機四級銨陽離子，及在設有陽極，陰極及陽離子交換薄膜的二室電解式電池內使沖出液電解。有機氫氧化四級銨係從電解式電池的陰極室中獲得。美國專利5,968,338(Hulme等人)說明一種使用陽離子交換材料從含錄化合物(例如氫氧化物或鹽類）溶液中再生氫氧化錄之方法及一種包括至少三個間隔之電化學電池以再生氫氧化錄。發明摘沭在一具體實施例裡，本發明係關於一種從吸附有鑰陽離子之陽離子父換材料中回收氨氧化錄之方法，其包括： (A) 將該陽離子交換材料與選自鹼金屬氫氧化物及氫氧化銨之鹼水溶液接觸以形成氫氧化鎗，及 (B) 回收氫氧化鎗水溶液。在另一具體實施例中’本發明係關於一種從含鎗化合物(例如氫氧化鎗及/或鎗鹽)溶液中回收氫氧化錄之方法，包括將溶液與陽離子交換材料接觸，使得來自鑰化合物之至少一部份的鎌陽離子被陽離子交換材料吸附；將吸附有鎌陽離子之陽離子父換材料和無機驗水溶液接觸以形成氫氧化鎗；並回收氫氧化鎗溶液。可以此方式回收之氫氧化鎗包括氫氧化四級銨，氫氧化四級鱗，及氫氧化三級_。在另一具體實施例裡，本發明係關於一種從含有四院基錢化合物之廢棄溶液中回收氫氧化四院基錢之方法，其包括將廢棄溶液與陽離子父換材料接觸，使得來自四院基 6 本紙張尺度適用帽國家標準(CNS)A4規格（21G x 297公爱) ---- Η (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ________訂______I — ---------------1 — I---- A7 1304795 ______B7 _ 五、發明說明（β ) 銨化合物之至少一部份的四烷基銨陽離子被陽離子交換材料吸附；將無機鹼和陽離子交換材料接觸，藉此形成氫氧化四烷基銨；及回收氫氧化四烷基銨。由於本發明的方法，可以獲得經回收之氫氧化鎗溶液，其中溶液的濃度及純度增加。循環已使用過之氫氧化鎗溶液不僅節省成本，而且也藉由降低或消除合成新氫氧化物化合物溶液的需求及免除相關之昂貴純化程序並降低廢棄溶液排出物的毒性而對環境有利。另外，不一定要儲存大量的化學物。經由本發明獲得之相當高濃度及純度的氫氧化鑰溶液可以有效地用於各種需要氫氧化鎌溶液的應用 ,Γ ,

Cp 〇較佳县體實施例之敘述在本發明的一個具體實施例中，氫氧化錄是自吸附有鎗陽離子之陽離子交換材料上回收，其包括： (A) 將該陽離子交換材料與選自鹼金屬氫氧化物和氫氧化銨之鹼水溶液接觸以形成氫氧化鑰，及 (B) 回收氫氧化鎗水溶液。本方法將於下面更詳細說明。在本發明的另一具體實施例中，氫氧化鎗是從含鎗化合物（如氫氧化錄及/或鎗鹽）之溶液中再生（生成、純化、或回收）。在一個具體實施例中，含鐘化合物之溶液爲一種已使用至一方法中之廢棄氫氧化鎗溶液，該方法例如爲製造印刷電路板及微電子晶片時的顯影程序。該程序會使雜質進入而且污染溶液。換句話說，含錄化合物之溶液 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------^---------^—0------------------------ 1304795 A7 _____B7____ 五、發明說明（女）可能爲已使用過的氫氧化鎗廢棄溶液。在另一個具體實施例中，含錄化合物之溶液爲一種已使用至一方法中之廢棄鎗鹽溶液。該溶液或廢棄溶液可能含有其他化合物，例如於上文和下文中所述的雜質。依據本發明方法所處理之含鑰化合物之溶液爲混合物 ’較佳爲一溶液，其含有可氧化液體和由約0.01%至約50 %重量之鎌化合物及一般含有各種不同數量之一或多種不欲的雜質，例如陰離子如鹵化物，碳酸鹽，甲酸鹽，硝酸鹽，亞硝酸鹽，硫酸鹽等，一些陽離子如包括鋅，鈣，鈉，鉀之金屬，及一些中性物種如光阻劑，甲醇，胺類等。可氧化液體可爲水，水和有機液體之混合物，或有機液體。有機液體包括醇類，例如甲醇及乙醇，乙二醇及相似者。在一個具體實施例中，根據本發明處理之溶液包含約 0·01重量％到約10重量％之鎗化合物。在說明書及申請專利範圍中，可將範圍及比例限制作組合。在一具體實施例中，本發明之方法可有效降低存在於錄化合物溶液中之離子性和非離子性雜質的數量，且生成高純度之氫氧化鎗。在一個進一步之具體實施例中，本發明之方法可導致在鎗化合物溶液中之金屬離子雜質及有機性雜質的還原，且同時生成高純度之氫氧化錄。在另一個具體實施例中，本發明方法有用於製備已純化之氫氧化錄，例如氫氧化四級銨，氫氧化四級銹及氫氧化三級銃。氫氧化鑰一般係以式（I)表示： Α(ΟΗ)χ (I) 8 -- —-------------- - --- ------------------- -...... — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ

訂i n n 1 n I n n n n n n n n n n ϋ I 1304795 A7 B7 五、發明說明（士）其中A爲鎗基團及X爲相等於A價之整數。鎗基團之實施例包括銨基團，鱗基團，及銃基團。在一具體實施例中，氫氧化鑰可充分地溶解在一溶液，例如水’醇或其他有機液體，或上述之混合物中，並可得到有用的回收率。氫氧化四級銨和氫氧化四級鐄可藉由下式（11 )表示 R2 I RVA-R3 Ί R4 OH. (II) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ 訂---------ί 其中A爲氮或磷原子，R1，R2，R3和R4分別爲含有由1至約20個碳原子或1到約10個碳原子之烷基，含有由2至約20個碳原子或2到約10個碳原子之羥烷基或烷氧基烷基，芳基，或羥芳基，或R1和R2共同與A形成雜環基，假若該雜環基含有C = A基，而R3爲第二鍵。 R1至R4之烷基可爲線性或分枝，且含有由1至20個碳原子之烷基之特定例子包括甲基，乙基，丙基，丁基，戊基，己基，庚基，辛基，異辛基，壬基，癸基，異癸基 ’十二烷基，十三烷基，異十三烷基，十六烷基和十八烷基。R1，R2，R3和R4亦可能爲含有2到5個碳原子之羥院基’例如羥乙基，及羥丙基、羥丁基、羥戊基等的各種不同異構物。在一具體實施例中，R1，R2，R3和R4分別爲含有由1到約4或5個碳原子之烷基，及含有2或3個碳原子之羥烷基。烷氧基烷基的特定例子包括乙氧基乙基，丁本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 1304795 A7 _B7__ 五、發明說明（Ί ) 氧基甲基，丁氧基丁基等。各種不同的芳基和羥芳基之例子包括苯基，苄基，和其中苯環經一或多個羥基取代之相等基團。可根據本發明處理之四級鎗鹽可藉由下式（m)表示 R2 I FT-A-R3 I R4 xy (III) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中A，R1，R2，R3和R4爲式Π中之定義，X—爲酸陰離子，而y爲相等於X價數之數字。酸陰離子之實施例包括重碳酸鹽，鹵化物，碳酸鹽，硝酸鹽，甲酸鹽，醋酸鹽，硫酸鹽，碳酸鹽，磷酸鹽等。可根據本發明方法處理之四級銨化合物（氫氧化物及鹽類）可以下式IV表示 R2 I R1-N-R3 I R4 Χ'γ (IV) y 其中R1，R2，R3和R4及y係如式III所定義，而X_ 爲氫氧根陰離子或酸陰離子。在一具體實施例中，R1到R4 爲含1到約4個碳原子之烷基，及含有2或3個碳原子之羥烷基。氫氧化銨之特定實施例包括氫氧化四甲基銨（ TMAH)，氫氧化四乙基銨（TEAH)，氫氧化四丙基銨，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1304795 B7 五、發明說明（^ ) 氫氧化四丁基銨，氫氧化四正辛基銨，氫氧化甲基三乙基錢，氫氧化二乙基二甲基錢，氫氧化甲基三丙基錢，氫氧化甲基三丁基銨，氫氧化十六烷基三甲基銨，氫氧化三甲基羥乙基銨，氫氧化三甲基甲氧基乙基銨，氫氧化二甲基二羥基乙基銨，氫氧化曱基三羥乙基銨，氫氧化苯基三甲基銨，氫氧化苯基三乙基銨，氫氧化苯甲基三甲基銨，氫氧化苯甲基三乙基銨，氫氧化二甲基吡咯烷鑰 (pyrolidinium)，氫氧化二甲基呢陡錄(piperidinium)，氫氧化二異丙基咪唑鑰(imidazolinium)，氫氧化N-烷基毗啶鎗等。在一具體實施例中，根據本發明處理之氫氧化四級銨爲TMAH及丁£人11。以式1乂代表之四級銨鹽可爲相似於前述氫氧化四級銨，除了氫氧根陰離子是例如由硫酸根陰離子、氯陰離子、碳酸根陰離子、甲酸根陰離子、磷酸根陰離子等取代。例如，鹽可爲四甲銨化氯、硫酸四甲錢 (y=2) ’四甲銨化溴’ 1甲基-2-丁基咪唑鎗六氟磷酸鹽，正丁基吡啶鎗六氟磷酸鹽等。可以根據本發明方法處理之式II (其中A=P)四級鱗鹽之例子包括氫氧化四甲基鱗，氫氧化四乙基鐵，氫氧化四丙基鱗’氫氧化四丁基鱗，氫氧化三甲基經乙基鱗，氫氧化二甲基二羥乙基鱗，氫氧化甲基三羥乙基錢，氫氧化苯基三甲基鳞’氫氧化苯基三乙基鐵及氫氧化卡基三甲基鱗等，及其相對應鹵化物、硫酸鹽、碳酸鹽與磷酸鹽等。在另一個具體實施例中，可根據本發明回收或純化之氫氧化三級銃及其鹽類可藉由下式表示： 11 本紙^尺^適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） '--- τί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I) Φ 訂---------線 1304795 B7 R2 I R、S· I R3 五、發明說明（？） Χ.γ (V) 其中R1，R2和R3，X·和y係定義於式III中。以式V表示之氫氧化三級毓化合物例子包括氫氧化三甲基銃，氫氧化三乙基銃，氫氧化三丙基毓等及相對應鹽類，例如鹵化物、硫酸鹽、硝酸鹽、碳酸鹽等。氫氧化鑰爲商用者。另外，氫氧化鎗可由相對應之錄鹽製備，該等鎗鹽例如相對應之鑰鹵化物，碳酸鹽，甲酸鹽，硫酸鹽及類似者。各種不同的製備方法係描述於美國專利 4,917,781 (Sharifian 等人）和 5,286,354 (Bard 等人 )，其倂於本文中作爲參考。對於如何得到或製備氫氧化鎗則沒有任何限制。在與陽離子交換材料接觸之前，含氫氧化錄及/或錄鹽及/或雜質之溶液可視需要地濃縮或另外預處理。亦即，可在與陽離子交換材料接觸之前增加在溶液中之氫氧化鑰及/或鑰鹽濃度，及/或雜質可由鎗化合物溶液中移除〇在一些具體實施例中，合適地在與陽離子交換材料接觸之前，濃縮氫氧化鎗及/或鑰鹽溶液。濃度步驟爲熟習該項技術者所熟知，包括蒸發，蒸餾，毫微過瀵 (nanofiltration)和逆滲透。在其他的具體實施例中，根據本發明，有用爲在與陽 12 y本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ?0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ 訂---------線. A7 1304795 ____B7 _ 五、發明說明（β ) 離子交換材料接觸之前，用一些過濾形式預處理鎗化合物溶液。可進行各種不同類型之過濾，包括重力過濾，微過濾如毫微過濾，交叉流過濾，筒式過濾(cartridge filtration) ，真空過濾和壓力引發過濾。亦可進行有關的粗濾和過篩預處理。過濾薄膜亦可使用習知之適用於從液體中分離出固體之材料，該等材料包括塑料如PTFE，PVDF，PET ’ 尼龍，聚乙烯和聚丙烯，醋酸纖維素，硝酸纖維素，再生纖維素，硝化纖維素，含無灰紙之紙張（paper including ashless paper)，及包括玻璃纖維的各種不同的纖維，及包括活性碳，二氧化矽，砂等的各種不同的微粒。另外，預處理可關於將鎗化合物溶液與各種不同微粒物質，例如活性碳接觸，以致於有機雜質被吸附，而因此藉由微粒物質從溶液中移除。在一些具體實施例中，因爲每種過濾預處理可移除不同的雜質物種，因此可進行超過一種類型（或途徑）之過濾預處理。例如，在一個具體實施例中，可進行兩種過濾預處理：有機雜質可藉由重力過濾實質或部份地移除，及金屬雜質可在增加溶液的pH値使某些金屬形成不溶解之氫氧化物鹽類以幫助過濾（且因此分離未溶解的物種）之後再藉由重力過濾的另一途徑來實質或部份地移除。在另一個具體實施例中，根據本發明，較佳爲在與陽離子交換材料接觸之前，用一些金屬處理形式預處理鑰化合物之溶液。金屬預處理可從鎗化合物之溶液中移除過量金屬雜質。在一個具體實施例中，金屬預處理係關於將鑰 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------i — 丨 1 — —丨訂 i -------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1304795 A7 圓 - _，_丨一· B7 五、發明說明（（丨） "'— 化合物f溶液與初步離子交換材料接觸以移除金屬。步離子交換材料較佳爲初步陽離子交換簡，其可選擇地辨識金屬陽離子和錄陽離子，使絲化合物溶液中的 -部份金屬離子雜質_該初步離子交換材料吸附。例如 ’根據本發明，在與陽離子交換材料接觸之前，對鈉具有親和性之初級離子交換材料可使用爲金屬預處理以從錄化合物之溶液中移除鈉。在另一個具體實施例中，金屬預處理係關於將鎗化合物丨谷液與金屬複合化合物接觸。在根據本發明與陽離子交換材料接觸之前，該金屬複合化合物可與鎗化合物溶液中之至少一部份金屬離子雜質吸附，鍵結，錯合，配位，螫合或甚至接合，藉此將彼等從溶液中移除。金屬複合化合物的例子包括冠狀醚，穴狀配體(CryptandS)及蜜合化合物 (二胺類’二酮酯類等）。在仍有的另一個具體實施例中，根據本發明，在與陽離子交換材料接觸之前，金屬預處理關於將鎗化合物溶液與足以和金屬陽離子形成不溶解沈澱物（至少部份不溶解 )之酸或鹽接觸，藉此可輕易地將沈澱物亦及該金屬由溶液中移除。根據本發明，含有鎗化合物的溶液係與第一陽離子交換材料接觸，使得陽離子交換材料吸附溶液中的鑰陽離子 (衍生自氫氧化翰及/或鎗鹽之陽離子）。陽離子交換材料可以是任何可有效吸附由鑰化合物衍生出之鑰陽離子的離子交換材料。陽離子交換材料可以是弱酸性陽離子交換材 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 1304795 ^-------- -B7 五、發明說明（C ) 料或強酸f馆離子交難料。_子交換__礎(base) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^以是f機随子交換簡’例如贿子交贿脂或無機陽離子交換材料，例如沸石，矽膠或相似物。陽離子交換材料可以是粉末，九粒，顆粒，薄膜及/或纖維材料之形式。視鎗化合物溶液的本質及性質而定，可 2組合一種或多種陽離子交換材料，例如爲弱酸性陽離子交換材料及強酸性陽離子交換材料的組合，無機陽離子交換材料和有機陽離子交換材料的組合，二種或多種爲不同形式’例如粉末與纖維的陽離子交換材料之組合。就陽離子交換材料的加工性’經濟觀點及離子交換能力而言，較 ifc者爲顆粒狀弱酸性陽離子交換樹脂及/或強酸性陽離子交換樹脂。在一具體實施例中’可在本發明中利用爲氫離子 (H+)形式之陽離子交換材料。有用陽離子交換材料的例子包括凝膠狀或孔隙形狀之陽離子交換樹脂，其之產生是經由導入磺酸基團或羧酸基團到例如苯乙烯聚合物或共聚物（如聚苯乙烯和相似物） ’丙烯酸聚合物或共聚物（如聚丙烯酸樹脂及相似物），甲基丙烯酸聚合物或共聚物（如聚甲基丙烯酸樹脂及相似物），及四氟乙烯聚合物或共聚物（如聚四氟乙烯及相似物）之聚合物或共聚物基質(copolymer base)中，或到經改性聚合物或共聚物基質（其是用交聯劑，例如二乙烯苯或類似物改性之聚合物或共聚物來製備）。陽離子交換材料進一步包括磷酸樹脂和亞磷酸樹脂’以及無機陽離子交換材料，例如沸石，矽石凝膠及類似物。 15 ^本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 1304795 ___B7____ 五、發明說明（（））特定的實施例包括分別來自Rohm&Haas公司及Dow Chemical公司，商品名爲AMBERLITE®及DOWEX®的陽離子交換樹脂固體。更特定的實施例包括商標名爲 AMBERLITE 之交換樹月旨，例如 IR-100 ， IR-105 ， IR-105 G，IR-112，IR-120，IR-122，IR-124，IRC-50，IRC-76 及 IRC-84SP，及來自Rohm & Haas公司之商標名爲 DUOLITE 的樹月旨，例如 C-280 ， C291 ， C-433 及 C-464 ; Sumitomo Chemical 公司之 C-464 ;來自 Dow Chemical 公司之商標名爲DOWEX的樹脂，例如HGRW2，HCR-S， HGRW2，MWC-卜 50WX2，50WX4 和 50WX8 及商標名爲 MONOSPHERE DOWEX 的樹月旨，例如 C350 ， C500 及 C650 ; Sybron 之 Ionac CC 及 C-267 ; Organo 公司之各種不同的陽離子交換樹脂；及Mitsubishi Kasei公司之商標名爲 DIAION 的樹脂，例如 PK216H，PK212，PK228， HPK25，SK-1BS，SK-104，SK-112，SK-116，WK10， WK11 ’ WK20 ’ WK40及WK100。在一具體實施例中，陽離子交換樹脂爲至少一來自Rohm&Haas公司之IRC-84SP ;來自 Dow Chemical 公司之 MONOSPHERE DOWEX C350 ，C500 及 C650 ;及來自 Mitsubish Kasei 公司之 PK216， PK212 及 WK40 及來自 Bayer 之 Lewatit CNP80。根據陽離子交換材料的特性及形式，可以使用任一習知將含有氫氧化鑰及/或錄鹽之溶液與陽離子交換材料接觸的方法。例如，可利用柱狀系統於含鎗化合物之溶液通過塡充有陽離子交換材料的管柱。另外，可利用批次系統將 16 产、紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ 訂---------_ A7 1304795 _____B7____ 五、發明說明（# ) 陽離子交換材料加入含鑰化合物之溶液中，以致於後者與前者藉由攪拌接觸，而之後將混合物過瀘以使固液分離。吸附有鎗陽離子之陽離子交換材料然後與無機鹼溶液 ’例如鹼金屬氫氧化物或氫氧化鏡接觸，藉此所吸附之鎗陽離子被沖提並從其中去除，而形成所欲氫氧化鎗溶液。在利用管狀系統之具體實施例中，鹼可以同向流或逆流方式加入管中。用於本發明中之鹼水溶液可爲無機鹼溶液。在一具體實施例中，無機鹼爲鹼金屬氫氧化物或氫氧化銨。在另一具體實施例中，驗爲鹼金屬強驗，其爲選自氫氧化鈉，氫氧化鉀及氫氧化鋰。在水溶液中鹼之濃度可在廣範圍中變化，且一般水溶液將包含約5w%到約20w%或25w%鹼。在一具體實施例中，鹼濃度爲約5到約12%。當氫氧化鑰從含鎗陽離子之陽離子交換材料中沖提出時，合意爲將所收集之鹼金屬氫氧化物或氫氧化銨之量降到最小。藉由改變鹼溶液之流速及與陽離子交換材料接觸之鹼的濃度，有可能降低所收集之鹼量。當使用離子交換管柱時，在取決於陽離子交換材料及鹼之特性而定，可改變所欲之流速和濃度。在每一例中流速及濃度含量可由熟習該項技術者決定。利用與批次程序相對之離子交換管柱的優點之一是程序可以用半連續方法進行’藉此一給定量之含氫氧化鎗及/ 或鎗鹽之溶液被抽取通過離子交換管柱，而流出物可以兩或多個餾份收集。例如，流出物可分爲三個餾份：第一餾 17 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) · I------訂---------. A7 1304795 ______B7 ____ 五、發明說明（) 份將只包含少量氫氧化鎗；第二餾份將包含相當高濃度之氫氧化鎌；且第三館份(最後觀份)將包含較少量氫氧化錄。第一餾份及第三餾份可被作爲廢棄物或如說明書所敘述般再利用。例如，第一餾份及第三餾份可被再利用爲無機鹼來源。爲了簡潔的緣故，下述討論將關於收集前述三個餾份之情形’及包含高濃度氫氧化鎗之中間餾份（例如從8到 15或20重量百分比）被認爲是本方法之產物。本發明方法之另一優點爲前述方法導致氫氧化鎗直接生成並回收。在前面說明之先前技藝方法中，已吸附有鑰陽離子之陽離子交換材料係使用酸處理，因此產生鎗鹽，而其隨後必須以昂貴電解或電滲析方法處理以轉化鹽成爲所欲氫氧化物。因此，本發明方法將比習知技藝方法更具經濟性’因爲其消除先前技藝方法中最昂貴之步驟。在一些例子中，根據本發明前述方法，自陽離子交換樹脂回收之氫氧化鎗溶液包含一些作爲雜質之鹼物質，而在水溶液中氫氧化鑰之濃度可能不會在所有應用中達到可接收含量。在根據本發明之一具體實施例中，自前述方法 (例如自第一離子交換管柱）回收之氫氧化錄可能包含不想要之雜質及/或不足夠氫氧化錄濃度。雜質含量的降低以及氫氧化鎗濃度的增加可藉由將前面方法（第—管柱）所得溶液和第二陽離子交換材料（其爲相對應鎗陽離子形式) 接觸以達成。亦即，若欲藉由與第二陽離子交換材料接觸以純化之氫氧化鑰爲TMAH時，在純化步驟中陽離子交換 _____ 18 本紙張尺度刺中H ®家標準（CNS)A4規格（2ϋ7公爱）~~ -*-----〜 Τ (請先閱讀背面之注咅3事項再填寫本頁) --------訂--------- 1304795 A7 ______B7___ 五、發明說明（A ) 樹脂應爲TMA陽離子形式。爲TMA陽離子形式之陽離子交換樹脂可藉由使陽離子交換材料與含TMAH水溶液接觸來製備。含有爲此目的而被利用之TMAH溶液可爲含 TMAH廢物流或含較高濃度TMAH之TMAH水溶液。 TMAH來源可爲來自第一陽離子交換管柱之第一或第三餾出物。顯而易見，含有已吸附有鎗陽離子之陽離子交換材料之第二管柱可如同已吸附有鎗陽離子之第一陽離子交換管柱般的相同方式來形成。因此，在一具體實施例中，本發明之實施可如下述方式進行： 1) 提供數個並聯且含有爲水合氫離子形式的陽離子交換樹脂管柱； 2) 將含少量(例如0.5w%)TMAH之水溶液與含在第一管柱中之爲水合氫離子形式的陽離子交換樹脂接觸； 3) 丟棄流出物，且當在管柱1中陽離子交換樹脂之能力被耗盡時，終止流進管柱1中廢棄物流並轉入管柱2中 j 4) 含TMAH之水溶液被加入管柱2中，直到含在管柱 2中之樹脂的樹脂能力被耗盡時，然後，含TMAH之水溶液流被轉入管柱3中。本方法再於管柱4中處理，直到水溶液被消耗完； 5) 當在管柱1中樹脂能力被耗盡且TMAH水溶液已被轉移入不同管柱中時，前述鹼水溶液然後被加到管柱1中以從樹脂中沖提出TMAH並形成比初始溶液含有較少雜質及有較高TMAH濃度之TMAH水溶液。 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） j\ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----I— I—訂-!------線 1304795 A7 __B7_ 五、發明說明（1 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 被收集成爲第一管柱之流出物之TMAH溶液(或其餾份)可然後藉由在管柱2中將溶液與陽離子交換樹脂接觸來進一步純化及濃縮。在此步驟中，第二管柱變成純化塔。存在於自管柱1中所回收之TMAH溶液中的鈉陽離子被吸附於樹脂上以交換形成額外TMAH之TMA陽離子。從第二管柱中（亦即，純化塔）回收TMAH溶液具有明顯減低之鈉及其它陽離子雜質含量。一般來說，鈉及其它陽離子雜質之含量爲十億分之百的範圍，而此物質將符合TMAH — 些使用者的規格。在一實施例中，在自第二管柱中所回收之溶液中的TMAH濃度將會增加，例如爲約15%w。在本發明之一具體實施例中，包含少但爲明顯數量之鹼及氫氧化鑰的流出物餾份可被回收並作爲沖提管柱之較高濃度鹼溶液的補充液。例如，爲氫氧化鈉晶體形式或爲商業可利用之氫氧化鈉濃縮物(50%氫氧化鈉)的經濃縮氫氧化鈉可被加到含3到4%氫氧化鈉之流出物中以提供所欲濃度，例如約10%氫氧化鈉，以作爲從TMA陽離子已被陽離子交換材料所吸附之管柱中沖提出TMAH的鹼溶液。回收及利用含3到5%氫氧化鈉之鹼溶液的能力會使廢棄問題明顯降低，降低氫氧化鈉廢棄物，及降低整體程序所需之氫氧化鈉成本與份量。同時，因爲來自鹼之金屬或銨離子取代在陽離子交換材料上之鑰離子，陽離子交換材料可藉由與酸接觸而容易被再生（亦即，回到水合氫離子或質子形式）再利用。用於再生陽離子交換材料之酸可選自無機酸，例如氫氯酸，氫 20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 1304795 五、發明說明（戍）硼酸，硝酸，硫酸，碳酸，隣酸，亞磷酸及相似物，和有機酸，例如醋酸，甲酸，草酸及相似物。在一具體實施例裡，酸具有pKa爲小於約5 ’ pKa較佳爲小於約4 °酸的濃度範圍非常廣，而且可以爲選自高於約0.01%到高於約20 %的寬廣範圍。在一具體實施例中，酸較佳爲無機酸。有用酸之特別實施例包括碳酸，氫氯酸或經稀釋的硫酸，而其具有高於約0.05%或高於約2.0%之濃度。酸與已使用過之陽離子交換材料接觸’藉此移除金屬離子（例如鈉離子）並形成水溶性金屬鹽。自陽離子交換材料沖提出之金屬鹽，其至少一部份是由含金屬陽離子(衍生自起初與已使用過之陽離子交換材料接觸之鹼溶液)和陰離子（衍生自用於再生已使用過之陽離子交換材料之酸）之化合物所組成。在一些例子中，令人合意的是進一步純化氫氧化鎗溶液，該氫氧化鎗溶液是在當從第一陽離子交換管柱中所回收之氫氧化鎗溶液通過第二陽離子交換管柱時獲得的。例如’可能爲令人合意的是進一步純化爲特別電子應用的氫氧化鑰。令人合意的是例如移除金屬離子雜質(例如Na+)。爲了進一步純化氫氧化鎗溶液使其能在超純應用中使用，例如在半導體製造中使用，溶液可以與爲氫氧離子形式之陰離子交換材料接觸及/或和爲鎗離子形式之第三陽離子交換材料接觸。另外，取代或除了第三陽離子交換材料之外 ’氫氧化錄溶液可與金屬離子淸除劑(scavenger)接觸，該淸除劑包括至少一螯合化合物，毫微孔隙物質及磁性輔助 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ---------線, 21

A7 1304795 ___ B7_____ 五、發明說明（/?) 之化學分離(MACS)物質。本方法及適用於本方法中之金屬離子淸除劑被更詳細說明於共同申請中之美國申請案第 09/370,682(Moulton等）中。另外，金屬離子的移除可藉由將所回收氫氧化鎗溶液和能與金屬陽離子接觸以形成不可溶沉澱物（至少部份不可溶）之酸或鹽接觸，藉此能使沉澱物及來自氫氧化鎗溶液產物之金屬離子容易被移除。這些額外之純化步驟被稱爲”超純化作用”。當陰離子交換樹脂及陽離子交換樹脂兩者被作爲陰離子交換材料時，陰離子交換樹脂和陽離子交換樹脂可彼此混合並以塡充於管柱或塔中之經混合離子交換材料之形式來使用。然而，較佳是以塡充於管柱或塔中之層狀結構形式來組合使用，其中陰離子交換樹脂被置於陽離子交換樹脂（其置於下游側）之上游側。當要預處理之氫氧化鎌溶液只包含少量光阻劑時，然而，陽離子交換材料可被置於陰離子交換樹脂（其置於下游側）之上游側。再者，塡充有陰離子交換樹脂之上游管柱或塔可以與塡充有陽離子交換樹脂之下游管柱或塔有關之方式來被分開置放。在只有一陰離子和陽離子交換樹脂之例中，當經由長時間操作而使離子交換能力降低或退化時，其可容易以新鮮樹脂取代。可能用於本發明之陰離子交換材料之實施例包括商業上可利用之陰離子交換樹脂，例如苯乙烯，丙烯酸或類似形式之陰離子交換樹脂，其可爲纖維，顆粒或類似形式。陰離子交換材料可被單獨使用，或以混合物形式使用，或爲任意比例之數個混合物之層狀結構。苯乙烯類型陰離子 22 &谷本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------- I I I I---訂· — ----I I i^w— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 1304795 五、發明說明（γ) 交換樹脂尤其適用於移除光阻劑。丙烯酸類型陰離子交換樹脂是藉由交聯甲基丙烯酸及其酯類和二乙烯基苯(DVB) 或類似物來獲得。強鹼陰離子交換樹脂係適用於移除光阻劑，但是弱鹼性陰離子交換樹脂亦可特別對中性或酸性側產生影響。因此’數個強及弱鹼性陰離子交換樹脂亦可以混合物或爲任意比例之層狀結構來使用。儘管陰離子交換樹脂之平衡離子可爲ΟΗΓ，或Cl_或類似物時，較佳使用爲 OH形式之陰離子交換樹脂(其具有作爲平衡離子之〇H-)。這是因爲使用爲Cl或類似形式之陰離子交換樹脂(其具有 cr或類似物作爲平衡離子)會導致至少部份錄離子之平衡離子轉化成cr或類似離子。當弱鹼性陰離子樹脂被用於中性或酸性側上時，或當爲C1或類似形式之陰離子交換樹脂被使用時，鎗鹽可藉由熟習該項技術者所習知之步驟被轉化成氫氧化物形式。爲Η離子或鎗離子形式之陽離子交換材料（其可用於本發明之超純化步驟中）之實施例包括前述之陽離子交換材料且其可爲弱酸或強酸性。彼等可單獨使用或爲混合物形式使用或爲任意比例之數個混合物之層狀結構使用。商業上可利用之陽離子交換材料通常爲Η形式或爲鈉離子形式(Na形式）。該陽離子交換樹脂(若原先爲Na形式時則較佳轉化成Η形式)可以在陽離子交換樹脂提供服務之前先轉化成錄形式，以避免發生下列現象：鑰陽離子於溶液通過陽離子交換樹脂之初始階段時被吸附於陽離子交換樹脂上，而降低所得處理溶液中鑰濃度。更特定言之，較 23 γ本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線· 1304795 A7 --------B7___ 五、發明說明（W ) 佳爲使用轉化成鎗陽離子形式後的陽離子交換樹脂，儘管陽離子交換樹脂可以Η形式使用。然而，亦可使用爲不完全鎗形式但爲部份Η形式之陽離子交換樹脂，或爲Η形式之陽離子交換樹脂及爲鎗形式之陽離子交換樹脂兩者可進一步以混合物形式或爲任意比例之層狀結構來使用。使用另外以鹼水溶液及酸水溶液處理而然後再以超純水淸洗之陰離子交換樹脂或陽離子交換樹脂爲較佳的，以使其不含有可能在操作期間被瀝出之物質。在基於可容許各種不同雜質，例如光阻劑之份量下來決定使用陰離子交換樹脂或陽離子交換樹脂其中之一，或兩者來作爲陰離子交換樹脂，關於使用該溶液時，其它陰離子及陽離子可能留在欲復原之氫氧化鎗溶液中。在所復原之氫氧化鎗溶液被作爲產生電子元件如前述半導體裝置，液晶顯示器及印刷電路板之顯影劑之例中，所欲爲使用陰離子交換樹脂及陽離子交換樹脂兩者。下述實施例說明本發明之方法。除非在實施例，說明書及申請專利範圍中有另外指定，所有份量及百分比均爲重量比，溫度爲。C，而壓力爲大氣壓或近大氣壓下。實施例1 將Bayer AG，CNP-80之商業陽離子交換樹脂被用來塡充於直徑2.2公分之管柱中使樹脂高度達約53公分。陽離子交換材料爲再生（水合氫離子）形式。14升之具有 0.5w%氫氧化四甲基銨（TMAH)之廢棄物水溶液以800毫升/小時流速通過樹脂管柱。在水溶液中TMA陽離子被吸 _^__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線· A7 1304795 __B7__ 五、發明說明（θ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 附於陽離子交換樹脂上。因爲樹脂是特定於陽離子，含在稀釋廢棄物流中之陰離子及有機雜質通過樹脂，而含較高濃度此類雜質之流出物可被丟棄。然後使用800毫升之 10wt%氫氧化鈉水溶液將ΤΜΑ陽離子從陽離子交換樹脂中沖提出，該氫氧化鈉水溶液是以約200毫升/小時之流速從管柱中被抽取出。在氫氧化鈉溶液之後，緊接爲600毫升去離子水，其是以200毫升/小時之流速通過。來自陽離子交換管柱中作爲流出物之溶液被分成3個分開餾分。第一 200毫升流出物係作爲第一流出物。具有63ppb(w)鈉及 0.4w%之TMAH組成之稀釋餾分可被再利用或被棄置作爲廢棄物。下個600毫升流出物被分開收集作爲第二流出物。其包含1.4w%氫氧化鈉及10%TMAH。該餾分爲所欲 TMAH溶液。最後，收集下個來自管柱之600毫升流出物餾分，而此餾分包含2.5w%氫氧化鈉及2.2w%TMAH。稀釋餾分可被再利用（例如作爲氫氧化鈉來源）或丟棄作爲廢棄物。用於本實施例中之陽離子交換樹脂可藉由以流速1500 毫升/小時將7〇〇毫升之6.7w%硫酸，且接著爲600毫升去離子水通過樹脂以製備可再利用之樹脂。自該步驟中所收集之溶液包含200ppm(w)TMAH並可被丟棄作爲廢棄物。實施例2 此實施例說明本發明之方法，其中在實施例1所回收作爲產物之TMAH溶液(第二餾分)被進一步藉由將產物溶液與第二陽離子交換樹脂管柱（其中樹脂爲TMA離子型 25 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 1304795 ____B7 __ 五、發明說明（V7)) 式）接觸來純化。如實施例1所說明之步驟般’樹脂爲 TMA陽離子形式之第二陽離子樹脂管柱可藉由將TMAH 溶液通過陽離子交換樹脂管柱來製備。因此，600毫升之於實施例1中回收作爲第二流出物並包含1重量％氫氧化鈉與10的溶液係通過第二陽離子交換樹脂管柱，其中樹脂爲CNP-80且爲TMA 陽離子形式。TMAH通過管柱，然而鈉離子及其它陽離子雜質被吸附於第二管柱中的樹脂，藉此移除溶液中之雜質〇離開第二離子交換樹脂管柱之第一 200毫升溶液被收集作爲第一流出物，且該流出物具有26ppm氫氧化鈉及 0.4重量％TMAH之組成。該稀釋餾份可被再利用或被丟棄作爲廢棄物。下一個600毫升作爲第二流出物被收集，且被認爲是製程產物(其包含14w%TMAH及只有200ppb鈉) 。收集包括600毫升之第三及最後的餾份，且發現包含 3%TMAH與4%氫氧化鈉。該稀釋流可被再利用或被丟棄作爲廢棄物。製備可再利用之陽離子交換樹脂管柱是藉由以1400 毫升/小時流速使600毫升6.7w%硫酸接著爲1〇〇毫升去離子水通過所使用管柱。從該步驟中所收集之溶液包含小於 lOppm重量之TMAH且可被丟棄作爲廢棄物。實施例3 此實施例利用具有樹脂高度爲20公分，直徑爲2.0公分之陽離子交換樹脂CNP-80。樹脂爲再生水合氫離子形式 26 。j本紙張尺度適財關家標準（CNS)A4規格（21G X 297公愛) -- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) # 訂-------!線. 1304795 B7 五、發明說明（綷）。5升之具有濃度爲〇.5w%之氫氧化四乙基銨(TEAH)溶液係通過樹脂管柱。於水溶液中之TEA陽離子被吸附於陽離子交換樹脂上。TEAH然後使用含l〇w%氫氧化鈉水溶液而自樹脂沖提出，該氫氧化鈉係以1〇〇到150毫升/小時之流速通過管柱。氫氧化鈉溶液後接者爲流速100到150毫升/ 小時之去離子水。來自離子交換管柱作爲流出物之溶液被以三個個別餾份收集。分離第一個100毫升流出物作爲第一流出物，且該餾份包含5ppb重量鈉及〇.〇5w%TEAH。收集下一個300 毫升流出物作爲產物，且該流出物包含〇.6w%氫氧化鈉及 8w%TEAH。收集下一個200毫升來自管柱之流出物，且該餾份發現包含2.3w%氫氧化鈉及lw%TEAH。該稀釋餾份可被再利用或被丟棄作爲廢棄物。實施例4 在此實施例中，來自Mitsubishi，名稱爲WK-40之市售陽離子交換材料被用於具有53公分樹脂高，直徑爲2.2 公分之管柱中。陽離子交換材料爲再生水合氫離子形式。具有濃度爲〇.48以％了^1人11之廢棄物水溶液（16.7升)係通過樹脂管柱。於水溶液中之TEA陽離子被吸附於陽離子交換樹脂上。TMAH然後使含14w%氫氧化鉀水溶液以200毫升/小時流速通過管柱而自樹脂沖提出。氫氧化鉀溶液後接者爲去離子水。來自離子交換管柱作爲流出物之溶液被以三個個別館份收集。分離第一個2〇〇毫升流出物作爲第一流出物，且該餾份包含〇.3〇w%TMAH。該稀釋餾份可被再 27 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —I-----1—— I———！訂-------11 —Awn (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1304795 a/ ___B7_____ 五、發明說明（K ) 利用或被丟棄作爲廢棄物。收集下一個600毫升流出物作爲產物，且該餾份包含氫氧化鉀及UAwXTMAH。收集下一個500毫升之流出物，且該餾份發現包含7.08w% 氫氧化鉀及1.1 W%TMAH。該稀釋餾份可被再利用或被丟棄作爲廢棄物。實施例5 在此實施例中，所利用陽離子交換樹脂爲WK_4〇且爲再生水合氨離子形式’並且父換樹脂被用於具有53公分樹脂高，直徑爲2.2公分之管柱中。具有濃度爲〇.5w%TEAH 之廢棄物水溶液（16升)係通過樹脂管柱中’而TEA被吸附於陽離子交換樹脂上。TMAH然後使用含6.0w%氫氧化鋰水溶液以200毫升/小時流速通過管柱而自樹脂沖提出。氫氧化鋰溶液後接者爲去離子水。來自離子交換管柱作爲流出物之溶液被以三個個別餾份收集。分離第一個200毫升流出物作爲第一流出物，且該餾份包含O.WwyoTMAH。收集下一個600毫升流出物作爲產物，且該餾份包含〇.〇3w% 氫氧化鋰及11.3w%TMAH。收集第三餾份並將其丟棄。當本發明已經以有關具體實施例解釋，應瞭解對熟習該項技術者而言，在閱讀說明書之後，將明白其各種不同修飾。因此，應瞭解此處所揭示本發明係涵蓋此類在所附申請專利範圍範疇內之修飾。 28

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） VI (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ 訂---------線·

Claims

1304795 398859 abcd 7 nr 'L 更 Ί. 六、申請專利範園 1、一種從吸附有鎗陽離子之陽離子交換材料中回收氫氧化鎗之方法，其包括： (A) 將該陽離子交換材料與無機氫氧化物水溶液接觸以形成氫氧化鎗，及 (B) 回收氫氧化鎗水溶液。 2、根據申請專利範圍第1項之方法，其中該鎗陽離子爲四級銨陽離子，四級鐵陽離子，或三級鏑陽離子。 3、根據申請專利範圍第1項之方法，其中鎗陽離子爲四級銨陽離子。 4、根據申請專利範圍第3項之方法，其中該四級銨陽離子是以下式爲特徵： r~ I + 厂Γ L r< ^ 其中R1，R2，R3及R4分別爲含有由1至約10個碳原子之院基，含有由2至約10個碳原子之經院基或院氧基院基，或芳基，或羥芳基，或R1和R2爲烷基，彼等連同氮原子可以形成芳族或非芳族雜環，其條件是假若該雜環基含有_C = N_，而R3爲第二個鍵。 5、一種從吸附有四級銨陽離子之陽離子交換材料中回收氫氧化四級銨之方法，其包括： (A)將該陽離子交換材料與鹼金屬氫氧化物水溶液接觸 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4规格(210x297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 訂 A8B8C8D8 1304795 六、申請專利範圍以沖提出氫氧化四級銨，及 (B)回收氫氧化四級銨水溶液。 6、根據申請專利範圍第5項之方法，其中鹼金屬氫氧化物爲選自氫氧化鈉，氫氧化鉀及氫氧化鋰。 7、根據申請專利範圍第5項之方法，其中被吸附於陽離子交換材料上之四級銨陽離子是以下式爲特徵： «—II, 1 Ht* f |!^·Ιιι· m 1^1».,.··!!··.^^ R4 其中R1，R2，R3及R4分別爲含有由1至約10個碳原子之烷基，含有由2至約1〇個碳原子之羥烷基或烷氧基院基，或芳基，或羥芳基，或R1和R2爲烷基，彼等連同氮原子可以形成芳族或非芳族雜環，其條件是假若該雜環基含有_C = N_，而R3爲第二個鍵。 8、根據申請專利範圍第7項之方法，其中R1，R2， R3及R4爲含有1到5個碳原子之烷基。 9、根據申請專利範圍第7項之方法，其中R1，R2， R3及R4爲含有1或2個碳原子之烷基。 10 . —種從含鎗化合物溶液中回收氫氧化鎗之方法，包括： (A)將包括鎗陽離子和陰離子之含鎗化合物溶液與爲氫形式之陽離子交換材料接觸，藉此至少一部份鎗陽離子被 2 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1304795 六、申請專利範圍吸附於陽離子交換材料上； (B) 將含有已吸附鎗陽離子之陽離子交換材料與無機氫氧化物水溶液接觸以沖提出氫氧化鎗；及 (C) 回收所沖提出之氫氧化錄溶液。 11、根據申請專利範圍第10項之方法，其中錄化合物爲四級銨鹽。 12、根據申請專利範圍第10項之方法，其中該鎗化合物爲選自氫氧化四級銨，氫氧化四級鱗或氫氧化三級銃 0 13、根據申請專利範圍第1〇項之方法，其中鎗化合物爲選自氫氧化鎗及鎗鹽。 Η、根據申請專利範圍第Π項之方法，其中鎗鹽爲選自重碳酸鹽，鹵化物，硝酸鹽，甲酸鹽，醋酸鹽，硫酸鹽，碳酸鹽及磷酸鹽。 15、根據申請專利範圍第10項之方法，其中鎗化合物爲四級銨化合物。 16、根據申請專利範圍第I5項之方法，其中該四級銨化合物是以下式爲特徵：厂ί R1—Ν-R* X y R4 L- y 其中R1，R2，R3及R4分別爲含有由1至約10個碳原子之烷基，含有由2至約10個碳原子之羥烷基或烷氧基烷 3 ^紙張尺度Ϊ用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐〉 ----------------------聲...............訂................ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ' 1304795 1 D8 六、申請專利範園 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 基’或芳基，或羥芳基，或R1和R2爲烷基，彼等連同氮原子可以形成芳族或非芳族雜環，其前提是假若該雜環基含有-C = N-，而R3爲第二個鍵；X爲氫氧根陰離子或酸陰離子；且y爲相等於X價數之數字。 17、根據申請專利範圍第16項之方法，其中X爲鹵化物，氫氧根，硫酸根，磷酸根或碳酸根陰離子。 18、根據申請專利範圍第16項之方法，其中X爲氫氧根陰離子。 19、根據申請專利範圍第16項之方法，其中R1，R2 ，R3及R4爲含有由1至約4個碳原子之烷基，或含有由2 至5個碳原子之羥烷基。 20、根據申請專利範圍第16項之方法，其中鹼金屬氫氧化物爲選自氫氧化鈉，氫氧化鉀及氫氧化鋰。 21、一種從含四級銨化合物水溶液中回收氫氧化四級銨之方法，包括： (A) 將包含四級銨化合物溶液與爲氫形式之陽離子交換材料接觸，藉此至少一部份四級銨陽離子被吸附於陽離子交換材料上； (B) 將含有經吸附四級銨陽離子之陽離子交換材料與選自氫氧化鈉，氫氧化鉀及氫氧化鋰之鹼金屬氫氧化物水溶液接觸以沖提出氫氧化四級銨溶液；及 (C) 回收經沖提出包含鹼金屬氫氧化物份量之氫氧化四級銨溶液。 22、根據申請專利範圍第21項之方法，其中鹼金屬 4 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇x297公釐） 1304795 、申請專利範圍氫氧化物爲選自氫氧化鈉，氫氧化鉀及氫氧化鋰。 23、根據申請專利範圍第21項之方法，其中該四級銨化合物是以下式爲特徵： R* R4 其中R1，R2，R3及R4分別爲含有由1至約10個碳原子之烷基，含有由2至約10個碳原子之羥烷基或烷氧基院基，芳基，或羥芳基，或R1和R2爲烷基，彼等連同氮原子可以形成芳族或非芳族雜環，其條件是假若該雜環基含有-C = N-，R3爲第二個鍵；X爲氫氧根陰離子或酸陰離子 :且y爲相等於X價數之數字。 24、根據申請專利範圍第23項之方法，其中X爲鹵化物，氫氧根，硫酸根，磷酸根，甲酸根，醋酸根或碳酸根陰離子。 25、根據申請專利範圍第23項之方法，其中X爲氫氧根陰離子。 26、根據申請專利範圍第23項之方法，其中R1，R2 ，R3及R4爲含有由1至約4個碳原子之烷基，或含有由2 至5個碳原子之羥烷基。 27、一種從吸附有鑰陽離子之陽離子交換材料中回收氫氧化鑰之方法’其包括：本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公笼) (請先閱讀背面之注意事項再塡窝本頁)

A8B8C8D8 1304795 六、申請專利範圍 (A) 將該陽離子交換材料與無機氫氧化物水溶液接觸以形成氫氧化鎗， (B) 回收氫氧化鎗水溶液， (c)將在步驟(B)回收的水溶液與經吸附鎗陽離子之陽離子交換材料接觸，該經吸附鎗陽離子與吸附於步驟(A)所用之陽離子材料上的陽離子相同，藉此含在溶液中之至少一部份無機氫氧化物陽離子被陽離子交換材料所吸附，及 (D) 回收含有減量無機氫氧化物的氫氧化鎗溶液。 28、根據申請專利範圍第27項之方法，其中於步驟 (D)中所回收之氫氧化鎗溶液被進一步純化，其是經由 (E) 將於步驟(D)中所回收之氫氧化鎗溶液分別或以任何順序與爲羥基形式之陰離子交換材料及爲鎗形式之碭離子交換材料接觸或與其混合物接觸，其中鎗陽離子與吸附在步驟(A)中之陽離子交換材料上的鑰陽離子相同。 29、一種從吸附有四級銨陽離子之陽離子交換材料中回收氫氧化四級銨之方法，其包括： (A) 將該陽離子交換材料與鹼金屬氫氧化物水溶液接觸以形成氫氧化四級毅， (B) 回收氫氧化四級銨水溶液， (c)將在步驟(B)回收的溶液與經吸附四級銨陽離子之陽離子交換材料接觸，該經吸附陽離子與吸附於步驟(A)所用之陽離子交換材料上的陽離子相同，藉此含在溶液中之至少一部份鹼金屬陽離子被陽離子交換材料所吸附，及 (D)回收含有減量鹼金屬的氫氧化四級銨溶液。 6 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210x297公釐) A8B8C8D8 1304795 六、申請專利範圍 30、根據申請專利範圍第29項之方法，其中於步驟 (D)中所回收之氫氧化四級銨溶液被進一步純化，其是經由 (E)將於步驟(D)中所回收之氫氧化四級銨溶液分別或以任何順序與爲羥基形式之陰離子交換材料及爲四級銨形式之陽離子交換材料接觸或與其混合物接觸，其中四級銨陽離子與吸附在步驟(A)中之陽離子交換材料上的四級銨陽離子相同。 31、一種從含有鎗化合物溶液中回收氫氧化鎗之方法，其包括： (A) 將包括鎗陽離子及陰離子之含鎗化合物溶液與爲氫形式之陽離子交換材料接觸，藉此至少一部份鎗陽離子被吸附於陽離子交換材料； (B) 將含有經吸附鎗陽離子之陽離子交換材料與無機氫氧化物水溶液接觸以沖提出氫氧化鎗； (c)將在步驟(B)回收的溶液與經吸附鎗陽離子之陽離子交換材料接觸’藉此至少一部份鹼金屬陽離子被陽離子交換材料所吸附，及 (D) 回收含有減量鹼金屬離子的氫氧化鎗溶液。 32、根據申請專利範圍第η項之方法，其中於步驟 (D)中所回收之氫氧化鎗溶液被進一步純化，其是經由 (E) 將於步驟(D)中所回收之氫氧化翰溶液分別或以任何順序與爲經基形式之陰離子交換材料及爲鑰形式之陽離子交換材料接觸或與其混合物接觸。 33、根據申請專利範圍第32項之方法，其中氫氧化 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁)

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A8B8C8D8 1304795 六、申請專利範圍翰溶液與爲羥基形式之陰離子交換材料接觸，且然後與爲錄形式之陽離子交換樹脂接觸。 34、一種從含有四級銨化合物水溶液中回收氫氧化四級銨之方法，其包括： (A) 將包括四級銨化合物之溶液與爲氫形式之陽離子交換材料接觸，藉此至少一部份四級銨陽離子被吸附於陽離子交換材料上； (B) 將含有經吸附四級銨陽離子之陽離子交換材料與選自氫氧化鈉，氫氧化鉀及氫氧化鋰之鹼金屬氫氧化物水溶液接觸以沖提出氫氧化四級銨溶液； (C) 回收含有鹼金屬氫氧化物份量之經沖提出的氫氧化四級銨溶液； (D) 將在步驟(C)回收的溶液與爲四級銨形式之陽離子交換材料接觸’藉此至少一部份溶液中鹼金屬陽離子被陽離子交換材料所吸附，及 (D)回收含有減量鹼金屬的氫氧化四級銨溶液。 35、根據申請專利範圍第34項之方法，其中於步驟 (E)中所回收之氫氧化四級銨溶液被進一步純化，其是經由 (F)將於步驟(E)中所回收之氫氧化四級銨溶液分別或以任何順序與爲羥基形式之陰離子交換材料及爲四級銨形式之陽離子交換材料接觸或與其混合物接觸。 36、根據申請專利範圍第35項之方法，其中氫氧化四級銨溶液與爲羥基形式之陰離子交換材料接觸，且之後與爲四級銨形式之陽離子交換樹脂接觸。， 8 氏張尺用中國國家標準(CNS)X4規格(210 X 297公ί Γ <請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁)