TWI304791B - Oxide solid solution powder - Google Patents

Description

1304791 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於氧化物固溶體，特別係關於 稀土_化物作為主成分之氧化物固溶體的粉末。4 【先前技術】 紫外族氧化物係使用於研磨材、觸媒擔體, /㈣寺各種用途。例如以氧化鈽作為主成分之# 無乳化物已知係適宜作為研磨材，可使用來作為以 =r,:LcD用，用之玻璃基板等為首之_ 製迭糾A ¥ ’在以使用如上述之玻璃基板的電子機1 t領域為I，並使㈣磨材之各領域中，料求研心 和度南之研磨材（稀土族氧化物）。 在如上述之領域所使用的研磨材，係例如有：當研肩 ，液_時，在含氧化鈽之氟伽礦（bastnaesi⑻系两 2中混合氟化鈽與硫_，進—步混合水所得到之裝液 研磨材（*照專利文獻1}。藉在漿液巾存在_子，欲防 二在漿液中之粒子的沈澱或研磨墊之堵塞而避免研磨損傷 其他亦有例如於研磨材的主原料之稀土族碳酸鹽與稀 土族氧化物t ’在研磨”造時之賴步驟前混合氯化 1弓其後進灯培燒所製造的研磨材（參照專利文獻2)。若 培燒前混合氯㈣，可抑㈣燒時之異常粒成長，很容易 控制培燒時之粒子平均㈣絲徑分布，可更容易地製造 平均核徑小的研磨材。此結果，即使不含氟成分，亦可製 3]6680 1304791 造避免研磨面精度降低之研磨材。 (專利文獻1)特開平6—330025號公報 (專利文獻2)特開2002-155269號公報 使用如此等之研磨材，可得到具有某程度 2度：被研磨面’但所要求之研磨面精度係逐漸；：二 °在如上述之領域的精密研磨中，近生 门歹 表面粗度（㈤為3埃以下、進有時尋求平均 ή:研磨面。但在如上述之漿液研磨材或研磨材：之度 確保如此高的研磨面精度。 知無法 因此，為知具有更高之研磨面精度 平均粒徑更小且粗大粒子之含 研磨材，遂研究 f編/I 知有粒徑為〇.2…下之所1 破粒的氧切研磨材。含有氧化 之所明起 材’亦有由錯與錦之複合氧化 稀、:氧,物的研磨 構戒的超微粒（例如合氧化物）所 專利文獻3)。#，即便之錯系研磨材（參照 、土 ^ 即便使用如此等超微粒的研磨材，介办 法確保充分的研磨面精度。 刚材，亦無 (專利文獻特開平10一237425號公報 产高之研二：到呵研磨面精度之技術，係除使用研磨面精 度间之研磨材以外，尚 丨&則月 基板的結晶部社使被研磨體之結晶化玻璃 利文獻4),:、”拉子之平均粒經微細化的方法（參照專 文獻4)，或，以較破璃基板 的小粒徑声朽姘姐^ 日日4的結日日粒子#更小 刺，:戈磨材達行研磨的方法(參照專利 一 1氟表面處理（洗淨）被研磨面之方法， ^166^0 6 1304791 或，使用微粒之磨粒且使用漿液濃度較 研磨材而進行研磨的方法（衰又更稀釋的聚液 梦七κ… 、寻利文獻6)等。但，此 寺之技術係任一者均非改善研磨 面精戶古之方本F 。研&材本身的特性而確保研磨 月度间之方法。又，為使用此等之技:術， 作業，故研磨成本會上昇，研磨作業時間更、夕、 (專利文獻4)特開200卜126236號公報' (專利文獻5)特許第2736869號說明書 !(專利文獻6)特開2001-30732號公報 【發明内容】 發明欲解決之課題 提供本有鑑於如上述之問題點而構成者，課題在於 R 一種㈣錢物㈣土族氧化物作為 固溶體粉末而可使用朿作A讲府从土 取刀之乳化物 便以作為研磨材者，使用來作為研磨材 蚪，可得到研磨面精度高之被研磨面。 所磨材 (用以解決課題之手段） 為解決如此之課題，本發明之發明人首先研究 述習知技術。其結果’判斷出藉由使研磨粒子亦即稀土族 氧化物粒子更微粒化而得到具有更高的研磨面精度係不容 f因此’著眼於另一觀點而開發研磨面精度優異之研磨 材（稀土族氧化物）。繼而，經研究之結果，著眼於稀土族 氧，物之一種即氧化鈽具備的化學研磨特性，亦即在研^ 中氧化飾與玻璃進行化學反應而破壞玻璃之結合的特性 (一種研磨作用）。 、 著眼於如此的特性而累積研究之結果’發現於氧化鈽 316680 1304791 粒子中產生缺氧’藉提高其缺乏量，可 之研磨材的研磨面精度。繼而，進用氧化鈽 為提高缺氧量，使進行作用之㈣^結果，發現 俾提高氧化錦具有之化學研磨力^ =之構造攝入， 度，終達成本發明。 甚至可提昇研磨面精 本發明係以鈽氧化物作為主成 溶有輸物之氧化物固溶體粉末。若：用=物中固 >體时作為研磨材而研磨破璃基板等玻璃材，谷 面精度尚的被研磨面。亦即 " ::作=:=法，係適宜== ㈣固溶體，係固： = ==::到之上述氧 若缺®旦山^ 生之缺虱的缺乏量很高者， 右缺乳&，具有之化學研磨力高，可得到更 研磨面精度。如此，本發明 ^ 研磨材其本身之發明，與混合::材：=:)亦： 磨::液時藉添加任何的添加劑以提高研磨面精度 之技術，其技術内容根本上相異。 _二ί年’藉構成研磨材之研磨粒子的微粒化可謀求 研磨面精度的提高’係在背景技術之處已做說明，但如上 =’ f發明係使詞元素固溶於錦氧化物以提高研磨面精 f者二措使粒子進行微粒化，以提高研磨面精度之技術， ,、技衍内谷亦根本上相異。亦即’本發明之研磨材係與習 之汗磨材比幸乂，即使粒徑相同，亦具有更高的研磨面精 若依本發明，不須使研磨粒徑微粒化，故粉碎

S 316680 1304791 或分級之強化不會成為解決課題，不研究有關如此之技術 而可提高研磨面精度。例如。若使用本發明之氧化物固溶 體粉末作為研磨材，藉使用平均粒徑為2"至3”左右 2，可得到平均表面粗度（Ra)為3埃⑷或其以下，進 -步係2埃以下之高研磨面精度的被研磨面。又，與研磨 = 關係非限定平均粒徑’但例如研磨速度一般係粒 T因此’在具有比較高之研磨速度者較佳的用途 ^乳化物固溶體粉末係平均粒徑宜為1"以上者，更宜 1，^上门者。繼而，欲極力避免研磨損傷的產生之用途 固浴體粉末係平均粒徑更宜為3"以下者。 ，明之氧化物固溶體粉末宜為約元 化物固溶體之總氧化物換 貝里佔。亥乳 *，更宜…質量二:==7質量%以下 於氧化飾等稀土族氧化物中飼元卜：；=超過上限值， 會變高，若如此之負+氧化物拉子之外的可能性 _附著(隆:=::磨:：’成為研磨損傷 之效果’係可依輸物之固溶量所得研磨面精度 只要1丐元素被最低限的量固溶即可（例女，故其親點係 為〇.〇1質量％以上之固溶量可為上述比例 更宜為“質量%以上。又乂 = 到確實效果之目的， 算質量’而該氧化物固溶體： ：：體之總氧化物換 物固溶體中之各 仃解析時，對於氧化 而’在本發明之各稀土族元辛之，：：貝置來求出。繼 之乳化物換算質量的計算 31 9 1304791 中^系f出詞成分等之外的物質不固溶的稀土族氧化物之 換算質量。所謂後述說明所使用之全稀土族氧 係使對㈣質所含有之全部稀土族元素作為稀土 族氧化物而存在時之稀土族氧化物的總質量。 在本發明之氧化物固溶體粉末的製造中用以絲元+ =化物所使用的物質（溶質)，係宜為 =或，_等，即使此等之中，就溶液反應性優之點而 二：？二鈣尤佳。又’所謂稀土族氧化物係例如鈽、鑭、 “、鈥导稀土族元素的氧化物。 ^來作為研磨材之氧化物㈣體粉末係宜以飾氧化 物乍為主成分之稀土族氧化物’且固溶有鑭氧化物及,或供 二匕物：氧化物固溶體粉末。進行研磨試驗後，鑭元辛及: 或：兀素被固溶之氧化物固溶體粉末者，較 ^化物固溶體粉末，研磨損傷的產生更少，且研磨面;： 度優。準備稀土族碳酸鹽（例如碳酸飾），賠燒此而警迭月 I =乳化物時，若使用鐦元素及/錢元素被固溶 傷粒子成長，並抑制成為# ^產生原因之粗大粒子的生成。為得到如此之效果，= ^固溶體粉末，氧㈣f量與氧化鳍f#之合 ㈣固溶體的總氧化物換算質量之比例宜 该 ΐ二:，該比例超過4°質量%，作為氧化物固溶安 疋曰文低，氧化物固溶體中之元素或镨元素… :或=镨而析出於氧化物固溶體之外的不佳情形：化 生。固此，若著眼於如此之觀點，上述比例宜 316680 !0 1304791 以下。 為氧二二::來作為研磨材之氧化物固溶體粉末，宜 例為5。質二Γ刚溶體的總氧化物換算質量之比 氧化錦為主成^的氧化物固溶體粉末。換言之，宜為以 物固溶體粉丈所U/合爿旦如末。在由本發明之氧化 分材中’氧化飾為最重要的研磨成 °亥虱化鈽的比例為50質量％ 磨速度。 貞里/°以下係無法確保安定的研

I 而成：n 有關提高鈣氧化物被固溶於稀土族氧化物中 而成之乳化物固溶體粉末的研戶 r 氧化物中若使赶元素與結元辛：起；：，、：果’在稀土族 果，研磨速度。因此，累積進-步研究之結 之研磨材係研磨面精度差，二^^出現於研磨材中 面精度優。亦即，研磨材用物固溶體粉末係研磨 氧化物及鍅氧化㈣溶於㈣氧化^ 氧化物中之氧化物固溶體粉末。繼而刀之稀土無 、:：的較適宜含有率。其結果，於氧化鉛質量佔氧化物固。 /谷體的總氧化物換笞當旦* y 物口 %。若該比例超過上述上限值，質量 :瞻研磨力會減少’故在該比例為下限:::::： 提高。接著’為得到研磨速度的充分提Ϊ 上述比例更宜為2.2質量％以上。 Π 316680 1304791 如此 本％明之虱化物固溶體粉末係研磨面精度優， =:為研磨材，但於其他亦具有優異的特性，亦適合 :J材以外之用途。本發明之氧化物固溶體粉末 :心為氧化料稀土族氧化物，且於其中㈣化物及/ 乳化物被固溶者，故耐熱性，耐候性、耐錄 '安全 m，具有高的氧貯存脫離能（〇sc ··吣卿加邮 aPa^lty)’具有所謂不具有可分解有機成分之光觸媒活 田因此’本發明之氧化物固溶體粉末首先亦適宜作為汽 :用^觸媒或助觸媒。又，記載於本案中請專利範圍之「觸 ”」知使用來作為亦包括所謂促進劑的助觸媒之用語。 :二：本發明之氧化物固溶體粉末就不具有可分解有機成 =先觸媒活性之點而言’係適宜作為包含於化粧料或塗 "斗寺所使用之紫外線吸收劑。又，在觸媒擔體、助觸媒、 觸:或紫外線吸收劑之用途使用之粉末的稀土族氧化物固 洛月立，為公知的使用方法，故省略有關使用方法等說明。 (發明之效果） 從以上說明可知，若使用本發明之氧化物固溶體粉末 t例如研磨材，可以高的研磨面精度研磨玻璃基板的玻

璃材’若使用來作為汽車用觸媒擔體等，可提供一種"F (空燃比）之氣體控制特性或氮氧化物的除去性能優異之 觸媒擔體’若使用來作為於化粧料或塗料等所含有的妙外 線吸收劑等各種紫外線吸收劑，可提供具有高的紫外:吸 收能之紫外線吸收劑。 【實施方式】 316680 12 1304791 (用以實施發明之最佳形態） 以下，一面參照圖及表，一面說明有關本發明之氧化 物固溶體粉末的適宜的實施形態。 第1實施形態:在本實施形態中’準備碳酸鈽、碳酸鑭、 碳酸镨及碳酸鈣，將此等分別溶解於硝酸水溶液中，藉過

濾除去異物後，加入純水，以氧化物質量換算調製2〇〇g/L (克/升）之硝酸鈽水溶液、琐酸I閣水溶液、硝酸镨水溶液 及石肖酸詞水溶液。 耋-狹例[:首先’混合硝酸鈽水溶液300ml (毫升）、；ε肖酸 綱水溶液15〇m卜硝酸镨水溶液35m卜；ε肖酸妈水溶液丨5m 1， 進一步加入純水而得到3升之混合液（步驟丨，參照第i 圖）。此混合液所含有之各稀土族元素及鈣之氧化物換算質 里的比例為 60 : 30 : 7 : 3 ( =Ce〇2 : La2〇3 : Pr6〇丨丨：CaO)。 又，準備1.2倍當量的碳酸氫銨水溶液2升（84g/升）^繼 而，一面攪拌先前得到之混合液的全量，一面滴入於呈 350rpra之強攪拌狀態的碳酸氫銨水溶液中而得到含碳酸 鹽㈣沈殿粒子（步驟2)。滴下時之馈入速度為MW分。 使含有共沈㈣子之懸濁液在室溫下熟成2小時（步 = = 水卿熟成後之懸濁液至2Q升。靜置所稀 a + ^而使共沈殿粒子沈殿（步驟4)。靜置後， 進二:至所沈殿之共麟子的體積達4升以下(步驟 二後隹使用陶究洗淨裝置而進行洗淨(步驟&在該 m人: 懸濁液中之石肖酸離子濃度為2〇卿以 下传到含共沈殿粒子之懸濁液。洗淨後，過遽含共沈殺 316680 13 1304791 拉子=濁液而得到共沈激粒子的滤餅（Cake)(步驟7)。 小時^焊(熱風溫度12〇t、乾燥時間8 (步驟驟8_):敲碎所得到之乾燥品 鍛燒時間3小時。：「進::锻燒(锻燒溫度300t、 子）（牛妒m )(步知1〇)、破埤鍛燒品（所謂去碳酸粒 °c、//時門^吏所敲碎之锻燒品以電氣爐（培燒溫度_ (CeO^A, 培燒（步驟12)、得到在以氧化鈽 冰 成分之稀土族氧化物中氧化鈣（CaO)被固 /谷的氧化物固溶體（接+ # -主p 敲碎此氧化物::=:1複合氧化物)。繼而， 、、容(步知13)而得到研磨材（氧化物固 ^叔末）。所得到之研磨材的平均粒徑為2 0//m。又， =主==化物之一形態t包含以稀土族氧化物 :成：之氧化物固溶體’而使用所謂該「稀土族氧化 」之用4。目此，對於在各實施例或tb較例巾所得到之 !磨材的研磨粒子，而使用所謂「稀土族氧化物」之用語 J在亥〜稀土私氧化物」中包含在稀土族氧化物以外的 乳化物固溶於稀土絲化物之氧化物固溶體。 此等之實施例及比較例，係 與貫施例1在混合狀態中之各稀土族元素的氧化物換算重 量之比例不同。在各實施例及比較例令之混合比例，係如 表1所示般。此以外之點係與實施例}相同，故省略1等. 之說明。 在本比較例中，係以習知之製造方法製造研磨 材。首先’準備碳酸飾、碳酸鋼、碳酸譜而得到此等之混 316680 14 1304791 。物（200g)。5亥混合物所含有之稀土族元素的氧 ^之比例為62:31:7(抓祕顧,)。繼而： 準備^個塑膠容器（容量均為5〇ω)，在各塑膠容器中， 置入仗先則所仔到之混合物所秤取的混合物、粒徑 ◦. 8mm的氧化錯粒子]β Λ Λ 工 〇g、14純水200ml而使用漆料振盡

Shaker)進行3小時之濕式混合 ^ ，旱到之混合物使用30筛目（網眼500 ")的筛子^ .子後’過濾，而得到稀土族碳酸鹽的濾餅。繼而， 二間==燥所得到之結塊(熱風溫度⑽、乾燥 以燒溫度37\燒賴碎之乾燥品 研磨材。所得到之研磨;的=)、敲碎培燒品而得到 呵纪材的平均粒徑為3· δ# m。 此:之比較例，係與實施例3在混合物狀 的氧化物換算重量之比例不同。在各 比較例中之該比例，係如们所示般。在各 | iLMMA :本比較例中係準備已知夕^ Λ 為玻璃基板之精密研磨用=純度㈣氧化石夕作 ㈣。 ^ “氧化石夕之平均粒徑為0.06 有關實施例…的研磨

MaXSC. 研磨材’使用X線繞射裝置（簡8:

MaxsClence (股）製）而進 用銅（Ct〇靶材，〜。在本測定中係使 , …、 &α線來測定Cu-K α 1的之娣如· 。接著，其他之測定條件 ’: 】5㈣、測定範圍wmo。、取樣幅寬^ 316680 15 1304791 速度4· 0 ° /分。測定結果（XRD圖譜）係如第2圖所示般。 又，在圖2中，為容易讀取圖譜，有關實施例2之研摩材 以外的研磨材之圖譜係使基線（base ievel)朝上移位而表 現於圖上。 如第2圖所示般，全部之研磨材的X仙圖譜係於28 3。 (=2 0 )附近、及於32· 5。附近出現譜峰。此等之譜峰係 表不立方晶氧化鈽的存在。繼而，在各實施例之研磨材的 XRD圖譜（2Θ =20。至40、測定範圍）中未出現上述譜 峰以外之譜峰。另外，在比較例i之XRD圖譜係於^ 附近出現在貫施例中未存在的譜峰，在比較例2中狀D 譜係於32.3。附近及於37.y附近出現在實施例中未存θ 在的譜峰。此等之譜峰係表示氧化鈣（Ca〇)存在之譜峰 如此之·測定的結果可知，在各實施例^曰 磨材中，係原料中之鈣元素全部固溶（完全固溶）於稀土 族氧化物中，但在顯示氧化妈存在之譜蜂出現的比較例 "、2的研磨材中，係，元素完全不固溶（為不完全固溶）， :二鈣出現於研磨粒子之稀土族氧化物粒子 您存在（參照表1之Ca0有無之攔）。 對於各實施例及比較例所得到的研磨村，使用 進行研磨試驗。研磨試驗方法係使用貼有 之研磨墊的直们80_常盤而同時研磨3 從30_之圓板形狀的破璃材（狀一7製、被研卢^ 二二用各實施例及比較例所得到的研磨材而調製研磨 水液〇‘1升，將所調製之研磨材漿液以3升/分之比例循 3166S0 16 1304791 環供給而進行研磨試驗。研磨時之研磨塾的旋轉數為 33聊、擺動旋轉數為3〇聊、擺動幅為6〇咖。又，研磨塵 力為19. 6kPa ( 2G〇g/cm2)，研磨時間為3〇分。 …又’研磨試驗令之研磨材漿液的調製如以下般。在各 二：：：？軚例U中’係在室溫下混合攪拌粉末狀之研 ==而調製研細液全體占有之研磨材的比例 ίΓ/Λ 磨材漿液u升。繼而，在比較例3幻 > ^ 下混合攪拌粉末狀之研磨材、氣化鈣粉末與 7麻而Γ製於漿液全體占有之研磨材的比例為10質量%的 Γ量材：液°，1升。在比較例3至7中之氣化鈣粉末之混 研磨材浆液中之每元素的質量比例，表示於表1 、里。錢合量係以如下基準所訂定的4，㈣ 二ΓΓ1至5的研磨材漿液中_元素的質量比：與 乂，至7之研磨材漿液的懸濁液中之鈣離子（c + 的質量比例形餘㈣度。在比較例8巾鱗備^ •之谬體氧41·•石々將：.产〇(;： 貝里4 拌。調製於研磨液:純水75ml在室溫下混合授 —才體“之研磨材的比例為〗。質量 研磨終了後’以純水洗淨破璃材 产戶，磨面而以無塵狀態乾燥後，測定研磨對象物之減少 ::(㈣）’使用由該厚度與研磨時間所算出之 子力顯微鏡分)」而評估研磨速度。又，使用原 （at⑽1c force microscope ; AFM)而測 =、面粗度（Ra)，使用此而評估被研磨面之研磨面精度。 3】6680 17 1304791 各實施例及比較例之研磨材的研磨速度及研磨面精度係如 表1所示般。 [表1 ] 實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 實施例5 比較例1 比較例2 比較例3 比較例4 比較例5 比較例6 比較例7 ※之） 原料 中之 Ca的 質量 (重 *%) 2. 14 0. 02

0. 72 3.5Y 10. 71 21. 43 鈽系研磨材 TRE0 (wt%) 組成 7. 15

69.97 99. 97~ 99. 98 99. 96~ 99. 98 99. 97 TRE0中之各稀土族氧化物 量？〇 96.98 99. 99 98.97 94.98

平均 粒徑 Dj〇 (/U m) ※士） 研磨材 漿液中 之 Ca2T 的比例 (重量％) I磨精RaJ I研©-度{

※3) CaO 之 有 無 無 無 1.96 2.98 1. 82 2.97 0. 061 0.164

有 1.76 4. 72 0. 068 3.76 2.64 3.05 0.214 0.002 0. 072 4.42

.4. 47TbT 165 ).158 0.160 2.87 3. 23 0. 357 0.715 4. 46 0.167

比較例8 ※1)研磨材為膠體氧化矽 •X2)相對於原料中之稀土族元素及Ca元素之總氧化物本 异質量的Ca元素質量之比例。 「「無Η系表示未被XRD測定檢測出，「有」係表示檢分 出 」係於原料中未添加Ca，而於研磨材粒子中ca(n Ca成分未存在。 ※^)旦研磨材漿液之總質量占有的已添加之飼離子（以+: 之貝里比例，「-」係表示於漿液中未添加鈣離子。 表1所示般’實施例1至5之研磨#賴元素固这 方；稀土族氧化物中穿令去 物中兀王者，™測疋之結果，無氧化飼之 、出。而，實施例1至5之研磨材中係原料中 316680 18 1304791 素的比例愈多，研磨面精度愈優。又，各實施例之研磨材 係與比較例8之研磨材（膠體氧化矽）比較，.研磨粒子徑 係明顯大徑，但研磨面精度係相同或較其更優，研磨速度 亦相同或較其更高。 另外，比較例1，2之研磨材係鈣元素之固溶不完全 者，XRD測定之結果，有氧化鈣之檢測出。繼而，比較例 1, 2之研磨材係研磨速度與實施例4，5或比較例8(谬體氧 二匕矽）之研磨材相同，但不只原料中之鈣元素的比例高於 實施例，研磨損傷常產生且研磨面精度差。 此結果可知，當製造使鈣元素固溶於稀土族氧化物之 錦系研磨材時，研磨材係宜完全固溶妈元素，且研磨粒子 (氧化物固溶體粒子）之外不出現氧化轉者，㉟元素質量 佔研磨材之總氧化物換算質量之比例宜為2 〇質量％至 10.7貝里％(更宜為7」5質量％以下）。 又，在研磨材中檢測出氧⑽之比較例卜2的研磨材 原料中之妈兀素的比率例高，研磨損傷愈多，有研磨 面精度差之傾向。此傾向係與專利文獻2之表2所示的梦 品研磨試驗結果（參照專利文獻2之表2的實施例3至^、 的傷痕值）相同的傾向。此結果可知，使用專利 介,m j U 5或比較例3之研磨材的製造方法、 只使碳酸稀土族等(碳酸稀土及/或氧化稀土)與 Γ皿及/或驗土族金屬鹽混合而梧燒之研磨材製造方 :、:：無：製造—種於稀土族氧化物中驗土族元素被完全 研磨粒子’而同於與本發明實施例之比較所使用的 3166S0 19 1304791 車乂例1 2之研磨材，研磨材中會出現驗土族氧化物。 液二Π…斤示，㈣離子（Μ)存在於研麵 :二蜀液中之比較例3至7的研磨材，係相較於實施例 至古=研磨材而研磨面精度明顯變差。此結果可知，為 精度使用輸時，於研麵液的懸濁液中 … 子之狀含有’而如實施例1至5般，宜使用在 以氧化鈽作為主成分的稀土族氧化物巾負## 、广)之乳化物固溶體粉末作為研磨材。又，在研磨材製 化所使用之氟碳鈽礦精礦等研磨材原料或工業用水之中係 以驗土族金屬鹽等㈣含有舞成分，有時源自此等之妈離 子會不可避免地殘留於研磨材漿液的懸濁液中，但㈣子 之殘留恐會使研磨面精度降低，宜極力避免。 研究研磨面精戶、 ^磨材之總氧化物換算質量占有㈣元素之質量比例的 如示於第3圖中，實施例1至5(於稀土族氧化物中 元素固溶之研磨材）之時，料素之比例超過0質量％，不 足2質置嶋圍（尤其〇.5質量%以上之範圍）中，鈣元 素之比例愈高，研磨面精度愈提高。㉟元素之比 量％以上的範圍，係可得到安定而優之研磨面精度。此結果 可知’就提供具有優異之研磨面精度的研磨材而言…人 有妈元素。繼為使高研磨面精度安m保，辦= 之比例宜為〇.5質量%以上’更宜為2質量%以上。但，： 考量先前說明之研磨傷痕等，其比例宜為10.7質量%以右 316680 20 1304791 下，更宜為7. 15質量％以下。 另外，在比較例3至7的研磨材（懸濁液中 在^研=漿液）+，其研磨面精度係無關於所含有2 兀’'之貝1比例而相同。亦即，研磨材漿液調製時冰 液：僅以鈣離子等狀態添加鈣成分，研磨面精度或研 度等研磨特性不會提高。 二 ^ 其次說明有關另一實施形 =氧:飾之含有率高之所謂高品質购 研磨材製造時’調製混合液之際進行混合 ^ W水料、顧鑭水㈣、_|#水料、頌酸詞 trr之混合比例與第1實施形態相異。在各實施例之混 =中的各稀土族元素及敎氧化物換算f量的比例如表 所不般。此以外之條件係與第i實施形態之實施例i相 同。 本比較例係與上述實施例6至 •料中未添加料分。又，在比較例9至12中，使研磨材= :希土族几素之氧化物換算質量的比例如對應於上述實施例 至9中之該質量比例而設定。此以外之條件係與實施例6 對於貫施例6至9的研磨材進行±述XRD測定而評估 ⑽之有無，對於實施例6至9及比較例9幻2的研磨材 進饤上述研磨試驗而評估研磨面精度及研磨速度。結果如 么，示身又又，在研磨试驗中之研磨材漿液的調製方法 貝％例及比較例所得到的研磨材之情形均與第1實 316680 1304791 施形態之各實施例相同 [表2] 音 ix,l G ※1) 原料 中之 Ca的 質量 (重 量％) C ΠΛΟ -鈽系研磨材 ※3) 研磨材 漿.液中 之Ca” 的比例 (重量％) 研磨 寺性 組·成 平均 粒徑 〇5〇 (jam) 研磨 面精 度Ra (埃） 研磨 速度 (β m/分） TRE 0 (重 量％) TRE0中之各稀土族氧 化物的含有率（番吾％) ^2) CaO 之 有 無 Ce〇2 La2〇 3 Pr〇0 )1 Nd2〇 3 Ά υ 實施例7 0 · U U u 92.98 97.00 3. 〇〇 ΐόο 0.00 無 2. 24 - 2.46 0.076 92.99 96.98 0.00 _ 實雜彳5ι丨只 3.00 0.02 無 2. 98 — 2.63 0.074 貫施例9 aZ. 98 Q? 07 94.01 inn 2.98 π 2.99 0.02 無 2. 44 - 2.34 0.078 比較例9 0. 00 96.98 J uu 97.01 u 2.99 0 0 無 3. 02 - 2.94 0.068 比較例10 0.00 0.02 3. 27 - 4.84 0.183 96.99 96.99 0.00 2.99 0.02 - 比較你Π1 4, 76 - 4,98 0.187 比較例]2 y〇. y〇 Q4 Q7 94.02 inn 3.00 n 2.96 0.02 3. 58 4.65 0.189 故1 > 1UU U 0 0 5.83 - 6.07 0.183 —丨漏'u~L〇_ 1〇 I- XI)相對於原料中之稀土族元素及Ca元素之總氧化物換 异質量的Ca元素質量之比例。 來2) U表示未被XRD測定檢測出，「有」係表示檢測 出’「-」係於原料中未添加Ca，而於研磨材粒子中等 之Ca成分未存在。 条3)研磨材漿液之總質量占有的已添加之賴子（以2+) 之質$比例，「-」係表示於漿液中未添加鹤離子。 從表2所示之結果可知，即使在所謂高品質之研磨材 :二由於以氧化鈽作為主成分的稀土族氧化物中氧化鈣固 溶（完全固溶）之氧化物固溶體粉末所成之鈽系研磨材，係 同於第1實施形態的研磨材，與氧化鈣未被固溶之研磨材 比較，具有優異之研磨面精度。

星立.室典形1:其次進一步說明右_另 ^ A v兄乃頁關另—貫施形態。本實 施形態係於稀土族氧化物中僅 、 个悝使虱化鈣’亦使氧化錯固 3]6680 22 .Ϊ304791 溶之氧化物固溶體所成之㈣研磨材。 在本實施形態中，首先盥筮 態同樣地，準備20" 形態或第2實施形 液H料溶液、硝酸鑭水溶 2奴錯水溶液及硝_水溶液。繼而 使硝酸鍅(硝酸氧化錯)二水 示b寺外* j, « . ^ 、 "^口物/合解於純水中而以過濾除 克 < 進步加入純水而以氧化物換算質量調製_ 兄/升之硝酸氧化鍅水溶液。 在本實施例中係將所準備之硝酸鈽水溶液 3〇_、石肖酸鑭水料105πα、硝酸譜水溶液^、石肖㈣ 水=液15ml及硝酸錯水溶液45ml混合，進—步加入純水 而侍到3升之混合液（參照步驟！、第^圖）。此混合液中 所含有的各稀土族元素、鈣及鍅的氧化物換算質量之比例 為 60 . 21 . 7 . 3 · 9 ( =Ce〇2 : La2〇3 : pr6〇n : Ca〇 : Zr〇2)。 步驟1之後的步驟係與第丨實施形態相同。得到平均粒徑 3. 9 # m之研磨材。 鲁l^Lll至14 :此等實施例係與實施例1 〇在硝酸鈽水溶 液等各水溶液之混合比例相異。在各實施例之混合比例係 如表3所示般。此以外之條件係與實施例1〇相同。 复垄l&LH :在本實施例中’係準備2個塑膠容器（容量均 為100ml )’在各塑膠容器中，分別添加實施例1 〇所得到 之研磨材所分取的20g研磨材、粒徑〇. 8mm的氧化鍅粒子 360g、1質量％之結晶纖維素（製品名：Avicel，旭化成公司 製）水溶液10m 1、1質量％之六偏磷酸鈉水溶液1 〇m 1與純水 20m 1而使用漆料振盛器進行濕式混合粉碎研磨材3小時。 316680 1304791 •::後彳义所知到之混合物使用30篩目（網眼5〇〇# m)的 師子除去氧化錯粒子後，得到研磨材漿液。繼而，於所得 到之研磨材漿液中加人純水，調製研磨材佔漿液全體的比 例為質量%的研磨材漿液。又，研磨試驗中之研磨材漿 液的使用里係與其他之實施例等相同為0. 1升。可得到平 均粒牷2. 〇 # m的研磨材。 此等實施例’係與實施例J5所準備之裝 肇 > 於2個塑膠容器的研磨材相異。在實施例16中係使用實 轭2 11所得到的研磨材。在實施例Π中係使用實施例12 所仟到的研磨材。在實施例18中係使用實施例13所得到 勺研^材。在貫施例19中係使用實施例14所得到的研磨 材。繼而，所使用之研磨材的種類以外的條件係與實施例 15相同。所得到之研磨材的平均粒徑如表3所示般。 —.此等比較例係與實施例i 5即混合狀態中 之各，t族元素的氧化物換算質量之比例相異。各比較例 _ _。σ比例如表3所示。此以外的條件係與實施例J 5 相同°所得到之研磨材的平均粒徑如表3所示般。 本比較例係與實施例15之合成時之授掉速度 (7…貝施例1的步驟2)相異。其攪拌速度為150rpni。 此乂外的條件係與實施例15相同。可得到平均粒徑1. 67 "m的研磨材。 ’ .在本實施例中係於第3實施形態最初所準備之 。液〜中，首先將硝酸鈽水溶液300ml、硝酸鑭水溶 〇5mi硝知鳍水溶液35ml、硝酸鈣水溶液i5ml混合， 24 ί16680 1304791 得到2.7升之混合液A。此混合液Μ ⑽=的各稀土族元素、絲的氧化物換算質量之比例為 3 ( Ce〇2 . La2〇3 · PreO" : CaO)。又，混合液

，另外準備硝酸鍅水溶液45m卜進一步再加入純水而 :」.3升之水溶液β (步驟1)。此混合液B所含有之鍅 乂物換量為9克。進-步彳目對於Μ液Α與水溶 、之之總液置而準備1. 2倍當量的碳酸氫錄水溶液2升（濃 度.84g/升）。繼而，在攪拌狀態之碳酸氫銨水溶液中，一 ^擾拌先前得到之混合液A的全量—面滴下而得到含碳酸 鹽的共沈絲子（步驟2)。其後，以與混合液“目同之方 法，使水溶液B滴入於含碳酸鹽的共沈澱粒子存在之碳酸 氫銨水溶液中而得到含錯成分的沈澱之懸濁液（步驟3)。 滴下時之饋入速度為50ml/分。其次，使含有共沈翁粒子 及含鍅成分的沈澱物之懸濁液在室溫下熟成2小時（步驟 4 )’使用純水稀釋熟成後之懸濁液至2〇升。靜置所稀释之 懸濁液3小時而使共沈澱粒子沈澱（步驟5)。靜置後，進 行傾析至所沈澱之共沈澱粒子的體積達4升以下（步驟 6 )其後，使用陶瓷洗淨裝置而進行洗淨（步驟7 ) q在今 洗淨中，進行洗淨至懸濁液中之硝酸離子濃度為2卟_以 下。洗淨後，過濾含共沈澱粒子之水溶液而得到共沈澱粒 子的濾餅（步驟8 )。 然後，以熱風乾燥機（熱風溫度120°C、乾燥時間8 小時）乾燥所得到之滤餅（步驟9)，敲碎所得到之乾燥品 (步驟10)。以電氣爐使敲碎品進行鍛燒（鍛燒溫度3〇〇 316680 25 1304791 ^，燒時^小叫步驟⑴^碎鍛燒^步驟⑴。 =破碑之鍛燒品以電氣爐（焙燒溫度9〇〇乞、焙燒時間3 小時）培燒（步驟13)。敲碎鍛燒品（步驟14) 了 物固溶體(稀土族元…複合氧化物)之粉末。::化 在所準備之2個塑膠容器（容量均為1〇〇ml)中，分別天 加從所得到之氧化物固溶體分取者2〇g、粒徑〇8職的= 化鍅粒子360g、丨質量％之Avicei水溶液1〇ml、丨質量％ ,之=石舞酸納水溶液㈣與純水編而使用漆料振堡^ 進仃濕式混合粉碎氧化物固溶體3小時（步驟15)。其後， 奴，侍到之混合物使用3〇篩目（網眼5〇〇 # m)的篩子除 去氧化鍅粒子後，得到研磨材漿液（氧化物固溶體漿液） /步驟16)。繼而，於所得到之研磨材漿液中加入純水， :周製漿狹全體占有之研磨材的比例為1〇質量%的研磨材漿 液（步驟1 7 )。又，研磨試驗中之研磨材榮液的使用量係 與其他之貫施例等相同為〇.】升。所得到之研磨材平均粒 _ 控為 1, 8 # m。 、對於上述實施例10至19及比較例13至16的研磨材 進行上述XRD測定而評估Ca〇之有無（參照表3) ^此等之 中，將有關實施例15、比較例】5及比較例]6的研磨材之 X肋圖譜表示於圖4中。對於上述實施例1〇至19及比較 例13至16的研磨材進行上述研磨試驗而評估研磨面精度 及研磨速度。結果如表3所示般。又，為在研磨試驗中之 研磨材漿液的調製方法，但在實施例1〇至14所得到的研 磨材係與第]實施形態之各實施例相同。在實施例】5至 26 3166S0 1304791 19 ^ tb 13^. j 6 f ^ ^ ^ ^ 用於研磨試驗。 n衣心汁总材水液 。（二4圖所示般’全部之研磨材請圖譜係於28 3 (~2 6* )附近、及於3? ς。 ’ 5附近出現譜峰。此等之譜峰 仏表不立方晶氧化鈽的存在 曰嗶 XRD0^^qi 尨而，在比較例之研磨材的 中未出現之譜峰。此等之譜峰俜表之研磨材 係於…。附近、34·5。附近及:9164之=7陶譜 研磨材巾未出現之譜峰。此等之譜峰現貫施例之 Mr相同定義）存在之譜峰。表^氧化物（與 如此之XRD測定的結果可知，在以者 為首之表垂浐点丨认m也』丄丄 細ί例1 5的研磨材 ^各Α例的研磨材中，係原料中之舞元♦及錯 ^元全固溶於稀土族氧化物令：二 之》曰峰出現的比較例15、16的研 子在 不完全，而Wb Ψ奋錯兀素的固溶 凡王㈣錯乳化物出現於研磨 (參照表3之Zr〇2有無之欄）。 之外側的狀態存在 316^0 27 1304791 [表3 ] 食施 例/比 較例 1) 原 料 中 之 Ca 成 分 (重 量 %) 嶔2) 原料 中之 Zr成 分 (重 量％) 鈽系研磨Μ .........—一 組成（wt%) -- 平 均 粒 徑 Dso (U m) TRE 0 (重 量 %) 3) CaO 之 有 無 3) ZrO 2之 有 無 TRE0中之各稀土族氧 化物的含有率（重量 %) CeO 2 Laz 〇3 Prc On Nd? 〇3 實]〇 實11 實13 實14 1 2.14 6.663 87.99 68.19 23.86 7. 94 0.02 無 無 3.88 2.221 93.98 63.84 28.73 7.42 0.02 無 3.61 5.182 89. 99 66.67 25.56 7.76 0.02 無 無 4.03 8.884 84.99 70.59 21.18 8.21 0.02 ' 無 無 3.44 11.105 81.99 73.18 18.29 8.52 0.02 無 3 63 實15 實16 實17 實18 實19 卜 2.144 6.663 87.99 68.19 23.86 7.94 0.02 無 無 2.01 2.221 93.98 63.84 28.73 Γ7Γ42 0.02 無 無 1.69 5.182 89· 99 66.67 25.56 7.76 0.02 無 無 1.74 8.884 84. 99 70.59 21.18 8.21 0.02 無 無 2.13 Π.305 81.99 73.18 18.29 8.52 1.02 無 1 92 比13 比14 2.J44 14.806 76.98 77.93 12.99 9.06 0.02 無 無 1.77 18.507 71.99 83.34 6.95 9.70 0.02 無 無 1 88 比15 2.144 6.663 87.99 68.19 23.86 7.94 0.02 益 有 1 67 比16 2.144 6.663 87.99 68.19 23.86 7.94 0.02 無 有 1.78 . \4)磨漿中2*比 \沴砑材浪之ca0il#'i(lf

研磨特性 研磨面精度Ra.i埃 6 4 cvi 14 -1A -04 8 3 2 9 1 8 9 86 93 2.87 47 4^ 研磨速度< =tm/分 56一 12: 5 2 πα 3 2 ο* 2 Γ21 1 2 7 •: 7 5 ο I. 5.81 〇. 167 5.01 0.228 级1)相對於原料中之稀土族元素、Ca及Zr元素之總氧化 物換算質量的Ca元素質量之比例。 ※2 )相對於原料中之稀土族元素、ca及zr元素之總氧化 物換算質量的Zr元素質量之比例。 系3 )「無」係表示未被xrd測定檢測出，「有」係表示檢測 出，「-」係於原料中未添加Ca或Zr，而於研磨材粒子中 CaO或Zr〇2等之成分未存在。 糸4 )研磨材漿液之總質量占有的已添加之每離子（) 之質量比率，「-」係表示於漿液中未添加鈣離子。如表3所示般，實施例1〇至19之研磨材係舞元素及 316680 28 1304791 錯元素固溶方么接 p 無檢測出氧化舞及^乳化物中完全者，™5測定之結果， 材中係與第！以：錯。繼而，實施例1〇至19之研磨 同之研磨面精貫施例之研磨材比較，具有相 # 八有更问之研磨速度。此結果可知，由 元素：湓：:為主成分的稀土族氧化物中不僅鈣元素，錯 且有二、洛之氧化物固溶體粉末所成之鈽系研磨材，俜 =的研磨面精度以及具有高的研磨速度之優異者。； =者19之研磨材係平均粒徑較實施例10至“之研 更小者，研磨面精度優。此結果可 =之固溶完全時，平均粒徑小之氧化物固 磨面精度優且適宜作為研磨材。 子者乃研 貫施例13、14之研磨材係氧化鍅元素之 把例之研磨材更高的研磨材，但細測定之社果 = :之：亦無檢測出氧化舞及氧化錯。因此，推斷 锆兀素於稀土族氧化物之固溶係狼完全· !實施例之研磨材差。此理未 ，知度車父 〇 土不乂听峰，而若於稀 中使錯元素過剩地固溶，稀土族氧化物之結晶的姓羊 大幅地降低，研磨面精度等研磨特 ： 過剩地固浴，較只使飼元素固溶時所得到 素 低，因此研磨面精度等研磨特性會降低。 文降 進-步，比較例15、16之研磨材係錯元辛 完全者，则定之結果，在比較例…錯氧二不 瞻同定義)被檢測出，而在比較例】 Μα 士複合氧化物同定義）被檢測出。接萎乳化物 丧者，此等之 3J6680 29 1304791 比較例的研磨材係研磨面精度及研磨速度之任—者均較無 知例的研磨材差。 、 從此結果可知，當製造使鈣元素之外進一步亦使鍅元 素固溶於稀土族氧化物中之㈣研磨材時，研磨材宜使飼 兀素及鍅元素完全固溶，且研磨粒子（氧化物固溶體粒子) =不出現氧化弼或氧化錯者，於研磨材之總氧化物換算 質1占有的锆元素質量之比例宜為〇.〇1質量%至 在本實施形態中係說明有關研究本發明之 氧化物固4體的觸媒特性的結果。觸媒特性係調查氧貯存 脫離月匕（0SC)肖_吸附種/吸附能。又，測定試樣係使 用表4所示之氧化物固溶體。表4中之實施例9及比較例 12係，第2實施形態所使用之研磨材為相同的粉末。表4 貝施例20係依上述第1實施形態所說明之方法來製造 者。 、 [表4]

I

[實施 f^/ 比較 例 糸1) 原料中 2)料Ζ分 ※原之成 φ~ 量 ί ,

TRE fi7 2 9 氧化物固溶體 成 組

有 ※“之無 KW 氧 族 土 稀 各率 之有 .含 的 物I

C 02 Π Ί 3 ο 3)02有 ※^之無 平均粒徑 Dso (/^ in) 之Ca 成分 (重量 %) 〇03

w ·, X , ~ -ί~ί___1 ο 0 - - 5. 83 )相對於原^ 物換算質量的Ca元素質量之比例。 ， 条2)相對於原料中之稀土族元素，及&元素之總氧 物換异質量的Zr元素質量之 30 316680 1304791 來3)「無」係表示未被XRD測定檢測出，「有」係表示檢測 出’「-」係於原料中未添加Ca或Zr，而於研磨材粒子中 CaO或Zr〇2等之成分未存在。 脫離能:此氧貯存脫離能係就測定試樣量〇. q25 + o.ooig而言，而藉熱傳導度檢測器測定。測定溫度為4〇〇 至800 c (每loot：)，使用He作為載體氣體，脈衝（pulse) 大小以1. 79mL進行。具體之測定順序係首先，於8〇〇七、 20Occm之He中保持測定試樣1 q分鐘後，降至最低測定溫 度（ 400°C )。繼而，形成各測定溫度後，將&脈衝導入4 根以上、He脈衝及〇2脈衝交互地導入4根以上它熱 處理係只最初進行，從低溫侧之40(TC依序朝高溫度侧之 測定溫度進行測定。氧貯存脫離能（〇sc)之評估方法係以 最初之〇2脈衝作為標準，而從汛脈衝及&脈衝之交互脈 衝的大小之比算出氧貯存脫離能（3根之平均值）。其結果 表示於第5圖中。 ” ° 在第5圖中係表不在各測定溫度中之氧貯存脫離能作 ”來的圖形’但依此第5圖，以比較例12、實施例9、 貫e例20之順序可看出氧貯存脫離能會提高。因此，若 Ca或Zr固溶於鈽氧化物中，可提高氧貯存脫灕能。 胞-，:此吸附種/吸附能係就測定試樣 量 0. 025± 〇 flfn σ 品丄 ^ • g而5 ’而猎擴散反射光譜檢測器（DSR) 測疋出（载體氣體He)。測定溫度為2〇〇〇c至5〇(rc (每1〇〇 C)’檢測出擴散反射光譜。首先，於_°C、390咖之 He(〇2 5%)中保持測定試樣分鐘後，降至各測定溫度。 316680 1304791 :而’以各測定溫度進行以中 ， 導入嶋(5%)/He氣體 ( 1Λ . ηοη ^ 叫疋在 Imin、2min、5min、 1 ϋππη之DSR。在各測定、、田疮山 ^ ^ ^ ^ ^ ® /皿度中，進行上述操作。所得到之 結果表不於第6圖至第9圖中。 第6圖至第9圖中伤乒；々 ^ ^ 乐表不各測定温度中之吸收波長與 /、強度的測定結果。從第G同ζ >Λ_ 攸弟6圖至第9圖，在比較例12、實 施例9、實施例2G之全部申可SSa ^ ^ 丨T 了規祭到1\1〇2之吸附種。依據 公知之吸附模型，檢討第岡 圖至弟9圖之結果，N〇2之吸附 形態為螫合（Che 1 at i ns)壯能、办 1 ng j狀怨。進一步吸附量之順位為比 較例12〈實施例9〈實施例2〇。 除4旎力•此N〇X除去能力係就測定試樣量0. 025土 O.OOlg而言’藉熱傳導檢測器與質量分析計進行測定（載 體虱體He )。測定係在He流通之中’測定試樣6〇(rc '保 持1 〇分鐘後，降溫至吸附溫度3〇(rc繼而，導入N〇/ 〇2 (5%) /He後，保持30分鐘，其後，切換成He之流通後， 以lOt/min昇溫至60〇t；，測定脫離氣體。 其結果’在比較例12中’未能確認出Ν〇χ之脫離。另 外，在貫施例9中，可看出質量數3〇之氣體檢測，並確認 NO氣體之脫離。在實施例20中可看出質量數30與32之 氣體檢測，並確認N〇2氣體之脫離。 依以上之結果可知，若Ca或Zr固溶於飾氧化物中 NOx之吸附特性會提高。 (產業上之利用可能性） 本發明之氧化物固溶體粉末係可使用來作為研磨材、 32 316680 1304791 ==或紫外線吸收劑等。例如若使用來作為研磨材， 度研磨玻璃基板的玻璃材，^使用來作 車用觸媒擔體等，可提供—種Α/ρ之氣體控制特性或 亂：化物的除去性能優異之觸媒擔體，若使用來作為於化 遂料或㈣等所含有的紫外線吸收料各種紫外線吸收 劑’可提供具有高的紫外線吸收能之紫外線吸收劑。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示製造步驟之流程圖。 第2圖係有關第1實施形態之各例所得到的研磨材之 XRD圖譜。 第3圖係表示研磨材漿液中鈣元素的比例與研磨面精 度之關係圖。 第4圖係有關第3實施形態之各例所得到的研磨材之 XRD圖譜。 第5圖係測定第4實施形態之氧貯存脫離能的結果圖 第6圖係調查第4實施形態之N〇x吸附種/吸附能的 DSR 〇 第7圖係調查第4實施形態之NOx吸附種/吸附能的 DSR。 第8圖係調查第4實施形態之NOx吸附種/吸附能的 DSR。 第9圖係調查第4實施形態之NOx吸附種/吸附能的 DSR « 33 316680

Claims (1)

1. —-.... ΦΊ 第94101641號專利申請案 - (97年月15曰) 1304791 十、申請專利範圍··一一 :::匕物固溶體粉末’係以鈽氧化▲作為主成分 氧化=化物中固溶有每氧化物、與鑭氧化物及/或譜 2. 專利範圍第1項之氧化物固溶體粉末，其中， 化物。化物作為主成分的稀土族氧化物中固溶有錯氧 粉！ 第1或2項中任-項之氧化物固溶體 •項^系：磨材’其係含有如申請專利範圍第1或2 =中任一項之氧化物固溶體粉末。 頂系研磨材，其係含有如申請專利範圍第1或2 二項之氧化物固溶體粉末，且氧化鈽質量佔氧 6. t物固溶體之總氧化物換算質量之比例為50質量 上之氧化物固溶體粉末。 基板之研磨方法’其特徵在於使用如申請專 利乾圍第4項之鈽系研磨材。 二種2基板之研磨方法，其特徵在於使用如申請專 利乾圍弟5項之鈽系研磨材。 二種觸，，其係含有如申請專利範圍第〗或2項中任 一項之氧化物固溶體粉末。 —種觸，’其係含有如中請專利範H第1或2項中任 ，之氧化物固溶體粉末，且該氧化物固溶體粉末中 氧化飾貝畺在氧化物固溶體之總氧化物換算質量中 所占之比例為50質量％以上。 、 316680修正本 34 9·