TWI301511B - Arrangement for coating substrate - Google Patents

Description

1301511 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明關於一種如申請專利範圍第1項之前言部分的 裝置。 【先前技術】 電腦或電視機的平坦螢光幕生產的最近發展朝向所謂 有機發光二極體（OLEDs)。OLEDs的生產可以藉由〇VPD 技術（OVPD-有機蒸氣相沈積，美國專利5,554,22()號）而發 生，其中一在加熱反應器中的極低壓的載體氣體流獲得了 有機材料，且將它們沈積在基板上成為薄層。 在用於以一薄有機層塗覆基板的另一方法中，提供一 具備加熱機件的基板支持件，它的下表面上支持一基板， 例如，玻璃（歐洲專利0 962 260 Al =美國專利6 ι〇ι 316 號）。此基板下方提供二蒸發源，其蒸發了有機材料，如果 —配置在基板與蒸發器之間的關斷器被開启欠，則有機材料 會被沈積在基板上。 ’其可由電馬達開 閥本體在此以一紅 也已知一種用於玻璃設備的電動閥 啟與關閉（德國專利201 15 333 U1號）。 而被實施。 金屬閥，它的密封附件之—是以板、止的密封附件的全 15 487 A1號）。此閥包含一額、^實施（德國專利30 只外的密封附丰， 封附件有缺陷時變成可操作。 卞，、在板形密 1301511 在另一已知的閥中，閥本體由球 a 4r ^ 衣實細，此球忐夠關閉 _柱形官（日本專利2000120551 A號）。 一 7彡本體也包含ϋ可q於有料料 中（杲國專利3 887 162號）。 兄 已知一閥’其包含一球形封閉本體(美國專利4 195

破）。此閥用於控制高腐姓性流體。它能夠阻礙 位置的流體。 P ,-種用於以特定比例混合二流體的伺服控制閥揭示於 吴國專利3 561 484號。此閥也包含—球形封閉本體。 一種具有用於蒸發有機材料的來源，其包含-開關閥 之蒸發設備可自美國專矛Η HH 316號而得知。一清空裝 置在此連接-含有有機材料的容器，當閥關閉_ 置使容器清空。 1 用於OLED材料的蒸發的裝置也揭示在歐洲專利工 357 200 A1號與歐洲專利1 401 036 Α2號。 最後，已知一種用於塗覆區域性基板的裝置，其包含 一用於蒸發材料的靜止蒸發源（德國專利1〇2 24 9〇8 A”， 基板待由彼塗覆。此裝置包含—驅動機件，其使區域性基 板相對於蒸發源移動。此外，它包含一第一分佈裝置及一 第二分佈H，第-分佈纟置使蒸發源排㈣I氣直線分 佈，第二分佈裝置的一端至少配置在蒸發源附近，且它的 另-端配置在第-分佈裝置中。&已知的裝置安排成為用 於連續蒸發，其意指一塗覆過程一旦開始，則將執行若干 小時或若干天。由於良好的絕緣與大的熱質量，蒸發源的 1301511 T制行為很緩慢。自蒸發源的加熱機件啟動的時間開始， 關閉的時間至二二=Γ小時，且自加熱機件 長的時間。之蒸發源的關閉需花費相當 在此期間，很昂貴的材料自蒸發源蒸發而未用於塗覆。 與蒸發源之間設有一關斷器，則材料變成沈積 益上。幾分鐘的短期蒸發中斷是不可能的。 【發明内容】 的門題及2明提出中斷自該蒸發源至該基板的材料流 的問碭，及同時節省蒸發材料。 該問題依據申請專利範圍第i項的特徵而被解決。 本發明因此關於一種用於塗覆基板的， =原及-在該蒸發源與該基板之間的蒸氣屏障：二 温度。 ”至4於或切待蒸發材料的蒸發 該蒸氣屏障被實施為一石英閥，其包括 多動桿的球形封閉部件。在一第一位 ；可 會關閉一連接於該蒸發源的蒸氣導管，在1形封閉部件 球形封閉部分頂靠一將一石英管密封的球面：頂二位置’該 本發明所得的優點特別在於該蒸發被 材料不會發生沈積在不是基板的結構性部分。：,以此該 面，隨著該閥關閉，基板不再被塗覆，另—；疋-方 料不再消耗。經由該蒸氣屏障之特 Φ ’蒸發材 也馮一特殊閥，確 !3〇1511 保了它在該閥的該開啟位置，一方面，該管的橫截面可被 用於該蒸氣流及，另一方面，該閥的後空間被密封，防止 了該蒸氣穿入該閥引導件，以致於它不再堵塞。 該閥的特殊實施被界定在該獨立的申請專利範圍第9 項（=假獨立項）。 本發明之一實施例顯示在圖中，且將更詳細說明如下。 【實施方式】 圖1顯示本身為已知的一塗覆設備丨的基本結構性部 刀。此處，2標示為一支撐板，其上有一管狀外殼3以凸 緣方式連接，該管狀外㉟3中安置有一蒸發源4。此蒸發 :4由；陶瓷f 5環繞，該陶瓷管5則由一金屬保護管6 %繞。该蒸發源4包括一具備一分割I 8的坩堝7，該八 二I使中，空與一材料空間1〇分離。在該材料 ::9一女置有該有機基板，其待被蒸發。在該坩堝7 撐條彈菁Μ3的撐條"及-熱感測器"。 在遠蒸發源4上方安置有一 被連接另-石英管：在： 其以約45。的角度 塗覆的基板17、。，十備1…6前方安置有該待被 國專利ι〇2249〇8Α1號中找到。 m以在德 圖2再顯示該二石英管15與“ 直於該石英管16而延伸。石英管15不僅石央官15現在垂 於該石英管16,而且它的另一端：：它的-端終止 該石英管18中安置有…、附近連接另-石英管18, 中女置有_源4。在圖

Claims (1)

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97 十、申請專利範圍： 〜 ·—種用於塗覆-基板的裝置，其包含 諸材料Ί發源⑷’其Μ蒸發該基板（⑺將被塗覆之 該二蒸氣引導裝置Ο5’16，18)，"，- h3 一機械式蒸氣屏障（19至^ ^ 置（15,16)中， 至23)，其在該蒸氣引導裝 其特徵為該蒸氣屏障（19至2 待蒸發材料的蒸發溫度的溫度。料在4於或高於該 2·如申請專利範圍第丨項之 障09至23)的溫度比該待基發二ί特徵為該蒸氣屏 50%。 …知材枓的蒸發溫度高5%至 3.如申請專利範圍第…項之裒置， 氣引導裝置⑴，16，18)被維持在與 同的溫度。 开丨早（丨9至23)相 4·如申請專利範圍第1項之梦罢 ^ 障（19至23)由石英組成。、、，-特徵為該蒸氣屏 5·如申請專利範圍第1項 導褒置（15，16，18)由石英組成、。☆、特徵為該蒸氣引 6. 如申請專利範圍第…項之裝置 氟屏障（19至23)是一閥。 “得破為该瘵 7. 如申請專利範圍帛1項之裝置 導裝置（15，16，18)包括至少—― 、政為该蒸氣引 七央管（18)。 12 1301511 8.如申請專利範圍帛！項之裝置，其特徵為該蒸氣引 導裝置（15，16，18)包括二石英管（15，18)，該蒸氣屏障 (19,20,23)被設在該一石英管（18)與該另一石英管（Η)之 間0 9.一種閥，特別是用於開啟及關閉二互相輕合的蒸氣 引導裝置（15，18)，其特徵為 a) 一本體（19)，其具有一至少半球形的表面， b) 一連接於該本體（19)的桿（20,21)， 棋丁貝（23)，纟用於承接該本體（19)的至少—部 以被移動於其中。 其特徵為該本體（19) d) —引導件（22,24)，該桿（2〇,21)可 1〇·如申請專利範圍第9項之閥， 是一球。 • r Μ專利範圍第9或1〇項之閥，其特 相連接的管狀蒸氣引導裝置(15，18)係互相垂直的，且： (2 0,2 1)的縱向轴重人 ^ ^ 軸線。 釉重口於至乂 6亥-㈣引導裝置(18)的縱 導二2:t申請專利範圍第1項之裝置，其特徵為該基氣 ’衣 5，16，18)具備有用於安裝加熱線圈（36 37 38 39、 接頭（30 至 35)。 ’ ’，38,39) 13.如申請專利範圍第12項之裝置，其特 頭 至35)係由石英玻璃組成。 、/ 14 士口由上 甲凊專利範圍第1項之裝置， 發的材料是田^ /、特斂為該等待 用於生產發光二極體的有機材料。 13 1301511 Η•一、圖式： 如次頁

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