CN1789481A - 用于涂覆基片的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于涂覆基片的装置，该装置包括汽化源及位于汽化源与基片之间的隔汽部件。隔汽部件的温度被保持在至少待汽化材料的汽化温度，或在该温度之上。该隔汽部件被实施为一石英阀，此阀包含一个球形封闭部件，该球形封闭部件与一可活动杆连接。在第一位置，该球形封闭部件封闭与汽化源相通的蒸汽输送管；而在第二位置，该球形封闭部件贴靠一球面护罩，从而封闭了一条石英管。
Description
技术领域
本发明涉及一种涂覆装置，尤其涉及一种基片涂覆装置。
背景技术
在计算机和电视机的平面显示器的生产方面，近来的发展是朝向所谓有机发光二极管(OLED)方向。OLED可以通过OVPD(OVPD即有机气相沉积，参看美国专利US 5 554 220)技术来生产，其中，在加热反应器里的一种载体气流在非常低的压力下吸收有机材料，并使这些有机材料在一基片上沉积，从而形成薄层。
另一种给基片涂覆一薄层有机材料的方法是：设置一带有加热装置的基片座，该基片座在其下表面固定基片，该基片例如是玻璃基片(参见欧洲专利EP 0 962 260 A1，即美国专利US 6 101 316)。在此基片下面设置两个用于汽化有机材料的汽化源，如果把位于上述基片和汽化源之间的闸板开启，汽化后的有机材料将沉积在该基片上。
同样已知的是一种用于玻璃仪器的电动控制阀，该阀可以通过电动机来开启和关闭(见德国专利DE 201 15 333 U1)。阀体在此阀中被实施为圆柱体。
另一种全金属阀也是已知的，该阀上装有一个可滑动配件和一个固定密封配件。其中密封配件被实施为板形(见德国专利DE 30 15 487A1)。该阀还另外包含一个密封配件，当上述板形密封配件出现故障时，将启用这个配件。
另一种已知阀的阀体被实施为球体，该球体能够关闭柱形管道(见日本专利Japan 2000120551 A)。
一种球形阀体同样构成一个阀，该阀可用在腐蚀性物质的环境中(参见美国专利US 3 887 162)。
此外，还有一种阀也是已知的，该阀包含球形封闭阀体(参见美国专利US 4 195 666)。这种阀用于控制高腐蚀性的流体，它能把流体封闭在两个不同位置。
美国专利US 3 561 484公开了一种伺服控制阀，其用于把两种流体按照一定比例混合在一起。该阀也包含了一个球形封闭阀体。
由美国专利US 6 101 316可知一种带有汽化有机材料源的汽化装置，其包含了一个开关阀。其中有一抽空装置与装有有机材料的容器相连，当该阀关闭后，抽空装置将抽空该容器内的气体。
OLED材料的汽化装置还被公开在欧洲专利EP 1 357 200 A1和EP1 401 036 A2中。
最后是一种涂覆平面基片的已知装置，其包含一个固定的用于汽化涂覆基片的材料的汽化源(德国专利DE 102 24 908 A1)。该装置包含一个驱动装置，它能使基片相对于汽化源运动。该装置还另外包含了第一分配器和第二分配器，其中第一分配器线性分配汽化源所发出的蒸汽，第二分配器的一端至少位于汽化源附近，而其另一端则位于第一分配器处。这种已知装置用于连续汽化，这就意味着，涂覆过程一旦开始就要持续数小时或数天。由于良好的绝缘性和大热容量，该汽化源的控制过程非常缓慢。从汽化源的加热装置被启动至达到理想的汽化速率，需要一小时以上时间。而从汽化源的加热装置被断开至汽化速率变为零需要同样长的时间。
在所述时间里，非常昂贵的材料从汽化源中汽化掉了，而没能被用来进行涂覆。如果在基片和汽化源中间放置一块闸板，汽化的材料将会沉积在这块闸板上。短短几分钟的汽化中断都是不可能的。
本发明因此提出了这样一个问题：如何中断从汽化源汽化到基片的材料，而同时节省汽化材料。
发明内容
根据一个实施例，本发明提供了一种用于涂覆基片的装置，该装置包含：汽化源，用于汽化要用来涂覆基片的材料；蒸汽输送装置，用于将蒸汽从所述汽化源输送到所述基片；及机械隔汽部件，其位于所述蒸气输送装置中；其特征在于，所述隔汽部件的温度被保持在待汽化的所述材料的汽化温度或该温度之上。该特征解决了上述问题。
因此，本发明涉及一种基片涂覆装置，该装置由汽化源、隔汽部件和基片组成，其中隔汽部件位于汽化源和基片之间。所述隔汽部件的温度至少应保持在所述材料的汽化温度或或该温度之上。
所述隔汽部件是以石英阀的形式来实施的，此阀包含一球形封闭部件，该部件与一可活动的杆连接。在第一位置，该球形封闭部件关闭一条与汽化源连接的蒸汽输送管；而在第二位置，该球形封闭部分贴靠到一球面护罩上，这封闭住一条石英管。
本发明的优点尤其表现在：汽化可以中断，且在此情况下没有材料沉积在基片以外的构件上。因此，所述阀一旦关闭，则一方面基片将不再被涂覆；而另一方面也将不再消耗汽化材料。当所述阀处于开启状态时，这个特定实施方案通过将隔汽部件作为一个特殊的阀，一方面保证管路交叉部分能允许蒸气流动；且另一方面，阀的后部空间被封闭，阻止蒸气渗透进阀的导向部件从而将其粘住。
所述阀的一个特定实施方案特定地用于开启和关闭两个连接在一起的蒸气输送装置，其特征在于：阀体，其具有至少半球形表面；杆，其连接到所述阀体；球面护罩，其用于容纳至少所述阀体的一部分；导向部件，所述杆能够在此导向部件中活动。
附图说明
本发明的实施例实例示于附图中，并将在以下作进一步的详细说明。附图中：
图1是一涂覆装置的主要构件的剖视图；
图2展示出根据图1所示装置的一个变化方案，其中阀是关闭的；
图3是根据图2所示装置，其中阀是开启的。
具体实施方式
图1展示一个已知涂覆装置1自身的基本结构部分。图中用附图标记2来表示一个支撑板，在该支撑板上凸出一个管式外壳3，该外壳内设置有蒸发源4。蒸发源4为一个陶瓷管5所环绕，该陶瓷管又为金属保护管6所环绕。蒸发源4包含坩锅7，坩锅内设置有分隔壁8，该分隔壁使空区9与材料区10相分隔。待汽化的有机物质被置于材料区10内。坩锅7下有一个带有支撑弹簧12、13的支撑座11，以及一个热传感器14。在蒸发源4的上方设置有一石英管15，石英管15以大约45°角与另一石英管16相连。待涂覆的基片17放置在石英管16的前方。该涂覆装置的其它细节可参见欧洲专利DE 102 24 908 A1。
图2再次展示石英管15和16，石英管15在此图中与石英管16垂直地延伸。石英管15不仅在其一端连接到石英管16上，且在其另一端附近还连接到另一个石英管18上，汽化源4就放置在石英管18中。如图2所示，石英管18的上端被玻璃球19所封闭。玻璃球19与玻璃杆20、21相连接，玻璃杆20、21由柱塞22导向，在柱塞22的下端设置有球面护罩23。
在开启状态下，球面护罩23在向上的方向上封闭由柱塞导管24所形成的空间。石英管18、球19、玻璃杆20和球面护罩23由加热装置(图中未示)加热达到一定温度，该温度略高于汽化源4中材料的汽化温度。
在阀25的关闭状态下，球19紧压在石英管18的开口上，从而将此开口关闭。因为所述蒸汽既不会凝结在石英管18的内壁上，也不会凝结在球19的下表面上，因此石英管18中的蒸气压力将增大，从而阻止处于汽化源4内的材料的进一步汽化。
随着阀的开启，球19便被玻璃杆20、21向上提起，从而封闭球面护罩23。
因此，就避免了来自汽化源4的汽化材料对于玻璃杆20、21的腐蚀，及对球面护罩23和柱塞22的腐蚀。
图2所示石英管15、16、18的结构不是绝对的。对应于图1，本装置中的阀25同样也可以放置在该图所示的石英管15中。
图3系图2所示装置中一部分结构的透视图。石英管15和16在此图中未以剖视图来显示，而管18和24则是以剖视图显示的。
石英管15、16、18上有几个明显的接管头，其中只有接管头30至35给出了附图标记。这些接管头起着固定加热线圈36至39的作用，图中只展示了其中一些处于自己位置上的加热线圈。
借助于上述加热线圈，使得石英管15、16、18、24达到待汽化材料的汽化温度。按图3所示贴靠到球面护罩23上的球19，在其图2中的位置上是由被加热的管18来加热的，而在其图3中的位置上，它是通过管24、柱塞22和球面护罩23，而被加热到规定温度的。
图2和3中所示的阀需至少加热到500℃，从而使被汽化材料不能凝结在它的内壁上。该阀由石英玻璃制成，一方面可耐高温，另一方面可耐化学腐蚀。因此而使得OLED材料不会分解，而否则的话该材料在与例如优质钢等物质接触时就会发生分解。
Claims (14)
1.一种用于涂覆基片的装置，该装置包含：
1)汽化源(4)，用于汽化要用来涂覆基片(17)的材料；
2)蒸汽输送装置(15、16、18)，用于将蒸汽从所述汽化源(4)输送到所述基片(17)；
3)机械隔汽部件(19至23)，其位于所述蒸气输送装置(15、16)中；
其特征在于，所述隔汽部件的温度被保持在待汽化的所述材料的汽化温度或该温度以上。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述隔汽部件(19至23)的温度比待汽化的所述材料的汽化温度高5％至50％。
3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述蒸气输送装置(15、16、18)被保持在与所述隔汽部件(19至23)相同的温度。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述隔汽部件(19至23)是由石英制成的。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述蒸气输送装置(15、16、18)是由石英制成的。
6.如上述一项或几项权利要求所述的装置，其特征在于：所述隔汽部件(19至23)是阀。
7.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述蒸气输送装置(15、16、18)包含至少一个石英管(18)。
8.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述蒸气输送装置(15、16、18)包含两个石英管(15、18)，所述隔汽部件(19、20、23)被置于一石英管(18)和另一石英管(15)之间。
9.阀，其特别用于开启和关闭两个连接在一起的蒸气输送装置(15、18)，其特征在于：
a)阀体(19)，其具有一至少半球形表面；
b)杆(20、21)，其连接到所述阀体(19)；
c)球面护罩(23)，其用于容纳至少所述阀体(19)的一部分；
d)导向部件(22、24)，所述杆(20、21)能够在其中活动。
10.如权利要求9所述的阀，其特征在于：所述阀体(19)是球形的。
11.如上述一项或几项权利要求所述的装置，其特征在于：两个管式蒸汽输送装置(15、18)彼此垂直连接，且所述杆(20、21)的纵轴与至少一个蒸汽输送装置(18)的纵轴重合。
12.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述蒸气输送装置上设置有管接头(30至35)，用于固定加热线圈(36、37、38、39)。
13.如权利要求12所述的装置，其特征在于：所述管接头(30至35)是由石英玻璃制成的。
14.如权利要求1所述的装置，其特征在于：待汽化的所述材料是用于生产发光二极管的有机材料。
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