TWI386666B - 偵測裝置以及測試裝置 - Google Patents

Description

偵測裝置以及測試裝置

本發明是關於一種偵測裝置以及測試裝置。特別是關於一種對被測定信號的信號值的變化點進行偵測之偵測裝置以及測試裝置。

在習知技術中，揭示有一種具有多選通脈衝機能的測試裝置(參照專利文獻1)。這種測試裝置分別根據使相位稍稍不同的多個選通脈衝信號(多選通脈衝)，而取得半導體元件等被測試元件所輸出的被測定信號，且根據取得結果而檢測被測定信號的變化時序。

〔專利文獻1〕日本專利早期公開之特開2004-127455號公報

在這種測試裝置中，由於一組多選通脈衝信號對測試循環期間的覆蓋期間有限，所以有時無法得知被測定信號值的變化點位於測試循環期間的大範圍中的哪個位置。在這種情况下，測試裝置可藉由例如擴大多選通脈衝信號的各選通脈衝信號的相位間的間隔，以擴大一組選通脈衝信號對測試循環期間的覆蓋期間而偵測變化點。但是，當擴大多選通脈衝信號的覆蓋期間時，在例如測試循環期間中具有多個被測定信號值的變化點之情况下，測試裝置有時會偵測出除了偵測目標的變化點以外之錯誤的變化點。

因此，從本說明書所包含之技術革新(innovation)的1 個方面來看，本發明的目的是提供一種能夠解决上述課題的偵測裝置以及測試裝置。該目的是藉由專利申請範圍中的獨立項所記述之特徵的組合而達成。而且，從屬項規定本發明的更加有利的具體例子。

亦即，與本說明書中所包含的與技術革新有關的方面所形成之偵測裝置的一個例子(exemplary)，包括：多選通脈衝生成部，其生成彼此相位不同的多個選通脈衝信號；多個取得部，其分別取得前述多個選通脈衝信號的各個時序之被測試信號的信號值；多個變化點偵測部，其在依據鄰接的2個選通脈衝信號而取得的2個信號值不同的情况下，對該2個選通脈衝信號間存在前述被測定信號的變化點之情况進行偵測；光罩設定部，其設定前述多個變化點偵測部中的、被作為有效的前述變化點偵測部；變化時序輸出部，其根據被作為有效的前述變化點偵測部的輸出，而輸出前述被測定信號的變化時序。

而且，與本說明書中所包含的技術革新有關的方面所形成之測試裝置的一個例子(exemplary)，是一種對被測試元件進行測試的測試裝置，包括：測試信號供給部，其對前述被測試元件供給測試信號；以及判定部，其根據前述被測試元件依據前述測試信號所輸出的被測定信號，而判定前述被測試元件的好壞；而且，前述判定部包括：多選通脈衝生成部，其生成彼此相位不同的多個選通脈衝信號；多個取得部，其分別取得前述多個選通脈衝信號的各個時序之被測定信號的信號值；多個變化點偵測部，其在 依據鄰接的2個選通脈衝信號而取得的2個信號值不同的情况下，偵測在該2個選通脈衝信號間是否存在前述被測定信號的變化點；光罩設定部，其設定前述多個變化點偵測部中的被作為有效的前述變化點偵測部；變化時序輸出部，其根據被作為有效的前述變化點偵測部的輸出，而輸出前述被測定信號的變化時序；以及好壞判定器，其根據前述被測定信號的變化時序，而判定前述被測試元件的好壞。

另外，上述發明的概要並未列舉本發明的必要特徵的全部，它們的特徵群的子集(sub-combination)也可又形成發明。

以下，通過發明的實施形態來對本發明的(一)方面進行說明，但以下的實施形態並不對關於申請專利範圍的發明進行限定，而且，實施形態中所說明的特徵的組合的全部也未必是發明的解决方法所必須的。

圖1所示為關於本實施形態的測試裝置100之構成的一個例子。測試裝置100利用具有多個選通脈衝信號之多選通脈衝信號，偵測被測試元件(DUT)200的被測定信號的值，以對被測試元件200進行測試。測試裝置100包括時序產生器10、圖案產生器12、具有波形成形器14的測試信號供給部、判定部16及系統控制部20。

測試信號供給部對被測試元件200供給測試信號。時序產生器10生成用於使測試裝置100動作的時序信號。例 如，時序產生器10從圖案產生器12接收一種測試設置信號，其中，該測試設置信號表示向被測試元件200供給測試圖案的時序。而且，時序產生器10對波形成形器14供給一種表示時序的信號，其中，該時序是一種向被測試元件200供給測試圖案的時序。而且，時序產生器10向多選通脈衝生成部30供給選通脈衝信號，其中，該選通脈衝信號表示多選通脈衝信號生成部30產生的多選通脈衝信號的產生時序。而且，時序產生器10生成使測試裝置100的動作同步之基準時脈，並供給到測試裝置100的各構成要素。

圖案產生器12生成用於對被測試元件200進行測試的測試圖案，並供給到波形成形器14。與此同時，圖案產生器12對判定電路34輸出期待值信號，其中，該期待值信號是由於輸入該測試圖案而期待從被測試元件200輸出的期待值信號。波形成形器14使接收到的測試圖案形成波形。而且，波形成形器14依據從時序產生器10所接收的表示時序的信號，而將成形的測試圖案供給到被測試元件200。判定部16根據被測試元件200依據測試信號(測試圖案)所輸出的被測定信號，而判定被測試元件200的好壞並輸出好壞判定結果信號501。判定部16具有多選通脈衝生成部30和判定電路34。

多選通脈衝生成部30根據從時序產生器10所接收的選通脈衝信號，生成多選通脈衝信號，其中，該多選通脈衝信號為每一定間隔時相位就不同的多相位的選通脈衝信 號。多選通脈衝信號的相數為例如16相、32相等規定的數。而且，多選通脈衝信號在測試周期內，是以時序產生器10所指定的選通脈衝相位位置作為起點，每隔規定的一定間隔而輸出16相或者32相的選通脈衝信號。關於多選通脈衝信號，利用圖3~圖8在後面進行說明。這裏，藉由在多相的選通脈衝信號中，將被測定信號的注目區間設定為細的相位間隔，將注目以外的區間設定為粗相位間隔，可有效地靈活應用有限個數的相數。而且，多相的選通脈衝信號除了一定間隔以外，也可適用所希望的相位間隔。

該判定電路34根據多相的多選通脈衝信號，在各相的時序中閂鎖偵測從被測試元件200所輸出的被測定信號。該判定電路34還偵測該被測定信號值的變化點。另一方面，還從圖案產生器12，對判定電路34供給在被測試元件200相對於測試圖案的輸入而輸出時所期待的信號(期待值信號)。該判定電路34從來自圖案產生器12的期待值信號中，偵測被測定信號的值進行變化之時序(變化點)的期待值資訊。該判定電路34對例如期待值信號的變化點和被測試元件200的被測定信號的變化點進行比較。而且，該判定電路34根據在期待值信號的變化點的範圍內，是否存在被測試元件200的被測定信號的變化點，而判定被測試元件200的好壞並輸出好壞判定結果信號501。

系統控制部20為例如利用圖11而在後面進行說明的計算機裝置，其用於對測試裝置100內的各部進行控制。 而且，系統控制部20從判定電路34接收好壞判定結果信號501，且接收一第1相位準信號401、一變化點相位信號402及一突變脈衝(glitch)偵測信號403，並决定且輸出下一測試周期的、對光罩設定部330進行遮罩的選通脈衝信號之相位的設定值，和對基準信號設定部340輸出基準信號之取得部的設定值。

作為被測試元件200，也可為例如使用DDR-SDRAM(Double Date Rate-SDRAM，雙倍速率同步動態隨機存儲器)等的半導體元件的積體電路。DDR-SDRAM是與時脈(DQS)信號的上升或下降同步而輸出數據(DQ)信號，以緩和數據交接時的建立(set up)/保持(hold)的時序條件。在這種元件中，為了無誤地進行數據的建立/保持，需要在被測定信號和時脈信號之間形成規定的建立時間及保持時間。在被測試元件200為DDR-SDRAM的情况下，判定部16將DDR-SDRAM的被測定信號及與被測定信號同步而輸出的時脈信號亦即DQS，作為輸出信號而予以接收。在這種情况下，判定部16根據所接收的被測定信號及時脈信號，進行被測試元件200的建立/保持測試，以判定被測試元件200的好壞。具體地說，判定部16分別利用不同的多選通脈衝來取得被測定信號及時脈信號，並根據變化點的相位差而進行該建立/保持測試。

圖2所示為關於本實施形態的判定電路34之構成的一個例子。判定電路34為關於本實施形態的偵測裝置的一個例子，包括：位準偵測部375、多個取得部300a~e、多個 變化點偵測部310a~e、多個變化點光罩部320a~e、光罩設定部330、變化時序輸出部360及好壞判定部370。

位準偵測部375輸入從被測試元件200所輸出的類比電壓的被測定信號，並輸出與信號位準相對應的邏輯值。例如，位準偵測部375根據輸入電壓較規定的閾值電壓VO大或小，而輸出1或0等不同的值。而且，位準偵測部375具有例如規定的閾值電壓為高電位側的VOH和低電位側的VOL這2種系統。位準偵測部375也可在輸入電壓從低電位側向高電位側躍遷的情况下，利用高電位側的VOH作為規定的閾值電壓，而在輸入電壓從高電位側向低電位側躍遷的情况下，利用低電位側的VOL作為規定的閾值電壓。

多個取得部300a~e是從多選通脈衝生成部30輸入多個選通脈衝信號，並分別取得多個選通脈衝信號的各個時序之被測定信號的信號值。另外，多個取得部300a~e是將其信號值向後部的變化點偵測部310和基準信號選擇部350輸出。多個取得部300a~e可為例如分別以各選通脈衝信號作為時脈而閂鎖被測定信號之正反器。多個取得部300a~e包括第1取得部300a、第2取得部300b、第3取得部300c、第4取得部300d、…、第n取得部300e(n為正的整數)。

第1取得部300a可輸入位準偵測部375的輸出值和多選通脈衝信號的第1相位的選通脈衝信號，並輸出在第1相位的選通脈衝信號的時序所偵測之位準偵測部375的輸 出值。

第2取得部300b可輸入位準偵測部375的輸出值和多選通脈衝信號的第2相位的選通脈衝信號，並輸出在第2相位的選通脈衝信號的時序所偵測之位準偵測部375的輸出值。

第3取得部300c以後的各取得部也同樣地，可輸入位準偵測部375的輸出值和多選通脈衝信號的對應相位的選通脈衝信號，並輸出在該選通脈衝信號的時序所偵測之位準偵測部375的輸出值。

多個變化點偵測部310a~e是從多個取得部300a~e輸入各被測定信號的信號值，並在依據鄰接的2個選通脈衝信號所取得的2個信號值不同的情况下，偵測出在該2個選通脈衝信號之間存在被測定信號的變化點。另外，多個變化點偵測部310a~e將其偵測結果輸出到後部的變化點光罩部320。多個變化點偵測部310a~e可為例如“互斥或”閘，分別輸入從多個取得部300a~e內的對應的取得部和與其鄰接的後側的選通脈衝信號側的取得部所輸出之各被測定信號的信號值。多個變化點偵測部310a~e包括第1變化點偵測部310a、第2變化點偵測部310b、第3變化點偵測部310c、第4變化點偵測部310d、…、第n變化點偵測部310e(n為正的整數)。

第1變化點偵測部310a中可輸入第1取得部300a的輸出和第2取得部300b的輸出，並在雙方的值不同的情况下輸出變化點偵測信號。亦即，在被測試元件200所輸出 的被測定信號的位準於第1相位的選通脈衝信號的時序時和第2相位的選通脈衝信號的時序時有所不同的情况下，第1變化點偵測部310a輸出變化點偵測信號。

同樣，在被測試元件200所輸出的被測定信號的位準於第2相位的選通脈衝信號的時序時和第3相位的選通脈衝信號的時序時有所不同的情况下，第2變化點偵測部310b輸出變化點偵測信號。而且，第3變化點偵測部310c以後的各變化點偵測部，也是在被測試元件200所輸出的被測定信號的位準於對應順序的相位的選通脈衝信號的時序時和其下一相位的選通脈衝信號的時序時有所不同的情况下，輸出變化點偵測信號。

多個變化點光罩部320a~e從多個變化點偵測部310a~e輸入被測定信號的變化點的偵測結果，並依據光罩設定部330的設定內容，將多個變化點偵測部310a~e中的、有效的變化點偵測部310的偵測結果輸出到後部的變化時序輸出部360，而對不是有效的變化點偵測部310的偵測結果進行遮罩。多個變化點光罩部320a~e可為例如“及(AND)”閘，分別輸入從多個變化點偵測部310a~e內的對應的變化點偵測部所輸出之被測定信號的變化點的偵測結果和光罩設定部330的輸出。多個變化點光罩部320a~e包括第1變化點光罩部320a、第2變化點光罩部320b、第3變化點光罩部320c、第4變化點光罩部320d、…、第n變化點光罩部320e。

第1變化點光罩部320a中可輸入第1變化點偵測部 310a的輸出和光罩設定部330的輸出，當偵測到在第1相位的選通脈衝信號的時序和第2相位的選通脈衝信號的時序之間的被測定信號值的變化點，且第1相位的選通脈衝信號的時序不是遮罩的對象時，輸出變化點偵測信號。具體地說，第1變化點光罩部320a是在不遮罩第1變化點偵測部310a的輸出之情况下，從光罩設定部330輸入邏輯值1，在遮罩第1變化點偵測部310a的輸出之情况下，從光罩設定部330輸入形成邏輯值0的光罩信號，並輸出第1變化點偵測部310a的輸出和光罩信號的邏輯積。

同樣，第2變化點光罩部320b中可輸入第2變化點偵測部310b的輸出和光罩設定部330的輸出，當偵測到在第2相位的選通脈衝信號的時序和第3相位的選通脈衝信號的時序之間的被測定信號值的變化點，且第2相位的選通脈衝信號的時序不是遮罩的對象時，輸出變化點偵測信號。而且，第3變化點偵測部320c以後的各變化點光罩部，也是輸入對應順序的變化點偵測部的輸出和光罩設定部330的輸出，當偵測到對應順序的相位的選通脈衝信號的時序和其下一相位的選通脈衝信號的時序之間的被測定信號值的變化點，且對應順序的相位的選通脈衝信號的時序不是遮罩的對象時，輸出變化點偵測信號。

光罩設定部330設定多個變化點偵測部310a~e中的有效的變化點偵測部310。具體地說，光罩設定部330具有與各變化點偵測部310相對應的設定暫存器。

基準信號設定部340將多個取得部300a~e所取得的 多個信號值中的某個信號值設定為表示被測定信號的變化前或變化後的值之基準信號值。例如，在設定表示被測定信號的變化前的值之基準信號值的情况下，測試裝置100可在基準信號設定部340中進行設定，使與多選通脈衝信號的初期相位相對應之第1取得部300a的輸出作為基準信號。

而且，在例如設定表示被測定信號的變化後的值之基準信號值的情况下，測試裝置100可將取得部300利用多選通脈衝信號所偵測到的各信號值中的、選通脈衝信號的相位中最後的信號值設定在基準信號設定部340中。例如，在將圖案產生器12的圖案記憶體中所記載之多選通脈衝信號的期待值反轉應用的情况下，基準信號設定部340變為將選通脈衝信號的相位中最前之信號值設定為基準信號值，可將選通脈衝信號的相位中最後之信號值設定為基準信號值。藉此，基準信號設定部340可不變更圖案產生器12的圖案記憶體中的測試圖案的數據，而使測試圖案的期待值反轉。

而且，基準信號設定部340可將輸入到變化點偵測部310的信號值中的、由光罩設定部330設定為有效且對應的選通脈衝信號的相位中最前或最後之信號值，設定為基準信號值。例如，當在前一測試周期(第1測試周期)中偵測到被測定信號值的變化點有多個突變脈衝(glitch)時，利用系統控制部20而在光罩設定部330中設定有效的變化點偵測部310。系統控制部20將藉由未遮罩(被設定為有 效)的選通脈衝信號的相位所偵測的各信號值中的、最前的信號值或最後的信號值，設定為基準信號設定部340中作為下次測試周期(第2測試周期)中的基準信號。

另外，從基準信號選擇部350所輸出的基準信號值既可為被測定信號的信號值本身，也可為從位準偵測部375所輸出的H側或L側的位準比較器輸出中的、從與期待值相對應的位準比較器所輸出的有效/失效值。基準信號值即使為有效/失效值，也表示信號值。

基準信號選擇部350從多個信號值中選擇某個信號值並輸出。基準信號選擇部350可輸入多個取得部300a~e的各輸出信號和基準信號設定部340的輸出信號，並將基準信號設定部340中設定的取得部300所發出的輸出信號，選擇為第1相位準信號401並向好壞判定器370輸出。例如，在利用基準信號設定部340而將第1取得部300a的輸出設定為基準信號的情况下，基準信號選擇部350選擇第1取得部300a的輸出，並作為第1相位準信號401而輸出到好壞判定器370。同樣，在利用基準信號設定部340而將第2取得部300b的輸出設定為基準信號的情况下，基準信號選擇部350選擇第2取得部300b的輸出，並作為第1相位準信號401而輸出到好壞判定器370。以後也是同樣地，在利用基準信號設定部340而將第3取得部300c以後的取得部的輸出設定為基準信號的情况下，基準信號選擇部350選擇其取得部的輸出，並作為第1相位準信號401而輸出到好壞判定器370。通常，在全部的取得 部300a~300e的區間中，由光罩設定部330所設定的有效偵測區間的頂頭位置須被設定而顯示出來。藉此，可由第1相位準信號401的H/L位準，而特定出被測定信號是由L位準進行了躍遷還是從H位準進行了躍遷，所以可用於好壞判定的條件中。

變化時序輸出部360根據有效的變化點偵測部310的輸出，而輸出被測定信號的變化時序。該變化時序輸出部360例如為優先(priority)編碼器，可輸入多個變化點光罩部320a~e的各輸出，並根據該輸入，而將變化點相位信號402及突變脈衝偵測信號403輸出到好壞判定器370，其中，變化點相位信號402表示在哪個選通脈衝信號的相位中偵測到被測定信號值的變化點，突變脈衝信號403表示存在多個變化點。

好壞判定器370根據被測定信號的變化時序，以判定被測試元件200的好壞。好壞判定器370是輸入來自基準信號選擇部350的第1相位準信號401、來自變化時序輸出部360的變化點相位信號402及突變脈衝偵測信號403、來自圖案產生器12的多位元的期待值信號，並輸出第1相位準信號401、變化點相位信號402、突變脈衝偵測信號403及好壞判定結果信號501。而且，好壞判定器370亦可將好壞判定結果信號501向圖案產生器12輸出，並使從圖案產生器12所輸出的圖案變更為下一測試用。這裏，也可在好壞判定器370、基準信號選擇部350及變化時序輸出部360之間設置失效記憶體。在這種情况下，失效記 憶體中可寫入基準信號選擇部350及變化時序輸出部360的輸出。好壞判定器370可在測試後或測試途中讀出失效記憶體的內容並進行上述控制。另外，圖2的構成例中，存在著從圖案產生器12即時地接收可變更期待值數據的多位元的期待值信號之情况，但在不要求即時性的情况下，可在好壞判定器370內設置期待值暫存器(未圖示)，並與上述同樣地進行好壞判定。

這樣，在本實施形態的判定部16中，當取得與多選通脈衝信號的各選通脈衝信號對應之被測定信號的信號值並得到信號值的變化點時，可利用多個變化點光罩部320a~e、光罩設定部330、基準信號設定部340及基準信號選擇部350等，將突變脈衝等不要的變化點予以遮罩。另外，在本實施形態的判定部16中，可將除了遮罩對象以外的選通脈衝信號的最前或最後的偵測信號值設定為基準值。因此，本實施形態的判定部16在跳動的變動幅度大的情况下，也可利用一組多選通脈衝信號來偵測被測定信號值的變化點，除此以外，在偵測到多個被測定信號值的變化點的情况下，可藉由將偵測目的之變化點以外的錯誤變化點進行遮罩而不偵測。

圖3(a)、(b)所示為被測定信號和選通脈衝信號的關係的一個例子。在圖3(a)中，DUT輸出為例如從被測定元件200向位準偵測部375輸出的被測定信號。VOH為位準偵測部375的高電位側的閾(threshold)值，VOL為位準偵測部375的低電位側的閾值。例如，在輸入電壓從 低電位側向高電位側進行躍遷的情况下，也可利用高電位側的VOH作為規定的閾值電壓，在輸入電壓從高電位側向低電位側進行躍遷的情况下，也可利用低電位側的VOL作為規定的閾值電壓。圖3(b)為例如16相位的多選通脈衝信號，是最前(左端)的選通脈衝信號指定了的選通脈衝的相位。而且，各選通脈衝間隔為例如數十p秒，可對測試周期非常短地進行設定。

圖4(a)~(d)所示為間隔較窄之選通脈衝信號與被測定信號的關係的一個例子。在圖4(a)中，DUT輸出表示在測試周期內有1個被測定信號值的變化點之情况的一個例子。在圖4(b)中，相對於圖4(a)的被測定信號值的變化點而言，各選通脈衝間隔窄的多選通脈衝信號(A)是在測試周期內的前側的位置開始產生及結束，無法對被測定信號值的變化點進行偵測之情况的一個例子。在這種情况下，測試裝置100將多選通脈衝信號(A)的開始相位的位置，變為測試周期內的後側的位置而再次偵測被測定信號值的變化點。

在圖4(c)中，仍是表示相對於(a)的被測定信號值的變化點，多選通脈衝信號(A)是在測試周期內的前側的位置開始產生及結束，無法對被測定信號值的變化點進行偵測之情况的一個例子。在這種情况下，測試裝置100是將多選通脈衝信號(A)的開始相位的位置，變為測試周期內的較(c)的情况還往後側的位置，而再進行被測定信號值的變化點偵測。圖4(d)所示為相對於(a)的被 測定信號值的變化點，可利用多選通脈衝信號(A)偵測被測定信號值的變化點之情况的一個例子。在這種情况下，測試裝置100可變化多選通脈衝信號(A)的開始相位的位置，而不再偵測被測定信號值的變化點。測試裝置可利用所偵測的被測定信號值的變化點而實施測試，或者判定測試結果。

在具有圖3(a)、(b)及圖4(a)~(d)所示的信號輸入之情况下，利用多選通脈衝信號(A)的測試裝置中選通脈衝信號的相數固定，各選通脈衝信號間的時間間隔非常小，且相對於測試周期期間，由多選通脈衝信號(A)所覆蓋的期間少，所以，有時利用1次多選通脈衝信號(A)無法偵測被測定信號值的變化點。這種情况的測試裝置變更了測試周期期間內的多選通脈衝信號(A)開始之相位的位置，並反復進行被測定信號值的偵測處理等直至發現被測定信號值的變化點為止。

圖5(a)、(b)所示為間隔寬之選通脈衝信號與被測定信號的關係的一個例子。圖5(a)所示為DUT輸出在測試周期內具有一個被測定信號值的變化點之情况的一個例子。圖5(b)所示為相對於(a)的被測定信號值的變化點，可利用藉由擴大各選通脈衝間隔以擴大測試周期內的覆蓋範圍之多選通脈衝信號(B)，而偵測被測定信號值的變化點之情况的一個例子。在這種情况下，測試裝置100也可改變多選通脈衝信號(B)的開始相位的位置，而不再偵測被測定信號值的變化點。測試裝置100可利用 所偵測的被測定信號值的變化點，而實施測試或者判定測試結果。

在有圖5(a)、(b)所示的信號輸入的情况下，利用多選通脈衝信號(B)的測試裝置藉由擴大多選通脈衝信號的各選通脈衝信號間的各相位間的間隔，可增大一組多選通脈衝信號對測試周期期間的覆蓋期間，以偵測被測定信號值的變化點。

圖6(a)~(f)所示為產生了跳動之被測定信號和選通脈衝信號的關係的一個例子。圖6(a)所示為DUT輸出的被測定信號值的變化點產生了非常大的跳動之情况的一個例子。圖6(b)所示為要利用多選通脈衝信號(A)，以偵測產生了(a)的大跳動的被測定信號值的變化點之情况的一個例子。圖6(c)所示為產生了(a)的大跳動的被測定信號值的變化點是在跳動範圍的最前側之情况的一個例子。圖6(d)所示為利用多選通脈衝信號(A)的最前側的選通脈衝信號，無法偵測(c)的跳動範圍最前側的被測定信號值的變化點之情况的一個例子。圖6(e)所示為與(c)同樣地，產生了(a)的大跳動的被測定信號值的變化點為跳動範圍的最前側之情况的一個例子。圖6(f)所示為相對於(a)的被測定信號值的變化點，可利用多選通脈衝信號(B)來偵測被測定信號值的變化點之情况的一個例子。

如圖6(a)~(d)所示，在利用多選通脈衝信號(A)的測試裝置中，如跳動的變動幅度較多選通脈衝信號的全 相數的期間幅度還大，則利用1個測試周期，有時無法偵測被測定信號值的變化點。因此，測試裝置100變更了測試周期期間內的多選通脈衝信號開始之相位的位置，反復進行偵測處理。與此相對，如圖6(e)、(f)所示的，在利用增大各選通脈衝信號間的時間間隔以增大一組多選通脈衝的覆蓋期間之多選通脈衝信號(B)的測試裝置中，即使抖動的變動幅度大，也可利用1組多選通脈衝信號來偵測被測定信號值的變化點。

圖7(a)~(c)所示為產生了抖動和突變脈衝之被測定信號和選通脈衝信號的關係的一個例子。圖7(a)所示為DUT輸出的被測定信號值的變化點產生跳動和突變脈衝，此例子中顯示，不是偵測對象的前側變化點的跳動大，而偵測對象的後側變化點的跳動比較小之情况。圖7(b)所示為可利用多選通脈衝信號(A)，來偵測因(a)的後側變化點的比較小的跳動而作為目的之被測定信號值的變化點之情况的一個例子。圖7(c)所示為因(a)的後側變化點的比較小的抖動而作為目的之被測定信號值的變化點，也可利用多選通脈衝信號(B)來進行偵測，但(a)的前側變化點大的跳動的、除了目的以外的被測定信號值的變化點也會進行偵測之情况的一個例子。

如圖7(a)、(b)所示，如可在適當的時序利用窄範圍的多選通脈衝信號(A)，則測試裝置100可偵測作為目的之被測定信號值的變化點。但是，如圖7(a)、(c)所示，如利用寬範圍的多選通脈衝信號(B)，則偵測目 的之被測定信號值的變化點以外之失效的被測定信號值的變化點有時也會偵測。

圖8(a)~(f)所示為具有被測定信號值的變化點之被測定信號和選通脈衝信號的關係的一個例子。

圖8(a)所示為在測試周期期間內具有1個被測定信號的被測定信號值的變化點，且多選通脈衝信號(B)最前的選通脈衝信號的相位的信號值為有效(pass)的基準信號值之情况的一個例子。

圖8(b)所示為在測試周期期間內具有1個被測定信號的被測定信號值的變化點，且多選通脈衝信號(B)最前的選通脈衝信號的相位的信號值為失效(fail)的基準信號值之情况的一個例子。

圖8(c)所示為在測試周期期間內被測定信號的被測定信號值的變化點未存在，且多選通脈衝信號(B)最前的選通脈衝信號的相位的信號值為有效(pass)的基準信號值之情况的一個例子。

圖8(d)所示為在測試周期期間內被測定信號的被測定信號值的變化點未存在，且多選通脈衝信號(B)最前的選通脈衝信號的相位的信號值為失效(fail)的基準信號值之情况的一個例子。

圖8(e)所示為在測試周期期間內具有多個被測定信號的被測定信號值的變化點(突變脈衝)，且多選通脈衝信號(B)最前的選通脈衝信號的相位的信號值為有效(pass)的基準信號值之情况的一個例子。

圖8(f)所示為在測試周期期間內具有多個被測定信號的被測定信號值的變化點(突變脈衝)，且多選通脈衝信號(B)最前的選通脈衝信號的相位的信號值為失效(fail)的基準信號值之情况的一個例子。

在圖8(a)~(d)所示的信號輸入的情况下，如利用多選通脈衝信號(B)，則測試裝置100將例如多選通脈衝信號(B)的最前選通脈衝信號的相位之信號值作為基準信號值。測試裝置100可根據其後的選通脈衝信號的相位是否偵測到被測試信號值的變化點，而偵測被測定信號值的變化點是有效(pass)還是失效(fail)的變化或者為相反的變化。然後，測試裝置100可利用該變化點，實施測試或者判定測試結果。

而且，在圖8(e)、(f)所示的信號輸入的情况下，當利用多選通脈衝信號(B)時，測定裝置100根據例如被測定信號值的變化點的數目是否為多個，而偵測出突變脈衝，並將基準信號值和被測定信號值的變化點的有無和突變脈衝的有無通知後部的控制電路。藉此，測試裝置100可通知作為被測定信號之DUT輸出的概略波形。亦即，這裏所示的測試裝置100藉由通知基準信號值、變化點的有無和突變脈衝的偵測結果，而不用全部傳送被測定信號值和多選通脈衝信號的時序比較結果，即可通知DUT輸出的概略波形。但是，利用多選通脈衝信號(B)之情况下的測試裝置100，當對例如圖8(e)或(f)的輸入偵測到突變脈衝時，有時無法偵測到偵測目的之變化點。與此 相對，本實施形態的測試裝置100即使在圖8(e)或(f)那種輸入的情况下，也可藉由將不含偵測目的在內的變化點以外的部分予以遮罩，而只偵測作為偵測目的之變化點。

圖9所示為關於本實施形態的好壞判定器370之內部構成的一個例子。DQ側變化時序輸出部360a基本上與圖2所示的變化時序輸出部360相同，但所輸入的信號為數據(DQ)信號，並輸出數據(DQ)信號的變化點的相位而作為DQ側變化點相位信號402a。DQS側變化時序輸出部360b也是基本上與圖2所示的變化時序輸出部360相同，但所輸入的信號為時脈(DQS)信號，並輸出時脈(DQS)信號的變化點的相位而作為DQS側變化點相位信號402b。差分器380輸入DQS側變化點相位信號402b和DQ側變化點相位信號402a，並求取兩信號的時序的差分，且將其結果作為相位差信號405而輸出。

例如，相位差偏移比較部390是將所輸入的相位差信號405，與根據測試裝置100和被測試元件200的規格所預先規定的偏移範圍進行比較。亦即，將時脈信號和被測定信號的相位差，與規格進行比較並輸出此一比較結果。判定部400在時脈信號和被測定信號的相位差為規格範圍以外的情况下，將失效(fail)判定作為好壞判定結果信號501而輸出到系統控制部20。判定部400在時脈信號和被測定信號的相位差為規格範圍以內的情况下，將有效(pass)判定作為好壞判定結果信號501而輸出到系統控制部20。而且，判定部400在時脈信號和被測定信號的相 位差為規格範圍以外的情况下，即使改變條件再次進行測試，也向系統控制部20輸出失效(fail)判定。

系統控制部20在接收到失效(fail)判定的情况下，對光罩設定部330及基準信號設定部340輸出設定的變更。系統控制部20在下一測試周期的測試中，利用該設定來實施測試。

圖10所示為關於本實施形態的測試裝置100之概略動作的流程圖。系統控制部20與針對測試圖案輸入的來自被測試元件200的被測定信號(被測定信號)同步，而從多選通脈衝生成部30對判定電路34輸出多選通脈衝信號(B)(S1)。該判定電路34的位準偵測部375從被測定信號的類比信號值取得數位信號值，並輸出到取得部300(S2)。取得部300利用多選通脈衝信號(B)，將各選通脈衝信號的相位的各信號值，輸出到變化點偵測部310和基準信號選擇部350。

基準信號選擇部350依據基準信號設定部340中所設定的基準信號，選擇例如用於偵測目的變化點的第1相的選通脈衝信號，並從所輸入的各信號值中偵測第1相的信號值。然後，基準信號選擇部350將偵測結果作為第1相位準信號401，且輸出到好壞判定器370及系統控制部20(S3)。

例如，在初次測試周期中被測定信號值的變化點的數目不明的情况下，或者，在上次的測試周期中被測定信號值的變化點唯一而未偵測到突變脈衝的情况下，系統控制 部20將取得部300所偵測的各信號值中的最前(第1相)信號值，作為下一測試周期中的基準信號且設定在基準信號設定部340中。而且，在將多選通脈衝信號的期待值反轉應用的情况下，系統控制部20也可將最後相的信號值作為下一測試周期的基準信號且設定在基準信號設定部340中。這樣，基準信號設定部340可將得到多選通脈衝信號中的基準信號的相位，設定為該多選通脈衝信號的最前的選通脈衝信號或最後的選通脈衝信號。

變化點偵測部310藉由偵測從取得部300所輸入的各信號值中的、鄰接的選通脈衝信號所對應的信號值存在著不同之情况，而偵測變化點並輸出變化點偵測信號(S4)。

具體地說，在最初的第1測試周期中，由於利用光罩設定部330所進行的光罩的設定不明，所以，例如變化點光罩部320也可使變化點偵測信號全部通過。

在變化時序輸出部360中，是由變化點偵測部310通過變化點光罩部320而輸入的各變化點偵測信號中，首先判定變化點的有無(S5)。在有變化點的情况下(S5：YES)，該變化時序輸出部360根據該變化點與例如多選通脈衝信號中的各選通脈衝信號的第幾個信號相對應，而偵測是哪個相位的時序(S6)。在沒有變化點的情况下(S5：NO)，測試裝置100結束處理。

接著，該變化時序輸出部360從所輸入的變化點偵測信號，判定是否存在多個變化點(S7)。在存在多個變化點的情况下(S7：YES)，該變化時序輸出部360向好壞 判定器370及系統控制部20輸出突變脈衝偵測信號403。在不存在多個變化點的情况下(S7：NO)，該變化時序輸出部360偵測與被測定信號的1個變化點相對應之相位的時序，並作為變化點相位信號402而輸出到好壞判定器370及系統控制部20，然後結束處理(S10)。

在上述步驟S7為YES的情况下，系統控制部20判定對光罩設定部330的設定是否為初次(S8)。但是，所說的對光罩設定部330的設定為初次，是指例如上述那樣，在第1測試周期中變化點偵測部310使全部的變化點偵測信號通過之後的、對光罩設定部330的設定為初次。在初次設定的情况下(S8：YES)，系統控制部20在光罩設定部330中，進行例如使最前的變化點為有效變化點，使其它的變化點為無效之初次的有效變化點的設定，並進入到隨後的第2測試周期而返回到S1。在這種情况下，具體地說，系統控制部20作為初次的有效變化點的設定，在多選通脈衝信號中與偵測最前的變化點之選通脈衝信號相對應的信號值之前，並不設定光罩，而是對與其後的選通脈衝信號相對應的信號值，在光罩設定部330中加以設定以進行遮罩。

而且，系統控制部20對基準信號選擇部350，也是從未設定光罩的範圍選擇用於偵測目的變化點的第1相的選通脈衝信號以進行設定。在不是初次設定的情况下(S8：NO)，系統控制部20在光罩設定部330中，進行與到前次為止不同的有效變化點的設定，而且，對基準信號選擇 部350，也是從未設定光罩的範圍中選擇用於偵測目的變化點的第1相的選通脈衝信號以進行設定，並進入到接著的第2測試周期而返回到S1(S9)。在這種情况下，系統控制部20在使例如最前的變化點作為有效變化點的情况下，作為第1相的選通脈衝信號，可選擇未設定光罩之範圍的最前的選通脈衝信號並設定在光罩設定部330中。

例如，對利用步驟S7的處理，偵測到表示在第1測試周期中存在多個被測定信號值的變化點之突變脈衝的情况下的步驟S8的處理來進行說明。在這種情况下，系統控制部20在光罩設定部330中進行設定，將例如被測定信號值的最前的變化點作為偵測目的之變化點，並對剩餘的變化點進行遮罩。藉此，在第2測試周期中，變化點光罩部320將作為偵測目的之最前的變化點以外之相位的選通脈衝信號所形成的、變化點偵測部310的偵測結果進行遮罩。結果，系統控制部20及光罩設定部330可在下一測試周期中，使變化點光罩部320只輸出作為偵測目的之最前的變化點。

上述實施形態是就以下情况來說明，即，在第1測試周期中，光罩設定部330為使變化點偵測信號全部通過的設定，如其結果是偵測到多個變化點，則實施第2測試周期的光罩設定部330的設定。但是，在例如光罩設定部330中預先設定有效的變化點偵測部310，即使偵測到多個變化點的情况下，也可由第1測試周期得到作為目的之變化點偵測信號。

圖11所示為關於本實施形態的測試裝置100之變形例的概略動作的流程圖。

在圖11的流程圖中，步驟S18為與圖10的步驟S8同樣地，是一種用於判定對光罩設定部330的設定是否為初次的處理。而且，步驟S19為與圖10的步驟S9同樣的處理。但是，本變形例的不同點在於，在各測試周期的處理中，於最初時實施這些處理。系統控制部20在對光罩設定部330為初次設定的情况下(S18：YES)，將預先設定的初次設定來對光罩設定部330進行設定並進入到步驟1。系統控制部20在不是對光罩設定部330的初次設定的情况下(S18：NO)，利用步驟S19而進行與前次不同的有效變化點的設定，並進入到步驟1。步驟S1~步驟S7及S10的處理內容是與圖10的情况相同，不同點在於，在步驟S5為NO的情况下，並不結束處理而是返回到步驟S19，進行與到前次為止不同的有效變化點的設定。

圖11之情况下的光罩設定部330在第1測試周期中，是使多個變化點偵測部310a~e中的、輸入2個以上的信號值之2個以上的變化點偵測部310有效，其中，該信號值是依據鄰接的2個以上的選通脈衝信號而取得。然後，該變化時序輸出部360對包含2個以上的變化點偵測部310之第1組，偵測被測定信號的變化時序，其中，該變化點偵測部310是在第1測試周期中利用光罩設定部330而設定為有效。所說的依據鄰接的2個以上的選通脈衝信號所取得的2個以上的信號值，可為例如從圖2的鄰接的 第1取得部300a~第3取得部300c所輸出的信號值。而且，所說的2個以上的變化點偵測部310，在例如從上述的第1取得部300a~第3取得部300c所輸出的信號值之情况下，可為與各取得部對應的變化點偵測部310a~c。在這種情况下，可使變化點偵測部310a~c為第1組。

而且，圖11的情况下的光罩設定部330在接著的第2測試周期中，使多個變化點偵測部310a~e中的、與第1組不同的2個以上的變化點偵測部310有效，其中，該變化點偵測部310是輸入依據鄰接的2個以上的選通脈衝信號所取得的2個以上的信號值。然後，該變化時序輸出部360對包含2個以上的變化點偵測部310之第2組，偵測被測定信號的變化時序，其中，該變化點偵測部310是在第2測試周期中利用光罩設定部330而設定為有效。所說的與第1組不同之2個以上的變化點偵測部310，相對例如上述的第1測試周期之情况下的變化點偵測部310a~c，可為變化點偵測部310d~e。在這種情况下，可使變化點偵測部310d~e作為第2組。

而且，在變化時序輸出部360依據有效的2個以上的變化點偵測部310偵測到2個以上的變化點之情况，而偵測到突變脈衝時，系統控制部20對在光罩設定部330中所設置的設定值，使作為有效的變化點偵測部310的範圍縮小。系統控制部20是依據變化時序輸出部360偵測到突變脈衝的情况而實施該處理。例如，系統控制部20將與圖7(c)的多選通脈衝(B)中從最前開始到6個為止之選通 脈衝信號所對應之變化點的偵測信號設定在光罩設定部330中。於是，變化點偵測部310的有效範圍變窄。藉此，可使系統控制部20及光罩設定部330在接著的測試周期中，容易從變化點光罩部320輸出作為偵測目的之變化點。

而且，在偵測到突變脈衝的情况下，例如在目的變化點後側偵測到目的以外的變化點時，則系統控制部20依據利用好壞判定器370使基準信號值與期待值一致且該變化時序輸出部360偵測到了突變脈衝之情况，而設定光罩設定部330。系統控制部20對光罩設定部330進行如下的設定，即，在基準信號值表示被測定信號的變化前的信號值之情况下，使變化後的信號值輸入用之變化點偵測部310無效，在基準信號值表示被測定信號的變化後的信號值之情况下，使變化前的信號值輸入用之變化點偵測部310無效。例如，在圖8(e)的左圖中最前的上升邊緣為目的變化點之情况下，如最前的選通脈衝信號ST1所對應的信號值是與期待值一致的基準信號值，則系統控制部20對光罩設定部330進行設定，使圖8(e)的左圖中的選通脈衝信號STn+1以後的全部選通脈衝信號所對應之變化點偵測部310無效。而且，在信號值受到跳動的影響之情况下，系統控制部20也可對光罩設定部330進行設定，例如，指定從選通脈衝信號STn+1開始能夠消除抖動的影響之只有規定數以後的選通脈衝信號，並使此後的選通脈衝信號所對應的變化點偵測部310成為無效。即使這樣，系統控制部20及光罩設定部330也可在下一測試周期中，從變化點 偵測部320容易地輸出作為偵測目的之變化點。

而且，在偵測到突變脈衝的情况下，例如在目的變化點前側偵測到目的以外的變化點，則系統控制部20依據基準信號值與期待值不同且該變化時序輸出部360偵測到突變脈衝之情况，而設定光罩設定部330。系統控制部20對光罩設定部330進行如下的設定，即，在基準信號值表示被測定信號的變化前的信號值之情况下，使變化前的信號值輸入用之變化點偵測部310無效，在基準信號值表示被測定信號的變化後的信號值之情况下，使變化後的信號值輸入用之變化點偵測部310無效。例如，在圖8(f)的左圖中的步驟STSn+1之後的上升邊緣是目的變化點之情况下，如最前的變化後的選通脈衝信號STn+1所對應的信號值是與期待值不一致的基準信號值，則系統控制部20對光罩設定部330進行設定，使圖8(f)的左圖中的選通脈衝信號STn+1以前的全部選通脈衝信號所對應之變化點偵測部310無效。在這種情况下，如信號值受到跳動的影響，則系統控制部20也可對光罩設定部330進行如下的設定，即，例如，指定從選通脈衝信號STn+1開始能夠消除抖動的影響之只有規定數以前的選通脈衝信號，並使此前的選通脈衝信號所對應的變化點偵測部310無效。即使這樣，系統控制部20及光罩設定部330也可在下一測試周期中，從變化點偵測部320容易地輸出作為偵測目的之變化點。

這樣，在本實施形態的測試裝置100中，當偵測到突 變脈衝時，在例如多個測試周期的各個中，利用多個包括由光罩設定部330設定為有效的2個以上的變化點偵測部310之組，而偵測出變化時序。然後，這種情况下的測試裝置100在某個組中偵測到變化時序時，使被測定信號的變化時序成為該偵測到的變化時序。

圖12所示為關於本實施形態的系統控制部20之硬體構成的一個例子。關於本實施形態的系統控制部20包括：CPU600、ROM610、RAM620、通信介面630、硬碟驅動器640、軟碟驅動器650及CD-ROM驅動器660。

CPU600根據ROM610及RAM620中所存儲的程式而動作，並進行各部的控制。ROM610存儲著系統控制部20的起動時CPU600所實行的啟動程式，或者儲存著依存於系統控制部20的硬體之程式等。RAM620存儲CPU600所執行的程式及CPU600所使用的數據等。通信介面630通過匯流排等與其它的構成部分進行通信，或通過通信網路而與其它的裝置進行通信。硬碟驅動器640存儲著系統控制部20所使用的程式及數據，並通過RAM620而供給到CPU600。軟碟驅動器650從軟碟690讀取程式或數據，並提供給RAM620。CD-ROM驅動器660從CD-ROM695讀取程式或數據，並提供給RAM620。

通過RAM620被提供給CPU600的程式，是存儲在軟碟690、CD-ROM695或IC卡等記錄媒體中而由利用者所提供。程式是從記錄媒體讀取，並通過RAM620而安裝在系統控制部20中，且在系統控制部20中執行。

在系統控制部20中安裝並執行且控制該測試裝置100的機能之程式，包括對時序產生器10、圖案產生器12、波形成形器14、多選通脈衝生成部30及判定電路34進行控制，且使測試裝置100實施上述動作之內容。

以上所示的程式也可存儲在外部的記錄媒體中。作為記錄媒體，除了軟碟690、CD-ROM695以外，還可利用DVD或PD等光學記錄媒體、MD等的光磁記錄媒體、磁帶媒體、IC卡等半導體記憶體等。而且，也可將與專用通信網路或網際網路相連接的服務器系統中所設置的硬碟或RAM等記憶裝置，作為記錄媒體使用，並通過通信網路而從外部的網路向系統控制部20提供程式。

以上是利用實施形態對本發明的(一)方面進行了說明，但本發明的技術範圍並不限定於上述實施形態所記述的範圍。在上述實施形態上可施加多種多樣的變更或改良。由申請專利範圍的記述可知，那種施加了變更或改良的形態也可包含在本發明的技術範圍中。

由上述說明可知，如利用本發明的(一)實施形態，則可實現如下的偵測裝置以及測試裝置，即，在跳動的變動幅度大的情况下，也可利用一組多選通脈衝信號而偵測被測定信號值的變化點，除此以外，即使在偵測到多個被測定信號值的變化點之情况下，也可藉由將偵測目的之變化點以外的錯誤的變化點進行遮罩而不偵測。

10‧‧‧時序產生器

12‧‧‧圖案產生器

14‧‧‧波形成形器

16‧‧‧判定部

20‧‧‧系統控制部

30‧‧‧多選通脈衝生成部

34‧‧‧判定電路

100‧‧‧測試裝置

200‧‧‧被測試元件

300a~e‧‧‧取得部

310a~e‧‧‧變化點偵測部

320a~e‧‧‧變化點光罩部

330‧‧‧光罩設定部

340‧‧‧基準信號設定部

350‧‧‧基準信號選擇部

360‧‧‧變化時序輸出部

360a‧‧‧DQ側變化時序輸出部

360b‧‧‧DQS側變化時序輸出部

370‧‧‧好壞判定器

375‧‧‧位準偵測部

380‧‧‧差分器

390‧‧‧相位差偏移比較部

401‧‧‧第1相位準信號

402‧‧‧變化點相位信號

402a‧‧‧DQ側變化點相位信號

402b‧‧‧DQS側變化點相位信號

403‧‧‧突變脈衝偵測信號

405‧‧‧相位差信號

501‧‧‧好壞判定結果信號

600‧‧‧CPU

610‧‧‧ROM

620‧‧‧RAM

630‧‧‧通信介面

640‧‧‧硬碟驅動器

650‧‧‧軟碟驅動器

660‧‧‧CD-ROM驅動器

690‧‧‧軟碟

695‧‧‧CD-ROM

圖1所示為關於本實施形態的測試裝置100之構成的 一個例子。

圖2所示為關於本實施形態的判定電路34之構成的一個例子。

圖3(a)及圖3(b)所示為被測定信號和選通脈衝信號之關係的一個例子。

圖4(a)~(d)所示為間隔窄之選通脈衝信號與被測定信號的關係的一個例子。

圖5(a)及圖5(b)所示為間隔寬之選通脈衝信號與被測定信號的關係的一個例子。

圖6(a)~(f)所示為產生跳動之被測定信號和選通脈衝信號的關係的一個例子。

圖7(a)~(c)所示為產生跳動和突變脈衝(glitch)之被測定信號和選通脈衝信號的關係的一個例子。

圖8(a)~(f)所示為具有變化點的被測定信號和選通脈衝信號之關係的一個例子。

圖9所示為關於本實施形態之好壞判定器370的構成的一個例子。

圖10所示為關於本實施形態的測試裝置100之概略動作的流程圖。

圖11所示為關於本實施形態的測試裝置100之變形例的概略動作的流程圖。

圖12所示為關於本實施形態的系統控制部20之硬體構成的一個例子。

10‧‧‧時序產生器

12‧‧‧圖案產生器

14‧‧‧波形成形器

16‧‧‧判定部

20‧‧‧系統控制部

30‧‧‧多選通脈衝生成部

34‧‧‧判定電路

100‧‧‧測試裝置

200‧‧‧被測試元件

501‧‧‧好壞判定結果信號

Claims (10)

1. 一種偵測裝置，包括：多選通脈衝生成部，生成彼此相位不同的多個選通脈衝信號；多個取得部，分別取得前述多個選通脈衝信號的各個時序之被測試信號的信號值；多個變化點偵測部，在依據鄰接的2個選通脈衝信號所取得的2個信號值不同的情况下，對該2個選通脈衝信號間存在前述被測定信號的變化點之情况進行偵測；光罩設定部，設定前述多個變化點偵測部中的、被作為有效的前述變化點偵測部；變化時序輸出部，根據被作為有效的前述變化點偵測部的輸出，而輸出前述被測定信號的變化時序；基準信號設定部，將前述多個取得部所取得的多個信號值中的某個信號值，設定為表示前述被測定信號的變化前或變化後的值之基準信號值；以及基準信號選擇部，由前述多個信號值中選擇前述基準信號值並輸出，其中前述變化時序輸出部依據有效的2個以上的前述變化點偵測部偵測到2個以上的變化點之情况，而偵測出突變脈衝，前述光罩設定部依據前述變化時序輸出部偵測到突變脈衝之情况，而使有效的前述變化點偵測部的範圍縮小。
2. 如申請專利範圍第1項所述的偵測裝置，其中，前 述基準信號設定部是將輸入到由前述光罩設定部設定為有效之前述變化點偵測部的信號值中的、對應的選通脈衝信號的相位最前或最後之信號值，設定為前述基準信號值。
3. 如申請專利範圍第1項所述的偵測裝置，其中，在第1測試周期中，前述光罩設定部使輸入前述多個變化點偵測部中的、依據鄰接的2個以上的選通脈衝信號所取得的2個以上的信號值之2個以上的前述變化點偵測部成為有效，前述變化時序輸出部對包括前述第1測試周期中由前述光罩設定部設定為有效的2個以上的前述變化點偵測部之第1組，偵測前述被測定信號的變化時序，在前述第2測試周期中，前述光罩設定部使輸入前述多個變化點偵測部中的、依據鄰接的2個以上的選通脈衝信號所取得的2個以上的信號值之2個以上的前述變化點偵測部成為有效，該2個以上的前述變化點偵測部與前述第1組不同，前述變化時序輸出部對包括前述第2測試周期中由前述光罩設定部設定為有效的2個以上的前述變化點偵測部之第2組，偵測前述被測定信號的變化時序。
4. 如申請專利範圍第1項所述的偵測裝置，其中，依據前述基準信號值與期待值一致且前述變化時序輸出部偵測到突變脈衝之情况，前述光罩設定部在前述基準信號值表示前述被測定信號的變化前的信號值之情况下，使變化後的信號值輸入用之前述變化點偵測部無效， 在前述基準信號值表示前述被測定信號的變化後的信號值之情况下，使變化前的信號值輸入用之前述變化點偵測部無效。
5. 如申請專利範圍第1項所述的偵測裝置，其中，依據前述基準信號值與期待值不同且前述變化時序輸出部偵測到突變脈衝之情况，前述光罩設定部在前述基準信號值表示前述被測定信號的變化前的信號值之情况下，使變化前的信號值輸入用之前述變化點偵測部無效，在前述基準信號值表示前述被測定信號的變化後的信號值之情况下，使變化後的信號值輸入用之前述變化點偵測部無效。
6. 一種測試裝置，為一種對被測試元件進行測試的測試裝置，包括：測試信號供給部，對前述被測試元件供給測試信號；判定部，根據前述被測試元件對應於前述測試信號所輸出的被測定信號，而判定前述被測試元件的好壞；而且，前述判定部包括：多選通脈衝生成部，生成彼此相位不同的多個選通脈衝信號；多個取得部，分別取得前述多個選通脈衝信號的各個時序之被測定信號的信號值；多個變化點偵測部，在依據鄰接的2個選通脈衝信號所取得的2個信號值不同的情况下，偵測該2個選通脈衝信號間是否存在前述被測定信號的變化點； 光罩設定部，設定前述多個變化點偵測部中的有效的前述變化點偵測部；變化時序輸出部，根據被作為有效的前述變化點偵測部的輸出，而輸出前述被測定信號的變化時序；好壞判定器，根據前述被測定信號的變化時序，而判定前述被測試元件的好壞；基準信號設定部，將前述多個取得部所取得的多個信號值中的某個信號值，設定為表示前述被測定信號的變化前或變化後的值之基準信號值；以及基準信號選擇部，由前述多個信號值中選擇前述基準信號值並輸出，其中前述變化時序輸出部依據有效的2個以上的前述變化點偵測部偵測到2個以上的變化點之情况，而偵測出突變脈衝，前述光罩設定部依據前述變化時序輸出部偵測到突變脈衝之情况，而使有效的前述變化點偵測部的範圍縮小。
7. 如申請專利範圍第6項所述的測試裝置，其中，前述基準信號設定部是將輸入到由前述光罩設定部設定為有效之前述變化點偵測部的信號值中的、對應的選通脈衝信號的相位最前或最後之信號值，設定為前述基準信號值。
8. 如申請專利範圍第6項所述的偵測裝置，其中，在第1測試周期中，前述光罩設定部使輸入前述多個變化點偵測部中 的、依據鄰接的2個以上的選通脈衝信號所取得的2個以上的信號值之2個以上的前述變化點偵測部成為有效，前述變化時序輸出部對包括前述第1測試周期中由前述光罩設定部設定為有效的2個以上的前述變化點偵測部之第1組，偵測前述被測定信號的變化時序，在前述第2測試周期中，前述光罩設定部使輸入前述多個變化點偵測部中的、依據鄰接的2個以上的選通脈衝信號所取得的2個以上的信號值之2個以上的前述變化點偵測部有效，該2個以上的前述變化點偵測部與前述第1組不同，前述變化時序輸出部對包括前述第2測試周期中由前述光罩設定部設定為有效的2個以上的前述變化點偵測部之第2組，偵測前述被測定信號的變化時序。
9. 如申請專利範圍第6項所述的測試裝置，其中，依據前述基準信號值與期待值一致且前述變化時序輸出部偵測到突變脈衝之情况，前述光罩設定部在前述基準信號值表示前述被測定信號的變化前的信號值之情况下，使變化後的信號值輸入用之前述變化點偵測部無效，在前述基準信號值表示前述被測定信號的變化後的信號值之情况下，使變化前的信號值輸入用之前述變化點偵測部無效。
10. 如申請專利範圍第6項所述的測試裝置，其中，依據前述基準信號值與期待值不同且前述變化時序輸出部偵測到突變脈衝之情况，前述光罩設定部在前述基 準信號值表示前述被測定信號的變化前的信號值之情况下，使變化前的信號值輸入用之前述變化點偵測部無效，在前述基準信號值表示前述被測定信號的變化後的信號值之情况下，使變化後的信號值輸入用之前述變化點偵測部無效。