TWI381161B

TWI381161B - 四龍門式檢測機台

Info

Publication number: TWI381161B
Application number: TW98112855A
Authority: TW
Inventors: Chun Chi Yeh; Mao Te Chuang
Original assignee: Favite Inc
Priority date: 2009-04-17
Filing date: 2009-04-17
Publication date: 2013-01-01
Also published as: TW201038935A

Description

四龍門式檢測機台

本發明係有關一種面板影像檢測技術，特別是一種四龍門式檢測機台。

由於全球大尺寸基板之需求量與日俱增，使得針對檢測8.5世代以下之基板其影像所設計之雙龍門式檢測機台，在檢測8.5世代以上基板之影像時，檢測之速度明顯變得緩慢。

於TFTLCD之檢測過程中，在視覺檢測機台後有一雙龍門式檢測機台，其係於龍門機構上置設檢測設備。請參閱圖1，係為先前技術之雙龍門式檢測機台(10)，如圖所示，係包含第一移動臂(12)及第二移動臂(14)，該第一移動臂(12)及第二移動臂(14)上各設有檢測單元。經由運輸設備將基板(16)導進檢測位置，於掃描缺陷(161、162、163、164)後再做影像擷取，故該基板(16)在製程中所產生之缺陷(161、162、163、164)，可由雙龍門式檢測機台(10)得到再次確認。

惟雙龍門式檢測機台(10)在針對已知座標位置的缺陷(161、162、163、164)進行檢測時，係以第一移動臂(12)、第二移動臂(14)先分別滑動至缺陷(161)、缺陷(163)，並由其上所設置之檢測單元擷取影像，再分別滑動至缺陷(164)、缺陷(162)，續由其上所設置之檢測單元擷取影像。簡言之，在相同之時間下，該雙龍門式檢測機台(10)係僅將基板(16)分成左、右兩個區域進行檢測，使得單一移動臂所須執行之影像檢測範圍較大。再者，由於基板之世代增加，使得其尺寸亦隨之增大，雙龍門式檢測機台在檢測基板(26)之速度上，也漸漸無法符合客戶的要求。

鑒於上述之缺點，先前技術之雙龍門式檢測機台(10)之實用性即有限制，因此必須將其改良以縮短影像檢測所需之時間。

為了解決上述問題，本發明目的之一係提供一種四龍門式檢測機台，將基座分成四個檢測區，並以四個移動臂執行檢測，以提升檢測速度。

本發明目的之一係提供一種四龍門式檢測機台，係包含基座、第一測定機構及第二測定機構，其中第一測定機構包含第一移動臂及第二移動臂，該第一移動臂、第二移動臂之一側或兩側分別與第一驅動單元相接設，且第一驅動單元接設於基座；該第二測定機構，係包含第三移動臂及第四移動臂，該第三移動臂、第四移動臂之一側或兩側分別與第二驅動單元相接設，且第二驅動單元接設於基座；於上述第一移動臂、第二移動臂、第三移動臂及第四移動臂相對內側各接設至少一可移動之檢測單元。

以下藉由具體實施例，配合所附的圖式詳加說明，當更容易瞭解本發明之目的、技術內容、特點及其所達成之功效。

本發明之上述目的，及其結構與功能上的特性，將依據所附圖式之較佳實施例予以說明。

請參閱圖2、及3，本發明一較佳實施例之四龍門式檢測機台包含基座(20)、第一測定機構(22)以及第二測定機構(24)。第一測定機構(22)係置設於基座(20)之一半側，包含第一移動臂(222)及第二移動臂(224)，將第一移動臂(222)、第二移動臂(224)之一側分別與第一驅動單元(226)相接設(如圖3)，且第一驅動單元(226)接設於基座(20)上。

該第二測定機構(24)，係置設於基座(20)之另一半側，包含第三移動臂(242)及第四移動臂(244)，將第三移動臂(242)、第四移動臂(244)之一側分別與第二驅動單元(246)相接設(如圖3)，且第二驅動單元(246)接設於基座(20)上。

如圖2所示，於第一移動臂(222)、第二移動臂(224)之相對內側各接設可移動之檢測單元(223)、檢測單元(225)，經由第一驅動單元(226)以使第一移動臂(222)及其檢測單元(223)、第二移動臂(224)及其檢測單元(225)分別移動至基板(26)之缺陷(262)處、缺陷(261)處，以供該檢測單元(223、225)擷取該缺陷(261、262)之影像並傳回該缺陷之位置或僅傳回該缺陷之位置。上述基板(26)係為一平面待測物。

於第三移動臂(242)、第四移動臂(244)之相對內側各接設可移動之檢測單元(243)、檢測單元(245)，經由第二驅動單元(246)以使第三移動臂(242)及其檢測單元(243)、第四移動臂(244)及其檢測單元(245)分別移動至基板(26)之缺陷(263)處、缺陷(264)處，以供該檢測單元(243、245)擷取該缺陷(263、264)之影像並傳回該缺陷之位置或僅傳回該缺陷之位置。

於第一移動臂(222)及第二移動臂(224)之一側接設第一導軌(227)，且第一導軌(227)置設於基座(20)之一側邊，於第一移動臂(222)及第二移動臂(224)之另一側接設第二導軌(228)，且第二導軌(228)置設於基座(20)之中段處。第二導軌(228)上可接設排氣設備，該排氣設備可用以排出第二導軌(228)所產生之微塵，以免微塵對檢測過程產生不良之影響。

於第三移動臂(242)及第四移動臂(244)之一側接設第三導軌(247)，且第三導軌(247)置設於基座(20)之一側邊，於第三移動臂(242)及第四移動臂(244)之另一側接設第四導軌(248)，且第四導軌(248)置設於基座(20)之中段處。第四導軌(248)上可接設排氣設備，該排氣設備可用以排出該第四導軌(248)所產生之微塵，以免微塵對檢測過程產生不良之影響。

前述第一驅動單元(226)、第二驅動單元(246)可為一精度較高、剛性較強、能快速的到達定位，且在低速中平穩運轉之線性馬達(Linear motor)，或磁浮，或滾珠螺桿，或鏈條，或皮帶等等。前述基座(20)上可設置電腦，且於電腦中預先植入一檢測軟體，用以指弓1第一移動臂(222)、第二移動臂(224)、第三移動臂(242)及第四移動臂(244)之檢測路徑。該基座(20)上可設置一運輸設備，用以傳送該基板(26)至待檢測位置。

綜合上述，本發明之四龍門式檢測機台將基板(26)分成四個檢測區，並在相同之時間下以四個移動臂執行檢測，使得各個移動臂所須執行檢測之範圍相對縮小，同時使得本發明可進行檢測之基板尺寸(26)相對增大，如圖4所示。因此，模擬推估在單片基板(26)上平均位置存在100個缺陷，同時以習用雙龍門式檢測機台、本發明進行檢測，習用雙龍門式檢測機台須費時約85秒，本發明則僅費時約54秒。故本發明相較於習用雙龍門式檢測機台，其速度明顯較快。

以上所述之實施例僅係為說明本發明之技術思想及特點，其目的在使熟習此項技藝之人士能夠瞭解本發明之內容並據以實施，當不能以之限定本發明之專利範圍，即大凡依本發明所揭示之精神所作之均等變化或修飾，仍應涵蓋在本發明之專利範圍內。

10．．．雙龍門式檢測機台

12．．．第一移動臂

14．．．第二移動臂

16．．．基板

161．．．缺陷

162．．．缺陷

163．．．缺陷

164．．．缺陷

20．．．基座

22．．．第一測定機構

222．．．第一移動臂

223．．．檢測單元

224．．．第二移動臂

225．．．檢測單元

226．．．第一驅動單元

227．．．第一導軌

228．．．第二導軌

24．．．第二測定機構

242．．．第三移動臂

243．．．檢測單元

244．．．第四移動臂

245．．．檢測單元

246．．．第二驅動單元

247．．．第三導軌

248．．．第四導軌

26．．．基板

261．．．缺陷

262．．．缺陷

263．．．缺陷

264．．．缺陷

圖1為先前技術之雙龍門式檢測機台之俯視示意圖。

圖2為本發明之四龍門式檢測機台之俯視示意圖。

圖3為本發明之四龍門式檢測機台之側視示意圖。

圖4為本發明之四龍門式檢測機台之實施示意圖。