TWI363030B - Wafer container with top flange structure - Google Patents

Description

1363030 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種前開式晶圓盒（FOUP)，特別是關於一 種前開式晶圓盒之機器突緣之卡固結構及其接合方法。 【先前技術】 半導體晶圓由於需經過各種不同流程的處理且需配合製 程設備，因此會被搬運到不同的工作站。為了方便晶圓的搬 運且避免受到外界的污染’常會利用一密封容器以供自動化 設備輸送。請參考第1圖所示，係習知技術之晶圓盒示意圖。 此晶圓盒疋一種前開式晶圓盒（Front Opening Unified Pod， · FOUP)，係具有一盒體l〇及—門體2〇。盒體l〇内部係設有 複數個插槽11可水平容置複數個晶圓，且在盒體10之一侧 面係具有一開口 12可供晶圓的載出及載入。門體20具有一 個外表面21及一個内表面22，門體20係藉由内表面22與 盒體10的開口 12相結合，用以保護盒體1〇内部的複數個晶 圓。此外’在門體20的外表面21上配置至少一個門閂開孔 23 ’用以開啟或是封閉前開式晶圓盒。在上述前開式晶圓盒 · 中，由於半導體晶圓係水平地置於盒體10内部，因此，在前 開式晶圓盒搬運過程令需有一晶圓限制件（wafer restraint)， 以避免晶圓因震動而產生異位或往盒體10的開口 12方向移 動。 而為了能讓前開式晶圓盒順利在不同工作站間移動，會 在前開式晶圓盒的盒體頂面配置一機器突緣（未顯示於圖 中）’機器突緣可供一自動化機器抓取。而揭露於美國公告專 利US6,010,008及US7,357,257之前開式晶圓盒係分別利用螺 4 1363030 • 絲及直線的溝槽將機器突緣固定在盒體頂面上。然而，在機器 突緣設有直線的溝槽而盒體的頂面設有直線的卡勾，容易因摩 擦而產生磨損或微粒(particle)。且，僅利用直線的溝槽可能會 讓機器突緣的前側端固定到頂面的後側端，使機器突緣反向固 定於前開式晶圓盒上而造成自動化機器無法抓取機器突緣。 【發明内容】 依據先前技術之前開式晶圓盒之機器突緣卡固方式容易 產生磨損、微粒及反向固定等問題，本發明之一主要目的在於 • 提供一種前開式晶圓盒及其機器突緣，此前開式晶圓盒其機器 突緣係利用圓弧形卡勾及卡槽固定於前開式晶圓盒上，由於卡 勾和卡槽係具有圓弧形狀，可減少彼此之間的磨損或微粒產 生。 本發明之另一主要目的在於提供一種前開式晶圓盒及其 機器突緣，此前開式晶圓盒其機器突緣係進一步配置有一防呆 裝置，可避免機器突緣反向固定到前開式晶圓盒，讓自動化機 器能順利抓取機器突緣及前開式晶圓盒。 φ 為達上述之目的，本發明揭露一種前開式晶圓盒及其機器 突緣，包括一盒體及一門體，在盒體的内部係設有複數個插槽 以容置複數個晶圓，且在盒體的其中一側面設有一開口以供晶 圓的輸入及輸出，而在盒體的頂面配置有一機器突緣，機器突 緣具有一面對頂面的下表面，在下表面的中心位置及中心位置 其外圍設有一防呆裝置及一半圓卡勾部，防呆裝置具有一幾何 形狀的孔洞可供一位於頂面的一凸柱嵌入，因此，當凸柱嵌入 幾何形狀的孔洞後並進一步將機器突緣旋轉約180度，半圓卡 勾部係裝配於盒體的頂面的一半圓弧導軌内。 接著，本發明揭露一種前開式晶圓盒及其機器突緣之結合 5 1363030 方法，步驟包含：提供一前開式晶圓盒，係具有一頂面，且頂 面配置有一凸柱及一半圓弧導軌；提供一機器突緣，係具有一 下表面，且下表面配置有一幾何形狀之孔洞及一半圓卡勾部； 將機器突緣對準前開式晶圓盒於一特定角度，使前開式晶圓盒 之凸柱嵌入於機器突緣之孔洞中；以及旋轉機器突緣約180 度，使半圓卡勾部係裝配於半圓弧導軌内。 【實施方式】 為使本發明所運用之技術内容、發明目的及其達成之功效 有更完整且清楚的揭露，茲於下詳細說明之，並請一併參閱所 揭之圖示及圖號： 首先，請參閱第2圖，係本發明之一前開式晶圓盒及其機 器突緣結構之示意圖。此前開式晶圓盒主要包括一盒體10及 一門體20。盒體10具有複數個側面10L、一底面10B及一頂 面10T以形成一容置空間，此容置空間設有複數個插槽11以 容置複數個晶圓（wafer)，且在盒體10的一側面10L設有一 開口 12以提供晶圓的輸入及輸出。門體20則具有一外表面 21及一内表面22，其中，外表面21係配置至少一個門閂開孔 23，使得一鑰匙插入門閂開孔23並轉動時，將門體20的内表 面22與盒體10的開口 12相結合，以形成一密閉空間。此外， 在盒體的頂面10T上係配置有一機器突緣30，此機器突緣30 可供一自動化機器抓取，使前開式晶圓盒在不同的工作站或半 導體設備之間移動。 接著，請參閱第3圖，係上述前開式晶圓盒其盒體的頂面 之示意圖。頂面10T係設有不同的固定界面，用以固接上述機 器突緣30。如第3圖所示，頂面10T係配置有複數個鎖固孔 洞101 ;例如：在本實施例中係配置有六個鎖固孔洞，這六個 6 1363030 鎖固孔洞101係以每排三個鎖固孔洞101的形式而呈矩形的排 列，其中，在左右兩排鎖固孔洞101之間係進一步設有一凸柱 14及一半圓弧導軌13。凸柱14係設在矩形排列約中央處，凸 柱14包括一圓柱141及一方形凸片142。圓柱141係由頂面 ιοτ向上延伸形成的圓柱結構，而在圓柱141的自由端遠離盒 體10開口 12的方向係進一步水平延伸有上述方形凸片142。 此外，在頂面ιοτ上於凸柱14的外圍相對較靠近開口 12的地 方則延伸有-半圓弧導軌13;而如第3圖所示，此半圓弧導

軌13係由二個四分之一圓的導軌131所構成，且每一個四分 之一圓的導軌131都係從頂面1〇τ往上往内延伸而剖面呈一倒 轉的L字形。 *接著’凊參閱第4圖，係本發明之前開式晶圓盒之一機器 突緣之下視示意圖。由第2圖及第4圖可以知道，機器突緣 3〇係呈-矩形的形狀’具有一上表面31及一下表面32，盆中， 下表面32係設有與頂面1〇τ之固定界面相對應的固定元件。 在本^明之-較佳之實施例中，此機器突緣3()設有六個通孔

1〇2’运六個通孔1()2係對應於頂面1()τ的六個鎖固孔洞⑻。 而在六個通孔1G2之間設有—半圓卡勾部33，此半圓卡勾部 33係從下表面32往下往外延伸而剖面呈_ l字形的釣子結 構。在六個通孔1G2形成的矩形排列約中央處，可進—步提供 _呆裝置40 (如第5A圖所不，係本發明之防呆裝置之下視 :意圖），使機器突緣30必須以一特定角度為起始而固接於盒 頂自1〇T上。很明顯地’本實施例對機器突緣30對準盒 體10之特定角度並未加以限制。 现 圖。=署：參考第5B圖’係本發明之防呆裝置上視示意 ’、 0具有-幾何形狀之孔洞4卜此孔洞41係貫 7 1363030 穿防呆裝置40的上下表面且孔洞41係包括一圓孔4ΐι及一方 形孔4U使孔㈣約呈錄匙孔狀。而在防呆裝置仙的兩端可 設有-卡榫42及-卡勾43,以利用卡榫42及卡勾心卡固於 機器突緣30的一孔洞34及一卡槽35 (如第4圖），使防呆裝 置40與機器突緣30卡固定成一體（如第6圖卜 接著，請翔第7 ®，係防呆裝置與機器突緣之一體結 構欲固接於盒體頂面的起始位置之示意圖。而第8圖，係上述 起始位置時’防呆裝置與盒體頂面的相對位置示意圖，係保留 防呆裝置而移除了機器突緣以利於解說。由第7圖及第8圖可 知，在這個起始位置，防呆裝置4〇的錄匙孔狀孔㈣係與頂 面10T上的凸柱14相吻合，其中，錄匙孔狀孔洞41的圓孔 411對應凸柱14的圓柱141㈣匙孔狀孔洞41的方形孔412 對應凸^的方形凸片142。但要特別注意，在這個起始位 置’機器突緣30的半圓卡句部33並不是在頂面ι〇τ其半圓弧 導轨13的正上方。一開始，凸柱14必須先嵌入鑰匙孔狀孔洞 41並將半圓卡勾部33置於半圓弧導軌13内緣。之後，將防 呆裝置40與機器突緣3〇之一體結構旋轉一角度，使得半圓卡 勾部33與半圓狐導軌13互相卡固完全，即該半圓卡勾部w 完全裝配於該半圓狐導軌13内。如第5Β圖、第8圖及第9 圖所不’由於孔洞41延伸到防呆裝140上表面的一側邊設有 擋肋44因此，係限制防呆裝置4〇與機器突緣％之一 結構須逆時針旋轉，且角度約18〇度。 而田利用卡勾及導軌完成卡固之後，為 3〇能穩固地固接於各沪川认相工ιΛτ L 飛益大緣 鎧m 頂面0上，可進一步利用六個 70 ，列如·螺絲，將鎖固元件穿過機器突緣 並鎖固到頂面l〇T的相…,、 ㈣孔102 的鎖固孔洞101上。此外，如第5A圖及第 1363030 5B圖所示，在圓孔411的内側壁係間隔設有複數條肋45。因 此，當防呆裝置40與機器突緣30之一體結構以圓柱141為中 心而順時針旋轉時，圓孔411與圓柱141之間的接觸面積可以 減少，以避免微粒產生。本發明之晶圓盒其組成，如盒體10、 門體20及機器突緣30等，其材質可以係一種熱塑性樹脂，例 如：聚碳酸酯、丙烯酸樹脂或PEEK樹脂或其組合。 接著，說明本發明之前開式晶圓盒及其機器突緣結構之 結合方法。首先，提供一前開式晶圓盒以及一機器突緣之結 構，其中前開式晶圓盒及機器突緣之其中一實施例，係如第2 圖至第9圖所示。前開式晶圓盒之頂面10T配置有六個鎖固孔 洞101，且在六個鎖固孔洞101之間進一步設有一凸柱14及 一半圓弧導執13。凸柱14包括一圓柱141及一方形凸片142。 而機器突緣30的下表面32配置有六個通孔102及一半圓卡勾 部33。且，機器突緣30的下表面32進一步安裝有一防呆裝 置40。防呆裝置40具有一幾何形狀之孔洞41，此孔洞41係 貫穿防呆裝置40的上下表面且孔洞41係包括一圓孔411及一 方形孔412使孔洞41約呈鑰匙孔狀。 而當機器突緣30要結合或固接到前開式晶圓盒時，機器 突緣30係對準前開式晶圓盒之盒體10於一特定角度；即如第 7圖所示，防呆裝置40的鑰匙孔狀孔洞41與頂面10T上的凸 柱14相吻合，但機器突緣30的半圓卡勾部33並不是在頂面 10T之半圓弧導軌13的正上方。而當凸柱14嵌入於鑰匙孔狀 孔洞41且半圓卡勾部33置於半圓弧導執13内緣後，旋轉機 器突緣30大約180度，即可使半圓卡勾部33完全裝配於該半 圓弧導軌13内。此時，機器突緣30與前開式晶圓盒之間係利 用圓弧形狀的卡勾及卡槽固接成一體。很明顯地，本實施例對 9 1363030 機器突緣30對準前開式晶圓盒之特定角度並未加以限制。 此外，當機器突緣30與前開式晶圓盒利用卡勾及導軌完 成卡固之後，為了確保機器突緣30能穩固地固接於盒體10的 頂面10T上，可進一步利用六個鎖固元件，例如：螺絲，將鎖 固元件穿過機器突緣的通孔102並鎖固到頂面10T的鎖固孔洞 101 上。 本發明以前述之較佳實施例揭露如上，然其並非用以限 定本發明，任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明之精神和範 圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之專利保護範圍 須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 第1圖 係一先前技術之前開式晶圓盒示意圖； 第2圖 係本發明之一前開式晶圓盒之示意圖； 第3圖 係本發明之一前開式晶圓盒其盒體頂面之示意圖； 第4圖 係本發明之一前開式晶圓盒之機器突緣結構之下視 圖； 第5A圖係本發明之一前開式晶圓盒之機器突緣結構其防呆 裝置之下視圖； 第5B圖係本發明之一前開式晶圓盒之機器突緣結構其防呆 裝置之上視圖； 第6圖 係本發明之一前開式晶圓盒其機器突緣結構與防呆 裝置卡固成一體之示意圖； 第7圖 係本發明之前開式晶圓盒之防呆裝置與機器突緣結 構固接於盒體頂面的起始位置之示意圖； 第8圖 係本發明之前開式晶圓盒在固接起始時，防呆裝置 與盒體頂面的相對位置示意圖；及 10 1363030 第9圖 係本發明之前開式晶圓盒在固接完全時，防呆裝置 與盒體頂面的相對位置示意圖。

【主要元件符號說明】 10 盒體 10T 頂面 10L 侧面 10B 底面 11 插槽 12 開口 13 半圓弧導軌 131 四分之一圓的導軌 14 凸柱 141 圓柱 142 方形凸片 20 門體 21 外表面 22 内表面 23 門閂開孔 30 機器突緣 31 上表面 11 1363030 32 下表面 33 半圓卡勾部 34 孔洞 35 卡槽 40 防呆裝置 41 孔洞 42 卡榫 43 卡勾 44 擋肋 45 肋 411 圓孔 412 方形孔 101 鎖固孔洞 102 通孔

Claims (1)

1363030 七、申清專利範圍： 1. -種前開式晶圓盒’主要包括一盒體，該盒體具有複數個側 面'一底面及一頂面以形成一容置晶圓之空間，且在該盒體之 一侧面形成一開口以供晶圓之輸入及輸出，一門體具有一外 表面及一内表面，該門體係以該内表面與該盒體之該開口相結 合’其中該晶圓盒之特徵在於： 該益體之該頂面上配置有一機器突緣，該機器突緣係具有 一面對該頂面之下表面，而在該下表面中心、位置設有—圓孔以

嵌合一位於該頂面之一圓柱，且該下表面在該圓孔外圍更配置 有一半圓卡勾部以裝配於該盒體之該頂面之一半圓弧導執。 2·如申請專利範圍第μ所述之前開式晶圓盒，其十該圓孔係且 有一内側壁且該内側壁設有複數條肋，使該圓孔以該複數條肋 與該圓柱接觸。 3.如申請專利範圍第Μ所述之前開式晶圓盒，其中該機器突缘 進一步包含有複數個鎖固元件’使該機器突緣固定於該盒體之 該頂面。 4·如申請專利範圍第3項所述之前開式晶圓盒，其中該鎖固元 為螺絲。 5·，申請專利範圍第！項所述之前開式晶圓盒，其中該機器突緣 係由一熱塑性樹脂製成。 6·如申請專利㈣第5項所述之前開式晶圓盒，其中㈣塑 脂係選自於由聚碳酸醋、丙稀酸樹脂及卿精脂所組成的群 '如申請專利範圍第1項所述之前開式晶，其中該半 部係呈一L字形之鉤子形狀。 J 丨請專利範圍第i項戶:述之前開式晶圓盒，其中該半圓弧導 軌係呈一倒轉之L字形橫截面輪靡。 13 1363030 9·如中請專利範圍第8項所述之前開式晶圓盒， 畆及丄亡“ '、τ邊牛圓弧導 軌係由兩個四分之一圓的導軌所組成。 10·如中請專利範圍第i碩所述之前開式晶圓盒，其中該半 部係經由旋轉該機器突緣__角度後裝配於該半圓弧導軌内。 •如申請專利範圍第10項所述之前開式晶圓盒，其中該角度約 為180度。 X 12.-種前開式晶圓盒，主要包括—盒體，該盒體具有複數個側 面、-底面及-頂面以形成一容置晶圓之空間，且在該各體之 一側面形成一開口以供晶圓之輸入及輸出，一門體，具二一外 2面及-内表面’該門體係，以該内表面與該盒體之該開口相任 合，其中該晶圓盒之特徵在於： 、° 該盒體之該頂面上配置有一機器突緣，該機器突緣係具 有-面對該頂面之下表面，而在該下表面中心位置及中心 之外園係配置有-防呆裝囂及—情卡勾部，該防呆装置 -幾何形狀之孔洞可供一位於該頂面之一凸柱嵌入，1中二 該凸柱嵌人該幾何形狀之孔洞後並進__步將該機器突緣旋^ 約180度，該半圓卡勾部係裝配於該盒體之該 導軌内。 千圓弧 13.如申請專利範圍第12項所述之前開式晶，其中該防呆裝 置係進一步配置有一擋肋。 如申請專利範圍第12項所述之前開式晶圓盒，其中該 呈鍮:1b ：?丨，壯。 申請專利範圍第12項所述之前開式晶圓盒，其中該孔洞係 包括一圓孔及一方形孔。 16’如_請專利第15項㈣之前開式晶圓盒其_該孔洞之 该圓孔係具有-内側壁且該内側壁設有複數條肋，使該圓孔以 〜juju 該複數條肋與該凸柱接觸。 ’其中該凸柱包 17·如申請專利範圍第12項所述之前開式晶圓盒 括一圓柱及一方形凸片。 請專利範圍第12項所述之前開式晶圓盒，其中該機器突 ^ 一步包含有複數個鎖固元件，使該機器突職定於該盒體 疋該頂面。 申請專利範圍第18項所述之前開式晶圓盒，其—該鎖固元 件為嫘絲。

2〇=請專利範圍第12項所述之前開式晶圓盒，其中該機器突 緣係由一熱塑性樹脂製成。 A如申請專利範圍第2〇項所述之前開式晶圓盒，其中該教塑性 f脂係選自於由聚碳義、丙婦酸樹脂及ρΕΕκ樹脂所組成的 Α如中請專職„ 12項所述之前開式晶圓盒，其中該半圓卡 勾部係呈一 L字形之鉤子形狀。

23.=請專利範圍第12項所述之前開式晶圓盒，其中該半圓弧 導軌係呈一倒轉之L字形橫截面輪廓。 从=請專利範圍第23項所述之前開式晶圓盒，其中該半圓弧 導軌係由兩個四分之一圓的導執所組成。 25.:種Μ式晶圓纽其_突緣結_狀方法，包括： 提供-前開式晶圓盒，係具有一頂面，且該頂面配置有一凸柱 及一半圓弧導轨； 提供機器大緣，係具有一下表面，且該下表面配置有—幾何 形狀之孔洞及一半圓卡勾部； 將該機器犬緣對準該前開式晶圓盒於一特定角度，使該前開式 晶圓盒之該凸柱敌入於該機器突緣之該孔洞中；以及 15 1363030 旋轉該機器突緣約180度，使該半圓卡勾部係裝配於該半圓弧 導軌内。 26·如申請專利範圍第25項所述之方法，其中該孔洞係呈鑰匙孔 狀。 27.如申請專利範圍第25項所述之方法，其中該孔洞係包括一圓 孔及一方形孔。 28. 如申請專利範圍第27項所述之方法，其中該孔洞之該圓孔係 具有一内側壁且該内侧壁設有複數條肋，使該圓孔以該複數條 肋與該凸柱接觸。

29. 如申請專利範圍第25項所述之方法，其中該凸柱包括一圓柱 及一方形凸片。 30·如申請專利範圍第25項所述之方法，其中該半圓卡勾部係呈 一 L字形之鉤子形狀。 其中該半圓弧導軌係呈 其中該半圓弧導軌係由 31. 如申請專利範圍第25項所述之方法 倒轉之L字形橫截面輪廓。 32. 如申請專利範圍第31項所述之方法 兩個四分之一圓的導軌所組成。

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