JP2000289795A - 薄板収納・輸送容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 使用効率を上げて資源の無駄使いを防ぎ、廃
棄物の発生防止、コスト低減を図る。 【解決手段】 シリコンウエハ等を収納支持する容器本
体２を備えて構成された薄板収納・輸送容器である。容
器本体２に蓋体受け部２１を設けた。この蓋体受け部２
１に、種々の蓋体を係止する係止手段を設けた。この係
止手段は、第１方式の蓋体３１に設けられた第１係止爪
３２に嵌合する第１係止爪嵌合孔２２と、第２方式の蓋
体４１に設けられたマグネット４２に吸着するマグネッ
ト２５と、第３方式の蓋体５１に設けられたシール材５
２に当接してシールし、真空引きされた内部を負圧に保
つシール溝２６とを備えて構成した。輸送、製造工程、
保管等での専用蓋体を各工程で取り付けて、単一の容器
本体２を複数の工程で使用できるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、１つの容器本体に
対して各種の蓋体を組み合わせることができるようにし
て、搬送、処理、保管等の工程、用途別に使い分けるこ
とができるようにした薄板収納・輸送容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】薄板収納・輸送容器としては、半導体シ
リコンウエハを内部に収納して輸送する容器が一般的に
知られている。このようなウエハ収納・輸送容器では、
収納したウエハ表面の汚染等を防止するために、容器内
を清浄に保って輸送することが重要である。このため、
容器内は密封されている。即ち、蓋体を容器本体に固定
して、容器内を密封している。

【０００３】この密封手段としては、係止爪と係止孔を
用いたもの、マグネットを用いたもの、負圧を利用した
もの等がある。これらの密封手段に応じて、容器本体と
蓋体とに、係止爪及び係止孔、マグネット又はシール材
等が設けられている。

【０００４】ウエハメーカーで、これらの密封手段によ
って内部が密封された薄板収納・輸送容器内に半導体シ
リコンウエハが収納されて、デバイスメーカーの半導体
製造工場等へ出荷される。そして、半導体製造ラインに
おいては、半導体シリコンウエハが、製造ライン専用容
器に移し替えられて、製造ラインに載せられる。製造ラ
インでは、ＩＣのパターンを形成する工程の容器と、工
程途中での保管容器とが使い分けられて、それぞれに移
し替えられている。

【０００５】各用途における容器は、それぞれの用途に
適した機能が持たされている。即ち、出荷用の容器は自
動車や飛行機で輸送されるので、異物等の進入による汚
染を防止することを目的に、気密性能を最重点に作られ
ている。ＩＣパターン形成工程における容器や保管容器
の場合は、クリーンルームでの使用になるため、機密性
よりも、蓋体の開閉作業性を最重点に作られている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
に半導体シリコンウエハをライン専用容器に移し替える
場合、薄板収納・輸送容器は輸送にのみ使用されること
になり、その後は不要となる。このため、薄板収納・輸
送容器は、半導体シリコンウエハの輸送後に、廃棄処分
となる。即ち、薄板収納・輸送容器は輸送にしか使用さ
れていなかった。このため、使用効率が悪く、資源の無
駄、廃棄物の増加を招いてしまい、コスト高になるとい
う問題点がある。

【０００７】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、半導体シリコンウエハ等の薄板の輸送後の製造ラ
イン等での処理に対応できるようにした薄板収納・輸送
容器を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に第１の発明に係る薄板収納・輸送容器は、内部が清浄
に保たれた状態で多数枚の薄板を収納支持する容器本体
を備えて構成された薄板収納・輸送容器において、上記
容器本体に、自己の載置位置を正確に調整する位置決め
手段を設けると共に、蓋体が取り付けられる蓋体受け部
を設け、この蓋体受け部に、取り付け方式の異なる各種
の蓋体を係止する係止手段を設けたことを特徴とする。

【０００９】以上の構成により、半導体シリコンウエハ
等の薄板が容器本体内に収納され、輸送用の蓋体が取り
付けられて内部が清浄に保たれた状態で半導体製造工場
等へ輸送される。その後は、輸送用の蓋体が取り外され
て、工場内の製造ライン等で使用されている蓋体が取り
付けられる。この蓋体は係止手段に係止されて容器本体
に取り付けられる。容器本体の位置決め手段は規格化さ
れており、そのまま工場内の製造ラインや保管等に使用
される。製造ラインや保管場所等において、容器本体の
位置決め手段で特定位置に正確に位置決めして載置され
る。この結果、薄板収納・輸送容器の容器本体は、薄板
の輸送に供された後、そのまま製造ライン等に使用さ
れ、使用効率が大幅に向上し、コスト低減を図ることが
できる。

【００１０】第２の発明に係る薄板収納・輸送容器は、
第１の発明に係る薄板収納・輸送容器において、上記係
止手段が、引っ掛け、吸着、真空引き等の、蓋体を容器
本体に係止する各種の手段のうち少なくとも２つの手段
を備えたことを特徴とする。

【００１１】以上の構成により、係止手段で、取り付け
方式の異なる複数の蓋体を容器本体に取り付けることが
できるようになる。この結果、上述のように、薄板の輸
送後にそのまま製造ライン等で使用できるようになり、
使用効率が大幅に向上し、コスト低減を図ることができ
る。

【００１２】第３の発明に係る薄板収納・輸送容器は、
第１の発明に係る薄板収納・輸送容器において、上記係
止手段が、第１方式の蓋体に設けられた係止爪又は係止
孔に嵌合する係止孔又は係止爪と、第２方式の蓋体に設
けられたマグネット又は磁性体に吸着する磁性体又はマ
グネットと、第３方式の蓋体に設けられたシール材又は
シール材受け部に当接してシールし、真空引きされた内
部を負圧に保つシール材取付け部又はシール材とを備え
て構成されたことを特徴とする。

【００１３】以上の構成により、係止爪又は係止孔が設
けられた第１方式の蓋体を容器本体の蓋体受け部に装着
すると、その第１方式の蓋体の係止爪又は係止孔が、容
器本体の係止爪又は係止孔に嵌合して、蓋体が容器本体
に取り付けられる。

【００１４】マグネット又は磁性体が設けられた第２方
式の蓋体を容器本体の蓋体受け部に装着すると、その第
２方式の蓋体のマグネット又は磁性体が、容器本体の磁
性体又はマグネットに吸着して、蓋体が容器本体に取り
付けられる。なお、蓋体及び容器本体に設けられる磁性
体とマグネットの組み合わせにおいては、少なくとも一
方がマグネットになる。磁性体同士では吸着しないため
である。

【００１５】シール材又はシール材受け部が設けられた
第３方式の蓋体を容器本体の蓋体受け部に装着すると、
その第３方式の蓋体のシール材又はシール材受け部が、
容器本体のシール材受け部又はシール材に当接して、蓋
体と容器本体との間がシールされる。容器本体内は真空
引きされて負圧になっており、蓋体は大気圧に押されて
容器本体に取り付けられる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付図
面に基づいて説明する。

【００１７】本実施形態では薄板としての半導体シリコ
ンウエハを収納して輸送する収納・輸送容器を例に説明
する。

【００１８】この半導体シリコンウエハ収納・輸送容器
１は、図２及び図３に示すように、内部に半導体シリコ
ンウエハ（図示せず）を多数枚収納支持する容器本体２
と、この容器本体２内の対向する側壁にそれぞれ設けら
れ、内部に収納された多数枚の半導体シリコンウエハを
一定間隔をおいて両側から収納・保持する為の櫛歯３を
有する板状物４と、容器本体２の上側開口を気密に塞い
で内部を清浄に保つ蓋体（図７，８，９，１０参照）と
を有して構成されている。

【００１９】容器本体２は、全体をほぼ立方体状に形成
されている。容器本体２の側壁部２Ａ，２Ｂの内側に
は、着脱自在に取り付けられる板状物４を支持する支持
台６が設けられている。この支持台６は下側台部６Ａと
上側台部６Ｂとから構成されている。下側台部６Ａには
下部支持用突起７が設けられている。上側台部６Ｂには
上部支持用突起８が設けられている。

【００２０】板状物４は、容器本体２内の支持台６に対
して着脱自在に取り付けられている。この板状物４の具
体的には図４及び図５に示すように構成されている。板
状物４は主に、並列に一定間隔をおいて多数枚配設され
て各半導体シリコンウエハを１枚ずつ隔てて支持する櫛
歯３と、各櫛歯３が並列に一定間隔をおいて配設された
状態でこれらを３カ所の位置で一体的に支持する支持板
部１２と、最奥側の支持板部１２Ａの内側面（半導体シ
リコンウエハへの当接面）に形成された半導体シリコン
ウエハ支持用のＶ字型溝１３とから構成されている。

【００２１】板状物４の裏面には、支持台６の下部支持
用突起７と嵌合してこの板状物４の下部を支持する下部
支持穴部１５と、上部支持用突起８と嵌合してこの板状
物４の上部を支持する上部支持穴部１６とが設けられて
いる。

【００２２】なお、容器本体２の一側の端壁には、図２
に示すように、製造ライン等に設けられた搬送装置（図
示せず）で搬送される際にその腕部で掴まれる搬送用フ
ランジ部１７が設けられている。容器本体２の他側の端
壁には、図６に示すように、自己の載置位置を正確に調
整する位置決め手段としての位置決め用嵌合部１８が設
けられている。この位置決め用嵌合部１８は、３つの嵌
合片１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃから構成されている。各嵌
合片１８Ａ，１８Ｂ，１８ＣはＶ型溝１９Ａ，１９Ｂ，
１９Ｃを有して構成されている。各Ｖ型溝１９Ａ，１９
Ｂ，１９Ｃはほぼ１２０°間隔で３方向に配設されてい
る。なお、位置決め用嵌合部１８の寸法、角度等は規格
化されている。容器本体２が載置される位置には、各嵌
合片１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃに対応する３カ所の位置に
嵌合突起（図示せず）が設けられ、各Ｖ型溝１９Ａ，１
９Ｂ，１９Ｃにそれぞれ嵌合して、容器本体２の正確な
位置決めがなされるようになっている。

【００２３】また、両側壁には、作業者が手で持って容
器本体２を持ち上げて縦にしたり横にしたりするために
ハンドルが設けられている。このハンドルは斜め方向に
延びた棒状部材で構成されているが、肉厚円盤状にして
もよい。

【００２４】容器本体２の上端部には、蓋体が嵌合する
ための蓋体受け部２１が設けられている。この蓋体受け
部２１は容器本体２の上端部を、蓋体の寸法まで広げて
形成されている。

【００２５】蓋体受け部２１には、後述する第１方式の
蓋体の第１係止爪３２が嵌合する第１係止爪嵌合孔２２
が設けられている。この第１係止爪嵌合孔２２は四隅に
一対ずつ設けられている。さらに、一対の第１係止爪嵌
合孔２２の内側には、後述する第２係止爪３５が嵌合す
る第２係止爪嵌合孔２３が設けられている。

【００２６】さらに、蓋体受け部２１は広く形成され、
種々の蓋体の形状に対応できるようになっている。即
ち、蓋体のうち、その下側面の周縁部である蓋体受け部
２１への当接部は、蓋体の種類によって異なっているた
め、各種の形状の蓋体に対応できるように、蓋体受け部
２１が広く形成されている。

【００２７】この蓋体受け部２１にはマグネット２５が
埋め込まれている。このマグネット２５は、蓋体受け部
２１の全周に亘って埋設されている。これにより、蓋体
側のマグネット２５が連続的に埋設されている場合と、
断続的に埋設されている場合とを問わず、それぞれに対
応できるようになっている。マグネット２５は、後述の
シール溝２６を含んでその両側まで広く埋設してもよ
い。これにより、種々の態様で蓋体に埋設されたマグネ
ットに対応することができるようになる。

【００２８】さらに、蓋体受け部２１にはシール材受け
部としてのシール溝２６が形成されている。このシール
溝２６は、図７に示すように、蓋体５１のシール材５２
がはまり込んで容器本体２内を密封するように、窪ませ
て形成されている。シール溝２６の底面は、シール材５
２が確実に吸着するように平滑な面に仕上げられてい
る。このシール溝２６を挟む両側には、十分な広さの当
接面が確保され、シール材５２のない蓋体も十分に受け
止められるようになっている。

【００２９】蓋体は、少なくとも３方式がある。図８に
第１方式の蓋体３１を示す。この第１方式の蓋体３１
は、係止爪と係止孔とで蓋体３１を容器本体２に固定す
るようになっている。この蓋体３１は肉厚の四角形板状
に形成されている。その中央には長方形の窓部３１Ａが
設けられ、内部の半導体シリコンウエハを確認できるよ
うになっている。蓋体３１の下側面には、容器本体２に
収納された複数の半導体シリコンウエハを容器本体２内
で安定させるために、その上側から押さえて支持するウ
エハ押え（図示せず）が設けられている。

【００３０】蓋体３１の四隅には、出没可能に設けられ
た第１係止爪３２が設けられている。蓋体３１の上側面
には、第１係止爪３２を出没させるキー孔３３が設けら
れている。このキー孔３３にキーを差し込み、回転させ
ることで、リンク（図示せず）によってつながった第１
係止爪３２が出没するようになっている。キーは製造ラ
イン等の搬送装置の腕部に取り付けられ、自動的に蓋体
３１を取り付け、取り外しされるようになっている。第
１係止爪３２は四隅に２つずつ設けられている。

【００３１】係止爪と係止孔とを用いた方式の蓋体に
は、図９に示すように方式の係止爪もある。この第２係
止爪３５は合成樹脂の弾性を利用したものである。第２
係止爪３５は、弾性を有し、内側へ撓む立板部３５Ａ
と、この立板部３５Ａの上部に設けられた爪部３５Ｂ
と、立板部３５Ａの上端から内側へ延びる水平体部３５
Ｃとから構成されている。そして、立板部３５Ａの弾性
で爪部３５Ｂが第２係止爪嵌合孔２３に嵌合し、水平体
部３５Ｃを押し下げることで立板部３５Ａが撓んで爪部
３５Ｂが第２係止爪嵌合孔２３から外れるようになって
いる。

【００３２】図１０に第２方式の蓋体４１を示す。

【００３３】第２方式の蓋体４１の下側面の周縁部には
マグネット４２が埋設されている。このマグネット４２
は、蓋体４１の下側面の周縁部全周に亘って形成された
り、断続的に形成されたりしている。種々の方式があ
る。

【００３４】図７に第３方式の蓋体５１を示す。

【００３５】蓋体５１の下側面の周縁部には、その全周
に亘ってシール材５２が設けられている。このシール材
５２は、蓋体５１に合わせて四角環状に形成され、後述
する容器本体２のシール溝２６に当接して容器本体２内
を密封するようになっている。

【００３６】シール材５２は外側下方へ向けて次第に細
くなるように形成されている。これにより、シール材５
２は、シール溝２６に嵌合した状態で、内部の負圧に伴
う外圧によりシール溝２６に押し付けられ、確実にシー
ルされるようになっている。

【００３７】［動作］以上のように構成された薄板収納
・輸送容器は、次のようにして使用される。

【００３８】まず、容器本体２内に半導体シリコンウエ
ハ等の薄板が収納される。そして、この輸送用の蓋体、
例えば図７又は図９の蓋体が取り付けられる。図９の蓋
体は、容器本体２の蓋体受け部２１に嵌合した状態でそ
のまま押し下げると、立板部３５Ａが撓んで爪部３５Ｂ
が第２係止爪嵌合孔２３に嵌合する。図７の蓋体５１の
場合は、容器本体２内が真空引きされた状態で蓋体５１
が蓋体受け部２１に装着される。これにより、シール材
５２がシール溝２６に嵌合する。そして、内部の負圧に
伴う外圧によってシール材５２がシール溝２６に押し付
けられる。これにより、蓋体が容器本体２に固定され、
内部が密封されて清浄に保たれた状態で半導体製造工場
等へ輸送される。

【００３９】工場等へ到着した後は、輸送用の蓋体が取
り外されて、工場内の製造ライン等で使用されている蓋
体、例えば図８又は図１０に示す蓋体が取り付けられ
る。図８の蓋体３１の場合は、第１係止爪３２が内部に
収納された状態で蓋体３１が蓋体受け部２１に装着され
る。その後、キー孔３３にキーが挿入されて第１係止爪
３２が延出される。これにより、第１係止爪３２が第１
係止爪嵌合孔２２に嵌合する。図１０の蓋体４１の場合
は、蓋体４１をそのまま蓋体受け部２１に装着する。装
着状態で蓋体４１のマグネット４２が蓋体受け部２１の
マグネット２５に接近して互いに吸着する。これによ
り、蓋体が容器本体２に固定される。そして、工場内の
製造ライン等において使用される。

【００４０】容器本体２には規格化された位置決め用嵌
合部１８が設けられているため、そのまま製造ラインや
保管等に使用することができる。製造ラインや保管場所
等においては、位置決め用嵌合部１８によって容器本体
２が特定位置に正確に位置決めして載置される。

【００４１】［効果］以上のように、容器本体２を輸送
のみならず、製造工程での処理、保管等にも使用できる
ようにしたので、使用効率が大幅に向上して、資源の無
駄使いを防止し、廃棄物の発生を低減でき、コストを低
減することができる。

【００４２】［変形例］ （１） 上記実施形態では、薄板として半導体シリコン
ウエハを例に説明したが、これに限らず、液晶用ガラス
板や記憶ディスク等の、ガスや微粒子等による悪影響を
受けるおそれのある薄板であれば、本発明の薄板収納・
輸送容器を適用することができる。

【００４３】（２） 上記実施形態では、蓋体側と容器
本体側の両方にマグネットを用いたが、一方がマグネッ
トである場合には、他方を磁性体にしてもよい。

【００４４】（３） 上記実施形態では、シール材受け
部としてシール溝２６を形成したが、他の形状のシール
材受け部でもよい。例えば、平坦面にしてもよい。この
平坦面は、シール溝２６の底面と同様に、シール材５２
が確実に吸着するように平滑な面に仕上げられる。ま
た、これ以外にも、断面凸形状にしてもよい。シール材
の形状に合わせ、各種の態様のシール材に適用できるよ
うに成形する。

【００４５】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の薄板収納
・輸送容器によれば次のような効果を奏する。

【００４６】薄板収納・輸送容器の容器本体を種々の蓋
体に対応できるようにして、薄板の輸送に使用した後
に、製造工程での処理、保管等にも使用できるようにし
たので、使用効率が大幅に向上する。

【００４７】これにより、輸送時や工場内等で個別の容
器を必要とせず、資源の無駄使いを防止することができ
る。

【００４８】この結果、廃棄物の発生を低減することが
でき、大幅なコスト低減を図ることができるようにな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る半導体シリコンウエハ収納・輸送
容器の蓋体受け部を示す要部斜視図である。

【図２】本発明に係る半導体シリコンウエハ収納・輸送
容器を示す斜視図である。

【図３】図２の半導体シリコンウエハ収納・輸送容器の
断面図である。

【図４】図２の半導体シリコンウエハ収納・輸送容器の
板状物を示す正面図である。

【図５】図２の半導体シリコンウエハ収納・輸送容器の
板状物を示す側面図である。

【図６】位置決め用嵌合部を示す正面図である。

【図７】容器本体の蓋体受け部及び第３方式の蓋体を示
す要部断面図である。

【図８】第１方式の蓋体を示す斜視図である。

【図９】第１方式の蓋体において係止爪の構成が異なる
蓋体を示す要部斜視図である。

【図１０】容器本体の蓋体受け部及び第２方式の蓋体を
示す要部断面図である。

【符号の説明】

１：半導体シリコンウエハ収納・輸送容器１、２：容器
本体、２１：蓋体受け部、２２：第１係止爪嵌合孔、２
３：第２係止爪嵌合孔、２５：マグネット、２６：シー
ル溝、３１：第１方式の蓋体、３２：第１係止爪：３
３：キー孔、３５：第２係止爪、４１：第２方式の蓋
体、４２：マグネット、５１：第３方式の蓋体、５２：
シール材。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部が清浄に保たれた状態で多数枚の薄
   板を収納支持する容器本体を備えて構成された薄板収納
   ・輸送容器において、 上記容器本体に、自己の載置位置を正確に調整する位置
   決め手段を設けると共に、蓋体が取り付けられる蓋体受
   け部を設け、 この蓋体受け部に、取り付け方式の異なる各種の蓋体を
   係止する係止手段を設けたことを特徴とする薄板収納・
   輸送容器。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の薄板収納・輸送容器に
   おいて、 上記係止手段が、引っ掛け、吸着、真空引き等の、蓋体
   を容器本体に係止する各種の手段のうち少なくとも２つ
   の手段を備えたことを特徴とする薄板収納・輸送容器。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の薄板収納・輸送容器に
   おいて、 上記係止手段が、第１方式の蓋体に設けられた係止爪又
   は係止孔に嵌合する係止孔又は係止爪と、第２方式の蓋
   体に設けられたマグネット又は磁性体に吸着する磁性体
   又はマグネットと、第３方式の蓋体に設けられたシール
   材又はシール材受け部に当接してシールし、真空引きさ
   れた内部を負圧に保つシール材取付け部又はシール材と
   を備えて構成されたことを特徴とする薄板収納・輸送容
   器。