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TWI235631B - Surface insulation method for multi-layered chip-type ceramic over-voltage suppressor device - Google Patents

Surface insulation method for multi-layered chip-type ceramic over-voltage suppressor device Download PDF

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TWI235631B
TWI235631B TW92132805A TW92132805A TWI235631B TW I235631 B TWI235631 B TW I235631B TW 92132805 A TW92132805 A TW 92132805A TW 92132805 A TW92132805 A TW 92132805A TW I235631 B TWI235631 B TW I235631B
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Ching-Lung Tzeng
Sheng-Ming Deng
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Lien Shun Technical Co Ltd
Sheng-Ming Deng
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1235631 五 、發明說明(1) 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種多層式晶片型 件,特別是關於該元件表面光過電壓抑制益元 電極可庳用# # s g _ / ,使得該元件之端 」應用得統日日片型元件雷鍍掣 層焊接介面層,使端電極 的:端電極鍍上- 免陶瓷本體表面鍍上全屬m谇接特性’同時可避 至屬,而造成產品短路失效。 【先前技術】 近:來,隨著電子產品小熟、多 求下,電子線路之製作 』搞式之而 上需符人爭-二招:功能提升’電子元件不僅性能 ㉟格要* ’其與積體電路配合之高可靠性 基本需求。因此,本質上屬於保護 :壓抑制器,,更大的單位體積突波吸收能力力 適用電藶的方向發I,是必然的結果,另因電磁二乏之 jMj)及電磁相容性(EMC)之需求不,多層陶瓷過電壓抑制 裔逐,被大量運用於電腦資訊與通訊產品之電子電路上, 另在,傳輸速度、高頻寬、高組裝密度需求、以及符合防 制規範下,使得陶瓷過電壓抑制器不僅在材料研發方面更 上一層,而可與表面實裝(SMT)線路搭配之各式規格的晶 片化等技術更促使陶瓷過電壓抑制器產業發展,尤其是多 層陶究製程使晶片型陶瓷過電壓抑制器之設計及製作有更 寬廣的發展,如多層陶瓷製程中的電極共燒就涉及陶曼過 電壓抑制器之配方調整以降低燒結溫度、陶瓷過電壓抑制
1235631 五、發明說明(2) ::部份成分會與共燒之電極反應、以及調整組成後 特性的穩定性等均是極重要的課題。 - w =U、1BA1C圖所示之習知多層式晶片型陶瓷過電 堡抑制器,材料經陶曼生胚薄片製作、印刷堆疊、二電 燒結及端電極製作後’即形成包括:冑竟本體】 “ 之結構,f用以半導體性或低絕緣性材料為 層陶竞過電壓抑制器及其他晶片型電子元件的= 法2採用Ag、Ag-pd4Ag_pd_pt為端銀電極, 電子π件之端電極與系統電路機板易於焊接揍合,/使 该電子兀件應有之功能,大部分之電 么揮 作完成後,f以電鑛製程鍍上一層焊 電極製 曰丨取丄 滑杆接介面層,使端雷枚 ΐ導接=制然而,多層陶究過電壓抑制器為二 丰導體! 生材枓,電鍍製程中會將電鍍之金屬Μ、pb —S Sn鑛:陶兗本體上,使得該元件之或 品短路失效。 ^ < 守软產 傳統上解決上述問題的方法是使用含有貴重金屬 ,極材料,使端電極無須電鍍即具有可銲錫焊接的 =此種端電極之焊接性與可靠度仍然很難達㈣電^捏 接;I面層金屬相同的焊接品質與水準。 /、 Ά 此外,另有下列二種較重要之習用絕緣方法 =極可電鑛’且不會將電鍍之金屬鑛在陶兗本體上達士 將作法及問題點分述如下: 紙 ^歐^專利第釀m號之方法係將多層陶曼電子 泡於構酸鹽水溶液中,以本體之主成份氧化鋅被酸^容
1235631 五、發明說明(3) 液溶解後, 上,形成絕 反應物濃度 亦造成製造 2·中華民國 端電極形成 製作之絕緣 覆,而降低 除電子元件 用也將限制 須低於絕緣 3 ·美國專利 成後,製作 接著再包覆 二次之端電 銀電極製作 雜性不利於 基於前 所欲解決之 與溶液反應生成磷酸鋅沉私# 緣之表面被覆,然此陶竟本體㈣ 、溫度及pH值等條件,且使用〜控:,谷液的 成本提高及環保問題。 後的廢溶液處理 專利第447775號之方法#於跑— 前,於陶究本體上被ί 是本體形成後, 層可能造成原先外露的内‘極、!層’然此方法 電子元件之效能與可電;端部被絕緣層包 兩端部絕緣層的程序,^卜3义須增加一道清 層材料可承受的溫度=電極之燒附溫度必 第6232867號之方法係於夕庶 第一&層陶竞電子元件形 第二-層玻璃絕緣層, 製造成本控制。處理私序’材料與製程之複 述問題及習知方法辦六士 問題所在。 +在之缺失,正是本發明 【發明内容] 陶瓷電子元件之端電極製作 層焊接介面層,使端電極具 《所欲解決之技術問題》 — 本發明主要在於解決多層 70成後’需以電鍍製程鍍上—
1235631
有良好的焊接特性 性材料,電鍍製程 陶瓷本體上,使得 效的問題。 ’然而,多層陶瓷電 中會將電鍍之金屬Ni 元件之兩端電極導通 子元件為一半導體 ' Pb-Sn或Sn鑛在 ’導致產品短路失 《解決問題之技術手段》 > ,發明之技術手段主要是以玻璃、有機化合物、金屬 ^勿金類或其他高絕緣性材料塗佈於多層陶瓷過 二j抑制器本體表面上,經熱處理後,於陶瓷本體表面形 =一絕緣層,使得元件之端電極可應用傳統晶片型元件之
^鍍製程,將端電極鍍上一層焊接介面層,使端電極具有 =好的焊接特性,同時可避免陶瓷本體表面於後續電鍍製 程中鍍上金屬,而造成產品短路失效,陶瓷本體表面塗佈 、、、邑緣層之製程可於陶瓷本體燒結前;或陶瓷本體燒結後、 端電極製作前;或陶瓷本體燒結及端電極製作後、電鍍前 實施。 此外’端電極製作前之陶瓷本體表面進行絕緣層塗佈 時/可能使原本外露的内電極端部因表面絕緣層阻隔,致 使後續製作之端電極無法與内電極電性導通,本發明之技 術手#又主要是應用浸餘法及熱處理法使内電極端部向外伸 展’以確保内電極與端電極形成良好的電性導通。 《對先前技術之功效》 相較於先前技術,本發明之絕緣方法具有以下優點·· 1 ·所形成之絕緣層不會限制端電極材料之選擇; 2·陶免本體表面具有平坦化的效果,可提高銲錫製程之後
第8頁 1235631 五、發明說明(5) 助録劑的清洗效果,避免因助銲劑殘留而提升漏電流,、告 成產品失效; 3·本發明之内電極端部向外伸展之方法,可確保内電極血 端電極形成良好的電性導通’不需增加元件兩端部絕_ 之清除製程; 曰 4·陶瓷本體表面絕緣層之熱處理製程可和端電極之燒附制 程合併實施,亦可和陶瓷本體之燒結製程合併實施二衣 【實施方 本發 屬鹽類或 本體表面 層,使得 程,將端 焊接特性 上金屬, 陶瓷本體 陶瓷本體 極製作後 一、陶瓷 將尚 有機化合 料,厚度 半導體性 式】 氧化物、金 電壓抑制器 形成一絕緣 之電鍍製 具有良好的 鍵製程中鑛 短路失效, 燒結前;或 燒結及端電 如下: 一層玻璃、 絕緣性材 燒結後之 明主要是以玻璃、有機化合物、金屬 其他高絕聲J生材料塗佈於多層陶瓷過 上,經後,於陶瓷本體表面上 元件之端電極可應用傳統晶片型元件 電極鍍上一層焊接介面層,使端電極 ,同時可避免陶瓷本體表面於後續電 使得元件之兩端電極導通,導致產口 表面塗佈絕緣層之製程可於陶瓷本體 燒結後、端電極製作前;或陶瓷本體 、電鍍前實施,其具體實施方法詳述 本體燒結前塗佈絕緣層 未燒結的多層陶瓷生胚整體表面塗佈 物、金屬氧化物、金屬鹽類或其他高 約1〜100 /zm,然後再進行燒結製程 陶瓷本體表面即形成一層絕緣層。
第9頁 1235631 五、發明說明(6) 一、陶兗本 將燒結 璃、有機化 材料,厚度 半導體性陶 三、陶瓷本 多層陶 前,於元件 化物、金屬 經熱處理後 佈材料反應 理過程中溶 製程、以及 體燒結後 後、端電 合物、金 約1〜2 0 0 瓷材料與 體燒結及 瓷元件完 整體表面 鹽類或其 ,陶瓷本 形成一絕 入或混入 電流導通 、端電極製作前塗佈絕緣層 極製作前之陶瓷本體表面塗佈一層玻 屬氧化物、金屬鹽類或其他高絕緣性 # m,經熱處理後,陶瓷本體表面之 表面塗佈材料反應形成一絕緣層。 端電極製作後、電鍍前塗佈絕緣層 成燒結製程及端電極製作後、電鍍之 塗=一層玻璃、有機化合物、金屬氧 他尚絕緣性材料,厚度約1〜5 〇 # m, 體表面之半導體性陶瓷材料與表面塗 緣層,端電極表面之塗佈材料於熱處 端電極金屬中,並不影響後續之電鍍 針對上述元件端 絕緣塗佈,可能使原 隔’致使後續製作之 此’需使内電極端部 成良好的電性導通, 有二: •陶瓷本體燒結後, 值及浸泡時間,使得 屬因較耐浸蝕,而形 2·内電極含有銀或銀 電極製作前之陶兗 本外露的内電極端 端電極無法與内電 向外伸展,以確保 本發明之内電極端 經酸或鹼液浸泡, 陶究本體表面受浸 成内電極端部凸出 合金成份,於表面 本體六個表面進行 部因表面絕緣層阻 極電性導通,因 内電極與端電極形 部向外伸展之方法 控制酸或鹼液之pH 餘内縮,内電極金 於陶瓷本體外。 塗佈絕緣層及製作
第10頁 五、發明說明(7) 端電極之後,再施以25〇。〇以上 銀因受到端電極中銀成份的牽引而向外伸展。電極之至屬 實施例: 上述大致說明本發明,以下將人 更詳細說明本發明,因M、隹】口具體的較佳實施例 1伞心明,因此可進一步了解本發明。 實施例一: 所示本二::於陶瓷本!燒結前塗佈絕緣層,如第2 A圖 二、 、里k陶瓷生胚薄片製作、印刷堆聂及切宝J成句 含陶瓷本體10盥内雷— 且及刀d成 別元件生胚# 土! 早一70件生胚等過程後,將個 與其表面塗佈層一起„〇"m,將元件生胚 用之燒結條件採用元件原本使 用之k、、口製私條件,燒社德BP游Α、,Μ 包含芦姓德$ _ 2 士 後即形成如弟Μ圖所示之結構, 竟本體表面材料於燒姓過程、及玻璃塗料層與陶 接签,#二从麂、^過転中反應生成的表面絕緣層60。 示,原本外::肉:部塗附端電極及燒附後,如第2C圖所 ’、” 路内電極22端部可能殘留少量玻璃塗料8〇, 而阻隔内電極22端部與端電極3 :==塗=, 需實施50(TC以上之埶_裡 &間的電性導通,因此, 電極32中之銀成二熱牵處引理而二電:22 ^ ^ 通,如第2D圖所示,若選擇;上:展’形成良好的電性導 製程使内電極22端部端電極材料’該熱處理 口卜1甲展的實施程序可和端電極的燒 1235631 五、發明說明(8) 附製程合併實施而得到相同的效果。 以上程序完成後,該元件可經由傳統晶片型元件之後 續電鍍製程而得到正常的電鍍效果,端電極之間的陶瓷本 體表面經絕緣處理後,不會鍍上金屬。 實施例二: 本實施例係於陶瓷本體燒結後、端電極製作前塗佈絕 緣層,材料經陶瓷生胚薄片製作、印刷堆疊、切割及燒結 後,即形成如第3A圖所示之結構,包含陶瓷本體△與 極22,將燒結後的元件塗佈一層主要成份為鋅—硼—矽之氧 化物混合塗料層,再實施50 0 t: s85(rCi熱處理,即形成 如第3B圖所示之結構,包含陶瓷本體12、内電極“及氧化 物混合塗料層與陶瓷本體表面材料於熱處理過程中反應生 成的表面絕緣層6 〇。 〜
^: ’該元件端部塗附端電極及燒附後,如第3c圖所 二’原本外露的内電極22端部可能殘存少量氧化物混合塗 料80,而阻隔内電極22端部與端電極3〇之間的 因此,需實施500 t:以上之熱處理,内導I 受到端電極32中銀成份的牽引而向外伸展, 、好銀 性導通,如第3D圖所示,若選擇/成良好的電 處理製程使内電極22端部向; = = =材料’該熱 緣層熱處理及端電極之燒附製程::::;面絕 的效果。 ^ σ併貝轭而得到相同 以上程序完成後 該π件可經由傳統晶片型元件之後
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端電極之間的陶瓷本 五、發明說明(9) 續電鑛製程而得到正常的電鍍效果, 體表面經絕緣處理後,不會錢上金屬 實施例三: 本:,例係於陶€本體燒結後、端電極製作 :即經陶曼生胚薄片製作、印刷堆疊“刀割及燒結 炼22,‘成如第4A圖所不之結構’包含陶瓷本體12與内電 ,、、、'後將該燒結後的70件浸泡於〇. 5%HC1水溶液中1分 :陶竞本體12受到浸餘而内縮,使得内電極2 :夕卜凸出,如第4B圖所示,其次,將處理後的元件塗佈一 層主要成份為辞-硼-矽之玻璃塗料層,接著實施5〇〇。〇至 7〇〇 C之熱處理,即形成如第4C圖所示之結構,包含陶 f體12、内電極22及玻璃塗料層與陶竟本體表面材料於埶 處理過程中反應生成的表面絕緣層6 〇。 ”、、 一接著,該元件端部塗附端電極及燒附後,如第4D圖所 不,原先已向外裸露的内電極22端部和端電極32之間具 良好的電導通特性,上述之表面絕緣層熱處理製程可^端 電極的燒附製程合併實施而得到相同的效果。 以上程序完成後,該元件可經由傳統晶片型元件之後 績電鍍製程而得到正常的電鍍效果,端電極之間的陶究本 體表面經絕緣處理後,不會鍍上金屬。 實施例四: 本實施例係於元件完成燒結製程及端電極製作後、電
第13頁 1235631 五、發明說明(10) 鍍之前塗佈絕緣層,元件經傳統之積層晶片型元件製程 後、電鑛之前得到如弟5 A圖所不之結構,包含陶究本體 12、内電極22及端電極32 ’接著將該元件表面塗佈一芦主 要成份為鉛-鋅-硼-矽之玻璃塗料層40,如第㈤圖所厂、θ, 然後實施50(TC至700 °C之熱處理,即形成如第5/圖所$干社 構,包含陶堯本體12、内電極22、端電極32以及玻璃塗^ 層與陶瓷本體表面材料於熱處理過程中反應生成的表面絕 緣層60,塗佈於端電極表面之塗料於熱處理過程中溶入或 混入端電極金屬中,端電極表面仍保持良好的導電特性一, =層之熱處理製程可和端電極的燒附製程施 而付到相同的效果。 續電二i:ί:成後,M元件可經由傳統晶片型元件之後 體表:it::到正常的電鍍效果1電極之間的陶究本 體表面絰絕緣處理後,$會鍍上金屬。 已,:以=以解釋本創作之較佳實施例而 凡有在相同下:ΐ任何形式上之限制,是以, 更’皆為本創作巾 f作有關本創作之任何修飾或變 T明專利範圍所涵蓋。 1235631 圖式簡單說明 弟1 A圖為習知多層式晶片型陶兗過電壓抑制器元件之平面 不意圖, 第1B圖為第1A圖所示之習知多層式晶片型陶曼過電壓抑制 器元件縱方向之剖面結構圖; 第1 C圖為第1 A圖所示之習知多層式晶片型陶瓷過電壓抑制 器元件横方向之剖面結構圖; 第2 A圖為本發明之多層式晶片型陶瓷過電壓抑制器元件第 一只施例,陶瓷本體燒結之前,表面塗佈一層玻璃塗料層 之剖面結構示意圖; 第2B圖為繼第2A圖製程,進行燒結後,於其表面形成一絕 緣層之剖面結構示意圖; 第2C圖為繼第2B圖製程,該元件端部塗附端電極及燒附後 之剖面結構示意圖;
於其表面塗佈一層氧化物混合塗 於其表面形成一絕緣層之剖面結 第3B圖為繼第3A圖製程, 料層’再經熱處理製程, 構示意圖; 第3C圖為繼第3B圖製程 之剖面結構示意圖; #元件端部塗附端電極及燒附後 該元件經熱處理後之剖面結構示 第3D圖為繼第3c圖製程
第15頁 1235631
圖式簡單說明 意圖; 第4 A圖為本發明之多層式晶片型陶瓷過電壓抑制器元件第 三實施例,陶瓷本體燒結後、端電極製作之前之剖面結構 第4B圖為繼第4A圖製程,該元件浸泡於〇· 5%HC1水溶液中j 分鐘後,内電極端部向外凸出之剖面結構示意圖; 第4C圖為繼第4B圖製程,該元件表面塗佈一層玻璃塗料 層,再經熱處理製程,於其表面形成一絕緣層之剖面結構 不意圖; 第4 D圖為繼第4 C圖製程,該元件端部塗附端電極及燒附後 之剖面結構示意圖; 第5 A圖為本發明之多層式晶片型陶瓷過電壓抑制器元件第 四實施例,陶瓷本體燒結後並完成端電極製作後之剖面結 構不意圖; 第5B圖為繼第5A圖製程,於其表面塗佈一層玻璃塗料層之 剖面結構示意圖; 第5C圖為繼第5B圖製程,再經熱處理程序,於其表面形成 一絕緣層之剖面結構示意圖。 【元件符號簡單說明】 尚未燒結之陶瓷本體1 0 燒結後之陶瓷本體1 2 尚未燒結之内電極20 燒結後之内電極22
1235631 圖式簡單說明 尚未燒附之端電極30 燒附後之端電極3 2 未經熱處理的陶瓷本體表面之塗料層4 0 表面絕緣層6 0 表面絕緣層製作完成後,内電極端部殘存之塗料80 li·· 第17頁

Claims (1)

1235631 ------案號92132只的 曰 六、申請專利範圍 製程完成後,再以熱處理 一 展,以確保該内電極邀 该凡件之内電極端部向外伸 6·如申請專利範圍第5項所述η良好曰的電性導通。 抑制器元件之表面絕緣方 苴夕曰式晶片型陶瓷過電壓 内電極端部向外伸展的a L L其,該熱處理法使該元件之 端電極之燒附製冑同日4 D f序可和I面絕緣層熱處理及 7.如申請專利範圍第二實二 抑制器元件之表面絕緣方法曰式:片型陶莞過電二 展的方法,其特徵在於· 該内電極端部向外伸 後,施以25(TC以上之勒走、製作表絕緣層及端電極之 電極中之銀成份的牵引而处理’内電極中之金屬銀受到端 J罕W而向外伸出於陶窨太騁从 .如申請專利範圍第5或7項 -陶 ==件;r絕緣方法… 為本體之晶片型他以丰導體性或低絕緣性材料作 H i ΐ式晶片型陶瓷過電壓抑制器元件之表面絕緣方 法’係於該陶瓷本體燒結後、端電極製作前,將該元件浸 /包於I或驗液中,使得陶瓷本體表面受浸姓内縮,内電極 金屬因杈,浸蝕,而形成内電極端部凸出於陶瓷本體外; 然後再以兩絕緣性材料塗佈於陶瓷本體表面上,接著再進 行熱處^製程,半導體性陶瓷本體表面即形成一絕緣層; 最後再製作端電極,即可確保該内電極與端電極形成良好 的電性導通。 1 0 ·如申請專利範圍第9項所述之多層式晶片型陶瓷過電壓 19頁 1235631 -------- 921 _手月 曰_ 修正 六、申請專利範圍 $制器元件之表面絕緣方法,其中表面絕緣層熱處理製程 "和端電極之燒附製程合併實施而得到相同的效果。 11 ·如申請專利範圍第9項所述之多層式晶片型陶瓷過電壓 P制器元件之表面絕緣方法,其中使該内電極端部向外伸 =方法’其特徵在於:陶瓷本體燒結後、表面絕緣層製 則L該7L件浸泡於酸或鹼液中,使得陶瓷本體表面受浸 内縮’内電極金屬凸出於陶瓷本體外。 j·如申請專利範圍第9或11項所述之多層式晶片型陶瓷過 外壓抑制器元件之表面絕緣方法,其中使該内電極端部向 夕伸展的方法,亦適用於其他以半導體性或低絕緣性材 作為本體之晶片型電子元件。 13·、種多層式晶片型陶瓷過電壓抑制器元件之表面絕緣 f法’係於該陶竟本體燒結及端電極製作後、電鍍前,以 =絕緣性材料塗佈於陶变本體表面上,再進行熱處理製 ^半導體性陶瓷本體表面即形成一絕緣層,塗佈於端電 玉面之塗料於熱處理過程中溶入或混入端電極金屬中, 端電極表面仍保持良好的導電特性。 ϋ申又專利範圍第13項所述之多層式晶片型陶瓷過電 痉P J器元件之表面絕緣方法豆中表面絕緣層熱處理製 =可Λ端Λ極之燒附製程合併實施而得到相同的效果。 利範圍第1、5、9或13項所述之多層式晶片型 ΞίΐϊΐΓ制器70件之表面絕緣方法,•中該高絕緣性 材料為玻璃。 16·如申請專利範圍第J、5、9或13項所述之多層式晶片型
第20頁
,其中該高 緣性 1235631 案號 92132805 六、申請專利範圍 陶竟過電μ抑制器元件之表面絕緣方法 材料可為有機化合物。 17·如申請專利範圍第1、5、9或13項所述之多層式晶片变 陶瓷過電壓抑制器元件之表面絕緣方法,其中該高絕緣性 材料可為金屬氧化物。 、… 18·如申請專利範圍第1、5、9或13項所述之多層式晶片型 陶兗過電壓抑制器元件之表面絕緣方法,其中該高絕 材料可為金屬鹽類。 ^ 1 9 ·如申請專利範圍第i、5、9或丨3項所述之多層式晶 陶兗過電壓抑制器元件之表面絕緣方法,亦適用於 & 牛導體性或低絕緣性材料作為本體之晶片型電子元 人 面絕緣。 之表
第21頁
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