1224074 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在跨過複數個樓面而構成製造線的製造 工廠中，進行半製品的樓面內/樓面間搬送的搬送系統，尤 其是關於具備進行樓面間搬送的升降機、進行樓面內搬送 的搬送車及對於升降機作裝載/卸載用的中轉堆料機的搬 送系統之控制裝置。 【先前技術】 在半導體製造線或電子印刷電路板製造線內，有著搬送 屬半製品之半導體晶圓或印刷板的各式各樣的系統。此種 形態的製造線亦有構成爲跨過複數個樓面的情況。在如此 之情況下，屬於垂直方向的樓面間搬送及屬於水平方向的 樓面內搬送係混合存在。 曰本特開平1 1 -67 870號公報中，揭示有包含緩衝堆料 機、環形搬送線、升降機及移載機之半導體晶圓搬送裝置。 該文獻所揭示之半導體晶圓搬送裝置，係由設置著半導體 製造裝置的無塵室；提供用途予半導體製造裝置用的設置 於無塵室地板上，用以暫時保管半導體晶圓的堆料機；設 置於無塵室天花板部，並在堆料機間搬送半導體晶圓的環 形搬送線；在環形搬送線間移載半導體晶圓用的移載裝 置；在設置於樓面間的堆料機之間搬送半導體晶圓的升降 機；及在每一半導體處理步驟保管由半導體裝置的處理能 力所決定的最小單位的半導體晶圓的小型堆料機所構成。 該小型堆料機保管從藉由全半導體處理步驟所需要的生產 5 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 1224074 期間與每曰的對於半導體生產線的投 成品數減去小型堆料機的全保管數的 根據曰本特開平i丨_ 6 7 8 7 〇號公報月 搬送裝置，使用環形搬送線、移載裝 體處理步驟所必需的半導體晶圓數， 上的緩衝堆料機供給設於無麈室內每 小型堆料機。完成半導體處理的半導 相反的操作步驟從小型堆料機存放於 藉由將設於無塵室內的堆料機的設置 半導體裝置的台數，即可獲得半導體 升。 曰本特開平7-3 09407號公報揭示窄 刷電路板的料盤堆料機。其所揭示之 部保持著複數片電子印刷電路板的料 狀移動料盤的傳輸帶，且於其兩端部 的一端向著另一端升降的升降部的循 於傳輸帶的中間，在與隨著傳輸帶的 的方向使料盤分歧的分歧移載部；從 接受:料盤，而相對於隨著傳輸帶的料 動的前後移載部；相對於隨著傳輸帶 行移動的載置移載部所構成的工作台 的電梯；將電梯立設於台座上的升降 降移載部的台座上，面向著工作台的 藉由工作台的載置移載機而移載料盤 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 放量所決定的生產半 半導體晶圓數。 〒揭示之半導體晶圓 置及升降機，將半導 從設置於無塵室地板 一半導體處理步驟的 體晶圓，以與供給時 緩衝堆料機。據此， 面積設爲最小以增加 生產線的生產性的提 『存放複數片電子印 料盤堆料機具備：內 盤；上下持有以直線 具有將料盤從傳輸帶 環式料盤堆料機；設 料盤的移動方向垂直 傳輸帶的分歧移載部 盤的移動方向垂直移 的料盤的移動方向平 ;使工作台上下移動 移載部；及乘載於升 移動範圍而配置，且 並予以收存的齒條箱 6 1224074 櫃部。 根據日本特開平7 - 3 0 9 4 0 7號公報所揭示的料盤堆料 機，藉由於一直線狀存放料盤的傳輸帶上設置分歧移載 部，設置前後左右移動乘載料盤的工作台的前後移載部、 載置移載部、由上下移動的電梯組成的升降移載部及收存 料盤的齒條箱櫃部，在與傳輸帶垂直的方向使料盤滯留， 可增加料盤堆料機的料盤滯留量。也就是說，利用從傳輸 帶的一方向上使料盤的流動分歧，且使料盤在垂直於傳輸 帶‘且高度方向上滯留，即可增加料盤堆料機的料盤滯留 量。藉此，可縮小各步驟間的能力差。 【發明內容】 (發明所欲解決之問題） 但是’若根據上述日本特開平11-67870號公報所揭示之 半導體晶圓搬送裝置’係爲將設於無塵室內的堆料機的設 置面積最小化以增加半導體製造裝置的台數者，而並不是 對應於製造步驟內的搬送負載，使構成堆料機、環形搬送 線、移載裝置、升降機及小型堆料機等搬送裝置的各裝置 有效運作者。若根據上述日本特開平7 - 3 0 9 4 0 7號公報所揭 示的料盤堆料機，則係爲省空間且不需要多餘的設備費用 者’而並不是對應於製造步驟內的搬送負載，使料盤堆料 機有效運作者。 也就是說，上述日本特開平11-67870號公報及特開平 7-3 09407號公報，並非爲在跨過複數個樓面所構成的製造 線上，實現屬於垂直方向的樓面間搬送及屬於水平方向的 7 312/發明說明書(補件)/92-〇6/921 〇7867 1224074 樓面內搬送混合存在的情況之有效率的設備運用。 本發明正是用於解決上述問題而提出的發明，其提供一 控制裝置，可效率良好地運用包括進行複數個樓面間搬送 的升降機、進行設於各樓面的樓面內搬送的搬送車及對於 設於各樓面的升降機作裝載/卸載用的中轉堆料機的搬送 系統。 (解決問題之手段） 本發明之搬送控制裝置，係控制分散於複數個樓面的製 造步驟的搬送系統。該搬送系統包括：進行複數個樓面間搬 送的複數台升降機、設於各樓面進行樓面內搬送的複數台 搬送車及設於各樓面而對於升降機作裝載/卸載用的複數 台中轉堆料機。搬送控制裝置包括：計算製造步驟之搬送 對象物的量用的計算機構；及根據計算出的搬送對象物的 量，用以決定在複數個升降機中使用的升降機的決定機構。 又，本發明之搬送控制裝置亦可包括··計算製造步驟之 搬送對象物的量用的計算機構；及根據計算出的搬送對象 物的量，用以決定在複數個中轉堆料機中使用的中轉堆料 機的決定機構。 【實施方式】 以下’參照圖式說明本發明之實施形態。以下之說明 中，對於相同的構件則賦予相同的元件符號。此等名稱及 其功能也相同。因此也並不重複此等的詳細說明。 (第1實施形態） 參照圖1及圖2，說明本實施形態之搬送裝置控制之搬 8 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 1224074 送系統的全體構成。該搬送系統係被使 製造工廠中。在半導體製品之製造工廠 置數個小室（以下，稱爲隔間）。於各隔^ 台的處理裝置。爲了進行各隔間之間的 OHS(Over Head Shuttle，頂式接駁機）。 樓面間的無塵室以進行樓面間搬送，備 料機。 如圖1及圖2所示，以下之說明中係 構成的半導體製造步驟進行說明。如圖 樓設有OHS之搬送軌100、102、200、 還設置著進行1樓與2樓之樓面間搬送 進行1樓、2樓與3樓間之搬送的升降機 在升降機1 000的附近，於1樓設置著 於2樓設置著中轉堆料機2 3 0。在升降榜 1樓設置著中轉堆料機1 3 2，於2樓設置 2 3 2，於3樓設置著中轉堆料機3 3 〇。在 近，於1樓設置著中轉堆料機1 3 4，於： 料機2 3 4，於3樓設置著中轉堆料機3 3 : 的附近，於1樓設置著中轉堆料機i 3 6 轉堆料機2 3 6，於3樓設置著中轉堆料機 料機係爲了各自的升降機與〇 H S的移載 OHS 之行走軌 1〇〇、102、200、202、 於各個隔間的各個堆料機1 1 〇〜i 24、2 i 連接於中轉堆料機1 3 0〜1 3 6、2 3 0〜2 3 6 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 用在半導體製品之 中，於無塵室內設 圍分別配置著複數 搬送，備有 此外，爲了連接各 有升降機與中轉堆 針對跨設3樓層而 1及圖2所示，各 202 、 300 、 302 ° 的升降機1000 ;及 2000、3 000、4000° :中轉堆料機1 3 0， | 2 0 0 0的附近，於 ΐ著中轉堆料機 升降機3 000的附 2樓設置著中轉堆 2。在升降機4 0 0 0 ，於2樓設置著中 丨3 3 4。各個中轉堆 而設置。 3 00、3 02，係從設 0〜224、310〜322 、3 3 0〜3 3 4 °半導 9 1224074 體晶圓係當複數片被收納於1個閘盒而由設於隔間的處理 裝置完成前步驟時，被收納於設於該隔間的堆料機。所收 納之閘盒，係從堆料機藉由OHS軌上的台車被自堆料機搬 送至中轉堆料機上。從中轉堆料機透過樓面間搬送用升降 機’被搬送至同一升降機之其他樓的中轉堆料機上。藉由 OHS台車從中轉堆料機搬送至設於無塵室的各隔間的堆料 機上。藉由反覆此步驟，即可將收納於閘盒的半導體晶圓， 從各樓面間的隔間搬送至其他樓面間的隔間。 若以實際動作例表示，在從1樓的無塵室內的堆料機1 i 6 將閘盒搬送至3樓的無塵室內的堆料機3 1 2的情況下，藉 由設於1樓的OHS搬送軌100的OHS台車將閘盒從堆料 機1 1 6搬送到中轉堆料機1 3 6。從中轉堆料機1 3 6藉由樓 面間搬送升降機4 0 0 0，搬送至3樓的無塵室內的升降機 4〇〇〇的中轉堆料機334。藉由3樓的OHS台車從3樓的中 轉堆料機3 3 4搬送至設於搬送目的地的隔間之堆料機3丨2。 進行如此動作，1樓與2樓、2樓與3樓、1樓與3樓間 的搬送，也同樣藉由各個樓面內的OHS台車、中轉堆料機 及樓面間搬送升降機來執行半導體晶圓的搬送。 參照圖3，說明本實施形態之搬送系統的控制裝置的全 體構成圖。圖3所示主機電腦5 000係本實施形態之搬送控 制裝置。主機電腦5 000連接於各樓每一樓的OHS控制器 5 100及升降機控制器5 200，中轉堆料機控制器5 3 00及堆 料機控制器5 400。 OHS控制器5100於各樓每一樓控制OHS台車5110。升 10 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 1224074 降機控制器5 20 0分別控制升降機1 000、2000、3 000、4000。 又’在此，將此等升降機統一標示爲升降機5 2 1 〇。 中轉堆料機控制器5 3 00控制中轉堆料機13〇〜136、23() 〜2 3 6、3 3 0〜3 3 4。又，在此’將中轉堆料機統一標示爲中 轉堆料機5 3 1 0。 堆料機控制器5 400控制設於各個隔間的堆料機110〜 1 2 4、2 1 〇〜2 2 4、3 1 0〜3 2 2。又，在此，將堆料機統一標示 爲堆料機5 4 1 0。 如圖3所示，主機電腦5 000，連接於OHS控制器5100、 升降機控制器5 2 0 0、中轉堆料機控制器5 3 0 0及堆料機控 制器5 400，可收集於OHS台車5110的搬送實績、於升降 機5 2 1 〇的搬送實績、中轉堆料機5 3 1 0的工作比率及堆料 機5 4 1 0的工作比率。此外，於主機電腦5 0 0 0輸入該半導 體製造步驟之半導體晶圓的投放量及在半成品加工量。 參照圖4，說明由屬本實施形態之搬送控制裝置之主機 電腦5 000所執行的程式的控制構造。 在步驟（以下將步驟簡稱爲S) 100，主機電腦5 000計算 出製造步驟內的搬送負載。此時，主機電腦5 000基於製造 步驟內的半導體晶圓的半成品加工量、將平均加工日數乘 上半導體晶圓的投放量所得數値、OH S台車5 1 1 0的搬送 實績數、升降機5 2 1 0的搬送實績數、中轉堆料機5 3 1 0的 工作比率、Ο H S台車5 4 1 0的工作台數、升降機5 2 1 0的工 作台數及中轉堆料機5 3 1 0的工作台數等，計算出與搬送對 象物的量關聯性深的製造步驟內的搬送負載。 11 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 在S 102，主機電腦5 000判斷所計算的搬送負載是否較 負載臨限値（1 )小。在搬送負載較負載臨限値（1)小的情況 下（在S102爲YES)，則處理移向S104。反之（在S102爲 NO)則結束該處理。 在S 104，主機電腦5 000判斷所計算的搬送負載是否較 負載臨限値（2)大。在搬送負載較負載臨限値（2)大的情況 下（在S104爲YES)，則處理移向S106。反之（在S104爲 NO)則處理移向S108。又，負載臨限値（2)較負載臨限値（1) 小0 在S 106，主機電腦5000使1台升降機及1台中轉堆料 機停止工作。此後處理結束。 在S 108，主機電腦5 0 00判斷搬送負載是否較負載臨限 値（3)大。在搬送負載較負載臨限値（3)大的情況下（在S 108 爲YES)，則處理移向SU0。反之（在S108爲NO)則處理 移向S1 12。又，負載臨限値（3)較負載臨限値（2)小。 在S1 10，主機電腦5 000使2台升降機及2台中轉堆料 機停止工作。此後處理結束。 在S1 12，主機電腦5 0 00判斷搬送負載是否較負載臨限 値（4)大。在搬送負載較負載臨限値（4)大的情況下（在S 112 爲Y E S )，則處理移向S 1 1 4。反之（在S 1 1 2爲Ν Ο)則處理移 向S1 16。又，負載臨限値（4)較負載臨限値（3)小。 在S 11 4，主機電腦5 〇 〇 〇使3台升降機及3台中轉堆料 機停止工作。此後處理結束。 在S1 16，主機電腦5〇〇〇使4台升降機及4台中轉堆料 12 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 1224074 機停止工作。 基於如上的構成及流程，說明屬本實施形態之搬送控制 裝置之主機電腦5 000的動作。 主機電腦5 0 0 0從Ο H S台車5 1 1 0取得工作中的Ο H S的 台數及OHS台車51 10的搬送實績。主機電腦5 000從升降 機控制器5 2 0 0取得工作中的升降機5 2 1 0的台數及升降機 52 10的搬送實績。主機電腦5 0 00從中轉堆料機控制器5 3 0 0 取得工作中的中轉堆料機5 3 1 0的台數及中轉堆料機5 3 1 0 的工作比率。主機電腦5 000取得投入該半導體製造步驟的 投放量及半成品加工量。 主機電腦5 000係基於所取得的各種資訊計算出製造步 驟內的搬送負載（S 100)。在搬送負載較負載臨限値（1)小的 情況下（在S 102爲YES)，判斷搬送負載是否較負載臨限値 (2)大。在搬送負載較負載臨限値（1)小且較負載臨限値（2) 大的情況下（在S 104爲YES)，使1台升降機及1台中轉堆 料機停止工作（S106)。 在搬送負載爲負載臨限値（2)以下且較負載臨限値（3)大 的情況下（在S 108爲YES)，使2台升降機及2台中轉堆料 機停止工作（S 110)。在搬送負載爲負載臨限値（3)以下且較 負載臨限値（4)大的情況下（在S 112爲YES)，使3台升降 機及3台中轉堆料機停止工作（S 114)。在搬送負載爲負載 臨限値（4)以下的情況下（在S 112爲NO)，使4台升降機及 4台中轉堆料機停止工作。 經過如上之步驟後，根據本實施形態之主機電腦，基於 13 312/發明說明書(補件V92-06/92107867 1224074 從OHS控制器、升降機控制器及中轉堆料機控制器等 得的資訊以及製造步驟內的半成品加工量及投放量， 出製造步驟內的搬送負載，並基於該搬送負載可決定 機及中轉堆料機的停止台數。因爲可對應搬送負載政 降機或中轉堆料機的台數，因此，可減低升降機或中 料機的消耗電力。 (第2實施形態） 以下，說明本發明之第2實施形態之搬送控制裝置 本實施形態之搬送系統與上述第1實施形態之搬送系 相同。因此，在此並不重複詳細說明此等。 參照圖5，說明由屬本實施形態之搬送控制裝置之 電腦5 000所執行的程式的控制構造。 在S 2 0 0，主機電腦5 0 0 0計算出製造步驟內的搬送] 因爲該S200之處理與前述S100之處理相同，在此不 詳細說明。在S 202，主機電腦5000計算出製造步驟 搬送負載之相對於搬送能力的比率。 在S 204，主機電腦5 000判斷所計算出的比率是否 80%。當比率未滿80%時（在S204爲YES)，則處理® S 2 0 6。反之（在S 2 0 4爲Ν Ο )則該處理結束。 在S 2 0 6，主機電腦5 0 0 〇判斷比率是否較6 0 %大。 率大於60%時（在S 206爲YES)，則處理移向S 20 8。反 S206爲NO)則該處理移向S210。 在S 2 0 8，主機電腦5 0 0 0使1台升降機及1台中轉 機停止工作。此後處理結束。 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 ;所取 計算 :升降 :變升 4專堆 。又， :統係 主機 ft載。 :重複 內的 未滿 ;向 當比 之（在 堆料 14 1224074 在S 2 1 0，主機電腦5 0 0 0判斷比率是否較4 0 %大。當比 率大於40%時（在S210爲YES)，則處理移向S2 12。反之（在 S210爲NO)則該處理移向S214。 在S212，主機電腦5 000使2台升降機及2台中轉堆料 機停止工作。此後處理結束。 在S 2 1 4，主機電腦5 0 0 0判斷比率是否較2 0 %大。當比 率大於20%時（在S214爲YES)，則處理移向S216。反之（在 S214爲NO)則該處理移向S218。 在S 2 1 6，主機電腦5 0 0 0使3台升降機及3台中轉堆料 機停止工作。 在S 2 1 8，主機電腦5 0 0 0使4台升降機及4台中轉堆料 機停止工作。 基於如上的構成及流程，說明屬本實施形態之搬送控制 裝置之主機電腦5 0 0 0的動作。 計算出製造步驟內的搬送負載（S 200)，針對該製造步驟 內的搬送負載，計算出對於搬送能力的負載的比率（S 202 )。 在該比率較6 0 %大且在8 0 %以下的情況，（在S 2 0 4爲 YES、在S2 06爲YES)，則使1台升降機及1台中轉堆料 機停止工作（s 2 0 8 )。在該比率較4 0 %大且在6 0 %以下的情 況，（在S206爲NO、在S210爲YES)’則使2台升降機及 2台中轉堆料機停止工作（S 2 1 2 )。在該比率較2 〇 %大且在 40%以下的情況，（在S210爲NO、在S214爲YES) ’則使 3台升降機及3台中轉堆料機停止工作（S 21 6)。在該比率 爲20%以下的情況，（在S214爲NO)，則使4台升降機及 15 312/發明說明書(補件)/92-〇6/92丨〇7867 1224074 4台中轉堆料機停止工作（S 218)。 經過如上之步驟後，根據本實施形態之主機電腦5 00 0， 計算出製造步驟內的搬送負載，並基於對於該搬送能力的 搬送負載的比率，可決定升降機及中轉堆料機的停止台數。 (第3實施形態） 以下，說明本發明之第3實施形態之搬送控制裝置。又， 本實施形態之搬送系統與上述第1實施形態之搬送系統係 相同。據此，在此並不重複詳細說明該等。 參照圖6，說明由屬本實施形態之搬送控制裝置之主機 電腦5 000所執行的程式的控制構造。 在S 3 00，主機電腦5 000計算出全升降機的工作比率。 此時，主機電腦5 000係基於從連接於主機電腦5 0 00的升 降機控制器5 200所接收的資訊，計算出全升降機的工作比 率。 在S 3 02，判斷是否具有工作比率未滿50%的升降機。在 具有工作比率未滿50%的升降機的情況下（在S 3 02爲 YES)，貝[j處理移向S304。反之（在S302爲NO)貝(1該處理返 回 S300 ° 在S 3 04,主機電腦5 000使該升降機停止工作。在S 3 06， 主機電腦5 0 0 0計算出其他之升降機的工作比率。此時，於 S 3 04計算出執行升降機的停止處理後的工作比率。 在S 3 0 8，主機電腦5 000判斷在其他之升降機中是否具 有工作比率爲70 %以上的升降機。若其他之升降機中具有 工作比率高於70%的升降機時（在S 3 0 8爲YES)，則處理移 16 312/發明說明書(補件)/92-06/921〇7867 1224074 向S310。反之（在S308爲NO)則該處理返回S300。 在S 3 1 0，主機電腦5 0 0 0使已停止工作之升降機再度工 作。此後處理返回S 3 0 0。 基於如上的構成及流程，說明屬本實施形態之搬送控制 裝置之主機電腦5000的動作。 主機電腦5 000，係基於從升降機控制器5 2 00接收的資 訊，計算出全升降機的工作比率（S 3 00)。當具有工作比率 未滿50%的升降機時（在S 3 02爲YES)，使該升降機停止工 作（S 3 04)。在使該升降機停止工作的狀態，計算出其他之 升降機的工作比率（S 3 06)，當其他之升降機中沒有工作比 率爲70%以上的升降機時（在3308爲1^0)，使在3304已停 止工作之升降機就此仍成爲停止狀態。另一方面，當其他 之升降機中具有工作比率爲70%以上的升降機時（在S3 08 爲YES)，使已停止工作之升降機再度工作（S3 10)。 經過如上之步驟，則根據本實施形態之主機電腦5 0 0 0， 計算出所有升降機之工作比率，使工作比率未滿5 0 %的升 降機停止工作。在使該升降機停止工作的狀態，計算出其 他升降機之工作比率，當其他之升降機中出現工作比率爲 7 0 %以上的升降機時，使已停止工作之升降機再度工作。 藉此，在某一升降機停止工作的狀態，當其他之升降機之 工作比率例如成爲70 %以上時，使停止工作的升降機再度 工作而可提升搬送能力。尤其是，藉由預先將再度工作條 件降低設爲7 0 %〜8 0 %的程度，即可較快地使升降機再度 工作，而可減少延遲時間的影響。 17 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 1224074 (第4實施形態） 以下，說明本發明之第4實施形態之搬送控制裝置。又， 本實施形態之搬送系統與上述第1實施形態之搬送系統係 相同。因此，在此並不重複詳細說明該等。 參照圖7，說明由屬本實施形態之搬送控制裝置之主機 電腦5 0 0 0所執行的程式的控制構造。 在S 400，主機電腦5 000計算出全升降機的工作比率。 在S 402，主機電腦5 000判斷是否有工作比率未滿50% 的升降機。在具有工作比率未滿50%的升降機時（在S4 02 爲YES)，則處理移向S404。反之（在S402爲NO)則該處 理結束。 在S404，主機電腦5 000使該升降機停止工作。在S406， 主機電腦5 00 0利用S404之處理中使升降機停止工作的狀 態計算搬送路徑。在S408，主機電腦5 000判斷搬送路徑 是否超過預定的距離。當搬送路徑超過預定的距離時（在 S408爲YES)，則處理移向S410。反之（在S408爲NO)則 該處理結束。 在S410，主機電腦5 000使已停止工作之升降機再度工 作，並使其他之升降機停止工作。此後處理返回S 4 0 6，再 度計算搬送路徑，直至搬送路徑沒有超過預定的距離爲止 而反覆執行演算。 基於如上的構成及流程，說明屬本實施形態之搬送控制 裝置之主機電腦5 0 00的動作。 主機電腦5 000，係基於從連接於主機電腦5 0 0 0之升降 18 31W發明說明書(補件)/92-06/92107867 1224074 機控制器5 2 0 0所收集的資訊，計算出全升降機的工作比率 (S 4 0 0 )。當具有工作比率未滿5 0 %的升降機時（在s 4 0 2爲 YES)，使該升降機停止工作（S404)。在使該升降機停止工 作的狀態計算搬送路徑（S406)，當搬送路徑超過預定的距 離時（在S408爲YES)，使已停止工作之升降機再度工作’ 並使其他之升降機停止工作（410)。 經過如上之步驟後，根據本實施形態之主機電腦5 0 0 0， 使升降機暫時停止工作，並計算該狀態下之搬送路徑。當 搬送路徑超過預定的距離時，亦即，當由於停止該升降機 而使得搬送路徑變爲非常長時，使停止工作中之升降機再 度工作，並使其他之升降機停止工作。反覆進行如此之搬 送路徑的計算，可以搬送路徑不致超過預定的距離的方式 來停止升降機。 (發明之效果） 根據本發明之搬送控制裝置，對應於由演算機構所計算 出的搬送對象物的量，來決定複數台升降機中的使用的升 降機。因此，當搬送對象物減少時，在工作中的複數台升 降機中，使對應於搬送對象物變少的台數的升降機停止工 作。藉此’對應搬送對象物的變動，可控制升降機的工作 與ί宁止。其結果爲，當搬送對象物的量減少時使升降機停 止工作，可達到節省能源的目的。 又’根據本發明之搬送控制裝置，對應於由演算機構所 S十算出的搬送對象物的量’來決定複數台中轉堆料機中的 使用的中轉堆料機。因此，當搬送對象物減少時，在工作 312/發明說明補件)/92-06/92107867 19 1224074 中的複數台中轉堆料機中，使對應於搬送對象物變少的台 數的中轉堆料機停止工作。藉此，對應搬送對象物的變動， 可控制中轉堆料機的工作與停止。其結果爲，當搬送對象 物的量減少時使中轉堆料機停止工作，可達到節省能源的 目的。 又’上述實施形態中，分別說明了升降機及中轉堆料 機’但是本發明並不僅限於此。也可將升降機及中轉堆料 機構成爲一定。 本次所揭示之實施形態，可以認爲在各個方面均爲例 示’而並非以此爲限制者。本發明之範圍並非由上述說明 而是由申請專利範圍所揭示，其意味著包含與申請專利範 圍均等的意味及範圍內的所有變化者。 【圖式簡單說明】 圖1爲顯示本發明之實施形態之搬送控制裝置控制之搬 送系統的平視圖。 圖2爲顯示本發明之實施形態之搬送控制裝置控制之搬 送系統的側視圖。 圖3爲本發明之實施形態之搬送控制裝置的全體構成 圖。 圖4爲由本發明之第1實施形態之搬送控制裝置所執行 的程式的流程圖。 圖5爲由本發明之第2實施形態之搬送控制裝置所執行 的程式的流程圖。 圖6爲由本發明之第3實施形態之搬送控制裝置所執行 20 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867 1224074 的程式的流程圖。 圖7爲由本發明之第4實施形態之搬送控制裝置所執行 的程式的流 ，程圖 〇 (元件 符號說明 ) 1 00 搬 送 軌 1 02 搬 送 軌 1 1 0〜 1 24 堆 料 機 13 0 中 轉 堆 料 機 1 32 中 轉 堆 料 機 134 中 轉 堆 料 機 13 6 中 轉 堆 料 機 200 搬 送 軌 202 搬 送 軌 2 1 0〜 224 堆 料 機 230 中 轉 堆 料 機 23 2 中 轉 堆 料 機 234 中 轉 堆 料 機 23 6 中 轉 堆 料 機 3 00 搬 送 軌 302 搬 送 軌 3 1 0〜 3 22 堆 料 機 3 3 0 中 轉 堆 料 機 334 中 轉 堆 料 機 1000 升 降 機 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867
21 2000 升 降 機 3 0 0 0 升 降 機 4000 升 降 機 5 0 00 主 機 電 腦 5 100 OHS 控 制 器 5 110 OHS 台 車 5 2 00 升 降 機 控 制 器 5 2 10 升 降 機 5 3 00 中 轉 堆 料 機 控制器 5 3 10 中 轉 堆 料 機 5 400 堆 料 機 控 制 器 5 4 10 堆 料 機 1224074 312/發明說明書(補件)/92-06/92107867