TWI221121B - Ink-jet printing apparatus for manufacturing organic electroluminescent panel - Google Patents
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- TWI221121B TWI221121B TW92129488A TW92129488A TWI221121B TW I221121 B TWI221121 B TW I221121B TW 92129488 A TW92129488 A TW 92129488A TW 92129488 A TW92129488 A TW 92129488A TW I221121 B TWI221121 B TW I221121B
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Description
1221121
(一) 時影 、【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種噴墨列印 像檢測單元之有機發光面板 裝置,特別是一種具有即 之噴墨列印裝置。 (二)、【先前技術 有機發光面板 機發光面板係一種 functional mater 元件,其係至少包 光結構是由一對電 透明陽極及金屬陰 合而產生激子時, 之特性,而產生不 有機發光裝置 小分子有機發光裝 高分子有機發光裝 PLED)兩大類。 係為目前熱門的平面顯示技術之一,有 利用有機官能性材料(organic ials)的自發光的特性來達到顯示效果的 ^ 有機發光元件以及一基拓,且豆發 極以及有機官能層所構成。當電流通過 極間,使電子和電洞在有機官能層内結 便可以使有機官能性材料層依照其材料 同顏色之放光機制。 依照有機官能性材料的分子量不同分為 置(small molecule OLED, SM-0LED)與 置(polymer light-emitting device, ^由於溶劑使用的問題,一般有機發光裝置係使用真空 & It .方法來進行成膜’而高分子發光裝置係使用旋轉塗佈 ^ S P i 2 C 0 a t i n g )方法進行成膜。其中,真空蒸鍍必須進 灯繁複的製程步驟,並且需要使用光罩或是網版,同時亦 了使^顯衫劑(d e v e 1 〇 p e ^ )與去光阻劑(s t r丨p p e r )等有 機;>谷劑’另外’旋轉塗佈方法有廢液產生的問題,同時設 備成本的花費亦高。
第7頁 1221121 五、發明說明(2) 簡單來說,喷墨列印(Ink-Jet Printing, Ijp)製程係 以喷墨頭(Ink-jet Printing Head)將墨水喷至透明陽極層 上’以形成有機發光層。喷墨列印製程不需要光罩或網 版’僅需進行單一步驟即可將有機官能層任意列印成所需 之圖案,使得有機發光裝置的應用範圍更加廣泛,並且降 低了製造時間與成本。另外,喷墨列印製程只需進行對 準、噴墨列印以及交聯固化等幾個步驟,而不需使用曝 光、顯影等步驟,所以無需使用微影製程中之顯影劑與去 光阻劑等有機溶劑,亦可減少製程中所產生的環保問題。
喷墨列印4私基於上述優點,已使利用喷墨列印萝程直接 喷印形成有機發光元件,成為目前主流製程之一;^ 由於噴墨列印係將調製好的墨劑由喷墨機台定位,透 過噴墨頭上許多個細小喷嘴(n〇zzle),將墨水微滴喷印至 面板上。因此若於喷墨列印進行時,喷嘴阻塞卻i法即時 :ΐ ::將會造成有機發光元件良率之降低,* :造成原 物料浪費以及時間成本的增加。 + #參恥圖1所不,習知技術之喷墨列印監控裝置,是戈 喷墨列印機台1 1以及喷墨頭12旁,分別設置一電荷耦合元
件(Charge Coupled Device, CCD)13&14。其中,設置於 :台5的電荷耦合元件13,是於喷墨列印前 於 ^ ^ ^ 4/唷 擷取贺墨頭試唷時之影像,以 檢測贺墨Μ之喷嘴是在:阳窒 人一从,π +疋合阻基,經確認完畢後即關閉電荷耦 己兀件1 3。接著機台1 1上之 σσ 著有機發光面板u之χ—二動早以圖中未顯示)將承載 之λ Υ。17,移動至噴墨頭12之下方(噴
第8頁 I22ll2i
& '發明說明(3) 墨碩12為固定不動)’另一支設置於喷墨頭l2旁的電荷耦合 元件1 4,則於噴墨列印前,先進行面板1 6之對位,待對位 動作完成後即關閉影像擷取,而於喷墨列印後,則可再度 開啟電荷耦合元件1 4,隨著X -Y台1 7的移動,一一檢測是否 有漏喷之面板1 6。習知技術中所裝設之電荷耦合元件,尸 能於喷墨列印前,檢測噴墨頭1 2,均無法即時於嘴墨列^ 製程中,檢測喷墨頭上的噴嘴(圖中未顯示)是否阻塞。^ 是噴嘴於喷墨列印製程中阻塞,則會造成面板良率^ 右 及不必要之原物料及時間之浪費。 牛以 法即置, 有鑑於上述問題,本發明人亟思一種可以解決 時監控喷墨頭問題之「有機發光面板之噴墨列印^無
V三)、【發 承上所 置之有機發 碩之噴嘴是 緣是, 墨列印裝置 元承栽構件 元。其中, 承载至少_ 係具有複數 載構件係承 明之目 0^墨列 以及即 目的, -工作 影像檢 ,至少 軍 XJXJ 墨早元 嘴係將 元,俾 板噴出·,,墨ΪΓ; 位於面板 凡承
$ 9頁 明内容】 述’本發 光面板之 否阻塞, 為達上述 ,係包含 、一第一 工作載台 面板;嘴 噴嘴,嘴 栽噴墨單 的為提供 印裝置, 時有無漏 依本發明 栽台、 測單元以 包含一面 係具有至 ^滴朝面 使噴墨頭 一種具有影像檢測穿 其係可即時監控嘴墨 贺面板的情況。 ,有機發光面板之嘴 ㉟墨單元、一嘴累3 第二影像檢測單 板承载單元,# /~貨墨頭,f w γ 1221121 五、發明說明(4) ------- -- 上方,第一影像檢測單元係 位於噴墨頭之一側,以拇而 、噴墨早兀承载構件上, 像;以及第二影像檢、墨滴自噴嘴喷出後之即時, 上,位於喷墨;ί:早元係設置於喷墨單元承載構; 又,依本發明之另_ 、土麦面板之即時影像。 包含一工作載台、一噴黑— 敌之噴墨列印裝置, 第一影像檢測單元以及_ : ^ ρ 喷墨單兀承载構件、 ,至少包含一而4 弟一衫像檢測單元。苴中 ^ ^ ^ 3 面板承載單元,你宁,工 |單元係具有至少— ?用以承载至少一面 妙政收里、、念士- - 、土丑、’嘴墨頭係具有複數哈 ;噴黑留二& &… ^ ^ 係 作載台 _ 板;喷墨單元係具有至少—喷黑 …^執主少一面 嘴’噴嘴係將墨滴朝面板噴出a ^ ,累,墨頭係具有複數噴 噴墨單元,俾使嘴墨頭位於面板承f凡承載構件係承栽 像檢測單元係設置於噴墨單亓& 早元之上方;第〜事 一側,以裸取喷嘴之即4;承;”上,位於喷墨頭: 設置於噴墨單兀承载構件上,、+弟一影像檢測單元係 面板之即時影像。 立於嘴墨頭之一側,以梅取 此外,依本發明之再— 置 影像檢測單元以及一第 ,—影像檢測單元、—=_ 台,至少包含-面板承載=檢測單元1中,工作;二 喷墨單元係具有至少—嘴墨二:係、用以承载至少—面:. 喷嘴係將墨滴朝面板噴出…3墨碩係具有複數噴嘴: 單元係設置於噴墨單::载单元之上 =:墨 凡承载構件卜 万,弟一影像檢 ___ 位於噴墨頭之— ,係包含一工作載台、—光面板之噴墨列印穿 、一第一影像檢測單元、二=早=、—噴墨單元承載構 ^ ^ κ 一影像檢測單元、一 'ΗΛ πσ _ 禾 測
1221121 五、發明說明(5) 側,以擷取墨滴自噴嘴喑山 七&人电.唾 單元係1置於嘖黑: 後之即時第二影像檢測 ^ a 、土早兀承載構件上,位於喷墨頭之一側, f擷取喷墨後面板之即時影像;第三影像檢測單元,其倍 设ί於工作f台上並面對喷墨頭,用以擷取噴墨前噴嘴的 構件上,位於噴墨頭之:凡其係:=贺墨早凡承載 像 項之一側,用以擷取贺墨前面板之影 承上所f本發明之有機發光面板之噴墨列印|罟& 直接裝設影像檢测單元於噴墨頭側邊之有機發 墨列印裝置,以擷取嘖^w /逻+成知尤面板之噴 晝面。由於上述影像产 _p、仃時,贺嘴與面板之即時 上,得以近距離;;: :!:凡係裝設於喷墨單元承載構件 墨滴喷出到達面板前之^:視喷嘴是否阻塞,並且可以從 另-影像檢測單元則可::二十算喷墨頻率是否正常,·而 認是否有漏噴的現^ ^:日寸檢測喷墨列印後之面板,確 並能減少因不知噴嘴卩且^,能提高有機發光面板之良率, 程所造成之原物料浪費:5、漏噴現象,而持續進行噴墨製 (四)、【實施方式】 為使本發明之内容更 式,說明依本發明較 匆里解,以下將參照相關圖 裝置。 貝轭例之有機發光面板之喷墨列印 如圖2所示,本發明土 — 列印裝置2,係包含一二二=施例之有機發光面板之喷墨 作載台21、-嘴墨單元22、一喷墨 五、發明說明(6) 單元承載構件2 3、_ » y 檢測單元25。复中弟衫像檢測單元24以及一第二影像 川,此面板承載單,元 =:21至少包含-面板承栽= 單元22,係具有至少Κ=Γ,載Λ少一面^ 數個喷嘴222,而嗜嘴99;二、 且噴墨頭221係具有複 w嘴嘴2 2 2係將墨滴(% 、 噴出;喷墨單元承載 圈中未顯不)朝面板26 _ 0 0 . 7 ^ 戰構件2 3係承載贺墨單元2 2,傀祐晻里 頭221位於面板承載單元211 早俾使贺墨 係設置於噴墨單元承截谨杜^ ^ 弟—影像檢測單元24 ng - » ^ + K載構件23上,位於噴墨頭221之一側, 、、目,丨n / 出後之即時影像;以及第二影像檢 > 一彳目I 於贺墨早兀承載構件23上,位於噴墨頭 、以擷取噴墨後面板2 6之即時影像。 覃-ΠΛ台、21:至少包含一面板承載單元211,面板承載 兀’、以承載至少一面板2 6 ’以進行喷墨列印製程。 一般而言1面板26係至少包含基板、第—電極圖樣與晝素 阻隔牆圖樣其中之一或上述之組合。其中,基板通常是一 玻璃基板、一塑膠(plastic )基板或是一柔性 (f 1 ex i b 1 e )基板;同時,基板亦可以是一塑膠 (plastic )基板或是一玻璃基板。其中,柔性基板與塑膠 基板可為一聚碳酸酯(polycarbonate, pc)基板、一聚醋 (polyester,PET )基板、一環烯共聚物(cycHc 〇lefi n copolymer,C0C)基板或一金屬鉻合物基材—環稀共聚物 (metallocene— based cyclic olefin copolymer, mCOC)基板。而第一電極通常作為陽極,且其材質通常為 一透明的可導電之金屬氧化物,例如氧化銦錫(I TO )、氧
第12頁 1221121 五、發明說明(7) =紹鋅(AZO )或是氧化銦辞(IZ0 )。另外,此面板承載 單兀211可進行χ_γ平面方向移動,以利面板26完成噴墨頭 2 2 1可及範圍之列印。 、 , 噴墨單元22,其係具有至少一喷墨頭221,噴墨頭221 係具有複數個喷嘴222,以進行喷墨動作,使墨滴朝面板26 的方向噴出,用以於面板26上形成一有機官能層(未顯示 於圖中)’此有機官能層為小分子材料或高分子材料。其 中有機g忐層係選自電子注入層、電子傳輸層、電洞注 ^㈢、電洞傳輸層與有機發光層至少其中之一。有機官能 ς =毛射的光線係為短波長光,例如紫外光或是藍光。而 (,主人層的主要材料為copper phthalocyanine 二c),電洞傳輸層的材料主要係為bis[N—(卜 的:二^1)盈,Phenylamino]biphenyl (ΝΡβ),電子注人層 為t^s(8 氣化鋰(LiF),電子傳輸層的材料主要係 及所填裝之絕緣材;;其形狀係隨著所需列印之圖案大小以 所不同。在此,噴^性質’如溶液黏度、顆粒大小等有 圖中),用以驅動;包含—驅動器(未顯示於 而有所不同,並且+賀墨早兀22,而驅動器係隨不同情況 噴墨單元承載2 ί制墨水的流速以及流量之功能。 頭221位於面板承冓件_23,用以承載噴墨單元22,使噴墨 時,噴墨單元承巷娃早70211之上方。當喷墨列印動作進行 未顯示)來移動面扣件23為固定不動,依賴驅動單元(圖中 承載單元2 11,以調整喷墨單元2 2進行
第13頁 1221121 五、發明說明
於面板26上喷墨列印的位置。常見方法為當面板承一 211緩慢朝Y方向移動時,喷墨單元22也同時進行噴黑=兀 製程;完成後,面板承載單元211移動一χ方向距離^ ,= 墨單元22再繼續進行另一噴墨列印製程。 ’嗔
第一影像檢測單元24係裝設於噴墨單元承载構件23 上,且位於噴墨頭221 —側,使第一影像檢測單元2 離擷取墨滴自喷嘴222噴出後之即時影像。除了檢測^ 222是否阻塞外,本實施例中,第一影像檢測單元更 :資料處理模組(圖中未顯示)$結,u —影像檢測單、 =24所擷取之墨滴掉落之影像,計算出行進中之噴嘴222 喷出墨滴之頻率,是否與製程參數之設定值相同。另外, 第一影像檢測單元24可為一電荷耦合元件。 第二影像檢測單元25係設置於噴墨單元承載構件23 ^并=於噴墨頭221之一側,較佳情況為設置在相對於面4 ^載早兀21 1之Y行進方向之反方向側,以擷取噴墨列印 I I 士位於面板承載單元211上之面板26之即時影像。本實2 ^ 第一衫像檢測單元25更可與一資料處理模組(圖中
辦f不+連、纟",由第二影像檢測單元25所擷取之影像,判 夕Τ J : 2 2 1有漏噴的現象發生’以提高有機發光面i 件广須注i1 t影像檢測單元25可為一電荷搞合元 一 ^ : /、有第一影像檢測單元24及第二影像檢測單 ^月有機發光面板之噴 , 時 測噴嘴22 2是否阻実月硌里ι〇〇 ^ ^ 「 双 外,望-岑後κ、及墨頭22ι是否有漏喷的現象。另 〜取測單兀2 5更可於進行噴墨列印前,擷取嗔
第14頁 五、發明說明(9) 墨動作前面板2R> + 單元22下 二:面(如圖3所示)。當面板26移動至噴墨 對位動作(於車H檢測單元25即可進行高精準度之光學 檢視面板^上之'Vj微米以上)°藉由第二影像檢測單元25 心點(圖中未^ 進行面板上之圖樣形狀以及圖型中 作。 未頦不)辨識後,完成高精準度之光學對位動 一快^ ΐ施例之有機發光面板之噴墨列印裝置,更可包令 工,=7L (圖中未顯示),與影像檢測單元及 制喷墨?之作動。本實施例中,控制單元;ί別 〔車社,^ Ϊ檢測早元24、第二影像檢測單元25及噴墨頭221 开/二决:貝料處理模組判斷出噴嘴222阻塞或是有漏嘴之产 控制單元即可停止噴墨頭221之喷墨動作
日t減:>、日守間及原物料之浪費。 P 置,Γΐίϊ圖V本實施例之有機發光面板之喷墨列印裝 台21上,其係設置於工作載 阻塞的書面。由於dt221 ’用以操取喷嘴222是否 元27,即對準位於試喷^= = ^,*此*三影像檢測單 ^ 1 .j^^^222 ^Vt a;tΤ!1 ^ ^ + 疋ώ兩阻基的現象。確認噴墨頭2 ? Ί π 正吊噴墨後’即關閉第三影像檢測 ,且承: 元211也將會把面板26移動至噴墨單元22下,以 W早 印。=4三影像檢測單元27可為一電㈣合元/。墨列 貝施例之有機發光面板之噴墨列印裝置,更可包含
第15頁 發明說明(10) —第四影像檢測單元28,其係 -^ , 之晝面。進行噴墨列印前, 贺墨動:則,面板26 面板26,#動至噴墨單元22 冑早兀211會將欲噴墨之 面杯9 s + 、 下’以利進行喷墨列印。者 面板26移動至噴墨單元22 ^ A 田 來逡粁古牡、、隹由 , ⑴而要第四影像檢測單元28 ii::::光學對位動作(精準度在1微米以上)。_ 單元28檢視面板26上之記號,進行面板上 之圖樣化狀以及圖型中 點彳 高精準度之光學:中未顯示)辨識後,完成 Α Φ ^ 動乍八中,第四影像檢測單元28可 為一電何耦合元件。 弟 衫像檢測单元2 4、望-旦〈/会4人、日ϊ σπ - r» 影像檢測單元28,均位於噴:二像之U ::25以及第四 測單元可均位於喷累二之:1之7:邊,上述影像檢 η於噴墨頭221之同一側,但也可以分別位於噴 ' 不同側,也可以至少二個影像檢測單元位於喷墨 頭2 2 1之同一側。 貝土 、 鉍上所述’本發明之有機發光面板之噴墨列印裝置, 為具有將影像檢測單元裝設於喷墨頭旁之有機發光面板之 喷墨列印裝置,以擷取噴墨列印進行時,噴嘴之即時畫 面。=於上述影像檢測單元係裝設於喷墨單元承載構件 上、,得以近距離直接即時檢視喷嘴是否阻塞,並且可以從 墨滴喷出到達面板前之晝面,計算喷墨頻率是否正常;而 另e〜像檢測單元則可以即時檢測喷墨列印後之面板,確 認=否有漏喷的現象,因此能提高有機發光面板之良率, 並此減V因不知噴嘴阻塞或漏喷現象,而持續進行噴墨製
1221121 五、發明說明(11) 程所造成之原物料浪費。 以上所述僅為舉例性,而非為限制性者。任何未脫離 本發明之精神與範疇,而對其進行之等效修改或變更,均 應包含於後附之申請專利範圍中。
第17頁 1221121 圖式簡單說明 (五)、【圖式簡單說明】 圖1係習知有機發光面板之喷墨列印裝置示意圖; 圖2係本發明有機發光面板之喷墨列印裝置示意圖; 以及 圖3係本發明有機發光面板之另一喷墨列印裝置之示 意圖。 元件符號說明 1 11 12 13 14 15 16 17 2 21 211 212 22 221 222 23 有機發光面板之噴墨列印裝置 機台 噴墨頭 電荷耦合元件 電何麵I合元件 試喷區 面板 X-Y 有機 工作 面板 試喷 喷墨 喷墨 喷嘴 喷墨 台 發光面板之喷墨列印裝置 載台 承載單元 區 tra 一 早兀 頭 單元承載構件
第18頁 1221121 圖式簡單說明 24 第 一 影 像 檢 測 單 元 25 第 二 影 像 檢 測 單 元 2 6 面 板 27 第 三 影 像 檢 測 單 元 28 第 四 影 像 檢 測 單 元
第19頁
Claims (1)
- —面板 噴墨單元,其係具有至少_ + 噴嘴,噴嘴位 ,墨 噴墨單以ΞΓ”面板喷出「一… :板承載單元之上方:、承載贺墨單元,俾使噴墨 第一影像檢測罩 仏一— ,了係設置於噴墨單元承載構 以擷取墨滴自噴嘴喷出後之 位於噴墨頭之 像;以及 弟 〜像檢測單开 位於噴墨頭 只 < 一側 申請專利範圍 ^___ —種有機發光面板之噴墨 工作載台,至少包含P裝置,包含: H φ板承載單元,係用以承 噴墨頭係具 侧 其係設置於噴墨單元承載構 以擷取噴墨後面板之即時影 2 鲁 γ;卜 '十— 裝置,更範圍_第1項所述之有機發光面板之喷 上並面對噴¥ _第二影像檢測單元,其係設置於工 、'^頭’用以擷取喷墨前噴嘴的影像。 3· 如申請衷4 〜 裳置,更勺〗範圍第2項所述之有機發光面板之噴 承载構件包含一第四影像檢測單元,其係設置於噴 影像。上’位於喷墨頭之〆側,用以擷取噴墨前 载至少 有複數 頭位於 件上, 即時影 件上, 像。 墨列印 作載台 墨列印 墨單元 面板之 4 · 女〇申士主畜 裝置, 範圍弟1項所达之有機發光面板之噴墨列印 包含—控制單元,與影像檢測單元及噴墨頭連第20頁 1221121 六、申請專利範圍 結,以控制喷墨頭之作動。 5 ·如申請專利範圍第1項所述之有機發光面板之喷墨列印 裝置,其中面板係至少包含基板、第一電極圖樣與晝素阻 隔牆圖樣其中之一或上述之組合。 6.如申請專利範圍第1項所述之有機發光面板之喷墨列印 裝置,其中喷墨頭係用以於面板上形成一有機官能層,有 機官能層係選自電子注入層、電子傳輸層、電洞注入層、 電洞傳輸層與有機發光層至少其中之一。 7. 如申請專利範圍第6項所述之有機發光面板之噴墨列印 裝置,其中有機官能層為小分子材料或高分子材料。 8. 如申請專利範圍第1項所述之有機發光面板之喷墨列印 裝置,其中第一影像檢測單元係為一電荷耦合元件。 9. 如申請專利範圍第1項所述之有機發光面板之喷墨列印 裝置,其中第二影像檢測單元係為一電荷耦合元件。 10. 如申請專利範圍第2項所述之有機發光面板之喷墨列印 裝置,其中第三影像檢測單元係為一電荷耦合元件。 11. 如申請專利範圍第3項所述之有機發光面板之喷墨列印第21頁 六、申請專利範圍 ____ 裝置,甘上 "~ 中苐四影像檢測單元系 知為~電荷耦合元件 —I ^種有機發光面板之噴墨列印梦W h尺 -作载台,至少包含一面板二巧置’包含: 一面板; 孜承载早元,係用以承載至少 -罢 σ口一 貫W早7L,其係具有至少一 噴嘴,噴嘴#脾$# 賀墨碩,喷墨頭係具有複數 一啥w抑頁鳴係將墨滴朝面板喷出; Έ W早兀承載構件,係承 一 + 面板承載單元之上方· 、丄早兀,俾使喷墨頭位於 弟一影像檢測單元盆在Μ * 位於噴黑薛夕纟係5又置於赁墨單元承載構件上, -第二影ί檢、、列D。側摘取喷嘴之即時影像;以及 位"…載構件上, u申;π範:第光面板之噴墨列 、 B 弟二影像檢測早兀,其係設置於τ > 、 口上並面對噴墨頭,用以擷取喷墨前喷嘴的影像。、乍載 4 ·如申請專利範圍第丨2項所述 一… 印裝置’ i包含—控制單元,與影像檢測單元及=墨列 結,以控制噴墨頭之作動。 噴墨碩連 1 5·如申請專利範圍第丨2項所述之有機發光面板之嗜罢 印裝置,其中面板係至少包含基板、第一電極圖樣與ς 21221121 六、申請專利範圍 阻隔牆圖樣其中之一或上述之組合。 16. 如申請專利範圍第1 2項所述之有機發光面板之噴墨列 印裝置,其中喷墨頭係用以於面板上形成一有機官能層, 有機官能層係選自電子注入層、電子傳輸層、電洞注入 層、電洞傳輸層與有機發光層至少其中之一。 17. 如申請專利範圍第1 6項所述之有機發光面板之喷墨列 印裝置,其中有機官能層為小分子材料或高分子材料。 18. 如申請專利範圍第1 2項所述之有機發光面板之喷墨列 印裝置,其中第一影像檢測單元係為一電荷耦合元件。 19. 如申請專利範圍第1 2項所述之有機發光面板之喷墨列 印裝置,其中第二影像檢測單元係為一電荷耦合元件。 20. 如申請專利範圍第1 3項所述之有機發光面板之喷墨列 印裝置,其中第三影像檢測單元係為一電荷耦合元件。 21. —種有機發光面板之噴墨列印裝置,包含: 一工作載台,至少包含一面板承載單元,係用以承載至少 一面板; 一喷墨單元,其係具有至少一喷墨頭,喷墨頭係具有複數 喷嘴,喷嘴係將墨滴朝面板噴出;第23頁 1221121 六、申請專利範圍 噴墨單7L承載構件,係承載噴墨單元,俾使喷墨頭位於 面板承载單元之上方; ' 第一影像檢測單元,其係設置於噴墨單元承載構件上, 位於噴墨頭之一側,以擷取墨滴自噴嘴喷出後之即時影 像, 一第二影像檢測單元,其係設置於噴墨單元承載構件上, 位於噴墨頭之一側,以擷取噴墨後面板之即時影像· 一第三影像檢測單元,其係設置於工作載台上並面’+ 頭,用以擷取噴墨前喷嘴的影像;以及 、"I墨一第四影像檢測單元,其係設置於贺墨單元承戴構 位於噴墨頭之一側,用以擷取噴墨前面板之影像上’ 22.如申請專利範圍第21項所述之有機發光面板之+ 印裝置,更包含一控制單元,與影像檢測單元及嘴$墨列 結,以控制噴墨頭之作動。 、土、碩連 23·如申請專利範圍第21項所述之有機發光面板之+ 印裝置,其中面板係至少包含基板、第一電極圖樣列 阻隔牆圖樣其中之一或上述之組合。 、旦素 24·如申請專利範圍第2 1項所述之有機發光面板之+黑 印裝置,其中噴墨頭係用以於面板上形成一有機官$,列 有機官能層係選自電子注入層、電子傳輸層、電洞=二’ 層、電洞傳輸層與有機發光層至少其中之一。 入1221121 六、申請專利範圍 2 5 ·如申請專利範圍第2 4項所述之有機發光面板之喷墨列 印裝置,其中有機官能層為小分子材料或高分子材料。 2 6·如申請專利範圍第2 1項所述之有機發光面板之喷墨列 印裝置,其中第一影像檢測單元係為一電荷耦合元件。 27. 如申請專利範圍第2 1項所述之有機發光面板之喷墨列 印裝置,其中第二影像檢測單元係為一電荷耦合元件。 28. 如申請專利範圍第2 1項所述之有機發光面板之喷墨列 印裝置,其中第三影像檢測單元係為一電荷耦合元件。 2 9.如申請專利範圍第2 1項所述之有機發光面板之喷墨列 印裝置,其中第四影像檢測單元係為一電荷耦合元件。第25頁
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|---|---|
| TWI221121B true TWI221121B (en) | 2004-09-21 |
| TW200514695A TW200514695A (en) | 2005-05-01 |
Family
ID=34389160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW92129488A TWI221121B (en) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | Ink-jet printing apparatus for manufacturing organic electroluminescent panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWI221121B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7611217B2 (en) | 2005-09-29 | 2009-11-03 | Applied Materials, Inc. | Methods and systems for inkjet drop positioning |
-
2003
- 2003-10-23 TW TW92129488A patent/TWI221121B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7611217B2 (en) | 2005-09-29 | 2009-11-03 | Applied Materials, Inc. | Methods and systems for inkjet drop positioning |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW200514695A (en) | 2005-05-01 |
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