TWI220171B - Lift type probe card reverse-side probe adjustment tool - Google Patents

Description

發明所屬之技術領域 本發明係有關_ 式探針卡反面調“r:針卡調針治具，特別是關於可掀 先前技術 體電路（IC)的製 :為達到尚密度化，元件的尺 程發展進步快请，； 史少択迷，也必須測試 、。在製作晶圓完成後，必須 好壞以維持1C的出貨品質在一 針卡（probe card )、針測機 (t e s t e r )是測試階段的三個 有百項微型彈簣專利的卡片， 判定晶圓上的晶粒好壞；針測 準的移動到探針卡的正確位置 到承載板，將電子訊號傳到測 驗出積體電路的功能、參數與 第一圖係探針卡1 〇測試晶 針卡1 0係測試晶粒1 4，一般而 層，在測試晶圓1 2中的晶粒1 4 置需要量測的晶粒1 4上以確認 的種類繁多，在使用探針卡1 〇 卡1 0的針位以對準需要量測的 探針卡調針治具調整探針卡1 0 程發展進步快速，I c中的元 寸不斷地縮小，然而，I c製 [C電路以保證I C的出貨品 量測晶圓中的I c以確認」C的 標準值之上，一般而t，探 (prober ) 與測試機 關鍵設備，探針卡是一片擁 上頭有許多微細的針，負責 機負責把一片片的晶圓，精 ’使探針卡上的針尖接觸 試機上；最後再由測試機測 特性。 圓1 2中晶粒1 4的示意圖，探 言’探針卡10的針層數為七 ，，係以探針卡10的探針放 每一晶粒1 4的好壞。然而J c 測試晶圓前就必須調整探 晶粒位置.，因此，需要使 的針位以對準需要量測的晶

1220171 五、發明說明（2) 粒位置。 第二圖係習 機平台1 8上依序 固定晶圓1 2及探 1 0 〇 2，並以鑷子 量測的晶粒1 4位 只能使用探針卡 針層數超過三層 卡，無法使用鑷 置。因此，一種 所冀。 知探針卡 放置晶圓 針卡1 0， 調整探針 置。由於 正面1 0 0 2 以上及在 子在探針 可完全調 調針治具1 6的 1 2及探針卡j 〇 以電子顯微鏡 卡1 〇的針位以 習知探針卡調 方式調針，因 製作時採用中 卡正面1 0 0 2調 整探針卡針位 示意圖，在一調針 且以一固 22觀看探 對準晶圓 針治具1 6 此，對於 心沒開窗 整針位到 的調針治 定裝置20 針卡正面 12中需要 調整針位 探針卡1 0 口的探針 正確、的位 具’乃為 發明内容 本發明 調針治具， 根據本 針治具，俾 針機平台調 點，該調針 機平台上， 以翻轉調整 可抽換式玻 器緩衝該玻 針損壞。 的主要目的，在 以完全調整探針 發明的一個實施 在一具有遮罩薄 整該探針卡針位 治具包括一具有 一具有翻轉裝置 該玻璃基座的水 璃以調整該探針 璃基座翻轉至水 於提出一 卡針位到 例，一種 膜的可抽 ，該遮罩 轉動裝置 的玻璃基 平共面， 卡針位對 平位置速 種可掀式 正確位置 可掀式探 換式玻璃 薄膜具有 的底座固 座，連接 該玻璃基 準該定位 度以防止 探針卡反面 針卡反面調 下使用一調 多個定位 定於該調針 該轉動裝置 座係放置該 ^ ’ 一緩衝 該探針卡探 第6頁 ^20171

實施方式 第二圖係本發明可掀 圖，係在調針機平a丨8 μ、、十卡反 _位置，定裝置 :顯微鏡22觀看’；使用 :。反面調針治具24包括底座2= ^姑一轉動轴承30連接底座28，轉動 轴承，且翻轉誤差係〇. 1微米: ，動軸承3 0，玻璃基座32係放置可抽 j手36連接玻璃基座32以翻轉調整玻 Μ係緩衝翻轉至水平共面速度以防止 損壞，緩衝器38以支撐裝置4〇維持玻 面。探針卡反面調針治具24並包括一 針卡反面1004探針避免人為壓迫而損 半圓弧形的遮罩物。 、 第四圖係本發明玻璃基座3 2的水 璃基座32連接轉動軸承3〇，藉由翻轉 面調針治具2 4的示专 26固定探針卡£面。 抽換式玻璃3 4下以電 針卡反面1004的針 定在調針機平台18 軸承30係一高精密度 •一玻璃基座32連接 換式玻璃3 4 ’ 一翻轉 璃基座32，一緩衝器 探針卡反面1004探針 璃基座32的水平共 保護裝置4 0以保護探 壞，保護裝置40係一 平共面的示意圖，玻 把手36連接玻璃基座

第7頁 1220171 五、發明說明（4) 32 =翻轉調整玻璃基座32，玻璃基座“係放置可抽換式玻 ，，且以固定玻璃裝置44固定可抽換式玻璃34在玻璃基 j32上，緩衝器38係緩衝玻璃基座32翻轉至水平共面的速 止探針卡反面1 0 0 4探針損壞，且以支撐裝置40維持 的水平共面’一微調裝置46以調整玻璃基座以 的水平共面，且使水平共面的誤差係標準值的〇. 4密爾。 第五圖/糸本發明玻璃基座32的垂直共面的示意圖，玻 由翻轉把手36連接以上翻至垂直共面，玻璃 ίίΠϊ可抽換式玻璃34，且以固定玻璃裝置“固定 9 , Α 1 34在玻璃基座32上，緩衝器38及支撐裝置40 Ϊ ίϊ : Ϊ至水平共面時緩衝翻轉速度，且固定玻 水二jtLS ;孩脚八面上，微調裝置4 6係調整玻璃基座32的 ί!調裝置46調整微調裝置46及支撲裝置4。之 Κ距離’使玻璃基座32水平共面的誤差為標準值的0 4 第六圖係電子顯微鏡22下遮罩薄膜48的可 34示意圖，且對照第七圖的探針卡i。探針二】：璃 鏡22觀看可抽換式玻璃34上的遮罩薄， 並鑷子調正探針1 0 0 6，俾使探針1 0 0 6的針位對準摭置壤 膜4 8上的定位點，可抽換式玻璃3 4係 圓、^ 不同的遮罩薄膜48，遮罩薄膜48上的定位點 晶圓規格而製作，在使用探針卡測試；以： 測試”的可抽換式玻璃34放置於玻璃基座32士使：：| 並固疋該探針卡反面1〇〇4在該調針機平台18上再安裝該

m 第8頁 1220171 五、發明說明（5) 調針治具在該調針機平台上，且調整探針 遮罩薄膜4 8的定位點。由於本發明可精準 正確位置，因此，沒有習知技術所造成的 針卡的使用壽命，減少購買探針卡的費用 以上對於本發明之較佳實施例所作的 目的，而無意限定本發明精確地為所揭露 上的教導或從本發明的實施例學習而作修 的，實施例係為解說本發明的原理以及讓 以各種實施例利用本發明在實際應用上而 發明的技術思想企圖由以下的申請專利範 定0 卡1 0針位以對準 的移動探針卡到 問題，也延長探 〇 敘述係為闡明之 的形式，基於以 改或變化是可能 熟習該項技術者 選擇及敘述$，本 圍及其均等來決

1220171 圖式簡單說明 ，於熟習本技藝之人士而言，從以下所作的詳細敘述 配合伴隨的圖式，本發明將能夠更清楚地被瞭解，其上述 及其他目的及優點將會變得更明顯，其中·· 第一圖係探針卡測試晶圓中丨c的示意圖； ^ =圖係習知探針卡調針治具的示意圖； 第二圖係本發明可掀式探針卡反面調針治具的示意 圖 圖； 第四圖係本發明玻璃基座 匕圖係本發明玻璃基座= : = :示”： 第/、圖係電子顯微鏡下 思圖^ 以及 辱膜的可抽換式玻璃示意第七圖係探針卡探針的*意'目。· 圖號對照表： 10 探針卡 1 0 0 2探針卡正面 1 0 0 4探針卡反面 1 〇 〇 6 探針 1 2 晶圓 14 晶粒 16 習知探針卡 18 調針機平台 20 固定裝置 22 電子顯微鏡 調針治具

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圖式簡單說明 24 可掀式探針卡反面調針治具 26 固定裝置 28 底座 30 轉動軸承 32 玻璃基座 34 可抽換式玻璃 36 翻轉把手 38 緩衝器 40 支撐裝置 42 保護裝置 44 固定玻璃裝置 46 微調裝置 48 遮罩薄膜 第11頁

Claims (1)

1220171 六、申請專利範圍 i、一種可掀式探針卡反面調針治具，俾在一且 薄膜的玎抽換式玻璃下使用一調針機平台調整該探^卡 位，該遮罩薄膜具有多個定位點，該調針治具包括： 罩 ，，·π町俄干台調整該掇 該遮罩薄膜具有多個定位點，該調針治且包括. 具：轉動裝置的底座，該底座固定於該調針機平台 具有翻轉裝置的玻璃基座，連接 調整該玻璃基座的水平共：接；= J = ;轉 點；以及 ^正这仏針卡針位對準該定位 緩衡=，緩衝該玻璃基座翻轉至 止該探針卡探針損壞。 了，、面速度Μ防 、如申請專利範圍第1項之調針 轉動軸承。 巧针，口具，其中該轉動裝 、如申請專利範圍第丨項之調 翻轉把手。 T/口具其中該翻轉裝 如申μ專利範圍第i項之調針治呈， 裝置以避免重物壓損該探針卡 =，、更包括一保護 5、 如申請專利範圍第移動該探針。 裝置以細部調整該玻璃基座的水具，更包括—微調 6、 、如申請專利範圍第i項之二二=二 以固定該探針卡於該調針機i么了八’更包括一固定 在一具有避種星可节掀式探針卡反面調針°治且°調針的太土 整讀探If罩缚膜的可抽換式破璃下伟、田一：方法，俾 十卡針位，該遮罩薄膜且 二調針機平台調 、/、有多個探針定位點，該^ 針位 2 置係 置係 3 4

1220171 六、申請專利範圍 法包括下列步驟： 放置並固定該探針卡反面在該調針機平台上； 安裝該調針治具在該調針機平台上；以及 調整該探針卡針位以對準該定位點。 8、 如申請專利範圍第7項之方法，更包括安裝一保護 裝置以避免重物壓損該探針卡探針及移動該探針。 9、 如申請專利範圍第7項之方法，更包括調整一微調 裝置使該可抽換式玻璃的水平共面誤差不超過正負（K4密

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