TWI292343B

TWI292343B - Ejection device, material coating method, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display device, and method of manufacturing plasma display device

Info

Publication number: TWI292343B
Application number: TW094100858A
Authority: TW
Inventors: Yoichi Miyasaka
Original assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2004-02-19
Filing date: 2005-01-12
Publication date: 2008-01-11
Also published as: US20050185006A1; JP2005234211A; JP4289172B2; CN1657287A; KR20060133120A; TW200528198A; US7399051B2; CN100357102C; KR100690544B1

Description

1292343 (1) 九、發明說明【發明所屬之技術領域】本發明關於噴出裝置、材料塗敷方法，特別關於彩色濾光片基板之製造、電激發光（EL)顯示裝置之製造、及電漿顯示裝置之製造上適用的噴出裝置及材料塗敷方法〇【先前技術】 _ 彩色濾光片之製造或EL顯示裝置等之製造使用之液滴噴出裝置爲習知者（例如專利文獻1 )。 .(專利文獻1 :特開2002-22 1 6 1 6號公報）【發明內容】 " (發明所欲解決之課題）於彩色濾光片等之畫素化區域噴出彩色濾光片材料時，噴出材料之噴嘴以及不噴出材料之噴嘴被固定，因此， φ 常時噴出之噴嘴之壽命等同於噴頭之壽命。本發明有鑑於上述問題，目的在於提供一種可以減少噴出步驟中之噴頭之消耗的噴出裝置及材料塗敷方法。 (用以解決課題的手段）本發明之噴出裝置，係將液狀材料塗敷於基體之被噴出部者，具備··載置台，用於載置上述基體；噴頭，爲具有多數個噴嘴的噴頭，上述多數個噴嘴之各個係屬於鄰接 X軸方向的第1噴嘴群與第2噴嘴群之其中任一；及掃描 -4- (2) 1292343 部’於第1掃描期間內與第2掃描期間內，係使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方，朝和上述X 軸方向正交之Y軸方向進行相對移動。構成上述第1噴嘴群之噴嘴之各個，於上述第1掃描期間內係位於上述被噴出部之沿著上述X軸方向之噴出可能範圍內，構成上 .述第2噴嘴群之噴嘴之各個，於上述第1掃描期間內係位於上述噴出可能範圍外。另外，上述掃描部，於上述第1 II 掃描期間與上述第2掃描期間之間，係使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方，沿著上述X軸方向進行相對移動，據以使構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各、個位於上述噴出可能範圍內，上述噴頭，於上述第1掃描期間係由構成上述第1噴嘴群之噴嘴對上述被噴出部噴出上述液狀材料。又，上述噴頭，於上述第2掃描期間係由構成上述第2噴嘴群之噴嘴對上述被噴出部噴出上述液狀材料。 • 上述構成所能獲得之效果爲可延長噴頭之壽命。因爲，不和被噴出部對應之噴嘴亦可以分擔噴出。本發明之材料塗敷方法，係使甩噴出裝置將液狀材料塗敷於基體之被噴出部者，該噴出裝置爲具有：載置台，用於載置上述基體；及噴頭，爲具有多數個噴嘴的噴頭，上述多數個噴嘴之各個係屬於鄰接X軸方向的第1噴嘴群與第2噴嘴群之其中任一者。上述材料塗敷方法包含：步驟（Α)，係於第1掃描期間內，使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述X軸方向正 -5- (3) 1292343 交之Y軸方向進行相對移動，據此而使構成上述第！噴嘴群之噴嘴之各個位於上述被噴出部之沿著上述X軸方向之噴出可能範圍內之同時，使構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個位於上述噴出可能範圍外；步驟（Β)，係於第 2掃描期間內，使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述X軸方向正交之Υ軸方向進行相對移動’據此而使構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個位於 Β 上述噴出可能範圍；步驟（C )，係於上述第1掃描期間內’由構成上述第1噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部噴出上述液狀材料；步驟（D)，係於上述第2掃描期間內，由構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部瓤噴出上述液狀材料。 ΊΙ 上述構成所能獲得之效果爲可延長噴頭之壽命。因爲，不和被噴出部對應之噴嘴亦可以分擔噴出。本發明可由各種實施形態實現。例如可以彩色濾光片 • 基板之製造方法、EL顯示裝置之製造方法、或電漿顯示裝置之製造方法等予以實現。【實施方式】 (第1實施形態）依以下順序說明本實施形態。 Α.噴出裝置l〇〇R之全體構成 Β.噴頭 C.控制部 -6 - (4) 1292343 D.彩色濾光片基板 Ε·塗敷步驟 (Α.噴出裝置1〇〇R之全體構成）

圖1之噴出裝置100R，係具備槽l〇1R，用於保持液 ' 狀之彩色濾光片材料111R ;軟管110R ;及介由軟管n〇R ; 由槽l〇1R被供給液狀之彩色濾光片材料111R的噴出掃 • 描部102的材料塗敷裝置。噴出掃描部1〇2具備：接地載置台GS ;噴頭部103 ;第i位置控制裝置1〇4 ;載置台 1 06 ;第2位置控制裝置i 08 ;及控制部丨丨2。 . 噴頭部103 ’用於保持多數個噴頭114(圖2)，該、多數個噴頭114用於對載置台106側噴出液狀之彩色濾光片材料111R。彼等多數個噴頭114之各個，係依據控制部112之信號噴出液狀之彩色濾光片材料niR之液滴。槽101R與噴頭部103之多數個噴頭114係經由軟管 H 1 1 0R連結，由槽丨〇丨R對多數個噴頭丨丨4之各個供給液狀之彩色濾光片材料111R。於此，液狀之彩色濾光片材料丨丨i R係對應本發明之「液狀材料」。所謂「液狀材料」係指具有該黏度之材料可作爲液滴而由噴頭U4之噴嘴（後述）噴出者。此情況下，材料可爲水性或油性，只要具備可由噴嘴噴出之流動性（黏度）即可，，即使混入固體物質而全體具有流動性亦可。第1位置控制裝置1 04，係依據控制部丨i 2之信號使 (5) 1292343 噴頭部103朝X軸方向及與X.軸方向正交之z軸方向移動。另外，第1位置控制裝置104具有使噴頭部103朝和 Z軸平行之軸之周圍旋轉之功能。本實施形態中，Z軸方向爲和垂直方向（亦即重力加速度方向）平行之方向。具體言之爲，第1位置控制裝置104，係具備：X軸；方向延伸的一對線性馬達；X軸方向延伸之一對X軸導軌 ;X軸氣動滑板；旋動部；及支撐構造體14。支撐構造 φ 體14，係使彼等一對線性馬達、一對X軸導軌、一對X 軸氣動滑板以及旋動部，固定於自載置台106起朝Z軸方向僅分離特定距離之位置。另外，X軸氣動滑板被支撐爲可於一對X軸導軌移動。X軸氣動滑板，係藉由一對線性羲馬達之動作而沿著一對X軸導軌可於X軸方向移動。噴 ' 頭部103，係介由旋動部連結於X軸氣動滑板，因此噴頭部103係和X軸氣動滑板同時移動於X軸方向。又，噴頭部103，被X軸氣動滑板支撐爲可使噴頭部103之噴嘴 φ (後述）傾向載置台載置台1 06側。另外，旋動部具有伺服馬達，具有使噴頭部103於和Z軸平行之軸之周圍旋轉 • 的功能。第2位置控制裝置1 08，係依據控制部1 1 2之信號使載置台106朝與X軸方向及Z軸方向雙方正交之Y軸方向移動。另外，第2位置控制裝置108具有使載置台1〇6 朝和Z軸平行之軸之周圍旋轉之功能。具體言之爲，第2 位置控制裝置108，係具備：Y軸方向延伸的一對線性馬達；Y軸方向延伸之一對Y軸導軌；Y軸氣動滑板；支撐 (6) 1292343 底座；及0平台。一對線性馬達與一對Y軸導軌，係位於接地載置台GS上。另外，Υ軸氣動滑板被支撐爲可於一對Υ軸導軌移動。Υ軸氣動滑板，係藉由一對線性馬達之動作而沿著一對Υ軸導軌可於Υ軸方向移動。Υ軸氣動滑板，係介由支撐底座與0平台連結於載置台106之背面，因此，載置台106係和Υ軸氣動滑板同時移動於Υ .軸方向。又，0平台，係具有馬達，具有使載置台106朝 Β Ζ軸之平行軸之周圍旋轉的功能。又，本說明書中，第1位置控制裝置104與第2位置控制裝置1 08亦有標記爲「掃描部」之情況。 ^ 本實施形態之X軸方向、Υ軸方向與Ζ軸方向，係和噴頭部103與載置台106之其中任一對另一方進行相對 % 移動之方向一致。又，界定X軸方向、Υ軸方向與Ζ軸方向之ΧΥΖ座標系之虛擬原點被固定於噴出裝置100之基準部分。本說明書中，X座標、γ座標與Ζ座標爲該 φ ΧΥΖ座標系之座標。上述虛擬原點可以不是基準部分，而被固定於載置台106亦可，或固定於噴頭部103亦可。如上述說明，噴頭部103係由第1位置控制裝置104 控制朝X軸方向移動。載置台106則由第2位置控制裝置1 08控制朝Υ軸方向。亦即，藉由第1位置控制裝置 1 04與第2位置控制裝置1 08，可變化噴頭1 1 4相對於載置台106之相對位置。更具體言之爲，藉由彼等動作，噴頭部103、噴頭114或噴嘴118(圖2)，對於載置台106 上被定位之被噴出部，可以於Ζ軸方向保持特定距離、且 -9 - (7) 1292343 於χ軸方向與γ軸方向相對移動、亦即相對掃描。對靜止之被噴出部使噴頭部103朝Υ軸方向移動亦可。在噴頭部1 03沿Υ軸方向移動特定2點間之期間內，對靜止之被噴出部由噴嘴118(圖2)噴出材料ηΐ亦可。所謂「相對移動」或「相對掃描」亦包含：噴出液狀之彩色濾光片材料1 1 1 R之側、與噴出物著彈之側（被噴出部側）之其中至少一方相對於另一方之移動。 • 又，噴頭部1〇3、噴頭114或噴嘴118 (圖2)相對移動時，彼等對於載置台、基體、或被噴出部之相對位置會變化。因此，本說明書中，噴頭部103、噴頭114或噴 • 嘴118 (圖2)對噴出裝置100R靜止、僅載置台106移動時，亦標記爲噴頭部103、噴頭114或噴嘴118對於載置台1 〇6、基體、或被噴出部進行相對移動。又，亦有以「塗敷掃描」表不相對掃描或相對移動與材料噴出之組合。噴頭部103與載置台106另具有上述以外之平行移動 Φ 及旋轉之自由度。但是，本實施形態中，爲容易說明，上述自由度以外之自由度之記載被省略。控制部112可由外部資訊處理裝置接受噴出資料用於表示應噴出之液狀之彩色濾光片材料111R之相對位置。控制部1 1 2之詳細構成及功能如後述。 (B·噴頭）圖2所示噴頭114爲噴頭部1〇3具有之多數個噴頭 1 1 4之其中1個。圖2係由載置台丨〇 6側看到噴頭丨丨4之 •10- (8) 1292343 圖，表示噴頭114之底面。噴頭114具有X軸方向延伸之噴嘴列116。噴嘴列116由X軸方向大略均等並列之多數個噴嘴118構成。彼等多數個噴嘴118配置成，噴頭 114之於X軸方向之噴嘴間距HXP約爲70 // m。其中「噴頭1 14之於X軸方向之噴嘴間距HXP」相當於，噴頭 114中之噴嘴118之全部由和X軸方向正交之方向於X軸上被攝影而得之多數個噴嘴影像間之間距。噴嘴列116中之噴嘴118之數目爲180個。但是，噴嘴列116兩端各10個噴嘴設定爲「無效噴嘴」。因此，由彼等20個「無效噴嘴」不噴出液狀之彩色濾光片材料 111R。亦即，噴頭114之180個噴嘴118之中160個噴嘴 1 1 8作爲可噴出液狀之彩色濾光片材料1 1 1 R之噴嘴之功能。本說明書中亦有將彼等160個噴嘴1 18標記爲「噴出噴嘴1Ί8Τ」之情況。又，1個噴頭114之噴嘴118之數目不限於180個。 1個噴頭114亦可設置360個噴嘴。如圖3(a)與3(b)所示，各個噴頭114爲液滴噴頭。更具體言之爲，各個噴頭114具備振動板126與噴嘴板1 2 8。振動板1 2 6與噴嘴板1 2 8之間設置貯液槽1 2 9，其經常塡充由2個槽1 〇丨r (圖1 )介由孔1 3丨被供給之液狀之彩色濾光片材料1丨丨R。振動板126與噴嘴板128之間設由多數個間隔壁122 。振動板126、噴嘴板128與1對間隔壁122包圍之部分爲空穴部120°空穴部120對應噴嘴118設置，因此空穴 -11 - (9) 1292343 部120之數目和噴嘴118之數目相同。於空穴部12〇，介由位於1對間隔壁122間之供給口 13〇，由貯液槽129被供給液狀之彩色濾光片材料1丨丨R。

振動子124分別和各個空穴部12〇對應地位於振動板 126上。振動子124由壓電元件124C，及挾持壓電元件 : l240的1對電極124A、124B構成，對該1對電極124A 、124B供給驅動電壓而由對應之噴嘴118噴出液狀之彩 φ 色濾光片材料niR。又，可調整噴嘴118之形狀，俾由噴嘴Π8朝Z軸方向噴出液狀之彩色濾光片材料niR。本說明書中「液狀材料」係指具有由噴嘴可噴出之黏 _ 度的材料。此情況下，不管是水性或油性材料只要具備能由噴嘴噴出之流動性（黏度）即可，即使混合固體物質全體具有流動性亦可。控制部112(圖1)構成爲可對多數個振動子124分別供給獨立之信號。亦即，由噴嘴1 1 8噴出之液狀之彩色 # 濾光片材料1 1 1 R之體積，可依據控制部1 1 2之信號依每一噴嘴1 1 8被控制。此情況下，由各個噴嘴1 1 8噴出之液狀材料之體積可於Opl〜42pl間變化。又，如後述說明， - 控制部1 1 2可設定塗敷掃描期間進行噴出動作的噴嘴1 1 8 ，與不進行噴出動作的噴嘴118。本說明書中，亦有將包含1個噴嘴118、與噴嘴118 對應之空穴部120、以及和空穴部120對應之振動子124 的部分標記爲「噴出部127」。依據該標記，1個噴頭 114具有和噴嘴118之數目相同數目之噴出部127。噴出 -12- (10) 1292343 部1 27可具有電熱轉換元件以替代壓電元件。亦即，噴出部1 27可以構成利用電熱轉換元件之材料熱膨脹而噴出材料。 (C ·控制部）以下說明控制部1 12之構成。如圖4所示，控制部 1 1 2具備：輸入緩衝記憶體2 0 0 ;記憶裝置2 0 2 ;處理部 • 204;掃描驅動部206;及噴頭驅動部208。緩衝記憶體 202與處理部204可互相通信。處理部204與記憶裝置 202連接成可互相通信。處理部204與掃描驅動部206連，接成可互相通信。處理部204與噴頭驅動部208連接成可互相通信。又，掃描驅動部206係將第1位置控制裝置 1 〇 4與第2位置控制裝置1 〇 8連接成可互相通信。同樣地，噴頭驅動部208連接成可與多數個噴頭114之各個互相通信。 # 輸入緩衝記憶體200，係由位於噴出裝置i〇〇R之外部的主電腦（未圖不）接受進f了液狀之彩色爐光片材料 111R之噴出用的噴出資料。輸入緩衝記憶體200係將噴出資料供給至處理部204 ’處理部204將噴出資料存於記憶裝置202。於圖4，記憶裝置202爲RAM。又，噴出裝置l〇〇R亦可於控制部 1 1 2內具有電腦以實現外部主電腦之功能。處理部204，係依據記憶裝置202內之噴出資料，對掃描驅動部206供給資料用於顯示噴嘴丨丨8相對於被噴出 -13- (11) 1292343 部之相對位置。掃描驅動部2 0〖則將該資料與噴出週期所 ¥寸應之驅動ί§號供給至第2位置控制裝置1 〇 8。結果，噴頭1 14相對於被噴出部進行相對掃描。另外，處理部2〇4 依據記憶裝置202記憶之噴出資料對多數個噴頭114之各個供給液狀之彩色濾光片材料1 1 1 R噴出必要之噴出信號。藉果，由多數個噴頭114之各個之噴嘴118噴出液狀之彩色濾光片材料111R之液滴D (圖3)。控制部1 1 2可爲包含CPU、ROM、RAM、匯流排之電腦。此情況下，控制部1 1 2之上述功能，可由電腦執行軟體實現。當然控制部1 1 2亦可由專用電路（硬體）實現。 (D·彩色濾光片基板）圖5 ( a ) 、（ b )所示基體1 0 A，係經由後述第2實施形態之製造裝置1之處理而成爲彩色爐光片基板10的基板。基體10A具有以矩陣狀配置之多數個被噴出部18R 、1 8G、1 8B。具體言之爲，基體10A包含：具有透光性之支撐基板12;形成於支撐基板12上的暗矩陣14;及形成於暗矩陣14上的堤堰部16。暗矩陣14由遮光性材料形成。暗矩陣14與暗矩陣14上之堤堰部16之配置位置，可使支撐基板12上之矩陣狀多數個透光性部分、亦即矩陣狀之多數個畫素區域被界定。於各個畫素區域，支撐基板12、暗矩陣14以及堤堰部16所界定之凹部，，係對應之被噴出部18R、被噴出 -14- (12) 1292343 部18G、被噴出部18B。被噴出部18R爲應形成濾光片層 111FR之區域，僅能透過紅色波長帶之光線，被噴出部 18G爲應形成濾光片層111FG之區域，僅能透過綠色波長帶之光線，被噴出部18B爲應形成濾光片層1 1 1FB之區域，僅能透過藍色波長帶之光線。圖5(b)之基體10A位於和X軸方向與γ軸方向之雙方平行之假想平面上。多數個被噴出部18R、18G、 B 1 8 B所形成矩陣狀之行方向與列方向分別平行於X軸方向及Y軸方向。於基體10A，被噴出部18R、被噴出部18G 、與被噴出部1 8B係於Y軸方向依該順序被週期性並列 .。另外，被噴出部1 8R間係於X軸方向間隔特定間隔並 * 列成1列，被噴出部1 8 G間係於X軸方向間隔特定間隔並列成1列，被噴出部1 8B間係於X軸方向間隔特定間 .隔並列成1列。又，X軸方向與Y軸方向互相正交。被噴出部18R之於Y軸方向之間隔LRY、亦即間距 # 約爲560//m。該間隔係和被噴出部18G之於Y軸方向之間隔LGY相同，亦和被噴出部1 8B之於γ軸方向之間隔 LBY相同。又，被噴出部18R之平面影像爲長邊與短邊決定之多角形狀。具體言之爲，被噴出部18R於Y軸方向之長度約爲100//m，X軸方向之長度約爲300//m。被噴出部18G、被噴出部18B亦具有和被噴出部18R相同之形狀、尺寸。被噴出部間之上述間隔與上述尺寸，於 40英吋尺寸之高精細電視中係對應於同一顏色所對應之畫素區域間之間隔。 -15- (13) 1292343 (Ε·塗敷步驟）以下說明使用噴出裝置100R對基體10Α之被 18R塗敷液狀之彩色濾光片材料U1R之步驟。： (第1掃描期間）如圖6所示，將具有被噴出部18R之第1基 φ 配置於載置台1〇6上。具體言之爲，將基體l〇A 載置台106上，使多數個被噴出部18R被形成的矩方向與列方向，分別平行於X軸方向與Y軸方商施形態中，此時之基體10A被配向於載置台106 各個被噴出部18R之長邊方向平行於X軸方向，方向平行於Y軸方向。圖6標記有18個噴嘴11 8T。爲方便說明，將個噴嘴1 1 8 T由X座標小者起依序（由圖6之上價 φ )標記爲噴嘴N1〜N18。又，符號「N」後續之_ 數之噴嘴1 1 8T屬於第1噴嘴列1 1 6A (圖2 ) ，ί * 」後續之數字爲奇數之噴嘴118Τ屬於第2噴嘴列圖2 ) 〇如圖6所示，噴嘴Ν1〜Ν5構成第1噴嘴群嘴Ν7〜Nil構成另一第1噴嘴群GA，噴嘴Ν13〜成再另一第1噴嘴群GA。噴嘴Ν6、Ν12、Ν182 別構成第2噴嘴群GB。本說明書中構成第1噴D 或第2噴嘴群GB之噴嘴之數目即使爲1時亦以「噴出部體10A 配置於陣之行。本實上，使且短邊彼等18 丨起依序字爲偶守號「N 1 1 6 B ( GA，噴 N17構 ,各個分奪群GA 噴嘴群 -16- (14) 1292343 」標記。如圖6所示，第1噴嘴群〇Α與第2噴嘴g 相鄰接於X軸方向。如圖6所示，噴頭1 1 4對於載置台1 〇6之相對X 維持爲xl。於此，所謂「噴頭114對於載置台106 對X座標」係指載置台106上被固定之內部座標系之標。該內部座標系之X軸、y軸與Z軸之方向分別和疋義之X軸方向、Y軸方向與Z軸方向一*致。另外 B 謂「噴頭114之相對X座標」係指噴頭114之特定基之相對X座標。例如「噴頭1 14之相對X座標」亦可頭114之第1基準噴嘴11 8R1之相對X座標表示。噴頭114之相對X座標爲χΐ時，屬於第1噴嘴君之噴嘴118T之全部，係位於被噴出部18R之X軸方噴出可能範圍內。另外，屬於第2噴嘴群GB之噴嘴之全部’係位於被噴出部18R之X軸方向之噴出可圍外。 • 以下，使用圖8說明「被噴出部18R之X軸方噴出可能範圍」。如圖8所示，當噴嘴1 1 8位於被噴 18R之X軸方向之噴出可能範圍XE內時，液滴D可常著彈於被噴出部1 8R內。另外，當噴嘴1 1 8位於方向之噴出可能範圍XE外時，來自噴嘴11 8T之液無法正常著彈於被噴出部18R。例如，圖8所示，來嘴118T之液滴D在著彈於被噴出部18R之前會衝撞部16。X軸方向之噴出可能範圍xe之長度可依據噴液滴D之尺寸而變化。 :GB 座標之相 X座先前，所準點以噴 ^ GA 向之 1 1 8T 能範向之出部以正 X軸滴D 自噴堤堰出之 -17- (15) 1292343 被噴出部18R之X軸方向之噴出可能範圍XE之長度 ’係在被噴出部18R之X座標範圍EXT之長度以下。「被噴出部18R之X座標範圍EXT」係自沿著X軸方向之被噴出部18R之端部至端部之範圍。本實施形態中，「被噴出部18R之X座標範圍EXT」之長度等於被噴出部 1 8R之長邊之長度。本說明書中，將位於被噴出部18R之X軸方向之噴 • 出可能範圍XE內之噴嘴11 8T，單純標記爲「基準噴嘴 I 1 8 R對應之噴嘴1 1 8 T」。控制部1 12開始第1掃描期間，具體言之爲，於第1 _ 掃描期間，依據控制部1 1 2之信號，掃描部使噴頭1 1 4對

載置台106之相對位置朝Y軸方向之正方向（由圖6之右側至左側）變化。於第1掃描期間，噴頭1 14之相對X 座標維持於xl。據此而使第1噴嘴群GA所屬噴嘴118T 之各個到達被噴出部18R對應之區域。在第丨噴嘴群GA • 所屬噴嘴Π8Τ到達被噴出部18R對應之區域時，由噴嘴 II 8T噴出液狀之彩色濾光片材料niR。本實施形態中，於第1掃描期間內，1個被噴出部18R對應5個噴嘴 118T。因此，於第1掃描期間，由彼等5個噴嘴118T對對應之被噴出部18R噴出液狀之彩色濾光片材料niR。另外，於第1掃描期間，第2噴嘴群gB所屬噴嘴 118T (噴嘴N6、N12、N18)不與任何被噴出部18R重疊。因此’於第1掃描期間之間，由第2噴嘴群g B所屬噴嘴118T不噴出任何液狀之彩色濾光片材料U1R。 -18 - (16) 1292343 於此’ 「掃描期間」意味著，噴頭114或噴頭部103 對載置台106之相對位置，於γ軸方向自掃描範圍ι34 之一端至另一端、或者自另一端至一端爲止之期間。亦有將1次之掃描期間標記爲「1脈衝期間」。如圖26所示，「掃描範圍134」意味著，噴頭部1〇3 之一邊對載置台106相對移動，使基體10A上之全部被噴出部18R可以塗敷材料之範圍。因此，掃描範圍134覆蓋全部之被噴出部18R。本實施形態中，噴頭部1〇3係於 1次掃描期間內移動掃描範圍134。又，依不同情況，「掃描範圍」亦有意味著1個噴嘴 118(圖2)對載置台106相對移動之範圍，或者1個噴嘴列1 16A ( 1 16B0 (圖 2)相對移動之範圍，或者噴頭 Π 4 (圖2 )相對移動之範圍。噴頭部103、噴頭114(圖2)或噴嘴118(圖2)對載置台106相對移動意味著彼等對於載置台1〇6、基體 10A、或被噴出部18R之相對位置會變化。因此，本說明書中，噴頭部103、噴頭114或噴嘴118對噴出裝置100R 靜止之同時，僅載置台1 0 6移動之情況，亦標記爲噴頭部 103、噴頭114或噴嘴118對載置台1〇6、基體10A或被噴出部1 8 R之相對移動。另外，亦有將相對掃描或相對移動、與材料噴出之組合標記爲「塗敷掃描」。 (X軸方向之相對移動（改行））第1掃描期間結束後，掃描部依據控制部1 1 2之信號 -19- (17) 1292343 使噴頭1 14對X軸方向進行相對移動，將噴頭1 14之相對X座標由xl變化爲x2。當噴頭114之相對X座標成爲x2後，第2噴嘴群GB 所屬噴嘴118T全部位於被噴出部18R於X軸方向之噴出可能範圍內。當噴頭114之相對X座標圍x2時，第1噴嘴群GA所屬噴嘴118T不論是否位於被噴出部18R於X 軸方向之噴出可能範圍內均可。 φ 如圖7所示，構成第2噴嘴群GB之噴嘴N6，位於右上之被噴出部18R於X軸方向之噴出可能範圍內，同時，構成第1噴嘴群GA之噴嘴之中噴嘴N3、N4、N5，位於右上之被噴出部18R於X軸方向之噴出可能範圍內。另外，構成第1噴嘴群GA之噴嘴之中噴嘴N1與N2, 不位於被噴出部1 8R對應之位置。亦即，在第1掃描期間結束後開始之第2掃描期間，1個被噴出部1 8r對應4個噴嘴118T。因此，於第2掃描期間，由彼等4個噴嘴 • 118T對對應之被噴出部18R噴出液狀之彩色濾光片材料 111R。而且，第2掃描期間使用之4個噴嘴118T包含第 1掃描期間未使用之噴嘴1 18T。又，使噴頭114之相對X座標成爲χι與χ2地變化對載置台106之相對位置，則分布於噴嘴分布範圍EXT內之全部噴嘴1 1 8T，於第1掃描期間或第2掃描期間之任一期間，可以位於被噴出部18R之於X軸方向之噴出可能範圍內。亦即，分布於噴嘴分布範圍EXT之全部噴嘴 1 1 8T可以噴出彩色濾光片材料1 1 1R。 -20- (18) 1292343 (第2掃描期間）如圖7所示，控制部1 12開始第2掃描期間，之爲，於第2掃描期間，依據控制部112之信號，使噴頭114對載置台106之相對位置朝Y軸方向向（由圖7之左側至右側）變化。於第2掃描期間 114之相對X座標維持於χ2。據此而使第2噴嘴群屬噴嘴118Τ之各個到達被噴出部18R對應之區域 2噴嘴群GB所屬噴嘴118Τ到達被噴出部18R對域時，由噴嘴118Τ噴出液狀之彩色濾光片材料η ，於第1噴嘴群GA所屬噴嘴1 1 8Τ之中，位於被 18R於X軸方向之噴出可能範圍內之噴嘴ι18Τ，亦噴嘴群GB所屬噴嘴1 18Τ同樣，於第2掃描期間彩色濾光片材料1 1 1 R。依本實施形態，可增長噴頭1 1 4之壽命，和被 18R不對應之噴嘴118Τ (第2噴嘴群GB所屬噴喷 )亦可分擔彩色濾光片材料111R增噴出。另外，依本實施形態，可維持噴出裝置1 〇〇 R 穩定性之同時’紀行塗敷步驟。此乃因爲噴頭1 1 4 噴嘴118Τ，於第1掃描期間與第2掃描期間之至間之中噴出彩色濾光片材料1丨丨R之液滴D，長時行噴出之噴嘴118T不存在。因此，於塗敷步驟中止材料固著於噴嘴內。具體言掃描部之負方，噴頭 GB所。在第應之區 1R。又噴出部和第2 內噴出噴出部 I 1 1 8T 之噴出之全部少一期間不進可以防 -21 - (19) 1292343 (第2實施形態）第1實施形態係說明在被噴出部1 8R塗敷彩色濾光片材料11 1R之步驟。以下說明藉由製造裝置〗獲得彩色濾光片基板10爲止之一連串步驟。圖9之製造裝置1爲，對圖5之基體1〇A之被噴出：部18R、HG、18B之各個噴出對應之彩色濾光片材料的裝置。具體g之爲’製造裝置1具備：噴出裝置100R， • 可對被噴出部18R全部塗敷彩色濾光片材料U1R;乾燥裝置150R，用於乾燥被噴出部18R上之彩色濾光片材料 111R;噴出裝置100G，可對被噴出部l8G全部塗敷彩色濾光片材料111G;乾燥裝置150G，用於乾燥被噴出部 18G上之彩色濾光片材料niG;噴出裝置ι〇〇Β，可對被噴出部18B全部塗敷彩色濾光片材料111B;乾燥裝置 150B，用於乾燥被噴出部18B上之彩色濾光片材料UlB ;烘乾器160，可再度加熱（後段烘乾）彩色濾光片材料 φ 111R、H1G、1ΠΒ ;噴出裝置i〇〇c，可於後段烘乾之彩色濾光片材料111R、111G、111B之層上設置保護膜2〇 ' :乾燥裝置150C，可乾燥保護膜20 ;及硬化裝置165，可再度加熱、硬化被乾燥之保護膜20。另外，製造裝置j 具備搬送裝置170，可依噴出裝置i〇〇R、乾燥裝置15〇r 、噴出裝置100G、乾燥裝置150G、噴出裝置ιοοΒ、乾燥裝置15 0B、噴出裝置l〇〇C、乾燥裝置150C、硬化裝置 165之順序搬送基體l〇A。搬送裝置170具備：叉型部、上下移動叉型部的驅動部、以及自行移動部。 -22· (20) (20)

1292343 噴出裝置100R之構成已於第1實施形態說明過此省略其說明。噴出裝置100G之構成、噴出裝置之構成、噴出裝置10 0C之構成基本上和噴出裝置之構成相同，但是，差異在於：取代噴出裝置100R 槽101R與軟管110R，噴出裝置100G具備彩色濾光料111G用之槽與軟管，。同樣地，噴出裝置100B 出裝置100R之差異在於：取代噴出裝置100R中 101R與軟管110R，噴出裝置100B具備彩色濾光片 111B用之槽與軟管。另外，噴出裝置i〇〇c與噴出 100R之差異在於：取代噴出裝置100R中之槽101R 管11 0R，噴出裝置100C具備保護膜材料用之槽與軟又，本實施形態之液狀之彩色濾光片材料1 1 1 R、1 1 1 1 1 B爲本發明之液狀材料之一例。首先，依以下順序作成圖5之基體1 〇 a。首先，濺鍍法或蒸鍍法於支撐基板1 2上形成金屬薄膜。之藉由微影成像技術製程由該金屬薄膜形成格子狀暗 1 4。暗矩陣1 4之材料例如爲金屬鉻或氧化鉻。支撐 1 2爲對可視光具有透光性之基板，例如玻璃基板。，塗敷負型感光性樹脂組成物構成之阻劑用於覆蓋支板1 2與暗矩陣1 4。於該阻劑層上密接以矩陣狀圖型之遮罩薄膜，使該阻劑層曝光。之後，蝕刻處理除去層之未曝光部分而得堤堰部16。藉由以上步驟可得 1 0A。又，可以取代堤堰部1 6改用暗樹脂構成之堤堰，因 1 00B 1 00R 中之片材與噴之槽材料裝置與軟管。 1 G、藉由後，矩陣基板之後撐基形成阻劑基體部。 -23- (21) 1292343 此情況下，不需要金屬薄膜（暗矩陣14) ’堤需1層。之後，藉由大氣壓下之氧電漿處理對基體親液性處理。藉由該處理使支撐基板1 2、暗矩P 堰部16所界定各個凹部（畫素區域之一部分）基板12表面，與暗矩陣14表面，與堤堰部16 液性。之後，對基體1 〇 A進行以四氟甲烷爲處 B 電漿處理。藉由使用四氟甲烷之電漿處理，各個堰部1 6表面被氟化處理（疏液化處理），堤堰ΐ 面呈疏液性。右，藉由使用四氟甲烷之電漿處理賦與親液性之支撐基板1 2表面以及暗矩陣1 4表降低親液性，但是彼等之表面乃能維持親液性。 ' 明，支撐基板1 2、暗矩陣1 4、與堤堰部1 6所界面被施予特定之表面處理，凹部表面成爲被噴出 1 8G、1 8Β。 φ 又，依據支撐基板12之材質、暗矩陣14之

及堤堰部1 6之材質，有些情況下不必進行上述亦可以獲得呈現所要親液性及疏液性表面。此情使不施予上述表面處理，支撐基板12、暗矩陣堰部16所界定凹部表面成爲被噴出部18R、18G 被形成有被噴出部18R、18G、18B之基體搬送裝置170被搬送至噴出裝置l〇〇R之載置台後，如圖1〇 ( a )所示，噴出裝置l〇OR依據控之信號，由噴頭114噴出彩色濾光片材料U1R 堰部層僅 10A施予 _ 14、堤中之支撐表面呈親理氣體之凹部之堤形16之表，先前被面會稍微如上述說定凹部表部 18R、材質、以表面處理況下，即 1 4、與堤、1 8B 〇 10A藉由 106° 之制部1 1 2 而於被噴 -24- (22) 1292343 出部18R全部形成彩色濾光片材料1HR之層。具 •爲’噴出裝置1 0 0 R ’係進行第1實施形態說明之驟，而於多數個被噴出部18R之各個塗敷彩色濾光 1 1 1R。於基體10A之被噴出部18R全部形成彩色濾 : 料1HR之層時，搬送裝置170使基體10A位於乾 15 0R內。使被噴出部18R上之彩色濾光片材料ln φ 乾燥而於被噴出部18R上獲得濾光片層1 1 iFR。之後，搬送裝置170使基體l〇A位於噴出裝g 之載置台106。之後，如圖10(b)所示，噴出裝g . 依據控制部112之信號，由噴頭114噴出彩色濾光 H1G而於被噴出部18G全部形成彩色濾光片材和 — 之層。具體言之爲，噴出裝置100G，係進行第1 態說明之塗敷步驟，而於多數個被噴出部18G之敷彩色濾光片材料1 1 1 G。 φ 於基體10A之被噴出部18G全部形成彩色濾料111G層時，搬送裝置170使基體10A位於乾 15 0G內。使被噴出部18G上之彩色濾光片材料1 全乾燥而於被噴出部18G上獲得濾光片層1 1 1FG。之後，搬送裝置170使基體10A位於噴出裝§ 之載置台106。之後，如圖10(c)所示，噴出裝| 依據控制部112之信號，由噴頭114噴出彩色濾光 111B,而於被噴出部18B全部形成彩色濾光片材料] 層。具體言之爲，噴出裝置100B，係進行第1實體言之塗敷步片材料光片材燥裝置 R完全 I 1 0 0 G £ 1 0 0 G 片材料 f 1 1 1G 實施形各個塗光片材燥裝置 11G完 I 100B I 1 00B 片材料 [1 1B 之施形態 -25- (23) 1292343 說明之塗敷步驟，而於多數個辨噴出部18B之各個塗敷彩色濃光片材料111B。於基體10A之被噴出部18B全部形成彩色濾光片材料111B層時，搬送裝置170使基體10A位於乾燥裝置 15 0B內。使被噴出部18B上之彩色濾光片材料nlB完全乾燥而於被噴出部18B上獲得濾光片層1 1 1FB。之後，搬送裝置170使基體10A位於烘乾器160內 • 。之後’烘乾器160再度加熱（後段烘乾）濾光片層 1 1 1 FR、1 1 1 FG、1 1 1 FB。

之後，搬送裝置170使基體10A位於噴出裝置100C . 之載置台106。之後，噴出裝置100C噴出液狀之保護膜材料形成保護膜20用於覆蓋濾光片層111FR、111FG、 111FB與堤堰部 16。覆蓋濾光片層 111FR、111FG、 111FB與堤堰部16之保護膜20形成後，搬送裝置170使基體10A位於乾燥裝置150C內。乾燥裝置150C完全乾 # 燥保護膜20之後，硬化裝置165加熱保護膜20使完全硬化而使基體10A成爲彩色濾光片基板1〇。依本實施形態，可增長噴出裝置10OR、100G、及 100B之噴頭114之壽命。此乃因爲，和被噴出部18R、 18G、18B.不對應之噴嘴118T (第2噴嘴群GB所屬噴嘴 118T)亦可以分擔彩色濾光片材料111R、111G、111B之噴出。另外，依本實施形態，可維持製造裝置1之穩定性之同時進行塗敷步驟。此乃因爲，噴出裝置100R、100G、 -26- (24) 1292343 及100B之噴頭114中之全部噴嘴118T，係於第1掃描問與第2掃描期間之至少1期間中噴出彩色濾光片材料液滴D，結果長時間不進行噴出之噴嘴118T不存在。此，可防止塗敷步驟中彩色濾光片材料之固著於噴 1 1 8T 內。 (第3實施形態） g 以下說明本發明適用EL顯示裝置（電激發光顯示置）之製造裝置之例。圖11 ( a) 、（ b)所示基體30A，係藉由後述製造置2(圖12)之處理而成之EL顯示裝置30之基板。體3 0A具有矩陣狀配置之多數個被噴出部38R、38G " 3 8B。具體言之爲，基體30A具有：支撐基板32;形成支撐基板32上的電路元件層34;形成於電路元件層 φ 上的多數個畫素電極36;及形成於多數個畫素電極36 的堤堰部40。支撐基板爲對可視光具有透光性之基板例如爲玻璃基板。多數個畫素電極36之各個爲對可視具有透光性之電極，例如爲ITO ( Indium-Tin Oxide) 極。又，多數個畫素電極36以矩陣狀配置於電路元件 34上，各個用於界定畫素區域。堤堰部40具有格子狀包圍多數個畫素電極36之各個。堤堰部40由形成於電元件層.34上的無機物堤堰部40A，與位於無機物堤堰 40A上的有機物堤堰部40B構成。期之因嘴裝裝基於 34 間，光電層路部 -27- (25) 1292343 電路元件層34具有：於支撐基板32上朝特定方向延伸之多數個掃描電極；覆蓋多數個掃描電極而形成的絕緣膜42 ;位於絕緣膜42上、且朝和多數個掃描電極之延伸方向正交之方向延伸的多數個信號電極；位於掃描電極與信號電極之交叉點附近的多數個開關元件44;及覆蓋多數個開關元件44而形成的聚醯亞胺等之層間絕緣膜45。各開關元件44之閘極44G與源極44S，分別電連接於對 B 應之掃描電極及信號電極。多數個畫素電極36位於層間絕緣膜45上。於層間絕緣膜45、於各開關元件44之汲極44D對應之部位設有貫穿孔44V，介由該貫穿孔44V 完成開關元件44與對應之畫素電極3 6間之電連接。又，各開關元件44位於堤堰部40對應之位置。亦即，由圖 ^ 11 (b)之紙面之垂直方向觀察時，多數個開關元件44之各個成爲被堤堰部40覆蓋。基體3 0A之畫素電極36與堤堰部40界定之凹部（ φ 畫素區域之一部分）係對應於被噴出部38R、被噴出部 38G、被噴出部38B。被噴出部38R爲應形成可以發出紅色波長帶光線之發光層211 FR的區域，被噴出部38G爲應形成可以發出綠色波長帶光線之發光層211 FG的區域，被噴出部3 8B爲應形成可以發出藍色波長帶光線之發光層21 1FB的區域。圖11(b)之基體3 0A位於和X軸方向與Y軸方向雙方平行之假想平面上。多數個被噴出部 38R、38G、 3 8B被形成之矩陣之行方向與列方向’係分別平行於X軸 -28- (26) 1292343 方向與Y軸方向。於基體30A，被噴出部38R、38G、 38B係於Y軸方向依該順序被週期性並列。另外，被噴出部3 8 R間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列，被噴出部3 8 G間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列，被噴出部3 8 B間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列。又，X 軸方向與Y軸方向互爲正交。被噴出部38R之於Y軸方向之間隔LRY、亦即間距 • 約爲560/zm。該間隔係和被噴出部38G之於γ軸方向之間隔LGY相同，亦和被噴出部38b之於γ軸方向之間隔 LBY相同。又，被噴出部38R之平面影像爲長邊與短邊 • 決定之矩形狀。具體言之爲，被噴出部38R於Y軸方向之長度約爲100//m，X軸方向之長度約爲300//m。被噴出部38G、被噴出部38B亦具有和被噴出部38R相同之形狀、·尺寸。被噴出部間之上述間隔與上述尺寸，於40 英吋尺寸之高精細電視中係對應於同一顏色所對應之畫素馨區域間之間隔或尺寸。圖12之製造裝置2爲，對圖11之基體3 0A之被噴出部38R、38G、38B之各個噴出對應之發光材料的裝置。具體言之爲，製造裝置2具備：噴出裝置200R，可對被噴出部38R全部塗敷發光材料211R;乾燥裝置25 0R，用於乾燥被噴出部38R上之發光材料211R;噴出裝置 2 00G，可對被噴出部38G全部塗敷發光材料2 11G ;乾燥裝置250G，用於乾燥被噴出部38G上之發光材料211G; 噴出裝置20 0B，可對被噴出部38B全部塗敷發光材料 -29- (27) 1292343 21 IB ;乾燥裝置25〇B，用於乾燥被噴出部38B上之材料B。另外，製造裝置2具備搬送裝置27〇，可依裝置200R、乾燥裝置25〇R、噴出裝置2〇〇G、乾燥 250G、噴出裝置2〇〇B、乾燥裝置25〇b之順序搬送 3 〇A。搬送裝置27〇具備：叉型部；上下移動叉型部動部；及自行移動部。圖13所示噴出裝置200r，具備··保持液狀發光 2 1 1R的槽20 1R ;軟管210r ;介由軟管210R由槽被供給發光材料211 R的噴出掃描部102;噴出掃描蔚之構成係和第1實施形態之噴出掃描部1 〇 2 (圖1 ) ’因此相同之構成要素附加同一符號，並省略其說明 ’噴出裝置200G之構成、噴出裝置200B之構成基和噴出裝置20 0R之構成相同。但是，差異在於：取 201R與軟管210R，噴出裝置200G具備發光材料21: 之槽與軟管。同樣地，噴出裝置200B與噴出裝置之差異在於··取代噴出裝置200R中之槽201R與 210R，噴出裝置200B具備發光材料211B用之槽與。又，本實施形態之液狀發光材料2 1 1 R、2 1 1 G、2 1 ] 本發明之液狀材料之一例。以下說明使用製造裝置2之EL顯示裝置30之方法。首先，使用習知薄膜製造技術與圖型化技術製 1 1之基體30A。之後，藉由大氣壓下之氧電漿處理對基體3 〇A 親液性處理。藉由該處理使畫素電極36與堤堰部40 發光噴出裝置基體的驅材料 201R ;102 相同。又本上代槽 [G用 200R 軟管軟管 [B爲製造造圖施予所界 -30- (28) 1292343 定各個凹部（畫素區域之一部分）中之畫素電極36表面 •、無機物堤堰部40 A表面、與有機物堤堰部40B表面呈親液性。之後，對基體3 0 A進行以四氟甲烷爲處理氣體之電漿處理。藉由使用四氟甲烷之電漿處理，各個凹部之有機物堤堰部40B表面被氟化處理（疏液化處理），有機物堤堰部40 B之表面呈疏液性。又，藉由使用四氟甲烷之電漿處理，.先前被賦與親液性之畫素電極36表面以及無 φ 機物堤堰部40A表面雖會稍微降低親液性，但是彼等之表面乃能維持親液性。如上述說明，畫素電極3 6、與堤堰部40所界定凹部表面被施予特定之表面處理，凹部表面成爲被噴出部38R、38G、38B。又，依據畫素電極36之材質、無機物堤堰部40 A之材質、以及有機物堤堰部40B之材質，有些情況下不必進行上述表面處理亦可以獲得呈現所要親液性及疏液性之表面。此情況下，即使不施予上述表面處理，畫素電極3 6 φ 、與堤堰部40所界定凹部表面成爲被噴出部38R、38G、 3 8 B。於被施予表面處理之多數個畫素電極36之上形成對應之電洞輸送層37R、37G、37B亦可。電洞輸送層37R 、37G、37B位於畫素電極36與後述之發光層211RF、 211GF > 211BF之間可以提升EL顯示裝置之發光效率。於多數個畫素電極36之各個之剩設置電洞輸送層時，電洞輸送層與堤堰部40所界定凹部將和被噴出部38R、38G 、38B對應。 -31 - (29) 1292343 又，電洞輸送層37R、37G.、37B可藉由液滴噴出法形成。此情況下，將含有電洞輸送層37R、37G、37B形成用材料之溶液以特定量塗敷於各畫素區域之後，乾燥即可形成電洞輸送層。被形成有被噴出部38R、38G、38B之基體30A藉由搬送裝置270被搬送至噴出裝置2 00R之載置台106。之後，如圖14 ( a )所示，噴出裝置200R依據控制部1 12 φ 之信號，由噴頭114噴出發光材料211R而於被噴出部 38R之全部形成發光材料211R之層。具體言之爲，噴出裝置2 00R，係進行第1實施形態說明之塗敷步驟，而於多數個被噴出部3 8R之各個塗敷發光材料21 1R。於基體30A之被噴出部38R全部形成發光材料211R 之層時，搬送裝置270使基體3 0A位於乾燥裝置25 0R內。使被噴出部3 8R上之發光材料211R完全乾燥而於被噴 _ 出部3 8R上獲得發光層211 FR。之後，搬送裝置270使基體30A位於噴出裝置200G 之載置台106。之後，如圖14(b)所示，噴出裝置200G 依據控制部112之信號，由噴頭114噴出發光材料211G 而於被噴出部38G之全部形成發光材料211G之層。具體言之爲，噴出裝置200G，係進行第1實施形態說明之塗敷步驟，而於多數個被噴出部38G之各個塗敷發光材料 21 1G 〇於基體3 0 A之被噴出部3 8 G之全部形成發光材料 -32- (30) 1292343 2UG之層時，搬送裝置270使基體30A位於乾燥裝置 250G內。使被噴出部38G上之發光材料G完全乾燥而於被噴出部38G上獲得發光層211FG。之後，搬送裝置270使基體3 0A位於噴出裝置200B 之載置台106。之後，如圖14(c)所示，噴出裝置200B 依據控制部112之信號，由噴頭114噴出發光材料211B 而於被噴出部38B之全部形成發光材料211B之層。具體言之爲，噴出裝置200B，係進行第1實施形態說明之塗敷步驟，而於多數個被噴出部38B之各個塗敷發光材料 21 1B 〇於基體30A之被噴出部38B之全部形成發光材料 211B之層時，搬送裝置270使基體3 0A位於乾燥裝置 250B內。使被噴出部38B上之發光材料211B完全乾燥而於被噴出部38B上獲得發光層211FB。如圖14(d)所示，設置對向電極46用於覆蓋發光層211FR、211FG、211FB與堤堰部40。對向電極46作爲陰極之功能。之後，將封裝基板48與基體3 0A藉由互相之周邊部予以接著而得圖14(d)所示EL顯示裝置30 。又，於封裝基板48與基體30A之間被封入惰性氣體49 .〇於 EL顯示裝置 30，由發光層 211FR、211FG、 211FB發出之光，係介由畫素電極36、電路元件層34、支撐基板32射出。如上述說明，介由電路元件層34射出光之EL顯示裝置稱爲底部射出型顯示裝置。 -33- (31) 1292343 依本實施形態，可增長噴出裝置20 OR、20 OG、及 200B之噴頭114之壽命。此乃因爲，和被噴出部38R、 38G、38B不對應之噴嘴118T (第2噴嘴群GB所屬噴嘴 118T)亦可以分擔發光材料211R、211G、211B之噴出。另外，依本實施形態，可維持製造裝置2之穩定性之同時進行塗敷步驟。此乃因爲，噴出裝置200R、200G、及200B之噴頭114中之全部噴嘴118T，係於第1掃描期 g 間與第2掃描期間之至少1期間中噴出發光材料之液滴d 。結果長時間不進行噴出之噴嘴11 8T不存在。因此，可 .防止塗敷步驟中發光材料之固著於噴嘴118T內。 (第4實施形態）以下說明本發明適用電漿顯示裝置之背面基板之製造裝置之例。圖15(a) 、（b)所示基體50A，係藉由後述製造裝 φ 置3(圖16)之處理而成之電漿顯示裝置之背面基板50B 之基板。基體5 0A具有矩陣狀配置之多數個被噴出部58R 、58G、58B。具體言之爲，基體50A具有：支撐基板52;形成於支撐基板52上的多數個位址電極54;覆蓋位址電極54 而形成的介電質玻璃層56 ;及具有格子狀之同時，用於界定多數個畫素區域的間隔壁60。多數個畫素區域位於矩陣狀，多數個畫素區域所形成之矩陣之列之每一列對應於多數個位址電極54之各個。此種基體50A可以習知網 -34- (32) 1292343 版印刷技術形成。基體50A之各個畫素區域，介電質玻璃層56與間隔壁60所界定之凹部，係對應於被噴出部58R、被噴出部 58G、被噴出部58B。被噴出部58R爲應形成可以發出紅色波長帶光線之螢光層311FR的區域，被噴出部58G爲應形成可以發出綠色波長帶光線之螢光層311FG的區域 ’被噴出部5 8B爲應形成可以發出藍色波長帶光線之螢光 B 層3 1 1FB的區域。圖15(b)之基體3 0A位於和X軸方向與γ軸方向雙方平行之假想平面上。多數個被噴出部58R、58G、 • 5 8B所形成之矩陣之行方向與列方向，係分別平行於X軸方向與Y軸方向。於基體50A，被噴出部58R、58G、 5 8 B係於Y軸方向依該順序被週期性並列。另外，被噴出部5 8R間於X軸方向被間隔特定間隔並列丨列，被噴出部5 8G間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列，被噴出 φ 部5 8 B間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列。又，X 軸方向與Y軸方向互爲正交。被噴出部5 8 R之於Y軸方向之間隔L R Y、亦即間距約爲56〇vm。該間隔係和被噴出部58G之於Y軸方向之間隔LGY相同，亦和被噴出部58B之於γ軸方向之間隔 LBY相同。又，被噴出部58R之平面影像爲長邊與短邊決定之矩形狀。具體言之爲，被噴出部58R於Y軸方向之長度約爲100//m，X軸方向之長度約爲3 00//m。被噴出部58G、被噴出部58B亦具有和被噴出部58R相同之 -35- (33) 1292343 形狀、尺寸。被噴出部間之上述間隔與上述尺寸，於40 英吋尺寸之高精細電視中係對應於同一顏色所對應之畫素區域間之間隔或尺寸。圖16之製造裝置3爲，對圖15之基體50A之被噴出部58R、58G、58B之各個噴出對應之螢光材料的裝置。製造裝置3具備：噴出裝置30 0R，可對被噴出部58R 之全部塗敷螢光材料311R;乾燥裝置35 0R，用於乾燥被 ϋ 噴出部58R上之螢光材料311R;噴出裝置300G，可對被噴出部58G之全部塗敷螢光材料311G;乾燥裝置350G，用於乾燥被噴出部58G上之螢光材料311G;噴出裝置 300Β，可對被噴出部58Β全部塗敷螢光材料311Β;乾燥裝置350Β，用於乾燥被噴出部58Β上之螢光材料311Β。另外，製造裝置3具備搬送裝置370，可依噴出裝置30 0R 、乾燥裝置3 5 0R、噴出裝置3 00G、乾燥裝置3 50G、噴出裝置3 00B、乾燥裝置3 5 0B之順序搬送基體50A。搬送 φ 裝置370具備：叉型部；上下移動叉型部的驅動部；及自行移動部。圖17所示噴出裝置3 00R具備：保持液狀螢光材料 3 11R的槽301R ;軟管310R ;介由軟管310R由槽301R 被彩色濾光片材料的噴出掃描部1〇2。噴出掃描部102之構成已於第1實施形態說明，因此省略其重複說明。

噴出裝置3 00G之構成、噴出裝置3 00B之構成基本上和噴出裝置3 00R之構成相同。但是，差異在於：取代槽301R與軟管310R，噴出裝置300G具備螢光材料311G -36- (34) 1292343 用之槽與軟管。同樣地，噴出裝置3 00B與噴出裝置3〇〇r 之差異在於：取代噴出裝置300R中之槽301R與軟管 310R，噴出裝置300B具備螢光材料311B用之槽與軟管。又，本實施形態之液狀螢光材料311R、311G、311B爲發光材料之一種之同時，對應本發明之「液狀材料」。以下說明使用製造裝置3之電漿顯示裝置之製造方法。首先，使用習知網版印刷技術，於支撐基板52上形成 B 多數個位址電極54、介電質玻璃層56與間隔壁60，而獲得圖15所示基體50A。之後，藉由大氣壓下之氧電漿處理對基體50A施予親液性處理。藉由該處理使間隔壁60與介電質玻璃層56 所界定各個凹部（畫素區域之一部分）中之間隔壁60表面、與介電質玻璃層5 6表面呈親液性。彼等表面成爲被噴出部58R、58G、58B。又，依材質，有些情況下不必進行上述表面處理亦可以獲得呈現所要親液性之表面。此 φ 情況下，即使不施予上述表面處理，間隔壁60與介電質

玻璃層56所界定凹部表面成爲被噴出部58R、58G、58B 〇被形成有被噴出部58R、58G、58B之基體50A藉由搬送裝置3 70被搬送至噴出裝置3 00R之載置台106，載置於載置台1〇6。之後，如圖18(a)所示，噴出裝置 3 00R依據控制部1 12之信號，由噴頭1 14噴出螢光材料 311R而於被噴出部58R之全部形成螢光材料311R之層。具體言之爲，噴出裝置3 0 0R，係進行第1實施形態 -37- (35) 1292343 說明之塗敷步驟，而於多數個释噴出部58R之各個塗敷螢光材料3 1 1 R。於基體50A之被噴出部58R全部形成螢光材料311R 之層時，搬送裝置370使基體50A位於乾燥裝置350R內。使被噴出部58R上之螢光材料311R完全乾燥而於被噴出部58R上獲得螢光層311FR。之後，搬送裝置370使基體5 0A位於噴出裝置300G φ 之載置台106。之後，如圖18(b)所示，噴出裝置300G 依據控制部112之信號，由噴頭114噴出螢光材料311G 而於被噴出部58G之全部形成螢光材料311G之層。 _ 具體言之爲，噴出裝置300G，係進行第1實施形態說明之塗敷步驟，而於多數個被噴出部58G之各個塗敷螢光材料3 1 1 G。於基體50A之被噴出部58G之全部形成螢光材料 311G之層時，搬送裝置3 70使基體50A位於乾燥裝置 Φ 350G內。使被噴出部58G上之螢光材料311G完全乾燥而於被噴出部58G上獲得螢光層311 FG。之後，搬送裝置370使基體5 0A位於噴出裝置300B 之載置台106。之後，如圖18(c)所示，噴出裝置300B 依據控制部112之信號，由噴頭114噴出螢光材料311B 而於被噴出部58B之全部形成螢光材料311B之層。具體言之爲，噴出裝置3 00B，係進行第1實施形態說明之塗敷步驟，而於多數個被噴出部58B之各個塗敷螢光材料311B 〇 -38- (36) 1292343 於基體50A之被噴出部58B之全部形成螢光材料 3 1 1B之層時，搬送裝置3 70使基體50A位於乾燥裝置 350B內。使被噴出部58B上之螢光材料311B完全乾燥而於被噴出部58B上獲得螢光層311FB。經由以上製程，基體50A成爲電漿顯示裝置之背面基板50B (圖19)。之後，如圖19所示，將背面基板50B、前面基板 B 50C藉由習知方法進行貼合而得電漿顯示裝置50。前面基板5 0C具有：玻璃基板68 ;於玻璃基板68上互相平行被施予圖型化的顯示電極6 6A與顯示掃描電極6 6B;覆蓋顯示電極66A與顯示掃描電極66B而形成的介電質玻璃層 64 ;及形成於介電質玻璃層64上的MgO保護層62。背 ~ 面基板50B與前面基板50C，係以背面基板50B之位址電極54和前面基板50C之顯示電極66A ·顯示掃描電極 66B互爲正交而被定位。於間隔壁60包圍之格（畫素區 φ 域）藉由特定壓力封入放電氣體69。依本實施形態，可增長噴出裝置3 0 OR、3 00G、及 300B之噴頭114之壽命。此乃因爲，和被噴出部58R、 58G、58B不對應之噴嘴118T (第2噴嘴群GB所屬噴嘴 118T)亦可以分擔螢光材料311R、311G、311B之噴出。

另外，依本實施形態，可維持製造裝置3之穩定性之同時進行塗敷步驟。此乃因爲，噴出裝置300R、300G、及3 00B之噴頭114中之全部噴嘴118T，係於第1掃描期間與第2掃描期間之至少1期間中噴出螢光材料之液滴D -39- (37) 1292343 ，結果長時間不進行噴出之噴嘴118T不存在。因此，可防止塗敷步驟中螢光材料之固著於噴嘴118T內。 (第5實施形態）以下說明本發明適用具備電子放出元件的影像顯示裝置之製造裝置之例。圖20 ( a ) 、（ b )所示基體70A，係藉由後述製造裝 B 置3(圖21)之處理而成之影像顯示裝置之電子源基板 7 0B之基板。基體70 A具有矩陣狀配置之多數個被噴出部 78 〇 _ 具體言之爲，基體70 Α具有：基體72;位於基體72 上Na(鈉）擴散防止層74 ;位於Na擴散防止層74上的多數個元件電極7 6A、76B;位於多數個元件電極7 6A上的多數個金屬配線79A ;及位於多數個元件電極76B上的多數個金屬配線79B。多數個金屬配線79A之各個具有朝Y φ 軸方向延伸之形狀。另外，多數個金屬配線79B之各個具有朝X軸方向延伸之形狀。於金屬配線79A與金屬配線 79B之間形成絕緣膜75，因此金屬配線79A與金屬配線 7 9B被電絕緣。包含1對元件電極76A與元件電極76B之部分，對應於1個畫素區域。 1對元件電極76A與元件電極76B互相僅分離特定間隔，於Na擴散防止層74上呈對向。某一畫素區域對應之元件電極76A，係電連接於對應之金屬配線79A。又，該 -40- (38) 1292343 畫素區域對應之元件電極76B則電連接於對應之金屬 79B。本說明書中有時將組合基體72與Na擴散防止之部分標記爲支撐基板。於基體70A之各個畫素區域中，元件電極76A 部分、元件電極76B之一部分、以及露出於元件電極 : 與元件電極76B間之Na擴散防止層74，係對應於被部78。具體言之爲，被噴出部78爲應形成導電性 φ 411F (圖24)之區域，導電性薄膜411F係覆蓋元件 76A之一部分、元件電極76B之一部分、與元件電極、76B間之間隙而形成。於圖20 ( b )，如虛線所示 . 實施形態之被噴出部7 8之平面形狀爲圓形。如上述，本發明之被噴出部之平面形狀亦可爲由X座標範圍座標範圍決定之圓形。圖20 ( b )之基體70A位於和X軸方向與Y軸雙方平行之假想平面上。多數個被噴出部78所形成 # 陣之行方向與列方向，係分別平行於X軸方向與Y 向。亦即，於基體70A，多數個被噴出部78係並列軸方向與Y軸方向。又，X軸方向與Y軸方向互爲〇被噴出部7 8之於Y軸方向之間隔LRY、亦即間爲190//m。被噴出部78R於X軸方向之長度（X座圍之長度）約爲100/zin，γ軸方向之長度（X座標之長度）約爲100 // m。被噴出部78間之上述間隔與尺寸’於40英吋尺寸之高精細電視中係對應於畫素配線層74 之一 76A 噴出薄膜電極 76A ，本說明與Y 方向之矩軸方於X 正交距約標範範圍上述區域 -41 - (39) 1292343 間之間隔或尺寸。圖21之製造裝置4爲，對圖20之基體70A之被噴出部78之各個噴出導電性薄膜材料411的裝置。具體言之爲，製造裝置4具備：噴出裝置400，可對被噴出部78 之全部塗敷導電性薄膜材料411;及乾燥裝置450，用於乾燥被噴出部78上之導電性薄膜材料4 1 1。另外，製造裝置4具備搬送裝置4 70，可依噴出裝置400、乾燥裝置 B 45 0之順序搬送基體70A。搬送裝置470具備：叉型部·，上下移動叉型部的驅動部；及自行移動部。圖22所示噴出裝置400具備：保持液狀導電性薄膜 . 材料411的槽401;軟管410;介由軟管410由槽401R供給導電性薄膜材料411的噴出掃描部102。噴出掃描部 1 02之構成已於第1實施形態說明，因此省略其重複說明。又，本實施形態中，液狀導電性薄膜材料4 1 1爲有機鈀 (Pd )溶液。又，本實施形態之液狀導電性薄膜材料4 1 1 • 爲本發明之「液狀材料」之一例。以下說明使用製造裝置4之影像顯示裝置之製造方法。首先，於鈉玻璃等構成之基體72上，形成以Si02爲主成份之Na擴散防止層74。具體言之爲，使用濺鍍法於基體72上形成厚度l//m之Si02膜而獲得Na擴散防止層 74。之後，於Na擴散防止層74上藉由濺鍍法或真空蒸鍍法形成厚度5 nm之Ti (鈦）層。之後，使用微影成像技術及蝕刻技術，由該Ti層形成多數對位於僅互相分離特定距離的1對元件電極76A與元件電極76B。 -42 - (40) 1292343 之後，使用網版印刷技術於Na擴散防止層74與多數個元件電極76 A上塗敷Ag糊並施予燒結而形成朝Y軸方向延伸之多數個金屬配線79A。之後，使用網版印刷技術於各金屬配線79A之一部分塗敷玻璃糊並燒結，而形成絕緣膜75。之後，使用網版印刷技術於Na擴散防止層74 與多數個元件電極76B上塗敷Ag糊並燒結，而形成朝X 軸方向延伸之多數個金屬配線79B。又，製作金屬配線 B 7 9B時，塗敷Ag糊以使金屬配線79B介由絕緣膜75與金屬配線79 A呈交叉。藉由上述製程獲得圖20之基體 70A。之後，藉由大氣壓下之氧電漿處理對基體·70Α施予親液性處理。藉由該處理使元件電極76Α表面之一部分、元件電極76Β表面之一部分、以及露出於元件電極76Α 與元件電極76Β間的支撐基板表面呈親液性。彼等表面成爲被噴出部7 8。又，依材質，有些情況下不必進行上述 φ 表面處理亦可以獲得呈現所要親液性之表面。此情況下，即使不施予上述表面處理，元件電極76Α表面之一部分、元件電極76Β表面之一部分、以及露出於元件電極76 A 與元件電極76B間的Na擴散防止層74之表面成爲被噴出部78。形成有被噴出部78之基體70A藉由搬送裝置470被搬送至噴出裝置400之載置台106，載置於載置台106。之後.，如圖23所示，噴出裝置400依據控制部1 12之信號，由噴頭114噴出導電性薄膜材料411而於被噴出部 -43- (41) 1292343 78之全部形成導電性薄膜411F。具體言之爲，噴出裝置400，係進行第1實施形態說明之塗敷步驟，而於多數個被噴出部78之各個塗敷導電性薄膜材料4丨i。又’本實施形態中，控制部1 1 2對噴頭1 1 4供給信號 ’以使著彈於被噴出部78上的導電性薄膜材料4 1 1之液滴直徑在60#m〜80/zm範圍內。於基體70A之被噴出部 φ 78之全部形成導電性薄膜材料411之層時，搬送裝置470 使基體70A位於乾燥裝置45 0R內。使被噴出部78上之導電性薄膜材料411完全乾燥而於被噴出部78上獲得以 . 氧化鈀微主成份之導電性薄膜411F。如上述說明，於各個畫素區域形成覆蓋元件電極76 A表面之一部分、元件電極76B表面之一部分、以及露出於元件電極76A與元件電極76B間的Na擴散防止層74的導電性薄膜41 1F。依本實施形態，可增長噴出裝置 400R、400G、及 φ 4 00B之噴頭114之壽命。此乃因爲，和被噴出部78不對應之噴嘴118T (第2噴嘴群GB所屬噴嘴118T)亦可以分擔導電性薄膜材料4 1 1之噴出。另外，依本實施形態，可維持製造裝置4之穩定性之同時進行塗敷步驟。此乃因爲，噴出裝置400之噴頭114 中之全部噴嘴1 1 8T，係於第1掃描期間與第2掃描期間之至少1期間中噴出導電性薄膜材料之液滴D，結果長時間不進行噴出之噴嘴1 18T不存在。因此，可防止塗敷步驟中導電性薄膜材料之固著於噴嘴1 1 8 T內。 -44 - (42) 1292343 之後，於元件電極76A與元件電極76B之間施加脈衝狀特定電壓，而於導電性薄膜411F之一部分形成電子放出部411D。又，元件電極76A與元件電極76B之間之電壓施加，較好是於有機物環境下與真空條件下分別進行。如此則，電子放出部411D之電子放出效率更高。元件電極76A、與對應之元件電極7 6B、與設有電子放出部 411D之導電性薄膜411F成爲電子放出元件。各個電子放出元件分別對應於各個畫素區域。經由以上製程，如圖24所示，基體70A成爲電子源基板70B。之後，如圖25所示，將電子源基板70B、前面基板 70C藉由習知方法進行貼合而得影像顯示裝置70。前面基板70C具有：玻璃基板82;於玻璃基板82上呈矩陣狀配置之多數個螢光部84;覆蓋多數個螢光部84的金屬板86 。金屬板86作爲電極功能用於加速電子放出部41 1D放出之電子束。電子源基板70B與前面基板70C被定位成使多數個電子放出元件之各個分別和多數個螢光部84對向.。又，於電子源基板70B於前面基板70C之間保持真空狀態。具備上述電子放出元件之影像顯示裝置70稱爲SED (Surface- Conduct! on Electron-Emitter Display )或 FED (Field Emission Display)。又，本說明書中有些情況下將液晶顯示裝置、EL顯示裝置、電漿顯示裝置、使用電子放出元件之影像顯示裝置等稱爲「光電裝置」。本說明 -45- (43) 1292343 書中所謂「光電裝置」並不限於使用雙折射性變化、或旋光性變化、或光散射性變化等之光學特性變化（所謂光電效果）之裝置，而是包含依據信號電壓之施加而射出、透過、或反射光的全部裝置。【圖式簡單說明】圖1 :第1實施形態之噴出裝置之模式圖。 ^ 圖2:第1實施形態之噴頭中噴嘴之配置模式圖。圖3(a) 、( b ):第1實施形態之噴頭中噴出部之 .模式圖。 . 圖4 :第1實施形態之噴出裝置之控制部之功能方塊圖。圖5 ( a ):第1實施形態之基體斷面之模式圖，（b ):第1實施形態之基體上面之模式圖。圖6 ··第1實施形態之塗敷步驟之模式圖，表示對基 φ 體之第1掃描期間之模式圖。圖7 :第1實施形態之塗敷步驟之模式圖，表示對基體之第2掃描期間之模式圖。圖8:第1〜第5實施形態之「X軸方向之噴出可能範圍」之說明圖。 W 9 :第2實施形態之彩色濾光片基板之製造裝置之模式圖。圖1 0 ··第2實施形態之彩色濾光片基板之製造方法之圖。 -46- (44) 1292343 圖1 1 ( a ):第3實施形態之基體斷面之模式圖，（ b ):第3實施形態之基體上面之模式圖。圖1 2 :第3實施形態之EL顯示裝置之製造裝置之模式圖。圖1 3 :第3實施形態之噴出裝置之模式圖。圖14:第3實施形態之EL顯示裝置之製造方法之說明圖。 B 圖1 5 ( a ):第4實施形態之基體斷面之模式圖，（ b ):第4實施形態之基體上面之模式圖。圖16:第4實施形態之電漿顯示裝置之製造裝置之 _ 模式圖。圖1 7 :第4實施形態之噴出裝置之模式圖。 ' 圖1 8 :第4實施形態之電漿顯示裝置之製造方法之說明圖^ 圖1 9 :第4實施形態之製造方法所製造電漿顯示裝 φ 置之斷面之模式圖。圖20 ( a ):第5實施形態之基體斷面之模式圖，（ b ):第5實施形態之上面之模式圖。圖2 1 :第5實施形態之顯示裝置之製造裝置之模式圖。圖22 :第5實施形態之噴出裝置之模式圖。圖23 :第5實施形態之顯示裝置之製造方法之說明圖。圖24 :第5實施形態之顯示裝置之製造方法之說明 -47- (45) 1292343 圖。圖25 :第5實施形態之製造方法所製造顯示裝置之斷面之模式圖。圖26 :第1〜第5實施形態之掃描範圍之說明模式圖【主要元件符號說明】

1 :製造裝置 10A :基體 100R、100G、100B:噴出裝置 111R、111G、Π1Β:彩色濾光片材料 1 1 8 T :噴嘴 1 1 8R ：基準噴嘴 GA :第1噴嘴群 GB :第2噴嘴群

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Claims

(1) 1292343 十、申請專利範圍 1·—種噴出裝置，係將液狀材料塗敷於基體之被噴出部者，其特徵爲：具備：載置台，用於載置上述基體；噴頭’爲具有多數個噴嘴的噴頭，上述多數個噴嘴之各個係屬於鄰接X軸方向的第1噴嘴群與第2噴嘴群之其中任一；.及掃描部’於第1掃描期間內與第2掃描期間內，係使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方，朝和上述X軸方向正交之Y軸方向進行相對移動；構成上述第1噴嘴群之噴嘴之各個，於上述第1掃描期間內係位於上述被噴出部之沿著上述X軸方向之噴出可能範圍內，構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個，於上述第1掃描期間內係位於上述噴出可能範圍外，上述掃描部，於上述第1掃描期間與上述第2掃描期間之間，係使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方，沿著上述X軸方向進行相對移動，據以使構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個位於上述噴出可能範，上述噴頭，於上述第1掃描期間係由構成上述第1噴^ 群之噴嘴對上述被噴出部噴出上述液狀材料；上述噴頭，於上述第2掃描期間係由構成上述第2胃嘴群之噴嘴對上述被噴出部噴出上述液狀材料。 2· —種材料塗敷方法，係使用噴出裝置將液狀材料 -49- (2) 1292343 塗敷於基體之被噴出部者，該寧出裝置爲具有：載置台’ 用於載置上述基體；及噴頭，爲具有多數個噴嘴的噴頭’ 上述多數個噴嘴之各個係屬於鄰接x軸方向的第1噴嘴群與第2噴嘴群之其中任一者；其特徵爲包含以下步驟：步驟（A )，係於第1掃描期間內，使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述x軸方向正交之Y軸方向進行相對移動，據此而使構成上述第1 g 噴嘴群之噴嘴之各個位於上述被噴出部之沿著上述X軸方向之噴出可能範圍內之同時，使構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個位於上述噴出可能範圍外； _ 步驟（B)，係於第2掃描期間內，使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述X軸方向正交之Y軸方向進行相對移動，據此而使構成上述第2 噴嘴群之噴嘴之各個位於上述噴出可能範圍；步驟（C )，係於上述第1掃描期間內，由構成上述馨第1噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部噴出上述液狀材料；步驟（D)，係於上述第2掃描期間內，由構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部噴出上述液狀材料。 3· —種彩色濾光片基板之製造方法，係使用噴出裝置之彩色濾光片基板之製造方法，該噴出裝置爲具有：載置台，用於載置上述基體；及噴頭，爲具有多數個噴嘴的噴，頭’上述多數個噴嘴之各個係屬於鄰接X軸方向的第3 -50- (3) 1292343 噴嘴群與第2噴嘴群之其中任一者；其特徵爲包含以下步驟：步驟（A)，係於第1掃描期間內，使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述X軸方向正交之Y軸方向進行相對移動，據此而使構成上述第1 噴嘴群之噴嘴之各個位於上述被噴出部之沿著上述X軸方向之噴出可能範圍內之同時，使構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個位於上述噴出可能範圍外；步驟（B )，係於第2掃描期間內，使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述X軸方向正交之Y軸方向進行相對移動，據此而使構成上述第2 噴嘴群之噴嘴之各個位於上述噴出可能範圍；步驟（C)，係於上述第1掃描期間內，由構成上述第1噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部噴出液狀之彩色濾光片材料；步驟（D )，係於上述第2掃描期間內，由構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部噴出上述液狀之彩色濾光片材料。 4· 一種EL (電激發光）顯示裝置之製造方法，係使用噴出裝置之EL (電激發光）顯示裝置之製造方法，該噴出裝置爲具有：載置台，用於載置上述基體；及噴頭，爲具有多數個噴嘴的噴頭，上述多數個噴嘴之各個係屬於鄰接X軸方向的第1噴嘴群與第2噴嘴群之其中任一者 :其特徵爲包含以下步驟： -51 - (4) 1292343 步驟（A)，係於第1掃描期間內，使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述X軸方向正交之Y軸方向進行相對移動，據此而使構成上述第1 噴嘴群之噴嘴之各個位於上述被噴出部之沿著上述X軸方向之噴出可能範圍內之同時，使構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個位於上述噴出可能範圍外；步驟（B)，係於第2掃描期間內，使上述載置台與 _ 上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述X軸方向正交之Y軸方向進行相對移動，據此而使構成上述第2 .噴嘴群之噴嘴之各個位於上述噴出可能範圍； _ 步驟（C)，係於上述第1掃描期間內，由構成上述第1噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部噴出液狀之發光材料；步驟（D )，係於上述第2掃描期間內，由構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部噴出上述液狀之 φ 發光材料。 5. —種電漿顯示裝置之製造方法，係使用噴出裝置之電漿顯示裝置之製造方法，該噴出裝置爲具有：載置台，用於載置上述基體；及噴頭，爲具有多數個噴嘴的噴頭，上述多數個噴嘴之各個係屬於鄰接X軸方向的第1噴嘴群與第2噴嘴群之其中任一者；其特徵爲包含以下步驟步驟（A )，係於第1掃描期間內，使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述X軸方 -52- (5) 1292343 向正交之Y軸方向進行相對移動，據此而使構成上述第1 噴嘴群之噴嘴之各個位於上述被噴出部之沿著上述χ # 方向之噴出可能範圍內之同時，使構成上述第2噴嘴群t 噴嘴之各個位於上述噴出可能範圍外；步驟（B )，係於第2掃描期間內，使上述載置台與上述噴頭之其中至少一方相對於另一方朝和上述X軸方向正交之Y軸方向進行相對移動，據此而使構成上述第2 噴嘴群之噴嘴之各個位於上述噴出可能範圍；步驟（C)，係於上述第1掃描期間內，由構成上述第1噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部噴出液狀之螢光材料；步驟（D )，係於上述第2掃描期間內’由構成上述第2噴嘴群之噴嘴之各個對上述被噴出部噴出上述液狀之螢光材料。

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