TWI287113B - A method of manufacturing a substrate with concave portions, a substrate with concave portions, a microlens substrate, a transmission screen, and a rear projection - Google Patents

Description

1287113 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種製造具有凹部之基體之方法、具有凹 部之基體、微鏡片基體、透射屏及後投射器。 【先前技術】 近年來，對後投射器之需求漸趨強勁，其適用作家庭影 院監視器、一大螢幕電視之類的顯示器。在用於後投射器 之透射屏中，一般使用透鏡鏡片。但是，具有此類透鏡鏡 片之一傳統的後投射器有一問題係：其垂直視角較小，然 而其橫向視角較大（即，存在視角偏移）。 為解決此-問題，建議採用—透射屏，其使用—微鏡片 陣列薄片（微鏡片基體）來替代一透鏡鏡片（例如，史見 π>-α-2_-321675)。但是，在此一透射屏中，由於該透射 屏具有該微鏡片陣列薄片而該微鏡片陣列薄片十複數個微 鏡片係-方形晶格方式配置，因&，特定言之，有一問題 係、穿過每-微鏡片的光會互相干擾，而與使用透鏡鏡片的 情況相比，容易產生Φ幻·。、仓 ^ . 座玍农紋。進一步，存在以下問題：由於 該等微鏡片係以方形晶格方式之類的配置，因此具有該等 .微鏡片的透射屏之光使用效率變低，令其對比度變低，而 •在其視角特被中會產生在一預定水平角度該透射屏亮度明 顯變暗之-現象（所謂的「特定繪圖」現象）。 【發明内容】 本發明之-目的係提供—種透射屏與後投射器，其能防 止產生□光干擾所致之雲紋並可具有極佳的視角特徵。 105843.doc 1287113 本發明之-目的係提供-種可適用於製造上述透射屏及 後投射器之微鏡片基體以及具有複數個凹部而用於製造該 微鏡片基體之基體。 進步，本發明之另一目的係提供一種有效率地製造具 有上述複數個凹部之基體之方法。 為了實現上述目的，在本發明之一方面，本發明係關於 一種製造具有複數個凹部之基體之方法。該基體6係用於製 造具有複數個作為凸鏡片而欲利用該複數個凹部來形成的 微鏡片之微鏡片基體。本方法包括以下步驟·· 製備一基底基體，該基底基體具有二個主要表面； 在該基底基體之二主要表面之一上形成至少一層； 在该至少一層中形成複數個開口以形成一遮罩；該複數 個開口中每一開口之直徑在〇·8至20 μιη範圍内； 藉由讓具有上面形成有該複數個開口的遮罩之基底基體 接文一蝕刻處理，以在該基底基體中形成該複數個凹部， 而使得所形成的每一凹部皆實質上為橢圓形；以及 從該基底基體移除該遮罩， 其中該複數個所形成的凹部係以一碎格子方式配置於該 基底基體上， 其中若所形成的凹部中每一凹部在垂直於該基底基體的 主要表面之一方向上之深度係定義為D (μιη)，而藉由將所 形成的凹部中每一凹部在一長軸方向上之長度與所形成的 開口中母一開口之直徑之間的差除以二而獲得之值係定義 為S (μηι) ’則〇與S滿足以下關係式：〇4〇，以及 105843.doc 1287113 其中’從該基底基體之-主要表面上方觀看，在形成該 複數個凹部的可用區域中所有該複數個已形成的凹部所佔 據的面積相對於整個可用面積之比率為9〇%或更高。 此點使得可以提供-種製造具有複數個凹部之基體之方 法，該基體可適用於製造能防止產生因光干擾所致的雲紋 且具有極佳的視角特徵之透射屏與後投射器。 在依據本發明製造具有複數個凹部之基體之方法中，較 佳的係：在開π形成步驟中，該複數個開σ之形成使得^ 從該基底基體之-主要表面上方觀看時，—第—行凹^ 相對於與該第—行凹部相鄰之—第二行凹部而偏移，此偏 移相當於該複數個凹部中每一凹部在其一短軸方向上之一 半間距。 因此，利用具有藉本發明之方法製造出的複數個凹部之 基體來製造具有該微鏡片基體之透射屏與後投射器，能防 止產生因光干擾所致的雲紋且具有極佳的視角特徵。 在依據本發明製造具有複數個凹部之基體之方法中，較 佳的係該至少一層形成步驟包括以下步驟： 在該基底基體之-主要表面上形成包含作為—主要材料 的鉻之一第一層；以及 在該第一層上形成包含作為一主要材料的氧化鉻之一第 二層。 此舉使得必定可以容易地形成開口且其中每一開口皆具 =一所需形狀’並在進行钱刻程序時促進該基底基體與該 遮罩之間的黏附。因此，必$可以容易地形成該複數個凹 105843.doc 1287113 部且其中每一凹部皆具有一所需形狀。 在依據本發明製造具有複數個凹部之基體之方法中，較 佳的係該等開口形成步驟包括藉由雷射光束來照射該基底 基體’而該基底基體上面已形成該至少一層。 此舉使得必定可以容易地形成該等開口而其中每一開口 皆具有一所需形狀。 在依據本發明製造具有複數個凹部之基體之方法中，較 佳的係在該等凹部形成步驟中使用一含有二氟化氫銨的液 體用作一蝕刻劑來實施該蝕刻程序。 此舉使得可以有效地對該蝕刻基體進行蝕刻，而同時防 止對該遮罩之類產生足以致害的影響，而因此必定可以容 易地形成該複數個凹部且其中每一凹部皆具有一所需形 狀。進一步，由於含有4%重量百分比的二氟化氫銨之一溶 液係無毒的，因此必定更可以防止其在應用期間對人體造 成影響以及對環境造成影響。 在依據本發明製造具有複數個凹部之基體之方法中，較 佳的係在該基底基體製備步驟中使用包含一具有透明度的 材料之基底基體。 因此，例如，可以適當地使用所獲得之具有複數個凹部 的基體作為透射屏之及/或後投射器一組件（鏡片基體）。進 一步’例如，在使用所獲得之具有複數個凹部的基體來製 造微鏡片基體之情況下，可以適當地實施諸如形成一黑色 矩陣之程序而不從該微鏡片基體移除具有複數個凹部之基 體。 105843.doc 1287113 在依據本發明製造具有複數個凹部之基體之方法中，較 佳的係，若實質上為橢圓形的所形成凹部中每一凹部在其 短軸方向上之長度係疋義為L1 (μηι)，而所形成凹部中每一 凹部在其長軸方向上之長度係定義為La (μιη)，則^與^滿 足以下關係式：0.10<Li/L2s0.99。 因此，利用具有藉本發明之方法製造出的複數個凹部之 基體來製造具有該微鏡片基體之透射屏與後投射器，能防 止產生因光干擾所致的雲紋且具有極佳的視角特徵。 在本發明之另一方面，本發明係關於一種具有複數個凹 部之基體。具有複數個凹部之基體係藉使用上述本發明之 方法來製造。 此點使得可以提供具有複數個凹部之基體來製造一微鏡 片基體，該微鏡片基體可適用於製造能防止產生因光干擾 所致的雲紋且具有極佳的視角特徵之透射屏與後投射器。 在本發明之另一方面，本發明係關於一種微鏡片基體。 該微鏡片基體係藉使用如上所述依據本發明具有複數個凹 部之基體來製造，其中該微鏡片基體具有二個主要表面， 而複數個微鏡片係形成於該微鏡片基體之一主要表面上。 此點使得可以提供一種微鏡片基體，其可適用於製造能 防止產生因光干擾所致的雲紋且具有極佳的視角特徵之透 射屏與後投射器。 在本發明之微鏡片基體中，較佳的係該複數個微鏡片係 形成於該微鏡片基體之一主要表面上而使得當從該微鏡片 基體之一主要表面上方觀看時，一第一行微鏡片係相對於 105843.doc 1287113 與該第一行微鏡片相鄰之一第二行微鏡片而偏移，此偏移 相當於該複數個微鏡中每一微鏡在其一短轴方向上之一半 間距。 因此，具有本發明之微鏡片基體的透射屏及後投射器能 防止產生因光干擾所致之波動像差且具有極佳的視角特 徵。 在本發明之微鏡片基體中，較佳的係，若具有實質上為 橢圓形的所形成微鏡片中每一微鏡片在其短軸方向上之長 度係定義為L! (μηι)，而所形成微鏡片中每一微鏡片在其長 軸方向上之長度係定義為L2 (μηι)，則1^與L2滿足以下關係 式：0.10^1^/1^50.990 因此，利用具有本發明之複數個凹部的基體來製造該微 鏡片基體，而具有該微鏡片基體之透射屏與後投射器能防 止產生因光干擾所致的雲紋且具有極佳的視角特徵。 在本發明之微鏡片基體中，較佳的係該微鏡片基體係包 含具有透明度之一材料。 因此，例如，可以適當地使用所獲得之微鏡片基體作為 透射屏及/或後投射器之一組件。 如上所述，在本發明之另一方面，本發明係關於一透射 屏。本發明之透射屏包括： 一菲涅耳鏡片，在其一主要表面上係形成有複數個同心 棱鏡，該菲涅耳鏡片之該一主要表面構成其一發射表面； 以及 本發明之微鏡片基體，該微鏡片基體係配置於該菲涅耳 105843.doc -10- 1287113 鏡片之發射表面之側上而使得其—主要表面面對該菲淫耳 鏡片。 - 此舉使仔可以提供-種能防止產生因光干擾所致的雲紋 - 且具有極佳的視角特徵之透射屏。 ' 在本發明之另-方面，本發明係關於-後投射器。本發 明之後投射器包括如上所述本發明之透射屏。 此舉使得可以提供一種能防止產生因光干擾所致的雲紋 且具有極佳的視角特徵之後投射器。 • 【實施方式】 現在將參考附圖來詳細說明一種依據本發明製造具有凹 部之基體之方法、具有凹部之基體、微鏡片基體及後投射 器之較佳具體實施例。 在此方面，在本發明中，「基體」所指示之一概念包括具 有相對實質上不具可撓性之基體、薄片形 狀之基體、座A獻之基體之類。進一步，儘管本發明之微 _ 鏡片基體之類的應用不受特定限制，但在本向具體實施例 中，將針對該微鏡片基體主要係用作包括於透射屏及/或後 投射器中之一組件（凸鏡片基體）的情況進行說明。 - 首先’將說明本發明之一微鏡片基體之組態。 • 圖1係示意性顯示在依據本發明之一項較佳具體實施例 中之一微鏡片基體1之一縱向斷面圖。圖2係圖1所示微鏡片 基體1之一平面圖。現在，在下面使用圖丨所作之解說中， 為便於解說，將圖1中的左側與右側分別稱為「光入射側（或 光入射表面）」與「光發射側（或光發射表面）」。在此方面， l〇5843.d〇c -11 - 1287113 在下面的說明中，「光入射側」與「光發射側」分別指示用 於獲得-影像光之光的「光入射侧」與「光發射側」，而且 在無另行指定之情況下其並不分別指示外側光或類似物的 「光入射側」側」與「光發射側」。 該微鏡片基體1係包括於後面說明之一透射屏1〇中的一 部件。如圖1所示’該微鏡片基體1包括：一主要基體2，其 在其一主要表面（光入射表面）具有預定圖案的複數個微鏡 片21;而在其另一主要表面（光發射表面）具有由一具有光遮 蔽效應的材料形成之一黑色矩陣（光遮蔽層）3，。進一步， 若需要，該微鏡片基體1在其光入射表面（即該等微鏡片21 之每一微鏡片之光入射側）具有一有色部分（外側光吸收部 分）22 〇 該主要基體2—般係包含具有透明度之一材料。該主要基 體2之組成材料不受特定限制，但該主要材料2係包含一作 為主要材料的樹脂材料。該樹脂材料係具有一預定折射率 之一透明材料。 至於主要基體2之具體組成材料，例如可列舉的材料包 括：聚烯烴（例如聚乙烯、聚丙烯、乙烯丙烯共聚物、醋酸 乙烯丙浠共聚物（EVA)之類、環聚稀烴、變性聚烯烴、聚氯 乙烯、聚偏二氯乙烯、聚苯乙烯、聚酸胺（例如，尼龍6、 尼龍46、尼龍66、尼龍610、尼龍612、尼龍u、尼龍12、 尼龍6至12、尼龍6至66)、聚醯亞胺、聚酸胺_醯亞胺、聚碳 酸酯（PC)、聚（4-甲基戊烯-：[)、離子聚合物、丙烯酸樹脂、 丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物（ABs樹脂）、丙烯腈-丁二烯共 105843.doc -12- 1287113 聚物（AS樹脂）、丁二烯_苯乙烯共聚物、聚甲醛、聚乙烯乙 醇（PVA)、乙烯-乙烯醇共聚物（EV〇H)、聚乙烯對苯二甲酸 酯（PET)類聚酯、聚對苯二甲酸丁酯（pBT)，以及聚對苯二 曱酸環己烷（pct)、聚醚、聚醚酮（PEK)、聚醚醚酮（ρΕΕκ)、 聚醚醯亞膠、聚縮醛（P〇M)、聚氧化二甲苯、變性聚氧化 二甲苯、聚砜、聚醚颯、聚亞苯基、多芳基化合物、液晶 聚合物（例如芳香族聚酯）、聚四敗乙烯（PTFE)、氟樹脂（Z 如聚偏氟乙烯），各種熱塑性彈性體（例如，以苯乙烯為主的 彈性體、以聚烯烴為主的彈性體、以聚氟乙烯為主的彈性 體、以聚亞安酯為主的彈性體、以聚酯為主的彈性體、以 聚醯胺為主的彈性體、以聚丁二烯為主的彈性體、以轉聚 異戊二烯為主的彈性體、以碳氟橡膠為主的彈性體、以氣 化聚乙烯為主的彈性體之類），環氧樹脂、酚樹脂、尿素樹 脂^ ^聚氰胺樹脂、不飽和聚脂、以聚矽氧為主的樹脂、 以聚氨酯為主的樹脂之類；以及將該些材料中的至少一材 料作為一主要成分之共聚物、混合體及聚合物合金之類。 =步，在本發明中，可使用二或更多類該些材料之一混 =(例如，現合樹脂、聚合物合金、由使用上面所列舉材 /的二或更多材料之二或多層組成之一層壓主體）。 :成忒主要基體2的樹脂材料之絕對折射率一般高於各 =體（即，使用該微鏡片基體！時所處之大氣）之=折射 _。較佳的係’該樹脂材料之具體絕對折射率在^至丄9 :圍：。更佳的係在⑶咖範圍内，而進一步更佳的係 •至h60範圍内。若該樹脂材料之絕對折射率具有在上 -13- 1287113 述範圍内之一預定值，則可以進一步改善具有該微鏡片基 體1的透射屏1〇之視角特徵而同時保持該透射屏1〇之光使 用效率。 該微鏡片基體1具有該複數個微鏡片21，其中每一微鏡片 在其光入射表面之側（從該側允許該光進入該微鏡片基體j) 上皆具有作為一凸鏡片之一凸出的表面。在本項具體實施 例中，該等微鏡片21之每一微鏡片皆實質上為橢圓形（平坦 形狀或一實質上的包裹形狀），其中，若從該微鏡片基體1 之光入射表面上方觀看，則其垂直寬度小於橫向寬度。若 其中该等微鏡片21之每一微鏡片皆具有此一形狀，則尤其 可以改善具有該微鏡片基體1的透射屏10之視角特徵而同 日可有效率地防止產生諸如雲紋之類缺點。尤其係，在此情 況下可以改善在具有該微鏡片基體1的透射屏1〇之水平與 垂直方向上的視角特徵。 若從該微鏡片基體1之光入射表面上方觀看，該等微鏡片 2 1之每一微鏡片在其一短軸（或次要軸）方向上的長度（間 距）係定義為乙！（μηι)，而該等微鏡片21之每一微鏡片在其一 長軸（或主軸）方向上的長度係（間距）定義為L2 (μπι)，則較佳 的係Ll/L2之比率在〇·1〇至〇·99範圍内（即，較佳的係1^與1^2 滿足以下關係式：O.lO^IVLyOJ》。更佳的係其在〇.50至 〇·95範圍内，而進一步更佳的係其在0.60至0.80範圍内。藉 由將L〗/L2之比率限制於上述範圍内，上述效應可變得明顯。 較it的係’若從該微鏡片基體1之光入射表面上方觀看， 该等微鏡片21之每一微鏡片在其次要軸方向上的長度一在 105843.doc -14· 1287113 2至500 μηι範圍内。更佳的係其在2〇至3〇〇 μιη範圍内，而進 一步更佳的係其在30至1 〇〇 μιη範圍内。若該等微鏡片21之 每一微鏡片在其次要軸方向上之長度係受限於上述範圍 内’則在投射於該透射屏丨〇之影像中可以獲得足夠的解析 度而進一步提高該微鏡片基體1(包括該透射屏1〇)之生產力 而同時防止有效率地產生諸如雲紋之類的缺點。 進一步’較佳的係，若從該微鏡片基體1之光入射表面上 方觀看，該等微鏡片21之每一微鏡片在其主軸方向上的長 度L2在5至750 μιη範圍内。更佳的係其在25至5〇〇 μπι範圍 内而進步更佳的係其在50至150 μηι範圍内。若該等微 鏡片21之每一微鏡片在其主轴方向上之長度係受限於上述 範圍内’則在投射於該透射屏1 〇之影像中可以獲得足夠的 解析度並進一步提高該微鏡片基體1(包括該透射屏10)之生 產力而同時有效率地防止產生諸如雲紋之類的缺點。 此外，較佳的係該等微鏡片21之每一微鏡片在其次要軸 方向上之曲徑（下面簡稱為「微鏡片21之曲徑」）在5至15〇 範圍内。更佳的係其在15至1 5 0 μηι範圍内，而進一步更佳 的係其在25至50 μηι範圍内。藉由將該等微鏡片21之曲徑限 制於上述範圍内，可以改善具有該微鏡片基體丨的透射屏1〇 之視角特徵。特定言之，在此情況下可以改善在具有該微 鏡片基體1的透射屏10之水平與垂直方向上的視角特徵。 此外，若該等微鏡片21之每一微鏡片之高度係定義為Η (μηι)而該等微鏡片21之每一微鏡片在其一短軸（或次要軸） 方向上的長度係定義為Ll (μηι)，則Η與滿足以下關係 105843.doc 15 1287113 式：0·3 sLi/H 。更佳的係11與Li滿足以下關係式： 0.9 ，而進一步更佳的係H與L!滿足以下關係式： 1.2 .4。在11與L!滿足此一關係式之情況下，尤其可 以改善視角特徵而同時有效地防止產生因光干擾所致之φ 紋0

進一步，以一碎格子方式將該複數個微鏡片2丨配置於該 主要基體2上。藉由以此方式配置該複數個微鏡片21，可以 有效地防止產生諸如雲紋之類的缺點。另一方面，例如， 在該等微鏡片21係以一方形晶格方式或類似方式配置於該 主要基體2上之情況下，難以充分防止產生諸如雲紋之類缺 點。進一步，在該等微鏡片21係以一隨機方式配置於該主 要基體2上之情況下，難以充分提高該等微鏡片幻在一可用 區域（該等微鏡片21係形成於該區域中）所占之份額，而且難 以增強進入該微鏡片基體丨的光透射率（光使用效率）。此 外，所獲得之影像變暗。 儘管如上所述從微鏡片基體丨之主要表面上方觀看時該 等微鏡片21係以-碎格子方式配置於該主要基❿上，但較 佳的係包含複數個微鏡片21之一第一行25相對於與該第: 行25^鄰之—第二行26而偏移，此偏移相當於該等微鏡片 2:中：-微鏡片在其一短軸方向上之一半間距。此舉使得 尤其可以改善視角特徵而同時有效地防止因光干擾所致之 雲紋。 厂/丨处’猎由嚴袼指 β〜W ▼狐现门“心瓜狀、該等微 鏡片21之配置圖案、該等微鏡片。之所占份額之類，尤其 105843.doc -16- 1287113 可以有效地改善視角特徵而同時防止產生因光干擾所致之 光柵波動。可以使用具有藉由一方法（後面將會說明）而製造 的複數個凹部之一基體來製造如上所述之微鏡片基體。 此外，該等微鏡片2 1之每一微鏡片係形成為一朝其光入 射側突出之凸鏡片，且其設計使得其焦點f係定位於提供於 該黑色矩陣（光遮蔽層）3上的該等開口 3 1之每一開口附近。 換言之，從實質上垂直於該微鏡片基體1之一方向進入該微 鏡片基體1的平行光La(後面說明的來自菲涅耳鏡片5之平 行光La)係精由該微鏡片基體1之該等微鏡片21之每一微鏡 片而聚光’且係聚焦於提供於該黑色矩陣（光遮蔽層）3上的 該等開口 3 1之每一開口附近的焦點f上。以此方式，由於穿 過該等微鏡片21之每一微鏡片的光聚焦於該黑色矩陣3的 該等開口 3 1之每一開口附近，因此尤其可以提高該微鏡片 基體1之光使用效率。進一步，由於穿過該等微鏡片21之每 一微鏡片的光聚焦於每一開口 3 1附近，因此可以減小該等 開口 31之每'一開口之面積。 進一步’當從該微鏡片基體1之光入射表面觀看（即圖2所 示之一方向）時，較佳的係在一形成該等微鏡片2 1之可用區 域中所有微鏡片21所佔據的面積（投射面積）相對於整個可 用面積之比率為90%或更高。更佳的係該比率為96〇/❶或更 高’進一步更佳的係該比率在97至99.5%範圍内。若該可用 區域中所有微鏡片（凸鏡片）21所佔據的面積相對於整個可 用面積之比率為90%或更高，則可以減少穿過除該等微鏡 片21所處區域外之一區域的筆直光，而此舉使得可以進一 105843.doc -17- 1287113 步提高具有該微鏡片基體1的透射屏10之光使用效率。在此 方面，若從該微鏡片基體1之光入射表面上方觀看，一微鏡 片21在從該微鏡片21中心至一非形成區域（該區域上面未 形成包括該一微鏡片2 1在内的四個相鄰微鏡片21)中心的 方向上之長度係定義為L3 (μιη)，而介於該一微鏡片21中心 與邊非形成區域中心之間的長度係定義為L4 (μηι)，則在形 成該等微鏡片21之一可用區域中所有微鏡片21所佔據之一 面積（投射面積）相對於整個可用面積之比率可近似為線片 斷長度L3 (μηι)與線片斷長度L4 (μηι)之比率（即，L3/L4 X 1〇〇 (%))(參見圖2)。 進一步，如上所述，在該微鏡片基體1之光入射表面上 (即’在該等微鏡片21中每一微片之光入射侧上）提供該有色 部分22。從該微鏡片基體之光入射表面進入該微鏡片基體1 之光能有效地穿透此一有色部分22，而該有色部分22具有 防止外側光反射到該微鏡片基體1之光發射側之功能。藉由 提供此一有色部分22，可以獲得具有極佳對比度之一投射 影像。 特定言之，在本發明中，該有色部分22係藉由將一著色 液體（特定言之，係具有一特殊的組成物特徵之著色液體） 提供到該主要基體2上而形成（下面將會說明）之一部分。為 詳細解說此特殊特徵，該有色部分22係藉由將一著色液體 (下面將會說明）提供到該主要基體2上以致該著色液體中之 一著色劑浸潰該主要基體2之内側（微鏡片21)而形成之一部 分。在以此方式形成該有色部分22之情況下，與該有色部 105843.doc -18- 1287113 分22係層壓於該主要基體2的外部周邊表面上之情況下相 比’可以提高該有色部分22之黏性。因此，舉例而言，必 疋更可以防止因介於該有色部分22與該主要基體2之間介 面附近的折射率變化而對該微鏡片基體的光學特徵產生有 害影響。 進一步，由於該有色部分22係藉由將該著色液體提供到 β亥主要基體2上而形成，因此可以減小該等個別部分的厚度

隻化（特疋§之，係不對應該主要基體2的表面形狀之厚度 變化）。此點使得可以防止在該投射影像中產生色彩異質性 之類的缺點。此外，儘管該有色部分22係包含一包含一著 色劑之材料，但其主要成分一般與該主要基體2(微鏡片基 體1)之主要成分相同。因此，在介於該有色部分22與另一 無色部分之間的邊界附近難以產生折射率之類的快速變 匕因此，谷易對该微鏡片基體1之光學特徵進行整體設 計，而且可以穩定該微鏡片基體丨之光學特徵並提高宜可 性。 ’、 琢有色層22之色彩密度 _ 丁入丨尤叫ί尔，攸道 光'^透射度而以γ值來標示的該有色層22之色彩密名 (D65/2。視角）在20至85%範圍内。更佳的係其在35至7〇〇/^ 圍内。在該有色部分22中的著色劑濃度受限於上述範圍^ 之情況下，尤其可以提高藉由光穿透該微鏡片基體^而形片 的影像對比度。另一方面，在該有色部分22之色彩密度令 於上面給定的下限之情況下’該人射光之光透射率會降々 而所獲得之影像不能具有足夠的亮度^此，該影^之斐 105843.doc -19- 1287113 比度有可忐變得不夠。進一步， 产古 在4有色部分22之色彩密 又π於上面給定的上限之情 r 難以充分防止反射外側 P /、4光入射側相對之側進入兮料庐y盆麻1 ♦ L 出、二α丄 心八成锨鏡片基體1之外側 九），而且由於在光亮空間處 侧耀度（黑色耀度）之增量會變大，因t源時黑色標示的前 担一 +Λ6 J曰里Η灸大因此有可能無法充分獲得 k面投射影像對比度之效果。 严色部分22之色彩不受特別限制。較佳的係，該有色

=22之色彩係一消色差的色彩’尤其係使用其色彩係基 工色且其中混合褐色或黃色之著色劑而呈現出黑 色。進-步’較佳的係’具有特定波長用以控制光源的光 二原色（RGB)平衡之光係有選擇地吸收於該有色部分22中 或穿透該有色部分22。此舉使得可以防止外側光受到反 射可精確地表不由光穿透該鏡片基體工而形成的影像之色 調’並加寬色度座標(充分加寬色調表達式之寬度)，並因此 可表示更深的黑色。因Λ，特定言之，可以提高影像之對 比度。 此外，在该微鏡片基體丨之光發射表面上提供黑色矩陣 3在此If況下ϋ色矩陣3係包含具有一光遮蔽效應且 係以一層壓方式形成之一材料。藉由提供此一黑色矩陣3， 可以將外側光（形成一投射影像並非較佳）吸收於該黑色矩 陣3中，並因此可以改良投射於一螢幕上而具有極佳對比度 之影像。特定言之’藉由提供如上所述之有色部分22與該 黑色矩陣3，可以提高藉由該微鏡片基體丨而投射的影像之 對比度。此一黑色矩陣3具有在穿透該等微鏡片2丨之每一微 105843.doc -20- 1287113 鏡片的光之光路徑上的複數個開口 3 1。因此，藉由該等微 鏡片21之每_微鏡片而聚光的光可有效率地穿過該黑色矩 陣之開口 3 1。因此，可以提高該微鏡片基體1之光使用效率。 進一步’較佳的係該黑色矩陣3之平均厚度在0.01至5 μιη 車色圍内更佳的係其在〇 · 01至3 μιη範圍内，而進一步更佳 的係其在0·03至1 μηι範圍内。在該黑色矩陣3之平均厚度受 限於上述範圍之情況下，必定更可以更有效率地實施該黑 色矩陣3之功能而同時防止該黑色矩陣3分離及破裂之類偶 然性缺點。例如，可以改善投射到具有該微鏡片基體1之一 透射屏10之一螢幕的影像對比度。 接下來’下面將說明如上所述具有該微鏡片基體1之一透 射屏10。 图3係示思性顯示在依據本發明之一項較佳具體實施例 中具有圖1所示微鏡片基體1之一透射屏10之一縱向斷面 圖。如圖3所示，該透射屏1〇具有一菲涅耳鏡片5以及上述 微鏡片基體1。該菲涅耳鏡片5係配置於該微鏡片基體1之光 入射側表面之側上（即在用於一影像的光的入射側上），而該 透射屏10之構造使得已藉由該菲涅耳鏡片5來透射的光進 入该微鏡片基體1。 該菲涅耳鏡片5具有以一實質上為同中心的方式形成於 該菲&耳鏡片5之一光發射表面上的複數個稜鏡。該菲涅耳 鏡片5?來自一投影鏡片（圖中未顯示）而用於一投射影像之 光偏轉，並將與該微鏡片基體丨的主要表面之垂直方向平行 之平行光La輸出至該微鏡片基體i的光入射表面之側。 105843.doc ^ 21 - 1287113 在如上所述而構造的透射屏10中，藉由該菲涅耳鏡片5 7來自该投影鏡片之光偏轉而成為該平行光La。然後，該 平行光La從上面形成該複數個微鏡片21的光入射表面進入 δ亥微鏡片基體1 ’以藉由該微鏡片基體1之該等微鏡片2 1之 每一微鏡片來將該平行光La聚光，而聚光的光接著會聚焦 並穿過该黑色矩陣（光遮蔽層）3之開口 3丨。此時，進入該微 鏡片基體1之光穿透具有足夠透射度的微鏡片基體1，並接 著擴散穿透該等開口 31之光，因此，該透射屏1〇之一觀察 者（觀看者）所觀察（觀看）到者係一平坦影像。 接下來’將對具有複數個本發明之凹部（用以形成微鏡 片）而適用於製造如上所述之微鏡片基體的基體及其一製 造方法進行說明。 圖4係示意性顯示具有複數個本發明之凹部6丨的一基體6 之一縱向斷面圖。圖5係示意性顯示具有圖4所示複數個本 發明之凹部61的基體6之一製造方法之一縱向斷面圖。在此 方面，儘管在為製造微鏡片基體1而製造該基體6時用於形 成微鏡片21的複數個凹部實際上係實際上形成於該基底基 體7之一主要表面上，而在製造該微鏡片基體時複數個微鏡 片21(凸鏡片）實際上係形成於該主要基體2之一表面上，但 為了讓人理解所解說内容，圖4至6顯示具有凹部的基體6 之一部分以作強調。 首先將說明可用於製造微鏡片基體1而具有複數個凹部 61的基體6之組態。 具有用於形成微鏡片21的凹部之基體6可以係由諸如各 105843.doc -22- 1287113 種金屬材料、各種玻璃材料以及各種樹脂材料之類的任何 材料t成纟具有凹部的基體6係、由其形狀具有極佳穩定性 的任何材料形成之情況下，尤其可錢善該等凹部^之每 凹邛的形狀穩定性’而且尤其可以藉使用具有凹部的基 體來改善奴形成的該等微鏡片21之每一微鏡片之尺寸精 確度。進-步，還可以提高作為一鏡片基體的微鏡片基⑴ 2學特徵之可靠性。對於令該等凹部61具有極佳的形狀 穩定性之—材料，例如可列舉各種金屬材料、各種玻璃材 料之類。 進步，在製造一微鏡片基體1之方法中，在具有凹部的 基體6係由一具有透明度的材料形成之情況下，可在在該主 要基體2之一主要表面上形成一黑色矩陣3，而同時具有凹 部的基體6與該主要基體2緊密接觸（即，不從該主要基體2 移除具有凹部之基體6)。此舉使得可以改善主要基體2之可 處置性並可以適當地在該主要基體2上面形成該黑色矩陣 3此外，在具有凹部之基體6係由一具有透明度的材料形 成之It況下，可以適當地使用本身具有凹部之基體6作為諸 如透射屏及後投射器之類光學裝置之一組件或微鏡片基體 (即，具有作為凸鏡片的複數個凹部之微鏡片基體）。對於此 具有透明度之材料，例如可列舉各種樹脂材料、各種玻 璃材料之類。 具有用於形成微鏡片21的凹部之基體6具有一形狀，在該 形狀中該等凹部61對應於組成該微鏡片基體1之微鏡片 21 ’且邊基體6具有用於形成微鏡片21而係以與該微鏡片基 105843.doc -23- 1287113 體1的微鏡片21之配置圖案對應之方式來配置的複數個凹 部61。該等凹部61之每一凹部之大小一般實質上與該等微 鏡片21之每一微鏡片之大小相同（不同之處僅係該等微鏡 片21之每一微鏡片係一凸部而該等凹部61之每一凹部1皆 係一凹部，而且該等二者互為一對一的鏡影像關係），而且 该4凹部61具有與該等微鏡片21相同的配置圖案。 為作詳細解說，該等凹部61之每一凹部（凹部6丨用於形成 被鏡片21)皆實質上為擴圓形（或一平坦形狀、一實質上為包 裹的形狀），其中，若從具有用於形成微鏡片21的凹部之基 體6之一主要表面上方觀看，垂直長度小於橫向寬度（即， 其在一長軸方向上的長度大於其在一短軸方向上的長 度）。由於該等凹部61之每一凹部皆具有此一形狀，因此可 以適當地利用微鏡片基體1之製造，此法尤其能改善視角特 徵而同時有效率地防止產生諸如雲紋之類缺點。此外，若 該等凹部61之每一凹部皆實質上為橢圓形狀（或平面形 狀、一實質上的包裹形狀），其中若從具有用於形成微鏡片 21的凹部之基體6之一主要表面上方觀看，其垂直長度小於 其檢向見度（即’其在一長軸方向上的長度大於其在一短軸 方向上的長度），則尤其可以改善視角特徵而同時有效率地 防止產生諸如雲紋之類的缺點，即便在本身具有凹部的基 體ό係用於（例如）諸如透射屏及後投射器之類的光學裝置之 一組件而特定言之係用於一鏡片基體（即，具有作為凸鏡片 的複數個微鏡片之微鏡片基體）之情形中。在此情況下，尤 其可以改善該等水平方向與垂直方向上的視角特徵。 105843.doc -24- 1287113 進-步，若從具有凹部的基體6之外部周邊表面上方觀 看，該等凸部61之每一凹部在其一短轴（或次要轴）方向上的 長度（或間距）係;t義為Ll (μιη)，㈣等凹部61之每一凹部 在其長軸（或主軸）方向上的長度（或間距）係定義為^ ⑽），㈣佳的係Ll/L<比率在〇1〇至〇·99範圍内（即，^ 與L2毅以下關係式：G•财i/L2a99)。更佳的係在 至〇.95範圍内，而進—步更佳的係其在0.6G至G.8G範圍内。 藉由將WL2之比率限制於上述範圍内，上述效應可變得明 顯0 此外，較佳的係、，若從具有凹部的基體6之外部周邊表面 上方觀看，該等凹部61之每一凹部在其次要轴方向上的長 认在2至5〇0卿範圍内。更佳的係其在20至300 _範圍 内而進纟更佳的係其在3〇至1〇〇陶範圍内。若該等凹 4 6 1之每凹部在其次要軸方向上之長度係受限於上述範 圍内，則在投射於該透射屏1〇之影像中可以獲得足夠的解 析度而進一步提高該微鏡片I體U以A具有㈣之基體6) 生產力而同時有效率土也防止產生諸如雲紋之類的缺點。 此外，較佳的係，若從具有凹部的基體6之外部周邊表面 上方觀看’該等凹部61之每一凹部在其主軸方向上的長度 L2在5至75〇 μΐΠ範圍内。更佳的係其在25至500 圍内， 而進γ更{土的係其在5〇至15〇 _範圍Θ。若該等凹部Μ 之每凹部在其主軸方向上之長度係受限於上述範圍内， 則在投:於该透射屏1 0之影像中可以獲得足肖的解析度並 進一步提高該微鏡片基體U以及具有凹部之基體6)之生產 W5843.doc -25- 1287113 力而同時有效率地防止產生諸如雲紋之類的缺點。

此外’較佳的係該等凹部61之每—凹部在其次要轴方向 上之曲徑(下面簡稱為「凹部61之曲徑」)在5至15〇_範圍 内更仫的係其在15至15〇㈣範圍内，而進一步更佳的係 其=25至50 _範圍内。藉由將該等凹部“之曲徑限制於上 述範圍内’可以改善具有該微鏡片基體1的透射屏10之視角 特徵。特定言之’在此情況下可以改善在具有該微鏡片基 體1的透射屏10之水平與垂直方向上的視角特徵。 2外，若該等凹部61之每一凹部的深度係定義為D (㈣ 而母-凸部61在其—短軸方向上之長度係定義為卜⑽）， 則〇與1^較佳的係滿足以下關係式·· 〇·3 <Li/d $ $。更佳 的係〇與1^滿足以下關係式：〇·9红i/Hd.4，而進一步更佳 的係〇與1^滿足以下關係式·· 。在〇與乙1滿足 如上所述之一關係式之情況下，尤其可以改善欲製造的微 鏡片基體1之視角特徵而同時有效地防止產生因光干擾所 致之雲紋。 進一步，該複數個凹部61係配置於具有碎格子方式的凹 部之基體6之外部周邊表面上。藉由以此方式配置該複數個 凹部61 ’可以有效地防止產生諸如雲紋之類的缺點。另一 方面例如’在该專微鏡片61係以一方形晶格方式之類的 配置於具有凹部之基體6之外部周邊表面上之情況下，難以 充分防止產生諸如雲紋之類缺點。進一步，若該等凹部6 j 係以一隨機方式配置於具有凹部之基體6之外部周邊表面 上’則難以充分提向在形成該等凹部61之一可用區域中該 105843.doc -26- 1287113 等凹部61所占的份額，而且難以有 改善進入該微鏡片 土體及/或具有凹部的基體之光透射率（即，光使用效率）。 此外，所獲得之影像變暗。 此外，儘管當從如上所述具有凹部的基體6之一主要表面 上方觀看時，該等凹部61細—碎格子方式配置於具有凹 部之基體6上，但較佳的係當從具有凹部的基體仏一主要 表面上方觀看時’―第—行凹部61相對於與該第一行凹部 相鄰之一第二行凹部61而偏移’此偏移相當於該等凹部 61之每-凹部在其_短軸方向上之—半間距。此舉使得尤 其可以改善視角特徵而同時有效地防止因光干擾所致之雲 紋。 ^ 如上所述，藉由嚴格定義具有凹部之基體6所具有的凹部 之形狀、配置圖案、戶斤占份額之類，可以嚴格定義欲利 用具有凹部之基體6來製造的微鏡片基體丨所具有的作為凸 鏡片之微鏡片21之形狀、配置圖案、所占份額之類。因此， 尤其可以改善具有該微鏡片基體丨之螢幕之視角特徵而同 時有效防止因光干擾所致之雲紋。 在此方面，在上面的解說中，已說明該等凹部61之每一 凹部之形狀（大小）與該微鏡片基體i所具有的該等微鏡片2工 之每一微鏡片實質上相同，而該等凹部61之配置圖案與該 等微鏡片21實質上相同。但是，例如，在該微鏡片基體工 的主要基體2之組成材料往往容易收縮之情況下（即，在藉 由凝固之類方法而讓組成該主要基體2之樹脂材料收縮之 情況下），考慮到收縮百分比或類似因素，該微鏡片基體1 105843.doc -27- 1287113 所具有的該等微鏡片21之每一微鏡片與具有凹部（用於形 成祕鏡片21)的基體6所具有的凹部61之間在形狀（或大 厂）、所占份額或類似方面可能互不相同。 接下來，下面將參考圖5來說明依據本發明製造具有凹部 之基體6之方法。在此方面，儘管用於形成微鏡片21之複數 個凹α卩分61實際上係形成於一基底基體7中，但為了讓人理 解所解說内容，而在圖5中顯示該基底基體7之一部分以作 強調。 首先，在製造具有凹部的基體6時製備一基底基體7。 較佳的係將具有實質上為柱形或實質上為圓柱形之一基 底材料用於該基底基體7。進一步，還較佳的係將具有一經 過清洗之類清潔處理的表面之一基底材料用於該基底基體 7 〇 儘管對於用於該基底基體7之一組成材料，可列舉納約玻 璃、晶體玻璃、石英玻璃、鉛玻璃、鉀玻璃、硼矽酸鹽玻 璃無驗玻璃等，但其中較佳的係納約玻璃與晶體玻璃（例 如’ ne〇ce_之類）。藉使用納約玻璃、曰曰曰體玻璃或無驗玻 璃’可容易地處理用於該基底基體7之材料，而且從具有凹 部的基體6之製造成本觀點來看會有利，因為鈉鈣玻璃或晶 體玻璃相對較便宜。 曰 <A1>如圖5八所*，在所製備的基底基體7表面上形成一 遮罩8(遮罩形成程序）。然後，在該基底基體7之背表面上形 成一背表面保護膜89(即與上面形成該遮罩8的表面相對之 表面⑷。當'然，可同時形成該遮罩8與該後表面保護膜89。 105843.doc -28- 1287113 該遮罩8之組成材料受 。^1、_八： 例如可列舉如下： 二或更多類今属 孟屬、包含從該些金屬中選取的 :夕類金屬之金屬合金、該些金屬之氧 物）、矽、樹脂之類。 、驾礼化 進一步’該遮罩8可以係，例如，具有實質上均勻的 物或藉由複數個層而層壓的結構之一遮罩。 、 如上所述，該遮罩8之紐能尤為 該遮罩8且“ 特定限制，而且較佳的係 、“8具有由一以鉻作為-主要材料而形成的層與由一 以乳化鉻作為-主要材料而形成的層所構造成之一層壓姓 構。具有此—結構之料8相對於具有各種結構之各種㈣ 劑具有極佳的穩定性(即，在，程序時必定更可以保護 該基底基體7(後面將會說明）），而且藉由用雷射光束或類似 者進行照射而必定可以容易地形成該等開口 (初始孔川且 其中每一開口皆具有一所需形狀（後面將會說明）。進一步， 在該遮罩8具有如上所述之一結構之情況下，在蝕刻程序 (後面將會說明）時可適當地使用（例如）包含二氟化氫銨 (NKUHF2)之；谷液作為钱刻劑。進一步，由於含有二氟化 氫鉍之一溶液係無毒的，因此必定更可以防止其在應用期 間對人體造成影響以及對環境造成影響。此外，尤其係， 具有此一結構之遮罩8使得可以有效地減小該遮罩8之内部 應力’而且此一遮罩8對該基底基體7具有極佳的黏附性（特 定言之’即在钱刻程序時該遮罩8對該基底基體7之黏附 性）°基於該些原因，藉由使用具有上述結構之遮罩8，必 定可以容易地形成凹部6 1而其中每一凹部皆具有一所需形 105843.doc -29- 1287113 狀。 形成遮罩8之方法不受特定限制。在該遮罩8係由諸如& 及Au或金屬氧化物（例如，氧化絡）之類的任何金屬材料（包 括金屬合金）組成之情況下，例如，可藉由一蒸發方法、一 喷濺方法或類似方法來適當地形成該遮罩另一方面，在 該遮罩8係切形成之情況下，例如，可藉由-噴濺方法、 一 CVD方法或類似方法來適當地形成該遮罩8。 儘管該遮罩8之厚度還依據組成該遮罩8之材料而變化， 但較佳的係該遮罩8之厚度在G.G1至2.G μιη範圍β，而更佳 的係其在0.03至0.2 μΓη範圍^若該遮罩8之厚度低於上面 給定的下限’财可能令在初始孔形成程序（或開口形成程 序，後面將會說明）時形成的初始孔（開口）81之形狀變形， 此取決於該遮罩8之組成材料或類似因素。此外，在該蝕刻 步驟之一濕式蚀刻程序（後面將說明）期間有可能無法獲得 針對該基底基體7的遮罩部分之足夠保護。另一方面，若該 遮罩8之厚度超過上面給定的上限，則除了在該初始孔形成 程序（後面將說明）時難以形成穿透該遮罩8之初始孔81外， 還會=現由於該遮罩之内部應力而往往容易移除該遮罩8 之一知況（此取決於該遮罩g之組成材料等）。 提供背表面保護膜8 9以在後續程序時保護該基底基體7 之月表面。可藉由該背表面保護膜89來適當地防止該基底 基體7的背表面之腐蝕、劣化等。由於該背表面保護膜Μ 具有與該遮罩8相同的組態，因此，可採取類似於形成該遮 罩8之一方式而在形成該遮罩8之同時提供該背表面保護膜 105843.doc -30- 1287113 89 〇 <Α2>接下來，如圖5Β所示，將在該蝕刻處理（後面將說 明）時用作遮罩開口的複數個初始孔81係形成於該遮罩8中 (初始孔形成程序）。形成該等初始孔8丨之方法不受特定限 制，但較佳的係該等初始孔81係藉由雷射光束照射來形 成。此舉使得可以容易而確定地形成以一所需圖案配置之 初始孔81且每一初始孔皆具有一所需形狀。因此，必定更 可以控制該等凹部61之每一凹部之形狀、其配置圖案等。 進一步’藉由雷射光束照射的方式來形成該等初始孔8 i， 可以使製造具有凹部之基體6獲得較高的生產力。特定言 之’可容易地在一相對較大大小的基體上形成該等凹部。 此外’在藉由雷射光束照射來形成該等初始孔8丨之情況 下，藉由控制其照射條件，可以僅形成該等初始孔81而不 形成初始的凹部71(後面將會說明），或者除可以形成該等初 始孔8 1外還必定可以容易地形成該等初始凹部71且使得其 中該等初始凹部71的形狀、大小及其深度之變化較小。此 外，藉由雷射光束照射之方式在該遮罩8中形成該等初始孔 81，與藉由一傳統的微影蝕刻方法在一遮罩中形成開口之 情況相比，可以容易地以低成本在該遮罩8中形成該等開口 (初始孔8 1)。 進步’在藉由雷射光束照射來形成該等初始孔§ 1之情 況下，欲使用的雷射光束類型不受特定限制，但可列舉紅 寊石Μ射、半導體雷射、YAG(紀鋁石摘石）雷射、毫微微秒 雷射、玻璃雷射、YV〇4雷射、Ne-He雷射、Ar雷射、二氧 105843.doc -31 - 1287113 化碳雷射、同核複合分子雷射等。此外，還可使用諸如shg (第一谐波產生）、THG (第三諧波產生）、FHG (第四諧波產 生之類的一雷射波形。 當如圖5B所示在該遮罩8中形成該等初始孔81時，除形成 該等初始孔81外還可藉由移除該基底基體7的表面之部分 而在该基底基體7中形成初始凹部71。此舉使得在讓具有該 遮罩8的基底基體7接受該蝕刻程序（後面將說明）時可以增 加該基底基體7與蝕刻劑之接觸面積，從而可適當地開始腐 蝕。進一步，藉由調整該等初始凹部71之每一凹部之深度， 還可以調整該等凹部61之每一凹部之深度（即，該等鏡片（微 鏡片21)之最大厚度）。儘管該等初始凹部了丨之每一凹部之深 度不受特定限制，但其較佳的係5〇 μηχ或更低，而其更佳 的係在約〇· 1至〇·5 μπι範圍内。若藉由雷射光束照射的方式 來實施該等初始孔81之形成，則必定可以減小與該等初始 孔8 1 一起形成的複數個初始凹部71中每一凹部之深度變 化。此舉使得可以減小組成一具有凹部的基體6之該等凹部 61之母凹σ卩的深度變化，並因此可以減小在最終獲得之 微鏡片基體1中該等微鏡片21之每一微鏡片之大小及形狀 變化。因此，特定言之，可以減小該等微鏡片21之每一微 鏡片的直徑、焦距及鏡片厚度之變化。 欲在此處理時形成的初始孔（開口）8 1滿足相對於欲形成 於一後續步驟（即，蝕刻處理）的凹部相關之預定關係。即， 右奴在，亥後續程序時形成的該等凹部6丨之每一凹部在垂直 於孩基底基體7的主要表面之一方向上（即，在具有凹部的 105843.doc -32- 1287113 基體6之厚度方向上）之深度錢義為D (㈣，而藉由將欲 形成的該等凹部61之每一凹部在其一長軸方向上（在具有 凹部之基體6之一表面方向上)之長度與已形成的該等開口 (初始開口 )81之每一開口之直徑之間的差除以二而獲得之 值係定義為Sbm)，則E^S滿足以下關係式：〇.9〇^/^<

之:透射屏10及-後投射器3GGe以此方^，在本發明中， 儘管D與S僅需要滿足以下關係式：〜叩劇此利，但較佳 的係D與S滿足以下關係式：〇92侧〇〇,而更佳的係: ” s滿足以下關係式：0 93 ^s/D^1〇4。考慮到欲在後續處 理中形成的凹部61之形狀、配置、所占份額之類，而將欲 形成於此程序中的初始孔81形成為具有預定的配置及預定 的密度。 1·4〇。在D與S滿足此類關係式之情況下，可以製造具有該 等微鏡片21(其具有如上所述之—適當形狀及配置^微= 片基體卜藉由將此一微鏡片基體!用於一透射屏1〇及,或一 後投射器300,可以有效率地防止因光干擾而產生雲紋，而 因此’此-微鏡片基⑴可適用於製造具有極佳的視角特徵 欲於當前程序中形成的該等初始孔81之每—初始孔之形 狀及大小不受特定限制。在該等初始孔“之每一初始孔實 質上係圓形之情況下，較佳的係該等初始孔。之每一初始 孔之直徑在〇·8至20 μηι範圍内。更佳的係其在1〇至1〇卩历 乾圍内’而進一步更佳的係其在15至4㈣範圍Θ。若該等 初始孔8 1之每一初始孔之直徑係受限於上述範圍内，則必 疋可以在一蝕刻處理（後面將說明）時形成該等凹部ό 1，其中 105843.doc -33 - 1287113 邊等凹部61之每_凹部皆具有如上所述之形狀。另一方 面若孩等初始孔8 1之每一初始孔皆係一平坦形狀（例如， 實質上為橢圓形）之情況下，可以將其在該短軸方向上的長 度（即其I度）替代為其直徑。即，在欲於當前程序中形成的 忒等初始孔8 1之每一初始孔實質上為橢圓形之情況下，該 等初始孔81之每一初始孔之寬度（在其短軸方向上的長度） 不受特定限制，但該等初始孔81之每一初始孔之寬度在〇·8 至2〇μΐη範圍内。更佳的係其在1·〇至ΙΟμιη範圍内，而進一 步更佳的係其在15至4 μιη範圍内。若該等初始孔81之每一 初始孔之直徑係受限於上述範圍内，則必定可以在一蝕刻 程序（後面將說明）時形成該等凹部61，其中該等凹部61之每 一凹部皆具有如上所述之形狀。 即，在欲於當前程序中形成的該等初始孔8丨之每一初始 孔實質上為橢圓形之情況下，該等初始孔81之每一初始孔 之長度（在其長軸方向上的長度）不受特定限制，但該等初始 孔81之每一初始孔之寬度在〇9至3〇 範圍内。更佳的係 其在1.5至15,範圍内，而進—步更佳的係其在2()至6, 範圍内。若該等初始孔81之每一初始孔之寬度係受限於上 述耗圍内’則必定可以在一餘刻程序（後面將說明）時形成該 等凹口p 61 ’其中该等凹部6!之每一凹部皆具有如上所述之 形狀。 進一步，除藉由雷射光束照射外，還可藉由（例如）在將 該遮罩8形成於該基底基體7上時先在該基底基體7上以一 預定圖案來配置外物’而然後將該遮罩8形成於具有該等外 105843.doc -34- 1287113 物之基底基體7上以在該遮罩8中設計形成缺陷以便將該等 缺陷用作該等初始孔81，從而在所形成的遮罩8中形成該等 初始孔8 1。 <A3>接下來，如圖5C所示，藉由讓該基底基體7接受使 用，亥遮罩8(在该遮罩8中形成該等初始孔81)之餘刻程序（触 刻程序），而在該基底基體7中形成大量凹部61。該蝕刻方 法不受特定限制，而對於該蝕刻方法，例如可列舉一濕式 蝕刻處理、-乾式蝕刻處理之類。在以下解說中，將以使 用該濕式蝕刻處理之情況作為一範例來說明。 藉由讓覆蓋有該遮罩8(其中形成該等初始孔81)之基底 基體7接受該濕式敍刻程序，如圖5C所示，而從不存在遮罩 8之部分腐㈣基底基體7，從而在該基底基體7中形成大量 凹。卩61如上面所提到’由於形成於該遮罩8中的初始孔 係以碎格子方式配置，因此欲形成之凹部Η同樣係以一 碎格子方式配置於該基底基體7之表面上。 進ν在此項具體實施例中，當在步驟<八2>中將該等 初始⑽形成於該遮罩8中時，在該基底基體7之表面上形 成4等初始凹部71。此舉使得在該钱刻程序期間該基底基 體7與該蝕刻劑之接觸面積增加，從而可令腐蝕得以適當地 ^ 此外藉由採用該濕式蝕刻處理，可適當地形成該 等^ 61右將3有（例如）二氟化氫銨之一蝕刻劑用於一蝕 刻劑，則可更有選擇性地腐㈣基底基體7,而此點使得可 以適當地形成該等凹部6 1。 在該遮罩8主要係由鉻組成（即，該遮罩8係由作為其-主 105843.doc -35- 1287113 要材料而含有Cr之一材料形忐、 ..^ ^ 成）之情況下，二氟化氫銨溶液 特別適用作一以氫氟酸為 的蝕刻劑。進一步，由於含有 二氟化氫銨之-溶液係無毒的，因此必定更可以防止其在 應用期間對人體造成影響以及對環境造成影響。進一步， 在該二敦化氫錄溶液係用作-敍刻劑之情況下，舉例而 了择㈣刻劑中可包含過氧化氫。此點使得可以加快㈣ 迷度。 進一步’可藉由比該乾式_程序中更簡單的設備來實 施该濕式姓刻程序，且該濕式韻刻處理允許一次針對大量 基底基體7進行處理。此舉使得可提高具有凹部的基體6之 而且可以t低的成本提供具有凹部之基體6。 八4>接下^ ’如圖5D所示而移除該遮罩％遮罩移除程 序）°此時’還與該遮罩8—起移除該背表面保護諸。在 該遮罩8係由該層虔結構（如上述其係由以絡作為一主要材 :而形成的層與以氧化鉻作為一主要材料而形成的層所構 :而成）組成之情況下，例如，可藉由使用石肖酸錦錄與高氯 酸之-混合物之-餘刻程序來實施該遮18之移除。 經過上述處理，如圖戰4所示，結果獲得具有凹部之一 基體6,其中以一碎格子方式在該基底基體7 部61。 以一碎格子方式在該基底基體7之表面上形成該等複數 個凹部6!之方法不受特定限制。若藉由如上面所提到之方 法，即，藉由雷射光束照射而在該遮單8令形成該等初始孔 si並接著讓該基底基體7接受使用該料8之㈣程序以在 105843.doc -36- 1287113 該基底基體7中形成該黧 驭4寺凹^ 61之方法，來形成該等凹部 61，則可以獲得下面效應。 即，藉由雷射光束照射而在該遮罩8中形成該等初始孔 . 81’與藉由傳統的微影蝕刻方法在該遮罩8中形成開口之情 • 況相比，可以容易而低成本地在該遮罩8中之預定圖案形成 • ·開口（初始孔81)。此舉使得可提高具有凹部的基體6之生產 力’而可以一更低的成本提供具有凹部之基體6。 進一步’依據上述方法’可以容易地針對-大小較大的 • 纟體實施處理。而且，依據該方法，在製造此一尺寸較大 的基體之情況下，無需如傳統方法一樣焊接複數個基體， 從而可不出現焊縫。此舉使得可以藉由一簡單的方法而低 成本地製造具有用於形成微鏡片21的凹部之高品質的較大 尺寸基體6(微鏡片基體。 進一步，在藉由雷射光束照射來形成該等初始孔81之情 況下，必定可以容易地控制欲形成的該等初始孔81之每一 • 初始孔之形狀及大小及其配置之類。 現在，接下來將說明使用具有凹部的基體6來製造該微鏡 片基體1之一方法。 圖6係示意性顯示製造圖i所示微鏡片基體i之一方法之 .. 一範例的一縱向斷面圖。現在，在下面使用圖6所作之解說 - 中，為便於解說，而將圖6中之一下部側與一上部側分別稱 為「光入射側」與「光發射側」。 <B1>如圖6A所示，將具有流動性之—樹脂材料^(例 如，處於軟化狀態之一樹脂材料23、一非聚合（非固化）的樹 105843.doc -37- 1287113 脂材料23)提供到具有用於形成微鏡片21的凹部之基體6之 表面（在該表面上形成該等凹部61)上，並接著藉由一平板9 來按壓該樹脂材料23。特定言之，在此項具體實施例中， 藉由該平板9來按壓（或推壓）該樹脂材料23，而同時在具有 凹部的基體6與該平板9之間提供間隔物20。因此，必定更 可以控制所形成的微鏡片基體丨之厚度，而此舉使得必定更 可以控制最終獲得之微鏡片基體1中個別微鏡片2 j之焦 點。此外，可以更有效率地防止產生諸如色彩異質性之類 缺點。 該等間隔物20之每一間隔物係由折射率約等於該樹脂材 料23(處於一固化狀態之樹脂材料23)的折射率之一材料形 成。藉由使用由此一材料形成的間隔物2 〇，可以防止該等 間隔物20對所獲得之微鏡片基體1之光學特徵產生有害影 響，即使在該等間隔物20所處配置部分的每一部分中皆形 成具有凹部的基體6之任何凹部61之情況下亦如此。此舉使 得可以在具有凹部的基體6之一主要表面之一寬區域中提 供相對較大數量的間隔物2 0。因此，可以有效率地消除因 具有凹部及/或該平板9的基體6之彎曲所造成的影響，而此 舉使得必定更可以控制所獲得之微鏡片基體1之厚度。 儘管該等間隔物20係由折射率約等於如上所述該樹脂材 料2 3 (處於固化狀態之樹脂材料2 3)的折射率之材料形成，但 更明確言之，較佳的係該間隔物20的組成材料之絕對折射 率與處於一固化狀態的樹脂材料2 3之絕對折射率之間的差 之絕對值為0.20或更低，而其較佳的係〇·1〇或更低。其進一 105843.doc -38- 1287113 步較佳的係〇.2〇或更低，而最佳的係該間隔物2〇係由與處 - 於一固化狀態的樹脂材料23相同的材料形成。 . 該等間隔物20之每一間隔物之形狀不受特別限制。較佳 ' 的係’該等間隔物20之每一間隔物之形狀實質上為橢圓形 或實質上為圓柱形。在該等間隔物2〇之每一間隔物皆具有 此一形狀之情況下，較佳的係該間隔物2〇之直徑在1〇至'3〇〇 μπι範圍内，而更佳的係其在30至2〇〇4111範圍内。此外，更 佳的係其在30至170 μηι範圍内。 鲁 在此範圍内，在如上所述使用該等間隔物20之情況下， 在固化該樹脂材料23時，可在具有凹部的基體6與該平板9 之間提供該等間隔物20。因此，提供該等間隔物2〇之時序 不又特定限制。進-步，例如，預先將該等間隔物2〇分散 於其中之一樹脂材料23可用作一欲提供到具有凹部的基體 6之表面（上面形成該等凹部61)上的樹脂材料，或者可在將 該等間隔物2 0提供於具有凹部的基體6之 φ财⑽提供於該表面上。替代性的係，可在將== 提供到具有凹部的基體6之表面上後，再將該等間隔物2〇 提供到該表面上。 進一步，在提供該樹脂材料23以及藉由該平板9進行按壓 私序之4可將脫模劑或類似物施加到具有凹部的基體6 之表面（上面形成該複數個凹部61)上及/或藉以按屬該樹脂 材料23的平板9之表面上。此舉使得在以下步驟中必定可以 容易地將該微鏡片基體！與具有凹部的基體6及平板9分離。 <Β2>接下來，固化該樹脂材料23(在此方面，包括硬化（聚 105843.doc -39- 1287113 合）），並接著移除該平板9(參見圖6B)。以此方式，獲得具 • 有複數個微鏡片21(特定言之係，滿足如上所述在形狀、配 置等方面條件的微鏡片21)之主要基體2，該等微鏡片21係 由填充於該複數個凹部61 (其中每一凹部皆充當一凸鏡片） 中的樹脂材料23組成。 在藉由硬化（聚合）來實施該樹脂材料23的固化之情況 下，其方法不受特定限制，而係依據該樹脂材料之類型來 對其方法作適當選擇。例如可列舉如下··藉由諸如紫外線 射線之類的光進行照射、加熱、電子光束照射或類似者。 <B3>接下來，將說明在如上所述而製造的主要基體二之 光發射表面上形成一黑色矩陣3之一程序。 首先，如圖6C所示，將具有光遮蔽（阻擋）效應之一正型 光聚合物32提供到該主要基體2之光發射表面上。可使用各 類塗布方法，例如，浸潰塗布方法、刮刀方法、旋塗方法、 、’工木k布方法、噴塗、靜電塗布、電極沉積塗布、輥塗機 φ 之類，作為將该正型光聚合物32提供到該主要基體2之光發 射表面上之方法。该正型光聚合物32可由一具有光遮蔽（阻 播）效應之樹脂組成，或可以係其中將—具有光遮蔽（阻擔） 效應的材料分散或溶解於一具有低光遮蔽（阻擋）效應的樹 知材料中之一光聚合物。在提供該正型光聚合物之後， 若舄要，例如，則可實施諸如預烘烤處理之類的熱處理。 <B4>接下來’如圖奶所示，在垂直於該主要基體2的光 入射表面之一方向上將用於曝光之光Lb照射到該主要基體 用於曝光之所照射的光Lb係藉由穿過該等微鏡片2 1 105843.doc -40· 1287113 之每一微鏡片而聚光。曝光每一微鏡片21的焦點£附近之正 型光聚合物3 2 ’而不曝光或略微曝光（即，曝光程度較小） 與除該等焦點f附近以外的其他部分對應之正型光聚合物 32。以此方式，僅曝光在個別焦點f附近的正型光聚合物32。 接著實施顯影。在此情況下，由於該光聚合物32係一正 型光聚合物’因此藉由顯影來熔化並移除該等個別焦點f附 近所曝光的光聚合物32。因此，如圖6E所示，提供該黑色 矩陣3，其中在對應於該等微鏡片22的光軸l之部分上形成 該等開口31。可依據該正型光聚合物32或類似者之成分來 任意地選擇該顯影方法。例如，可使用諸如氫氧化鉀溶液 之類的水性鹼溶液來實施本項具體實施例中該正型光聚合 物32之顯影。 以此方式，在製造本項具體實施例之微鏡片基體丨之方法 中由於δ亥黑色矩陣3係藉由用於曝光而經複數個微鏡片2 1 聚光的光照射該光聚合物32來形成，因此，與使用（例如） 一微影蝕刻技術之情況相比，可以藉由更簡單的程序來形 成該黑色矩陣3。 進一步，若需要，在曝光該正型光聚合物32之後，可實 施諸如後烘烤處理之類的熱處理。 <Β5>接下來，從具有凹部的基體6釋放該主要基體μ參見 圖6F)。以此方式，藉由從該主要基體2移除具有凹部之基 體6在製造垓主要基體2(即，微鏡片基體1)時可以重複使 用具有凹部之基體6，而此舉使得可以減少該主要基體2之 裝^成本並可以提咼欲製造的主要基體2(微鏡片基體1) 105843.doc -41 - 1287113 之品質穩定性。 <B6>然後，#由將一著色液體提供到已從具有凹部的美 體6釋放之主要基體2上，而在該主要基體2上形成-有色部 分22，從而獲得一微鏡片基體1(參見圖6G)。 該着色液體不受特定限制，而且在本項具體實施例中， 該着色液體係含有一着色劑與苯甲基乙醇之一液體。本發 月I現可以利用此一着色液體來容易而穩妥地實施該主要

基體之着色。特定言之’依據該等程序，可以容易而穩妥 地讓由難以用傳統着色方法來着色之-材料(例如，以丙烯 酸為主的樹脂)形成之-主要基體2接受-着色程序。據悉 此情形之原因如下。 “ :，藉使用含有苯甲基乙醇之著色液體，該著色液體中 的苯甲基乙醇深入地滲透該主要基體2並在其中擴散，從而 令組成該主要基體2的分子鍵結(分子之間的鍵結)鬆弛，而 令=著色劑欲渗透於其中的空間固定。#代該著色液體中 的苯甲基乙醇及著色劑’藉此將該著色劑保存於該等空間 (其可以係類似於用於該著色劑之底座（著色底座））内，而該 主要基體2之表面因此而係有色。 進一步，藉由使用如上所述之著色液體，必定可以容易 地形成具有均勻厚度之有色部分22。特定言之，即使（其功 能係)欲著色之一主要基體係其中在其表面上提供諸如微 鏡片之類的-分結構之一基體（其中在其表面之二維方向 上的不均勻現象之循環較小)或係其中欲著色的區域面積 較大之—基體，亦可以形成具有均勾厚度（即無色彩異質性) 105843.doc -42- 1287113 之有色部分22。 作為將該著色液體提供到該主要基體2的光入射表面上 • 之方法，例如可列舉如下：各種塗布方法，例如刮刀方法、 旋塗方法、紅染塗布方法、喷塗、靜電塗布、電極沉積塗 布印刷、輥塗機；以及一浸潰方法，其中將該主要基體2 沉浸（浸泡）於該著色液體中；以及其他類似方法。在該些方 法中，該浸潰方法（尤其係浸潰染色）較合適。此點使得必定 φ 可以容易地形成該有色部分22(尤其係具有均勻厚度之有 色部分22)。進一步，特定言之，在藉由浸潰染色將該著色 液體提供到該主要基體2上之情況下，必定可以容易地對甚 至由在傳統著色方法中難以著色之一材料（例如一以丙烯 酸為主的樹脂）形成之一主要基體2進行著色。據悉此係由 於了用於次潰染色的染料對一酯基團（酯鍵結）有較高的親 和力而以丙烯酸為主的樹脂或類似者具有此一酯基團。 較佳的係，在60至1〇〇。(：範圍内加熱該著色液體及/或主 φ 要基體2時實施該著色液體供應步驟。此點使得可以有效率 地形成該有色部分22而同時充分防止對欲在上面形成該有 色部分22的主要基體2產生足以致害的影響（例如，該主要 基體2之組成材料劣化）。 進一步，可實施該著色液體供應步驟而同時升高環境壓 力（藉由施加壓力）。此舉使得可以加速該著色液體向該主要 基體2内側之滲透，而因此可以用較短的時間來有效率地形 成該有色部分22。 在此方面，若需要（例如，若欲形成的有色部分22之厚度 105843.doc •43- 1287113 相對較大），則可重複（即，多次）地實施供應該著色液體之 步驟。進一步，在供應該著色液體後，若需要，可讓該主 要基體2接受熱處理（例如加熱、冷卻之類）、光照射、大氣 I或減壓之類處理。此舉使得可以加速該有色部分2 2之 固定（穩定性）。 然後，將詳細說明當前步驟中所使用的著色液體。

苯甲基乙醇在該著色液體中的百分比含量不受特別限 制。較佳的係’苯甲基乙醇之百分比含量在Q()1至動重量 百刀比範圍内。更佳的係其在〇 至重量百分比範圍 内，而進一步更佳的係其在〇1至5〇%重量百分比範圍内。 在苯甲基乙醇之百分比含量受限於上述範圍之情況下，必 定可以容易地形成合適的有色部分22而同時更有效率地防 止對欲在上面形成該有色部分22的主要基體2產生有害影 響（例如，該主要基體2的組成材料之劣化）。 包含於該著色液时㈣色劑可以係諸如各種染料及各 種顏料之類的任何著色劑，但較佳的係該著色劑係一晶 粒。更佳的係，其係一分散染料及/或陽離子染料，而其進 v更L的係$散染料。此點使得可以有效率地形成該 有色P刀22而同時防止對欲在上面形成該有色部分η的主 要基體2產生足以致害的影響(例如，該主要基體2之組成材 料^化）。特定言之’必定可以容易地對甚至由難以用傳 、、充者色方法來著色之—材料（例如，以丙稀酸為主的樹脂） 形^之-主要基體2進行著色。據悉此係由於容易對此一材 料者色，因為如上所述之著色劑將以丙烯酸為主的樹脂等 105843.doc -44- 1287113 所具有的酯功能（酯鍵結）用作著色底座。 如上所述，儘管此項具體實施例中所使用的著色液體至 /包含者色劑與苯甲基乙醇，但較佳的係該著色液體進一 步包含從以苯甲，為主的化合物與以苯並三哇為主的化合 物以及苯甲基乙醇中選取之至少一化合物。此點使得可以 更有效率地形成該有色部分22而同時防止對欲在上面形成 該有色部为22的主要基體2產生足以致害的影響（例如，該 主要基體2之組成材料之劣化)。據悉此情形之原因如下。 即，藉由使用含有苯甲基乙醇的著色液體以及從以苯甲 酮為主的化δ物與以苯並三唑為主的化合物(下面，將苯甲 基乙醇Μ苯甲_為主的化合物及以苯並三β坐為主的化合 物統稱為「添加劑」）中選取之至少—類化合物，該著色液 體中的添加㈣透該主要基體2並在其巾擴散，從而令組成 該主要基體2的分子鍵結（該等分子之間的鍵結）鬆弛，而令 該著色劑欲渗透於其中的空間固定。替代該著色液體中的 /小、加诏及著色劑，藉此將該著色劑保存於該等空間（其可以 係類似於用於該著色劑之底座（著色底座））内，而該主要基 體2之表面因此而係有色。據悉，由於使用從以苯甲酮為主 的化合物及以苯並三唑為主的化合物及苯甲基乙醇中選取 的至少一化合物，其以一互補方式相互作用，而藉由該著 色液體進行的著色變佳。 對於以苯甲酮為主的化合物，可使用具有一苯甲酮骨幹 之化合物、其互變異構物或該些誘發物（例如，加成反應產 物、替代反應產物、還原反應產物、氧化反應產物之類）。 105843.doc -45- 1287113 對於此類化合物，例如 — — J歹彳舉如下·本甲酮、2,4-二羥基 一：f嗣、2-羥基|甲氧基二苯甲酮、2,2，_二羥基汔4，_二 甲 iL 基一本甲 、2 2 ’ 4 * 4+ ，2，4,4·四羥基二苯甲酮、2-羥基-4-辛基 二苯甲酮、4-苯甲氧基_2 _ 減2_—減二苯甲_、二苯_苯胺、 苯㈣、氯化苯甲_ u，a，•二氯化二苯基甲院）及類似者。 该些材枓中較佳的係具有苯甲明骨幹之化合物，而更佳的 化合物係2,2，-二羥基·4 4丨-田#甘 ^ ’-一甲虱基二本甲酮及2,2，，4,4-四 羥基二苯甲ig中的住—去 ^ ^ ^ 〒的任者。精由使用此一以苯甲酮為主的 化合物，會明顯出現如上所述之效果。 進一步，對於以苯並三唑為主的化合物，可使用且有一 苯甲明骨幹之化合物、其互變異構物或該㈣發物⑽如， 加成反應產物、替代反應產物、還原反應產物、氧化反應 產物之類）。 對於此類化合物，例如可列舉如下：苯並三嗤、2-(2-經 基-5-甲苯基）-2H_苯並三唾、2_(2_經基_4_正辛氧苯基阳_ 苯並三唾之類。該些材料中較佳的係具有苯甲酮骨幹之化 T物，…的係該化合物係2_(2_二經基_”苯基)韻_ 苯並三哇及2-(2-經基_4_正辛氧苯基）·2Η_苯並三嗤中的任 一者。藉由使用此一以苯並三唾為主的化合物，會明顯出 現如上所述之效果。 、在該著色液體中含有以苯甲綱為主的化合物及/或以苯 並三嗤為主的化合物之情況下’該著色液體中以苯甲酮為 主的化合物與以苯並三唾為主的化合物之總百分比含量不 受特定限制。較佳的係’以苯甲綱為主的化合物與以苯並 105843.doc -46- 1287113 三唑為主的化合物在該著色液體中的總百分比含量在 0.001至10.0%重量百分此鈴图为 里里曰刀比靶圍内。其更佳的係在〇.〇〇5至 5.0%重量百分比範圍内，而其進—步更佳的係在請至 3.0¾重置百分比範圍内。力以贫田 视固Π隹以本甲酮為主的化合物與以苯 甲三唑為主的化合物之總百分比含量受限於上述範圍内之 情況下，必定可以容易地形成合適的有色部分以同時更 有效率地防止對欲在上面形成該有色部㈣的主要基體2 造成有害影響（例如，該主要基體2的組成材料之劣化）。 、進 ' 在"亥著色液體中含有以苯甲_為主的化合物及/ 或以苯甲三唑為主的化合物，且該著色液體中以苯甲酮為 主的化合物之百分比含量係定義為χ(%重量百分比）而該著 色液體中以苯甲酮為主的化合物與以苯甲三唑為主的化合 物之總含篁係定義為γ(%重量百分比）之情況下，則較佳的 係X與Υ滿足關係式0.00 UX/Y d 〇〇〇〇。更佳的係乂與γ滿足 以下關係式·· 〇.〇5sX/YS1〇〇〇，而進一步更佳的係乂與丫滿 足以下關係式：0.2kX/Yd〇〇。在1與丫滿足如上所述之關 係式之情況下，因與苯甲基乙醇一起使用以苯甲酮為主的 化合物及/或以苯並三唑為主的化合物而產生的增強效應 會更明顯地表現出纟。此外，必定可以容易地以高速度形 成合適的有色部分22而同時更效地防止對欲在上面形成該 有色部分22的主要基體2產生足以致害的影響（例如，該主 要基體2之組成材料之劣化）。 進一步’較佳的係該著色液體進一步含有苯基乙醇與一 表面/舌性劑。此舉使得即便在存在苯曱基乙醇之條件下亦 105843.doc -47- 1287113 :、c疋而均勻地分散該著色劑。特定言之，即便欲將一 著色—液體提供到其上面之主要材料2係由在一傳統方法中 難以者色之-材料（例如以丙婦酸為主的樹脂）形成，亦必定 可以容易地對該主要基體2進行著色。對於一表面活性劑， 可歹J舉非離子表面活性劑、陰離子表面活性劑、陽離子表 面活性劑、兩性型表面活性劑之類。對於非離子表面活性 劑，例如可列舉如下：以酯為主的表面活性劑、以醋為主 、 线以醚酯為主的表面活性劑、以氮為主的表 面活性劑之類。更明確言之’可列舉聚乙稀乙醇、致甲基 纖維素、聚乙烯乙二醇、丙稀酸自旨、甲基丙豨酸埽醋之類。 進一步，對於陰離子表面活性齊！，例何列舉如下：各種 ^香各種竣酸s旨’各種硫酸s旨、各種續酸酯、各種碟酸 類更明確5之，可列舉如下：脂松香、聚合松香、 歧化权香、馬來松香、富馬松香、馬來松香五酉旨、馬來松 香甘油S旨、三硬脂酸鹽（例如’銘鹽之類金屬鹽）、二硬月， 鹽(例如，銘鹽、鋇鹽之類金屬鹽)、硬脂酸鹽(例如，二 鉛鹽、鋅鉛鹽)、亞麻酸鹽(例如，鈷鹽、錳鹽、鉛聰、：趟 之類金屬鹽)、辛酸鹽(例如，銘鹽，鹽、钻鹽之類：「 油酸(例如，約鹽、姑鹽之類金屬鹽)、棕櫚酸鹽(鋅睡：、 金屬鹽）、環院酸鹽（例如，約鹽、链鹽、猛鹽H息類 之類金屬鹽）、樹脂鹽酸（例如，飼鹽、始鹽、短鹽鹽 類金屬鹽）、聚丙烯酸鹽（例如’納鹽之類金屬鹽）聚氣之 丙烯酸醋(例如，納鹽之類金屬鹽)、聚馬來酸(例/甲基 之類金屬鹽)、丙終馬來酸共聚物(例如，納鹽 "之類金屬 105843.doc -48. 1287113 風）、纖維素、十一烧基苯績酸鹽（例如，納 一 ％邀之頰金屬鹽）、 燒基磺酸鹽、聚苯乙烯磺酸鈉（例如，鈉 W風之類金屬鹽）、烷 基鄰苯醚二磺鈉（例如，鈉鹽之類金屬趟 1 J <賴。進一步，對 於陽離子表面活性劑，可列舉如下：諸 居如―級銨鹽、二級 銨鹽、三級銨鹽、四級銨鹽之類的各種銨鹽。更明確言之， 可列舉單烷基胺鹽、二烷基胺鹽、 " ^ 玩丞胺鹽、四烷基胺 现、苯曱烷銨鹽、烷基鉻酸吡啶、咪唑 下王又頬。進一步，對

於=面活性劑’例如可列舉如下’諸如竣酸甜菜鹼、磺酸 甜菜驗之類的各種甜綠、各種氨基_、各種磷酸醋鹽 之類。 麗 下面，將對使用上述透射屏之後投射器進行說明。 圖7係示意性顯示應用本發明之透射屏1〇之一後投射器 300之一斷面圖。如圖7所示，該後投射器3〇〇有一結構，其 中將-投射光學單元31〇、一光導鏡32G及—透射屏1〇配置 於一外殼340内。 由於該後投射器300使用如上所述具有極佳視角特徵及 光使用效率之透射屏1〇，因此可以獲得具有極佳對比度之 影像。此外，特定言之，由於在此項具體實施例中後射器 八有如上所述之結構’因此可以獲得極佳的視角特徵及 光使用效率。 進一步’特定言之，由於該等微鏡片21(其中每一微鏡片 皆實質上係橢圓形）中的每一微鏡片皆係以一碎袼子方式 配置於上述微鏡片基體1上，因此該後投射器300難以產生 諸如雲紋之類的問題。 105843.doc -49- 1287113 如上所述，應注意，儘管已參考附圖所示較佳具體實施 例來說明製造具有凹部之基體6之方法、具有凹部之基體 ό、微鏡片基體1、透射屏1〇及後投射器3〇〇，但本發明並不 限於該些具體實施例。例如，可以用能夠執行相同功能或 類似功能者來替代組成該微鏡片基體卜透射屏1〇及後投射 器300之每一元件（組件）。 進一步，在上述具體實施例中，儘管已說明將折射率盡 皆約4於该樹脂材料23(即，固化後的樹脂材料23)的折射率 之間隔物20用作間隔物，但若該等間隔物2〇僅係配置於不 形成該基體6的凹部61之區域（非可用鏡片區域）中，則不需 要該等間隔物20之每一間隔物之折射率皆約等於該樹脂材 料23(即，固化後的樹脂材料23)之折射率。此外，在製造該 微鏡片基體1時並不總是必須使用如上所述之間隔物2 〇。 此外，在上述具體實施例中，儘管已說明該樹脂材料23 係提供到具有凹部的基體6之表面上，但該微鏡片基體1之 製造可以使得（例如）該樹脂材料23係提供到該平板9之表面 上而接著藉由具有凹部之基體6來按壓該樹脂材料23。 此外，在上述具體實施例中，儘管已說明在製造具有凹 部之基體6之方法中的初始孔形成步驟中，除該等初始孔8 i 外還在該基底基體7中形成初始凹部71，但此類初始凹部71 之形成非屬必要。藉由適當地調整該等初始孔8丨之形成條 件（例如，雷射之能量強度、雷射之光束直徑、照射時間或 類似者）’可以形成盡皆具有一預定形狀的初始凹部7 1，或 者可以有選擇地形成僅該等初始孔8 1而使得不形成該等初 105843.doc -50- 1287113 始凹部7 1。 進一步，在上述具體實施例中，即使已說明該透射屏1〇 具有該微鏡片基體1與該菲涅耳鏡片5，但本發明之透射屏 1〇並不一定需要具有該菲涅耳鏡片5。例如，實務上，可僅 由本發明之微鏡片基體1來構造該透射屏1〇。

此外，在上述具體實施例中，即便已說明該微鏡片基體1 係組成該透射屏H)或該後投射之—料，但該微鏡片 基體1並不限於如上所述之一欲應用的微鏡片基體，而其可 應用於任何用途之微鏡片基體。進一步，例如，可將具有 凹部之基體6本身用作一微鏡片基體(即，具有作為凸鏡片 的複數個微鏡片之一微鏡片基體）。 此外，在上述具體實施例 「_ ^ π相* ty伙丹畀凹 部的基體6釋放來使用該微鏡片基體i，但具有凹部的基體6 =該微鏡片基體i 一起使用而不用從一所製造的微鏡 ==特定言之’其可以係用作諸如透射屏、後投射 為之類光學裝置之一組件）。 範例 <微鏡片基體及透射屏之製造 範例1 微二造*有凹部的基髏’其…於形成 •r先/備_具有i2m(橫向）xq 4.8 _厚度之_破璃基體。 ）矩Μ狀與 將該納約玻璃基體浸泡於含有代重量百分比的二氣化 105843.doc -51- 1287113 氫銨與8%重量百分比的硫酸之清潔溶液中，以實施 刻程序，從而清潔其表面。然後，實施純水清潔與氮氣（n2) 乾燥（用於移除純水）。 接下來，藉由一喷賤方法在該鈉妈玻璃基體之一主要表 面上形成一鉻/氧化鉻之層壓結構（即，其中由鉻形成的一層 係層壓於由氧化鉻形成的一層之外部周邊上之層壓結 構）。即，在該鈉鈣玻璃基體之二表面上形成皆由該層壓結 構（係由鉻形成的層與氧化鉻形成的層構造而成）製成之一 遮罩與一背表面保護膜。在此情況下，該鉻層之厚度為〇 〇3 pm，而該氧化鉻層之厚度為0.01 μιη。 接下來，對該遮罩實施雷射切削以在該遮罩的中心部分 形成大量在113 cm X 65 cm區域内的初始孔。在此方面，藉 由一同核複合分子雷射在600 mJ/cm2能量強度之條件下經 由具有360個開口的遮罩將雷射光束照射到上面已覆蓋該 遮罩（鉻/氧化鉻之層壓結構）的鈉鈣玻璃基體上，來實施該 雷射切削。雷射光束照射到鈉鈣基體（上面已覆蓋該遮罩） 上的每一點處之雷射直徑（點直徑）及能量強度係2() mJ/cm2。進一步，在該同核複合分子之一主要掃描方向上 的掃描速度係設定為〇.1 m/秒。 以此方式，在上面提到的遮罩之實質上整個區域上方以 一碎格子圖案形成該等初始孔。該等初始孔之每一初始孔 之直徑係2·〇 μιη。進一步，此時，在該鈉鈣玻璃基體之表 面上形成深度盡皆約為〇·〇〇4 μιη且各具有一受損層（或受影 響層）之凹部。 105843.doc -52- 1287113 接下來，讓該鈉鈣玻璃基體接受一濕式蝕刻處理，從而 在該鈉鈣玻璃基體之主要表面上形成大量凹部（用於形成 微鏡片之凹部）。若從該鈉鈣玻璃基體之主要表面上方來觀 看，該等凹部之每一凹部之形狀實質上係橢圓形狀（平坦形 狀）。由此形成的大量凹部實質上具有彼此相同的形狀。已 形成的該等凹部之每一凹部在其短軸方向（直徑）上之長 度、已形成的δ亥荨凹部之每一凹部在其長轴方向上的長 度、已形成的該等凹部之每一凹部之曲徑及深度分別係54 μιη、79·5μιη、40μιη及37·0μπι。進一步，該等凹部在其中 形成§亥荨凹部之一可用區域内的所占份額為97%。 在此方面，將含有4%重量百分比的二氟化氫銨與4%重量 百为比的硫酸之水性溶液作為一餘刻劑用於該濕式钱刻處 理，而該基體之浸泡時間係125分鐘。 接下來，藉由實施使用硝酸鈽銨與高氯酸之一混合物之 一餘刻程序來移除該遮罩與該背表面保護膜。然後，實施 純水清潔與氮氣（NO乾燥（用於移除純水）。 以此方式，獲得如圖2所示對應於該微鏡片基體而具有凹 部之基體，其中用於形成微鏡片之大量凹部係以一碎袼子 方式配置㈣納約玻璃基體之主要表面上。^從該納^玻 璃基體之主要表面上方觀看，所獲得之具有凹部的基體内 所有凹部在一可用區域（其中形成該等凹部）内所佔^的面 積相對於整個可用面積之比率係97% 。 接下來，將一脫模劑（GF-6110)施加於如上所述獲得之具 有凹部的基體表面（在該表面上形成該等凹部），而^一以二 105843.doc -53- 1287113 烯酸為主的非聚合（非固化）樹脂（PMMA樹脂（甲基丙烯酸 . 樹脂》施加於相同的表面側。此時，將由以丙烯酸為主的樹 脂（PMMA樹脂（甲基丙烯酸樹脂硬化材料形成而實質上 為球形的間隔物（每一間隔物之直徑皆為2 〇 mm)配置於具 有用於形成微鏡片的凹部之基體之實質上整個表面。進一 步，以〇·1個/cm2之速率來配置該等間隔物。 接下來’用由鈉鈣玻璃形成之一平板的主要表面來按壓 (推壓）以丙烯酸為主的樹脂。此時，此程序之實施使得具有 ^ 凹部的基體與以丙烯酸為主的樹脂之間的空氣不受擠壓。 進一步，將此一平板（一脫模劑（GF_6u〇)係提供到其表面 上）用作該平板。 然後，藉由加熱具有凹部之基體，將以丙烯酸酯為主的 樹脂固化以獲得一主要基體。所獲得之主要基體（即，以丙 烯酸為主的固化樹脂）之折射率係丨·5丨。所獲得之主要基體 (形成該等微鏡片之部分除外）之厚度係2〇 mm。已形成的 φ δ亥等微鏡片之每一微鏡片在其短軸方向上之長度（間距）、已 形成的該等微鏡片之每一微鏡片在其長軸方向上的長度、 已形成的該等微鏡片之每一微鏡片之曲徑及深度分別係54 μηι、79.5 μπι、39 μηι及3 6.5 μιη。進一步，該等凹部在其中 • 形成δ亥荨微鏡片之一可用區域内所占的份額為97%。 接下來，從該主要基體移除該平板。然後，從具有凹部 之基體釋放該主要基體。 然後，藉由浸潰染色來向該主要基體提供一著色液體。 此程序之實施使得上面形成該等微鏡片基體之整個表面與 105843.doc -54- 1287113 該著色液體接觸，但受到該平板按壓之表面並不與該著色 液體接觸。進一步，將在該第一程序液體提供到該主要基 體上時該主要基體與該著色液體之溫度調整為90 °C。此 外，在該著色液體提供程序中將大氣壓力加壓成120 kPa。 將一含有以下成分之混合物·· 2份重量的分散染料（藍色）（由 Futaba Sangyo公司製作）、〇·ΐ份重量的分散染料（紅色由 Futaba Sangyo公司製造）、〇·〇5份重量的分散染料（黃色）（由 Futaba Sangyo公司製造）、1〇份重量的苯甲基乙醇、2份重 量的表面活性劑及1 〇〇〇份重量的純水，用作該著色液體。 在該主要基體於如上所述之條件下與該著色液體接觸20 分鐘後’從儲存該著色劑之一浴中取出該主要基體，並接 者清洗且乾無該主要基體。 藉由實施用純水對該主要基體之清潔以及用N2氣體對其 之乾燥（移除純水），獲得上面已形成該有色部分之一微鏡片 基體。由此形成的有色部分之色彩密度為5 5 %。 藉由將如上所述製造之微鏡片基體與藉由擠壓模壓而製 造之一菲涅耳鏡片裝配起來，而獲得如圖3所示之透射屏。 (範例2) 藉由適當改變該等雷射光束之照射條件（即欲形成的該 等初始孔之每一初始孔之形狀）及/或浸泡入一蝕刻劑之時 間，來改變具有凹部的基體中該等凹部之每一凹部之形狀 及/或配置圖案。以此方式，採取與範例丨中的方式類似之 方式來製造一主要基體，不似之處僅係如表i所示而改變 欲形成於該微鏡片基體中的微鏡片之形狀及/或配置圖 105843.doc -55- 1287113 案。在此情況下，藉由於此時改變該等間隔物之每一間隔 物之尺寸，而將該主要基體（除該等微鏡片以外的部分）之樹 脂層之厚度設定為0.005 mm。 ’ 然後，在該主要基體與具有凹部的基體緊密接觸之時 (即，處於從言亥主要基體移除具有凹部的基體前的狀態），藉 * 由一輥塗機將添加有一光遮蔽材料（碳黑）之一正型光聚合 物（PC405G，由JSR公司製造）提供到該主要|體之光發射表 ® (與上面6形成該等微鏡片之表面相對之表面）上。該光聚 合物中該光遮蔽材料之百分比含量係2〇%重量百分比。 接下來，讓該主要基體接受9〇。x 3〇分鐘的預烘烤處理。 接下來，透過與具有凹部的基體表面(上面已形成該等凹 部）相對之表面照射作為平行光紫外線射線。從 ^藉由該等微鏡片之每—微鏡片將所照射的紫外線射線 ♦光並有選擇地曝光該等微鏡片之每一微鏡片的焦點f附 近（在該黑色矩陣的厚度方向附近）之光聚合物。 • 《後讓該主要基體接受40秒的顯影程4，該顯影處理採 用一含0.5%重量百分比K〇H之水性溶液。 …、、後，κ施純水清潔與氮氣（nhr〇gen; 乾燥（用於移除 火）進步，讓该主要基體接受200 °C X 30分鐘的預烘 _ 烤處理。攸而，形成具有分別對應於該等微鏡片的複數個 ^之黑色矩陣。所形成的黑色矩陣之厚度係5.0 μηι。 接下來，在上面已形成該黑色矩陣之該主要基體的表面 ,J上形成一光擴散部分。藉由熱密封將一擴散板（在其結構 中夕土粒子係作為擴散媒介而擴散於該丙烯酸樹酯中）黏 105843.doc -56- 1287113 接至該主要基體，來實施該光擴散部分之形成。 然後’從具有凹部的基體釋放具有該黑色矩陣與該擴散 板之微鏡片基體。然後，如上述範例丄，利用所獲得之微^ 片基體來製造一透射屏。 兄 (範例3至11) 採取與上述範m中類似的方式來製造微鏡片基體盘透 射屏，不⑽之處僅係藉由改變該遮單組態、t射光束之昭 射條件（即，欲形成的該等初始孔之每一初始孔之形狀域 ㈣初始凹部之每-初始凹部之深度）以及浸泡入該餘刻 劑之時間中的任何-條件來改變具有凹部之基體的該等凹 部之每一凹部之形狀及凹部配置圖案，從而如幻所示而改 變欲形成於該微鏡片I體上的該等微鏡片之每一微鏡片之 形狀及該等微鏡片之配置圖案。 比較範例1至6 採取與上述範m中類似的方式來製造微鏡片基體與透 射屏，不似之處僅係藉由改變該遮罩組態、雷射光束之照 射條件（即’欲形成的該等初始孔之每—初始孔之形狀以及 該等初始凹部之每-初始凹部之深度）以及浸泡入該姓刻 劑之時間中的任何-條件來改變具有凹部之基體的該等凹 部之每-凹部之形狀及凹部配置圖案，從而如表冰示而改 變欲形成於該微鏡片基體上的該等微鏡片之每一微鏡片之 幵> 狀及該等微鏡片之配置圖案。 比較範例7 才木取”上述比較範例i中類似的方式來製造微鏡片基體 105843.doc -57- 1287113 與透射屏，不似之處僅係：藉由改變該遮罩組態、雷射光 束之照射條件卩，欲形成的該等初始孔之每一初始孔之形 狀以及該等初始凹部之每一初始凹部之深度）以及浸泡入 邊蝕刻劑之時間中的任何一條件來改變具有凹部之基體的 該等凹部之每一凹部之形狀及凹部配置圖案，從而如表工 所示而改變欲形成於該微鏡片基體上的該等微鏡片之每一

微鏡片之形狀及該等微鏡片之配置圖案；而且在該主要基 體上不形成一有色部分。 表1中整體顯示··製造具有凹部的基體時該遮罩之〜 態、藉由雷射光束照射而形成的該等初始孔之每一初始孔 之形狀以及w亥等初始凹部之每一初始凹部之深度，具有凹 #之基體中该等凹部之每_凹部之形狀及該等凹部之配置 圖案’ S/D值（藉由將該等凹部之每—凹部在其—長轴方向 亡的長度與《等初始孔之每—初始孔之直徑之間的差除以 二而獲得之值S (_)相對於該等凹部之每-凹部的深度D (μηι)之比率)’所製造的該等微鏡片之每一微鏡片之形狀， 所製造的微鏡片之配置圖案，以及範例以及比較範例 之每範例中疋否存在該黑色矩陣（BM)。 105843.doc -58- 1287113

S 存在 或 不存在 不存在 存在 不存在1 不存在 不存在 不存在 不存在 不存在 存在 W 不存在 不存在 不存在 |不存在i 丨不存在| 1不存在J 不存在 w· 他· K- 微鏡片 所占 分額 c/〇 8 ο #-ι 8 3； 8 r-4 8i K 83 8： δ 8 8 3 s •-H 8 — S3 1 LiiLx 0從 0j66 0j60 090 0.70 056 069 069 0j65 0.75 0.72 1D0 1D0丨 1D0 8 r-I 066丨 060 060 LJH 1.48 1.48 132 2.08 1JS7 1.25 1.61 1.83 1.46 1.69 1.59 2.26 2.12 2.22 1.48 R —4 1.33 1.40 高度 Η 365 365 41D 26D 345 320 33^ 295 48D 320 34D 265 1 33D 36D 54D 36D 40J5 383 ! 長度 (長軸) Lx (μ«0 195 e« S P« 75J5 e R 83 S 89 siji P S R δ δ « 2*i 配置 圖案 υ » « u » υ « ύ υ » υ » 1 Μ V% K S Η κ CO V» ΚΛ P< § 1.077 8 S 1J08 8 1J08 114 12S 1J08 1J08 6 — 1JG8 s •-H 8 艺 0^4 S 1J08 1.14 凹部 所占 分額 ε; § 2 r-t 8 δ f-H 8R 83 8 ·—· 8 8 !S 8 8 r—< LiiLi 0.68 0.66 0.63 0.90 0.T0 0.56 0.69 0.69 0.6S 0.75 0.72 8 8 δ 8 0.66 0.60 0.60 h/D r-H Λ 1S4 •-H 1.19 1! 1.74 r-4 1位 rH 2.16 2JQ2 2.16 228 r«H 129 137 深度 D 37D 38D 42D 2ΊΖ 35j6 333 342 310 49i 333 350 27S 34.7 37D 38D 41.7 395 長度 (長軸) L· (μη〇 79i S3 S P 82 g P 155 S P δ δ S3 S 長度 (短軸) Li (μιτί 齐 « 9 R @ P δ δ ί I 配置 圖案 » » » » » » « rf Di « « 1 S s Μ CO Μ CO g S S S S s S C/l ΧΛ CO VI 〇ei |初始 凹部 深度 (Α) R R 9 Q 9 9 9 9 9 9 R 9 R R S3 wmi !_ 長度 (長軸) (μ«〇 Q S ci S Q P Q Q S S CN Q 長度 (短軸) (μη〇 Q Q a s S S s Q 8 2 S Q S § 形狀 s 8 s L> CO S s 遮罩 (表面側 /基讎) CtfCiO Ct/(M Cr/Cj〇 Cr/CK) Cr/C^D Cr/CiO Au/Cr AxJCx CxJCiO Cr/CiO Cr/CiO CrCiO Cr/CiO Cr/CiO Αυ/Cr Cr/C^D Cx/CO Αυ/Cr 範例1 範例2 範例3 |範例4 |範例5| 1範例6 範例7 |範例8 範例9 範例10 範例11 比_例1 比纖例2 比較範例3 比棚例4 比繊例5 比麵例6 比較範例7 ^Ing^^os ,^«Η-·ϋΗΜΗ 衄 21 辁轵 ώ，辁柁"s ,^BTMKCJS ,絵國 ItTftM :3S 笔治 <後投射器之製造> 使用範例1至11與比較範例1至7之每一範例中製造的透 -59- 105843.doc 1287113 射屏來製造（裝配）如圖9所示之一後投射器。 <對比度評估> 針對上面說明的範例1至11與比較範例1至7之每一範例 之後投射器來實施對比度評估。 在耀度為413勒克斯的全白色光進入一暗室處的後投射 器中之透射屏時白色標識的前侧耀度（白色耀度）LW (cd/m )與在一焭室處完全關閉一光源時黑色標識的前側耀 度之增量（黑色耀度增量）LB (cd/m2)之一 LW/LB比率係計算 為對比度（CNT)。在此方面，將該黑色耀度增量稱為相對於 一暗室處黑色標識的耀度之增量。進一步，在外側光之耀 度約為1 85勒克斯之條件下實施該亮室處的測量，而在外側 光之耀度約為0 · 5勒克斯之條件下實施該暗室處的測量。 範例1至11與比較範例1至7之每一範例中LW/LB所示之 對比度係依據以下四步驟標準來評估。 A : LW/LB所示對比度係5〇〇或更高。 6:1^/1^所示對比度在4〇〇至5〇〇範圍内。 C : LW/LB所示對比度在3〇〇至4〇〇範圍内。 D : LW/LB所示對比度係3〇〇或更低。 <折射光、雲紋及色彩異質性之評估> 在上述範例1至11以及比較範例1至7之每一範例中，在該 後投射器之透射屏上顯示一樣本影像。依據以下四步驟標 準來評估所顯示的樣本影像中折射光、雲紋及色彩異質性 之產生狀態。 A :辨識不出折射光、雲紋及色彩異質性。 105843.doc -60- 1287113 B :辨識出極少的折射光、雲紋及色彩異質性。 C :略微辨識出折射光、雲紋及色彩異質性中的至少一者。 D:明顯辨識出折射光、雲紋及色彩異質性中的至少一者。 <視角之測量> 當一樣本影像係顯示於範例1至11及比較範例1至3之每 一範例之後投射器中的透射屏上時，實施水平與垂直方向 上的視角測量。在藉由一測角耀度計而以五度為間隔之實 施測量條件下，實施視角之測量。表2中整體顯示該些視角 測量結果。 表2 對比度 折射光、雲紋、 色彩、異質性 視角(°) a (1/2衰減） 視角(°) α (1/10衰減） 垂直方 向 水平方向 垂直方向 水平方向 範例1 A A 20 23 33 60 範例2 A A 21 25 30 59 範例3 A B 20 23 27 60 範例4 A A 20 23 30 60 範例5 A B 18 21 28 61 範例6 A A 20 23 29 57 範例7 A A 20 23 28 55 範例8 A A 20 25 27 54 範例9 A C 21 23 30 59 範例10 A A 18 19 26 58 範例11 A A 18 19 27 57 比較範例1 C C 16 18 25 46 比較範例2 C C 16 18 26 46 比較範例3 C C 15 19 24 47 比較範例4 C C 15 17 23 45 比較範例5 C B 16 18 24 44 比較範例6 C B 16 18 25 44 比較範例7 C B 16 18 24 44

從表2清楚地看出，在依據本發明的範例1至11之每一範 例中的後投射器具有極佳的對比度及極佳的視角特徵。進 105843.doc -61 - 1287113 一步，在依據本發明的範例1至〗丨之每一範例中的該等後投 射器之每一後投射器上可顯示無折射光、雲紋及色彩異質 陘之一極佳的影像。換言之，在依據本發明的範例1至11之 每一範例中的該等後投射器之每一後投射器上可穩定地顯 示極佳的影像。另一方面，從上述比較範例i至7之每一 範例中的後投射器不能獲得充分的結果。 【圖式簡單說明】 k下面參考附圖而對本發明之較佳具體實施例所作的詳 細說日月中’將會更輕易地日月白本發明之前述及其他目的、 特徵及優點。 圖1係示意性顯示在依據本發明之一項較佳具體實施例 中之一微鏡片基體之一縱向斷面圖。 圖2係圖1所示鏡片基體之一平面圖。 圖3係示意性顯示在依據本發明之一項較佳具體實施例 中具有圖1所示微鏡片基體之一透射屏之一縱向斷面圖。 圖4係示意性顯示具有複數個本發明之凹部的基體之一 丨 縱向斷面圖。 圖5ASD係不忍性顯示製造具有圖4所示複數個本發明 之凹。卩的基體之方法之一縱向斷面圖。 圖6A至G係不思性顯不製造圖i所示微鏡片基體之一方 法之一範例的一縱向斷面圖。 係示意性顯示應用本發明之透射屏之-後投射器組 悲之一圖式。 【主要元件符號說明】 1 微鏡片基體 105843.doc -62-

Claims (1)

12874(^2136763號專利申請案 申请專利範圍替換本(96年2月）- 1/ Γ , 十、申請專利範圍： ——————一〜二之」 1.:種製造具有複數個凹部之基體之方法，該基體係用於製 造具有作為凸鏡片的複數個微鏡片之—微鏡片基體，彼 等複數個微鏡片係利用該複數個凹部而形成，該方法包 含以下步驟： 製備一基底基體，該基底基體具有二個主要表面； 在該基底基體之該等二個主要表面之一上形成至少一 層； ’ 在該至少-層中形成複數個開口以形成—遮罩，該複 數個開口之每-開口之該直徑在0 8至2〇叫範圍内； 藉由讓具有上面形成有該複數個開口的該遮罩之該基 底基體接受一蝕刻程序，以在該基底基體形成該複數個 凹部，而使得該等已形成凹部之每一凹部皆具有一實質 上為橢圓的形狀；以及 從該基底基體移除該遮罩， ^ 其中將該複數個已形成凹部以一碎格子（h〇undst〇〇th) 方式配置於該基底基體上， 其中，將該等已形成凹部中每一凹部在垂直於該基底 基體的該主要表面之一方向上之該深度定義為D化⑷， 而藉由將該等已形成凹部之每一凹部在其一長軸方向上 之该長度與該等已形成開口之每一開口的該直徑之間的 差除以二而獲得之值定義為s (μηι)時，]〇與§[係滿足以下 關係式：0.90sS/Dsl.40;以及 其中，當從該基底基體之該一主要表面上方觀看時， 105843-960215.doc 1287113 . 在形成該複數個凹部之一可用區域中所有該複數個已形 成凹部所佔據之面積相對於該整個可用面積之比率係 90%或更高。 2·如研求項1之方法，其中在該開口形成步驟中係形成該複 數個開口，使得當從該基體之該一主要表面上方觀看 ^ 時，一第一行凹部係相對於與該第一行凹部相鄰之一第 二行凹部而偏移，該偏移相當於該複數個凹部之每一凹 部在其短軸方向上之一半間距。 籲3. >請求項i之方法，其中該至少一層形成步驟包括以下步 驟： 在該基底基體之該一主要表面上形成包含作為一主要 材料的鉻之一第一層；以及 在該第一層上形成包含作為一主要材料的氧化鉻之一 第二層。

如巧求項1之方法，其中該開口形成步驟包括藉由雷射光 束來“、、射上面已形成該至少一層之該基底基體之步驟。 如明求項1之方法，其中在該凹部形成步驟中，係藉由將 一含有二氟化氫銨的液體用作一蝕刻劑來實施該蝕刻程 序。 6·如請求項4之方法，其中在該基底基體製備步驟中，係使 用包含一具有透明度的材料之該基底基體。 7·如凊求項1之方法，其中，將實質上為橢圓形之該等已形 成凹邻之每一凹部在其短軸方向上之長度定義為 (μπι)，而該等已形成凹部之每一凹部在其長軸方向上之 105843-960215.doc 1287113 長度疋義為[2 (μιη)時’ Li與L2滿足以下關係式：〇 1 〇 sLi/L】<0·99 〇 8· —種基體，其具有複數個使用如請求項丨之方法製造的凹 部。 9. 一種微鏡片基體，其使用如請求項8之具有複數個凹部之 • 基體而製得，其中該微鏡片基體具有二個主要表面，而 複數個微鏡片係形成於該微鏡片基體之一主要表面上。 10. 如請求項9之微鏡片基體，其中該複數個微鏡片係形成於 •該微鏡片基體之該一主要表面上，而使得當從該微鏡片 基體之該一主要表面上方觀看時，一第一行微鏡片係相 對於與該第一行微鏡片相鄰之一第二行微鏡片而偏移， 該偏移相當於該複數個微鏡片之每一微鏡片在其一短軸 方向上之一半間距。 11. 如請求項9之微鏡片基體，其中將實f上為橢圓形之該等 複數個微鏡片之每一微鏡片在其短軸方向上之長度定義 • 為U (μπ1),而該等複數個微鏡片之每一微鏡片在其長軸 方向上之長度定義為(μηι)時，^與^滿足以下關係 式：。 12_如凊求項9之微鏡片基體，其中該微鏡片基體係包含一具 有透明度之材料。 a 13· —種透射屏，其包含： 一菲涅耳鏡片，在其一主要表面上係形成有複數個同 〜稜鏡’該菲淫耳鏡片之該—主要表面構成其—發射表 面；以及 105843-960215.doc 1287113 如請求項9之微鏡片基體，該微鏡片基體係配置於該菲 涅耳鏡片之該發射表面之該側上，而使得其一主要表面 面對該菲涅耳鏡片。 1 4 · 一種後投射器 其包含如請求項13之透射屏。

105843-960215.doc Π87|1〇3ΐ36763號專利申請案 丨P1 ^ 中文說明書替換頁(96年2月）丨 七、指定代表圖： ♦ (一)本案指定代表圖為：第（3)圖。 (二)本代表圖之元件符號簡單說明： 1 微鏡片基體 2 主要基體 3 黑色矩陣（光遮蔽層） 5 菲涅耳鏡片 10 透射屏 21 微鏡片 22 有色部分（外側光吸收部分） 31 開口 51 稜鏡 L 光軸 La 平行光 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式： (無） 105843-960215.doc