TWI281901B - Storing container of clad laminate - Google Patents

Description

1281901 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明，是有關將半導體元件或液晶顯示元件的製造 所使用的光罩或光罩毛胚等的基板保管、搬運用的基板收 納容器，進一步詳細的話，是有關単枚的基板收納容器， 也可以對應附薄膜的光罩的保管、搬運的基板收納容器。 【先前技術】 作爲與習知的単枚的基板收納容器，已知例如，使本 體及蓋體藉由鉸鏈連結，在本體及蓋體的內面設置固定被 收納物的固定構件，本體及蓋體嵌合的部位的外面是統一 地構成，鉸鏈及卡止部是設置於嵌合部位的下方的容器（ 例如，專利文獻1參照）。且，具有容器本體及蓋體及蓋 固定扣環，對抗設在容器本體及蓋體的內面的銷等的支撐 突起、及藉由設在容器本體的包圍片，阻止基板的上下、 橫方向的擺動的收納容器（例如，專利文獻2參照）。 但是，專利文獻1的容器，因在打開蓋體時使光罩等 與本體同時抬起，使捲入的異物等附著容易，而在光罩等 產生外觀缺陷不良的問題。進一步，在光罩的上下方向的 支撐中，因爲在支撐構件設置柱狀的突起將光罩表面及背 面直接按壓支撐，所以有污染基板的問題。 專利文獻2的收納容器，因爲藉由塑膠製的支撐突起 將光罩等的基板的表面及背面直接按壓支撐，所以會產生 污染基板的問題或銷等的支撐突起破損的問題。 -4- 1281901 (2) 近年來，隨著光罩等的圖案的微細化、高密度化、高 品質化的要求的増大’對於光罩等的基板收納容器，也要 求低發灰塵性、損塲防止、污染防止、使用容易性等的特 性。 [專利文獻1]曰本實公平6-3 06 8 6號公報 [專利文獻2]日本特開平1〇_ 1 42773號公報 如上述，習知的收納容器是個別進行基板的定位及支 撐，因此容易引發灰塵，而無法高品質地保持基板。 【發明內容】 本發明，是依據上述的如的狀況，提供一種收納光罩 等的基板，在保管時及搬運時，防止基板損傷、因容器的 內部發塵的污染，使用容易，基板的出入時可抑制發塵， 容器本身的洗淨性、乾燥性優秀，便宜的基板收納容器。 爲了解決上述的課題，本發明的基板收納容器，可同 時進行基板的定位及支撐。 本發明，是一種基板收納容器，收納具有上面及下面 的基板的同時，具有對應基板的形狀，其特徵爲：具備下 蓋 '及與下蓋藉由鉸鏈可開閉自如地連結且在與下蓋之間 形成嵌合部的上蓋，在下蓋的複數位置，是設置抵接基板 的下面側的一對的端緣的下方支撐部，在上蓋的複數位置 ’是設置抵接基板的上面側的一對的端緣的上方支撐部。 本發明的基板收納容器，基板及基板收納容器，是皆 具有四角形狀。 -5- 1281901 (3) 本發明的基板收納容器，各下方支撐部及各上方支撐 部’是皆具有與一對的端緣抵接的一對的支撐部分。 本發明的基板收納容器，各下方支撐部及各上方支撐 部的一對的支撐部分，是具有與端緣抵接的傾斜面。 本發明的基板收納容器，下蓋的下方支撐部及上蓋的 上方支撐部，是相互對稱地配置，且具有相互對稱的形狀 〇 本發明的基板收納容器，鉸鏈是位置在容器的厚度方 向的中心的上蓋側，在容器的厚度方向的中心的下蓋側設 置密封下蓋及上蓋用的鎖定部。 本發明的基板收納容器，下蓋及上蓋之間的嵌合部是 從鉸鏈朝向鎖定部朝下方傾斜延伸，對於下蓋的鎖定部側 在基板的下方形成自動搬運臂的手指插入的空間。 本發明的基板收納容器，在下蓋及上蓋的4個角落部 外面，是各形成從其他的部分陷落的段差部。 本發明的基板收納容器，在下蓋的各段差部、及對應 於這的上蓋的段差部之間，是設置兼具下蓋及上蓋的固定 、及台架的挾入構件。 本發明的基板收納容器，在下蓋及上蓋內的凹凸部形 成圓形。 本發明的基板收納容器，下蓋及上蓋，是由導電性塑 膠構成。 本發明的基板收納容器，各下方支撐部及各上方支撐 部’是皆與下蓋及上蓋一體地形成。 -6- 1281901 (4) 依據本發明的基板收納容器，藉由基板的四個角落部 的上面側、下面側的各2個端緣將基板的定位及支撐同時 進行，就不會直接按壓光罩等的基板的表面及背面’在保 管時及搬運時，可防止基板損塲，因容器的內部發塵污染 基板。 且，打開上蓋時，放置基板的下蓋不會被抬起，基板 的出入時可抑制發塵，具有容器本身的洗淨性、乾燥性優 秀的效果。 進一步，藉由將基板的下方支撐部及上方支撐部與各 下蓋及上蓋一體構造成型，就可強化下部及上部支撐部的 剛性，抑制下方支撐的部及上方支撐部破損，防止由支撐 部破損所產生的基板的損塲或污染。且，使下蓋及上蓋的 下方支撐部及上方支撐部對稱，使收納容器的成型性容易 ，並可提供便宜的基板收納容器。 【實施方式】 以下，使用圖面說明本發明的實施例。 第1圖是顯示打開本發明的基板收納容器1的狀態的 平面圖，第2圖是顯示第1圖的基板收納容器1的A-A 線的側面剖面圖。 如第1圖及第2圖所示，基板收納容器1是具有上面 7a及下面7b的收納多角形狀（四角形狀）的基板7，具有 對應基板7的多角形狀（四角形狀）。此基板收納容器1， 是具備：下蓋3、及與下蓋藉由鉸鏈4連結的上蓋2，在 1281901 (5) 下蓋3及上蓋2之間形成嵌合部13。 且基板7是在上面7a具有4個端緣7c，且在下面7b 具有4個端緣7 c。 使用於本發明的基板收納容器的基板7，是將遮光膜 設置在使用於半導體元件或液晶顯示元件的製造的光罩（ 調製盤（標線）及也稱）或光罩毛胚等的基板、低熱膨脹玻 璃或石英玻璃等的主體，一般形成遮光膜或圖案的主面是 正方形狀，基板尺寸是依據規格決定外形尺寸。且，本發 明的基板7，是藉由加厚收納容器1的厚度，也可考慮附 薄膜的基板。 如上述的上蓋2及下蓋3是藉由鉸鏈4可開閉自如地 連結。本發明的鉸鏈4是裝卸可能在有，藉由將上蓋2及 下蓋3打開270度程度，就可將上蓋2及下蓋3容易取下 。上蓋2及下蓋3，可在取下角度再度簡單地安裝，在容 器洗淨時等可以分別洗淨乾燥。 在上蓋2及下蓋3的內面的四個角落部，分別設置4 個基板的上方支撐部5及下方支撐部6。上方支撐的部5 及下方支撐部6是與蓋個別形成後再與蓋接合也可以，但 是將上方支撐的部5及下方支撐部6蓋一體構造成型的話 ，成型容易，且支撐部的強度·精度較佳。 基板的上方支撐部5及下方支撐部6，爲了支撐基板 7的一對的端緣7 c，具有各成爲略L字形的一對的支撐部 分5a、6a。略L字形的一對的支撐部分5a、6a的交點是 形成90度，2個支撐部分5a、6a的長度雖不必定需要相 -8- 1281901 (6) 同長度，但是一般光罩等的基板7的主面因爲是正方形， 所以是支撐方向性無限制的對稱形，而相同長度是較佳。 然而，支撐圓形的基板7時，是藉由設置沿著其形狀的支 撐部分5 a、6 a就可獲得同樣的效果。然而，在第3圖， 方便上，雖只有顯示下方支撐的部6，但是上方支撐構件 5也具有與下方支撐構件6同樣的構造。 在本發明，支撐基板7的略L字形的支撐部分5 a及 6a，是具有傾斜面，支撐各基板7的支撐部分5a、6a是 成爲只與基板7的1邊的端緣7c接觸的構造。在第1圖 及第2圖，藉由在下蓋3的四個角落部的支撐部6上靜置 基板7，藉由支撐部分6a的傾斜面1 1，位於基板7的下 面7b側的四個角落部的2個端緣7c是各別與支撐部分 6a的2個傾斜面1 1接觸，基板7是被定位的同時被支撐 。即，基板7是藉由各與下面側7b的四個角落部相隣合 垂直的2個端緣7c在8處由下方支撐部6的支撐部分6a 所支撐。 對於本發明的基板7的下方支撐部6，進一步詳細說 明。第3圖，是顯示基板收納容器1的下蓋3的四個角落 部的下方支撐部6的一的例的立體圖。 支撐由L字形的2邊所包圍的基板7的端緣7c的支 撐部分6 a，是分別具有傾斜面1 1。傾斜面1 1的角度’只 要使基板7可被定位且被支撐的角度即可，對於下蓋3的 底面，成爲傾斜角1 5度〜75度程度的範圍。傾斜面1 1 的角度是1 5度未滿的話，角度太淺而基板7的支撐強度 -9 - 1281901 (7) 不充分且支撐位置的再現性低。超過7 5度的話’對於基 板7的大小的尺寸公差的話寬余度不充分而容易引起基板 的損塲。從支撐部6的機械地的強度、基板7的支撐性、 施加於基板7的力的分散性、對於基板的大小的寬余度的 點來看的話，傾斜面1 1的傾斜角是3 0度〜60度是較佳 ，進一步，使從上下橫方向施加於基板7的力均等地，將 傾斜面1 1的角度設定爲45度更佳。 且，如第3圖所示，爲了防止因基板7的偏離的與容 器的衝突，避免發生於下方支撐部6的基板端緣支撐部分 的傾斜面1 1的應力，在本發明中，設置略L字形的2邊 的支撐部分6 a的交點在空間1 2較佳。第3圖是顯示在略 L字形的2個支撐部分6 a的交點周邊去除了略圓柱狀樹 脂的空間1 2的例。 進一步，在本發明中，使2個支撐部分6a相互分離 並以90度交叉的「八」字形也可能。但是，從下方支撐 的部6的強度的點而前述的略l字形較佳。然而，上方支 撐的部5，是設置在上蓋2內之中對應下方支撐部6的位 置’具有與下方支撐的部6同樣的結構。 接著，藉由關閉上蓋2，基板7的上面側的四個角落 部的2個端緣7 c是各別與上方支撐部5的2個傾斜面1 1 接觸地支撐基板7，使基板7被固定。 即，基板7，與下面7b側相同，對於上面7a側也各 在四個角落部的相隣合垂直的2個端緣^^在8處由上方 支撐部5的支擦部分5a支撐固定。 -10 - 1281901 (8) 第4圖是顯示關閉上蓋2的狀態的側面剖面圖。 如第4圖所示，基板7是使四個角落部的上下面7a 、7b的端緣7 c，由設置於上蓋2側的上方支撐部5及下 蓋3側的下方支撐部6的支撐部分5a、6a的傾斜面1 1所 定位，同時阻止基板7的上下橫方向的動作而固定。即使 發生於搬運時等的振動基板7也不會動，因此基板7不會 損塲，也可防止因發塵使基板7被污染。 第5圖，是顯示關閉本發明的一實施例的基板收納容 器將狀態的側面圖。如第5圖所示，在本發明中，鉸鏈4 的位置是位置於容器的厚度的中心的上方，供密封上蓋2 及下蓋3用的鎖定部9及1 0是位置於鉸鏈4的下方。因 此，基板收納容器1的上蓋2及下蓋3之間的嵌合部13 ，是形成從鉸鏈4朝向鎖定部9、1 0側朝下方傾斜的傾斜 面。 藉由上述的構造，在本發明中，如第2圖所示，打開 基板收納容器1的蓋時，下蓋3的鉸鏈側不會被抬起，不 會如習知的容器因下蓋3的鉸鏈側被抬起而捲入周圍的塵 埃，無因附著於基板7的異物所引起的外觀不良。第2圖 所示的例中，上蓋2是從關閉狀態打開至約1 8 5度的角度 〇 進一步，在本發明中，加上上述第5圖的構造，鎖定 部9、1 0是位置於容器的厚度的中心的下方。上蓋2打開 時，藉由在基板7下設置自動搬運臂的手指可放入的充分 的空間7s，當打開上蓋2取出基板7時，將自動搬運臂 -11 - 1281901 (9) 的手指放入基板下，不透過人手就可進行朝基板7的收納 容器1的出入。進一步，藉由使鎖定部9、1 0的鉤形成可 由自動搬運臂開閉的構造，就可使基板7的收納容器朝的 出入、收納容器的搬運自動化。 且，本發明的基板收納容器1，是如第6圖及第7圖 所示，將包含上方支撐部5及下方支撐部6的收納容器的 四個角落部的厚度，形成比基板收納容器1整體的厚度薄 〇 第6圖，是顯示將包含支撐部5、6的基板收納容器 1的四個角落部的厚度形成比整體的厚度薄的同時，關閉 此基板收納容器的狀態的平面圖，第7圖，是其側面圖。 在第6圖、第7圖，其與第1圖、第2圖、第5圖相同部 分是使用相同符號。 在第6圖、第7圖，藉由使收納容器1的上蓋2、下 蓋3的四個角落部外面變薄，而形成段差部14。藉由將 四個角落部變薄就可使收納光罩7鎖定時的作業性容易。 且，此四個角落部因包含支撐部5、6所以可降低支撐部 5、6的高度，結果可提高支撐構件的剛性。且，因爲藉 由使四個角落部變薄形成段差部1 4 ’使作業時等的容器1 非由下蓋3的最外周而是可以由容器1的內側（支撐部5 、6附近）固定’所以不受裝置所起因的發塵的影響。 第8圖，是顯示使第6圖的基板收納容器1的四個角 落部藉由挾入構件1 5固定的狀態的平面圖。在本發明， 在設在基板收納容器1的四個角落部的上述的段差部14 12- 1281901 no) ’如第8圖所示，藉由插入挾入構件1 5，可使上蓋2及 下蓋3的固定更強力。因爲收納容器1的四個角落部的厚 度薄，所以挾入構件1 5的裝設、取下容易，使裝設後的 含有挾入構件1 5的四個角落部的厚度可在基板收納容器 1的整體的厚度的範圍內，容器的保管、搬運時的挾入構 件1 5的厚度不會成爲障礙。 挾入構件15，是可以使用塑膠製、橡膠製或是金屬 製的夾子或固定扣環。 進一步，第9圖，是顯示將第7圖的基板收納容器1 的四個角落部藉由兼具台架的挾入構件1 5固定，縱向靜 置狀態的側面圖。本發明的基板收納容器1，是如第9圖 所示，使用兼具台架的挾入構件1 5就可以呈縱型如書物 地整齊地配列於光罩保管棚等。且在容器1外側貼附1C 標簽等的話，從棚的容器1的自動出入、容器1的自動搬 運、從基板7的容器1的自動出入可能。因此藉由人手的 作業減少，由塵埃所產生的品質問題也減少，可提高品質 、生産性，可期待高品質光罩的製作、搬運、保管。 本發明的基板收納容器1的上蓋2、下蓋3、支撐部 5及6的材質，因低發塵性，洗淨、乾燥性佳所以可以再 利用。且，基板收納容器在搬運時等帶電的話，因爲放電 現象破壞光罩圖案，或因空氣中的塵埃吸著而污染基板， 使上蓋2、下蓋3、支撐部5、6是由導電性塑膠形成較佳 。導電性塑膠，可使用例如，將電阻力率的小橡膠粒子分 散於硬質樹脂中的構造的商品名B AIYON(A < 3 ^ )(吳羽 -13- 1281901 (11) 化學工業公司製）或是 NOBAROI( / 八 口 4 )( DAICEL_POLYMER (夕、、/七少示U 7 )公司製）的樹月旨。 且，使用於嵌合部13的上蓋2及下蓋3的包裝套的 密封墊8，可使用氟系橡膠，可舉例FUROR〇PLUS( 7 口 口 7、'歹只）（NICHIAS(二千7又）公司製）的製品。 在本發明中，在嵌合的上蓋2的嵌合部1 3使密封墊 8凸狀地設置，藉由將對應的下蓋3的嵌合部1 3形成凹 狀就可維持欣合部的密合性。且在密封塾的內側中另外設 置嵌合部，在鎖定部9、1 0的鎖定被解除狀態下，即使密 封墊8的密封性無法保持的狀態，嵌合部也有一部分重疊 ，可防止異物從外方混入容器1。其結果，不需要如習知 的收納容器，在基板收納後將上蓋及下蓋的嵌合部由帶等 貼合的作業。 且，在本發明中，密封墊8也具有重疊上蓋2及下蓋 3時的緩衝材的功能。 在本發明，鉸鏈4是上蓋2及下蓋3裝卸可能的構造 。且，鎖定部9、1 0是藉由形成1處以上地鎖定，例如形 成2處.，在嵌合上蓋2及下蓋3時，藉由鎖定部9、10的 鉤被鎖定，且藉由按壓鉤可解除鎖定。 打開收納基板7的容器1的蓋2、3時，爲了避免從 周圍的塵埃的落下附著的危險性，基板7的圖案面是朝下 的狀態打開是基本的。本發明的基板收納容器1，是除了 鉸鏈4及鎖定部9、1 0，可將上蓋2及下蓋3對稱形地製 造。因此從蓋2、3的雙面打開可能，在光罩製造的內部 -14- 1281901 (12) 過程等’具有可依據需要適宜選擇打開蓋2、3的優點。 本發明的基板收納容器1，不會產生收納容器的樹脂 成型時的皺紋的問題，在收納容器1的彎道部或凹凸部塵 埃不易集中，而爲了洗淨、乾燥容易，在彎道部或凹凸部 形成圓形構造較佳。 如上述，本發明的基板收納容器1，因爲可將蓋2、3 及基板支撐部5、6由一體成型製造，所以可提供剛性高 、局品質且便宜的基板收納容器。且，與基板7直接接觸 時，因爲不使用滾柱在導電性樹脂以外的物質，所以可防 止受到多餘的物質的影響。 進一步，在本發明的基板收納容器1的外側表面具備 條碼標籤或1C標簽，可依各容器製品管理。 [實施例1] 接著，說明上述實施例的具體實施例。 爲了製作6英吋的光罩（外形尺寸6χ6χ〇·25(厚度）英 吋）專用的基板收納容器，製作具有包含鉸鏈4及鎖定部 9、10的容器1的外形尺寸22〇χ23〇χ22(厚度）mm的上蓋 2及下蓋3的模具。使用商品名NOBAROI(/A' 口 Ϊ )(DAICEL —POLYMER(夕'、彳七少术9 7 )公司製）樹脂製作 樹脂厚3mm的上蓋2及下蓋3。在上蓋2及下蓋3嵌合 的上蓋2部分中，密封墊8是由聚酯彈性體樹脂形成凸狀 的嵌合部，對應的下蓋3是凹狀的嵌合部。鉸鏈4是使上 蓋2及下蓋3裝卸可能的結構。且，鎖定部9、1 〇設置2 -15- 1281901 (13) 處，嵌合上蓋2及下蓋3時，藉由鉤鎖定，並藉由按壓且 使鉤的鎖定被解除。 在上蓋2及下蓋3的內面四個角落部，將4處的支撐 部5、6分別與蓋2、3形成一體的構造。支撐部5、6是 具有3 0x3 0xl0(高度）mm的大小，從蓋2、3的底面突出 形成。在其支撐部5、6的內側的角，進一步使20 x20x 2 0 (從蓋的底面的高度）mm的L字形的基板端緣7c的支撐 部分5a、6a突出。此支撐部5、6是與蓋2、3 —體成型 所形成。由90度交叉的L字形的2邊包圍的基板端緣7c 的支撐部分5 a、6 a，是具有各別形成於2邊的傾斜面1 1 ，傾斜面1 1的角度是對於底面爲45度。且，在L字形的 2邊的交點設置圓柱狀的空間1 2。上蓋2及下蓋3是除了 鉸鏈4及鎖定部9、1 0以外，是上下對稱的形狀地形成基 板收納容器1。 接著’在打開上述的上蓋2的收納容器的下蓋3，將 6英吋的光罩7(外形尺寸6x6x0.25(厚度）英吋）的圖案面 朝下側地靜置。使位於光罩7的下面7b側的四個角落部 的2個端緣7 c，是各別與支撐部6的基板端緣7 c的支撐 部分6 a的2個傾斜面n接觸，被定位的同時被支撐。光 罩7是藉由下面側四個角落部的相隣合垂直的2個端緣， 成爲由8處各支撐於支撐部6的傾斜面11的狀態。 接著’藉由關閉上蓋2鎖定，使光罩7的上面側的四 個角落部的2個端緣7c，各別與上蓋2的支撐部5的2 個傾斜面1 1接觸使光罩7被支撐的同時被固定。即，光 -16 - 1281901 (14) 罩，是與下面7b側相同，在上面7 a側也藉由四個角落部 的相隣合垂直的2個端緣在8處各被支撐，確實被固定。 (比較例1) 藉由習知技術，使由baiyonm' 4 3 y )樹脂所形成 的上蓋、下蓋可以分割地製作 6英吋的光罩收納容器 (225x225x41mm)。此容器是爲了支撐光罩，而將定位光 罩的外周的外周固定部、及固定光罩的 BAIYON(A < 3 >)製銷狀突起，各別設在上蓋、下蓋，與光罩的接觸部 的銷狀突起先端是可緩和由矽樹脂覆蓋接觸時的衝擊。在 此容器使6英吋的光罩的圖案面朝下地靜置，由上下的銷 固定光罩。接著將上下的蓋的嵌合部由梱包帶密封，且將 四個角落部由樹脂夾子固定。 (發塵性的比較） 使用實施例1的本發明的收納容器及比較例1的習知 的收納容器，由同一條件進行強制發塵試驗的發塵性加以 比較。測量條件是將光罩各別收納於收納容器後，2小時 振動，將容器收納前及收納於容器振動後的光罩上的異物 的大小（// m)由雷射反射式異物測量裝置GM(曰立製作所 製）測量，比較異物的增加數。測量區域是1 3 0 X 1 3 0mm， 分別對於4枚進行無發塵試驗的平均値求得。其結果與習 知的收納容器相比較，判明本發明的收納容器的發塵可降 低至1 / 7。 -17- 1281901 (15) 【圖式簡單說明】 [第1圖]顯示打開本發明的一實施例的基板收納容器 的狀態的平面圖。 [第2圖]第1圖所示的基板收納容器的A-A線的側面 剖面圖。 [第3圖]顯不本發明的一實施例的基板收納容器的上 方支撐部及下方支撐部的立體圖。 [第4圖]顯示關閉本發明的一實施例的基板收納容器 的狀態的側面剖面圖。 [第5圖]顯示關閉本發明的一實施例的基板收納容器 的狀態的側面圖。 [第6圖]關閉將本發明的一實施例的四個角落部的厚 度形成比整體的厚度薄的基板收納容器的狀態的平面圖。 [第7圖]關閉將本發明的一實施例的四個角落部的厚 度形成比整體的厚度薄的基板收納容器的狀態的側面圖。 [第8圖]顯示將第6圖的基板收納容器的四個角落部 藉由挾入構件固定狀態的平面圖。 [第9圖]顯示將第7圖的基板收納容器的四個角落部 藉由兼具台架的挾入構件固定並縱向靜置狀態的側面圖。 [主要元件符號說明] 1基板收納容器 2 上蓋 3 下蓋 - 18 - 1281901 (16) 4銃鏈 5上方支撐部 6下方支撐部 6a支撐部分 7光罩（基板） 7 a 上面 7b 下面 7c基板端緣 7 s 空間 8密封墊 9、1 〇鎖定部 11傾斜面 12 空間 1 3嵌合部 1 3嵌合部 14段差部 1 5挾入構件

Claims (1)

1281901 ⑴ 十、申請專利範圍 1 . 一種基板收納容器，收納具有上面及下面的基板， 並且具有對應基板的形狀，其特徵爲：具備下蓋、及與下 蓋藉由鉸鏈可開閉自如地連結且在與下蓋之間形成嵌合部 的上蓋； 在下蓋的複數位置，是設置抵接基板的下面側的一對 的端緣的下方支撐部，在上蓋的複數位置，是設置抵接基 板的上面側的一對的端緣的上方支撐部， 基板及基板收納容器，是皆具有四角形狀， 下蓋及上蓋之間的嵌合部是從鉸鏈朝向鎖定部朝下方 傾斜延伸，對於下蓋的鎖定部側，在基板的下方形成自動 搬運臂的手指插入的空間。 2. —種基板收納容器，收納具有上面及下面的基板， 並且具有對應基板的形狀，其特徵爲：具備下蓋、及與下 蓋藉由鉸鏈可開閉自如地連結且在與下蓋之間形成嵌合部 的上蓋； 在下蓋的複數位置，是設置抵接基板的下面側的一對 的端緣的下方支撐部，在上蓋的複數位置，是設置抵接基 板的上面側的一對的端緣的上方支撐部， 基板及基板收納容器，是皆具有四角形狀， 在下蓋及上蓋的4個角落部外面，是各形成從其他的 部分陷落的段差部。 3 .如申請專利範圍第1或2項的基板收納容器，其中 ，各下方支撐部及各上方支撐部，是皆具有與一對的端緣 -20- 1281901 (2) 抵接的一對的支撐部分。 4.如申請專利範圍第3項的基板收納容器，其中’各 下方支撐部及各上方支撐部的一對的支撐部分，是具有與 端緣抵接的傾斜面。 5 .如申請專利範圍第1或2項的基板收納容器，其中 ，下蓋的下方支撐部及上蓋的上方支撐部，是相互對稱地 配置，且具有相互對稱的形狀。 6. 如申請專利範圍第1或2項的基板收納容器，其中 ，鉸鏈是位置在容器的厚度方向的中心的上蓋側，在容器 的厚度方向的中心的下蓋側，設置有用來密封下蓋及上蓋 的鎖定部。 7. 如申請專利範圍第2項的基板收納容器，其中，在 下蓋的各段差部、及與其對應的上蓋的段差部之間，是設 置兼具下蓋及上蓋的固定、及台架的挾入構件。 8 .如申請專利範圍第1或2項的基板收納容器，其中 ，在下蓋及上蓋內，形成有帶有圓角的凹凸部。 9 ·如申請專利範圍第8項的基板收納容器，其中，下 蓋及上蓋，是由導電性塑膠構成。 1 0 ·如申請專利範圍第1或2項的基板收納容器，其 中’各下方支撐部及各上方支撐部，是皆與下蓋及上蓋一 體地形成。 1281901 七 指定代表圖 (一） 、本案指定代表圖為：第（1)圖 (二） 、本代表圖之元件代表符號簡單說明： 1基板收納容器 2 上蓋 3 下蓋 4鉸鏈 5上方支撐部 6下方支撐部 5a、6a支撐部分 7光罩（基板） 8 密封墊 9、1 〇鎖定部 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學 式：