TWI272381B - Visual check apparatus and inspection system - Google Patents

Description

1272381 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種於作業員確認基板瑕疵之情形時照明 該基板瑕疲之技術。 【先前技術】 作業員在確認基板瑕疲之際，使用目視確認裝置作為作 業員之辅助裝置。目視確認裝置具有實體顯微鏡或確認顯 示為’由作業員觀察顯微鏡或是根據確認顯示器中顯示之 _ 圖像資料觀察瑕疵，進行瑕疵確認。該種目視確認裝置為 讓作業員易於觀察，一般多利用照明光源進行照明。 先前以來，已有提出一種技術，其係於檢查基板表面之 際’將照明光調整為適當狀態者。例如專利文獻1揭示之照 明光之光量調整技術。專利文獻1之發明係先拍攝基板一 次’根據圖像資料取得圖案之亮度，調整照明光之光量使 該亮度成為目標亮度，藉此，使圖案之亮度調整為始終相 同（適當）之亮度。 此外’專利文獻2揭示一種調整照明光方向之技術。於專 利文獻2中揭示之技術，係將8個照明光源於拍攝光軸之周 圍配置成圓環狀，而從該8個照明光源中適當選擇所要點亮 之照明光源。 [專利文獻1]日本專利特開2003-256814號公報 ‘ [專利文獻2]曰本專利特許第3197443號公報 ♦ 發明所欲解決之問題 然而，專利文獻1中揭示之技術，其問題在於，其係調整 101236.doc 1272381 照明光使成為觀察圖案瑕疵所需之最佳亮度，因此相對的 不適合觀察基板之底材部。 再者，專利文獻2中揭示之技術，係因應各檢查項目而選 擇照明光之照明方向之技術，因此並非針對作業，員所檢查 的部分（基板瑕疵）提供最佳照明之技術。 本^明係n於上述課題而成者’其目的在於藉由提供作 業員檢查基板瑕_需之適當照明，提升作業員確認瑕疲 時之作業效率。 【發明内容】 為解決上述課題，請求項丨之發明特徵係一種供作業員確 認基板㈣之目視確認裝置，其包括：保持基板之保持機 構’照明機構’其係向由前記保持機構保持之前述基板照 射照明光；資訊取得機構，其係取得前述基板之瑕疲相關 貧訊作為瑕ϋ訊；照明控㈣構，其係對應藉由前述資 訊取得機構取得之前述瑕„訊而控制前述照明機構；及

提供機構’其係向前述作業員提供藉由前述照明機構所照 明狀態下之前述基板瑕疵之影像。 再者’請求項2之發明係如請求項i之目視確認震置，其 中前述照明控制機構係對應前述瑕崎訊而決定前述照明 光之光量’並控制前述照明機構，使成為決定之光量。 再者，請求項3之發明係如請求項1或2之發明之目視確切 裂置’其中前述照明控制機構係對應前述瑕疵資訊而^ 她明光之照射方向’並控制前述照明機構使成為決定 之照射方向。 】〇1236.doc 1272381 再者叫求項4之發明係如請求項3之發明之目視確認裝 置 5 A中命、+* 口刀 〃 1述A明機構包含複數之光源，該複數之光源係 從相互不同之古、 力向對前述基板之瑕疵照射光；前述照明控 冓系藉由璉擇性點亮前述複數之光源，而決定前述照 明光之照射方向。 、 者明求項5之發明係如請求項1至4中任一項發明之目 視確認裝晉，y-, 一中則述提供機構包含將前述基板之瑕疵影 像放大之顯微鏡。

、 用求員6之發明係如請求項1至5中任一項發明之目 =崔i波置，其中前述提供機構進一步包含：拍攝機構， 7 攝藉由别述照明機構照明之前述基板之瑕疵影像作 為=像貝# ’及顯示機構’其係將藉由前述拍攝機構拍攝 之則述圖像資料進行畫面顯示供作業員進行目視確認用。 ^ Μ來項7之發明係一種檢查基板之瑕疵之檢查系 、/、特彳政在於包括：檢測基板之瑕庇之瑕窥檢查裝置； 視t ^凌置，其係供作業員確認藉由前述瑕疵檢查裝 置：測出之前述基板之瑕疲；前述目視確認裝置包括：保 持機構’其係保持藉由前述瑕疵檢查裝置檢測出瑕疵之基 …、月機構，其係向由前記保持機構保持之前述基板照 射…明光，貝訊取得機構，其係介以網路而從前述瑕疵檢 查破置中取得藉由前述瑕&檢查裝置 :，目關資訊作為瑕喻;照明控制機構，=: /述貝轉得機構取得之前述瑕师訊而控制前述照明 機構’及提供機構’其係向前述作f員提供藉由前述照明 101236.doc 1272381 機構所照明之狀態下之前述基板之瑕疲影像。 發明之效果 所4求項1至6之發明’其係藉由對應以資訊取得機構 侍之版疵資訊來控制照明機構，使作業員能夠在適當 π月下硯察瑕疲，故能夠正確且容易地目視確認瑕庇。 根^求項2之發明，其係藉由對應瑕疲資訊決定照明光 之光里’並依決定之光量控制照明機構，能㈣當調整照 明光。 '

根據請求項3之發明’其係藉由對應瑕疵資訊決定昭明光 之照射方向，祐饮、i — …、1 TTQ 、依决疋之照射方向控制照明機構，能夠 當調整照明光。 昭根據明求項4之發明’其中包含從相異方向對基板之瑕疵 、、光冰之複數之光源，藉由使複數之光源選擇性點亮， ϋέ決疋照明光$日g益 之“、、射方向，能夠輕易決定照明光之照射方 向0 月求員5之發明，其係藉由包含放大基板瑕疵影像之 顯微鏡二讓作業員能夠直接㈣基板瑕窥。 裙據明长項6之發明，其係將由照明機構照明之基板瑕疵 圖像以照明機構拍攝作為圖像資料，將該拍攝而得之圖像 資料顯示於供竹酱g Ώ、 系貝目視確認用之畫面，藉此使作業員能 夠容易觀察基板瑕疵。 根據請求項7 >於an u 、<务明’其係將以瑕疵檢查裝置檢測之基板 '才關貝°孔作為瑕疵資訊，透過網路從瑕疵檢查裝置取 得’藉此可減輕作業員之作業負擔。 101236.doc 1272381 【實施方式】 以下針對本發明之較佳實施形態，參照附圖詳細說明。 < 1 ·第1實施形態> w 圖1係表示包含本發明第丨實施形態之目視確認裝置4之 檢查系統1之構成例圖。檢查系統〗之構成係介以網路2而連 接瑕疲檢查裝置3與目視確認裝置4。再者，網路：亦可採用 LAN Local Area Network，區域網路）及公共線路等，凡是 能，於瑕疫檢查裝置3與目視確認裝置4之間使用特定通: 協疋進订資料通訊者即可。此外，瑕，疵檢查裝置从 認裝置4亦可連接複數之網路2。 圖2係表示瑕疵檢查裝置3之構成之方塊圖。瑕疵檢查裝 置3包括·當作業員輸入指示時進行操作之操作部％;顯示 瑕繼裝置3之操作資訊等之顯示部31;拍攝檢查對象物 即基板9G之檢查面之拍攝部32 ;使拍攝和移動至特定位 置之移動栈構33 ’處理由拍攝部32拍攝之圖像資料之圖像 處理邛34，介以網路2於其與目視確認裝置*之間進行資料 通訊之通訊部35，·及控制其他構成之控制部36。 、 知作邛30係於作業員對瑕疵檢查裝置3輸入指示等情形 時進行操作。具體而言，其相當於各種按鈕類、鍵盤、滑 鼠等亦可以疋執跡球、搖桿或觸控面板等。此外，顯示 部31可以是顯示各種資料之液晶顯示器，亦可以是LED Light Emming Di〇de，發光二極體）或顯示燈等。 拍攝^ 32與-般CCD攝影機等具有相同功能，其係逐一 將基板9G之&查面分割成特定大小之區塊拍攝成圖像資 101236.doc 1272381 料’並將拍攝到之圖像資料傳遞至圖像處理部34。 移動機構33係根據來自控制部36之控制訊號，使拍攝部 32移動至特定位置。再者，以編碼器等之感測器檢測出拍 攝部32之位置，並傳遞至控制部36。 圖像處理部34係對拍攝部32所拍攝之圖像資料（將基板 90分割成各區塊逐一拍攝而得圖像資料）進行特定圖像辨 識處理，判定是否有瑕疵。再者，圖像處理部34根據檢測 到之瑕疵區域位置及瑕疵區域大小，產生瑕疵資料1〇〇 (圖 _ 7)，並傳遞至控制部36。 此外，在本實施形態之瑕疵檢查裝置3中，係使用相對於 基板90之拍攝到該瑕疵區域之圖像資料之中心座標及該圖 像資料中之該瑕疵區域之中心座標作為瑕疵區域之位置資 汛，而使用瑕疵區域之縱橫尺寸作為瑕疵區域之大小資 訊。惟作為瑕疵區域之位置資訊及瑕疵區域之大小資訊不 限於此，例如亦可直接使用相對於基板9〇之座標，作為表 _示瑕疵區域之位置資訊。再者，作為表示瑕疵區域大小之 資訊，亦可使用瑕疵區域之像素數或者包圍瑕疵區域之圓 形直徑。此外，亦可構成為由控制部36進行圖像處理部34 之處理中之一部分。 通訊部35之功能係介以控制部36取得由圖像處理部“產 生之瑕疵資料100,並介以網路2傳送至目視確認裝置4。控 制部36包含未圖示之CPu及記憶裝置，其係執行各種資料 之圮憶及運异而產生控制訊號，藉此控制瑕疵檢查裝置3 之其他構成。 101236.doc -10- 1272381 圖3係目視確認裝置4之正面圖；圖4係目視確認裝置4之 側面圖。圖5係目視確認裝置4之方塊圖。又於圖3中定義為 水平X軸及γ〇軸、垂直z〇軸；在圖4中亦定義如下： (1) 從水平Y0軸於垂直面内向下若干傾斜並與χ軸正交之 Y軸；及 (2) 與χ軸及γ軸正交之z軸。 本属施形恶之Y軸及Z軸各自與γ〇軸及2〇軸呈傾斜，但亦 可使Y軸與γ〇軸一致、使Z軸與2；〇軸一致。 目視確認裝置4包括：用以輸入作業員的指示之操作部 4〇;於晝面顯示操作目視確認裝置4所需的必要資訊及圖像 貝料之確認顯不器41 ;拍攝基板9〇上之瑕疵處作為圖像資 料之拍攝部42 ;保持基板9〇之檢查台43;配置於檢查台43 兩側之左右一對移動機構44;使拍攝部42於义軸方向移動之 移動機構45 ;照明機構46;通訊部47;及控制部“。此外 並包括：具有從檢查台43之兩側部分略呈水平架設的架橋 構造之支持架台490;將確認顯示器41支持於目視確認裝置 4上方之支持構件491 ;及用以保護拍攝部42之保護蓋492。 目視確認裝置4詳如後述，其係於比較拍攝被檢查基板9〇 而付之圖像資料與主圖像（例如拍攝作為基準之主基板而 得之圖像資料，或是由CAD資料製成之數位對映圖像資料） 並進行檢查之檢查系⑹中，具有作為由作業貫目視確認瑕 疲所在之處的裝置之功能。 操作部4 0係於作業員對目視確認裝置4輸入指示等情形 時進行操作。具體而言’其相當於各種按鈕類、鍵盤、滑 101236.doc -11 - 1272381 鼠等，亦可以是執跡球或觸控面板等。此外，本實施形態 中之目視確認裝置4之操作部4〇類型包括直接操作拍攝部 42之縮放位置之轉盤，或直接操作拍攝部42之χγ位置之搖 桿等。 確認顯示器41係由支持構件491予以支持於目視確認裝 置4之上部，根據來自控制部48之控制訊號，於畫面顯示各 種 料。作為確認顯示器41，例如相當於液晶顯示器等。 拍攝部42係一般的CCD攝影機，其係藉由2元配置於内部 之影像感測元件（CCD)，將沿著拍攝鏡頭等光學系統之光軸 (略垂直於X軸及Y軸之軸）入射之光線進行光電轉換。藉由 光電轉換而得之電子訊號會被各自傳遞至控制部48作為像 素值。 此外，拍攝部42包含縮放機構42〇及對焦機構421。縮放 機構420之功能係根據來自控制部48之控制訊號，決定拍攝 部42之光學系統之縮放位置，藉此決定拍攝部“之拍攝倍 率。藉由縮放機構420決定拍攝倍率，而決定拍攝部“之拍 攝區域範圍。此外，㈣、機構421之功能係根據來自控制部 48之控制訊號，進行拍攝部42之對焦。 檢查台43之上面與XY平面略平行，藉由作業員或未圖示 之搬運機構等，將料至目視確認裝置4之檢查用之基板9〇 保持於特定位置。 一對移動機構44各自安裝於支持架台49〇之兩側，使支持 架台490於Υ軸方向移動，藉此使支持架台彻之移動量及位 置能夠藉由控制部48控制。此外，移動機構45安震於支持 101236.doc -12- 1272381 采台柳，使拍攝部42沿著支持架台例於χ軸方向移動。夢 此’使拍攝部42之移動量及位置能夠藉由控制部48控制。

如上所述，因目視確認裳置4包含移動機構44、Μ，因此 目視確認裝置4能夠藉由控制部48之控制，使拍攝部42移動 =χγ平面之任意位置。因此’拍攝部42能夠對保持於檢查 台43上之基板90相對移動’而能夠拍攝該基板9〇之任意區 域。亦即，藉由移動機構44、45，決定拍攝部42之拍攝區 域之位置。 作為具有該種功能之移動機構44、45，可使用例如採用 飼服馬達、滾珠螺桿及滾珠螺帽等周知機構。亦即_特 定方向延設滾珠螺桿，藉由伺服馬達使其回轉，使滾珠螺 t目於特疋方向移動’並由控制部48控制伺服馬達之回轉角 度’藉此能夠控制各個位置。然而作為移動機構44、45之 機構’當得不限於此’亦可藉由其他周知之機構實現。 圖6係表示照明機構46之平面圖。又圖線表示^ 所不之照明機構46之剖面位置。照明機構46包含6個照明光 源460至465，照明光源偏至咐係以點〇為中心成環狀配置 之光源。藉此照明機構46即構成所謂的分割環照明。 各照明光源460至465藉由未圖示之電源及纜線等相連 接，與該電源電性連接即點亮，與其電性斷路即熄滅。此 外，其係藉由點亮之際該電源之電壓值之增減而使光量變 化。亦即，各照明光源460至465係構成能夠藉由控制部48 而各自獨立進行開/關控制及光量控制。 作為本實施形態中之照明光源460至465雖使用複數之白 101236.doc •13- 1272381 色LED，但去垣丁 μ , 一田传不限於此，亦可採用例如受同步控制之複 數之*光；t且構成單J照明光源。此外，本實施形態中之目視 雀u表置4雖包含6個照明光源46〇至，但其能夠分割之 光源數罝不限於此。 囷所示，照明機構46係包圍在拍攝部42之光軸周圍， 拍攝邛42之光軸（更詳言之，即光軸之中心軸p)係以大致通 過=明機構46之中心點〇之方式配置。如圖4所示，本實施 形匕、中之目視確認裝置4係將拍攝部42及照明機構Μ形成 為體化構迨物，因此，拍攝部42即使藉由移動機構44、 45而移動，拍攝部42與照明機構46之配置關係仍為固定。 精此，在圖5所示之例中，照明光源46〇係於照射方向d〇 對基板90照射照明光。同樣的，照明光源牝3係於照射方向 D3對基板9G照射照明光。亦即，各照明光源彻至465係配 置作為從各個不同方向照射拍攝部42的拍攝區域之光源。 通訊部47係介以網路2與瑕疵檢查裝置3之間進行資料通 訊。藉此，使目視確認裝置4接收從瑕疵檢查裝置3傳來之 瑕疵資料100。亦即，通訊部47主要相當於本發明中之資訊 取得機構。 控制部48包括CPU480、作為cpU48〇之暫時工作區域使 用之RAM481、讀取專用iR〇M482、及固定磁碟483。控 制部48如圖5所示，其係與目視確認裝置4之其他構成保持 能夠收發訊號之連接狀態。 CPU480係依照程式484進行動作，藉此運算來自操作部 40之輸入資訊及來自拍攝部42之圖像資訊，產生控制訊 101236.doc -14- 1272381 號，而控制目視確認裝置4之各構成。RAM48l、r〇M482 及固定磁碟4 8 3係作為適當記憶來自作業員之指示資訊、程 式484或所取得之各種資料等之記憶裝置發揮功能。 圖7係表示控制部48之功能構成暨資料流之方塊圖。其係 藉由CPU480依照程式484進行動作，實現圖7所示之功能構 成中資料處理部485、照明控制部486、位置決定部487及倍 率決定部488之功能構成。 貝料處理部485之功能係使從操作部4〇輸入之設定資料 籲102記憶於固定磁碟483。又，設定資料102係所謂配方 (Recipe)之資訊，即將檢查條件與照明光之基準資訊相互建 立關聯之資訊。該檢查條件與照明光之基準資訊之關聯係 預先藉由實驗而求得。 在本實施形態中所謂的檢查條件，是指基板9〇之類別、 形j圖案之物質、所欲確認之瑕疵之類種、及瑕疵部分之 材質等條件。惟檢查條件不限於此，諸如進行檢查之作業 貞為何（作業員姓名）等’凡是當作業員進行目視確認時具有 必眉k更照明光之可能性之條件，無論任何條件皆可作為 k查條件。在匕夕卜，所謂基準資訊是指在建立關聯之搜尋條 件中用以適當控制照明光之資訊，在本實施形態中，即最 佳照明光之照明方向及照明光量之相關資訊。 2料處理部485係使作業員所輸入之設定資料1〇2記憶於 固定磁碟483,藉此於固定磁碟483中建構設定資料1〇2之資 料庫。藉此，只要將檢查條件作為搜尋關鍵字，搜尋固定 磁碟483之資料即可得到該檢查條件中之最佳照明光之 101236.doc -15- 1272381 照明方向及照明光量等基準資訊。 照明控制部486包含方向決定部486a及光量決定部料讣。 方向決定部486a係參照瑕疵資料1〇〇,取得作為確認對象 之瑕疵相關資訊，以其作為搜尋關鍵字搜尋固定磁碟483， 讀取對該瑕疫之最佳照明方向。亦即，根據瑕疵資料1〇〇 指定配方，而決定指定配方所設定之照明方向為最佳照明 方向。 一旦藉由方向決定部486a決定照明方向，照明控制部486 即k 6個照明光源460至465中選擇所要點亮之照明光源（以 下略稱作「點焭照明光源LG」）。如前所述，各照明光源4⑼ 至465係從各自不同方向照射光線之光源，其各自具有獨特 的照射方向。因此，照明控制部486係選擇照明光之照射方 向與藉由方向決定部486a決定之照明方向一致之照明光源 作為點亮照明光源LG。以圖5所示例子而言，如為藉由方 向決定部486a決定照明方向D0之情形，照明控制部486係選 擇…、明光源460作為點壳照明光源lg。又點亮照明光源 未必為1個，例如在適合使用環狀照明之情況下，6個照明 光源460至465全數皆為點亮照明光源乙(3。 光里決定部486b以如同方向決定部486a決定照明方向之 相同手法’決定照明機構46之照明光之光量。亦即，一方 面芩肤瑕疵資料100，一方面搜尋固定磁碟483，而決定最 佳照明光量。 旦藉由光量決定部486b決定照明光量，照明控制部486 即使點亮照明光源LG之照明光比照該照明光量，決定對點 101236.doc -16- 1272381 亮照明光源LG供給電力之電源之電壓值。 再者，照明控制部486會向照明機構46傳遞識別所選之點 焭照明光源LG之資訊、及對點亮照明光源L(J供給電力之電 源之電壓值。照明控制部486即藉此控制照明機構46。 位置決定部487係對應瑕疵資料1〇〇中所含的瑕疵位置， 決定用以拍攝確認的瑕疵之拍攝部42之拍攝位置。再者， 藉由控制移動機構44、45,使拍攝部42移動至所決定之拍 攝位置。 倍率決定部488係對應瑕疲資料1〇〇中所含的瑕疲大小、 及確認顯示器4i之顯示區域(顯示，象資料1〇1之區域)之大 小，決定拍攝部42之拍攝倍率。再者，藉由控制縮放機構 420，調整拍攝部42之縮放位置。 又-般而言，即使是在相同光量之照明光基礎下拍攝之 圖像’若提高拍攝倍率則拍攝出的被攝體影像較暗，若降 低拍攝倍率則拍攝出的被攝體影像較亮。因此，本實施形 態中之目視確認裝置4會對應由倍率決定部似決定之:攝 倍率，校正照明機構46之光量。 回到圖3,支持架台490具有從檢查台似兩側部 軸方向略呈水平架設之架橋構造，且具有將拍攝部 於仏查台43上方之功能。此外，於支持架台例上 1

述之移動機構45。 、有月,J 之入射 而藉由 以保護 一保護盖492不僅保護拍攝部42，藉由阻播來自他處 光、’具有使拍攝部42能夠鮮明拍攝基板9()之功能。 後述之處理’適當調整照明機構46之照明。因此， I01236.doc 17 1272381 蓋492阻擋來自外部之入射光，僅藉由經適當調整之照明光 進行拍攝部42之拍攝。藉此，目視確認裝置4即可在所要之 照明條件下拍攝基板90。又，保護蓋492係固定裝設於支持 架台490，藉由移動機構44與支持架台490 一併於丫軸方向移 動，而始終覆蓋於拍攝部42之上方。 以上為本實施形態之檢查系統丨之功能及構成之說明。其 次針對檢查系統1之動作進行說明。圖8係表示本實施形態 之檢查系統1中瑕疵檢查裝置3之主要動作流程圖。 百先，瑕疵檢查裝置3在運入基板90前待機（步驟su)， 運入基板90後，即保持運入之基板9〇 (步驟S12)。 其次，控制部36控制移動機構33，使拍攝部32移動，由 拍攝部32拍攝基板90 (步驟Si3)。拍攝部32之輸出訊號會被 傳遞至圖像處理部34，並作為圖像資料傳遞至控制部％。 一旦獲得拍攝基板9〇之圖像資料，控制部36即進行邊緣 檢測之圖案辨識處理等之圖像辨識處理、及與主圖像進行 比較之不一致檢測處理等，檢測基板9〇之瑕窥（步驟$ 14)。 再者，控制部36根據檢測到之瑕疵大小、位置、形狀及類 別（缺口、凹陷等）等檢測到的瑕疵之固有資訊，產生瑕疵資 料100 (步驟S15)。 此外，有可能從1次拍攝而得之圖像資料檢測出複數之瑕 ’疵，也有可能從相同基板9〇之其他區域拍攝到之圖像資料 檢測出不同瑕疵。亦即，基板9〇之瑕疵不限於“固，瑕疵資 料100中對於複數之瑕疵各自含有其固有資訊。此外，控制 口 P 3 6在檢測出第i個瑕疵之時點（產生瑕疵資料1⑼之時 101236.doc -18 - 1272381 點），於瑕疵資料100中亦含右其 丁刀3有基板90之固有資訊。基板90 之固有資§fl是指例如基板9 〇之1 s丨 、 土微之識別碼、基板90之材質、形 成圖案之物質、所形成之]g|宏/ 攻之圖案位置專資訊，即於該基板90 上檢測到的瑕症之共理眘％。 k貝Λ 因此，瑕疵資料1 〇〇是指與基 板90之瑕疲相關之f訊’依檢測到瑕疯之基㈣逐一產 生，其中含有該基板90之固有資訊，及檢測到之每個瑕疵 (不限於1個）之固有資訊。

對以1次拍攝而得之圖像資料處理結束時，針對基板90 全區衫是㈣測結束（步驟S16)。如有尚未見行檢測之區 域’則藉由移動機構33使拍攝部32(步驟S17)，重複從步驟 3以下之處理。另—方面’如已針對所有區域檢測結束， 則由通訊部35介以網路2將瑕疲資,料⑽傳送至目視確認裝 置4(步驟S18)。 瑕疲資料100傳送結束且將檢查完畢之基板9〇運出後，瑕 疲檢查裝置3即返回步驟S11，待機等候下—個基板9〇運 入。以上即於瑕疵檢查裝置3中所做之處理。 圖9係表示本實施形態之檢查系統丨之目視確認裝置4之 主要動作流程圖。目視確認裝置4於未圖示之初始設定結束 後’―方面分別監視作業員之輸人、I自瑕症檢查裝置3 之資料接收及基板90之運入，一方面待機（步驟S21、S23、 S25)。 ®作業員操作操作部40而對目視確認裝置4輸入設定資 料1〇2~日夺（於步驟S21為YES)，資料處理部485即根據所輸入 之认定貝料102，使設定資料1〇2記憶於固定磁碟483 (步驟 101236.doc -19- 1272381 S22)。輸入之設定資料1〇2如前述，係將檢查條件盘美準資 訊建立關聯之配方資訊。藉此，於固定磁碟483中建構Μ • ㈣⑽之資料庫’如此即完成作業員所要進行之料確認 作業之準備工作。 • Λ外…旦檢測出從瑕疲檢查裝置3接收到資料（於步驟 S23為YES) ’通訊部47即將接收到的瑕疵資料⑽傳送至 RAM481。心疵資料1〇〇中含有基板9〇之相關資訊，能夠根 據基板90之識別碼判定是哪個基板9〇之瑕疵資料ι〇〇。因 籲此於圖7中省略未圖不之部分中，被傳送之瑕疲資料⑽ 會暫時圯憶於固定磁碟483 (步驟S24)，於適當時序（該基板 90被運入目視確認裝置4之時等）讀取供後述之處理運用。 如檢測出有新的基板90運入目視確認裝置4 (於步驟s25 為YES)時，目視確認裝置4即執行確認處理（步驟S26)。 圖10及圖11係表示本實施形態之目視確認裝置4之確認 處理流程圖。確認處理程序是，首先由檢查台43將運入之 基板90保持在特定位置（步驟S31)。 _ 其次，控制部48將運入之基板90相關瑕疵資料1〇〇從固定 磁碟483讀出至RAM481。再者，照明控制部486指定讀出之 瑕疵資料1〇〇所表示之瑕疵中所要確認之瑕疵（步驟S32)。 如丽所述’ 1片基板9〇中有可能檢測出複數之瑕疵，1個 瑕疯資料100 (針對1片基板9〇之瑕疵資料1〇〇)中有可能含 有複數之瑕疵之固有資訊。在此，照明控制部486執行步驟 832從瑕疲資料1〇〇内含之複數之瑕疯中，逐一指定所要確 認之瑕疫（以下稱作「確認對象瑕疵」）並進行後續處理。又， 101236.doc -20 - 1272381 從複數之瑕疵中選擇確認對象瑕疵之手法無特別限定，但 於本實施形態之目視確認裝置4中’係使用依據由瑕疯檢查 裝置3所檢測出之順序依序指定順次確認對象瑕疵之手法。 一旦指定確認對象瑕疵，首先，由方向決定部48以藉由 參照瑕疫資料10 0，取得基板9 〇之該確認對象瑕庇相關資訊 (基板90之固有資訊及該確認對象瑕疵之固有資訊，以下稱 作「對象㈣資訊」）’而根據取得之對象瑕疲資訊，搜尋 固定磁碟483。 在本實施形態之目視確認裝置4中，將對象瑕疵資訊設為 k查條件，以其作為搜尋關鍵字由方向決定部48以搜尋固 定磁碟483，藉此取得關聯之基準資訊(對象瑕疵資訊所示 之條件中之最佳照明光之照明方向)。亦即，決定確認對象 瑕疵確認所需之最佳照明光之照明方向（步驟s33)。同樣 $，由光量決定部486b以對象瑕疵資訊作為搜尋關鍵字搜 尋固定磁碟483，藉此決定最佳照明光量（步驟s34)。 又，方向決定部486a及光量決定部486b各自決定照明方 向及照明光量之手法，不限於從預設條件中搜尋之手法（即 所吻配方叹定之控制），亦可於瑕疵資料1㈧中直接包含例 如：佳照明光之相關資訊。此外，亦可根據瑕疵資料1〇〇 ^ S之=貝汛，由方向決定部486a及光量決定部486b藉由運 求出最佺照明方向及照明光量。例如，當確認對象瑕 ;員別為缺口瑕疵」之情形時，亦可從該確認對象瑕 疵之位置及圖案之配置，判定圖案於何方向具有缺口，藉 此決定最佳照明方向。 曰 101236.doc -21 - 1272381 一旦藉由方向決定部486a決定照明方向、由光量決定部 486b決定照明光量，照明控制部486即根據該等控制照明機 構46，照明機構46即依照該控制開始照射照明光（步驟 S35)。具體而言，照明控制部486係對應決定之照明方向而 k 6個照明光源46〇至465中選擇點亮照明光源lg，將其識 別碼傳遞至照明機構46。此外並對應決定之照明光量，將 所應供給至點亮照明光源LG之電壓值（供給電壓值）傳遞至 照明機構46。照明機構46使與所傳遞之識別碼子對應之照 • 明光源460至465點亮，並將供給電力至該點亮照明光源 之電源之電壓值設定為供給電壓值。藉此，從照明機構46 向基板90照射照明光，開始對基板9〇進行照明。 一旦對基板90開始照明，位置決定部487即根據瑕疵資料 1 00内含之確認對象瑕疵之位置資訊來控制移動機構44、 45，藉此使拍攝部42移動至能夠拍攝到確認對象瑕疵之位 置。此外，倍率決定部488根據瑕疵資料1〇〇内含之確認對 象瑕疵大小，決定拍攝部42之拍攝倍率，控制縮放機構 _ 420。如此一來，拍攝部42之拍攝區域之位置及範圍一旦決 定’即於對焦機構421進行對焦後由拍攝部42進行拍攝（步 驟S36)。拍攝而得之圖像資料1〇1先被傳送至控制部“之 RAM481，經過特定處理後顯示於確認顯示器41 (步驟S37)。 在此’利用圖式說明照明光之照明光量及照明方向不同 而產生之瑕疵外觀差異。圖12至圖14係依據瑕疵之材質， 說明照明光之光量有所變化之情況下之外觀差異之圖。圖 12表示降低照明光光量之狀態，圖14則表示提高照明光光 101236.doc •22- 1272381 里之狀態。此外，圖13係將照明光之光量設在圖12所示例 子及圖14所示例子之中間光量之狀態。 在圖12中，對於金製之圖案容易確認其狀態，然而塗布 光阻之部分則較暗而無法判斷狀態。另一方面，在圖14中， 塗布光阻之部分則比圖12所示例子易於觀察。亦即，塗布 光阻之部分若以一般光量之照明光照射，無法觀察到瑕 疵，而必須以如圖14所示之較強光量之照明光照射。惟該 種…、明光會被金製之圖案強烈反射，而無法正綠觀察金製 _ 圖案之表面狀態及輪廓。換言之，從圖12至圖14之比較中 明顯可知，確認瑕疵時，隨著該所欲確認的瑕疵（確認對象 瑕疵）之材質不同，適當的照明光之光量亦不同。 在本實施形態之檢查系統丨中，由瑕疵檢查裝置3檢測瑕 疵之際，係於瑕疵資料1〇〇中含有該瑕疵之材質，由目視確 認裝置4之光量決定部486b參照該瑕疵資料1〇〇，而對應瑕 疵材質決定照明光量。因此，例如當瑕疵存在於塗布光阻 之部分之情況下，在確認顯示器41上顯示者係於照明光之 _ 光量較高之狀態下所拍攝之圖像資料1(H。亦即，其係顯示 如圖14所示之圖像，因此作業員能夠易於觀察塗布光阻的 部分中之瑕疵。又只要基板90之材質、圖案材質、圖案之 位置、塗布膜之種類等為已知，則瑕疵之材質亦可根據瑕 疵位置判定。 圖15至圖17係說明當照明光之光量有所變化之情況下， 凹陷瑕疵之外觀差異之圖。又圖丨5至圖丨7之照明光量分別 與圖12至圖14所示之例相同。 101236.doc -23· 1272381 如圖1 5所示，若照明光之光量較低，金製之圖案表面會 因凹fe瑕窥NG而形成陰景>，容易觀察。另一方面，如圖I? 所不，若提高照明光之光量，則無法看見凹陷瑕疵N(5。此 外，在此雖未圖示，但對於附著瑕疵等情況下，提高較高 光量較易於觀察，這是因為以附著於金等不必要部分而形 成之附著瑕疵之情形而言，該附著物明亮醒目而容易觀察 之緣故。 在本實施形態之檢查系統丨中，由瑕疵檢查裝置3檢測瑕 疵之際，係於瑕庇資料100中含有該瑕疫之類別，由目視確 認裝置4之光量決定部486b參照該瑕疵資料1〇〇，對應瑕疵 之類別而決定照明光量。因此’目視確認裝置4係對應瑕疵 之類別’顯示出以適當之照明光拍攝而得之圖像資料⑻， 因此作業員能夠容易觀察瑕疲。又瑕疵之類別可根據瑕疵 之位置、形狀或反射光量等而指定。 圖18至圖20係說明變更照明光之照明方向之情況下之外 觀差異。圖u表示利用環狀照明照射無指向性之照明之情 形。圖19及圖20表示從各自不同方向照射具 光之情形。 ，、乃 如圖18所示’無指向性之環狀照明由於是從所有方向昭 ^明光’因此圖案表面不會形成陰影，不利於觀察瑕^ /於圖19所不之例中，雖能觀察到圖案表面之瑕疫， I:圖20所示之例中，儘管照射具有相同指向性 光，但卻難以顴家闰电φ τ …、73 ㈣圖案表面之瑕疵。據判這 因瑕疲之形狀或方向而有容易形 哈办曰 勿7风之方向性之緣故。例 101236.doc -24- 1272381 如，如為細長形之凹陷瑕疵，相對於從與瑕疵之延伸方向 :行之方向照射之照明光’幾乎不會形成陰影，但相對二 從與瑕疲之延伸方向垂直之方向照射之照明光，則會形成 較清楚之陰影。從圖18至圖20可知，適當之照明光：照明 方向係因瑕疵而異。 在本實施形態之檢查系統^，由瑕疫檢查裝置3檢測瑕 疵之際，係於瑕疵資料100中包含該瑕疵之類別、形狀、位 =等資訊，由目視確認裝置4之方向決定部486a參照該瑕疵 資料100，對應瑕疵相關資訊而決定照明方向。因此，目視 確認裝置4係對應各個瑕疵，顯示出以適當照明方向之照明 光拍攝而得之圖像資料101，因此作業員能夠容易觀察瑕 疲0 如上所述，本實施形態之檢查系統丨係對應基板％之各個 瑕疵之相關資訊（瑕疵資料100)，由照明機構46控制照射之 照明光，故可依所要確認之瑕疵照射最佳照明光。然後將 以該照明光拍攝而得之易於觀察之圖像資料101藉由確認 顯示器41向作業員提示，因此作業員能夠輕易進行瑕疵之 確認作業。 圖像資料101 —旦顯示於確認顯示器41，目視確認裝置4 即監視照明變更指示之輸入（步驟S41 )，並待機直到確認作 業結束為止（步驟S42)。又所謂的照明變更指示，係用來變 更照明光之照明方向及照明光量之指示，例如當目視確認 裝置4依據配方設定調整之照明光照射下難以確認瑕疵 時，由作業員下判斷進行輸入。 101236.doc -25- 1272381 如於確認作業結束前遇有照明變更指示輸入之情形（於 步驟S41為YES)時，即受理來自作業員之該輸入（步驟 S43)’對應所輸入之照明變更指示控制照明機構46，而變 . 更照明光（步驟S44)。藉此，使照明機構46照射之照明光變 更為作業員所要之照明光。 其次，根據照明變更指示所示之照明光之照明方向及照 明光里，更新固定磁碟483之設定資料1〇2之資料庫（步驟 S45)。再者，返回步驟S36，以變更後之照明光由拍攝部u _ 進行拍攝，並重複其後續處理。 藉此，作業員於確認作業過程中亦可變更為所要之照明 光，並能夠利用所要之圖像資料1〇1持續進行確認作業。此 外以隻更後之内容更新資料庫，則自下次起，能夠將依 據k更後之照明光拍攝而得之圖像資料丨〇丨顯示於確認顯 示器41。又於變更照明光之情形時，亦可設計能夠選擇是 否進行資料庫更新（步驟S45)之選項。 針對確認對象瑕疵所做之確認作業一旦結束（於步驟S42 為YES)，控制部48即參照瑕疵資料1 〇〇判定是否已記錄尚未 確涊之瑕疵（步驟S46)，如有尚未確認之瑕疵，則返回步驟 S32重複進行處理。另一方面，若基板9〇上沒有未確認之瑕 疲’則藉由控制部48之控制，由照明機構46熄滅點亮照明 光源LG (步驟S47)。再者，待機直到基板9〇運出後，結束 確認處理並返回圖9所示之處理。 如以上所述’本實施形態之檢查系統1包含目視確認裝置 4’該目視確認裝置4之照明控制部486能夠對應基板9〇之瑕 101236.doc -26· 1272381 疵相關資訊（瑕疵資料100内含之對象瑕疵資訊）來控制照明 機構46，藉此依各瑕疵逐一控制照明光。因此，能夠照射 作業員觀察瑕疵所需之適當照明光。 再者，藉由方向決定部486a決定照明光之方向，由照明 控制部486依方向決定部486a所決定之照明方向控制照明 機構46，藉此使作業員能夠在從適當方向照射照明光之狀 態下觀察基板90。 此外，藉由光量決定部486b決定照明光之光量，由照明 • 控制部486依光量決定部486b所決定之照明光量控制照明 機構46，藉此使作業員能夠在照射適當亮度的照明光之狀 悲下觀察基板9 0。 此外，於瑕疵檢查裝置3檢測基板9〇之瑕疵之際，藉由針 對檢測到之瑕疵產生瑕疵資料1〇〇並傳送至目視確認裝置 4,作業員無需依所要確認之瑕疵逐一輸入瑕疵資訊，即可 適當控制照明光，因此能減輕作業員之負擔。 < 2 ·第2實施形態> 馨纟第1貫施形態中，乃對應由檢查之上游工序所產生之瑕 ’疵負料100來控制照明機構46，然目視確認裝置亦可不連接 於網路，而作為獨立裝置發揮功能。 圖21係顯示根據此種原理而構成之第2實施形態之目視 確認裳置4a之外觀圖。在圖21中，省略位於目視確認裝置 4a内部構成之圖*。此外，圖22係目視確認裝置乜之匯流 排配線圖。又於以下說明中，針對與第丨實施形態之目視確 涊裝置4大致相同之構成附註相同符號，適當省略說明。 101236.doc -27· 1272381 第2實施形態之目視確認裝置4a之主要構成係檢查台 43a、移動機構44a、框體49及顯微鏡5〇，與第1實施形態之 目視確認裝置4相異。又，圖21及圖22中雖未圖示，然目視 石霍認裝置4a亦可適當包括記錄磁碟等讀取記憶媒體之裝置 等。此外，在圖2 1中省略遮蔽來自外部之光線之保護蓋。 操作部40包括鍵盤4〇〇、滑鼠401、搖桿402及按鈕403、 404 ’供作業員對目視確認裝置牦輸入指示時使用。此外， 操作。卩4 0不僅用來輸入指示，如前所述，亦可於輸入瑕疯 _ 資料100之基本資訊時使用。又操作部40亦可採用兼作確認 顯示器41之觸控面板，或者具有〇cR功能之掃描器等。此 外’亦可採用將該等併用之構成。 才欢查台43a係將所要檢查之基板9〇保持在特定位置，且藉 由移動機構44a而能夠於χγ平面内移動。本實施形態之拍 攝部42係與顯微鏡5〇—體固定。不過，藉由使檢查台43a能 夠移動，由控制部48控制移動機構44a，藉此能夠使拍攝部 ^ (+及顯微鏡50)與基板卯相對移動。因此，拍攝部42如同 第1實施形態，能夠拍攝基板90之任意區域。 移動機構44a係使檢查台43a於XY平面内移動之機構。在 目視確認裝置4a中’可利用搖桿術直接操作移動機構 44a。此外，藉由位置決定部487，亦能夠對瑕疵資料1〇〇進 行控制。 框體49係於内部收納並保護移動機構44a、通訊部47及控 制部辦，作為將目視確認裝S4a之各構成配置 : 置之基台發揮功能。 101236.doc -28- 1272381 顯微鏡5 〇係介以B加_ n 、 目鏡荨’使檢查對象物（基板90)之放大 〜象於作業員之視網 _ 胰上成像之裝置。弟1實施形態所示之 =過顯示於確認顯示器41之圖像f料⑻進行之瑕庇觀 =係將來自基板，職之光線藉由影像感料件予以 ：換等而間接觀察。但是本實施形態之目視確認裝置4 、#匕3顯微鏡50，使作業員能夠從基板90的瑕疵影 像直接進行觀察，因此，作業員能夠進行正確之判斷。 使用顯微鏡5〇之作業員宜在盡可能靜止之狀態下進行確 =作業’因此顯微鏡5G係固定於框體49,於大致靜止之狀 γ使用此外，作業員宜使用顯微鏡50觀察顯示於確認 顯不态41之瑕疵’故拍攝部42之拍攝位置與顯微鏡之觀 測位置宜設為-致。因此，如前所述，本實施形態之目視 確認裝置4a之拍攝部42係與顯微鏡5〇一併固定，形成一方 面由檢查台43a保持基板90、一方面移動之構成。 又如圖21所示，在本實施形態之目視確認裝置仏中，亦 一體形成拍攝部42、顯微鏡50及照明機構乜，且使用顯微 鏡50時亦藉由照明機構46賦予照明光。 本實施形態之目視確認裝置4a之動作除了透過作業員輸 入賦予瑕疵資料100之外，其餘皆與圖9至圖n所示之第工 實施形態之目視確認裝置4之動作相同。亦即，在目視確認 裝置4a中，當基板90被運入後，於作業員輸入瑕疵資料丨⑻ 之時點開始確認處理。 藉由包含如上構成之第2實施形態之目視確認裝置“，亦 可獲得與第1實施形態之檢查系統相同之效果。 101236.doc -29- 1272381 此外，在目視確認裝置4a中包含顯微鏡5〇 夠在接近實態之狀態下確認基板9G之雜，因此能 正確之判斷。 < 3 ·變形例> 以上f針對本發明之實施形態進行說明，然本發明不限 於上述實施形態，而能夠進行各種變形。 在上述實施形態之目視確認裝置4、乜中，係從6個昭明 光源選擇點亮照明光源LG，然該種手法僅能夠分散決定昭 明方向。由此，亦可構成為例如設置能夠藉由移動機構移 動之1個照明光源，並由控制部48控制該移動機構，使昭明 光源移動至照明方向適當之位[藉此，能夠連續變更照 明光之照明方向。 再者，上述實施形態之檢查系統α目視確認農置4a之動 ^亦可不依照上述說明之順序執行，亦即，凡是能夠獲 得相同效果之順序，亦可適當變更各步驟之順序。 此外，於上述實施形態中以軟體實現照明控制部486之功 能構成，其-部分或全部亦可藉由硬體實現。此外，以硬 體貫現之構成亦可藉由軟體實現。 再者，於第1實施形態之目視確認裝置4中，亦可如同第2 實施形態之目視確認裝置4a，構成為使拍攝部烟定而使 檢查台43移動。 此外，照明機構46之各照明光源彻至他亦可不配置成 環狀，例如配置成四邊形亦可，亦即，亦可以包圍拍攝部 42之光軸P之方式配置。 101236.doc -30 - 1272381 【圖式簡單說明】 圖1係表示包含本發明第1實施形態之目視確認裝置之檢 查系統之構成例圖。 圖2係表示瑕疵檢查裝置之構成之方塊圖。 圖3係第1實施形態之目視確認裝置之正面圖。 圖4係弟1貫施形悲之目視確認裝置之側面圖。 圖5係第1實施形態之目視確認裝置之方塊圖。 圖6係表示照明機構之平面圖。 圖7係表示第2實施形態之控制部之功能構成暨資料流程 之方塊圖。 圖8係表示第1實施形態之檢查系統之瑕疵檢查裝置之主 要動作流程圖。 圖9係表示第1實施形態之檢查系統之目視確認裝置之主 要動作流程圖。 圖1〇係表示第1實施形態之目視確認裝置之確認處理之 動作流程圖。 圖11係表示第1實施形態之目視確認裝置之確認處理之 動作流程圖。 圖12係表示在光量較低之狀態下拍攝金製之圖案與光阻 塗布部分之例圖。 圖13係表示以中間光量拍攝金製之圖案與光阻塗布 之例圖。 〇刀 、圖14係表示在光量較高之狀態下拍攝金製之圖案與光阻 塗布部分之例圖。 10l236.d〇c -31- 1272381 圖1 5係表示在光量較低之狀態下拍攝凹陷瑕疵之例圖。 圖1 6係表示以中間光量拍攝凹陷瑕疵之例圖。 圖1 7係表示在光里較咼之狀態下拍攝凹陷瑕疵之例圖。 圖 18係表示照射無指向性之環照明而拍攝瑕疵之例圖 圖19係表示從特定方向 圖20係表示從與圖19不 之例圖。 照射照明光而拍攝瑕疵之例圖。 同之方向照射照明光而拍攝瑕疵

圖21係第2實施形態之目 視確遇裝置之外觀圖。 圖22係第2實施形態之目 【主要元件符號說明】 現確認裳置之匯流排配線圖。 1 檢查系統 100 瑕疵資料 101 圖像資料 102 設定資料 2 網路 3 瑕疵檢查裝置 4、4a 目視確認裝置 40 操作部 41 確認顯示器 42 攝影部 43 、 43a 檢查台 44 、 45 、 44a 移動機構 46 照明機構 460、461、462、463、464、465 照明光源 101236.doc -32 - 1272381

47 通訊部 48 控制部 483 固定磁碟 485 資料處理部 486 照明控制部 486a 方向決定部 486b 光量決定部 50 顯微鏡 90 基板 DO、D3 照射方向 101236.doc 33-

Claims (1)

1272381 十、申請專利範圍： 其係供作業員確認基板之瑕疵者， I 一種目視確認裝置 其包括： 則记保持機構保持之前述基板照 保持基板之保持機構 照明機構，其係向由 射照明光； >訊取得機構，其係取得 為瑕疵資訊； 别述基板之瑕疵相關資訊作 照明控制機構，苴係斛—丄丄 八糸對應精由如述資訊取得機構取得 之前述瑕疲資訊而控制前述照明機構；及 k供機構’其係對前述作 I作業貝提供處於藉由前述照明 機構之照明狀能下夕於、+，# 2. 狀心下之則述基板之瑕疵影像。 如請求項1之目視確認裝置，其中 日前述照:月控制機構係對應前述瑕疫資訊而決定前述照 明光之光量’而控制前述照明機構使成為決定之光量。 汝明求項1或2之目視確認裝置，其中 日：述照明控制機構係對應前述瑕疵資訊而決定前述照 明光之照射方向，而控制前述照明機構使成為決定之照 射方向。 4.如請求項3之目視確認裝置，其中 月1J述照明機構包含複數之光源，該複數之光源係對前 _之瑕疲從相互不同之方向照射光； 月;J述^明控制機構係藉由選擇性點亮前述複數之光 源，而決定前述照明光之照射方向。 101236.doc 1272381 5 ·如請求項1或2之目視確認裝置，其中 前述提供機構包含將前述基板之瑕疵影像放大之顯微 鏡0 6 ·如請求項1或2之目視確認裝置，其中 前述提供機構進一步包含： 拍攝機構，其係拍攝藉由前述照明機構照明之前述 基板之瑕疵影像作為圖像資料；及 顯示機構，其係對#由前述拍攝機構㈣之前述圖 像資料進行畫面之顯示供作業員進行目視確認用。 .一種檢查系統，其係檢查基板之瑕疵者，其包括： 才欢測基板瑕疲之瑕疫檢查裝置；及 目視確認裝置，其係供作業員確認藉由前述瑕窥檢查 裝置檢測出之前述基板之瑕疵； 前述目視確認裝置包括： 保持機構，其係保持藉由 瑕疵之基板； 前述瑕疵檢查裝置檢測 出 • 照明機構，其係向由前記保持機構保持之前述基板 照射照明光； 資訊取得機構，其係介以網路而從前述瑕㈣查裝 置取得藉由前述瑕錢查裝置檢測出之前述基板之瑕疵 相關資訊作為瑕疵資訊； 照明控制機構，其係對應蕤 〜 〜错由刚述資訊取得機構取 仔之前述瑕疵資訊而控制前述照明機構；及 播提供機構’其係向前述作業員提供藉由前述照明機 構所照明之狀態下之前述基板瑕疵之影像。 101236.doc