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TWI245351B - Integrated circuit chip package and method of assembling the same - Google Patents

Integrated circuit chip package and method of assembling the same Download PDF

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Publication number
TWI245351B
TWI245351B TW093135373A TW93135373A TWI245351B TW I245351 B TWI245351 B TW I245351B TW 093135373 A TW093135373 A TW 093135373A TW 93135373 A TW93135373 A TW 93135373A TW I245351 B TWI245351 B TW I245351B
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TW
Taiwan
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integrated circuit
circuit chip
item
stress
substrate
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Application number
TW093135373A
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English (en)
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TW200524063A (en
Inventor
Hsin-Hui Lee
Pei-Hwa Tsao
Chao-Yuan Su
Original Assignee
Taiwan Semiconductor Mfg
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Publication date
Application filed by Taiwan Semiconductor Mfg filed Critical Taiwan Semiconductor Mfg
Publication of TW200524063A publication Critical patent/TW200524063A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI245351B publication Critical patent/TWI245351B/zh

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Classifications

    • H10W42/121
    • H10W76/40
    • H10W74/117

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Description

1245351 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 麵魏路巢置之雜紐,制是有關於 會造成晶粒(die)角落剝離的積體電路裝置之封裝方法。 【先前技術】 在積體電路裝置的組裝中,超級球柵陣列(亭γΜ咖卿真A) 触已廣泛應胁電子雜並將其钱㈣連、絲板上,例 (她聊er)或印刷電路板(PCB)。舉例而言,第认及ΐβ圖係分別絡 不出超級球柵陣列(SBGA)基板1〇之上視圖及剖 ^ !:ΓSBGA 10" ° 5 ^ ,1 璃(flUG細edsilieate細,觸)更脆的介 高黏度材料係供作一圍堰14之用。接著封膠材料係侷限於 壞繞的區域之内,如第2A ;5 上 — 斤 圍堰材料n μ 圖之“號16所示。此封膠材料之黏度低於 循環測試中’顯示出液態的封膠材 ^ Μ卿巧鑛應力(global stress) $ 日 g 洛處。此乃晶粒之熱膨脹係數舆 、曰曰粒角 請_圖,其為晶片12=::·斤 ===# W林W)峨路層。= 號2g所心為了增加_ _可靠度及 、、種可防止晶粒角落發生剝離的方法。
DlStefan〇於吴國專利第6,127,724號以及Shim等人於美國專利繁 戰2㈣揭示出傳统的封膠方法。F_池於美國專利第咖 教示-種以樹脂封,曰私—i 利矛W7,482號 衣曰曰粒之方法。這些參考文獻並未教示防止晶粒角落發
0503-A30145TWF l245351 生剝離的方法 【發明内容】 片封’树狄目触於提供-«效社1触频電路』 球拇於提供電路晶_方法,適用於翻 又本毛明之另一目的在於提供一種積 粒角落發生剝離。 種積㈣路曰曰片封裝方法,以防止盖 本發明之又-目的在於提供—種積體電路日日日片封 勝材料之前,先制低熱膨脹係數材料來覆蓋日日日粒料y -入圭; 電路目1,本發明提供—種積體電路日日日料裝方法,將-翻 片附者於—基板上。形成_圍堰,關繞積體電路“ 路曰曰片的所有角落覆蓋一應力緩衝材 、體电 個基板上塗覆-封歸枓聊在積 曰曰片及圍堰内部之整 販上_轉㈣,財__覆聽力 枓係防止積體電路W之角落的封騎料發生剝離。 J㈣材 【實施方式】 本發明提供一種積體電路晶片封梦 (3Β0Λ) 顧畴發㈣峨_類嫩 ^縣4Α及4Β圖,編出_⑽基板1() U係安裝於SBGA基板1〇上。姆| 傾版电給日日乃 可以是環氧化物。現在,於本發明料作為,14。此材料 咖娜3G綱㈣^的^财⑽度、卿脹係數 的曰曰粒角洛。此材料同樣可為環氧化物。
0503-A30145TWF 1245351 因為晶粒與材料30的CTE小,所 同樣地,純與_ 3G之間接觸=者之_ C戰配(m軸㈣低。 油體庫力r⑴、接觸小。前塗覆材料30將晶粒角落處的 、·痛力(_ st醜)降低成小的局部應力㈤血⑽)洛處的 現在’ __係紐·堪14關躺赋 32 〇0 ^ζ; ^5Β 係於熱製程期間供作應力緩衝之 〜的材科30 離。 巾以防止日日㈣洛處的封膠材料發生剝 請參照第6圖,其緣示出晶粒角落之斜視圖。材料 =請參照第其為晶^之勤放大圖,並_ i整個曰應力㈣材料層3〇係覆蓋在晶粒角落處。而封勝材料32係覆 本發明之製财法係融在_餘之前 粒角落,進轉止晶㈣落處的封膠材料發生_。應力、k鱗料覆蓋晶 雖然本發日犯以較佳實施_露如上,财並_以限定本 何热習此顿藝者,在不麟本發明之精神和範㈣ 句任 因此本發明之賴細當視_ ”料職_私者鱗絲躺像,
0503-A30145TWF 7 1245351 圖式簡單說明】 f 1A及2A圖係繪示出習知積體電路晶片組裝之上視圖。 第1B圖係繪示出第1A圖之剖面示意圖。 第2B圖係繪示出第2A圖之剖面示意圖。 f 3圖係緣示㈣知技射發生讎之麻放大圖。 f从及5A圖係繪示出本發明實施例之積體電路晶片組裝之上; 第4B圖係緣示出第4A圖之剖面示意圖。 f 5B圖係緣示出第5A圖之剖面示意圖。 f 6圖係綠不出本發明實施例之晶㈣落之斜視圖。 ^圖係、、曰示出本發明實施例之晶片封裝之剖面放大圖。 【主要元件符號說明】 12〜晶片; W、32〜封膠材料; 20〜剝離; 3〇〜應力緩衝材料。 10〜超、級球柵陣列基板; 14〜圍堪; 18、33〜有致金屬電路層; 22〜收縮;
0503-A30145TWF

Claims (1)

1245351 十、申請專利範圍: 1·-種積體電路晶片之封裝方法,包括·· 提供一基板; 將該積體電路晶片附著於該基板上; 形成一圍堰,以圍繞該積體電路晶片; 在該積體電路晶片的至少一角落覆蓋-應力緩衝材料;以及 在該積體電路晶片及該_内部之該整個基板上覆蓋_封膠 ,2曰如中请專利範圍第i項所述之積體電路晶片之封裝方法,其中該 電路晶片储由-球轉列續著賊基板上。 ^ 电路曰日片係精由-超級球栅陣列而附著於該基板上。 積版 4·如申μ專利細第丨項所述之積體電路晶片之封 係覆蓋該應力缓衝_且該應力緩衝材㈣射該龍電路 角落的封膠材料發生剝離。 、曰曰片之忒 5. 如申請專利範圍第i項所述之積體電路晶片之封 缓衝材料係擇自於親化物及_之任—種。 U該應力 6. 如申請翻細第丨項所述之積體電路晶片之封裝方法 缓衝材料係一低熱膨脹係數材料。 〃中該應力 7·如申請專利範圍第i項所述之積體電路晶片之封裝方法, 電路晶片包含低介電常數介電層。 /、 5亥積體 8·—種積體電路晶片之封裝方法,包括·· 提供一基板; 將該積體電路晶片附著於該基板上; 形成一圍堰,以圍繞該積體電路晶片; 在該積體電路^的至少—綠«—應力緩騎料;以及 在該積體電路晶片及該圍堰内部之該整個基板上覆蓋一封膠材料,其 0503-A30145TWF 1245351 I該封膠㈣覆魏應力__且該應力緩衝㈣係防錢積體電路晶 片之该角落的封膠材料發生剝離。 、 + 9·如巾請專利範圍第8項所述之積體電路⑼之封裝方法,其中該 私路晶片係藉由-球栅陣列而附著於該基板上。 版 體電圍第8項所述之積體電路晶片之封裝方法,其中該積 紅包路日日片係猎由一超級球栅陣列而附著於該基板上。 11.如申請專利範,項所述之積體電路晶片之封裝方法 力緩衝材料係擇自於還氧化物及樹脂之任一種。 ,、中誤應 12·如申明專利範圍第8項所述之積體電路晶片之 力缓衝材料係-低熱膨脹係數材料。 13·如申明專她鮮8項所述之積 、^ ^ 體電路晶片包含低介電常數介電層。 封衣方法,其中該積 14·種積體電路晶片封裝,包括·· 一積體電路晶片,附著於一基板上; 一圍堰,圍繞該積體電路晶片; -應力缓衝㈣,覆蓋該雜電路晶片之至少_纽 -封裝材料,覆蓋該積體電路晶片及該圍翻部敕 15.如申請專利範圍第壯▲板。 晶片係藉由-伽細酿賴^:^輔,她積體電路 晶片項職之频魏晶4塊,針_體電路 牙制缺雜卩翔蝴雜縣板上。 17·如申請專利範圍第14項所 係覆蓋該應力緩衝材料且該應力緩衝材料該封膠材料 的封踢材料發生剥離。 抑止該積體電路晶片之該角落 18.如t騎鄕_ 14顧叙龍魏“ 材;4係擇自於^!氧化物及翻旨之任U該應力緩衝 0503-A30145TWF 10 1245351 19. 如申請專利範圍第14項所述之積體電路晶片封裝,其中該應力缓衝 材料係'^低熱膨服係數材料。 20. 如申請專利範圍第14項所述之積體電路晶片封裝,其中該積體電路 晶片包含低介電常數介電層。 0503-A30145TWF 11
TW093135373A 2003-11-20 2004-11-18 Integrated circuit chip package and method of assembling the same TWI245351B (en)

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