TWD209927S - 光罩傳送盒之上蓋 - Google Patents
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Abstract
【物品用途】;本設計物品係為一種光罩傳送盒之上蓋,尤其是用於半導體製程中光罩傳送盒之上蓋,用於保護半導體晶片。;【設計說明】;本案創作光罩傳送盒之上蓋係為一新穎獨特之設計,藉由獨特地設計的光罩傳送盒之上蓋,可顯現出先前技藝未曾有過的視覺效果。;圖式所揭露之虛線部分,為本案不主張設計之部分。
Description
本設計物品係為一種光罩傳送盒之上蓋,尤其是用於半導體製程中光罩傳送盒之上蓋,用於保護半導體晶片。
本案創作光罩傳送盒之上蓋係為一新穎獨特之設計,藉由獨特地設計的光罩傳送盒之上蓋,可顯現出先前技藝未曾有過的視覺效果。
圖式所揭露之虛線部分,為本案不主張設計之部分。
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW201523126A (zh) | 2013-10-31 | 2015-06-16 | 安堤格里斯公司 | 模塊化的光罩盒系統 |
| TW201640219A (zh) | 2015-03-18 | 2016-11-16 | 安堤格里斯公司 | 基板容器與用於光罩盒的密封構件、其門總成、及其門總成的組裝方法 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI319123B (en) * | 2002-02-22 | 2010-01-01 | Asml Holding Nv | System and method for using a two part cover for protecting a reticle |
| USD473523S1 (en) * | 2002-06-25 | 2003-04-22 | Lyall Assemblies, Inc. | Convoluted tubing with an overmolded end cap |
| US7477358B2 (en) * | 2004-09-28 | 2009-01-13 | Nikon Corporation | EUV reticle handling system and method |
| JP4710308B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2011-06-29 | 株式会社ニコン | レチクル搬送装置、露光装置、及びレチクルの搬送方法 |
| US7607543B2 (en) * | 2005-02-27 | 2009-10-27 | Entegris, Inc. | Reticle pod with isolation system |
| US8231005B2 (en) * | 2005-09-27 | 2012-07-31 | Entegris, Inc. | Reticle pod |
| TWI411563B (zh) * | 2009-09-25 | 2013-10-11 | 家登精密工業股份有限公司 | 光罩盒 |
| USD712364S1 (en) * | 2012-05-09 | 2014-09-02 | Gudeng Precision Industrial Co., Ltd. | EUV pod |
| USD732482S1 (en) * | 2013-03-01 | 2015-06-23 | Randl Industries, Inc. | Plaster ring |
| USD807303S1 (en) * | 2016-09-06 | 2018-01-09 | S.J. Electro Systems, Inc. | Panel enclosure |
| TWI579215B (zh) * | 2016-10-07 | 2017-04-21 | 家登精密工業股份有限公司 | 垂直固定機構傳送盒及使用其之傳送方法 |
| US11249392B2 (en) * | 2017-01-25 | 2022-02-15 | Gudeng Precision Industrial Co., Ltd | EUV reticle pod |
| USD917402S1 (en) * | 2017-08-22 | 2021-04-27 | Foxconn Interconnect Technology Limited | Protective cap |
| TWI690771B (zh) * | 2018-01-11 | 2020-04-11 | 家登精密工業股份有限公司 | 光罩壓抵單元及應用其之極紫外光光罩容器 |
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|---|---|---|---|---|
| TW201523126A (zh) | 2013-10-31 | 2015-06-16 | 安堤格里斯公司 | 模塊化的光罩盒系統 |
| TW201640219A (zh) | 2015-03-18 | 2016-11-16 | 安堤格里斯公司 | 基板容器與用於光罩盒的密封構件、其門總成、及其門總成的組裝方法 |
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