TW573076B - Method and device for electrolytic treatment of electrically mutually insulated, electrically conductive structures on surfaces of electrically insulating foil material and applications of the method - Google Patents

Description

573076 A7 B7 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明說明（1 發明説明 本發明關於一種電解處理電氣絕緣箔材料的表面上之電 氣互相、、巴、、彖之導電結構的方法和裝置及該方法之應用。 在眾多電鍍程序中有一些用於帶狀物之金屬被覆。多年 來爲此使用俗稱之捲軸捲送處理單元（reel-to-reel treatment units) ’材料輸送通過該單元且在輸送過程中與處理液接 觸。 一種銘羯之電解蝕刻法揭示於美國專利第3.779.877號， 其中4 4片先受導引通過陽極極化接觸靴然後進入電鍍處 理％解液内。該箔片在該處理電解液内受導引經過陰極極 化％極然後再次離開電解液。該箔片因而再次受導引通過 陽極極化接觸靴。 另一種處理金屬帶、金屬絲或金屬型材之方法揭示於歐 洲專利EP 〇 5 1 8 850 A1，其中待處理導電物件受導引依序 通過二個裝有電解質水溶液之容器以進行電解酸洗，在一 第一容器内之陰極處理之後接著在第二容器内的陽極處理 。因而使來自第一容器内之一電極的電流通過該物件到第 二容器内之一電極，如此藉助於該待處理物件在不同極性 的電極間完成一電路，該等電極位在該等接續容器内。在 替代實施例中，相反極性電極亦可位於一處理容器内而後 績電極位在額外容器内。 此外，一種方法揭示於歐洲專利EP 〇 ο% 68 1 B 1用來連 續被覆以鋁鎳合金製成之金屬絲、管及其他半成品。在此 方法中，首先將半成品輸送至一第一電解液容器内然後送 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —*---------裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---h 訂---I I I--- 573076 A7 B7 五 _ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明說明（2 ) 至一第二電解液容器内。該半成品在該第一電解液容器内 受導引經過一負極極化電極且在該第二電解液容器内受導 引經過一正極極化電極。一金屬化電解液置於該等電解液 容器内。由於該半成品爲導電性且同時與兩種金屬化電解 液接觸，因而完成該二電極（二者由一電源連接）間之電路。 相對於第一電解液容器内之負極極化電極，該半成品爲陽 極極化。相對於第二電解液容器内之正極極化電極，該半 成品另一方面爲陰極極化以便金屬沈積於其上。 一種方法揭示於歐洲專利EP 0 395 542 A1用來對一基體 (其以石墨、鋁或其合金製成）連續被覆一金屬，該基體受導 引接連通過二個容器，此二容器相互連接且容納一活化電 解液或金屬化電解液，一陰極安置於第一容器内且一陽極 安置於第二容器内。利用此方法能以桿、管、線、帶及其 他半成品當作基體進行被覆。 上述方法之一根本性缺點在於事實上僅有全表面導電表 面能夠電解處理而互相電絕緣結構不行。 對於後一個問題有一種解決方法揭示於世界專利W〇 97/37062 A1用來對印刷電路板上之互相電絕緣區域做電化 學處理。因此，受帶動與處理溶液接觸之印刷電路板受帶 動接續地與靜止刷式電極接觸，此等電極受一電流源供電 ，是以能對個別導電結構施加一電位。一電位施加於該等 電刷（其較佳由金屬絲構成）與陽極（其配置於電刷之間）之 間。 此裝置之缺點在於電刷在一極短時間内完全受金屬覆蓋 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ -裝 ·#, 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 573076 A7 、發明說明（3 ) 因馬大約90%的金屬沈積在電刷上而僅有i〇%金屬沈積 在要金屬化的區域上。因此，電刷必須僅在一小段作業時 =之後就要再次清除金屬1此之故，電刷必須再次拆離 裝置並清除金屬，否則要提供精巧建構的裝置以藉由待再 生電刷之電化學極性反轉協助再次去除電刷上的金屬。此 外，電刷末端能輕易地損壞電路板上的細微結構物。又， 電刷材料因而快速磨損，最細微的顆粒擦落且進入電解液 内在金屬化過程中造成損害。特別是要金屬化極小結構（例 如寬度或長度爲CM公釐者)時，必須使用具備極細金屬絲的 電刷。其磨損得特別快。來自磨損電刷之顆粒進入電解液 内然後進入電路板之孔内並造成明顯缺陷。 在其他用於金屬化電絕緣結構的習知方法中，使用無電 流金屬化程序。然而這些方法緩慢、難以施行且昂貴，因 爲使用了相當大量的化學物質。所用物質經常爲對環境有 害。因此在處理這些物質方面要更大筆的費用。此外，並 不保證只將導電結構物金屬化。此時經常能觀察到金屬也 沈積在介於其間之電絕緣表面區域上，從而導致退件。 -種方法揭示於歐洲專利EP G 838⑷Αι用來電解酸洗 金屬帶，特別是高品質鋼片，以鈥、銘或鎳製成之金屬帶 ，電流通過電解液而在金屬帶與電極間沒有導電接觸。電 極配置爲與金屬帶相向且經陰極或陽極極化。雖然如此， 在施行本万法時暴露出在一電解處理中的電流生產率非常 小。 最後，一種裝置揭示於日本國專利摘要c_315，丨㊀以年^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 H ϋ ϋ ον > l— —Me ί i I · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6- 573076 A7 B7 五、發明說明（ 月20曰，第9卷，第293號，Jp 60-135600 A，讀裝置用來電 解處理一鋼帶。該鋼帶受導引通過爲此使用之—電解槽介 於相反極化電極之間。爲了避免在相向安置之相反接化電 極間有一電流，在電解液受導引之平面内於電極間提供屏 蔽板。 因此構成本發明之基礎的問題爲避免習知電解處理方法 的缺點，更明確地説爲找出一種裝置及方法可以低成本連 續電解處理電氣絕緣箔材料的表面上之電氣互相絕緣之小 型導電結構，同時也要求保證設備成本爲低且該方法能以 充分的效率施行。更明確地説，該方法及裝置應爲能夠用 於製造印刷電路板技術之導電箔。 此問題由依據申請專利範圍第！項之方法，依據申請專利 範圍第14和16項之方法的應用以及依據申請專利範圍第17 項I裝置解決。本發明之較佳實施例呈現於申請專利範圍 子項内。 依據本發明之方法及裝置用於電解處理電氣絕緣洛材料 的表面上之電氣互相絕緣之導電結構，該等導電結構並不 直接電接觸。因此有可能電解處理互相電絕緣之結構區。 V各材料上之外在區域以及材料内之孔壁皆能受處理。 爲了施行依據本發明之方法，箔材料自一存放件卸下（例 如自一捲筒展開），然後在一輸送線上輸送通過一處理單元 且因而與處理液接觸。該羯材料在通過該單元之後最終再 次載回一存放件（例如一捲筒）。有一可能性在於以一水平輸 送方向輸送該材料。此時該輸送線得爲垂直立起且水平定 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 573〇76 A7 B7 五、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明說明（ 向。此一配置方式施行於俗稱之捲軸捲送系統中。因此之 故’材料由習知機構如滚軸或滾筒輸送。另一種選擇，該 箔材料亦能在該單元内由轉向導輥導引且因此能在該單元 内。改變方向一次或多次。因此，獲得單元内之最長可能路 程使在一預設材料進給率下之處理時間延長。 依據本發明之裝置具有以下特色： a) 至少一第一和第二裝置分別用來存放該落材料，例 如爲一滾軸讓材料存放於其上並展開以供處理，及 一滾軸讓材料在處理後再次捲上； b) 通當輸送裝置（例如滾軸、滾筒或其他保持元件如央 頭）使該落材料自至少該第一存放裝置在—輸送線上 通過一處理單元輸送至至少該第二存放裝置； 至少-裝置用來使該箱材料與—處理液接觸，例如 -處理容器讓材料可導入其内，或爲適當噴嘴將液 體供應至材料表面； :少-電極排列，各自包含至少—陰極椏化電極和 至少：陽極極化電極，該至少—陰極極化電極和至 少-陽極極化電極能夠與該處理液接觸該等電極 得配置爲對該輸送線之―側上的材料進行單面I理 ，或配置爲對輸送線兩側之材料進行雙面處理— 電極排列之陰極極化電極和陽極極化電於： 送線之一側； ^ e)至少-絕緣壁，其介於一電極排列内之各個 間； < C) d) 本紐尺度適用中關家標準（gw規格.(21() χ挪公楚 — l· — — — — — — — — 1 I I I I I l· t (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^076

、發明說明（ 至少-電流/電壓源，其與電極排列電連接以產生 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 電流通過電極排列之電極，可使用—電流整流器或 =可比較的電流/電壓源或一產生單核或雙極電流脈 衝之電流/電壓源作爲該電流/電壓源； 至少-陰極極化電極和至少一陽極極化電極藉由至 少-絕緣壁以實質上沒有電流能直接在相反極化電 極間流動之方式相互屏蔽。 一爲了％依據本發明之方法，落材料在輸送通過處理單 7L JL x導引經過至少_電極排列之同時與處理液接觸，該 至少-電極排列各自包含至少一陰極極化電極和至少一陽 μ h化私& 4等陰極和陽極極化電極亦與處理液接觸且 與-電流/電壓源連接，如此一方面一電流在陰極極化電極 與材料上（-導電結構間流動，$ —方面—電流在陽極極 化電極與材料上之相同導電結構間流動(前提爲此結構安置 爲同時與該二電極相向）。 倘右想要對材料做雙面處理，電極必須配置於材料之兩 側在單面處理之情形中，將電極配置於材料之一側就已 足夠。一電極排列（其各自包含至少一陽極電極和至少一陰 木黾t)之％極配置爲定向於材料之一側且至少一絕緣壁配 置於電極之間。 Θ等電極舉例來說藉由一電流整流器電連接。倘若使用 複數個電極排列則所有電極排列得爲連接於同一電流整流 斋。在特疋條件下，也有可能以個別電極排列各自連接於 一電况整流器爲有利。電流整流器得當作電流源或電壓源 8) 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂： #· -9 - 573076 五、 發明說明（ 作業。 上藉由材料結構上之—待處理導電層（其安置爲 同時與陰極極化電極或陽極極化電接相向）存在一導電連接 ，這些結構分別相對於該等泰 、 必寺％極而陽極極化或陰極極化。 因此，在這些地方啓動雷仆取 > 、 助私化學私序。材料之一電接觸並非 材料内產生-電流所必須。材料當作一中間導體作業。 -電極及材料上與該電極相向之結構得視爲—電解不完全 電池。此不芫全電池之兩電極的其中之一由材料本身構成 且另-電極由電極排列之電極構成。由於材科配置爲與一 陰極極化包極及-陽極極化電極相向，會造成二個此類型 電解不完全電池之串聯連接，該等不完全電池由一電流/電 壓源（例如一電流整流器）供電。 依據本發明之方法及裝置與習知方法及裝置相較下的優 點爲在待處理材料内產生一電流之設備成本遠比習知方法 及裝置低。在本案例中’無須提供任何接觸元件。材料未 經接觸地極化。因此，金屬之沈積（特別是小層厚度沈積）能 夠非常經濟地施行。此外，能夠非常輕易地建構排列方式。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因此，依據本發明之方法及裝置使低成本電解處理互相 電絕緣之導電金屬島狀物（結構物）成爲可行。 相對於過去所提印刷電路板技術中以電刷排列金屬化互 相絕緣金屬島狀物之方法，依據本發明之方法及裝置的優 點在於僅有少量金屬不必要地沈積在陰極極化電極上。必 須再次爲陰極極化電極去除金屬之頻率會是幾天到幾星期 。此外，不會有電刷與待金屬化表面接觸而磨損的問題， 10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 573076 573076 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（ 且因此不會有擦落的顆粒污染處理)夜。 由於一電極排列之電極（其相反地極化）以實質上沒有電流 能直接在該等電極間流動之方式互相屏蔽，本方法之效率 相較：白知万法及裝置爲成倍數提高，因爲前者的電流生

產率运大於後者D依爐太恭B 依據本發明，只有在電極排列之相反極 化電極間具備一絕緣壁時方能在電絕緣結構上達到此淨效 應（前提爲電極間之間距已依待處理結構之大小調整），同時 維持本方法之-充分效應度。在小型結構之案例中要求— 小間距；在較大結構之案例中此間距亦得爲較大。藉助於 絕緣壁使相反極化電極間免於—直接電流（短路電流）且同樣 地避免-直接電流自-電極至待處理基體與另一電極相向 之區域（反之亦同）。 選項亦爲有利，極大電流能無_地傳送至待處理材料 而材料之導電表面結構不會高溫受損甚至破壞，因爲不需 要任何接觸機構。由於待被覆材料受周圍處理液有效冷卻 ，待處理金屬層内之減電壓負載能設定爲非常高，例如 咼達100安培/平方公釐。 本發明之方法及裝置能用於施行任何電解程序：電鍍， 蝕刻，氧化，還原，清理，本身爲非電解程序中之電^輔 助，例如用來啓動-無電流金屬化程序。舉例來説，亦能 在材料表面上產生氣體，亦即-陰極反應中之氫氣及/或— 陽極反應中之氧氣。亦有可能同時進行上述個別程序，連 同其他方法，例如金屬化程序或其他電化學程序。 依據本發明之方法或裝置的應用領域如下·· ------------Up. I 裝--------r 訂 l·------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮 -11 573076

五、發明說明（9 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 • 薄金屬層之沈積； • 一金屬板或箔片内之金屬製表面層從一犧牲區遷移 至另一區，例如爲了用從犧牲區獲得的金屬強化表 面層； • 蚀刻薄化，例如自材料表面去除數微米之一層； • 脈衝姓刻； • 使用脈衝電流沈積金屬； • 金屬表面之電解氧化和還原； • 藉由陽極或陰極反應做電解清理（例如藉助於氫氣或 氧氣的電解生成）； • 具備結構物之穿孔箔片的電解去毛邊； • 以電解輔助蝕刻清理； 以及以電解輔助爲有利之其他程序。 本發明之方法及裝置特別適用於沈積薄金屬層，例如厚 度不超過5微米之層。 得設定以下所列條件施行依據本發明之方法： • 構成待處理材料之基礎導電層的材料類型； • 被覆金屬的類型； • 電解程序之類型和參數，例如電流密度； • 處理液的成分； #處理裝置的幾何形狀，例如輸送方向内之電極空間 寬度。 藉由對上述參數做最佳組合選擇，得以控制電解處理。 舉例來説，藉由選擇一指定金屬沈積電解液能使已沈積的 -------------ttw— ^-------l· ^--*------. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -12-

573076 A7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（ 金屬不再蝕脱，因爲此案例中之金屬溶蝕程序受到限制。 在此同時，能藉由適當選擇一蝕刻電解液使此電解液内之 金屬沈積受到限制。 爲了施行在材料上蝕刻金屬表面之方法，材料受導引先 、’二過至> ^極極化電極然後經過至少一陰極接化電極。 本發明之方法及裝置能用於金屬化處理。因此之故，材 料文導引先經過至少一陰極極化電極然後經過至少一陽極 極化私極。較佳來説，使用具結構物之材料作電解金屬化 ，其結構具備一表面在電解金屬化過程中爲不溶解的。舉 例來説，得以依據本發明之方法及裝置在導電箔上形成金 屬製取終層’例如在銅上之一鍍錫層。 本發明方法及裝置之另一應用在於對鑽孔後導電箔材料 利用電解蝕刻去毛邊。迄今所用對印刷電路板去毛邊之裝 置係基於機械方法，例如用轉動刷子去除毛邊。然而此類 機械万法對箔材料而言完全不可用，因爲箔材料會因機械 處理而破壞。 以下參照圖式説明依據本發明之方法及裝置的原理， 式中： β 圖1爲依據本發明之裝置的簡圖；且 圖2爲依據本發明之方法的原理簡圖。 一處理單元1内之電解液容器2繪於圖丨中且以一適當處理 及F1裝到液面N1。具互相電絕緣之導電結構4的電絕緣箔材 料F〇藉由通當輸送裝置3 (例如滾軸或滚筒）以一水平方向Ri, 或以，，導引通過處理液F1。此外，在電解液容器2内有二個 -13 - ΐ紙狀度_巾關家標準（c^A—^ ----~ r --------^訂-I------- I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 573076 五、發明說明（11 ) 電極6和7連接於一電流/電墨源8。電極6爲陰極極化，電極 7爲陽極極化。一絕緣壁9 (例如爲塑膠材料)配置於兩電極6 和k間且對此二電極相互橫向於輸送方向電屏蔽。壁9較 佳非常貼近落片F。使該壁在該落片經過時與其接觸或至少 達到該薄片。 在落片Fo經過電極6和7之同時，結構4*極化，確切地説 爲f與陰極極化電極6相向之區域4'内爲陽極極化，且在 與陽極7相向之區域4\内爲陰極極化。 倘若箔片Fo舉例來説爲以方向Rl，導引經過電極6和7，則 結構4會蝕刻。此時結構4*之左區在圖丨所示位置陽極極 化，如此金屬自導電軌條結構蝕離。另一方面，此結構4* 义右區4*k定向爲朝向陽極極化電極7且因而爲負極極化。 若處理液F1不含有後續電化學活性氧化還原對，氫氣會在 此區域4*k内產生。總括來説，金屬因而脱離結構4。在單 結構4之案例中只要該結構同時處於兩相反極化電極6和7 之有效區域内即持續此步驟。 右猪片Fo是要金屬化，則其必須以方向Ri”輸送。此時使 用一金屬化電解液作爲處理液以。首先，以結構4之右緣進 入陰極極化電極6之區域内然後進入陽極極化電極7之區域 内。結構4*之右部4*k位於圖丨所示位置與陽極極化電極7相 向且因而陰極極化。另一方面，結構4 *之左部4、處於與陰 極極化電極6相向使此部分陽極極化。倘若例如一導電軌條 結構（其以銅作爲基礎導電層）要用一含有錫離子之水溶鍍錫 氣角千液F 1做錫處理，則僅有氧氣在結構4 *之左部4 '產生。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝 ϋ ϋ n · I» I ϋ n II ·ϋ n I .

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 573076 五、發明說明（12 ) 另-方面1沈積在右部4、上。總結來説，錫因而沈積在 銅結構上。 基本上與有關圖1所述相同之排列示於圖2中，其中一電 解液容器2裝有電解液F1。電解液”之液面標示爲Νι。除了 圖1之外，概要再現電極6和7對羯片F0之電場效應。一絕緣 壁9位於電極6和7之間。金屬結構之區域4\和4*&電連接在 一起。在與陰極極化電極6相向之區域產生一更爲正向 之電位使此區陽極極化。區域因與陽極極化電極7相向 而產生一更爲負向之電位使此區陰極極化。在圖示排列中 ，當電解液F1爲一金屬化電解液時結構4、受金屬化。在此 同時，在陽極極化結構4\發生一陽極反應。若電解液^爲 一錫電解液且結構4爲銅製，則銅不會溶蝕。代之爲在區域 4* a產生氧氣。 在電解過程中，可溶和不可溶電極皆能作爲所用電極。 可溶電極通常用於金屬化方法中以便藉由金屬溶蝕於金屬 化所用金屬化溶液中而再次重新形成。因此使用以所要沈 積I金屬製成的電極。不可溶電極亦在電流流動中插入處 理液内。舉例來説’得使用錯電極、鍍鉑鈥電極、被覆氧 化银之鈥電極或貴金屬電極。 若以本發明之方法及裝置用於電解金屬化，則使用一含 有金屬離子之金屬化電解液。在使用可溶陽極極化電極時 ’金屬離子由這些電極的溶蚀而供應。另一方面，若使用 不可溶電極，則必須藉由單獨添加適當化學物質補充金屬 離子或例如使用世界專利wo 95 1825 1 A1所揭示裝置，在 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --裝 •I ϋ n n I i_i n n n ·ϋ ϋ I I - 573076 A7 五、發明說明（ 13 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該裝置中金屬部分係由— 等離子爲包含於-金屬化==之附加離子溶入，此 含有一 Fe2+/Fe3 +或另—氧 。此時在銅電解液内 虱化逼原對。 ^ 在該方法及裝置之一後續變型中，… 排列内僅定向於材料之一 a極彳于配置於一電極 直接電流，有利地將至少\，時馬了避免兩電極間有— 亞胺薄膜製成）配置於電極之間且將、、、 未厗又谩醯 。絕緣壁較佳配置爲在姑拉认… 土秒主荠兩非近材料 劣二j , 才枓知迭通過電解液時與材料接總 或土y直接到達材料之表面。 要觸 極與陰極屏蔽。 相-特別良好之陽 由於待金屬化之小型結構 再々'處於與電解處理用之至Φ 一陰極及至少一陽極相 土 乂 在結構物 < 尺寸爲確定時，雷 極間之間隙必須不超 ^ 抬疋値。因此，亦對絕緣壁之原 度建互一最大界限。依細 ，， 攸、，工驗來况，得假設絕緣壁之原户—至多相當於待金屬化結構之延伸部分的大約—半， 尤材料d以万向分別比較尺寸。在結構寬度約爲_微米 <术例中，絕緣壁之厚度應不超過5〇微米。在較窄結構之 末例中應使用相應地薄的絕緣壁。得在個別電極排列間另 k (、額外的、纟巴緣壁以避免前後配置之後續電極排列的電 極間有一直接電流。 條若材料並不投入處理液内而是藉由適當嘴嘴與處理液 接觸’ δ與個別電極接觸之處理液區域並不相互接觸時， 得冗全免除該等絕緣壁。 在一替代方法及裝置變型中，一電極排列之電極亦能配 16- ί靖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂i. .聲. 本紙張尺度適Μ關家鮮（CNS)A4規格（210 X 297 公 f 573076 A7 B7 五、發明說明（ 14 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 置爲定向於材料之不同侧。此時 絕緣壁，如此在電極不突才枓本身作爲電極間之 極間得免於使用其他絕緣壁。此=4—電極排列之電 料之兩側上料電區相互電連睡及裝“型得用於材 理在-側料用之通孔鍍敷導，=排列例如適於處 面導電層之材料用於該機能側：相於例如具備-全表 得配置爲盥此道㊉芦相 則上，陰極極化電極 巧/、此τ %層相向且陽極極化 以便在機能側之導^構上“A 相向’ 側導電層去除金屬 沈積金屬。在此同時，自相反 -二極排列得垂直或傾斜於材料在處理單 向延伸，較佳爲擴展於材料輸送線之平面的全部處理寬: 時二：运万向觀察之電極排列空間延伸對電解處理 時間有一顯著效果。長電極排列能用於材料上之大結構： 歹厂万面，在處理極細微結構時必須使用非常短的電極排 此能參照圖1進—步詳細説明。若材料由左向右移動 (輸送方向Ri，，；狀熊：兩祐、 ^ 〜见鍍），一結構4*之裝載右緣比該結 構之Μ區域電鍍更久。因此，獲得一不規則層厚度。該 層之取大厚度實質上視電極排列在輸送方向以，和以”内之長 度以及結構4在輸送方向Rl’和Ri"内之輸送速率、電流密度 和尺寸而定。就一大起始層厚度而言，輸送方向…，和…，，内 之長％極排列以及長結構4絕對會導致層厚度有大差異。在 電極排列在輸送方向Rl，和Ri，，内之長度爲較小時，層厚度差 異會.交彳于杈小。在此同時，處理時間得以縮短。因此電極 17-

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 卜訂· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格^297 )_ 573076 A7 ----—__B7 五、發明說明（15 ) 排列之尺寸得配合需求修改。就最細微的導電軌條結構⑼ 如0.1公㈣接點或5G微米寬之導電軌條）而言，電極排列之 長度應在次毫米範圍内。 爲了使本方法的效果倍增，得在_處理單元内提供至少 二個電極排列且材料得導引爲相繼經過該等電極排列。該 等電極排列之電極得有一延長構造且配置爲實質上與輸送 平面平行。該等電極得定向爲實質上與輸送方向垂直或與 輸送方向成-角度^90。。該等電極較佳擴展於輸送平面 受材料覆蓋之全部寬度上方。 就電極與輸送方向成一角度"9〇。之一排列而言，會使 電絕緣金屬結構（二者定向爲與輸送方向平行及垂直）^ «90 (±25° )時遭受到更久的期望電解反應。若該角度以 ’則導電軌條（定向於輸送方向且處於一已知輸送速 率及已知電極長度）會電解處理一段充分時間，同時定向爲 與輸送方向垂直之導電軌條僅會在電極排列内受一小段時 間處理。此係因爲電解處理只有在結構處於同時與一電極 排列之陽極極化電極和陰極極化電極相向之時方爲可能。 就定向爲與電極排列及電極平行之結構而言，此接觸時間 馬短。相反情況應用於電極排列定向爲與輸送方向平行卜 。〇〇 (±25。））。 依據本僉明之裝置亦能有具備延長構造之電極的複數個 電極排列，^電極排列之電極與輸送方向形成不同角度 更月崔地説，以至少一個延長電極排列之安排爲有利， 處理單元内之電極排列與材料輸送方向間之角度爲“9〇。 -18- 度適用巾關家鮮（CNS)A4規格（21G X 297公爱Γ----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 tr 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 573076 且該等電極排列配置爲大致相互垂直，〜 (乐一電極排列）、特別是20。至7〇。 况a'^45 極排列)、特別是…。至⑽。。，〜出。(第二, 在一特佳方法中，電極係以—振 # 、 送平面運動。 式貝上平行於秦 此外，亦能有複數個電極排 具有延長構造之電極及分別配相互平行且相^ 鄰電極得各自自一獨 yn緣壁’且相 屬化溶液之案例中，全:;先 =電。㈣ 。由於处；^…人屬首先沈和在材料之絕緣結構物上 在金屬化區域内更久，在敎區域比後部結構待 條若材料在此之後經過第_ 屬層的居度會車父大。 列中乏m q 、弟虽排列，該排列包含第一排 罘一乾極或一第三電極與第二排列内之 化電極，則許多金屬再次從 " 却蛀枝，, < 打之則4區域去除，且在後 上則爲沈積的金屬比去除的多。因此總括來説，在 -個心排列之處理過程中使結構上之金屬層厚度平均化。 極=此排列達到—特別均勾的金屬層厚度，與第一電 ^目向（結構上的電流密度得調整爲大約等於盘第二 '極排列相向之結構上的電流密度的兩倍値。… ,後貝較佳方法中’電極排列得額外受絕緣壁包圍。 偽若使用複數個相鄭電極棑列，此等絕緣壁爲配置於電極 ♦ J(間巾成牙透包圍電極排列之絕緣壁並穿透配置於 電極間之絕緣壁的開口。 4寺開口得依現行需求具有不同寬度。舉例來説，就

本紙張尺錢”關家標準（CNS)A4^i"S 297公釐）

573076 A7 B7 五、 發明說明（ 17 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 社 印 製 运方向來看，此等開口之寬度分別爲在使用對材料沈積金 屬之方法時伴隨陰極極化電極之開口小於伴隨陽極極化電 極 < 開口，或者是在使用對材料金屬表面蝕刻之方法時伴 隨陰極極化電極之開口大於伴隨陽極極化電極之開口。 本實施例達成使待處理材料件上與陰極極化電極相向之 區域的電流密度不同於與陽極極化電極相向之區域的電流 在度。因爲這些差異，得在這些區域設定不同電位量以利 於指足電解程序並抑制其他程序。因此，舉例來説有可能 相對於金屬之兢爭溶解而加速金屬之沈積以便亦以此方式 在材料上沈積較大厚度之金屬。由於在上述案例中與陰極 極化電極相向之材料區域的電流密度及電位提高，在此會 發生一競爭反應使水分解（產生氧氣）。因此，相當於陽極極 化弘極之材料表面的金屬溶蝕量比沈積量少。反過來對要 姓刻金屬之應用而言當然亦爲眞。 爲了避免金屬沈積在陰極極化電極上，此等電極得受離 子靈敏薄膜孱蔽以形成包圍陰極極化電極之電解空間。倘 若不使用離子靈敏薄膜，必須以每日或每週爲基準再次去 除陰極極化電極上之沈積金屬。因此之故，例如可配置一 陰極極化表面電極以剝離此等電極，在此案例中之已金屬 化電極經陽極極化。此等剝離電極得在生產中斷當中導入 電極排列内取代材料受處理。陰極極化電極之外部剝離的 循環交換亦非常簡單。 此外，調制供予電極排列之電極的電壓使—單極或雙極 電流脈衝序列流至電極對處理材料亦得爲有利。 — rllllll — I · 1 I I I I I Γ ^ ·ΓΙ1ι1ΙΊ« · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -20- 573076 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（18 ) 蚯後的圖式用來進一步解釋本發明且詳細展示： 圖3爲一電極排列之構造簡圖； 圖4爲一結構在依據圖3之裝置内處理後的層厚度型態； 圖5爲一電極排列之兩電極的簡圖； 圖6馬伴隨不同電極排列之複數個電極的簡圖； 圖7馬在一連續系統内複數個電極排列沿著材料輸送路線 之一特殊排列方式； 圖8 a爲一連續系統之剖面圖； 圖8b爲一流動單元之平面圖； 圖9爲一連續系統之侧剖面圖，其中材料於一水平輸送平 面内輸送； 圖10爲具備銅結構之落片的平面圖及來自複數個電極排 列之電極的投影； 圖11爲複㈣電極_沿著—連續系統内材料件輸送路 線之另一特殊排列方式； 圖12爲一用於箱材料之電解處理的捲軸捲送單元簡圖。 +依據圖1和2之—電極排列明顯適於處理大型金屬結構。 %極在輸②万向内之長度連同輸送速率決定以—電極排列 進行之電解處理的持續時間。就待處理之大型結構而士， 選擇-大輸送方向内電極長度，至少對有關於程序判定泰 極而言爲如此。 ^ 倘若藉由考慮適當進程參數使首先在第-電極達成之處 里放果不因在電極排列之第二電極的.處理而再次逆轉或 至少不完全逆轉，則依據本發明之複數個電極排列得接續 丨λ-丨丨丨丨丨丨丨丨·丨丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 l·-------#>. -21 -

本紙張尺度適财_緖準規格“ X 297公釐） 573076

、發明說明（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 極排:、广运万向内’亦即-箔片受導引接續經過複數個1 =於由個別電極排列達成之處理成果累積起來。電相 卢理丨万向内之長度必須配合待處理結構之大小。名 I果睡ΐ結構時，此長度亦必須選擇爲小。在要求一處理 β %極排狀數量必須相應地選擇爲較大。先決條科 Γ疋處理成果不因—電極㈣之各自後繼電極而再次遠 =舉例來説，-個已沈積金屬層在經過-後繼陰極極化 电極時不應再次去除。 就極小型待處理結構而言’以受導引首先或最後經過電 極〈待處理結構邊緣區域的處理最爲顯著。不過這些邊緣 區域亦應儘可能以一均勻方式電解處理。因此之故，以使 用能夠以一目標方式設定電極排列内電化學"相反指向 (oppositely dlrected)"反應（例如金屬化，剝離）之可能性爲 有利。參照圖3，以此説明最小型結構（寬度〇ι公幻之非常 均勻電解處理。 在圖3中，再現具備二個電極排列之安排，該等電極排列 各自具有陽極極化電極和陰極極化電極6,，7,，6，，，7,,。一 個具備結構4 (例如銅製導電軌條結構物）之箔片以受導引以 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一輸送方向Ri通過一圖中未示電解液。在此例中以:錫電 解液作爲該電解液。 陰極極化電極6,，6”受離子靈敏膜片5屏蔽與周遭電解空 間隔開。因此避免錫自電解液沈積在電極6，，6"上。絕緣= 9·或9”分別位於電極61與7,之間或6”與7"之間。一絕緣壁17 配置於孩二電極排列之間。亦得免除膜片5。此時陰極極化 -22 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

573076 五、發明說明（2(3 ) 電極6’，6”無須經常做剝離處理。 結構4在具備電極6’和7’之第一電極排列金屬⑺。由於結 構4受導引由左向右經過電極排列，結構4之右緣比左緣遭 受較長時間之電解反應4以右緣上的金屬沈積量和金屬 層厚度會比左緣大。爲了至少部分補償此平衡缺失，落片 Fo在經過第一電極排列之後受導引經過第二電極排列。在 此安排中，陰極極化電極6”和陽極極化電極的順序相對 於第一電極排列内之電極6，和7，的極性改變使各結構4之左 緣比右緣遭受較長時間之電極7，，的電化學（電鍍）效應。結構 4之右緣在經過陰極極化電極6"時陽極極化且因而比結構4 I左緣遭受更長時間的陽極反應，是以此時較佳再次去除 右緣上的金屬。因此會沈積一大致均勻薄錫層。 得藉助圖4曲線圖了解結果，在該圖中所獲得金屬層厚度 d再現爲待被覆結構4之長度延伸量a的函數。此圖所緣狀態 爲第二電極排列内之電流等於第一電極排列内之電流的一 半且電化學反應（金屬溶蝕，金屬沈積）之電流生產率接近 100% 〇 層厚度分佈由曲線I標出，其得在結構已經過第一電極排 列之後測得。在結構之左緣（a=〇)上實際上並無金屬沈積， 同時在右緣（a=A)上達到層厚度D。在經過第二電極排列時 發生一個程序：在左緣實際上只有金屬沈積（不完全程序， 以曲線II表現）。因此，在此區域内達到層厚度D/2。此外， 貫際上在右緣只有金屬去除（不完全程序，以曲線m表現）。 因此，此處之層厚度從原先的d=D減爲d=D/2。結構物上之 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） III — — — — — — — Αν- 1 ' — — — — 111· ^ «L-lll — — — — ^^1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 573076 A7 21 五、發明說明（ 中間區域同樣實質且古 、'有層厗度d=D/2。所得層厚度分佈示於 曲綠IV。 、 化處理液，金屬化作業能更爲提升:藉由爲金 屬沈和使用一不許奋厪Ά / 、 、 -屬洛蚀I卷解液，整體來説能達一 更大金屬層厚度。迚蛀沒 _ t L t 、、、/ Μ 時罘一电極排列和第二電極排列的電 A、、人、等大此時圖4所示曲、線m與橫座標重合，因爲沒

金屬溶蝕。因此，濟担人P 又侍層厗度D且金屬結構物之全部表面 一樣（曲線IV’）。 依據圖女排的進—步簡化爲將具備電極y，7"之 區(見圖3)合併以便形成-個具備-電極之區域。此時亦需 要二個電流/電壓源對電極供應電流，藉此能產生不同電流 供予二個不完全電極排列(一個是包含電極6,和電極？，7”， 另-個是包含電極7，，7，，和電極6”)。在此案例中分隔壁17 爲去掉。此時電極排列之機械組合爲特別簡單。 本發明I-較佳實施例之電極排列的概要組合示於圖5。 具備結構4之箱片F 〇續爲在電極排列下方（位於IS片F 〇底側 d 4文到在泊片底側之—第1電極排列電解處理）。箔 片FO以知送方向Ri導引。電極排列包含電極6 (陰極）和電極 7 (陽極）。在電極6與7間有_絕緣壁9,在此案例中該絕緣 壁位«片F。上且對電極6和7發出的場線達成—有效電異 蔽。電極6和7受陰極空間1〇和陽極空間u包圍，電解液” 位於此_2間内。2間1〇和！i二者皆朝搭片F。導引通過之 輸送平面開放。電極對落片F0之一小區域的集中效果由二 個J開口 112a達成，此二開口形成爲穿透側向絕緣壁^3 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準(CMS；)A4規格（2l〇_x 297公釐了 ----------0· ^------------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 573〇76 A7 B7 i、發明說明（22) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 和14及電極6與7間之絕緣壁9。此之所以有利在於會使小型 結構4的電解處理平均。相較於此，在選用大的12a和1 ^時 ，小型結構的電解處理會不規則。 又如可自圖5察覺，電解液F1自上方（以箭頭Sr表示）送入 電極排列内。電化學反應能因高流率而加速。 在圖6中顯示依據本發明之另一排列，其具備複數個相鄰 電極6，7’，7”。電極6，7’，7"連接於電流/電壓源8,，8"(例 如電流整流器）。絕緣壁9位於該等電極之間。一待處理羯 片F〇在輸送平面内以輸送方向Ri移動。包圍電極6和7之各 電解空間具有開口 12&和12k，該等開口定向爲朝向輸送平面 且由絕緣壁9形成。這些開口 12&和12k的大小爲不同。因此 ，在箔片Fo之區域4，4*(所在與開口 12,和12k相向）處於不 同大小的電流密度及不同電位。 在一具備金屬區4之箔片F 〇在一金屬沈積溶液内受處理之 情況中，產生以下情況。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由於在陰極極化電極6之開口 12k比在陽極極化電極7之開 口 12〆]、，在與陰極極化電極6相向之區域4*a的電流密度和 電位會比與陽極極化電極7’，7"相向之受處理區4*的區域 4 %大。因此，在陽極不完全程序中於陰極極化電極6區域 内除了金屬溶解之外也會發生競爭氧氣產生使此區域4*a内 之去除金屬會比沈積在區域4*k内的金屬少。總括來説，一 金屬層因而形成。 在圖7中，以平面圖顯示在一連續系統内沿著材料輸送路 程之複數個電極排列18的特殊排列方式。在圖1排列中之電 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 573076 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 -------BZ_— __ 五、發明說明（23 ) " 7 7以實線和虛線簡略緣出。電極排列18設定 A略^傾斜於輸送方向以且在電解單元内以一相應長度延 伸。母一電極排列18僅用來處理待處理材料之局部表面。 因此:處理時間明顯增加。假設電解單元之長度爲公 尺且寬度爲0.2公尺，則就圖中所示具備四個電極排列“之 非歹i方式來說，結果爲處理時間提高14〇〇公釐X ⑼公釐 28就電極排列18之有效長度爲1公釐而言，結果爲處 Z時間大約17秒(輸送速率爲0]公尺/分)。以平均沈積電流 在度A 10安培/平方公寸級，沈積銅的層厚度約爲〇6微米。 倘若使用複數個電極去處理材料之局部區域，則層厚度隨 電極數量而倍增。 —在圖8a中顯示一連續系統1之剖面圖。其中一箔片Fo例如 藉由滚筒輸送且保持垂直。箔片F〇從側面導入一容器2内， 涊谷芬容納處理液（例如一金屬化溶液^)。該溶液藉由一泵 2 1、纟k由適當官線2〇持續抽回且在該溶液反饋至容器2内之前 通過一過濾器22。此外，空氣得經由容器2内之一管線“導 入以對溶液F 1增添擾動。 在圖8b中，圖8a所示單元}以平面圖顯示，配件僅部分顯 不。磘片Fo以輸送方向Rl導引。處理液F丨位於容器2内部， 在此案例中爲一適於電解蝕刻之溶液。箔片F〇經由開口 24 導入且通過擠壓輥25進入容器2内然後從擠壓輥26之間通過 開口 27離開孩容器。箔片F〇在容器2内藉由適當導引元件3 (例如滚軸或滚筒）導引通過。 在容器2内有複數個電極排列接續配置且在箔片F〇之輪送 -26- 本紐尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱)" "~"""""""" n n I n i t ϋ n n I · I n I n I I n 一δ- I I n n ϋ n n I 1 ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 573076 A7 B7 24 五、發明說明（ 二面的：:Vf等電極排列各自由陰極極化電極6，，6", 6 ’…和刼極極化電極7,，7,，，7,,， 該等電極之間。這啦絕缘辟9且*，...構成。絕緣壁9位於 ^ ^ 巴、'象壁9具有彈性密封膜16，並因在婉 過治片Fo時接觸材料表面所以有可能使各電極空間_ 蔽於其他獨立電極空間的電場。電極6,，6"，6一' ，7: I7'"，...連接於—f流整流器8,在圖8b右側之電杨與整 冼器的連接圖中未示。每一兩打桃χ丨， " 電。 母屯極排列亦得由獨立整流器供 广列來説’ f落片F。受導引先經過—陽極極化電極然後 、左過一陰極極化電極，則金屬會電解去除。 ^圖9中，一個用於、罐之電解處理的水平單元以側剖 訂 面圖顯示。容器2容納處理液〜待處理WF。在處理液以 内以一水平輸送方向Ri導引經過電極排列。該等電極排列 7依序各自^含陰極極化電極6'，6" ’ 6' ...和陽極極化電極 、’ 7 ’ 7, ’ 。該等電極排列配置於羯片F〇所行輸送平面 t # 之兩側。 在此案例中，使用具密封唇狀部之絕緣輥28將電柄6，，6，， ，6’”’...’7，’7，，，7，”，...相互隔絕。亦得使用具密封膜16 之絕緣壁9取代絕緣輥28。 在圖9的右側繪出有關於絕緣壁9和密封膜“之電極6，，，， 7"’的排列和一替代實施例。 在圖1〇爲-箱片Fo之平面圖，其具有金屬製犧牲區”和 具備相互電連接之金屬結構（結構物未示）的區域3〇。此落片 Fo例如得在一水平單元内依據本發明浸入處理液内並導引 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -27- 573076 A7 25 五、發明說明（ 經過電極排列受處理。電極棑列之電極6和7在圖中繪爲箔 片Fo上之技〜陽極極化電極7定向於結構區30且標示爲 請 先 閱 讀 背 面 之 注 ㊉’陰極極化包極6疋向於金屬犧牲區29且標示爲T。絕 緣壁9配置於電極6和7之間。絕緣壁9及電極…在圖财 僅爲象徵性標示，此細節有關於剖過此圖之投影平面的剖 面0 材料件以輸送方向Rl丨和"立士、 ^ 和111其中心一導引。金屬製犧牲區 29持續經過陰極極化電極6且“溶n方面，結構區 30因受導引經過電極7而金屬化。藉由此安排方式，有可能 沈積與製成4結構區之金屬相同的金屬。 依據本發明之另—較佳裝置簡略示於圖11。材料受導引 以輸运万向R!經過電極排列，該等電極排列各自包含延長 私極6，6，6 "，...和7·，7，.，7,1,，...。該等電極排列連同 電極相對於輸送方向Rl形成—角度&或—角度〜。因此， 相對於輸送方向以相異地定向之結構的處理時間效果得到 補償。就導電笛來説，由於導電軌條通常平行或垂直於落 片 < 一側緣延伸並因而平行或垂直 一 々、御迗万向Ri，藉助圖 =極排列取向能使此二取向之導電軌條達到相同處理時 間長度，但前提爲兩取向之導電軌條具有相同長度。 另處理早7C1間略示於圖12 ’其中長箔片F。能受到電解 處理。此型單元1稱爲捲軸捲送單元。 且=自-第一滾㈣(其作爲落片F。之存放件)展開， 在s泊片以輸运方向以，通過單元！時捲繞至一 、々 1 C f* , 4- /rf- ^ 农季由 。在治片F〇以輸送方向Rl”通過單元塒，滾轴Η ”用來 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） -28 573076 A7 __________— B7 __ 五、發明說明（26 ) 展開該落片JL滾軸15，用來在落片以漂洗乾燥後將其捲起。 此外，處理單το 1包含一容器2内裝處理液F〗。箔片&在 進入客器2後由複數個轉向導輥3導引，該等導輥3不具電氣 機能，且該箔片藉此受導引經過複數個電極排列，每一電 極排列各自包含一陰極極化電極6和一陽極極化電極7。陰 極極化電極6標示爲"Θ"且陽極極化電極7標示爲，，㊉,，。在此 案例中，該等電極排列僅配置於箔片F〇之一表面上。倘若 箔片Fo的兩面都要處理，則必須有配置在該隔絕箔片帶之 兩側的電極排列。 一電極排列連同受導引經過該電極排列之箔片F〇的局部 繪於圖12之詳細圖内。陰極極化電極6與陽極極化電極了以 一絕緣壁9隔開。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 29 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 573076 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（27 ) 參考符號： 1 處理單元 2 電解液容器 3 箔材料Fo之導引元件 4 箔材料Fo上之金屬結構 4 * 處理後金屬結構4 4*a 陽極處理後金屬結構4 4*k 陰極處理後金屬結構4 5 膜片 6，6,，6丨，，6丨丨 ’ 陰極極化電極 7，7，，7，，，7，， ’ 陽極極化電極 8，8丨，8” 電流/電壓源 9 絕緣壁 10 陰極空間 11 陽極空間 12 電極排列對電解液容器.之開口 12k 對陰極極化電極之開口 12a 對陽極極化電極之開口 13 電極排列之絕緣側壁 14 電極排列之絕緣側壁 15 v 15' 用來捲起/展開箔片Fo之存放滚軸 16 密封膜 17 兩電極排列間之絕緣壁 18 電極排列 20 電解管線 21 泵 22 過濾器 23 空氣供應 24 入口 25 擠壓輥 26 擠壓輥 -30- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 n ί ί n · ϋ I an n n n ί I t 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 573076 A7 B7 五、發明說明（ 28 27 28 29 30 Fo Ri FI Sr

Ri’，Ri” 出Π 絕緣輥 犧牲區 結構區 片/箔材料件 輸送方向 處理液 處理液F 1之流動方向 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 573076

   第089121828號專利申請案 A8 中文申請專利範圍替換本(92手7五1 一器 六、申請專利範圍Ί — ’月 L . . r>L· ，产一 1 · 一種用於電氣絕緣箔材料（Fo)的表面上之電氣互相絕緣 之導電結構（4)的電解處理方法，其中該箔材料（F〇) ·· a) 自一存放件（15’，15”）卸下； b) 然後在一輸送線上輸送通過一處理單元（丨）且因而 與處理液（F1)接觸； c) 其在輸送過程中受導引經過至少一電極排列，該 至少一電極排列各自包含至少一陰極極化電極（6) 和至少一陽極極化電極（7)，該至少一陰極極化電 極（6)和至少一陽極極化電極（7)與處理液（F1)接觸 且與遠流/電壓源（8)連接使一電流流經該等電 極（6 ’ 7)及導電結構（4)，此外一電極排列之電極 (6 ’ 7)配置為定向於該材料（f 〇)之一側，且至少 一絕緣壁（9)配置於電極（6，7)之間；以及 d) 其最終載回一存放件（15,，15，，）上。 2·如申請專利範圍第1項之方法，其特徵在於該至少一絕 緣壁（9)配置為在材料（F〇)輸送通過處理單元（丨）期間與 材料（Fo)接觸或至少直接到達材料（F〇)。 3·如申請專利範圍第1或2項之方法，其特徵在於材料（F〇) 受導引接續經過至少二個電極排列。 4_如申請專利範圍第1或2項之方法，其特徵在於電極（6， 7)有一延長構造且配置為實質上平行於輸送材料（F〇)之 平面。 5.如申請專利範圍第4項之方法，其特徵在於電極（6，7) 大致延伸於材料（Fo)之全部寬度且實質上垂直於輸送材 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 573076

   料（F ο)之輸送方向（Ri)。 6·如申請專利範圍第4項之方法，其特徵在於電極（6, 7) 與輸送材料（Fo)之輸送方向（Ri)成一角度α#9〇。。 7.如申請專利範圍第丨或2項之方法，其特徵在於材料（f〇) 受導引經過具備延長構造電極（6, 7)之至少二個電極排 列，不同電極排列之電極（6，7)與輸送材料（F〇)之輸送 方向（Ri)成不同角度。 8·如申請專利範圍第1或2項之方法，其特徵在於電極（6， 7)以一振盪方式實質上平行於輸送材料（F〇)之平面運動 〇 9.如申請專利範圍第lil2項之方法，《特徵在於該等電極 排列受絕緣壁（13，14)包圍且有對該等電極排列開放之 開口（12k，12a)，該等開口定向為朝向材料（F〇)之表面 ，該等開口由絕緣壁（13，14)及配置於電極（6，7)間之 絕緣壁（9)所形成，且就輸送方向（Ri)觀察，當該方法應 用於沈積.金屬在材料（Fo)上時，該等開口（1h，12〇之 f度分別為與陰極極化電極（6)有關之開口（i2k)小於與 陽極極化電極⑺有關之開口 (12a)，或在該方法應用於 蝕刻材料（Fo)上之金屬表面（4)時，與陰極極化電極（6) 有關之開口（12〇大於與陽極極化電極⑺有關之 〇2a) 〇 1〇·如申請專利範圍第！或2項之方法，其特徵在於複數個電 極排列配置為相互平行相鄰且具備延長構造電極（6，7) ’且相互比鄭之電極（6 ’ 7)各自連接至一電流/電壓源 -2 -

   曹 本紙張尺度適财目__(CNS) A4規格； X 297公釐) 573076 A8 B8 C8

   (8) 〇 u· ^中請專利範圍第10項之方*，其特徵在於處於與第- 2極排列相向之結構（4)的電流密度設定為大致等於與 第二電極排列相向之結構（4)的電流密度的兩倍。 12·如申叫專利範圍第1或2項之方法，其特徵在於包圍陰極 極化電極（6)之電解空間（10)受離子敏感薄膜（5)屏蔽。 裝 13·如申叫專利範圍第丨或2項之方法，其特徵在於電流經調 制使一單極或雙極電流脈衝序列流經電極（6，7)和材料 (Fo)之表面（4)。 14·如申請專利範圍第1項之方法，其應用於在箔材料（Fo) 上沈積金屬，材料（Fo)受導引先經過至少一陰極極化電 極（6)然後經過至少一陽極極化電極（7)。 15·如申請專利範圍第14項之方法，其應用於在材料（Fo)之 銅表面（4)上沈積錫。 16.如申請專利範圍第丨項之方法，其應用於蝕刻材料（f〇) 之金屬表.面（4)，材料（Fo)受導引先經過至少一陽極極化 電極（7)然後經過至少一陰極極化電極（6)。 17· —種用於電氣絕緣箔材料（F〇)的表面上之電氣互相絕緣 之導電結構（4)的電解處理裝置，該裝置的特徵在於·· a) 至少一第一和第二裝置（15，，15，，），其分別用來存 放箔材料（Fo); b) 適當輸送裝置（3)，其用來使箔材料（F〇)自至少第 一存放裝置（15，，15”）在一輸送線上通過一處理單 元（1)輸送至强材料（Fo)之至少第二存放裝置（15, -3- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 573076

   ，15，，）； c) 至少一裝置用來使强材料（f〇)與一處理液（FI)接 觸； d) 至少一電極排列，各自包含至少一陰極極化電極 (6)和至少一陽極極化電極（7)，該至少一陰極極 化電極（6)和至少一陽極極化電極（7)能夠與處理 液（F1)接觸，一電極排列之陰極極化電極（6)和陽 極極化電極（7)定向於輸送線之一側； e) 至少一絕緣壁（9)，其分別介於各電極排列之電極 (6，7)之間； f) 至少一電流/電壓源（8)，其與電極排列電連接以 產生一電流通過電極排列之電極（6，7); g) 私極（6，7)藉由該至少一絕緣壁以實質上沒有電 流能直接在相反極化電極（6 , 7)間流動之方式 互屏蔽。 18.如申請專·利範圍第17項之裝置，其特徵在於該至少一絕 緣壁（9)配置為在材料（f〇)輸送通過電解單元（丨）時與材 料件（Fo)接觸或至少直接到達材料件（F〇)。 19·如申請專利範圍第17或18項之裝置，其特徵在於電極（6 ，7)具有一延長構造且配置為實質上平行於輸送材料 (Fo)之平面。 20·如申請專利範圍第19項之裝置，其特徵在於電極（6，乃 貫質上垂直於輸送材料（Fo)之方向（Ri)。 21·如申請專利範圍第19項之裝置，其特徵在於電極（6，乃 -4- I___________ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) χ\4規格(210 X297公釐）

   裝 訂 t 573076 A8 B8 C8 申請專利範園 與輸送材料（Fo)之方向（Ri)成一角度α关90。。 22·如申請專利範圍第17或18項之裝置，其特徵在於有至少 二個具備延長構造電極（6 , 7)之電極排列，不同電極排 列之電極（6，7)與輸送材料（Fo)之方向（Ri)成不同角度 23·如申請專利範圍第19項之裝置，其特徵在於電極（6，7) 有一延長構造使其能以一振盪方式實質上平行於輸送材 料（Fo)之平面運動。 24·如申請專利範圍第17或18項之裝置，其特徵在於該等電 極排列受絕緣壁（13 , 14)包圍且有對該等電極排列開放 之開口（ 12k，12a)，該等開口定向為朝向輸送平面，該 等開口由絕緣壁（13 , 14)及配置於電極（6 , 7)間之絕緣 土（9)構成，且就輸送方向（Ri)觀察，當該裝置用於在材 料（Fo)上沈積金屬時，該等開口 〇2k，12〇之寬度分別 為與陰極極化電極（6)有關之開口（12k)小於與陽極極化 電極⑺有關之開口（12a)，或在該裝置用於姓刻材料（F〇) 之金屬表面（4)時，與陰極極化電極（6)有關之開口（l2k) 大於與陽極極化電極（7)有關之開口（12a)。 25.如申請專利範圍第17或18項之裝置，其特徵在於包圍陰 極極化電極（6)之電解空間（10)受離子敏感薄膜（5)屏蔽 26·如申請專利範圍第17或18項之裝置，纟特徵在於複數個 電極排列配置為相互平行相鄰且具備延長構造電極（6， 7)，且相互比鄰之電極（6，7)各自連接至一電流/電壓源 本紙張尺度適用巾關家鮮(CNS) A4規格(21GX297公董)

   裝 玎

   線 573076 8 8 8 8 A B c D 六、申請專利範圍 ⑻。 6 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)