P^f-3 ’叫 A7 π f
B7 丨… U 五、發明説明（5) 本發明上述及其他之目的、特擻及優點，將可由Μ下 之說明並配合所附之圈式而獲得更深入之瞭解，其中本發 明之較佳實施例係藉由示例性之例子而顧示在圓式上。 画式夕篛璽銳明 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1圈係依照本發明實施例之回吸閥的立體透視圖。 第2_係一流量控制裝置之垂直剖面圏，其中該流量 控制装置係構成第1_所示之回吸閥之一部分。 第3_係一譯碣器之部分切開立*透視圓，其中該譯 碼器係構成第1_所示之回吸閥之一部分。 第4_係第1_所示之回吸閥的搡作示意圏。 第511係第1·所示之回吸闊的操作示意顯。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 元件符》夕 銳明 1,20 回 吸 閥 2 流 Η 導 入 □ 3 流 讎 排 放 P 4,38 流 體 通 道 5 主 要 閥 艚 6,112 覆 罩 m 7 横 m m 8 , 66 壓 鏞 流 體 供 應 P 9,50 活 塞 10 V型填隙件 11 彌 簧 12 調 整 鏍 絲 13,148 覆 m 液 鱷 供 應 源 1 4,22a,22b ,67 管 麵 15,26 開 Μ 控 制 閥 16 導 管 17 流 量 控 制 Η 24 结 合 件 28 回 吸 Μ 機 構 30 鼸 動 器 34 第 一 □ 部 36 第 二 □ 部 40 结 合 fll 42 内 部 元 件 44 縝 固 鏍 帽 46 第 一 Μ 艚 48 圓 筒 吠 腔 室 52 Μ 艚 構 件 53,62,106, 138 支 撐 構 件 54,98 彌 簧 構 件 56 第 — 横 隔 m 58 第 一 横 隔 膜 腔室 59 座 體 60,86,104 級 衡 構 件 64 引 導 通 道 65,82,108, 117 a » 117b 通 道 68 流 量 控 制 裝 置 69 第 — 薄 板 70 第 二 薄 板 71 第 三 薄 板 S (1Τ 正頁）9 3 5 75 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） Λ7 B7 經满部中央標準局员工消費合竹社卬絮 五、發明説明 ( 1 ) 1 I 發 1 背 JL 1 1 發 明 領 域 1 1 本 發 明 係 Μ 於 ―― 種 回吸 閥 * 其 具 有 防 止 流體在 一供 應 ，—、 1 I 請 1 □ 處 產 生 液 滴 之 功 能 1 其係 賴 由 依 照 一 横 隔 糢之位 移操 作 先 閱 1 I 1 1 t 而 將 流 動 通 過 — 流 體 通道 之 預 定 量 值 之 流 «吸回 而達 成 背 I 之 1 注 、| 意 | 事 1 ffi. JUL 1 直 說 明 項 1 填 舉 例 來 說 至 巨 前 為止 已 知 在 製 造 半 導 «晶圓 之製 程 寫 本 裝 頁 1 中 9 係 需 採 用 —* 種 回 吸 閥。 在 此 回 吸 閥 中 » 當覆蓋 液黷 供 1 應 至 半 導 體 晶 圓 之 程 序 停止 時 其 係 具 有 可 Μ防止 所諝 之 1 1 液 滴 的 功 能 9 此 液 滴 係 指一 種 微 量 之 覆 蓋 液 體由一 供應 Ρ 1 朗 向 半 導 體 晶 圆 滴 落 之 現象 0 訂 ， I 依 昭 習 知 技 術 之 回 吸閥 係 顯 示 於 園 5 >且其係揭露在 1 1 P 舉 例 來 說 曰 本 實 用 新型 公 告 諕 第 8 ~ 10399中。 1 I 此 回 吸 閥 1係包含- -主要閥體5 其 形 成 有一流 髑通 道 1 1 4 用K在- -流《導入口 2與 一 流 艚 排 放 □ 3之間形成導通 Ί t Μ 及 包 括 一 覆 罩 Μ 6 •其係结合至主要閥體5之上 方部 位 1 1 〇 由 —- 厚 壁 部 及 一 薄 壁 部所 姐 成 之 檐 隔 膜 7， 係配置在流 1 1 » 通 道 4之中央部位 > - -圈上未顯示之應縮流體供應源係 1 | 連 接 至 覆 罩 篕 6 而此覆軍菝則進- -步形成有一懕嫌流β I 供 應 D 8 ，其可在- -方向控制閥（未 顯 示 )之變換操作下 1 1 I 供 應 用 Μ 操 作 横 隔 m 之 壓嫌 空 氣 0 1 1 I 一 活 塞 9係安裝在横隔膜7上 且 一 V型填隙件10係安 1 1 裝 在 活 塞 9中 並且可沿著主要閥體5之 内 壁 表面而 滑動 » 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 39 575 經漓部中央標隼局員工消費合作社印f Λ7 B7 五、發明説明（2 ) 而具有密封之功能。此外，一可將活塞向地向上抵頂之彈 簧11，係配置在主要閥體5之内部。 一調整螺絲12係配置在覆罩M6之頂部*其可藉由旋 入量之壜加或減少而抵靠於活塞9上·並且調整活塞9之位 移ft，鶊此便能夠調整由横隔膜7所回吸之覆Μ液體的董 值° 於其内部貯存有覆蓋液體之覆Μ液體供應源13，係賴 由一管體14而連接至流體注入口 2。此外，在覆蓋液體供 應源13與滾體注入口 2之間係連接有一開闞控制閥15，而 此開翡控制閥15係構建為一與回吸閥1分開之分離式主趙 。此開顒控制閥係具有使覆Μ液體至回吸閥1之供應狀態 與供應終止狀態之間能夠加以變換之功能，這係根據開闞 控制閥15之敢動及鼷閉動作而完成。 此回吸閥1之操作現將槪略地加Μ說明。在一普通狀 態下，其中一覆蓋液體係由流體注入口 2供應至流體排放 口 3·而活塞9及横隔膜7係依照由壓縮流體供應口 8所供應 之壓縮流體之動作，而Μ整鱧式的方式向下移動。结合至 活塞9之横隔膜7係突伸進入至流體通道，如圖5由雙虛線 所示者。 當覆蓋液體流經流體通道4之流動停止時*活塞9及横 隔膜7係在彈簧11所引起之彈力作用下一齊向上升起*而 停止由壓縮流體供應口 8之壓縮空氣的供應。餘留在流體 通道4中之預定量值的覆蓋液體，係賴由横隔膜7所產生之 負饜的作用下而被吸回。因此•液體之液滴便不會產生， ---------4衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 2 39575 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 3 ) 1 1 否 則 在 其 他 情 況 下 此 液 滴 係 會 在 一 圖上未 顯 示 之流 體供 1 1 應 P 處 形 成 0 1 1 順 便 __. 提 的 是 » 依 照 習 知 技 術 之 回吸閥 1 ，其為了調 r-V 1 1 請 1 整 由 壓 縮 流 m 供 應 Ρ 8所供應之壓締空氣的量值 ，於是一 先 閲 1 1 讀 1 速 度 控 制 器 或 類 Μ 之 流 量 控 制 閥 17便 經由一 諸 如 管體 之導 背 Hj 1 之 1 管 16而 連 接 於 其 上 〇 此 流 量 控 制 閥 17係可藉 由 變 換在 閥體 素 1 事 1 内 之 流 動 通 道 之 面 積 而 調 整 於 其 中 流動之 壓 縮 流體 的流 項 再 1 量 〇 填 寫 本 百 裝 I 然 而 依 照 習 知 技 術 之 回 吸 閥 1 其由壓縮流體供應 只 1 1 □ 8所供應之壓縮空氣 係經由諸如上述之流量控制閥1 7 1 1 之 櫬 構 性 裝 置 來 加 Η 控 制 因 此 其 便 存在有 對 於 由壓 縮流 1 «1 體 供 應 P 8所供應之壓縮空氣量值 •無法達成细微控制之 訂 ：1 缺 點 0 1 I 再 者 在 依 昭 習 知 技 術 之 回 吸 閥 中，由 於 覆 蓋液 體之 1 1 I 回 吸 量 值 之 調 整 係 賴 由 手 動 地 增 加 /減少- -螺絲構件12 1 I ht- 之 旋 入 量 來 加 以 調 整 因 此 便 會 產 生 該覆蓋 液 體 回吸 量值 1 無 法 精 確 控 制 之 缺 點 〇 在 此 情 況 中 已事先 固 定 之螺 絲元 1 1 件 之 旋 入 量 便 必 須 針 對 所 需 要 回 吸 之覆蓋 液 體 量值 ，而 1 1 每 次 再 重 新 加 Μ 設 定 因 而 增 加 了 此 糸統之 繁 雜 性。 1 1 此 外 當 使 用 習 知 之 回 吸 閥 1時 其必須在回吸閥1與 1 1 1 流 量 控 制 閥 1 7 之 間 Μ 及 在 回 吸 閥 1與開闞控制閥15之間 1 1 y 執 行 管 路 連 接 之 操 作 f 如 此 更 增 添 了其不 便 性 。再 者， 1 1 對 於 所 附 接 之 流 量 控 制 閥 17與 開 闞 控 制閥15 其 便必 須在 1 1 與 回 吸 閥 1隔開之外部提供固定之空間，如此便又產生了 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 3 3 9 5 7 5 A7 B7 經滴部中央標準局只工消費合作社印米 五、發明説明 ( 4 ) 1 I 安 裝 空 間 必 須 整 體 增 加 之 缺 點 〇 1 1 抑 有 進 者 » 由 於 在 回 吸 閥 1與流量控制閥1 7之間額外 1 1 的 管 路 連 接 » 因 此 造 成 流 體 流 通 阻 抗 之 增 加 » 如 此 便 會 產 1 請 I 生 横 隔 膜 7之反應精確度（反 應 靈 敏 度 )衰減之缺點 0 先 1 1 ik 1 又 有 進 者 用 Μ 使 開 Μ 控 制 閥 1 5在 其 開 啟 與 Μ 閉 狀 戆 背 之 1 之 間 變 換 之 驅 動 裝 置 係 必 須 額 外 分 開 地 提 供 f 如 此 使 得 注 意 1 在 開 Μ 控 制 閥 15與 驅 動 裝 置 之 間 又 必 須 有 額 外 之 管 路 連 接 事 項 1 I 再 \ 9 而 這 又 會 產 生 增 加 整 體 設 備 成 本 之 缺 點 0 填 寫 本 裝 | 此 外 在 横 隔 膜 係 使 用 一 圔 上 未 顯 示 之 電 子 裝 置 來 加 頁 'W-· 1 1 以 移 動 之 例 子 中 » 則 又 恐 怕 該 由 電 子 裝 置 所 產 生 之 熱 量 » 1 1 舍 使 在 流 體 通 道 内 之 流 體 流 動 特 性 發 生 變 化 〇 1 發 且 摑 罨 訂 | 本 發 明 大 體 上 之 巨 的 係 要 提 供 用 Μ 移 動 可 撓 性 材 料 ( 1 I 横 隔 m )之導壓之高精度控制 ，其中該可撓性材料係安裝 1 1 成 與 一 流 體 通 道 圼 面 對 之 闢 係 Μ 及 提 供 一 回 吸 閥 其 能 1 1 >λ 高 精 度 來 控 制 由 可 撓 性 材 料 所 回 吸 之 流 體 流 量 0 k 1 本 發 明 之 主 要 百 的 係 提 供 一 種 回 吸 閥 其 中 在 可 撓 性 1 1 構 件 (横隔膜） 係 由 一 種 電 子 裝 置 來 加 Μ 移 動 之 例 子 中 該 1 I 回 吸 閥 係 可 Μ 防 止 在 — 流 體 通 道 内 流 動 之 流 91 » 由 於 電 子 1 1 I 裝 置 所 產 生 之 熱 量 而 在 品 質 上 產 生 變 化 或 惡 化 〇 1 本 發 明 之 另 一 巨 的 係 提 供 一 種 回 吸 閥 t 其 中 可 增 進 上 1 1 述 可 撓 性 材 料 (横隔膜） 之 反 應 31 敏 度 及 精 確 度 0 1 1 本 發 明 之 另 一 百 的 係 要 提 供 一 種 回 吸 閥 » 其 中 並 不 需 1 1 要 管 路 連 接 且 因 而 可 降 低 裝 置 整 體 之 安 裝 空 間 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210X 297公t ) 4 395 75 P^f-3 ’叫 A7 π f
B7 丨… U 五、發明説明（5) 本發明上述及其他之目的、特擻及優點，將可由Μ下 之說明並配合所附之圈式而獲得更深入之瞭解，其中本發 明之較佳實施例係藉由示例性之例子而顧示在圓式上。 画式夕篛璽銳明 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1圈係依照本發明實施例之回吸閥的立體透視圖。 第2_係一流量控制裝置之垂直剖面圏，其中該流量 控制装置係構成第1_所示之回吸閥之一部分。 第3_係一譯碣器之部分切開立*透視圓，其中該譯 碼器係構成第1_所示之回吸閥之一部分。 第4_係第1_所示之回吸閥的搡作示意圏。 第511係第1·所示之回吸闊的操作示意顯。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 元件符》夕 銳明 1,20 回 吸 閥 2 流 Η 導 入 □ 3 流 讎 排 放 P 4,38 流 體 通 道 5 主 要 閥 艚 6,112 覆 罩 m 7 横 m m 8 , 66 壓 鏞 流 體 供 應 P 9,50 活 塞 10 V型填隙件 11 彌 簧 12 調 整 鏍 絲 13,148 覆 m 液 鱷 供 應 源 1 4,22a,22b ,67 管 麵 15,26 開 Μ 控 制 閥 16 導 管 17 流 量 控 制 Η 24 结 合 件 28 回 吸 Μ 機 構 30 鼸 動 器 34 第 一 □ 部 36 第 二 □ 部 40 结 合 fll 42 内 部 元 件 44 縝 固 鏍 帽 46 第 一 Μ 艚 48 圓 筒 吠 腔 室 52 Μ 艚 構 件 53,62,106, 138 支 撐 構 件 54,98 彌 簧 構 件 56 第 — 横 隔 m 58 第 一 横 隔 膜 腔室 59 座 體 60,86,104 級 衡 構 件 64 引 導 通 道 65,82,108, 117 a » 117b 通 道 68 流 量 控 制 裝 置 69 第 — 薄 板 70 第 二 薄 板 71 第 三 薄 板 S (1Τ 正頁）9 3 5 75 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 A7 B7 五、發明説明 (5 -1) 1 1 72a， 72b 注入口 73 曠 嘴 孔 1 I 74,152 嗔嘴 75,1 16b 排 放 P 1 76,94 腔室 77 流 嫌 1 I 78 薄膜 79 霄 阻 抗 臁 1 80a , 80b 霣極 81 導 線 請 先 1 84 密封元件 92 第 二 閥 體 閲 皆 1 I 96 Μ桿 97 射 磨 護 環 η 面 之 1 1 100 第二横隔膜 102 第 二 横 隔 膜 腔 室 注 意 1 I 110 突伸件 114 空 間 事 項 1 1 116a 供應口 118 m 性 致 器 再 填 1 I 120 譚磡器 124 達 接 器 本 百 126 _動_ 128 球 H 1 1 130 開孔 132 狹 縫 1 I 134 圖盤 136 瑁 狀 權 溝 1 | 139a 光鑲發射元件 139b 光 嬢 接 收 元 件 140 凹口 142 光 學 阻 m 器 訂 I 144 擂止件 146 鏢 轜 J 150 半導黼晶圚 154 覆 董 液 H 滴 落 裝 置 1 156 壓嫌流_供應源 1 | »住 奮 豳 例 夕雄拥被明 1 在 第 1_中·參考禰《係禰示依照本發明之- -實施例 線 I 的回 吸 閥 〇 此回吸閥20之 組 成 元件 係 包 括 一 结 合 件 24 其 1 1 具有 一 對 以 固定間隔隔闋 且 可 拆離 式 地 遑 接 於 其 上 之 管 體 1 22a 22b \ 一開醐控制閥 機 構 26 * 其 係 配 置 在 结 合 件 24縱 1 I 長方 向 上 之 上方部分、一 回 吸 閥機 構 28 其 係 配 置 在 结 合 1 1 件24鑕 長 方 向上之另一上 方 部 分、 Μ 及 —* 匾 動 器 30 ， 其 係 1 I 用以 暖 動 回 吸闢機構28。 如 匾 1所示 該结合件2 4、 開闞 1 | 控制 閥 26 回吸閥拥構28Κ 及 鼷動 器 30係 整 體 性 地 組 裝 在 1 一起 0 1 I 在 结 合 件24之一蠼係 形 成 有第 一 Ρ 部 34 t 而 在 另 一 端 1 則係 形 成 有 第二口部36 · 此 第 一口 部 3 4及 第 二 □ 部 36係 分 1 I 別與 一 结 合 體40相銜接， 而 此 结合 體 40於 其 中 係 形 成 有 一 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） b-ll修止頁)39575 Μ Β7 經濟部中央標準局員工消免合作社印絜 五、發明説明（ 6 ) 1 I 流 體 通道 38 其 係 與 第 一 及第二口部36及38相連通 > 且 該 1 1 I 结合體4 0係進 一 步 包 含有插置於管體22a、22b之開 Ρ 內 之 1 1 I 內 部 元件 42 Μ 及 氣 密 式 地維持管體22 a、22b之埋接位置 1 1 請 1 之 鎖 固蠖 帽 44 而 其 連 接 係賴由將該螺 帽嫘 合至結 合 體 40 先 閱 1 | 讀 1 I 末 端 所剖 切 之 螺 紋 而 達 成 〇 背 面 ! 開關 控 制 閥 機 構 2 6係配置在结合件 24其靠近第 — Ρ 部 意 1 孝 1 34之 上方 部 分 此 開 闞 控 制閥機構26係 具有 一第一 閥 體 46 項 1 填 % 其 係與 結 合 體 40 體 式 連接在一起； 一活 塞50， 其 係 可 本 裝 I 在 一 圓苘 狀 腔 室 48中 位 移 ，而該圓筒狀腔室48係沿著箭頭 頁 、_^ 1 1 I X 1 及 X2之 方 向 而 形 成 在 第 一閥體46内； Μ及 一蓋體 構 件 52 1 1 ， 其 係用 緊 密 地 密 封 該 圆筒狀腔室48 。此 外，在 活 塞 50 1 徑 向 掮張 之 外 緣 部 分 與 第 一閥體46之間 ，係 配置有 —- 用 Κ 訂 支撐活塞50之可撓性環狀支撐構件53。 在此 例中， 活 塞 50 1 | 係 配 置成 可 以 藉 由 支 撐 構 件53之變形， 而在 筋頭Χ2 之 方 向 1 I 上 移 動° 1 1 一揮 簧 構 件5 4係配置在活塞5 0及Μ »構 件52之間 因 1 此 活塞50可 Μ 藉 由 彌簧構件54之31[性力 而向 下偏移 (在筋 1 1 頭 X2 之方 向 上 )c 1 1 一第 一 横隔膜腔室58係形成在活塞50之 下緣端 9 其 中 1 | 第 一 横隔膜56係連接至活塞50之下緣端 ，且 配置成 可 Μ 與 1 I 活 塞 50 — 體 式 地 移 動 〇 在 此例中*第一 梢隔膜5 6之功能係 1 1 I 用 K 開啟 及 關 閉 流 體 通 道 38 ·此係藉由 第一 横隔膜56與 一 1 1 I 座體59分開或安裝在 —> 座 » 59中而達成 ，而 其中該 座 體 59 1 1 係形成在結合體40上 〇 因 此，在流經流體通道38之流體 ( 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公t ) 6 395 75 A7 B7 經满部中央標率局Μ工消費合作社印$! 五、發明説明 ( 7 ) 1 | 亦 即 覆 蓋 液 體 )其供應吠態或供應中止狀態之間的變換 1 I ， 便 可 賴 由 開 啟 或 闞 閉 由 開闞 控 制 閥 26所 構 成 之 第 一 横 隔 1 1 I 瞑 56來 達 成 〇 1 | 請 J. 再 者 一 用 Η 支 撺 楢 隔膜 56 之 薄 壁 部 的 環 狀 級 衝 構 件 先 閱 1 I 讀 1 60 9 係 m 置 在 第 一 梢 隔 膜 56之 上 表 面 而 此 緩 衝 構 件 60係 背 I 之 1 | 由 — 截 面 形 狀 圼 L形且連接至活塞50下緣端之支撐構件62 >主 意 1 事 1 所 支 撐 0 項 再 1 裝 I —- 用 以 控 制 供 應 至 圆 苘狀 腔 室 48 之 懕 縮 流 想 流 量 之 流 Η 本 1Γ 量 控 制 裝 置 68 * 係 經 由 一 管體 67而 附 接 至 開 關 控 制 閥 機 構 只 •>W" 1 1 I t 其 中 該 管 體 67係 具 有 一 通道 65形 成 於 其 中 而 此 通 道 65 1 1 I 係 與 引 導 通 道 64相 連 通 且一 壓 縮 流 體 供 應 D 66係 與 通 道 1 65相 連 通 〇 訂 如 第 2圓所示· 此流1控制裝置68之構造 係賴由- 1 1 « 式 地 堆 積 一 第 —— 薄 板 69 ，其 係 由 例 如 » 不 裂 玻 璃 ( 1 | Py re X g 1 as S)所 製 成 一 第二 薄 板 70 其 係 附 接 至 第 . 薄 1 k 板 之 上 表 面 且 係 由 例 如 ,矽 基 質 所 製 成 、 Μ 及 一 第 三 m 1 板 71 其 係 附 接 至 第 二 薄 板70 之 上 表 面 且 係 由 例 如 不 1 1 裂 玻 璃 所 製 成 0 1 1 一 對 注 入 口 72 a、 72b 係 Μ — 預 定 之 間 隔 而 形 成 於 第 — 1 1 薄 板 69與 第 二 薄 板 70 之 間 。在 此 例 中 其 中 一 注 入 □ 72 a 1 I 係 配 置 成 可 與 壓 縮 流 體 供 應口 66相 連 通 > 而 另 一 注 入 Ρ 1 I 7 2 b則係由- -廢堵（b 1 in d p 1 u g )所堵塞c 1 1 I 於 其 中 形 成 有 一 噴 嘴 孔73 之 噴 嘴 7 4 9 係 配 置 在 一 對 注 1 1 1 入 D 72 a、 72b之 間 此 嗔 嘴孔 73係 形 成 與 通 向 第 一 薄 板 底 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（ΉΟΧ 297公釐〉 ? 3 5 7 5 經"部中央標準局負工消費合竹社印褽 A7 B7 五、發明説明（8 ) 部之排放口 75相連通。此外，排放口 75係配置成可與通道 65相連通。 一截面形狀呈梯形之腔室76係形成在第二薄板70中， 而一可相應於增加之熱量而膨脹之流體77·諸如矽類液體 ，係容納在該腔室76中。腔室76之底部係具有一薄膜78， 而此薄膜78係K 一固定間距而與噴嘴74之末端隔開，且其 構造係可拜由流體77之膨脹（參照第2圈雙虚繚所示）而朝向 噴嘴74撓曲。 一具有搛式之電阻抗傾79係配置在第三薄板71之底部 反面上，其係携成腔室76之上表面，其中電阻抗體79係經 由一對罨極80a、80bM及導線81而埋接至圔上未顯示之控 制器。 一導引通道64係形成在第一閥體46中，而與圓简狀腔 室48相連通。在此例中，賴由將一壓縮流體（導壓）在流量 控制裝置68之控制動作下，經由導引通道64而供應至圓筒 狀腔室48 ·則活塞50便會抵抗彈簧構件54之彈力而向上升 起。因此，流體通道38便會由於第一横隔膜56 Μ —預定之 間隔與座體59分離而打開，而其中覆蓋液級便可由第一口 部34流向第二口部36。 再者，一通道82係形成於第一閥《 46中，而使第一横 隔膜腔室58逋通至大氣，而其中»由將空氣由第一横隔旗 腔室58内部經由通道82排出，該横隔膜56便可平順地操作 。參考摞號84係標示一密封元件，其係用Κ維持圓简狀腔 室48之氣密性，而參考檷號86則係檷示一娌衝構件，其係 I >抑衣 訂 f 氣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公趁） 8 39 57 5 Λ7 明 發 、 五 活 與 之 6 3 部 Π 二 第 近 靠 。 其 i 4 有 2 功件 之 合 衝結 媛在 有置 具配 而係 k.8 合 2 丨接構 9 密機 ί緊吸 明50回 説塞一 係起室 28一 腔 構在之 機接内 吸連92 回地體 此式閥 ， 體二 分 一 第 部40於 方體成 上合形 體 閥 二 第 1 有 具 桿 閥 1 及 结 與 係 其 著 沿 可 係 其 移 上 向 方 之 2 X 及 4Λ X 頭 筋 在 而 動 環 0 磨 耐 環 護 磨 附 此 緣 外之 之移 96位 桿性 閥線 至圼 6 接 9 附桿 而閥 溝保 凹確 狀可 環種 1 1 由為 經做 係係 96銜 桿緣 闕凸 將之 可96 成桿 置閥 C 配與成 係由達 98藉而 件係力 構其性 簧，弹 彌移之 1 傾98 » 地件 中向構 94正Μ 室1)彈 K ^ ώ 在 藉 。 ί 及 件方 Μ 引上， 導朗接 形 係 剌 尖 持 扣 個10 數膜 複隔 横 二 複 由 % 可 個 數 0 使 此 賴 端 緣 下 ο 之 6 撐 Ξ $ 閥所 於剌 成尖 祺 隔 横 二 第 此 (誚先閲讀背而之注意事項#填寫本頁 -裝 • n \—. - '-=a 桿 閥 與 % 可 成 置 配 且10 , 膜 6 9 隔 桿横 閥 二 至第 接該 連中 係其 成 形 係 膜 隔 横 件 二 構第 衝在 媛置 狀配 環係 一 其 部 動 移 地 式 粗 室 腔 膜 隔 横 二 第 壁04 薄 1 件 之 ο 構 10衡 膜 鍰 隔此 横* 二 第 護 保 Μ 用 係 4 ο 面 表 上 之 i 4 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1 道 件通 構之 撐氣 支大 之至 通a ^ 面10 截室 之腔 端膜 緣隔 下梢 6 , 9 二 桿第 閥將 至 Μ 接用 連 一 一 ο 由撐 藉支 係所
狀 L 體 閥 二 第 在 成 形 係 示 所 圏 4 第 如 中 件 伸 突 面 表 斜 傾 之 狀 形 面 表 部 底 之 ο ο Ί* 膜 隔於 横位 二 係 第10 合1 配 有 具 係 其 件 伸 突 此 且 置中 配例 係 0^此 10在 0 。 隔離 横分 一一10 該伸 80突 3 I 與 道 a及 通乂 ^ 體 ο 流11 向件 面伸 而突 中在 40定 體固 合可 结成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規梠（210X297公犮） 9 3 9 5 7 5 ΑΊ f37 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 10) 1 I 流 級 係 被 吸 回 至 一 間 隙 中 • 其 中該間 隙 係藕由 IL·» —. 將裙一 横隔 1 I 膜 1 0 0與突伸件1 10分 開 而 形 成 0 1 1 I 再 者 —* 用 Μ 將 „. 種 不 起 反應之 氣 體，例 如氮， 供應 1 I I 至 位 在 覆 罩 Μ 1 1 2内之空間1 1 4的供應 P 116a， Μ及一 用以 先 閱 1 I 1·考 1 I 將 非 作 用 性 氣 體 由 空 間 11 4内部排出之排放口 •係形成於 背 1¾ 1 1 第 二 閥 體 92 内 〇 此 供 應 0 11 6 a 及排放 □ 1 16b 係 經由各 別之 注 意 1 I 1 通 道 117a 11 7b 而 連 接 至 空 間 1 14。在此例中 •該非反應 項 再 1 填 1 性 氣 體 係 用 Μ 做 為 —‘ 冷 卻 媒 質 •其係 用 K冷卻 將在下 文中 本 裝 I 說 明 之 線 性 致 動 器 〇 Η 、 1 1 1 驅 動 器 30包 括 一 覆 軍 Μ 11 2，其係- -體式地連接至第 1 1 二 閥 體 92之 上 方 部 分 〇 一 線 性 致動器 1 1 8係用Μ將第二横 1 隔 膜 100沿著筋頭X 1及X 2之方向移動而穿過閥桿96，且一 訂 m 碼 器 120係用Μ根據線性致動器118 之 位移量 而偵測 第二 1 I 横 隔 膜 100之位移量 其中該線性致動器118及 譯碼器 120 1 I 係 配 置 在 覆 軍 蓋 112内部之空間114中 〇 1 1 該 媒 性 致 動 器 118大體上係由一種四相單極步階電動 1 機 所 構 成 而 此 電 動 機 則 係 賴 由一電 子 信號加 以啟動 或關 1 1 閉 並 且 包 括 圃 上 未 顯 示 之 定 子及轉 子 而配置 在外殻 中， 1 1 Μ 及 包 括 一 用 Μ 連 接 至 霣 源 之 連接器 其係用 以供應 一磁 1 1 電 流 至 定 子 〇 在 此 例 中 9 藉 由 將圖上 未 顯示之 轉子沿 著一 1 I 固 定 方 向 加 Μ 轉 動 f 則 驅 動 軸 126便會定位成在箭頭X 1及 1 I Χ2 之 位 移 方 向 上 〇 1 1 I 驅 動 袖 126其連接至譯碼器120之 的 上緣部 分》其 截面 1 1 係 形 成 非 圓 形 之 形 狀 ， 例 如 t 椭圓形 (參照第3 圖）。而另 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公势） 10 3 9 575 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（11) 一方面，一球體128係經由一開孔而套入驅動軸126之下緣 端。此形成之球體128係可用Μ與閥桿96之上表面形成點 接觸。 在此例中，如第4圖所示，閥桿96及線性致動器118之 驩動輪126，並非係經由一结合構件等结構而整體式地連 接在一起，反而係設計成使該第二闕體92與驅動軸126係 經由球體128而緊密接觭。因此，在閥桿96及線性致動器 118之驅動軸126由於連接公差或其他狀況而圼非同轴狀態 之情況下，甚至在線性致動器118之驅動袖126以相對於閥 桿96之軸線而略呈傾斜之角度緊密接觸之狀態下，其如此 之配置方式便可容許此類之誤差存在。 如第3圖所示，一譯碼器120係包括一圓盤134，而在 此圆盤之中央部位係形成有一截面大致上圼檷圃狀之開孔 130，其形狀係相同於驅動軸126之上緣部分•並且包括複 數個狹越132，其係Μ固定之間隔而配置在圆盤134之周緣 Ο 再者，如第3圈及第4圔所示，該譯碣器120係包括一 支撐構件138，而在此支撐構件138之内緣表面上則係形成 有一環狀檐满136，而圆盤134便可於此瓌狀檐溝136中轉 動，且此支撐構件138係呈切除四分之一之圓形的形狀， 且其亦包括一光學阻斷器142，此光學阻斷器係具有以一 預定間隔隔開之光線發射元件139aM及一光線接收元件 139b，且其係配置成可面對在凹口 140内部之一部分園盤 134，而其在截面形狀上係圼匚形。線性致動器118之位移 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規輅（2丨0X 297公浼） 1 1 39575 (請先Μ讀背而之注意事項再填寫本頁) 137五、發明説明（l2 ) 量，係賴由光線接收元件139b接收由光線發射元件139a所 發射出來之光嬢而測得，而其中射出之光射係透過圆盤 縫 狹 之 ίϊ , 設30 6 丑 12開 袖狀 動形 驅面 之截 緣形 上圓 18檷 Ί* ? 之 器 ， 0 ^ 致13 性盤 線園 在在 ’ 成 中形 例於 此對 在相 可 成 器13 動孔 致 開 性之 镍狀 * 圓 此橢 因圼 。 面 動截 移過 向穿 方可 之成 3)計 圖設 照係 參26 /V A 頭 筋 著 沿 而 袖 動 驅 之 盤 圓 於 對 相 而 向之 方言 下詳 上 在 之 A 頭 筋 盤 圆 1ί心 盤。中 圓制動 該限轉 中Μ為 其加做 , 被於 動係對 移性相 上動 Μ 向 移 可 方之成 下上計 上 > 設 而方 件 檐 撐 支 在 位 由 係 則 6·移 12位 軸之 動上 II向 之方 (計先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝_ 在 而 , 所 下 6 上13 在溝 其檐 而狀 然環 , 之 動中 I 8 轉 3 上 向 方 之 定 固 件 元 射 發 線 光 之 13中 盤40 圃1 持 維 地 4 定 1 固器 由斷 _ 阻 , 學 此光 因於 。 置 制配 限在 度 高 之 保 確 可 便
、1T 凹 之 Π b 之 9 6 3 2 1 1 件袖 元動 收驅 接與 媒一 光 與 盤 圆 與 有件 成止 形擋 可之 間觸 之接 34密 ί緊 端 末 隙 間 及 Μ 經濟部中央標聿局員工消費合作社印製 以蓋 軍切 覆剖 在所 置上 配面 係表 , 緣 6 卜 4 夕 L其 在 由 藉 14係 件44 止 播 該 接 銜 向 方 定 面 表 上 之 固 2 1 件 止 擋 帽 鏍 之 中上 孔朗 嫌著 之沿 2 I 1 可 1 便 蓋 6 罩12 覆粬 至動 合驅 螺 ， 而 量 蚊合 蠼螺 之其 。 閥 上吸 置 回 位之 定明 固發 一 本 在照 止依 播 被 來 下 接 ο 者 少 減 / 加 增 由 藉 中 其 且 接 銜 而 向 方 之 下 朝 明 說。 所明 上說 如地 係细 上詳 本以 基加 構來 结果 其效 , 及 20作 操 其 對 針 將 源 應 供 體 液Μ 覆 之 體 液Μ 覆 有 存 貯 中 其 於 先 首 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規掊（210Χ 297公犮） 39 575 A7 五、發明説明（13 ) 係連接至與回吸W20之第一口部34相連通之管體22a，而 一於其中配置有一唄嘴152而可使覆Μ液》滴瑢至半導體 件 止 4·擂 5 δ 2 1 riM 1 置薄轴 裝，動 落者腰 滴再之 趙。18 tex b 1 液 2 I 2 器 s I I 體動 管致 之-之性 ο 通線 15連定 園相固 晶36可 部便ο , 二 量 第入 與旋 至之 接44 I ί -係 置 位 始 起 的 由 係 號信 動 致 器 動 致 性 線 至 送 -0 來而 秀 4 下12 接器 接 連 由 經 器 制 控 之 示第 顯如 未且 上 ， H18 媒 示 所 麵 11 應 C 供 上體 置流 位縮 之壓 緣動 下啟 最可 其便 在 ， 定後 固之 係驟 6 , 2 步 1X 性 備 預 些 逭 11成 器完， 動在 6 致15 性 源 輸 動 驅 之 P 應 供0 流0 壓 至 體 流 縮 壓 出 送 輪 而 入 導 此 至 入 導 被 i > PpS 著 接 ) 壓 導 /|\ 體 滾0 壓0 之 6 6 ο 8 口 6 懕置 供裝 «制 流控 繽量 歷涑 示 顯 未 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I -裝 、\5 . 置 裝 制 器控 制量 控流 , 在 後 ο U 8流 然 6 ί 置 裝 而 0 抗 姐 霣 至 制、 控 C0 ft8 流極 至電 號由 信經 動係 啟流 一 電 送一 發， 便中 热 加 之 9 7 體 抗 阻 電 成 造 且 脹 膝 而 熱 受 i i gps 7 7 體 流 之 部 內 6 7 室 腔 至 填 充 賴 曲 撓 下 向 而 壓 擠 被便 8 7 0 薄 9 示 所 線 曲 * 之3 _ 因 2 第 如
iM 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 隔 -間ft 之流 定的 預體 1 流 在猫 定颳 固之 能75 便口 隔故 間排 的向 間涑 之73 74孔 嘴嘴 噴啧 與由 8 7 , 膜此 薄因 在。 此嫌 ο P 制放 控排 到之 受68 而置 制裝 限制 隔控 間量 的流 間由 之整 74調 嘴由 嗔賴 與， 8 · 7 示 腆表 薄即 在果 由結 藉此 可便 之 6 2 構 櫬 閥 制 控。 關值 開定 至預 應 一 供在 , 制 量控 流可 之 便 體壓 流導 縮的 壓48之室 放腔 排狀 所筒5 B 7 園 塞活將可係 應 導 /(V 體流縮 壓之84室腔狀茼圓 至入 導 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0X297公犮） 13 3 9575 A7 B7 五、發明説明（14 ) 沿著相反於彌簧構件54之彌力方向的筋頭Xt方向而移動。 因此，連接至活塞50之第一横隔臌56便可與座β 59分開· 且開闞控制閥機構26係位在一開啟之吠態。在此同時，由 覆蹵液體供應源148所供應之覆蓋液體係沿蕃流趙通道38 而涑動•且覆Μ液»係經由覆篕液Η滴瑢裝置154而滴落 在半導體晶圆150上。因此，具有所需膜厚之一曆覆董液 «(未顯示）便可形成在半専«晶園150上。 在一預定量之覆蓋液體已經由覆Μ液體滴落裝置154 而覆蹵在半導《晶圄150之後，壓嫌流體便停止供應至開 闞控制閥櫬構26。因此•活塞50係在彈簧構件54之彌性力 作用下而沿著筋頭Χ2之方向移動，賴此使第一横隔膜56可 以固著在座體59上，且開闞控制閥櫬構2 6便處在一闞閉之 狀戆。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 覆董液《至半辱體晶圓之供應中止•係藉由當開Μ控 制閥機構26處在一關閉狀態時·阻跚流艚通道38而達成· 且覆蹵液Η由覆躉液滴落裝置154之嘖明152而朗向半導 «晶圓150之液滴狀態亦因而中止。在此例中•由於先前 已滴落在半導體晶圓150上之覆Μ液體，係仍留在覆Μ液 «滴落裝置154之嗔嘴152内·因此恐怕畲有不當之液滴現 象產生。 在此観點上，一·上未顯示之控制器係娌由一連接器 124而發出一致動信虢至線性致動器118·而使線性致動器 118之》動轅126沿著筋頭Xi之方向而向上移動。因此，第 二横隔膜100及Μ桿96便♦在3»簧構件98之彌力作用下而 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 14 39 575
7 B 況 狀 之 示 所 圈 4 第 如 到 得 而 \—/ , 1 起 丨升 明地脱ϋ^ 0 、 整 五 動 移 位 之 6 2 1* 軸 動 驅 之 8 IX 1* 器 動 致 性 線 在 由 賴 之 言 換 使生 而產 作之 第 1C道 膜通 隔體 梢流 二 在 壓 負 於 由 0 壓 負1 生 遴 可 便 起 升 沿 係 體 液 Μ 覆 之 值 量 定 預1 之 中 突置 與 01裝 10落 膜滴 隔19 檐液 二 篕 第覆 在在 成留 形餘 入 ’ 流此 而因 向 。 方中 頭隙 箭間 之的 示間 所之 圖10 4« 1Χ 第 著 件 伸 液 當 不 之 圓 晶 體 , 専 體半 液於 Μ 對 覆相 的止 量防 定由 預賴 一 且 之 ， 中上 52向 丨方 邊 側 之 閥 吸 回 到 回 便 動 致 性 線 過 透 係 量 移 位 之 ο ο 11 隔 横 二 第 中 例 0 此 象在 現 滴 器號 碼信 譚測 由偵 而之 董來 動出 轉送 之傳 18所 1 ο 器12 测 偵 所 號 信 衡 脈 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- 器 動 致 性 〇 線上 制置 膜 隔 横二 第 使 而 器 碼 譯 由 據 — 在 控 根 止 該 且 ί 停 控 可 便 器 制 控 該 位 之 定 預 所 之 號器 2 rJ J 1 信動 器衝致 碼脈性 課的線 由前至 算之出 計間输 係時會 器在便 制定號 控設信 之當止 示且停 顯 ， 一 未號， 上信時 匾衝到 , 脈達 之之已 言 詳 送定 傅預
'IT 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 二 第 止 來噩 I 隔回開 轉 出數 横所當 此 因 ο 止 停 態 狀 動 驅 之 停 上 置 位 之 量 吸 回 體 液 蓋 覆 於 IX 1 應 器相 動在 致M 性可 線00 使ί 此 賴 於 由 膜 。 第 制且 控 ， Μ 時 加態 地狀 確故 精開 當在 相處 可地 便次 值再 量26 體構 液機 Μ 閥 覆制 之控 吸翮 ο 1 膜 隔 横 二 第 開 分 9 5 體 座 與 係 6 5 瞑 隔 横 上 件 伸 突 在 著 固 下 作 動 動 匾 之 器 動 致 性第 線如 在到 達 可 便 圖 1 示 所 上 ο 5 1Χ 圓 晶 體 導 半 在 落 滴 新 又 i V 0 體 液Μ 覆 且 態 狀 之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 15 39 575 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 B7 五、發明説明（16 ) 在本實施例中•由第二横隔膜100所回吸之覆蓋液體 的流量，依可透過線性致動器118而加Μ電性地控制。因 此，由第二横隔膜所回吸之覆蓋液體的流量，便可輕易且 相當精確地加Μ控制。 在此例中，由於線性致動器118係可Μ藉由充填在空 間114中之非作用性氣體而適當地得到冷卻•在流體通道 38中流動之流級（例如，覆蓋液體）特性，便不舍由於線性 致動器118所產生之熱量而惡化或改變，而使流體得以維 持一定之品質。 再者，相較於使用一櫬械式裝置以控制壓縮流體流最 之習知技術而言，在本實腌例中，賴由一電性控制之流量 控制裝置68·供應至開關控制閥櫬構26之導壓便可受到相 當精確的控制*且開關控制閥之反應靈敏度亦可更進一步 地獲得改良。 詳言之•藉由流量控制裝置68而控制供應至開關控制 閥機構26之導壓，此相較於習知技術而言，便可改進開闞 控制閥懺構之驅動速度，並且使其操作範園更加地擴大。 此外，賴由提升開關控制閥機構26在開啟與闞閉狀態之間 的變換速度，其便可更精確地設定滴落在半導體晶圓150 上之覆蓋液體的流量。再者，薄膜78係可承受頻繁的撓曲 操作，而使得落失狀況得Κ降低*而再製之動作得以增進 〇 此外，在本實施例中，藉由分別將结合件24、開闞控 制閥機構26、回吸閥機構28及驅動器30—體式地組裝在一 ' 、抑衣 ^ 訂- Μ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2ΙΟΧ 297公釐） 16 39 575 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 Λ7 B7五、發明説明（17) 起•如此便可不需要如同習知技術般，在回吸閥20與流量 控制閥櫬構之間，或者在回吸閥20與一分開之開闞控制闕 櫬構之間存在有管路連接之需要。由於不需要提供固定之 空間給流量控制閥或一開闞控制闕之分離式附件，因此便 可更有效地運用安裝空間。 除此之外*在本實施例中，由於開闞控制閥櫬構26、 驅動器30等等係與回吸閥櫬構28—體式地溝成，相較於回 吸元件係分開形成，然後再連接在一起之習知技術而言， 本裝置之整體结構係能以較小之尺寸來形成。 抑有進者*在本實施例中，由於在回吸閥20與流量控 制閥之間不需要有管路連接，如此可避免在流體通道中之 阻抗增加。 I ... I— I I n I I - *π「 .^1 -(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'乂 297公釐） 17 39 575