TW307827B - - Google Patents

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經濟部中央標準局—工消費合作社印製 3G7827 A 7 B7 五、發明説明（3 ) 發明的背最 1 .發明的領域 本發明為關於將液晶等顯示媒*組合鏞成的顧示裝置 之動態矩陣基板，或動態矩陣液曼捧之魅星羞1方龙，缺 陷檢出裝置及缺陷修補方法者。 2 .習知的技術 將畫素電極以矩陣狀態配置於絶緣基板上，而該畫素 霣極為由能動元件（切換元件Switching el eients)獨立驅 動的動態矩陣液晶板今己代替陰極射線管應用於液晶麗弧 、文書處理、電腦等的顯示元件。對上述述畫素鬣極做選 f*. 一---- 婦 萍驅動的轉換元件為眾所知有TFT (g^JL聶鼸），MIM (金 II ... ·— * 屬-絶綠膜-金羼），MOS電晶腰，二極臞及變阻鼸（ varistor)等。 圖1表示使用TFT做為切換元件之動態矩陣顧示裝 <置 的槪略電路園，圈2表示圈1之顯示裝置一部分的擴大國 。此顯示裝置具有液晶曆及夾蕃此液晶層而成對向配置的 動態矩陣基板及對向基板。在動ϋ矩陣基板配線有複數平 茗t ft—描1掮_能胤賜極匾流揉H ;與.簸JIL篮U排線 1 1¾的—配篇審黍I〜號籐養 2。如圖2所示，於兩匯流排線1, 2交叉的位置近傍配置 有TFT3。此TFT3連接至配設在兩匯流嫌總h 2所玉擱的领 ... .··....... ............- 丨..... ...... .域之畫素18(揮J。如圖1所示，做源極麗 > 流1麗2_的冗長 配 JLi!—I之 1 番I 氨丄il胤 Ji 箍―I流 m,M—2,........1.......Μ......Μ. 3 〇 此 預備i lL3Jt复憲農的i屈厲流嫌.播2 ,有將其複數分剌 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

T 裝· *va 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） 3 經濟部中央櫺準局員工消費合作社印策 Λ7 B7 五、發明説明（4 ) 為數個或數十個形成的情況。於以下所記載使用於本發明 之實施例的情況亦相同。 一方面在對向於此動態矩陣基板的對向基板為如麵2 所示，瓦液.晶J|倒1成ί對商|孤.5 ,而於金素戴i i與對 向墨_攞J5_ZM M .窳夏素m复(Q1C) .§. 〇 一 ft此畫盖JL1, (c l c) M^S(Cs>7 « 接於晝素電植JU IS —_嫩直-接i屋羞.座塞-IJLJLJ_而..近接 _. ________ -.....---. V· 妁s *-m暴-歡嚴名1。亦即上述的動態矩塍基—扳繅成所 ♦V， 、...， ------------. ______________________________— —…一- 謂'C s;、o t e 的構造 〇 於具有如此構成的Cs-〇n-Gate構造之基板的動態矩陣 液晶顯示裝置.為做辑i _ϋ里—L所f售J Α1施加於奇 秦號JLAJTJLJmMri，晒1览良电加1熳ill碼的 閑黾挫_1。又將_值i J施加於源極匯流排線2，倍號 C敝加於對向雷極.5。上述信號A1與A2為對TFT3的閘極做 順次掃描而將其做開♦闋（〇 N * 〇 F F )控制的倍號。信號B 為於TFT3將應於畫像的倍號電壓輸入於各畫素，其後至输 入次一耋面之前為不變的信號。信號C為可變壓（變化DC 位準）於施加在閘極匯流排線1的TFT3之開霜壓與關18壓 之間的信號。兩側的預備配線1 3 , 1 3則施加以倍號D。 圖4表示使用TFT為切換元件的》—構迪之勘觴矩陣 顯示裝置的概略電路亂、ι· 5表ϋ麗1之顯-瓦裝置一部分 的攞大删。此顯示装置具有液晶層及夾蕃此液晶層而成對 f—— ..... ............. - — —-—™—.— r~~^· 向配置的動態矩陣基板及對向基板。在動態矩陣基板配線 ., ....................... 有複數平行之做掃描線機能的閘極匯流排線1,與該閘極 本紙張尺度適用中國國家標舉（〔吣〉八4規格（210/297公釐） 4 1·! ml n -·Ι I ^^^1 ^^^1 —i— I-1-『 m 1----- --11 ί — II 1-i I 一ovI……-.—I — .....! JA.^. -t------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) SQ7827 經濟部中央橾準局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 匯流排線1直交的配線有複數平行之做佶號線機能的源料i 匯流排線2。如圖5所示，於_匯流排線1, 2交叉的位置 近傍配置有T FT 3。此TFT3連接至連接於兩匯流排線1, 2所 包圍之畫素霣棰4。如_4所示，做源極匯流排線2的冗 β配線機能之預備配線偽與源極匯流拂線2直交配線。又 懷氣翼I象縷以與閘極匯流排線1平行配線。 一方面在對向於此動態矩陣基板的對向基板之液晶層 側形成對向電極5,於嫌素«極4與對向電極5之間形成 畫素霄容（Clc)6。與此_素電容（Clc)6並列形成有補肋霄 容（Cs)7。檐，版農容（Cs)ll二1 —另一 端連接於補肋霆容用共通線W)。亦即如此的動態矩陣基 板構成所謂Cs - ο η - Co η ·Ρη柳造。 於具賓如此構成的Cs-on-Coiemon構迤之基板的動態矩 H液ϋ示裝置，崖AMJO UtAM施加 lAEjm1, l基又倍 乂一AJM』JftA具:AJL線 1》。 β 一 m C 加於對向電極5。上述惙鱗A 3為對T F Τ 3的閘極 做順一次„掃咬谷多開.關控制的信號。倍號B為於TFT3 於畫像的倍號電壓輸入於各晝素，其後至輸入次一畫 面之前為不變的信號。信號c為變K於施加在TFT3之開珩 壓與關霣壓之間的倍號。又信號G施加於預備配線1 3。 於上述之例所示的動態矩陣基板.一般IL育多數的进 …每;CXHa巧如在閘極匯流排線1與源極匯流排線 2之間，在頊傅K線1 3與源極匯流排線2之間，在補肋霣 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規袼（210X297公釐〉 f 4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •-'°

T 307S27 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、 發明説明（ 6 ) 1 1 容 用 共 通 配 線 10與 源 極 匯 流 排 線 2 之間 等匯流排線之 間 為 Ί 1 繂 立 ΛΜ 限 的 配 線 而 形 成 多 k 之麗流線的交叉奧農 垣一 陣 I m % 與„半遵艘元件Λ搛1宙圏像1板Uhoto 1 i th〇8r a p h ) 請 1 1 I I ·-» · '' m f JL撤細棋屬(P at t e r η )歷j,因此容晃發生£ (飛 先 閱 讀 背 之 1 1 I m隳-麗之棋_ 異 常 等 的 缺 陷 » 而於匯流排線的交 叉 部 1 1 由 針 孔 (pin h ο 1 e )等 産 生 洩 海 時 9 將成 為顯示不良。 由 於 注 意 事 1 1 在 顯 示 装 置 僅 為 小 小 缺 陷 亦 很 顳 眼 而成 為不良品，因 而 為 項 再 4 要 提 升 生 産 的 效 率 » 對 檢 JflL 有 無 缺 陷， 修補缺陷，排 除 不 本 頁 裝 I 良 品 便 成 很 為 里 要 0 而 為 亜 贺 修 補 缺 陷， 必霈鎖定缺陷 的 位 I I 置 9 以 施 行 應 於 發 生 缺 陷 部 位 的 修 補。 1 1 I 特 開 昭 63 -123093號公報掲示有由亮燈檢査的動態矩 1 | 陣液晶顯示板之TFT的關極- 汲極及源極-汲極之鬌極間的 訂 I < 短 路 之 點 缺 陷 的 檢 皇 直 法 0 於,農麗樣可能 檢 査 1 | 極 匯 流 排 線 與 畫 素 電 棰 > 及 源 極 匯流 排線與畫素電 極 直 1 接 短 路 狀 態 的 情 形 0 並 記 載 有 閘 極 電極 與猓極電播短 路 的 在 慵 形 t 其 連 接 於 包 括 短 路 部 分 的 閘 極匯 流排線輿源極匯 流 «1 1 排 線 的 全 部 奎 素 變 成 不 -jSs- 7b 燈 的 線 缺 陷。 1 1 1尾一_—遮m 名11短路等 原 因 1 1 發 生 屋一遍......疏 > 連 接 於 發 生 洩 避 赖 的 m 極匯 流排線1之排 於 1 1 列 的 畫 素 霄 極 與 連 坡 於 發 生 洩 獮 的源 極匯流排線2 之 排 1 1 於 縱 一 列 的 畫 素 η 極 發 生 顯 示 不 良 ，而麗示十宇狀的線 缺 1 I 陷 0 由 而 可 以 判 斷 連 坡 ΙΚ 於 十 字 中 心 的畫 素霄極之閘極 匯 流 1 I 排 線 1 與 源 極 匯 流 排 線 2 的 交 叉 部 發生 洩漏。 1 1 1 持 開 平 2 - 6 4 6 1 5號公報掲示有關於撒S型 1 1 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210 ¥ 297公遵） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（7 ) 容之補肋霉容用共通配線與源極匯流排線，或與蘭極観流 排&線亂之短路的動態矩陣液晶板之缺臟.旅補—5法。例如 裏崖」t況·若搀遞邊挺廉燈，則可辨認發生 短路_迫源極匯流排線與正常的源極匯流排線之間顯示狀谁 ♦.聲.·〆 ^'"^'^-rrrrrr-：.·- ' 的差異。於此若將發生短路的源極匯流排線接地則僅發斗: 辑I JL的共通配線使接地位準趨坻至反向闞值《壓以下， 因而由其共通配線構成的MOS電容較本來的電容為小。其 結果包括具有短路處的共通配線之横線顯示為負型（2枚 的偏光板成為平行狀態）的中間調顧示狀態而較其他的横 線略黑，而可判斷與縱線的交黏有短路處。-其缺里1.捕方 @為將源極匯流排線或補肋電容用共通m-短^.n崩 端^以雷射切斷，由切斷而浮接（floating)的&Jti則琛繞 ^.'.一 ，一.>-«» ^〜一.一一.一〜 ... 周邊連接_1_^_!1111_«^^ ----------... _ 然而預備配線13與源極匯流排線2之間的洩漏以習用 技術有在實裝驅動電路在基板之前無法確認的問題。以下 說明其理由。 當源極匯流排線2切斷時，由源極腫流排線2的躕線 成為浮接的部分成為線缺陷。預備配線13則於源極匯流排 線2切斷時，將該服_ n 獯2與預備& m捣交叉部 ,由兩側施加信_於該源棰羅酱普豢2—1 |j$修JMSUK；陷。為確認上述修補是否完成，施加相同於源 極匯流排線2的信號於預備配線13,以檢査是否與其他正 常的源極匯流排線同檝的亮燎。因此在使用預備配線13的 修補處以外，雖在預備配線1 3與源極匯流排線2iH m ^裝 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾窣（CNS ) A4规格（210:< 297公釐） 7 B7 B7

五、發明説明（8 ) ，亦對發生洩漏的源極匯流排線2之信號無變化， 由於此問題，預備配線U 3與源極臘廬擁身2之間的洩 嚴I陷息复裝、S敗1農1碁振之前無法確認，而满在，作 機組（W^dule)的實裝工程作檢出、篩1 實裝工程有效率低下的問題。 又另一問題為無法識別將來可能成為缺陷的部分。在 匯流排線的交叉部等施予絶縑的《極間的絶緣部如有針孔 或殘膜等絶縿性劣化之處時，於長時使用期間由於應力其 絶緣性便會劣化，有成為缺陷的可能。而習知之檢査其顯 示裝置通常使用的驅動電壓。姐„此_在檢孝睡里启經成為不 的缺陷雜可撞査,·^υΐ來纆iiS_M '，皂農矣務臺㈣着犛- 發明的槪要 本發明身省JtJUl習知技術的問題，以（1)為要檢 S至今無法寘」3之對一將來I能成為缺陷之或檢 査次一實裝工眉（機組狀態）所確認的缺陷楔式，準供對Cs -on-Gate構进，Cs-on~Coaaon構选.，.或、具傭冗長構造的動 S . . .............................................. 態矩陣基板，以及動態矩陣液晶板的缺陷檢出方法及缺陷 檢出装置.以及（2)^1 私風懷1良 、炙麗、II部可 以籍jim—.修一im-目的。 明见致隹換、奥—$」矣，―為—戴—払底:龜羞性—基„板—ι以矩 陣—嚴里之素.g j...再All邊蠢jl.l.雷展煎饥換元 ： ： ： ·'I 訂 ^.A' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央櫺隼局貝工消費合作杜印製 本紙張尺度遑用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） i ^7827 A7 B7 經濟部中央標率局角工消費合作社印製 五、 發明説明（ 9 ) 1 1 件 » 9 ... 線 1 | 與信 - '· ··.. -·..... 蹕基板 $ 及 JlJLJfeJt» 基二板 與,.』UIUEL益 1 • I ,Hl 1 麗二 極'―之 以 及 在 該 a· 1 1 動 態 矩 Μ 基… 板與 對 向 基 板 之 間 配 置 有 液 晶 靥 ΠΒ 的 動 態 矩 /Ί— 陣 液 先 閱 1 1 晶 板 之 中 Si 少 1 敷其 —·* 的 缺 陷 11法 » A 包. Λ 施 加 ___- 背 1 | % 期 m ,ζ. 較 通 常 使 用 於 顯 示 裝 翬 的 驅 動 爾 壓 為 大 之 爾. 壓 信 之 注 t 1 I ΒΟ» m 於 該 動 態 矩 陣 基 板 的 該 掃 描 線 與 該 信 號 線 之 間 的 缺 陷 檢 事 項 1 1 再 填 出 工 程 > 由 按- g 達一良上 述 的 0 寫 本 裝 ，本、發里的-腠陷檢掛裝f •w〆.一'、---------，-]-------- % 為對於在絶繳性 •M· t 以 矩 頁 1 1 置複數 之 畫 素 霜 極 t 用 以 豭 動 各 囂 素 霉 極 的 切 換 元 1 1 件 t 及 該 J0 換 元 件 各 個 予 以 連 接 9 而 相 互 交 叉 形 成 掃 描 線一 1 1 與 信 號 線 之 動 態 矩 陣 基 板 9 及 該 動 態 矩 陣 基 板 與 具 備 和 該 訂 | 動 態 矩 陣 基 板 對 向 配 設 的 uki 對 向 電 極 之 對 向 基 板 > 以 及 在 該 | 動 態 矩 陣 基 板 與 對 向 基 板 之 間 配 置 有 液 晶 層 的 動 態 矩 陣 液 1 1 I 晶 板 之 中 至 少 於 對 其 —* 方 的 缺 陷 檢 出 裝 置 t 為 包 含 各 用 以 1 連 接 該 掃 描 線 > 該 倍 號 線 以 及 該 對 向 m 極 的 連 接 端 子 > 用 '!·. 以 施 加 一 定 期 間 之 較 通 常 使 用 於 顯 示 装 置 的 驅 動 電 m 為 大 1 1 之 電 壓 信 號 於 該 掃 描 線 與 該 1g 號 線 之 間 的 檢 出 信 號 施 加 裝 1 | 置 1 以 及 經 由 該 連 接 端 子 檢 出 該 動 態 矩 陣 基 板 的 缺 陷 之 檢 1 I 出 装 置 I 由 此 以 連 成 上 述 0 的 0 1 1 I 本 發 明 的 缺 m 修 補 互 » 為 vat! 對 於 在 絶 m 性 基 板 上 以 矩 1 1 陳 狀 配 蕈 複 數 之 畫 素 霄 極 1 用 以 m ,ixtr-, 動 各 M. .¾ 1.摄 切 換 1 1 件 1 且 該 切 換 元 件 各 個 予 以 m 接 » 而 相 互 交 叉 形 成 掃 描 線 1 1 與 信 號 線 之 動 態 矩 陣 基 板 « 及 該 動 態 矩 陣 基 板 與 具 備 和 該 1 1 本紙悵尺度遑用中國國家標準（CNS ) A4規袼（210X 297公釐） 9 經濟部中央標隼局負工消費合作社印製 Λ 7 Β7 五、發明説明（10) 動態矩陣基板對向配設的對向霜極之對向基板，以及在該 動態矩陣基板與對向基板之間配置有液晶層的動態矩陣液 晶板之中至少於對其一方的缺陷修補方法，為包含施加一 定期間之較通常使用於顯示裝置的驅動《壓為大之電蹏倍 號於該動態矩陣基板的該掃描線與該信號線之間以檢出缺 陷的工程，以及應於楔式將該缺陷修補的工程，由it Ά Μ 成上述目的。 ________ 於前述缺陷檢修方法.缺陷檢修裝置，以及缺陷修補 方法，關連於前述晝素霣極形成的補助霜容，為連接於涛 近該畫素霄極所連接的掃描線而夾著該畫素電極的另一掃 描線之構成亦可。 又關連於前述畫素霄極形成的補肋霜容，為連接於共 通配線的構成亦可。 又於前述動態矩陣基板為具備與倍號線絶線交叉形成 預備配線時.使其由前述檢出倍號施加裝置對該預備配線 施加與前述對向霣極同樣的倍號，及與掃描線同搛的信號 之任一佶號的構成亦可。 圔而的簡垂説明 圖1表示Cs-on-Gate構道之動態矩陣基板的概略電路 圖。 圖2表示圈1之動態矩陣基板-部分的擴大圖。 圖3表更JL習知抜術對C s 1 n - G a t e構迪之動態矩陣战 板其缺陷.檢彥方法西用值.號波推〜黼。 圓4表示C S - ο η - C 〇 m δ» ο η構迪之動態矩陣基板的槪略® 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規袼（2!0,<297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •爹· *-° A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印策 五、發明説明（1 1) 1 I 路 团 画 〇 1 1 I QEQ 國 5 表示 圖4 之 動 態 矩 陣 基 板 部 分 的 擴 大 _ 0 1 raff 圖 6 以習 知技 術 對 Cs -〇 η - Co 田m on 構 迪 之 動 態 矩 陣 基 板 /•—V 1 1 請 1 I 其 缺 陷 檢 出方 法所 用 倍 號 波 形 ran 圖 0 先 閱 1 I 讀 1 1 圖 7 表示適用 本 發 明 實 施 例 1 的 動 態 矩 陣 .基 板 之 缺 陷 背 ιέ 1 1 之 1 檢 出 方 法 的動 1矩 雔 .基 板 全 體 的 槪 略 霜 路 麵 画 〇 注 意 1 举 1 IBV 圖 8 表示 本發 明 實 施 例 1 之 動 態 矩 陣 板 z_ 1, 檢 出 項 再 -------- ----------…' —— 4 * 0 本 裝 頁 1 k!ml 圈 9 A ,9B ,9C 表 示 使 用 於 本 發 明 實 施 例 1 之 動 態 矩 陣 1 基 板 的 缺 陷檢 出方 法 及 缺 **— 陷 檢 出 裝 置 之 倍 sy» 號 波 形 圖 0 1 1 面 1B 10A . 1 0B , 10C表示使用於本發明實施例1 之動__態 1 I 矩 屏 華板 "~’+-一·. ~........ .... .f:.二 的丨參敬策、㈣嚴 陷 檢 出 装 置 檢 出 倍 號 的 波 訂 1 形 麵 圈 0 1 I tSB m 11 A表示^依本發明實施例1 檢出由蘭棰匯流排線與 1 I 源 極 匯 流 排線 間的 洩 遐 «re 構 成 線 缺 陷 時 之 缺 陷 狀 .雇 的 楔 式 m -*%J| 〇 1 ΙαΙ 圖 1 1 B表示圖_ 1 1 A所 示 .線缺陷 經 修 補之 狀 態 的 樣 式 圓 1 1 ngr fBa| 1 2 A , 2B , 1 2 C表示檢 ϋ閛極匯流排線與源極匯流 1 1 排 線 間 的 洩漏 構成 之 線 缺 陷 的 霄 Μ • 並 以 表 示 依 各 個 檢 査 1 1 信 號 B 1 * B2 , B3時 閘 極 匯 流 排 線 與 源 極 匯 流 排 線 間 有 洩 u , 1 I 情 形 的 閘 極倍 號波 形 E 之 圖 0 1 1 I t£x] 圈 13A表 节依 卷發明實施彳 η 1 險 ϋ 甶 围 爾 绿與源極 <k 1 1 I 匯 流 排 線 間的 洩漏 構 成 線 缺 陷 時 之 缺 陷 狀 醱 的 棋 式 晒 0 1 1 团 圖 1 3B表 示圖 13A所 示 線 缺 陷 經 修 補 之 狀 態 的 棋 式 圈 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐ϊ j χ 307827 a7 B7 經濟部中央標準局員工消资合作社印製 五、發明説明（12) 圖14A, 14B, 14C表示檢出預備配線與源極匯流排線 間的洩漏構成之線缺陷時的霣壓，並為表示依各個檢査信 號Bl, B2, B3時預備配線與源極匯流排線間有洩漏的情形 對預備配線施加對向《極用佶號C1時之源極倍號波形F之 圖。 國15表示適用本發明實施例2之動態矩陣基板的缺陷 檢出方法之動態矩陣基板金醱的概略電路圃。 圖16表示本發明實施例2之動態矩陣基板的缺陷檢出 装置之方塊圖。 圖17A, 17B, 17C表示使用於本發明實施例2之動態 矩陣基板的缺陷檢出方法及缺陷檢出裝置之信號波形團。 圖18A, 18B, 18C表示使用於本發明實施例2之動態 矩陣基板的缺陷檢出方法及缺陷檢出装置之檢出信號的波 形圖。 圖19A表示依本發明實施例2檢出由閘極匯流排線與 源極匯流排線間的洩漏構成線缺陷時之缺陷狀態的模式園 0 _19B表示圖19A所示線缺陷經修補之狀態的棋式圈。 圖20A, 20B, 20C表示檢出[«極匯流排線與源極匯流 排線間的洩漏構成之線缺陷的電壓，並為表示依各個檢査 信號B 1 , B 2 , B 3時閛極匯流排線與源極匯流排線間有洩漏 惝形的閘極倍號波形E之圖。 圖21A表示依本發明實施例2檢出由預備配線與源極 匯流排線間的洩漏構成線缺陷時之缺陷狀態的棋式醒。 (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) .裝-- 訂—

T 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X 297.公釐） 1 2 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 五、 發明説明 1 3) 1 I 圖 2 1 B表示圖2 1 A所 示 線 缺 陷 經 修 補 之 狀 態 的 模 式 GS1 顯 0 1 I 圖 22 A , 22B 9 22C表示檢出預備配線與源極匯流排線 1 間 的 洩 漏 構 成 之 線 缺 陷 時 的 電 壓 • 並 為 表 示 依 各 個 檢 査 "S· 請 1 1 1 P上 m B 1 » B2 > B3時 預 備 配 線 與 源 極 匯 流 排 線 間 有 洩 ijsa. 漏 的 情 形 閱 讀 I 1 對 預 備 配 線 施 加 對 向 電 極 用 信 gja m C 1 時 之 源 極 信 m 波 形 F 之 背 之 1 1 圖 0 注 意 1 I 事 1 1 IBD 圖 23A表示依本發明實施例2 檢出由補肋電容用共通 再 一>、1 ▲ 1 裝 I 配 線 與 源 極 匯 流 排 線 間 的 洩 漏 構 成 線 缺 陷 時 之 缺 陷 狀 m <0*» 的 寫 本 頁 棋 式 圖 0 I | 圖 23B表示圖23A所 示 線 缺 陷 經 修 價 之 狀 態 的 楔 式 ΠΗ〇| _ 0 1 1 I 面 圖 24A , 24B 1 24C表示檢出由補助電容用共通配線與 1 1 訂 源 極 匯 流 排 線 間 的 m 漏 構 成 之 線 缺 陷 時 的 電 壓 1 並 為 表 示 1 依 各 個 檢 査 信 號 B 1 * B2 » Β3時 於 補 助 S 容 用 共 通 配 線 與 源 1 1 極 匯 流 排 線 間 有 洩 漏 情 形 對 補 肋 霄 容 用 共 通 配 線 施 加 對 向 1 電 極 用 信 號 C 1 時 之 源 極 倍 號 波 形 G 之 圈 0 齡,ν | 線 較 伴 JL m 例 的 1 明 1 I 本 發 明 為 對 於 例 如 種 動 態 絶 縐 基 板 t 其 在 絶 緣 基 1 1 板 上 以 矩 陣 狀 配 置 複 數 的 畫 素 m 與 m 動 各 塞…素篇· 極- 的 1 1 TFT , 在將該1£1 各 傾屬接 > 而 相 互 交 叉 形 成 掃 描 線 及 倍 號 1 1 線 經 由 該 TFT連接各畫素電極， 將與該畫素電極鼷連形成 --•''I·.., ..... 1 1 的補 ''--. 肋霖容 連 隹一於 JL近 該―竃......素 鬣 極. 連 總 的 if 描 而 m 1 I 素 霣 極 的 % —> 掃 描 線 * 亦 朋 對 於 Cs ~ C η - G a te 嫌 造 - 碁舉 施 1 I 行 如 下 所 述 的. 缺 陷 檢 Μ 0 又 Μ…本.1爲·。服屬:,身.，為指遍 認 缺 陷 1 1 1 之 有 無 » 而 所 謂 檢 出 則 指 在 通 常 檢 査 (習知t 支術之檢査） 未 1 1 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Α·4规格（210X 297公嫠_) 13 A 7 B7 五、發明説明（14) 能確認的缺陷予以顯出。 首先將缺陷檢出裝置與動態矩陣基板對向配設，並在 缺陷檢出裝置的連接端子各連接以擾ϋ及信號的狀態， 在H藤而於該動態矩陣基板的掃描線與信號線間，例如 將去J包„达考一盡面期間的開Un)倍號與後缠該開倍|的關 (off)信號交互施加之通常使用的驅動電壓的倍號，變換 為例如數倍的信號，面通露搜甩名砸為大的霉擓-以 一定JI „間遠動或手動的施加於掃描,線與信號線之間。由此 在興Jtm_交叉部之絶緣性劣北迫窳進劣北而 漏，因而對將來因應力可能發生洩漏不良的處可以預先當 做缺陷檢出。於此用於檢出而施加的電壓以通常使用的驅 動m壓之1.5倍〜3倍程度為適當，施加時間則約為1秒程 度。一 _服與JOl時間為設定於正常的TFT不發 mmiSL值_及時間。 一方面可推廣欲檢出之缺陷楔式的對象。將上述Cs-on-Gate構造的動態矩陣基板對向於對向基板，而對於其 間充填液晶的動態矩陣液晶板如下述施行缺陷的檢出。 經濟部中央標準局負工消費合作杜印製 (請先閱讀背面之注意事項再填荈本頁) 莨考砰缺挎檢出裝S的與接_字:為各連接於掃描線， 偉铖線，p幾J災線IS對向I氤 該 秦澧矩邊龙1像1據奥雇撤線間，β—g _最属沅、裝JL®以 JS間的厢信號與後鑛該開倍號的爾倍號交互施 加之該信號的霣壓變換為數倍大的倍號，而將此比使用於 装―置—睦之通常使用憊—n為大的® _以一定期間自動_或 施加於掃描線與信號線之間，並對預備配線施加與該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公《 ) 1 4 A 7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、 發明説明（ 1 5) 1 I 掃 描 線 同 樣 的 該 掃 描 信 號 « 然 後 對 預 備 配 線 施 加 對 向 霄 m Ί 信 m 〇 由 此 可 以 預 先 撿 出 δ —* 寅裝工 S Μ.....要.1 發圭 的 m 備 1 配 線 之 缺 陷 堪一 式 0 ^—S 1 1 又 於 上 述 動 態 矩 陣 基 板 及 動 態 矩 陣 液 晶 板 的 任 ：~- 狀 況 in 先 閱 1 1 由 對 於 檢 出 的 邂敝隳 當 的 邂 葷 可以 施. 行 缺 陷 修 補 0 背 Λ 1 I 羞農1爱 1 液 晶 板 的 任 狀 況 之 注 意 1 I » 由 對 於 檢 出 的 缺 陷 處 做 W 當 的 處 置 可 以 t _ 1SC m 行 缺 陷 修 補 〇 爭 項 填 ( 本 發 明 為 對 於 種 動 態 矩 陣 基 板 9 其.在 絶 緣 性 基 板 上 寫 本 裝 I 敬 矩 麗 狀 ja 置 複 數 的 塞 9M.. Μ 電 極 與 騮 動 各 素 霉. 極 的 TFT , 頁 1 1 將' 該 TFT各個連接， 而相互交叉形成的掃描線及倍號線經 1 1 該 TFT連農各畫素®極， 将與該盡素爾極鬭連形成的補 «».ν. ..... ...........' ' , 1 1 教1容蓝 於共 通 配 線 9 亦 即 為 對 於 Cs ~ 〇 η - Co m m on 構 造 的 訂 | 基 板 y 或 對 具 備 與 該 信 號 線 絶 緣 交 叉 形 成 的 預 備 配 線 之 動 I 態 矩 陣 基 板 為 如 下 jL· Μ 行 缺 陷 的 檢 出 〇 1 1 I V 首 先 將 晓1後 出 —---- 裝 ~~-—, 置 β i Μ i 嗶 碁. Μ 對 向 配. 設 » 並 在 1 陷 檢 出 裝 置 昀 連 接 1 Mil 子 各 * m 以播 描 線 » 信 號 線 及 共 通 .本 1 戴 極 的 狀 態 0 在 該 狀 態 於 該 動 態 矩 陣 基 板 的 掃 描 線 於 一 定 1 1 的 期 間 白 動 或 手 動 的 施 加 比 決 定 —* 畫 面 期 間 的 開 倍 號 與 後 1 1 i缅 該 開 Μ Μ 的 翮 fe 號 父 '-互. 施 加· 於 顯 示. 装 置 作 為 通 常 使 用 的 1 I -驅 動 « 壓 為 大 的 ..HK. 壓 t m |0、 3 數 太 的 ，値· 號 0 由it 匯 ..二二* ,流 1 I mg— Ά 部 之絶 级 性 劣 化 〜的 處 進 行 劣 Λ 而 發 生 洩 漏 WJ 1 因 1 1 I 1輯 將 來因應、 力 可 舱 發 生 洩 漏 不 良 的 ftb m 所 可 以 預 先 當 做 缺 1 1 陷 檢 出 0 Μ 此 \--一·' 用 II 桂 串 而 Μ 獻的 —覆 麗 Μ 通 fjGt- 使 —困 題 示 1 1 之 罨 壓 的 1 . 51 1 - ' 3倍 程 度一為' 適當 t 雄 趣 時 1 31 A 1.一 Μ 程 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX 297公釐） 15 307827 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（ 1 6) 1 | 度 0 施 加 電 壓 與 fete lf& 加 時 間 為 設 定 於 正 常 的 TFT不發生恃性 1 1 不 良 的 m m 值 及 時 間 〇 1 -上A 3推 慶... 欲 楡 出 缺鼯縝 式1. 的 對 象 〇 將 上 述 Cs - 1 I 請 1 I on -C _〇 m 10 Λ機造的動態矩陣基板對向於對向基板， 而對方 先 閱 I I 讀 1 I η 間 充 m 液 晶 的 動 態 矩 陣 液 晶 板 可 如 下 述 施 行 缺 陷 的 檢 出 背 τδ 之 1 1 I ο 注 意 事 1 1 首.先 將 缺 陷 檢 出 * 的 數 m 端 子 备 寒 接 於 掃 m 線 I 項 再 填 1 信 號 線 y 預 備 配 線 及 該 對 向 電 極 的 狀 態 0 在 該 狀 態 將 液 晶 禽 本 裝 | 顯 示 裝 置 之 決 定 一 畫 面 期 間 的 開 倍 號 與 後 趣 該 閬 倍 gja 號 的 關 頁 1 1 信 號 為 父 互 施 加 之 該 信 號 變 換 為 數 倍 大 的 倍 號 y 而 將 此 信 1 1 號 以 —* 定 期 間 自 動 或 手 動 的 施 加 於 該 動 態 矩 陣 液 晶 板 的 掃 1 1 描 線 與 信 號 線 之 間 t 並 對 預 備 配 線 施 加 與 J II 該 掃 描 線 同 樣 的 訂 | 該 掃 描 信 號 〇 又其 次 在 該 m 態 矩 陣 液 晶 板 的 播 描 線 與 倍 gja 航 1 I 線 之 間 施 加 決 定 —_- 畫 面 期 間 的 開 信 號 與 後 鑛 該 開 信 號 之 關 1 1 1 信 gja. m 為 交 互 施 加 的 該 信 號 之 電 壓 並 對 預 備 配 線 施 加 對 向 I 一 崎 電 極 信 號 〇 預先〜檢―出.在…迭二 f 廣:工.程 所 翼 發 生 的 1 預 備 、— 配 線 之 缺 陷 楔 式 0 又 對 具 有 預 備 配 線 的 C s ~ 0 η - G a t e 構 1 1 造 之 基 板 » 亦 可 施 行 同 樣 的 缺 陷 檢 出 〇 1 1 又 將 決 定 一 畫 面 期 間 的 開 信 號 與 後 鑛 該 開 信 號 之 關 信 1 I 號 為 交 互 施 加 的 該 信 號 之 電 壓 變 換 為 數 倍 大 的 佶 號 1 將 此 1 I 信 號 以 * 定 期 間 自 動 或 手 動 的 施 加 於 該 動 態 矩 陣 液 晶 板 的 1 1 掃 描 線 與 信 號 線 之 間 1 並 施 加 與 該 掃 Η» m 線 同 樣 的 該 掃 描 1 1 號 於 共 通 配 線 0 由 此 可 以 對 將 來 可 能 因 應 力 發 生 洩 漏 不 良 1 1 之 處 預 先 當 做 缺 陷 予 以 檢 出 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX 297公釐1 '-MMWe0sMttlMiaUteakail>seB0lrVitB^SPue'' 經濟部中央橾率局員工消费合作杜印製 A 7 B7 五、發明説明（i 7) 又於上述動態矩陣基板及動態矩陣液晶板之任一的情 況，由對於檢出的缺陷處所做適當的處置可以施行缺陷修 補。 以下參照匯面就本發明更具龌的實施例做說明。 奮旃例1 本發明之實施例1為以圃1及_ 2所示C S - 0 n_- y t e構 迪的動態矩陣基板，或具備此種動態矩陣基板的液晶板為 檢査對象之本發明的缺陷檢出方法及缺陷檢出裝置。動態 矩陣基板的構造為如上述本發明的背景所做之說明而於此 省略其詳細的說明。 圖7表示予以檢査的動態矩陣基板之全臞構成及本實 施例的缺陷檢出裝置的一部分。本發弭的缺陷檢出裝置具 f 備柔順（Flexible)配線基板，或為 TAB(Tape Automated Bonding,以下稱為 TAB。）8, 9a, 9b。如圖 7 所示，TAB8 為將閘極匯流排線1之奇數號碼者連接於端子A1,而將偶 數號碼者連接於端子A2。TAB 9a經由共通配線將源極匯流 排線2連接於端子B,同時將一方之預備配線13連接於端 子D。TAB 9b為將另一方之預備配線13連接於端子D。又端 子C連接於對向電極5。 圖8為缺陷檢出装置的一部分，並為表示各供給於上 述端子Al, A2, B, C, 1)以檢査用信號之佶號供給部的電 路圖。此信號供給部包含基維信號發生霭路14,將此基準 信號發生II路14之输出倍號分頻的分頻爾路15，將輸出佶 號输人此分頻霉路15的9値倍號發生霉路16〜24, 5個開 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-* B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（is) 關2 5〜2 9 ,以及5個檢査用端子3 0〜3 4。 B1信號發生電路16産生如圈9A所示信號Bl. B2倍號發 生霣路17産生如圖9B所示倍號B2, B3信號發生電路18産生 如圖9C所示信號B3。上述佶號B1為輸入於TFT3之各晝素後 在输入次一盡面之前為一定位準的不變信號。信號B 2為施 加輸入信號於各畫素之後.在施加次一畫面的輪入信號之 間，將信號的電1變化為與輸入時之信號電壓為不同之電 壓的信號。信號B3為施加輸入倍號於各畫素之後，在施加 次一畫面的輸入信號之間，將信號的®饜變化為輿输入時 之信號電壓為不同之電®的信號。此倍號Bl, B2, B3經ri丨 具備3端子25a, 25b, 25c的開關25之切換蓊擇並經由檢 査用端子30供給於源極匯流排線2。又經由開關26的選擇， 上述信號B1〜B3經由檢査用端子31供給於預備配線13。又 於本發明，由使用信號Bl, B2, B3之任一種類的信號便為 可能做缺陷檢出。 奇數閘極線信號發生霣路20産生如_9A,鼸9B,圖9C 所示用於源極匯流排線之開•翻控制用倍號/U,並經由檢 査用端子32供給於奇數號碼的閛極匯流排線1。偶數閛極 線信號發生電路21産生如圖9A,画9B, _9C所示用於閘極 匯流排線的開•關控制用倍號A2,並經由檢査用端子33供 給於偶數號碼的閘極匯流排線1。奇數檢出信號發生電路 11)産生如圖10A,圖10B,圖10C所示用於閛極匯流排線的 開·關控制用倍號A 1 ’，並且經由檢査用端子3 2供給於奇 數號碼的閜極匯流排線1。偶數檢出信號發生電路22産生 (請先閲請背面之注意事項再填舄本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公f ) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（i 9) 如圖10A,圖10B,圖10C所示用於閘極匯流排線的開•醑 控制用倍號A2’，並且經由檢资用绱子33供給於偶數號碼 的閘極匯流排線1。由開關26之選擇上述倍號A1’經由檢査 用端子31供給於預備配線13。又供給於上述奇數號碼的閘 極匯流排線1之開·關控制用倍號A1與A1,以及供給於 偶數號碼的閘極匯流排線1之開♦關控制用倍號A2與A2’， 其波形雖為相同，但其時序為稍有差異以供給於該閛極匯 流排線1。此與後述的圔10,圖12及圈14之實施例亦為相 同。 以上説明的電路，信號等為使用於檢査動態矩陣基板 的情況。 於檢査動態矩陣液晶板時，對向霉極用倍號發生電路 23如圖9A,圖9B,圖9C所示産生無閃爍（flicker)之固定 於最適於對向電壓值的倍號C1,經開關29的切換選擇，並 經由檢査用端子34供給於對向霄極5。對向電極用佶號發 生電路24産生在使TFT開的«腯與關的電壓之間變化（使DC 位準為可變）的信號（與圖6中佶號C同樣的信號，以下將 此信號當做C2),並經開關29的切換趣擇經由檢査端子34 供給於對向電極5。 上述B1倍號發生霄路16的佶號Bl, B2倍號發生《路17 的信號B2,以及B3信號發生電路18的佶號B3各輸出至開醑 25的3個端子25a, 25b, 25c。開關25自3個端子25a, 25b,及25c選擇1輪出供給於檢査用端子30。檢査用绱广· 30經由TAB 9a連接於源極匯流排線2。 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210 乂 297公釐） n^i mfl n^ii i in— ali— Am ann ™ —^ϋ tm m i 1( i .H'-':, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) B7 B7 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） 五、發明説明（20) 奇數閘極線信號發生電路2 0的開*鬭控制用信號A 1或 奇數檢出信號發生電路19的開·關控制用倍號A〗’輸出至 開關27的3端子27a, 27b及27 c中之2端子27a及27b,其 餘1端子27c輸入有來自對向霜極用倍號發生電路24的信 號C2。開關27自端子27a, 27b, 27c中選擇1輸出供給於 檢査用端子32。此檢査用端子32經由TAB8連接於奇數號碼 的閘極匯流排線1。 偶數閘極線倍號發生電路21的開·醑控制用倍號A2或 偶數檢出信號發生爾路22的開♦關控制用信號A2'輸出至 開關28的3端子28a, 28b, 28c中之2端子28a及28c.其 餘1端子23b輸入有來自對向電極用信號發生電路24的信 號C2。開關28自3個端子28a, 28b, 28c之中選擇其1以 供給於檢査用端子33。此檢査用端子33經由TAB8連接於W 數號碼的閘極匯流排線1。 對向電極用信號發生《路23的倍號C1及對向電極用信 號發生電路24的信號C2输出至開鬭29的2個端子293及29b ，開關29選擇2値端子29a及29b之1供給於檢査用端子34 。此檢査用端子34經由TAB 9 a, 9b連接於對向爾極5的端 子C 0 開關26的輸出佶號B1〜B3,奇數閘極線信號發生電路 20的閘·關控制用倍號A1,或來自奇數檢出倍號發生電路 1 9的開·關控制用倍號U '各輸出至開關2 6的3绱子2 6 a , 2 6 b , 2 6 c的2端子2 6 a及2 6 b ,其餘1绱子2 6 c輸人以開關 29的輸出信號C1或C2。開颺26自3端子26a, 26b, 26c邇 2 0 ^‘裝------訂-----"14 (請先閱讀背面之注意事項再填筠本頁) 3078 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A 7 B7

五、發明説明（2D 擇其1供給於檢査用端子31。此檢査用端子31經由TAB 9 a及9 b連接於兩側的預備配線1 3。又開關2 5〜2 9為由未面 示的控制電路控制，其中開關27與28為連動動作。 其次說明依上述缺陷檢出裝置對前述動態矩陣基板， 或對動態矩陣液晶板的缺陷檢出方法。 首先為做缺陷的檢出，將作為檢査對象的動態矩陣基 板，或動態矩陣液晶板正確的載置於缺陷檢出裝置的檢査 位置，同時對着動態矩陣基板，或動態矩陣液晶板的端子 位置將TAB8, 9a, 9b配置於基板或液晶板的外周.使動態 矩陣基板，或動態矩陣液晶板的端子與TAB8, 9a, 9b的端 子之位置面對接觸。為保持接觸狀態的安定，由彈簧或夾 子等加壓力亦可。上述檢査TAB8連接於闞極匯流排線1， 檢査TAB9連接於源極匯流排線2,預備配線13及於檢査液 晶板時為各連接於對向電極的端子（未圈示）。 其次開關26選擇端子26b,將奇數檢出倍號發生電路 19之信號A1'供給於預備配線13,開關27邇揮端子2 7a將奇 數檢出信號發生電路1. 9之信號A1·供給於奇數閘極匯流排 線1,開關28選擇端子28a將偶數檢出信號發生電路22之信 號A2’供給於偶數閜極匯流排線1。開關25與開關29連接於 任一端子均可。以此狀態以某一定時間施加各個的信號。 檢出佶號則於此實施例為動態矩陣液晶顯示裝置通常使川 之驅動電壓的1.5〜3倍，施加時間為1秒。此施加霣鼷與 時間以設定於良品的TFT不發生特性不良，不良品的TFT成 為缺陷的值即可。由此在匯流排線的交叉部其絶縐性劣化 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規袼（2丨0:<29?公釐）

In ml in ml —^1· -= UHB i^i nn mu mu 一， I mu —HI— HI m· iw .i ^ ; (請先閱讀背面之注意事項再填ttT本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（2 2) 之處由於劣化的進行發生洩因而可實施對動態矩陣基 板，或對動態矩陳液晶板的閘極匯流排線1與源極匯流排 線2的交叉部的絶綠性的檢出，並可實施對源極匯流排線 2與預備配線13之交叉部的絶絲性之檢出。 其次為做缺陷檢査，開關26選擇端子2 6c將對向電極 用信號發生電路23或24之信號C1或C2供給於預備配線13, 開關27選擇端子27a將奇數閘極線信號發生電路20的信號 Λ1供給於奇數閘極匯流排線1,開嬲28選擇端子28a將偶數 閘極線倍號發生電路21的倍號A2供給於偶數閘極匯流排線 1。開關25與開醑29連接至任一端子均可。以此狀態檢査 源極匯流排線2與預備配線13之交叉部的絶緒不良部位。 其後開關26選擇端子26a將B1〜B3倍號發生電路16〜18的 信號B1〜B3供給於預備配線13,將開關27〜29與開關25切 換以做閘極匯流排線與源極匯流排線之間的洩漏檢査，以 及做對其他各個黏缺陷及線缺陷的檢査。 以上的檢査終了後，停止供給於各部的信號，解除 TAB8, 9a, 9b的連接，將動態矩陣基板，或動態矩陣液晶 板自缺陷檢出装置取出。動態矩陣基板或動態矩陣液晶板 依其有無缺陷作筛選，將不能修補的予以排除，可能修補 者予以修補。 以下依缺陷發生處所說明檢出及檢査的順序。 (1)因閘極匯流排線與源極匯流排線間的洩漏發生的 線缺陷之檢出，檢査以如T順序實施。 如圖11A所示，由於施加信號A1'或A2’於閘極匯流排 本紙張尺度適用中國國家標窣（CNS ) A4规格（210X 297公釐} „ „ 訂 旅 i . f ; (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) B7 經濟部中央標隼局属工消費合作社印製 五、· 资明説明（ 2 3) 1 I 線 1 , 將使閘極匯流排線1 與源極匯流排線2 之間的絶緣 Ί I 性 劣 化 部 分 發 生 洩 漏 0 其 結 果 於 連 接 發 生 洩 漏 之 蘭 極 匯 流 1 m 1 I 排 線 1 的 排 成 横 __- 列 之 畫 素 電 極 » 與 Li*» a 接 發 生 洩 漏 的 源 極 請 1 1 匯 流 排 線 2 的 排 成 m 列 之 畫 素 電 極 發 生 顯 示 不 良 0 亦 B1I 先 閱 1 I 讀 1 I 此 缺 陷 顯 示 為 + 字 狀 的 線 缺 陷 〇 Η 面 之 1 1 在 發 生 上 述 缺 陷 時 * 由 於 受 到 源 極 匯 流 排 線 2 的 影 m 注 意 事 1 1 以 致 從 使 TFT3 關 的 閘 極 壓 至 使 其 開 的 m 極 霣 壓 之 振 幅 變 項 再 1 ltnmiQH'| ( 裝 I 小 * 而 無 法 充 分 維 持 T F T 3 的 開 電 阻 及 鬮 阻 0 因 此 連 接 於 源 極 匯 流 排 線 2 與 發 生 洩 漏 的 閘 極 匾 流 排 線 1 的 TFT3 在 外 1 1 I 觀 上 與 關 恃 性 不 良 的 TFT3 作 同 樣 的 表 示 0 由 而 此 缺 陷 的 檢 1 1 | 査 為 以 施 加 圖 12B , fan 1 國i 2C所 示 信 號 A 1 或 A2 » 及 Β 1 » B2 * B3 1 1 訂 1 施 行 0 此 時 以 rai _ 12C之狀況較I 1 1 2B 時 其 表 示 線 缺 陷 的 橫 方 向 之 線 更 能 明 瞭 的 以 巨 視 觀 察 〇 又 此 時 依 迪 接 於 源 極 匯 流 1 排 線 2 的 盡 素 電 極 之 縱 方 向 的 線 亦 可 以 明 瞭 觀 察 0 並 由 此 1 I t 依 明 白 顯 現 的 十 字 狀 的 父 叉 部 分 可 以 判 別 缺 陷 處 〇 Μ 修 補 為 如 圖 1 1 51[, i發生1靈—m 1 I 的 源 極 匯 流 排 線 2 以 EB 射 等 予 以 .. 切 斷 » J1H1 Ji 匯 流 排 1 1 線 2 與 預 備 配 線 1 3的 交 叉 部 以 雷 .身1 等 油 Μ 十 —雾極 1 1 匯 流 排 線 2 由 兩 側 施 加 倍 0 又 閘 極 匯 流 徙 Τ7Γ 線 1 與 源 極 匯 1 1 流 排 線 2 之 間 發 生 洩 漏 時 的 閛 m 倍t 镭 位 為 如 圆 1 I 1 2 A , 圖1 2E i及 fan 圖 12C所示為不同 由將 S位J 从電氣的測 1 1 定 可 以 代 替 百 Μ 旅」5 〇 1 1 I (2) 線間1 Λ 親發生！ 约線 映 1 1 I 陷 之 檢 出 檢 査 以 如 下 順 序 實 施 0 1 1 2 3 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4C格（210X 297公t ) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A 7 B7五、發明说明（24) 如圖13A所示，由施加信號A1’或A21於預備配線13, 將使預備配線13與源極匯流排線2之間的絶緣性劣化的部 分發生洩漏。當發生此缺陷時，施加信號B1〜B3於預備配 線13並不能檢査該缺陷，而於施加信號C1於預備配線13時 ,於連接發生洩漏之源極匯流排線2的排成縱一列之晝素 電極發生顯示不良。在發生上述缺陷時，如對預備配線13 施加對向電極信號C1,則受其影響源極電®的振幅較正常 時變小，因而施加於畫素電極4的電壓變小。由於此連接 於該缺陷部排成縱一列的畫素電極成為未能施加電壓的狀 態而成為輝線（經常為白色模式 >。亦即此缺陷的檢査為由 施加圖14A,圖14B,圖14C之信號A1或A2,以及C1施行。 於此之修補為如圖13B所示，將預備配線13之發生洩 漏處兩侧以雷射等予以切斷。又由施加信號C 1於預備配線 13,預備配線13與源播匯流排線2間之洩猶時的源極信號 波形P之電位將如圃14A,圖14B.圈14C所示為不同，因 此將其電位ϋ由電氣的测定，可以代替目視施行檢査。 又對於Cs-on-Gate構迪的動態矩陣基板或為對於類似 動態矩陣基板的狀況，其並聯連接於盡素的補肋霄容由於 連接至與驅動該畫素的掃描線相鄰之掃描線，於輸入倍號 時有必要使與驅動之播描線相鄰的播描線為OFF狀態。因 而有必要將信號A 1與信號A 2在時序上予以镧差施加。其他 信號在圖上雖以偏差表示，但實際上為將時序一致以驅動 〇v m m 2 (請先閱讀背而之注意事項再填舄本頁) ...... ......... - m —^1 士 —i HI _ I . 訂 '0m —^n an·— n^i · 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS M4規格（2丨0X 297公釐） 2 4 A7 307827 B7 五、發明説明（2 δ) 本發明之實施例2為以圖4及圖5所示Cs-〇n -Common 構造的動態矩陣基板，或具備此種動態矩陣基板的液晶板 為檢査對象之本發明的缺陷檢出方法及缺陷檢出裝置。動 態矩陣基板的構造為如上述本發明的背景所做之說明而於 此省略其詳細的說明。 圖15表示予以檢査的動態矩陣基板之全體構成及本實 施例的缺陷檢出裝置的一部分。本發明的缺陷檢出裝置具 備TAB 11, 12a, 12b。TAB 11為如圖15所示，將上述閘極 匯流排線1之一端經由共通配線連接於端子A3,同時將補 肋電容用共通電線10連接於斓子E。TAB 12a將源極匯流排 線2之一端經由共通配線連接於端子B,同時將預備配線 13之一端連接於端子F。TAB 12b將預備配線13的另一端連 接於端子G。又端子C連接於對向電極5。 圖16為缺陷檢出裝置的一部分，並表示各供給於上述 端子A3, B, C, E, F, G以檢査用信號之倍號供給部的電 路圖。如圖16所示，此信號供給部包含基準信號發生電路 35, 將此基準倍號發生電路35之輸出倍號分頻的分頻電路 36, 輸入此分頻電路36之輸出信號的8個倍號發生電路 37〜44. 5個開關45〜49,以及5個檢査用端子50〜54。 上述B1信號發生電路37産生如0I17A的信號Bl. B2信 號發生電路38産生如_17B所示信號B2, B3信號發生電路 3 9産生如圖1 7 C所示信號B 3。倍號B 1為_入於T F T 3之各畫 素後在輸入次一盡面之前為一定位准的不變佶號。信號 B2為施加輸入信號於各畫素之後，在施加次一畫面的輸入 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公绩) 〇 5 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝 訂 經濟部中央橾準局員工消費合作杜印製 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 A 7 B7 五、發明説明（26) 信號之間，將信號的電®變化為與輸入時之信號電壓為不 同之電壓的信號。信號B3為施加輸入倍號於各畫素之後， 在施加次一晝面的輸入信號之間，將信號的霜壓變化為與 輸入時之信號電壓為不同之電壓的倍號。此佶號Bl, B2, B3藉由具備3端子45a, 45b, 45c的開關45之切換選擇並 經由檢査用端子50供給於源極匯流排線2。又藉由開關46 的選擇，上述信號B1〜B3經由檢査用端子51供給於預備配 線13〇 閘極線信號發生電路41産生閘極匯流排線之開•關控 制用信號A3,並經由檢査用端子52供給於闞極匯流排線1 。檢査信號發生電路40産生如圖18A,圖圖18C所示 檢出信號A3’，並經由檢査用端子52供給於閜極匯流排線 1。閘極關（〇FF)«壓信號發生霜路42産生_極匯流排線的 關控制用信號A4(參照圖6)，於開鬪48切換時經由檢査用 端子53供給於補助電容用共通配線1〇。又由開關46的選擇 ，上述信號A3’經由檢査用端子51供給於預備配線】3。 以上說明的電路，信號等為使用於檢査動態矩陣基板 的狀況。 於檢査動態矩陣基板時，對向《極用信號發与電路 4 3産生無閃爍之固定於最適於對向電壓值的佶號C 1。佶號 C1籍開關49的切換選擇經由檢査用绱子5 4供給於對向《極 5。對向電極用信號發生霜路44産生於使TFT3開的電壓與 關的電壓之間變化的倍號（與圖6中倍號C同樣的倍號. 以下當此倍號為C 2)。佶號C2輟開關49的切換選揮，經由 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 2 6 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、 發明説明（ 2 7 ) 1 | 檢 査 用 端 子 54 供給 於 對 向 電 極 5 〇 1 * 1 I 上 述 B 1 信 號發 生 電 路 37 的 信 號B ] ,B2信 號 發 生 電 路 38 1 * I I 的 信 號 B2 » 及 B3信 m 發 生 霣 路 39的信 號B3輸 出 至 開 翻 45的 1 I 請 1 I 3 端 子 45 a , 45b及 45 C〇 開關4 5自 1 3端子45a 1 45 b , 4 5c 之 先 閲 1 I η 1 | 中 選 其 一 供 給 於檢 査 用 端 子 50 〇 檢査 用端 子 5 0 經 由 ΤΑ B 背 ιέ 1 I 之 1 12 a連接於源搔匯流排線2 0 /-£. 1 1 1 閘 極 線 信 號發 生 電 路 4 1 的 開 . 級 控制 信 號 A3 1 或 檢 出 項 再 ..丨 峰 S 信 m 發 生 電 路 40的 檢 出 信 號 A3 •為供給於檢査用繃子52。 本 裝 I 此 檢 査 用 端 子 52經 由 TAB 1 1連接东 Ϊ閘極匯流排線1 0 閘 極 關 貝 I 1 I 電 壓 倍 OM m 發 生 電路 42 的 關 控 制 用 信號 A4輸 出 至 開 關 48 的 3 1 1 端 子 48 a , 48 b ,48 c中的1 Χ〇ί -ψ A W ~r 4 8 b 〇 其餘 2 端 子 48 a , 48c 1 1 供 給 以 對 向 電 極用 信 號 發 生 電 路 4 3的 倍號 C 1 及 對 向 電 極 用 訂 1 信 nji m 發 生 電 路 44的 信 號 C2 0 開 m 關 481 擇3 端 子 48 a . 48b t 1 I 48 c之- -供給於檢査用端子5 3。 此檢査用端子5 3介由TAB 11 1 I 連 接 於 共 通 補 肋電 容 用 之 端 子 1 0 〇 1 i i 1 又 上 述 信 號C1 與 信 號 C2 输 出 開關 49的 3 UU 斕 子 49 a , 49b > 49 C 0 開關49選擇3 媧子49a » 49 b, 49c 之 一 而 將 其 信 班 1 1 供 給 於 檢 査 用 端子 54 〇 此 檢 査 用 端子 54連 接 於 設 於 對 向 1 1 極 的 端 子 C〇 又開關45- -49為由未_示的控制鬣路控制， 1 1 其 中 開 關 48 與 開關 49 為 連 動 動 作 〇 1 I 其 次 説 明 依上 述 缺 陷 檢 出 装 置對 前述 動 態 矩 陣 基 板 * 1 1 I 或 對 動 態 矩 陣 液晶 板 的 缺 陷 檢 出 方法 〇 1 1 首 先 為 做 缺陷 的 檢 出 t 將 檢 査對 象的 動 態 矩 陣 基 板 > 1 1 或 動 態 矩 陣 液 晶板 正 確 的 載 置 於 缺陷 檢出 裝 置 的 檢 査 位 贸 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 27 B7 五、發明説明（2 8 ) ,同時對着動態矩陣基板，或動態矩陣液晶板的端子位置 將TAB11, 12a, 12b配置於基板或液晶板的外周，使動態 矩陣基板，或動態矩陣液晶板的端子與TAB11, 12a, 12b 的端子之位置面對接觸。為保持接觸狀態的安定，由彈簧 或夾子等加壓力亦可。上述檢査TABH連接於閘極匯流排 線1.撿査TAB 12a, 12b連接於源極匯流排線2,預備配線 13及於檢査動態矩陣液晶板的狀況為各連接於對向電極的 端子C。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次開關46遘擇端子46b,將檢出信號發生霄路40的 檢出信號A3’供給於預備配線13,開關471擇端子47a將檢 出信號發生電路40的檢出信號A3 ‘供給於補肋電容用共通 配線10,開關48及49各選擇端子48a及端子49a將對向電極 用信號發生電路43的信號C1供給於補助電容用共通配線 1 0。開關4 5連接於任一端子均可。以此狀態以某一定時間 施加各値的信號。檢出信號於此實施例為動態矩陣液晶顯 示裝置通常使用之驅動電壓的1.5〜3倍，施加時間為1秒 。此施加霄®與時間以設定於良品的TFT不發生特性不良 之值即可。由此在匯流排線的交叉部其绝線性劣化之處111 於劣化的進行而發生洩漏，因而可實施對動態矩陣液晶板 的閘極匯流排線1與源極匯流排線2之交叉部的絶絲性之 檢出，對源極匯流排線2與預備配線1 3之交叉部的絶線值 之檢出，以及對補助電容用共通配線10與源極匯流排線2 之交叉部的絶緣性之檢出。 其次為做缺陷檢査，閭關46選擇端子46c以將對向電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐） 2 8 A7 307827 B*7 五、發明説明（29) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 極用信號發生電路43的信號Cl供給於預備配線13,開鼸47 選擇端子47b以将檢出信號發生電路40的信號A3'自補肋馆 容用共通配線10切斷。開關45連接至任一端子均可。以此 狀態檢査源極匯流排線2與預備配線13的交叉部之絶緣不 良處。其後開關46選擇端子46a以將B1〜B3倍號發生電路 37〜39的信號B1〜B3供給於預備配線13,將開關48與開關 49切換以對閘極匯流排線1與源極匯流排線2的交叉部之 絶線不良處，或對補肋電容用共通配線10與源極匯流排線 2交叉部之绝絲不良處各做點缺陷或線缺陷的檢査。 以上的檢査終了後，停止供給於各部的信號，解除 TAB 11, 12a, 12b的遽接，將動態矩陣基板，或動態矩陣 液晶板自缺陷檢出裝置取出。動態矩陣基板或動態矩陣液 晶板依其有無缺陷作篩蓮，將不能修補的予以排除，可能 修補者予以修補。 以下依缺陷發生處說明檢出及檢査的順序。 (1 )因蘭極匯流排線與源極匯流排線間的洩漏發生的 線_缺陷之檢出與檢査以如下順序實施。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 v如圖1 9 A所示，由施加信號A 3 ’於閘極匯„流+排線1 ,於 ft?極匯流排線1與源極匯流排線2之間的絶縑性劣化部分 發生洩漏。其結果於連接發生洩漏之閘極匯流排線1的排 成撗一列之晝素電極，與遽接發生洩漏的源極匯流排線2 的排軋縱—列之查素電極發生顯示不良。亦即此缺陷顦小 散U鲁妯陷。 在發生上述缺陷時，由於受到源極匯流排線2的影鬱 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS〉Λ4規格（210X297公^ ?~9 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印製 五、 發明説明 (30 ) 1 I 以 致 從 使 TFT3 關 的 蘭 極 電 壓 至 使 其 開 的 閘 極 電 壓 之 振 幅 變 4 1 I I 小 1 而 無 法 充 份 維 持 T P T 3 的 開 η 阻 及 關 罨 阻 〇 因 此 連 接 於 1 蘑I 源 極 匯 流 排 線 2 與 發 生 洩 漏 的 閘 極 匯 流 排 線 1 的 TPT3 在 外 N 1 I 請 1 I 觀 上 與 關 特 性 不 良 的 TFT3 作 同 樣 的 表 示 0 由 而 此 缺 陷 的 檢 先 閱 1 I 讀 1 | 査 為 如 圖 20 B， 圖20C施 行 0 此 時 以 圖 20C之狀況較圖20B 之 背 1 I 之 1 狀 況 其 表 示 線 缺 陷 的 横 方 向 之 線 更 能 明 瞭 的 以 百 視 觀 察 0 注 意 1 事 1 又 此 時 依 連 接 於 源 極 匯 流 排 線 2 的 畫 素 霄 極 之 縱 方 向 的 線 再0 1 填 亦 可 明 gS 燃 觀 察 0 並 由 此 9 依 明 白 顯 現 的 十 字 狀 之 交 叉 部 分 寫 本 裝 I 可 以 判 別 缺 陷 處 〇 頁 I 1 於 此 狀 況 的 修 補 為 如 随 圈 1 9 Β所示， 將發生洩漏處兩側 1 1 的 源 極 匯 流 排 線 2 以 雷 射 等 予 以 切 斷 f 並 將 該 ίΒΒ urn 極 匯 流 排 1 1 線 2 與 預 備 配 線 13的 父 叉 部 用 雷 射 等 將 之 連 接 9 而 !ikl 對 該 源 訂 I 極 匯 流 排 線 2 由 兩 倒 施 加 倍 號 0 1 I 又 閘 極 匯 流 排 線 1 與 源 極 匯 流 排 2 之 間 發 生 洩 m 時 1 1 I 的 閘 極 信 號 波 形 E 之 電 位 如 _ 20 A , I Η 20Β t 团 20C所示為 1 二 1 線 不 同 > 因 此 由 將 其 電 位 以 電 氣 的 測 定 ， 可 以 代 替 巨 視 施 行 1 檢 査 0 1 1 (2)因預備配線與源極匯流排線間的洩漏發生的線缺 1 1 陷 之 檢 出 及 檢 査 以 如 下 順 序 資 施 0 1 I 此 種 缺 陷 為 如 圖 2 1 A所示， 由施加信號A 3 ’ 於 預 備 配 線 1 1 i 1 3 » 將 於 預 備 配 線 1 3 與 源 極 匯 流 排 線 2 間 之 絶 絲 性 劣 化 的 1 1 1 部 分 發 生 洩 箱 0 當 發 生 此 缺 陷 時 ， 施 加 /•if m 號 B 1 於 預 備 1 1 配 線 1 ： 丨並 不 能 檢 査 該 缺 陷 f 而 於 施 加 倍 SUft 號 C 1 於 預 備 配 線 13 1 1 時 > 於 連 接 發 生 洩 漏 之 源 極 K 流 排 線 2 的 排 成 m —* 列 之 耋 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（2丨OX 29*7公癃） 3 0 A 7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ 3 1) 1 I 素 電 極 發 生 顯 不 不 良 0 瞧 « | | 在 發 生 上 述 缺 陷 時 t 如 viut 對 預 備 配 總 8ΚΚ 1 3施 加 對 向 電 極 估 1 m 1 號 C 1 « 則 受 其 影 鬱 其 源 極 霉 壓 的 振 幅 較 正 常 時 變 小 〇 由 於 y—^ 1 I 請 1 I 此 連 接 於 該 缺 陷 部 排 成 縱 列 的 畫 素 逝 电 極 成 為 未 能 输 肥 加 先 閱 I I 讀 1 | m 的 狀 態 而 變 成 輝 線 (經常為白色棋式） 0 亦 即 此 缺 陷 的 檢 背 面 1 | 之 1 査 為 由 _ 22 A , 圖2 2B t 圖 2 2 C所示信號施行。 注 意 1 事 1 於 此 之 修 補 為 如 睡 m 2 1 B所示， 住 5雷聲 ί等將預備配線1 3 項 再 1 填 、| 之 發 生 洩 漏 處 兩 倒 予 以 切 斷 〇 寫 本 裝 I 又 由 施 加 信 號 C 1於 預 備 配 雄 13 » 預 備 配 線 13與 源 極 tsr 85 頁 、_/ 1 I 流 排 線 2 間 之 洩 、窗 漏 時 的 源 極 倍 號 波 形 F 之 電 位 將 如 圖 22 A , 1 1 _ 22 B , 圖22C所 示 為 不 同 1 因 此 將 其 電 位 以 % 氣 的 測 定 1 1 可 以 代 替 百 視 施 行 檢 査 0 訂 1 (3)因補助鬣容用共通配線與頫極匯流排線間的洩漏 1 I 發 生 的 線 缺 陷 之 檢 出 及 檢 査 以 如 下 顒 序 nrihe 頁 施 0 1 1 I 此 種 缺 陷 為 如 騸 2 3 A所示， 由施加倍號A 3 ' 於 補 肋 電 容 1 ·« 、1 •泉 用 共 通 配 線 1 0 將 於 補 肋 電 容 rrj 用 共 Μ 配 線 1 0 1¾ 源 極 匯 流 排 1 線 2 間 之 絶 緣 性 劣 化 的 部 分 發 生 洩 漏 0 m 理 接 於 此 發 生 洩 1 1 漏 之 源 極 匯 流 排 線 2 的 排 成 m -一 列 之 盡 sM. 累 電 極 發 生 顯 示 不 1 1 良 9 並 顯 示 為 線 缺 陷 0 連 接 於 發 生 洩 漏 之 補 肋 霄 容 用 共 通 1 I 配 線 1 0的 排 成 横 . 列 之 盡 索 爾 極 亦 發 生 顯 示 不 良 而 成 為 十 1 I 字 狀 的 顯 示 不 良 〇 又 線 狀 的 顯 示 不 良 有 白 源 極 tar 瞧 '-fr 排 線 2 1 1 的 中 間 發 生 的 情 況 0 於 此 可 在 顯 示 不 良 消 失 位 置 近 傍 沿 源 1 1 極 匯 流 排 線 2 諝 査 即 可 〇 1 1 在 發 生 上 述 缺 陷 時 由 於 受 到 補 肋 電 容 用 共 通 配 線 10 1 1 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X 297公釐〉 3 1 307827 A7 __B? 五、發明説明（3 2) (請先閱讀背面之注意事項再填离本頁) 之信號Cl的影瓛其閘極電18之振幅將比正常時變小，因而 施加於盡素電極4的電（S變小。由此連接於該缺陷部之排 成縱一列的畫素電極成為未能施加電懕的狀態而變成輝線 (經常為白色楔式）。亦即此缺陷的檢査為由圈24A,圖24B ，圖2 4 C所示信號施行。 於此狀況的修補為如圖33B所示，將於補助電容用共 通電線10與源極匯流排線2之間發生洩漏處的源極匯流排 線2側之兩端用雷射等將其切斷，並將該源極匯流排線2 與預備配線13的交叉部用雷射等將其連接，而對該源極 流排線2由兩側施加信號。 又由施加信號C1於補肋電容用共通配線10,補助霭容 用共通配線10與源極匯流排線2之間發生洩漏時其源極信 號G的電位如圖24A,圖24B,圖24C所示為不同，因此由 將其電位以電氣的測定，可以代替目視施行檢査。 由上述實施例及實施例2可知，由本發明的動態矩陣 基板或動態矩陣液晶板之缺陷檢出方法.以及缺陷檢出裝

經濟部中央樣準局員工消費合作杜印«L 叉時 用的法配排 交處 作陷方備流 相之的缺査 預匯 互化力成檢 ，檣 於劣鼴變P6間源 , 性到能缺線與 板绨受可的排線 晶絶於來明流配 液有由將發匯通 陣而 ，此本極共 矩膜中對以源用 態殘用 法而與容 動或使方然線電 α 在孔間査 ，揉助 果或針時檢査流補 效 ，於長的檢匯 ， 的板由於知做極間 下基部而習能閘線 如陣緣置以未在排 到矩絶装。處如流 達態的示陷化例匯 以動間顯缺劣 ，極 可在極為成性置源 , 電做變縳裝與 置 之 ，而絶及線 2 本紙铢尺Α適用中國國家梂率（CMS ) Α4規格（210Χ297公釐）

AT __B7 五、發明説明（33) 線間等互相交叉的匯流排線之間，由施加較作為顯示装置 通常使用的電壓為大的電壓，絶緣性劣化的處發生洩漏， 而可當做缺陷預先予以檢出。上述的缺陷可由目視，光學 方法或其他方法做檢査。 依.杰發明_的修補方法.可以對將來可能發生缺陷處預 库遵皇補，可.1择高製造程序的效率，並由可以排除將來 可能變成缺陷的不良品而提高可靠度。 又於習知之動態矩陣基板其預備配線與源極匯流排線 間的洩漏在實装驅動電路於基板之前為無法確認，然以本 發明之缺陷檢出方法，於亮燈檢査時由施加與對向電極相 同的信號於預備配線，可以連到於預備配線發生洩漏的源 極匯流排線識別為線缺陷的效果。$替在農览里奠電路之 以麗鮑陷做修補 > 可以提高在實 裝工程的效率1並由節省對不良品在後工程的加工而減低 .........-- · 二，二 生産成本，提高生雇性。 (請先閱讀背面之注意事項再填涔本頁) 經濟部中央楝準局貝工消費合作社印袋 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ 297公釐）

Claims (1)

1. 經濟.部中央桴準局Μ工褊利妾會印製 附件二 Η 3

   上以矩陣狀配置之禊數的畫素電極，驅動各衋素電極 的轉換元件，並將該轉換元件各傾連接，而相互交叉 形成掃描線及倍號線的動態矩陣基板，並為對於具備 該動態矩陣基板，與該動態矩陣基板對向配設以對向 霣極的對向基板，以及於該動態矩陣基板與對向基板 之間配置有液晶層的動態矩陣液晶板之中至少對其一 的缺陷檢出方法. 該方法之步驟包括有：將第一信號和第二倍1|之 其中之一,施加於掃描線；而將第三倍號_於傳號線 上，使第一傳號，第二信號和第三倍號具有彼,此不同 的波形.由第一信號具有之第一電臛導通JT Ji元件而 由奉2 ;壓可使轉換元件斷路；該第二倍號至少具有 高於該第一霣囅之第三霄壓者。 2. 如申讅専利範圈第1項記載的缺陷檢出方法，而以關 連於前述畫素霣極形成的補助電容為建接於靠近該畫 素霉極所連接的播描線而夾著該畫蠶霜極的另一掃描 線者。 3. 如申謫利範醒第2項記載的缺陷檢办方法，而以藺 連於前述畫案·霜極形成的捕胁霉軎為建接於共通配線 一.......... 者。 4. 如申謫專利範鼸第1項記載的缺陷檐出方法，而以前 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公着）\ H3 Μ濟部中央櫟準局Mx«利妾Μ會印製 0 加線於四 板極叉備向板 一 倍二 號和用 壓至HI 預 施配施第 基 電交具對基其 ，第信號子 霄偽 以 的 及備號將 該素互於以向對 線和於倍纗 一號 而 成 號預信可 .畫相對設對少 描號號二接 第信 ， 形 信於二 - 板各而為配輿至 掃倍信第連 ·之二1 叉 二 加第時 基動-並向板中 至一三 ，由構通第 裝 交 第施該線 性驅接 .對基之 接第第號經櫬導該 出 縐 將 ，將描 縐-連板板陣板 達將加倍及出件而 。檐 絶 ：一 ，掃 絶極櫥基基矩晶 別以施一以檢元，者組 線 有之時於 備電各陣陣態液 分用及第.，之換壓 壓缺 铖 括中線加 具素件矩矩動陣 ：；以該形陷轉 m 電的 信 包' 其描施 於畫元態態該矩 有子線而波缺使 二三載 輿 尚之掃號 ，對的換動動於態 括端描 ，的的有第第記 備 鼸號於信廣為數轉的該及動 包接掃構同板具之之項 具 步信加 | /嚴，禊該線與以的 置連於懺不基號路壓 5 尚 之 四皰第面置)之將號 ，，層 ，装之加加此陣信麵霉第 板 法第號雷遭装/置並倍板板晶置出極施施彼短一件 一· 基 方之倍而預出一配 ，及基基液裝檢霣一號有態第元第範 陣 該極二 ，至檢，狀件線陣向有出陷向之倍具動該換於利 矩 中霣第線，加陷I陣元描矩對置檢缺對中出號該中轉离專 態 ，其向將配/施I 缺一矩換播態的配陷該及其檢信出其使有讅 動線 對而備^種以轉成動棰間缺 線號之三檢 及具申 述配 於 ，預倍-一上的形該電之的 號倍線第於 以少如 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS)A4规格（210X297公釐）2 虼濟部中央桴準局MX.褊利妾Η會印製 _________________ 連於前述畫素電極形成的補肋電容為連接於薄近該畫 素電極所連接的掃描線而夾蕃該畫素電極的另一掃描 線者。 7. 如申讅專利範鼷第6項記載的缺陷檢出装置，而以關 連於前述畫素電極形成的補肋電容為連接於共通配線 者。 8. 如申讅專利範匾第5項記載的缺陷檢出装置，而以前 述動態矩陣基板為具備與倍號線絶緣交叉形成的預備 配線，以及 其中該檢出信號施加櫬構偽将第二信號及施加於 對向電極之第四倍號中之一，施加於預備配線，且當 第二信號施加於預備配線及播描線時，該檢出機構可 檢出第一種缺陷，而當第四倍號施加於預備配線及對 向電極時檢出第二種缺陷者。 9. 一種缺陷修補方法，為對於具備絶縐性基板.該基板 上以矩陣狀配置之複數的畫素罨極，驅動各畫素電極 的轉換元件.並將該轉換元件各艏J*接，而相互交叉 形成播描線及倍號線的動態矩陣基板，並為對於具備 該動態矩陣基板，與該動態矩陣基板對向配設以對向 «極的對向基板，以及於該動戆矩陣基板與對向基板 之間配置有液晶層的動態矩陣液晶板之中至少對其一 的缺陷修補方法， 該方法之步麗包括有： II缺陷.楚身ms据有將第一倍嫌及第二 倍號之其中之一，施加於播描線.而将第三倍號施加 本紙張尺度適用中《國家揉举（cN S ) Α4规格（210 X 297公釐）3 Η 有 β β 號 -s <4— 三 第 和 號 fM 二 第 號 信 1 該 線 號 信 於 導二 件第 元而 換 ， 轉醱 使電 有 二 具第 則之 號路 信斷 一 件 第7έ 該換 轉 者使 形及 波饜 的霄 同 一 不第 此之 彼通 關 以 而 者 ， S 法 電 方 三 。浦 第者修 之陷陷 釅缺缺 霣補的一 ^ Μ 第而記 於類項 ce 离種 9 有的第 具陷園 少缺範 至於利 愾據專 則可請 號 申 信 如 畫 該 近 一 Dp 於的 接極 連霄 為素 容 畫 電該 肋著 補夾 的而 成線 形描 極 掃 電的 素接 畫連 述所 前極 於電 連素 描 掃 者 線 關線 以配 而通 , 共 法於 方接 6- fenc 補 遘 修為 陷容 缺電 的助 βνη n 驩 補 記的 項成 10形 第極 醑 電 範素 利畫 專述 請前 申 於 如連 者 前備 以預 而的 , 成 法形 方叉 補 交 修繍 陷絶 缺線 的號 載信 記與 項備 9 具 第為 圍板 範基 利陣 專矩 請態 申動 如述 線 配 電倍 向 二 對第 於酋 加 ， 施線 及配 號備 信預 二 於 第加 將施 有 一 括之 包中 尚其 驟之 步號 出信 檢四 其第 之 極 經濟.那中央楞準局w Η:袖利委肖會印製 而備 . 預 線於 配加 備施 預號 於倍 加四 施第 號該 信 ， 二 時 第線 該描 , 掃 時於 線加 描施 掃號 於信 〇 加一者 施第線 號當配 爨號 步信 其 三 * 法將 方可 出 -檢時 陷線 缺號 的佶 載於 記加 項施 4 號 第倍 Β三 範第 利當 專 請有 申括 如包 檢篥 該將 當亦 置畤 裝線 出餮 檢楢 陷於 缺加 的施 裁號 記倍 項三 ο 0〇 第 者第將 線 _ 構 配範« 備利加 預専施 於讅號 加申倍 施如出 本紙張尺度遑用中鼷國家標準（CNS )Α4規格（210.Χ 297公釐）4 SQ7827 _____________H3 _ 三倍號施加至®備配線莕。 15. 如申請專利範鼷第12項記載的缺陷修補方法，其檢出 步驟包括有：當第三信號施加於倍號線時，可将第三 倍號施加至預備配線者。 16. 如申請專利範園第1項記載的缺陷檢出方法，其第二 倍號之第三電饜傷等於第一信號之第一霄壓的1.5到 3倍者。 17. 如申請專利範園第5項記載的缺陷檢出装置，其第二 信號之第三電等於第一倍號之第一電壓的1.5到 3倍者。 18. 如申請專利範園第9項記載的缺陷修補方法，其第二 倍號之第三電壓偽等於第一信號之第一霉壓的1 . 5到 3倍者。 Μ濟部中央橒準局肖工福利妾Η會印製 本紙張尺度適用中國國家摞筚（CNS)A4規格（210X297公») 5