TW202447829A - 基板收納容器 - Google Patents

Abstract

基板收納容器（1）包括：容器主體（2），具備在前側（D11）的一端部形成有容器主體開口部且後側（D12）的另一端部由裡壁（22）封閉的筒狀的壁部（20），由壁部（20）的內表面形成可收納多片基板且連通於所述容器主體開口部的基板收納空間（27）；以及蓋體，相對於所述容器主體開口部可裝拆，能夠封閉所述容器主體開口部。裡壁（22）具有腳部（221），腳部（221）形成以裡壁（22）向下的方式承載容器主體（2）時的著地面（CP）。裡壁（22）具有面向後側（D12）的澆口痕跡（226）。澆口痕跡（226）比著地面（CP）更位於前側（D11）。

Description

基板收納容器

本發明涉及對由半導體晶片等構成的基板進行收納、保管、搬運、輸送等時使用的基板收納容器。

作為用於收納由半導體晶片構成的基板並在工廠內的工序中搬運所述基板的基板收納容器，以往已知一種具備容器主體和蓋體的結構的基板收納容器（例如參照專利文獻1）。

容器主體的一端部具有形成了容器主體開口部的開口周緣部。容器主體的另一端部具有封閉的筒狀的壁部。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍而形成，可收納多片基板。蓋體相對於開口周緣部可裝拆，能夠封閉容器主體開口部。基板收納容器在由蓋體封閉容器主體開口部時，以相鄰的基板彼此分開預定的間隔進行排列的狀態來保持多片基板。

基板收納容器透過作為成型材料的聚碳酸酯等樹脂的注塑成型而形成。樹脂從注塑裝置依次經過模具的主澆道（到分澆道為止的樹脂的流道；sprue）、從主澆道分路的分澆道（到澆口為止的樹脂的流道；runner）和澆口（樹脂流入型腔的流入口）流入型腔，並填充於型腔，複製型腔的形狀而成型為容器主體（例如參照專利文獻1）。在成型後的容器主體中的與澆口對應的位置，不可避免地形成有澆口痕跡（也稱為澆口痕）。

專利文獻1：日本特開2017-050494號公報

澆口痕跡通常比外表面的基準面更突出。因製造上的制約而有時在容器主體的裡壁（後側的壁）配置澆口痕跡。在希望以具有澆口痕跡的一側向下的方式承載容器主體的情況下，有時澆口痕跡與不期望的部位產生干擾、抵接，成為容器主體傾斜、晃動的原因。尤其是，在熱澆道方式的情況下，由於難以控制澆口痕跡的形狀，所以該問題變得顯著。另外，熱澆道方式是在熱塑性樹脂的注塑成型中，在主澆道和分澆道將樹脂保持為熔融的狀態，在該狀態下在澆口處切斷樹脂而得到成型品的技術。

本發明的目的在於提供一種基板收納容器，在容器主體的裡壁具有澆口痕跡的基板收納容器中，在希望以裡壁向下的方式承載容器主體的情況下，能夠抑制由澆口痕跡與不期望的部位產生干擾、抵接而引起的容器主體的傾斜、晃動。

本發明的基板收納容器包括：容器主體，具備在前側的一端部形成有容器主體開口部且後側的另一端部由裡壁封閉的筒狀的壁部，由所述壁部的內表面形成可收納多片基板且連通於所述容器主體開口部的基板收納空間；以及蓋體，相對於所述容器主體開口部可裝拆，能夠封閉所述容器主體開口部，其中，所述裡壁具有腳部，所述腳部形成以所述裡壁向下的方式承載所述容器主體時的著地面，所述裡壁具有面向後側的澆口痕跡，所述澆口痕跡比所述著地面更位於前側。

此外，也可以是所述著地面由一個或多個所述腳部的底面形成，在所述底面設置有向前側凹陷的凹部，所述澆口痕跡透過配置於所述凹部，從而比所述著地面更位於前側。

此外，也可以是所述著地面由一個或多個腳部的底面形成，所述澆口痕跡透過配置在除所述底面以外的比所述著地面更位於前側的所述裡壁的外表面，從而比所述著地面更位於前側。

按照本發明，能夠提供一種基板收納容器，在容器主體的裡壁具有澆口痕跡的基板收納容器中，在希望以裡壁向下的方式承載容器主體的情況下，能夠抑制由澆口痕跡與不期望的部位產生干擾、抵接而引起的容器主體的傾斜、晃動。

以下，參照附圖說明第一實施方式的基板收納容器1。圖1是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1收納有多片基板W的狀況的分解立體圖。圖2是從前方表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的上方立體圖。圖3A是從後方表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。圖3B是本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的主視圖。圖3C是圖3A所示的A-A斷面圖。

在此，為了便於說明，將從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向（圖1中的從右上朝向左下的方向）定義為前方向D11或前側D11，將與其相反的方向定義為後方向D12或後側D12，將它們合併而定義為前後方向D1。此外，將從後述的下壁24朝向上壁23的方向（圖1中的上方向）定義為上方向D21，將與其相反的方向定義為下方向D22，將它們合併而定義為上下方向D2。此外，將從後述的第二側壁26朝向第一側壁25的方向（圖1中的從右下朝向左上的方向）定義為左方向D31，將與其相反的方向定義為右方向D32，將它們合併而定義為左右方向D3或橫向D3。在一部分附圖中，圖示了表示這些方向的箭頭。

此外，收納於基板收納容器1的基板W（參照圖1）是圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶石晶片等，是工業用的薄基板。本實施方式中的基板W是直徑300mm的矽晶片。

如圖1所示，基板收納容器1用作發貨容器，所述發貨容器用於收納由上述的矽晶片構成的基板W，並透過陸運工具、空運工具、海運工具等輸送工具輸送基板W，基板收納容器1由容器主體2和蓋體3構成。容器主體2具備側方基板支撐部5和裡側基板支撐部6（參照圖2等）。蓋體3具備作為蓋體側基板支撐部的前保持器（未圖示）。

容器主體2具有筒狀的壁部20，所述壁部20在一端部形成有容器主體開口部21，另一端部被封閉。在容器主體2的內部形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍而形成。在作為壁部20的一部分且形成基板收納空間27的部分配置有側方基板支撐部5和裡側基板支撐部6。如圖1所示，在基板收納空間27能夠收納多片基板W。

在基板收納空間27的內部，側方基板支撐部5成對地設置於壁部20。在未由蓋體3封閉容器主體開口部21時，側方基板支撐部5透過抵接於多片基板W的邊緣部，從而能夠以相鄰的基板W彼此分開預定的間隔進行排列的狀態來支撐多片基板W的邊緣部。在側方基板支撐部5的裡側，與側方基板支撐部5一體成型地設置有裡側基板支撐部6。

在基板收納空間27的內部，裡側基板支撐部6（參照圖2等）以與所述前保持器成對的方式設置於壁部20。在由蓋體3封閉容器主體開口部21時，裡側基板支撐部6透過抵接於多片基板W的邊緣部，從而能夠支撐多片基板W的邊緣部的後部。

蓋體3相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部28可裝拆，能夠封閉容器主體開口部21。前保持器設置在作為蓋體3的一部分且在由蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27相對的部分。在基板收納空間27的內部，前保持器與裡側基板支撐部6成對地配置。

在由蓋體3封閉容器主體開口部21時，前保持器透過抵接於多片基板W的邊緣部，從而能夠支撐多片基板W的邊緣部的前部。在由蓋體3封閉容器主體開口部21時，前保持器透過與裡側基板支撐部6協作來支撐多片基板W，從而將多片基板W保持為使相鄰的基板W彼此分開預定的間隔進行排列的狀態。

基板收納容器1由塑膠材料等樹脂構成，作為該材料的樹脂，例如可以列舉聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物之類的熱塑性樹脂，以及它們的合金等。在對這些材料的樹脂賦予導電性的情況下，選擇性地添加碳纖維、碳粉、奈米碳管、導電性聚合物等導電性物質。此外，為了提高剛性，也可以添加玻璃纖維、碳纖維等。

以下，對各部分進行詳細說明。如圖1所示，容器主體2的壁部20具有裡壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26。裡壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26由上述的材料一體成型地構成。

第一側壁25和第二側壁26在橫向D3上相對，上壁23和下壁24在上下方向D2上相對。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端和第二側壁26的後端全部連接於裡壁22。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端和第二側壁26的前端構成開口周緣部28，所述開口周緣部28具有與裡壁22相對的位置關係，且形成呈大致長方形的容器主體開口部21。

開口周緣部28設置於容器主體2的一端部，裡壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱狀。壁部20的內表面，即，裡壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第一側壁25的內表面和第二側壁26的內表面形成由它們包圍的基板收納空間27。形成於開口周緣部28的容器主體開口部21連通於基板收納空間27，基板收納空間27被壁部20包圍且形成在容器主體2的內部。在基板收納空間27中最多可收納25片基板W。

如圖1所示，在作為上壁23和下壁24的一部分且開口周緣部28的附近的部分，形成有向基板收納空間27的外側凹陷的鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B。鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23和下壁24的左右兩端部附近各形成一個，合計形成四個。

如圖1所示，在上壁23的外表面，肋235設置成與上壁23一體成型。肋235提高容器主體2的剛性。此外，在上壁23的中央部固定有頂端法蘭236。在AMHS（自動晶片搬運系統）、PGV（晶片基板搬運台車）等中懸掛基板收納容器1時，頂端法蘭236是成為基板收納容器1中的被勾掛而懸掛的部分的部件。

側方基板支撐部5分別設置於第一側壁25和第二側壁26，是在左右方向D3上成對地配置在基板收納空間27內的內置部件。具體地說，如圖2所示，側方基板支撐部5具有板部51和作為板部支撐部的支撐壁52。板部51和支撐壁52由樹脂材料一體成型地構成，板部51由支撐壁52支撐。

在上下方向D2上觀察時，板部51呈板狀的大致弧形。板部51分別在第一側壁25和第二側壁26沿著上下方向D2設置25個，合計設置50個。相鄰的板部51在上下方向D2上分離且以平行的位置關係配置。另外，在位於最上的板部51的上方，還配置有一個與板部51平行的板狀的部件，該部件是在將位於最上的基板W插入基板收納空間27內時，對該基板W起引導作用的部件。

設置於第一側壁25的25個板部51和設置於第二側壁26的25個板部51具有彼此在左右方向D3上相對的位置關係。此外，50個板部51和與板部51平行的板狀的起引導作用的所述部件具有平行於下壁24的內表面的位置關係。如圖2所示，在板部51的上表面設置有凸部511。支撐於板部51的基板W僅接觸凸部511的突出端，不與板部51面接觸。

支撐壁52呈在上下方向D2和大致前後方向D1上延伸的板狀。支撐壁52在板部51的長邊方向上具有預定的長度，連接於板部51的側端緣。板狀的支撐壁52沿著板部51的外側端緣向基板收納空間27彎曲。

即，設置於第一側壁25的25個板部51與設置在第一側壁25側的支撐壁52連接。同樣地，設置於第二側壁26的25個板部51與設置在第二側壁26側的支撐壁52連接。支撐壁52分別固定於第一側壁25和第二側壁26。

如此構成的側方基板支撐部5能夠以多片基板W中的相鄰的基板W彼此分開預定的間隔且成為彼此平行的位置關係的狀態支撐多片基板W的邊緣部。

如圖1等所示，蓋體3呈與容器主體2的開口周緣部28的形狀基本一致的大致長方形。蓋體3相對於容器主體2的開口周緣部28可裝拆，透過將蓋體3安裝於開口周緣部28，從而蓋體3能夠封閉容器主體開口部21。在作為蓋體3的內表面（圖1所示的蓋體3的背側的面）且在蓋體3封閉容器主體開口部21時與形成在緊靠開口周緣部28的後方向D12的位置的臺階部分的面相對的密封面，安裝有環狀的密封部件4。密封部件4由可彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠、矽橡膠等構成。密封部件4配置成環繞蓋體3的外周緣部一周。

將蓋體3安裝於開口周緣部28時，密封部件4由所述密封面和蓋體3的內表面夾持而彈性變形，蓋體3以密閉的狀態封閉容器主體開口部21。透過從開口周緣部28拆卸蓋體3，從而能夠相對於容器主體2內的基板收納空間27取出或放入基板W。

在蓋體3設置有鎖機構。鎖機構設置在蓋體3的左右兩端部附近，如圖1所示，具備：兩個上側鎖部32A，能夠從蓋體3的上邊朝向上方向D21突出；以及兩個下側鎖部32B，能夠從蓋體3的下邊朝向下方向D22突出。兩個上側鎖部32A配置在蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個下側鎖部32B配置在蓋體3的下邊的左右兩端附近。

在蓋體3的外表面設置有操作部33。透過從蓋體3的前側對操作部33進行操作，從而能夠使上側鎖部32A、下側鎖部32B從蓋體3的上邊、下邊突出，此外，能夠成為使上側鎖部32A、下側鎖部32B不從蓋體3的上邊、下邊突出的狀態。透過上側鎖部32A從蓋體3的上邊朝向上方向D21突出而卡合於容器主體2的鎖卡合凹部231A、231B，並且下側鎖部32B從蓋體3的下邊朝向下方向D22突出而卡合於容器主體2的鎖卡合凹部241A、241B，從而蓋體3固定於容器主體2的開口周緣部28。

接著，詳細說明裡壁22。如圖3A~圖3C所示，裡壁22在外表面側（後側D12）具有腳部221，腳部221形成以裡壁22向下的方式承載容器主體2時的著地面CP（在圖3C中用雙點劃線表示）。容器主體2例如在不收容基板W時，存在被承載為使裡壁22向下的情況。只要腳部221能夠形成著地面CP，則不限制腳部221的個數和形狀等。例如，如果腳部221的面積大且是直平面，則一個腳部221能夠形成著地面CP。

在第一實施方式中，裡壁22在四角各具備一個腳部221，合計具備四個腳部221。腳部221的底面222（後側D12的面）是平行於D2-D3平面（與前後方向D1正交的平面）的直平面。四個腳部221的底面222配置為形成長方形的頂點的位置關係，形成平行於D2-D3平面的著地面CP。即，著地面CP由一個或多個腳部221的底面222形成。

裡壁22的後側D12的部分中的除腳部221以外的部分比形成著地面CP的腳部221的底面222更位於前側D11。裡壁22的後側D12的部分中的除腳部221以外的部分可根據容器主體2而採用各種形狀。例如，在上下方向D2上排列的兩個腳部221之間，設置有比腳部221的底面222更向前側D11凹陷的凹狀區域223。在橫向D3上排列的腳部221和凹狀區域223的橫向D3的內側設置有兩個向前側D11凹陷且在上下方向D2上延伸的線狀槽部224。線狀槽部224相對於著地面CP的深度H224（參照圖3C）例如為20~40mm。

在橫向D3上排列的兩個線狀槽部224之間設置有島狀區域225。島狀區域225的後側D12的面比腳部221的底面222更位於前側D11。另外，對應於線狀槽部224，在基板收納空間27設置有向前側D11膨出且在上下方向D2上延伸的線狀膨出部271。

裡壁22具有面向後側D12的澆口痕跡226。澆口痕跡226比著地面CP更位於前側D11。如果詳細說明，則在腳部221的底面222設置有凹部227作為向前側D11凹陷的凹部。澆口痕跡226透過配置於凹部227，從而比著地面CP更位於前側D11。由於澆口痕跡226的膨脹非常小，所以在圖3C等所示的斷面圖中，澆口痕跡226的外表面（後側D12的面）看起來為大致直線狀。凹部227相對於著地面CP的深度H227（參照圖3C）例如為0.5~3.0mm，優選1.0~1.5mm。

另外，對應於凹部227，在基板收納空間27形成有向前側D11膨出的膨出部272。

澆口是用於從注塑成型機向模具（成型品）流入熔融樹脂的入口。在成型品中的與澆口對應的位置，不可避免地殘留有澆口痕跡。在透過成型來製造基板收納容器1中的容器主體2的情況下，因容器主體2的形狀、成型條件等的制約，澆口痕跡也大多配置於容器主體2的裡壁22。如果裡壁22為平坦狀，則透過將澆口痕跡配置在裡壁22中的D2-D3平面的中央附近，從而比較容易透過一個澆口（澆口痕跡）來成型容器主體2。但是，如本實施方式這樣在裡壁22設置有線狀槽部224的情況下，由於線上狀槽部224中熔融樹脂的流動性差，所以難以適當地成型容器主體2。因此，在本實施方式中，透過在裡壁22的四角合計配置四個澆口（澆口痕跡226），從而提高了容器主體2的成型性。

識別部件245（參照圖3A）是為了識別收容於基板收納容器1的基板W的資訊等而自由裝拆於容器主體2的後部的下部的部件。因識別部件245的形狀等而存在將其安裝於容器主體2時，識別部件245比著地面CP更位於後側D12的情況。但是，在希望以裡壁22向下的方式承載容器主體2的情況下，在承載前，將識別部件245從容器主體2拆卸。

按照第一實施方式的基板收納容器1，能夠得到如下的效果。第一實施方式的基板收納容器1包括：容器主體2，具備在前側D11的一端部形成有容器主體開口部21且後側D12的另一端部由裡壁22封閉的筒狀的壁部20，由壁部20的內表面形成可收納多片基板W且連通於容器主體開口部21的基板收納空間27；以及蓋體3，相對於容器主體開口部21可裝拆，能夠封閉容器主體開口部21。裡壁22具有腳部221，所述腳部221形成以裡壁22向下的方式承載容器主體2時的著地面CP。裡壁22具有面向後側D12的澆口痕跡226。澆口痕跡226比著地面CP更位於前側D11。

因此，在容器主體2的裡壁22具有澆口痕跡226的基板收納容器1中，在希望以裡壁22向下的方式承載容器主體2的情況下，不使澆口痕跡226著地，就可以由腳部221形成著地面CP（腳部221著地）。也能夠簡化澆口痕跡226的形狀控制、後處理。因此，能夠抑制由澆口痕跡226與不期望的部位產生干擾、抵接而引起的容器主體2的傾斜、晃動。

著地面CP由一個或多個（在本實施方式中為四個）腳部221的底面222形成，在底面222設置有向前側D11凹陷的凹部227，澆口痕跡226透過配置於凹部227，從而比著地面CP更位於前側D11。因此，將澆口痕跡226（即，注塑成型機的澆口）配置於腳部221是容易的，澆口痕跡226的位置的制約減少，能夠提高容器主體2的成型性。

對應於凹部227，在基板收納空間27形成有向前側D11膨出的膨出部272，但是該膨出部272配置在容器主體2中的位於最後側D12的腳部221。因此，能夠將存在膨出部272而對基板收納空間27帶來的惡劣影響最小化。

接著，參照附圖說明本發明的第二實施方式的基板收納容器。圖4A是從後方表示本發明的第二實施方式的基板收納容器的容器主體2A的下方立體圖。圖4B是從前方表示本發明的第二實施方式的基板收納容器的容器主體2A的上方立體圖。圖4C是圖4A所示的B-B斷面圖。

在第二實施方式中，關於本發明的特徵，例如腳部221的個數、位置、形狀等以及澆口痕跡226的個數、位置等與第一實施方式不同。除此以外的結構與第一實施方式大致相同，因此相同的部件用相同的附圖標記進行圖示，並省略說明（在其他實施方式中也適當地援引第一實施方式的結構和效果的說明）。

在第二實施方式的基板收納容器的容器主體2A中，如圖4A~圖4C所示，裡壁22在外表面側（後側D12）具有形成著地面CP（在圖4C中用雙點劃線表示）的腳部221。由於第二實施方式的腳部221的底面222面積大且是直平面，所以能夠由一個腳部221的底面222形成著地面CP。

裡壁22具有面向後側D12的澆口痕跡226。澆口痕跡226比著地面CP更位於前側D11。如果詳細說明，則在腳部221的底面222設置有凹部227作為向前側D11凹陷的凹部。澆口痕跡226透過配置於凹部227，從而比著地面CP更位於前側D11。澆口痕跡226和凹部227配置在裡壁22中的D2-D3平面的中央位置，即，裡壁22中的配置在最後側D12的位置。由於澆口痕跡226的膨脹非常小，所以在圖4C等所示的斷面圖中，澆口痕跡226的外表面（後側D12的面）看起來為直線狀。

接著，參照附圖說明本發明的第三實施方式的基板收納容器。圖5A是從後方表示本發明的第三實施方式的基板收納容器的容器主體2B的上方立體圖。圖5B是本發明的第三實施方式的基板收納容器的容器主體2B的俯視圖。圖5C是圖5A所示的C-C斷面圖。

在第三實施方式中，關於本發明的特徵，例如澆口痕跡226的個數、位置等與第一實施方式不同。除此以外的結構與第一實施方式大致相同，因此相同的部件用相同的附圖標記進行圖示，並省略說明。

在第三實施方式的基板收納容器的容器主體2B中，如圖5A~圖5C所示，裡壁22具有面向後側D12的澆口痕跡226。澆口痕跡226比著地面CP更位於前側D11。如果詳細說明，則澆口痕跡226不配置在腳部221的底面222。澆口痕跡226設置於島狀區域225。如果詳細說明，則島狀區域225的後側D12的面是除腳部221的底面22以外的比著地面CP更位於前側D11的裡壁22的外表面，比腳部221的底面222更位於前側D11。在島狀區域225的後側D12的面設置有澆口痕跡226。澆口痕跡226透過配置在島狀區域225的外表面，從而比著地面CP更位於前側D11。著地面CP與澆口痕跡226之間的距離H226（參照圖5C）例如為0.5~15mm，優選0.5~2.0mm。

按照第三實施方式的基板收納容器，能夠得到如下的效果。在第三實施方式的基板收納容器中，澆口痕跡226透過配置在除腳部221的底面222以外的比著地面CP更位於前側D11的裡壁22的外表面，從而比著地面CP更位於前側D11。因此，能夠將澆口痕跡226配置在除腳部221以外的位置，澆口痕跡226的配置自由度高，容易提高成型性。

本發明不限定於上述的實施方式，可以在權利要求記載的技術範圍內進行變形。

例如，容器主體及蓋體的形狀、容器主體可收納的基板的片數、尺寸不限定於本實施方式的容器主體2及蓋體3的形狀、容器主體2可收納的基板W的片數、尺寸。此外，本實施方式的基板W是直徑300mm的矽晶片，但是不限定於該值。

1:基板收納容器 2:容器主體 3:蓋體 4:密封部件 5:側方基板支撐部 6:裡側基板支撐部 20:壁部 21:容器主體開口部 22:裡壁 23:上壁 24:下壁 25:第一側壁 26:第二側壁 27:基板收納空間 28:開口周緣部 33:操作部 51:板部 52:支撐壁 221:腳部 222:底面 223:凹狀區域 224:線狀槽部 225:島狀區域226:澆口痕跡 227:凹部32A:上側鎖部 32B:下側鎖部 231A,231B,241A,241B:鎖卡合凹部 235:肋 236:頂端法蘭 245:識別部件 271:線狀膨出部 272:膨出部 CP:著地面 D1:前後方向 D2:上下方向 D3:左右方向 D11:前側 D12:後側 D21:上方向 D22:下方向 D31:左方向 D32:右方向 H224,H227:深度 H226:距離 W:基板

圖1是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1收納有多片基板W的狀況的分解立體圖。 圖2是從前方表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的上方立體圖。 圖3A是從後方表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。 圖3B是本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的主視圖。 圖3C是圖3A所示的A-A斷面圖。 圖4A是從後方表示本發明的第二實施方式的基板收納容器的容器主體2A的下方立體圖。 圖4B是從前方表示本發明的第二實施方式的基板收納容器的容器主體2A的上方立體圖。 圖4C是圖4A所示的B-B斷面圖。 圖5A是從後方表示本發明的第三實施方式的基板收納容器的容器主體2B的上方立體圖。 圖5B是本發明的第三實施方式的基板收納容器的容器主體2B的俯視圖。 圖5C是圖5A所示的C-C斷面圖。

1:基板收納容器

2:容器主體

3:蓋體

4:密封部件

5:側方基板支撐部

20:壁部

21:容器主體開口部

22:裡壁

23:上壁

24:下壁

25:第一側壁

26:第二側壁

27:基板收納空間

28:開口周緣部

33:操作部

235:肋

236:頂端法蘭

32A:上側鎖部

32B:下側鎖部

231A,231B,241A,241B:鎖卡合凹部

D1:前後方向

D2:上下方向

D3:左右方向

D11:前側

D12:後側

D21:上方向

D22:下方向

D31:左方向

D32:右方向

W:基板

Claims (3)

1. 一種基板收納容器，包括：容器主體，具備在前側的一端部形成有容器主體開口部且後側的另一端部由裡壁封閉的筒狀的壁部，由所述壁部的內表面形成可收納多片基板且連通於所述容器主體開口部的基板收納空間；以及蓋體，相對於所述容器主體開口部可裝拆，能夠封閉所述容器主體開口部，所述基板收納容器的特徵在於，所述裡壁具有腳部，所述腳部形成以所述裡壁向下的方式承載所述容器主體時的著地面，所述裡壁具有面向後側的澆口痕跡，所述澆口痕跡比所述著地面更位於前側。
2. 如請求項1所述的基板收納容器，其中，所述著地面由一個或多個所述腳部的底面形成，在所述底面設置有向前側凹陷的凹部，所述澆口痕跡透過配置於所述凹部，從而比所述著地面更位於前側。
3. 如請求項1所述的基板收納容器，其中，所述著地面由一個或多個腳部的底面形成，所述澆口痕跡透過配置在除所述底面以外的比所述著地面更位於前側的所述裡壁的外表面，從而比所述著地面更位於前側。