TW202300533A - 硬化性樹脂組成物及其硬化物 - Google Patents
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Abstract
本發明可提供一種能夠形成良好的形狀圖案的硬化性樹脂組成物。一種硬化性樹脂組成物,包含樹脂(A)、聚合性化合物(B)、及聚合起始劑(C),所述硬化性樹脂組成物中,聚合起始劑(C)在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長,相對於硬化性樹脂組成物中所含的固體成分的總量,聚合性化合物(B)的含量為12質量%以上且27質量%以下,且聚合起始劑(C)的含量相對於聚合性化合物(B)的含量的質量比(C/B)為26%以下。
Description
本發明是有關於一種硬化性樹脂組成物及其硬化物。
作為液晶顯示裝置中包含的構件的彩色濾光片具有在透明基板上積層有黑矩陣層、用於形成各畫素的例如紅(R)、綠(G)、藍(B)的彩色抗蝕劑層、及保護層而成的結構。另外,在彩色濾光片與電極之間,為了保持一定的間隔,形成有柱狀或條紋狀等形狀的間隔物。
所述的彩色抗蝕劑層、保護層及間隔物均可使用硬化性樹脂組成物形成。作為此種硬化性樹脂組成物,專利文獻1中記載了包含特定的色材、光聚合性化合物、及作為光起始劑的肟酯化合物的感光性著色樹脂組成物。此種硬化性樹脂組成物例如藉由以下方法而作為彩色抗蝕劑層等使用:塗佈硬化性樹脂組成物並以所希望的圖案曝光,形成包括經曝光的部分及未經曝光的部分的圖案,自該圖案僅除去經曝光的部分或僅除去未經曝光的部分的方法。
[現有技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2020-3614號公報
[發明所欲解決之課題]
例如,彩色抗蝕劑層需要形成為規定的圖案,但在形成包括經曝光的部分及未經曝光的部分的圖案後,自該圖案僅除去經曝光的部分或僅除去未經曝光的部分時,有時圖案形狀變差(例如插入量變大)。保護層或間隔物亦同樣地製造,此時,有時圖案形狀變差。因此,在形成該些彩色抗蝕劑層等時,存在對能夠形成為良好形狀的硬化性樹脂組成物的要求。
另外,近年來,在彩色抗蝕劑層等的製造步驟中,為了提高製造效率、降低對構成彩色濾光片的其他構件的影響,亦要求硬化性樹脂組成物在低溫下能夠充分硬化。
特別是,在將後烘烤的溫度設為例如150℃以下左右的低溫的情況下,由於無法期待藉由後烘烤的熱來優化圖案形狀,因此亦要求在曝光及顯影時以良好的形狀形成圖案。
因此,本發明的目的在於提供一種能夠形成良好的形狀圖案的硬化性樹脂組成物。
[解決課題之手段]
本發明者等人為了解決所述課題而進行了努力研究,結果發現藉由如下的硬化性樹脂組成物,即包含樹脂(A)、聚合性化合物(B)、及在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的聚合起始劑(C),並將聚合性化合物(B)的含量及聚合起始劑(C)的含量相對於聚合性化合物(B)的含量的質量比(C/B)調整至規定的範圍內的硬化性樹脂組成物,可解決所述課題,從而完成了本發明。即,本發明包含以下的形態。
〔1〕一種硬化性樹脂組成物,包含:樹脂(A)、聚合性化合物(B)、及聚合起始劑(C),
聚合起始劑(C)在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長,
相對於硬化性樹脂組成物中所含的固體成分的總量,聚合性化合物(B)的含量為12質量%以上且27質量%以下,且,
聚合起始劑(C)的含量相對於聚合性化合物(B)的含量的質量比(C/B)為26%以下。
〔2〕如〔1〕所述的硬化性樹脂組成物,其中聚合起始劑(C)在370 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長。
〔3〕如〔1〕或〔2〕所述的硬化性樹脂組成物,其中聚合起始劑(C)是具有咔唑骨架的化合物。
〔4〕如〔1〕至〔3〕中任一項所述的硬化性樹脂組成物,其中聚合起始劑(C)是具有硝基的化合物。
〔5〕如〔1〕至〔4〕中任一項所述的硬化性樹脂組成物,其中更含有著色劑(D)。
〔6〕一種硬化物,其為如〔1〕至〔5〕中任一項所述的硬化性樹脂組成物的硬化物。
[發明的效果]
根據本發明,可提供一種能夠形成良好的形狀圖案的硬化性樹脂組成物。
以下,對本發明的實施方式進行詳細說明。再者,本發明的範圍並不限定於在此說明的實施方式,在不脫離本發明的主旨的範圍內可進行各種變更。另外,在針對特定的參數記載有多個上限值及下限值的情況下,可將該些上限值及下限值中的任意的上限值與下限值組合而設為較佳的數值範圍。
<硬化性樹脂組成物>
本發明的硬化性樹脂組成物至少包含樹脂(A)、聚合性化合物(B)、及在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的聚合起始劑(C)。
(樹脂(A))
樹脂(A)並無特別限定,較佳為鹼可溶性樹脂。本發明的硬化性樹脂組成物可含有一種樹脂(A),亦可含有兩種以上的樹脂(A)。作為樹脂(A),例如可列舉以下的樹脂[K1]~樹脂[K6]等。
樹脂[K1]:具有源自選自由不飽和羧酸及不飽和羧酸酐所組成的群組中的至少一種單量體(a)(以下,存在稱為「(a)」的情況)的結構單元、與源自具有碳數2~4的環狀醚結構及乙烯性不飽和鍵的單量體(b)(以下,存在稱為「(b)」的情況)的結構單元的共聚物;
樹脂[K2]:具有源自(a)的結構單元與源自(b)的結構單元、以及源自可與(a)共聚的單量體(c)(其中,與(a)及(b)不同)(以下,存在稱為「(c)」的情況)的結構單元的共聚物;
樹脂[K3]:具有源自(a)的結構單元與源自(c)的結構單元的共聚物;
樹脂[K4]:具有對源自(a)的結構單元加成(b)而成的結構單元與源自(c)的結構單元的共聚物;
樹脂[K5]:具有對源自(b)的結構單元加成(a)而成的結構單元與源自(c)的結構單元的共聚物;
樹脂[K6]:具有對源自(b)的結構單元加成(a)且進而加成多元羧酸及/或羧酸酐而成的結構單元與源自(c)的結構單元的共聚物。
作為(a),具體而言,例如可列舉:
丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、鄰乙烯基苯甲酸、間乙烯基苯甲酸、對乙烯基苯甲酸等不飽和單羧酸類;
順丁烯二酸、反丁烯二酸、檸康酸、中康酸、衣康酸、3-乙烯基鄰苯二甲酸、4-乙烯基鄰苯二甲酸、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸、二甲基四氫鄰苯二甲酸、1,4-環己烯二羧酸等不飽和二羧酸類;
甲基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸、5-羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯等含有羧基的雙環不飽和化合物類;
順丁烯二酸酐、檸康酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基鄰苯二甲酸酐、4-乙烯基鄰苯二甲酸酐、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸酐、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸酐、二甲基四氫鄰苯二甲酸酐、5,6-二羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯酐等不飽和二羧酸類酐;
丁二酸單〔2-(甲基)丙烯醯基氧基乙基〕酯、鄰苯二甲酸單〔2-(甲基)丙烯醯基氧基乙基〕酯等二元以上的多元羧酸的不飽和單〔(甲基)丙烯醯基氧基烷基〕酯類;
α-(羥基甲基)丙烯酸酯般的於同一分子中含有羥基及羧基的不飽和丙烯酸酯類等。
該些中,就共聚反應性的方面或所獲得的樹脂於鹼性水溶液中的溶解性的方面而言,較佳為丙烯酸、甲基丙烯酸等。
(b)是指例如具有碳數2~4的環狀醚結構(例如,選自由氧雜環丙烷環、氧雜環丁烷環及四氫呋喃環所組成的群組中的至少一種)與乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物。(b)較佳為具有碳數2~4的環狀醚與(甲基)丙烯醯基氧基的單量體。
再者,於本說明書中,所謂「(甲基)丙烯酸」,表示選自由丙烯酸及甲基丙烯酸所組成的群組中的至少一種。「(甲基)丙烯醯基」及「(甲基)丙烯酸酯」等的表述亦具有相同的含義。
作為(b),例如可列舉具有氧雜環丙基與乙烯性不飽和鍵的單量體(b1)(以下,存在稱為「(b1)」的情況)、具有氧雜環丁基與乙烯性不飽和鍵的單量體(b2)(以下,存在稱為「(b2)」的情況)、具有四氫呋喃基與乙烯性不飽和鍵的單量體(b3)(以下,存在稱為「(b3)」的情況)等。
作為(b1),例如可列舉具有直鏈狀或分支鏈狀的脂肪族不飽和烴經環氧化而成的結構的單量體(b1-1)(以下,存在稱為「(b1-1)」的情況)、具有脂環式不飽和烴經環氧化而成的結構的單量體(b1-2)(以下,存在稱為「(b1-2)」的情況)。
作為(b1-1),可列舉:(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基縮水甘油酯、縮水甘油基乙烯基醚、鄰乙烯基苄基縮水甘油醚、間乙烯基苄基縮水甘油醚、對乙烯基苄基縮水甘油醚、α-甲基-鄰乙烯基苄基縮水甘油醚、α-甲基-間乙烯基苄基縮水甘油醚、α-甲基-對乙烯基苄基縮水甘油醚、2,3-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,4-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,5-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,6-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,4-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,5-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,6-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、3,4,5-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,4,6-三(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯等。
作為(b1-2),可列舉:乙烯基環己烯單氧化物、1,2-環氧-4-乙烯基環己烷(例如,賽羅西德(Celloxide)2000;大賽璐(Daicel)(股)製造)、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯(例如,沙克馬(Cyclomer)A400;大賽璐(Daicel)(股)製造)、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯(例如,沙克馬(Cyclomer)M100;大賽璐(Daicel)(股)製造)、(甲基)丙烯酸3,4-環氧三環[5.2.1.0
2,6]癸酯、式(BI)所表示的化合物及式(BII)所表示的化合物等。
[式(BI)及式(BII)中,R
e及R
f表示氫原子、或碳數1~4的烷基,該烷基中所含的氫原子可經羥基取代。
X
e及X
f表示單鍵、*-R
g-、*-R
g-O-、*-R
g-S-或*-R
g-NH-。
R
g表示碳數1~6的烷二基。
*表示與O的鍵結鍵]。
作為碳數1~4的烷基,可列舉:甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基等。
作為氫原子經羥基取代而成的烷基,可列舉:羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基、1-羥基丙基、2-羥基丙基、3-羥基丙基、1-羥基-1-甲基乙基、2-羥基-1-甲基乙基、1-羥基丁基、2-羥基丁基、3-羥基丁基、4-羥基丁基等。
作為R
e及R
f,較佳為可列舉氫原子、甲基、羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基,更佳為可列舉氫原子、甲基。
作為烷二基,可列舉:亞甲基、伸乙基、丙烷-1,2-二基、丙烷-1,3-二基、丁烷-1,4-二基、戊烷-1,5-二基、己烷-1,6-二基等。
作為X
e及X
f,較佳為可列舉單鍵、亞甲基、伸乙基、*-CH
2-O-及*-CH
2CH
2-O-,更佳為可列舉單鍵、*-CH
2CH
2-O-(*表示與O的鍵結鍵)。
作為(b2),更佳為具有氧雜環丁基與(甲基)丙烯醯基氧基的單量體。作為(b2),可列舉:3-甲基-3-甲基丙烯醯基氧基甲基氧雜環丁烷、3-甲基-3-丙烯醯基氧基甲基氧雜環丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯醯基氧基甲基氧雜環丁烷、3-乙基-3-丙烯醯基氧基甲基氧雜環丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯醯基氧基乙基氧雜環丁烷、3-甲基-3-丙烯醯基氧基乙基氧雜環丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯醯基氧基乙基氧雜環丁烷、3-乙基-3-丙烯醯基氧基乙基氧雜環丁烷等。
作為(b3),更佳為具有四氫呋喃基與(甲基)丙烯醯基氧基的單量體。作為(b3),具體而言可列舉丙烯酸四氫糠基酯(例如,比斯克(Biscoat)V#150,大阪有機化學工業(股)製造)、甲基丙烯酸四氫糠基酯等。
作為(b),在樹脂[K1]或樹脂[K2]的情況下,就進一步提高所獲得的彩色濾光片的耐熱性、耐化學品性等可靠性的方面而言,較佳為(b1)。
作為(c),例如可列舉:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸環戊酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環己酯、(甲基)丙烯酸三環[5.2.1.0
2,6]癸烷-8-基酯(該技術領域中,作為慣用名而稱為「(甲基)丙烯酸二環戊酯」。另外,存在稱為「(甲基)丙烯酸三環癸酯」的情況)、(甲基)丙烯酸三環[5.2.1.0
2,6]癸烯-8-基酯(該技術領域中,作為慣用名而稱為「(甲基)丙烯酸二環戊烯基酯」)、(甲基)丙烯酸二環戊基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸炔丙酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸苄酯等(甲基)丙烯酸酯類;
(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯等含羥基的(甲基)丙烯酸酯類;
順丁烯二酸二乙酯、反丁烯二酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二羧酸二酯;
雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-(2'-羥基乙基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羥基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(羥基甲基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2'-羥基乙基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二乙氧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-第三丁氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-環己基氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-雙(第三丁氧基羰基)雙環[2.2.1]庚-2-烯、5,6-雙(環己基氧基羰基)雙環[2.2.1]庚-2-烯等雙環不飽和化合物類;
N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺、N-苄基順丁烯二醯亞胺、N-琥珀醯亞胺基-3-順丁烯二醯亞胺苯甲酸酯、N-琥珀醯亞胺基-4-順丁烯二醯亞胺丁酸酯、N-琥珀醯亞胺基-6-順丁烯二醯亞胺己酸酯、N-琥珀醯亞胺基-3-順丁烯二醯亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)順丁烯二醯亞胺等二羰基醯亞胺衍生物類;
苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、乙酸乙烯酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。
該些中,較佳為(甲基)丙烯酸酯類。
樹脂[K1]中源自各個的結構單元的比率於構成樹脂[K1]的所有結構單元中較佳為
源自(a)的結構單元:2莫耳%~60莫耳%
源自(b)的結構單元:40莫耳%~98莫耳%,
更佳為
源自(a)的結構單元:10莫耳%~50莫耳%
源自(b)的結構單元:50莫耳%~90莫耳%。
若樹脂[K1]的結構單元的比率處於所述範圍內,則存在硬化性樹脂組成物的保存穩定性、形成圖案時的顯影性、以及所獲得的彩色濾光片、間隔物、保護膜等的耐溶劑性優異的傾向。
樹脂[K1]例如可參考文獻「高分子合成的實驗法」(大津隆行著、化學同人出版社(股)、第1版第1次印刷、1972年3月1日發行)中記載的方法及該文獻中記載的引用文獻而進行製造。
具體而言,可列舉將(a)及(b)的規定量、聚合起始劑及溶劑等放入反應容器中,例如利用氮氣對氧氣進行置換,藉此製成脫氧環境,並且一邊進行攪拌一邊進行加熱及保溫的方法。再者,此處所使用的聚合起始劑及溶劑等並無特別限定,可使用該領域中通常所使用者。例如,作為聚合起始劑,可列舉偶氮化合物(2,2'-偶氮雙異丁腈、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)等)或有機過氧化物(過氧化苯甲醯、過氧化-2-乙基己酸第三丁酯等),作為溶劑,只要為溶解各單體者即可,可列舉作為本發明的硬化性樹脂組成物的有機溶劑(E)而後述的溶劑等。
再者,所獲得的共聚物可直接使用反應後的溶液,亦可使用濃縮或者稀釋的溶液,亦可使用利用再沈澱等方法以固體(粉體)的形式取出者。尤其是,藉由使用本發明的硬化性樹脂組成物中所含的溶劑作為該聚合時的溶劑,可將反應後的溶液直接用於本發明的硬化性樹脂組成物的製備,因此可使本發明的硬化性樹脂組成物的製造步驟簡略化。
樹脂[K2]中源自各個的結構單元的比率於構成樹脂[K2]的所有結構單元中較佳為
源自(a)的結構單元:2莫耳%~45莫耳%
源自(b)的結構單元:2莫耳%~95莫耳%
源自(c)的結構單元:1莫耳%~65莫耳%,
更佳為
源自(a)的結構單元:5莫耳%~40莫耳%
源自(b)的結構單元:5莫耳%~80莫耳%
源自(c)的結構單元:5莫耳%~60莫耳%。
若樹脂[K2]的結構單元的比率處於所述範圍,則存在硬化性樹脂組成物的保存穩定性、形成圖案時的顯影性、以及所獲得的彩色濾光片、間隔物、保護膜等的耐溶劑性、耐熱性及機械強度優異的傾向。
樹脂[K2]例如可以與作為樹脂[K1]的製造方法而記載的方法同樣地進行製造。
樹脂[K3]中源自各個的結構單元的比率於構成樹脂[K3]的所有結構單元中較佳為
源自(a)的結構單元:2莫耳%~60莫耳%
源自(c)的結構單元:40莫耳%~98莫耳%,
更佳為
源自(a)的結構單元:10莫耳%~50莫耳%
源自(c)的結構單元:50莫耳%~90莫耳%。
樹脂[K3]例如可以與作為樹脂[K1]的製造方法而記載的方法同樣地進行製造。
樹脂[K4]可藉由如下方式製造:獲得(a)與(c)的共聚物,將(b)所具有的碳數2~4的環狀醚加成於(a)所具有的羧酸及/或羧酸酐。
首先,與作為樹脂[K1]的製造方法而記載的方法同樣地製造(a)與(c)的共聚物。該情況下,源自各個的結構單元的比率較佳為與樹脂[K3]中列舉的比率相同的比率。
其次,使(b)所具有的碳數2~4的環狀醚與所述共聚物中的源自(a)的羧酸及/或羧酸酐的一部分進行反應。
繼製造(a)與(c)的共聚物之後,將燒瓶內環境自氮氣置換為空氣,將(b)、羧酸或羧酸酐與環狀醚的反應觸媒(例如,三(二甲基胺基甲基)苯酚、三苯基膦等)及聚合抑制劑(例如,對苯二酚、甲氧基苯酚等)等放入燒瓶內,例如於60℃~130℃下反應1小時~10小時,藉此而可製造樹脂[K4]。
相對於(a)100莫耳,(b)的使用量較佳為5莫耳~80莫耳,更佳為10莫耳~75莫耳。藉由設為該範圍,而存在硬化性樹脂組成物的保存穩定性、形成圖案時的顯影性、圖案形狀、低溫下的硬化性、以及所獲得的圖案的耐溶劑性、耐熱性、機械強度及感度的平衡變良好的傾向。就環狀醚的反應性高、難以殘存未反應的(b)的方面而言,作為樹脂[K4]中使用的(b),較佳為(b1),進而佳為(b1-1)。
相對於(a)、(b)及(c)的合計量100質量份,所述反應觸媒的使用量較佳為0.001質量份~5質量份。相對於(a)、(b)及(c)的合計量100質量份,所述聚合抑制劑的使用量較佳為0.001質量份~5質量份。
添加方法、反應溫度及時間等反應條件可考慮製造設備或聚合所致的發熱量等而適宜調整。再者,可與聚合條件同樣地,考慮製造設備或聚合所致的發熱量等而適宜調整添加方法或反應溫度。
關於樹脂[K5],作為第一階段,以與所述樹脂[K1]的製造方法相同的方式獲得(b)與(c)的共聚物。與所述同樣地,所獲得的共聚物可直接使用反應後的溶液,亦可使用濃縮或者稀釋的溶液,亦可使用利用再沈澱等方法以固體(粉體)的形式取出者。
相對於構成所述共聚物的所有結構單元的合計莫耳數,源自(b)及(c)的結構單元的比率分別較佳為
源自(b)的結構單元:5莫耳%~95莫耳%
源自(c)的結構單元:5莫耳%~95莫耳%,
更佳為
源自(b)的結構單元:10莫耳%~90莫耳%
源自(c)的結構單元:10莫耳%~90莫耳%。
若樹脂[K5]的結構單元的比率處於所述範圍內,則藉由設為該範圍,存在硬化性樹脂組成物的保存穩定性、形成圖案時的顯影性、圖案形狀、低溫下的硬化性、以及所獲得圖案的耐溶劑性、耐熱性、機械強度及感度的平衡變得良好的傾向。
進而,以與樹脂[K4]的製造方法相同的條件,使(a)所具有的羧酸或羧酸酐和(b)與(c)的共聚物所具有的源自(b)的環狀醚反應,藉此而可獲得樹脂[K5]。
相對於(b)100莫耳,與所述共聚物進行反應的(a)的使用量較佳為5莫耳~100莫耳。就環狀醚的反應性高、難以殘存未反應的(b)的方面而言,作為樹脂[K5]中使用的(b),較佳為(b1),進而佳為(b1-1)。
樹脂[K6]為進一步使多元羧酸及/或羧酸酐與樹脂[K5]進行反應而得的樹脂。進一步使多元羧酸及/或羧酸酐和藉由源自(b)的環狀醚與源自(a)的羧酸或羧酸酐的反應而產生的羥基反應。
作為多元羧酸,可列舉:乙二酸、丙二酸、丁二酸、順丁烯二酸、反丁烯二酸、戊二酸、丙三羧酸(tricarballylic acid)等。作為羧酸酐,可列舉:丁二酸酐、順丁烯二酸酐、檸康酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基鄰苯二甲酸酐、4-乙烯基鄰苯二甲酸酐、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸酐、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸酐、二甲基四氫鄰苯二甲酸酐、5,6-二羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯酐等。相對於(a)的使用量1莫耳,多元羧酸及/或羧酸酐的使用量較佳為0.05莫耳~1莫耳,更佳為0.1莫耳~0.5莫耳。
作為樹脂(A),較佳為含有在側鏈具有乙烯性不飽和鍵的結構單元的樹脂(樹脂[K4]、或樹脂[K5]),更佳為具有在側鏈含有(甲基)丙烯醯基的結構單元的樹脂。
作為具有在側鏈包含(甲基)丙烯醯基的結構單元的樹脂,例如較佳為使用(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、3-甲基-3-甲基丙烯醯氧基甲基氧雜環丁烷、丙烯酸四氫糠基酯等具有(甲基)丙烯醯基的單量體作為(b)的樹脂[K4]、及使用丙烯酸、甲基丙烯酸、丁二酸單〔2-(甲基)丙烯醯氧基乙基〕酯等具有(甲基)丙烯醯基的單量體作為(a)的樹脂[K5]。
樹脂[K4]及樹脂[K5]中,作為(c),較佳為二羰基醯亞胺衍生物類及乙烯基甲苯。
樹脂(A)的聚苯乙烯換算的重量平均分子量較佳為3,000~100,000,更佳為4,000~50,000,進而佳為5,000~30,000。若分子量處於所述範圍內,則存在彩色濾光片、間隔物、保護膜等的硬度提高、殘膜率高、未曝光部對顯影液的溶解性良好、且圖案形狀提高、圖案的解析度提高的傾向。
樹脂(A)的分散度[重量平均分子量(Mw)/數量平均分子量(Mn)]較佳為1.1~6,更佳為1.2~4。
以固體成分換算計,樹脂(A)的酸價較佳為10 mg-KOH/g~170 mg-KOH/g,更佳為20 mg-KOH/g~150 mg-KOH/g,進而佳為30 mg-KOH/g~135 mg-KOH/g。此處,酸價為作為用於中和樹脂(A)1 g而所需的氫氧化鉀的量(mg)而測定的值,例如可藉由使用氫氧化鉀水溶液進行滴定而求出。
相對於硬化性樹脂組成物的固體成分的總量,樹脂(A)的含量較佳為5質量%~50質量%,更佳為8質量%~40質量%,進而佳為10質量%~35質量%。若樹脂(A)的含有率處於所述範圍內,則有容易形成圖案,並且圖案的解析度及殘膜率提升的傾向。再者,本說明書中所謂「固體成分的總量」,是指自硬化性樹脂組成物的總量中除去溶劑的含量而得的量。固體成分的總量及相對於此的各成分的含量例如可藉由液相層析法(Liquid Chromatography)或氣相層析法(Gas Chromatography)等公知的分析手段來測定。
相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)的合計量100質量份,樹脂(A)的含量較佳為10質量份以上且95質量份以下,更佳為20質量份以上且90質量份以下,進而佳為30質量份以上且85質量份以下。若樹脂(A)的含量處於所述範圍內,則所獲得的彩色濾光片、間隔物、保護膜等的耐溶劑性進一步提升。
(聚合性化合物B)
聚合性化合物(B)為可藉由自聚合起始劑(C)產生的活性自由基及/或酸而聚合的化合物,例如可列舉具有聚合性的乙烯性不飽和鍵的化合物等,較佳為(甲基)丙烯酸酯化合物。
其中,聚合性化合物(B)較佳為具有三個以上乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物。作為此種聚合性化合物,例如可列舉:三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇十(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇九(甲基)丙烯酸酯、三(2-(甲基)丙烯醯基氧基乙基)異氰脲酸酯、乙二醇改質季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、乙二醇改質二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙二醇改質季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、丙二醇改質二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。
其中,就圖案形狀的觀點而言,較佳為二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯及二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。
就圖案形狀的觀點而言,聚合性化合物(B)的重量平均分子量較佳為150以上且2,900以下,更佳為250以上且1,500以下。
相對於硬化性樹脂組成物中所含的固體成分的總量,聚合性化合物(B)的含量為12質量%以上且27質量%以下。在聚合性化合物(B)的含量小於12質量%的情況下,容易產生圖案的剝離。另外,在聚合性化合物(B)的含量超過27質量%的情況下,在對硬化性樹脂組成物的塗膜進行曝光,使該塗膜硬化時,塗膜內的硬化程度容易產生偏差,特別是塗膜深部的硬化變得不充分,從而無法獲得良好的圖案形狀。就防止圖案剝離的觀點而言,相對於硬化性樹脂組成物中所含的固體成分的總量,聚合性化合物(B)的含量較佳為13質量%以上,更佳為14質量%以上,進而佳為15質量%以上,就容易獲得良好的圖案形狀的觀點而言,較佳為26質量%以下,更佳為25質量%以下,進而佳為24質量%以下。
(聚合起始劑C)
聚合起始劑(C)是在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的聚合起始劑。本發明的硬化性樹脂組成物可含有在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的一種聚合起始劑(C),亦可含有在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的兩種以上的聚合起始劑(C),還可含有在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的一種或兩種以上的聚合起始劑(C)及在360 nm~390 nm的範圍不具有極大吸收波長的一種或兩種以上的其他聚合起始劑。
聚合起始劑(C)是可藉由光或熱的作用產生活性自由基、酸等而引發聚合的化合物。認為藉由硬化性樹脂組成物以相對於聚合性化合物(B)的含量為規定的質量比含有在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的聚合起始劑(C),在曝光-顯影步驟中,可獲得良好的形狀圖案。另外,認為可實現能夠使硬化性樹脂組成物在低溫下充分硬化。其理由尚不明確,但認為其原因在於,在對硬化性樹脂組成物的塗膜進行曝光時,在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的聚合起始劑(C)可藉由曝光有效率地產生自由基,其結果,可使硬化性樹脂組成物的硬化充分地進行。聚合起始劑(C)在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長是指,在聚合性起始劑(C)的吸收光譜中,存在至少一個在360 nm~390 nm的範圍內具有極大吸收波長的峰。聚合性起始劑(C)只要在吸收光譜中具有至少一個在360 nm~390 nm的範圍內具有極大吸收波長的峰,則可在小於360 nm或超過390 nm的範圍內具有更大的極大吸收波長。
作為聚合起始劑(C),只要是在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的聚合起始劑,則並無特別限定,可列舉:O-醯基肟化合物、苯烷基酮化合物、聯咪唑化合物、三嗪化合物及醯基氧化膦化合物。其中,較佳為O-醯基肟化合物。
另外,作為在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的聚合起始劑,較佳為具有咔唑骨架的化合物。
進而,在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的聚合起始劑較佳為具有硝基的化合物。
就容易進一步提高硬化性樹脂組成物的硬化性的觀點而言,聚合起始劑(C)較佳為在365 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長,更佳為在370 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長。
具有硝基(-NO
2)的化合物較佳為具有鍵結於芳香族環的至少一個硝基的化合物,更佳為具有鍵結於咔唑骨架中所含的芳香族環的至少一個硝基的化合物。
在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的聚合起始劑(C)較佳為具有咔唑骨架的O-醯基肟化合物。作為此種化合物,例如可列舉選自由式(c3)所表示的化合物(以下,有時稱為化合物(c3))、及式(c4)所表示的化合物(以下,有時稱為化合物(c4))所組成的群組中的至少一種。
[式(c3)及式(c4)中,
R
a表示可具有取代基的碳數6~18的芳香族烴基或可具有取代基的碳數1~15的脂肪族烴基,所述脂肪族烴基中所含的亞甲基(-CH
2-)可經取代為-O-、-CO-或-S-,所述脂肪族烴基中所含的次甲基(-CH<)可經取代為-PO
3<,所述脂肪族烴基中所含的氫原子可經OH基取代。
再者,在本說明書中,在亞甲基(-CH
2-)等經取代為-O-、-CO-或-S-等的情況下,碳數是指經取代前的碳數。
R
b表示可具有取代基的碳數6~18的芳香族烴基、可具有取代基的碳數3~36的雜環基、可具有取代基的碳數1~15的烷基、或將芳香族烴基與由該烷基衍生的烷二基組合而成的可具有取代基的基,所述烷基中所含的亞甲基(-CH
2-)可經取代為-O-、-CO-、-S-、-SO
2-或-NR
h-。R
h表示碳數6~18的芳香族烴基、碳數3~36的雜環基或碳數1~10的烷基。
R
c表示可具有取代基的碳數6~18的芳香族烴基、碳數3~36的雜環基或碳數1~10的烷基。
R
d表示可具有取代基的碳數6~18的芳香族烴基或可具有取代基的碳數3~36的雜環基。
p表示1~4的整數,較佳為表示1或2的整數,更佳為表示1。
R
a所表示的芳香族烴基的碳數較佳為6~15,更佳為6~12,進而佳為6~10。作為該芳香族烴基,可列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、聯苯基及三聯苯基等,更佳為苯基及萘基,進而佳為苯基。
另外,R
a所表示的芳香族烴基可具有一個或兩個以上的取代基。作為該取代基,可列舉與R
a的芳香族烴基可具有的取代基相同的基。
R
a所表示的脂肪族烴基的碳數較佳為1~13,更佳為2~10。作為R
a所表示的脂肪族烴基,可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、2-乙基己基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十三烷基、十四烷基及十五烷基等烷基;乙烯基、丙烯基、丁烯基、戊烯基、己烯基、庚烯基、辛烯基、壬烯基、癸烯基、十一碳烯基、十二碳烯基、十三碳烯基、十四碳烯基及十五碳烯基等烯基等。該些脂肪族烴基可為鏈狀(直鏈狀或分支鏈狀),亦可為環狀,亦可為將鏈狀基與環狀基組合而成的基。另外,R
a的脂肪族烴基中,亞甲基(-CH
2-)可經取代為-O-、-CO-或-S-,次甲基(-CH<)可經取代為-PO
3<,所述脂肪族烴基中所含的氫原子可經OH基取代。
R
a較佳為可具有取代基的鏈狀脂肪族烴基,更佳為不具有取代基的鏈狀烷基,進而佳為不具有取代基的直鏈狀或分支鏈狀烷基。
R
b所表示的芳香族烴基的碳數較佳為6~15,更佳為6~12,進而佳為6~10。作為該芳香族烴基,可列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、聯苯基、三聯苯基等,更佳為苯基、萘基,特佳為苯基。
另外,R
b所表示的芳香族烴基亦可具有一個或兩個以上的取代基。取代基較佳為於芳香族烴基的鄰位或對位進行取代。作為該取代基,可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十三烷基、十四烷基、十五烷基等碳數1~15的烷基;氟原子、氯原子、碘原子、溴原子等鹵素原子等。
作為所述取代基的烷基的碳數較佳為1~10,更佳為1~7。作為該取代基的烷基可為直鏈狀、分支鏈狀、及環狀的任一種,亦可為將鏈狀基與環狀基組合而成的基。作為該取代基的烷基中所含的亞甲基(-CH
2-)可經取代為-O-或-S-。另外,該烷基中所含的氫原子可經氟原子、氯原子、碘原子、溴原子等鹵素原子取代,較佳為經氟原子取代。
作為R
b所表示的芳香族烴基的取代基的烷基,例如可列舉下述式所表示的基等。式中,*表示鍵結鍵。
作為R
b所表示的可具有取代基的芳香族烴基,例如可列舉下述式所表示的基等。式中,*表示鍵結鍵。
作為R
b所表示的可具有取代基的芳香族烴基,較佳為下述式所表示的基。
[式中,R
i分別獨立地表示可經鹵素原子取代的碳數1~10的烷基,R
i所含的亞甲基(-CH
2-)可經取代為-O-或-S-,R
j分別獨立地表示可經鹵素原子取代的碳數1~10的烷基,q表示1~5的整數,r表示0~4的整數。其中,q+r的合計為5以下。]
作為R
i及R
j所表示的烷基,可列舉與作為R
b所表示的芳香族烴基的取代基而例示的烷基相同的基。R
i的碳數較佳為2~8,更佳為2~6。另外,R
j所表示的烷基可為直鏈狀、分支鏈狀、及環狀中的任一種,較佳為鏈狀。R
i較佳為式*-R
j1-O-R
j2所表示的基。此處,R
j2表示可經鹵素原子取代的碳數1~10的烷基。作為R
j2,較佳為碳數1~3的直鏈狀烷基。R
j1表示可經鹵素原子取代的碳數1~10的伸烷基。作為R
j1,較佳為碳數1~3的直鏈狀伸烷基。
作為R
i及R
j中所含的鹵素原子,可列舉氟原子、氯原子、碘原子、及溴原子,特佳為氟原子。
另外,在R
i中含有鹵素原子的情況下,其數量較佳為2個以上且10個以下,更佳為3個以上且6個以下。R
iO-基的取代位置較佳鄰位或對位。R
j-基的取代位置較佳為鄰位或對位,特佳為鄰位。
另外,q較佳為1~2,特佳為1。r較佳為0~2,特佳為0或1。
R
b所表示的雜環基的碳數較佳為3~20,更佳為3~10,進而佳為3~5。作為該雜環基,可列舉:吡咯基、呋喃基、噻吩基、吲哚基、苯並呋喃基及咔唑基等。
另外,R
b所表示的雜環基亦可具有一個或兩個以上的取代基。作為該取代基,可列舉與作為R
b所表示的芳香族烴基可具有的取代基而例示的基相同的基。
R
b所表示的烷基的碳數較佳為1~12。作為R
b所表示的烷基,可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十三烷基、十四烷基及十五烷基等。該些烷基可為直鏈狀、分支鏈狀、及環狀的任一種,亦可為將鏈狀基與環狀基組合而成的基。另外,R
b所表示的烷基中,亞甲基(-CH
2-)可經取代為-O-、-CO-、-S-、-SO
2-或-NR
h-,氫原子可經OH基或SH基取代。
R
h表示碳數1~10的烷基,較佳為碳數1~5的烷基,更佳為碳數1~3的烷基。該烷基可為鏈狀(直鏈狀或分支鏈狀),亦可為環狀,亦可為直鏈狀、分支鏈狀、及環狀的任一種,亦可為將鏈狀基與環狀基組合而成的基。另外,R
h的烷基中,亞甲基(-CH
2-)可經取代為-O-或-CO-。
作為R
b所表示的可具有取代基的烷基,具體而言可列舉下述式所表示的基等。*表示鍵結鍵。
進而,R
b所表示的芳香族烴基與由所述R
b所表示的烷基衍生的烷二基組合而成的基的碳數較佳為7~33,更佳為7~18,進而佳為7~12。該組合而成的基可具有一個或兩個以上的取代基,作為該取代基,可列舉與作為芳香族烴基、烷基可具有的取代基所例示的基相同的基。作為該R
b所表示的芳香族烴基與由所述R
b所表示的烷基衍生的烷二基組合而成的基,可列舉芳烷基,具體可列舉下述式所表示的基。式中,*表示鍵結鍵。
其中,作為R
b,較佳為可具有取代基的芳香族烴基或可具有取代基的烷基,更佳為可具有取代基的芳香族烴基。
R
c所表示的芳香族烴基的碳數較佳為6~15,更佳為6~12,進而佳為6~10。作為該芳香族烴基,可列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、聯苯基及三聯苯基等。
R
c所表示的雜環基的碳數較佳為3~20,更佳為3~10,進而佳為3~5。作為該雜環基,可列舉:吡咯基、呋喃基、噻吩基、吲哚基、苯並呋喃基及咔唑基等。
R
c所表示的烷基的碳數較佳為1~7,更佳為1~5,進而佳為1~3。作為該烷基,可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基及癸基等。該烷基可為直鏈狀、分支鏈狀、及環狀的任一種,亦可為將鏈狀基與環狀基組合而成的基。
作為R
c,較佳為鏈狀烷基,更佳為碳數1~5的鏈狀烷基,進而佳為碳數1~3的鏈狀烷基,特佳為甲基。
R
d所表示的芳香族烴基的碳數較佳為6~15,更佳為6~12,進而佳為6~10。作為該芳香族烴基,可列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、聯苯基及三聯苯基等,更佳為苯基及萘基。
另外,R
d所表示的芳香族烴基可具有一個或兩個以上的取代基。取代基較佳為於芳香族烴基的鄰位或對位進行取代。作為該取代基,較佳為碳數1~15的脂肪族烴基,具體而言可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基及癸基等碳數1~15的烷基;乙烯基、丙烯基、丁烯基、戊烯基、己烯基、庚烯基、壬烯基及癸烯基等碳數1~15的烯基等。
R
d所表示的芳香族烴基可具有的脂肪族烴基的碳數更佳為1~7,該脂肪族烴基可為直鏈狀、分支鏈狀、及環狀的任一種,亦可為將鏈狀基與環狀基組合而成的基。另外,該脂肪族烴基中所含的亞甲基(-CH
2-)可經取代為-O-、-CO-或-S-,次甲基(-CH<)可經取代為-N<。
作為R
d所表示的芳香族烴基可具有的脂肪族烴基,可列舉下述式所表示的基等。式中,*表示鍵結鍵。
作為R
d所表示的可具有取代基的芳香族烴基,可列舉下述式所表示的基等。式中,*表示鍵結鍵。
R
d所表示的雜環基的碳數較佳為3~20,更佳為3~10,進而佳為3~5。作為該雜環基,可列舉:吡咯基、呋喃基、噻吩基、吲哚基、苯並呋喃基及咔唑基等。
另外,R
d所表示的雜環基可具有一個或兩個以上的取代基,作為該取代基,可列舉與作為R
d所表示的芳香族烴基可具有的取代基而例示的基相同的基。
其中,R
d較佳為具有取代基的芳香族烴基,作為該取代基,較佳為碳數1~7(更佳為碳數1~3)的鏈狀烷基,取代基的個數較佳為兩個以上且五個以下。
化合物(c3)及化合物(c4)可藉由日本專利特表2014-500852號公報或國際公開第2008-078678號中記載的製造方法來製造。
化合物(c3)較佳為如下的化合物:R
a為可具有取代基的碳數1~15的烷基,R
b為可具有取代基的碳數6~18的芳香族烴基,R
c為碳數1~10的烷基,且p為1或2,
更佳為如下的化合物:R
a為可具有取代基的碳數1~4的烷基,R
b為下式所表示的基,R
c為碳數1~4的烷基,且p為1。
[式中,R
j為碳數1~3的烷基,R
i為式*-R
j1-O-R
j2所表示的基〔此處,R
j1表示碳數1~4的直鏈狀或分支狀的可經鹵素原子取代的脂肪族烴基,R
j2表示碳數1~4的直鏈狀或分支狀的可經鹵素原子取代的烷基〕,R
i及R
j中所含的氫原子可經取代為鹵素原子。q及r為1。]
作為化合物(c3)的市售品,可列舉NCI-831(艾迪科(ADEKA)公司製造)。
化合物(c4)較佳為如下的化合物:R
a為可具有取代基的碳數1~10的烷基,R
b為可具有取代基的碳數6~10的芳香族烴基,R
c為碳數1~4的烷基,且R
d表示可具有取代基的芳香族烴基。
作為化合物(c4)的市售品,可列舉:豔佳固(Irgacure)OXE03(巴斯夫(BASF)公司製造)。
苯烷基酮化合物是具有式(d4)所表示的部分結構或式(d5)所表示的部分結構的化合物。在這些部分結構中,苯環可具有取代基。
作為具有式(d4)所表示的結構的化合物,可列舉:2-甲基-2-嗎啉基-1-(4-甲硫基苯基)丙烷-1-酮、2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-2-苄基丁烷-1-酮、2-(二甲基胺基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]丁烷-1-酮等。亦可使用豔佳固(Irgacure)369、907、379(以上,巴斯夫(BASF)公司製造)等市售品。
作為具有式(d5)所表示的結構的化合物,可列舉:2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-羥基-2-甲基-1-〔4-(2-羥基乙氧基)苯基〕丙烷-1-酮、1-羥基環己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-(4-異丙烯基苯基)丙烷-1-酮的寡聚物、α,α-二乙氧基苯乙酮、苯偶醯二甲基縮酮等。
就感度的方面而言,作為苯烷基酮化合物,較佳為具有式(d4)所表示的結構的化合物。
作為聯咪唑化合物,可列舉:2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑、2,2'-雙(2,3-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基聯咪唑(例如,參照日本專利特開平6-75372號公報、日本專利特開平6-75373號公報等)、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(烷氧基苯基)聯咪唑、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(二烷氧基苯基)聯咪唑、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(三烷氧基苯基)聯咪唑(例如,參照日本專利特公昭48-38403號公報、日本專利特開昭62-174204號公報等)、4,4',5,5'-位的苯基經烷氧羰基取代的聯咪唑化合物(例如,參照日本專利特開平7-10913號公報等)等。其中,較佳為下述式所表示的化合物及該些的混合物。
作為三嗪化合物,可列舉:2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(呋喃-2-基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(4-二乙基胺基-2-甲基苯基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪等。
作為醯基膦氧化物化合物,可列舉2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基膦氧化物等。
較佳為使用所述例示的化合物中具有360 nm~390 nm的極大吸收波長的化合物作為本發明的硬化性樹脂組成物中的聚合起始劑(C)。
相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)的合計量100質量份,聚合起始劑(C)的含量較佳為0.1質量份~20質量份,更佳為0.5質量份~15質量份,進而佳為1質量份~12質量份。聚合起始劑(C)的含量處於所述範圍內時,能夠藉由曝光、顯影形成良好的形狀圖案,且容易提高低溫下的硬化性。另外,由於存在高感度化而縮短曝光時間的傾向,因此彩色濾光片等的生產率提高。
在如上所述的含有樹脂(A)、聚合性化合物(B)及聚合起始劑(C)的本發明的硬化性樹脂組成物中,聚合起始劑(C)的含量相對於聚合性化合物(B)的含量的質量比(C/B)為26%以下。這表示聚合起始劑(C)的量相對於硬化性樹脂組成物中所含的聚合性化合物(B)的量為規定的比例以下。在質量比(C/B)超過26%的情況下,換言之,在相對於聚合性化合物(B)的量而言,聚合起始劑(C)的量過多的情況下,圖案的解析度降低。就更容易提高圖案的解析度的觀點而言,聚合起始劑(C)的含量相對於聚合性化合物(B)的含量的質量比(C/B)較佳為23%以下,更佳為21%以下,進而佳為19%以下。另外,就容易提高硬化性的觀點而言,質量比(C/B)較佳為3%以上,更佳為5%以上,進而佳為7%以上,進而更佳為10%以上。
(在360 nm~390 nm的範圍不具有極大吸收波長的其他聚合起始劑)
本發明的硬化性樹脂組成物除了含有作為聚合起始劑(C)的在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長的化合物、例如所述O-醯基肟化合物等以外,可更含有在360 nm~390 nm的範圍不具有極大吸收波長的其他聚合起始劑。作為在360 nm~390 nm的範圍不具有極大吸收波長的聚合起始劑,可列舉:O-醯基肟化合物、苯烷基酮化合物、聯咪唑化合物、三嗪化合物、及醯基氧化膦化合物。作為此種其他聚合起始劑,可列舉豔佳固(Irgacure)OXE01、OXE02(以上,巴斯夫(BASF)公司製造),N-1919(艾迪科(ADEKA)公司製造)等O-醯基肟化合物。
(著色劑D)
本發明的硬化性樹脂組成物可更含有至少一種著色劑(D)。在本發明的硬化性樹脂組成物含有至少一種著色劑(D)的情況下,可較佳地使用該組成物作為用於製作彩色濾光片中的抗蝕劑層的著色硬化性樹脂組成物。另外,具有所述組成的本發明的硬化性樹脂組成物在用作彩色抗蝕劑組成物時可濃色化,容易實現所期望的顏色。著色劑可為染料及顏料中的任一種,但較佳為包含顏料。作為顏料,可使用公知的顏料,例如可列舉:顏色索引(Color Index)(染料及色彩師學會(The Society of Dyers and Colourists)出版)中分類為顏料(pigment)的顏料。
具體而言,可列舉:C.I.顏料黃1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、129、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、185、194、214等黃色顏料;
C.I.顏料橙(Pigment Orange)13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橙色顏料;
C.I.顏料紅(Pigment Red)9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265、266、268、269、273、291等紅色顏料;
C.I.顏料藍(Pigment Blue)15、15:3、15:4、15:6、16、60等藍色顏料;
C.I.顏料紫(Pigment Violet)1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料;
C.I.顏料綠(pigment green)7、36、58、59等綠色顏料;
C.I.顏料棕(pigment brown)23、25等棕色顏料;
C.I.顏料黑(pigment black)1、7等黑色顏料等。
顏料視需要亦可實施有松香處理、使用導入有酸性基或鹼性基的顏料衍生物等的表面處理、利用高分子化合物等的對顏料表面的接枝處理、利用硫酸微粒化法等的微粒化處理、或用於將雜質去除的利用有機溶劑或水等的清洗處理、離子性雜質的利用離子交換法等的去除處理等。
顏料較佳為粒徑均勻。另外,藉由含有顏料分散劑並進行分散處理,可獲得顏料於溶液中均勻分散的狀態的顏料分散液。
作為所述顏料分散劑,例如可列舉:陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性、聚酯系、多胺系、丙烯酸系等的界面活性劑。該些顏料分散劑可單獨使用,亦可組合使用兩種以上。作為顏料分散劑,以商品名可列舉:KP(信越化學工業(股)製造)、佛羅倫(Flowlen)(共榮社化學(股)製造)、索努帕斯(Solsperse)(路博潤(Lubrizol)公司製造)、埃夫卡(EFKA)(汽巴(CIBA)公司製造)、阿吉斯帕(Ajisper)(味之素精密技術(Ajinomoto Fine-Techno)(股)製造)、迪斯帕畢克(Disperbyk)(畢克化學(BYK-chemie)公司製造)等。
於使用顏料分散劑的情況下,相對於顏料的總量,所述顏料分散劑的使用量較佳為1質量%以上且100質量%以下,更佳為5質量%以上且50質量%以下。若顏料分散劑的使用量處於所述範圍,則存在獲得均勻的分散狀態的顏料分散液的傾向。
在著色劑(D)中,顏料的含量較佳為50質量%以上,更佳為70質量%以上,進而佳為90質量%以上,特佳為95質量%以上,亦可為100質量%。
著色劑(D)可含有染料。作為染料,可並無特別限定地使用公知的染料,可列舉溶劑染料、酸性染料、直接染料、媒染染料等。作為染料,例如可列舉染料索引(染料及色彩師協會(The Society of Dyers and Colourists)出版)中分類為顏料(pigment)以外的具有色相者的化合物、或染色筆記(色染(Shikisensha)公司)中記載的公知的染料。另外,根據化學結構,可列舉:偶氮染料、花青染料、三苯基甲烷染料、呫噸染料、酞菁染料、蒽醌染料、萘醌染料、醌亞胺染料、次甲基染料、偶氮次甲基染料、方酸內鎓染料、吖啶染料、苯乙烯基染料、香豆素染料、喹啉染料及硝基染料等。該些中較佳為有機溶劑可溶性染料。
具體而言,可列舉:C.I.溶劑黃(Solvent Yellow)4、14、15、23、24、38、62、63、68、82、94、98、99、117、162、163、167、189;
C.I.溶劑紅(Solvent Red)45、49、111、125、130、143、145、146、150、151、155、168、169、172、175、181、207、218、222、227、230、245、247;
C.I.溶劑橙(Solvent Orange)2、7、11、15、26、56、77、86;
C.I.溶劑紫(Solvent Violet)11、13、14、26、31、36、37、38、45、47、48、51、59、60;
C.I.溶劑藍(Solvent Blue)4、5、14、18、35、36、37、45、58、59、59:1、63、67、68、69、70、78、79、83、90、94、97、98、100、101、102、104、105、111、112、122、128、132、136、139;
C.I.溶劑綠(Solvent Green)1、3、4、5、7、28、29、32、33、34、35等C.I.溶劑染料,
C.I.酸性黃(Acid Yellow)1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、36、38、40、42、54、65、72、73、76、79、98、99、111、112、113、114、116、119、123、128、134、135、138、139、140、144、150、155、157、160、161、163、168、169、172、177、178、179、184、190、193、196、197、199、202、203、204、205、207、212、214、220、221、228、230、232、235、238、240、242、243、251;
C.I.酸性紅(Acid Red)1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、33、34、35、37、40、42、44、50、51、52、57、66、73、76、80、87、88、91、92、94、95、97、98、103、106、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、155、158、160、172、176、182、183、195、198、206、211、215、216、217、227、228、249、252、257、258、260、261、266、268、270、274、277、280、281、289、308、312、315、316、339、341、345、346、349、382、383、388、394、401、412、417、418、422、426;
C.I.酸性橙(Acid Orange)6、7、8、10、12、26、50、51、52、56、62、63、64、74、75、94、95、107、108、169、173;
C.I.酸性紫(Acid Violet)6B、7、9、15、16、17、19、21、23、24、25、30、34、38、49、72、102;
C.I.酸性藍(Acid Blue)1、3、5、7、9、11、13、15、17、18、22、23、24、25、26、27、29、34、38、40、41、42、43、45、48、51、54、59、60、62、70、72、74、75、78、80、82、83、86、87、88、90、90:1、91、92、93、93:1、96、99、100、102、103、104、108、109、110、112、113、117、119、120、123、126、127、129、130、131、138、140、142、143、147、150、151、154、158、161、166、167、168、170、171、175、182、183、184、187、192、199、203、204、205、210、213、229、234、236、242、243、256、259、267、269、278、280、285、290、296、315、324:1、335、340;
C.I.酸性綠(Acid Green)1、3、5、6、7、8、9、11、13、14、15、16、22、25、27、28、41、50、50:1、58、63、65、80、104、105、106、109等C.I.酸性染料,
C.I.直接黃(Direct Yellow)2、33、34、35、38、39、43、47、50、54、58、68、69、70、71、86、93、94、95、98、102、108、109、129、136、138、141;
C.I.直接紅(Direct Red)79、82、83、84、91、92、96、97、98、99、105、106、107、172、173、176、177、179、181、182、184、204、207、211、213、218、220、221、222、232、233、234、241、243、246、250;
C.I.直接橙(Direct Orange)26、34、39、41、46、50、52、56、57、61、64、65、68、70、96、97、106、107;
C.I.直接紫(Direct Violet)47、52、54、59、60、65、66、79、80、81、82、84、89、90、93、95、96、103、104;
C.I.直接藍(Direct Blue)1、2、3、6、8、15、22、25、28、29、40、41、42、47、52、55、57、71、76、77、78、80、81、84、85、86、90、93、94、95、97、98、99、100、101、106、107、108、109、113、114、115、117、119、120、137、149、150、153、155、156、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、170、171、172、173、188、189、190、192、193、194、195、196、198、199、200、201、202、203、207、209、210、212、213、214、222、225、226、228、229、236、237、238、242、243、244、245、246、247、248、249、250、251、252、256、257、259、260、268、274、275、293;
C.I.直接綠(Direct Green)25、27、31、32、34、37、63、65、66、67、68、69、72、77、79、82等C.I.直接染料,
C.I.分散黃(Disperse Yellow)51、54、76;
C.I.分散紫(Disperse Violet)26、27;
C.I.分散藍(Disperse Blue)1、14、56、60等C.I.分散染料,
C.I.鹼性紅(Basic Red)1、10;
C.I.鹼性藍(Basic Blue)1、3、5、7、9、19、21、22、24、25、26、28、29、40、41、45、47、54、58、59、60、64、65、66、67、68、81、83、88、89;
C.I.鹼性紫(Basic Violet)2;
C.I.鹼性紅(Basic Red)9;
C.I.鹼性綠(Basic Green)1等C.I.鹼性染料,
C.I.活性黃(Reactive Yellow)2、76、116;
C.I.活性橙(Reactive Orange)16;
C.I.活性紅(Reactive Red)36等C.I.活性染料,
C.I.媒染黃(Mordant Yellow)5、8、10、16、20、26、30、31、33、42、43、45、56、61、62、65;
C.I.媒染紅(Mordant Red)1、2、3、4、9、11、12、14、17、18、19、22、23、24、25、26、27、29、30、32、33、36、37、38、39、41、42、43、45、46、48、52、53、56、62、63、71、74、76、78、85、86、88、90、94、95;
C.I.媒染橙(Mordant Orange)3、4、5、8、12、13、14、20、21、23、24、28、29、32、34、35、36、37、42、43、47、48;
C.I.媒染紫(Mordant Violet)1、1:1、2、3、4、5、6、7、8、10、11、14、15、16、17、18、19、21、22、23、24、27、28、30、31、32、33、36、37、39、40、41、44、45、47、48、49、53、58;
C.I.媒染藍(Mordant Blue)1、2、3、7、8、9、12、13、15、16、19、20、21、22、23、24、26、30、31、32、39、40、41、43、44、48、49、53、61、74、77、83、84;
C.I.媒染綠(Mordant Green)1、3、4、5、10、13、15、19、21、23、26、29、31、33、34、35、41、43、53等C.I.媒染染料,
C.I.還原綠(Vat Green)1等C.I.還原染料等。
染料的含量在著色劑(D)中較佳為50質量%以下,更佳為30質量%以下,進而佳為10質量%以下,特佳為5質量%以下,亦可為0質量%。
相對於硬化性樹脂組成物的固體成分的總量,著色劑(D)的含量較佳為5質量%~60質量%,更佳為8質量%~55質量%,進而佳為10質量%~50質量%。著色劑(D)的含量處於所述範圍內時,製成彩色濾光片時的顏色濃度充分,且可使組成物中含有需要量的樹脂(A)或聚合性化合物(B),因此可形成機械強度充分的圖案。
特別是在要求濃色化的硬化性樹脂組成物中,相對於硬化性樹脂組成物的固體成分的總量,著色劑(D)的含量較佳為15質量%~60質量%,更佳為20質量%~55質量%,進而佳為23質量%~50質量%。著色劑(D)的含量處於所述範圍內時,製成彩色濾光片時可實現特別高的顏色濃度,同時可使組成物中含有需要量的樹脂(A)或聚合性化合物(B),因此可形成機械強度充分的圖案。
[式(I)中,R
1~R
4分別獨立地表示氫原子、可具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基、或可具有取代基的碳數6~20的一價芳香族烴基,該飽和烴基中所含的-CH
2-可經-O-、-CO-或-NR
11-取代。
R
5表示-OH、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-CO
2H、-CO
2 -Z
+、-CO
2R
8、-SO
3R
8、或-SO
2NR
9R
10。
R
6及R
7分別獨立地表示氫原子或碳數1~6的烷基。
m表示0~5的整數。當m為2以上時,多個R
5可相同亦可不同。
a表示0或1的整數。
X表示鹵素原子。
Z
+表示
+N(R
11)
4、Na
+、或K
+,四個R
11可相同亦可不同。
R
8表示碳數1~20的一價飽和烴基,該飽和烴基中所含的氫原子可經鹵素原子取代。
R
9及R
10分別獨立地表示氫原子或可具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基,該飽和烴基中所含的-CH
2-可經-O-、-CO-、-NH-、或-NR
8-取代,R
9及R
10可鍵結並與鄰接的氮原子一起形成3員環~10員環的雜環。
R
11表示氫原子、碳數1~20的一價飽和烴基、或碳數7~10的芳烷基。]
化合物(I)亦可為其互變異構體。於使用化合物(I)的情況下,呫噸染料中的化合物(I)的含量較佳為50質量%以上,更佳為70質量%以上,進而佳為90質量%以上,最佳為100質量%。
作為R
1~R
4中的碳數1~20的一價飽和烴基,例如可列舉:甲基、乙基、丙基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十二烷基、十六烷基、二十烷基等直鏈狀烷基;異丙基、異丁基、異戊基、新戊基、2-乙基己基等分支鏈狀烷基;環丙基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、三環癸基等碳數2~20的脂環式飽和烴基。在具有取代基的情況下,該飽和烴基的碳數為亦包含取代基的碳數的數。作為飽和烴基可具有的取代基,可列舉:鹵素原子、-OH、-OR
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-CO
2H、-CO
2R
8、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、-SO
2NR
9R
10、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14)。R
12、R
13及R
14分別獨立地表示碳數1~4的一價飽和烴基,該飽和烴基所含的氫原子可經鹵素原子取代。
作為R
1~R
4中的碳數6~20的一價芳香族烴基,可列舉苯基。作為具有取代基的一價芳香族烴基,可列舉:甲苯甲醯基、二甲苯基、均三甲苯基、丙基苯基、丁基苯基等。在具有取代基的情況下,該芳香族烴基的碳數為亦包括取代基的碳數的數。作為芳香族烴基可具有的取代基,可列舉:鹵素原子、-R
8、-OH、-OR
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-CO
2H、-CO
2R
8、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、-SO
2NR
9R
10、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14)。
作為R
8~R
11中的碳數1~20的一價飽和烴基,例如可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十二烷基、十六烷基、二十烷基等直鏈狀烷基;異丙基、異丁基、異戊基、新戊基、2-乙基己基等分支鏈狀烷基;環丙基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、三環癸基等碳數3~20的脂環式飽和烴基。
R
9及R
10中的碳數1~20的一價飽和烴基可具有取代基。作為該取代基,可列舉羥基、鹵素原子。
作為R
12~R
14中的碳數1~4的一價飽和烴基,例如可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基等直鏈狀烷基;異丙基、異丁基等分支鏈狀烷基等碳數1~4的脂環式飽和烴基。
Z
+為
+N(R
11)
4、Na
+或K
+,較佳為
+N(R
11)
4。較佳為
+N(R
11)
4中的4個R
11中的至少兩個為碳數5~20的一價飽和烴基。另外,4個R
11的合計碳數較佳為20~80,更佳為20~60。在化合物(I)中存在
+N(R
11)
4的情況下,R
11為該些基時,可由包含化合物(I)的本發明的負型抗蝕劑組成物形成異物少的彩色濾光片。
作為-OR
8,例如可列舉:甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、庚氧基、辛氧基、2-乙基己氧基、二十烷氧基。
作為-CO
2R
8,例如可列舉:甲氧基羰基、乙氧基羰基、丙氧基羰基、第三丁氧基羰基、己氧基羰基、二十烷氧基羰基。
作為-SR
8,例如可列舉:甲基巰基、乙基巰基、丁基巰基、己基巰基、癸基巰基、二十烷基巰基等。
作為-SO
2R
8,例如可列舉:甲基磺醯基、乙基磺醯基、丁基磺醯基、己基磺醯基、癸基磺醯基、二十烷基磺醯基。
作為-SO
3R
8,例如可列舉:甲氧基磺醯基、乙氧基磺醯基、丙氧基磺醯基、第三丁氧基磺醯基、己氧基磺醯基、二十烷氧基磺醯基。
作為-SO
2NR
9R
10,例如,可列舉:
胺磺醯基;
N-甲基胺磺醯基、N-乙基胺磺醯基、N-丙基胺磺醯基、N-異丙基胺磺醯基、N-丁基胺磺醯基、N-異丁基胺磺醯基、N-第二丁基胺磺醯基、N-第三丁基胺磺醯基、N-戊基胺磺醯基、N-(1-乙基丙基)胺磺醯基、N-(1,1-二甲基丙基)胺磺醯基、N-(1,2-二甲基丙基)胺磺醯基、N-(2,2-二甲基丙基)胺磺醯基、N-(1-甲基丁基)胺磺醯基、N-(2-甲基丁基)胺磺醯基、N-(3-甲基丁基)胺磺醯基、N-環戊基胺磺醯基、N-己基胺磺醯基、N-(1,3-二甲基丁基)胺磺醯基、N-(3,3-二甲基丁基)胺磺醯基、N-庚基胺磺醯基、N-(1-甲基己基)胺磺醯基、N-(1,4-二甲基戊基)胺磺醯基、N-辛基胺磺醯基、N-(2-乙基己基)胺磺醯基、N-(1,5-二甲基)己基胺磺醯基、N-(1,1,2,2-四甲基丁基)胺磺醯基等N-1取代胺磺醯基;
N,N-二甲基胺磺醯基、N,N-乙基甲基胺磺醯基、N,N-二乙基胺磺醯基、N,N-丙基甲基胺磺醯基、N,N-異丙基甲基胺磺醯基、N,N-第三丁基甲基胺磺醯基、N,N-丁基乙基胺磺醯基、N,N-雙(1-甲基丙基)胺磺醯基、N,N-庚基甲基胺磺醯基等N,N-2取代胺磺醯基等。
作為-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14),例如可列舉:三甲氧基矽烷基、三乙氧基矽烷基等。
R
5較佳為-CO
2H、-CO
2 -Z
+、-CO
2R
8、-SO
3 -、-SO
3 -Z
+、-SO
3H、或SO
2NHR
9,更佳為-SO
3 -、-SO
3 -Z
+、-SO
3H或SO
2NHR
9。
m表示0~5的整數,較佳為1~4,更佳為1或2,進而佳為1。
作為R
6及R
7中的碳數1~6的烷基,可列舉所述列舉的烷基中碳數1~6的烷基,較佳為碳數1~2的烷基。R
6及R
7更佳為氫原子。
作為R
11中的碳數7~10的芳烷基,可列舉:苄基、苯基乙基、苯基丁基等。
a表示0或1的整數,較佳為0。
作為化合物(I),較佳為可列舉式(Ia)所表示的化合物(以下有時稱為「化合物(Ia)」)。式(Ia)所表示的化合物可不與化合物(I)中的化合物(Ia)以外的化合物(以下有時稱為「化合物(Ib)」)組合來使用,亦可將化合物(Ia)與化合物(Ib)組合使用。另外,化合物(Ia)亦可組合兩種以上使用。
[式(Ia)中,
R
a1及R
a4分別獨立地為可具有兩個以下碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基的一價芳香族烴基。
R
a2及R
a3分別獨立地為氫原子、甲基、或乙基。
R
5~R
7、m、a、及X表示與所述相同的含義。]
作為R
a1及R
a4,可列舉與所述R
1及R
4相同的基中不具有取代基的一價芳香族烴基、或具有兩個以下碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基的一價芳香族烴基。其中,較佳為具有兩個以下碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基的一價芳香族烴基。
作為不具有取代基的一價芳香族烴基,可列舉苯基。作為具有兩個以下碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基的一價芳香族烴基,可列舉甲苯甲醯基、二甲苯基、均三甲苯基等。該芳香族烴基的碳數較佳為7~20,更佳為7~16,進而佳為7~10,最佳為8。該芳香族烴基的碳數為亦包括取代基的碳數的數。該芳香族烴基較佳為不具有該飽和脂肪族烴基以外的取代基。
與該芳香族烴基鍵結的該飽和脂肪族烴基的數量較佳為1~2,更佳為2。該飽和脂肪族烴基較佳為相對於該芳香族烴基的鍵結鍵而鍵結於鄰位或間位,更佳為鍵結於鄰位。作為該飽和脂肪族烴基,可列舉不具有取代基的飽和脂肪族烴基。該飽和脂肪族烴基的碳數較佳為1~4,更佳為1~3,進而佳為1~2,最佳為1。
作為R
a2及R
a3,可列舉:氫原子、甲基、乙基,該些中較佳為氫原子或甲基,更佳為氫原子。
作為化合物(Ib),較佳為式(Ib1)所表示的化合物(以下有時稱為「化合物(Ib1)」)。化合物(Ib1)較佳為與化合物(Ia)組合使用,亦可不與化合物(Ia)組合使用。即,呫噸染料可為化合物(Ia)及/或化合物(Ib1),較佳為化合物(Ia)、或化合物(Ia)與化合物(Ib1),更佳為化合物(Ia)。
[式(Ib1)中,R
b1~R
b4分別獨立地表示氫原子、可具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基、或者可具有取代基的碳數6~20的一價芳香族烴基,
R
b1~R
b4中所含的至少一個飽和烴基或芳香族烴基具有鹵素原子、-OH、-OR
8、-CO
2H、-CO
2R
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、-SO
2NR
9R
10、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14)作為取代基,或者R
b1~R
b4中所含的至少一個芳香族烴基具有三個以上碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基作為取代基,
R
5~R
10、R
12~R
14、m、a及X表示與所述相同的含義。]
作為R
b1及R
b4,可列舉與所述R
1及R
4相同的基中的氫原子、可具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基、可具有取代基的碳數6~20的一價芳香族烴基、或者具有三個以上碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基作為取代基的芳香族烴基。其中,較佳為可具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基、具有取代基的碳數6~20的一價芳香族烴基、或具有三個以上碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基作為取代基的芳香族烴基。
作為可具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基的碳數,較佳為1~10,更佳為2~8,進而佳為2~7。該飽和脂肪族烴基的碳數為亦包括取代基的碳數的數。作為取代基,較佳為鹵素原子、-OH、-OR
8、-CO
2H、-CO
2R
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、-SO
2NR
9R
10、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14),更佳為-OH、-OR
8、-CO
2H、-CO
2R
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14),進而佳為-OH、-OR
8、-CO
2H、-CO
2R
8、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14),最佳為-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14)。每一個飽和脂肪族烴基中,取代基的數量較佳為1~5,更佳為1~3,進而佳為1~2,最佳為1。
可具有取代基的碳數6~20的一價芳香族烴基的碳數較佳為7~20,更佳為7~16,進而佳為7~12,進而更佳為7~10,特佳為7~8,最佳為8。該芳香族烴基的碳數是亦包括取代基的碳數的數。作為取代基,較佳為碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基、鹵素原子、-OH、-OR
8、-CO
2H、-CO
2R
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、-SO
2NR
9R
10、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14),更佳為碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基、-OH、-OR
8、-CO
2H、-CO
2R
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、或-SO
2NR
9R
10。進而佳為碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基、-OR
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、或-SO
2NR
9R
10。每一個芳香族烴基中,取代基的數量較佳為1~5,更佳為1~3,進而佳為1~2,最佳為2。取代基較佳為相對於該芳香族烴基的鍵結鍵而鍵結於鄰位及/或間位,更佳為鍵結於鄰位。
具有三個以上碳數1~4的一價飽和脂肪族烴基作為取代基的芳香族烴基的碳數較佳為9~20,更佳為9~13,進而佳為9~12,最佳為9。該芳香族烴基的碳數是亦包括取代基的碳數的數。該芳香族烴基較佳為不具有該飽和脂肪族烴基以外的取代基。每一個芳香族烴基中,該飽和脂肪族烴基的個數較佳為3~5,更佳為3~4,最佳為3。該飽和脂肪族烴基較佳為相對於該芳香族烴基的鍵結鍵而鍵結於鄰位及/或對位,更佳為鍵結於鄰位及對位。該一價飽和脂肪族烴基的碳數較佳為1~5,更佳為1~3,進而佳為1~2,最佳為1。
作為R
b2及R
b3,較佳為可列舉與所述R
2及R
3相同的基中的氫原子、或可具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基。其中,更佳為可具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基,進而佳為具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基。
作為可具有取代基的碳數1~20的一價飽和烴基的碳數,較佳為1~10,更佳為1~6,進而佳為1~4。該飽和脂肪族烴基的碳數是亦包括取代基的碳數的數。作為取代基,較佳為可列舉:鹵素原子、-OH、-OR
8、-CO
2H、-CO
2R
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、-SO
2NR
9R
10、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14),更佳為-OH、-OR
8、-CO
2H、-CO
2R
8、-SO
3 -、-SO
3H、-SO
3 -Z
+、-SR
8、-SO
2R
8、-SO
3R
8、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14),進而佳為-OH、-OR
8、-CO
2H、-CO
2R
8、或-Si(OR
12)(OR
13)(OR
14),最佳為-CO
2H或-CO
2R
8。每一個飽和脂肪族烴基中,取代基的數量較佳為1~5,更佳為1~3,進而佳為1~2,最佳為1。
[表1]
| No. | R ax1 | R ax2 | R ax3 | R ax4 |
| 1 | Ph | H | H | Ph |
| 2 | Ph | CH 3 | CH 3 | Ph |
| 3 | Ph | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | Ph |
| 4 | 鄰甲苯基 | H | H | 鄰甲苯基 |
| 5 | 鄰甲苯基 | CH 3 | CH 3 | 鄰甲苯基 |
| 6 | 鄰甲苯基 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | 鄰甲苯基 |
| 7 | 間甲苯基 | H | H | 間甲苯基 |
| 8 | 間甲苯基 | CH 3 | CH 3 | 間甲苯基 |
| 9 | 間甲苯基 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | 間甲苯基 |
| 10 | 對甲苯基 | H | H | 對甲苯基 |
| 11 | 對甲苯基 | CH 3 | CH 3 | 對甲苯基 |
| 12 | 對甲苯基 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | 對甲苯基 |
| 13 | 2,6-二甲苯基 | H | H | 2,6-二甲苯基 |
| 14 | 2,6-二甲苯基 | CH 3 | CH 3 | 2,6-二甲苯基 |
| 15 | 2,6-二甲苯基 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | 2,6-二甲苯基 |
[表2]
| No. | R bx1 | R bx2 | R bx3 | R bx4 |
| 16 | CH 3 | CH 3 | CH 3 | PrTMS |
| 17 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | CH 3 | PrTMS |
| 18 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | PrTMS |
| 19 | Ph | PrCOOH | PrCOOH | Ph |
| 20 | 鄰甲苯基 | PrCOOH | PrCOOH | 鄰甲苯基 |
| 21 | 間甲苯基 | PrCOOH | PrCOOH | 間甲苯基 |
| 22 | 對甲苯基 | PrCOOH | PrCOOH | 對甲苯基 |
| 23 | 2,6-二甲苯基 | PrCOOH | PrCOOH | 2,6-二甲苯基 |
| 24 | MT1 | H | H | MT1 |
| 25 | MT1 | CH 3 | CH 3 | MT1 |
| 26 | MT1 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | MT1 |
| 27 | MT2 | H | H | MT2 |
| 28 | MT2 | CH 3 | CH 3 | MT2 |
| 29 | MT2 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | MT2 |
| 30 | MT3 | H | H | MT3 |
| 31 | MT3 | CH 3 | CH 3 | MT3 |
| 32 | MT3 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | MT3 |
| 33 | 2,4,6-均三甲苯基 | H | H | 2,4,6-均三甲苯基 |
| 34 | 2,4,6-均三甲苯基 | CH 3 | CH 3 | 2,4,6-均三甲苯基 |
| 35 | 2,4,6-均三甲苯基 | CH 3CH 2 | CH 3CH 2 | 2,4,6-均三甲苯基 |
(聚合起始助劑E)
本發明的硬化性樹脂組成物可更含有至少一種聚合起始助劑(E)。聚合起始助劑為用於促進藉由聚合起始劑而開始聚合的聚合性化合物的聚合的化合物、或增感劑。於包含聚合起始助劑(E)的情況下,通常與聚合起始劑(C)組合使用。
作為聚合起始助劑(E),可列舉:4,4'-雙(二甲基胺基)二苯甲酮(通稱為米其勒酮)、4,4'-雙(二乙基胺基)二苯甲酮、9,10-二甲氧基蒽、2,4-二乙基噻噸酮、N-苯基甘胺酸等。
於使用該些聚合起始助劑(E)的情況下,其含量相對於樹脂(A)及聚合性化合物(B)的合計量100質量份而較佳為0.1質量份~30質量份,更佳為0.5質量份~20質量份。若聚合起始助劑(E)的量處於該範圍內,則可進而以高感度形成圖案,且處於彩色濾光片等的生產率提高的傾向。
(溶劑F)
本發明的硬化性樹脂組成物可更含有至少一種溶劑(F)。溶劑並無特別限定,可使用該領域中通常使用的溶劑。例如可列舉:酯溶劑(於分子內包含-COO-且不包含-O-的溶劑)、醚溶劑(於分子內包含-O-且不包含-COO-的溶劑)、醚酯溶劑(於分子內包含-COO-與-O-的溶劑)、酮溶劑(於分子內包含-CO-且不包含-COO-的溶劑)、醇溶劑(於分子內包含OH且不包含-O-、-CO-及-COO-的溶劑)、芳香族烴溶劑、醯胺溶劑、二甲基亞碸等。
作為酯溶劑,可列舉:乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羥基異丁酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、環己醇乙酸酯及γ-丁內酯等。
作為醚溶劑,可列舉:乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氫呋喃、四氫吡喃、1,4-二噁烷、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲基乙醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚、苯甲醚、苯乙醚及甲基苯甲醚等。
作為醚酯溶劑,可列舉:甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯及二乙二醇單丁醚乙酸酯等。
作為酮溶劑,可列舉:4-羥基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、環戊酮、環己酮、二丙酮醇及異佛爾酮等。
作為醇溶劑,可列舉:甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環己醇、乙二醇、丙二醇及甘油等。
作為芳香族烴溶劑,可列舉:苯、甲苯、二甲苯及均三甲苯等。
作為醯胺溶劑,可列舉:N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺及N-甲基吡咯啶酮等。
作為溶劑(F),較佳為包含選自由醚溶劑、醚酯溶劑及酮溶劑所組成的群組中的一種以上,更佳為包含醚溶劑及醚酯溶劑,進而佳為包含丙二醇單甲醚、及丙二醇單甲醚乙酸酯。
溶劑(F)的含有率相對於本發明的硬化性樹脂組成物的總量,較佳為30質量%~80質量%,更佳為35質量%~75質量%。換言之,著色樹脂組成物的固體成分較佳為20質量%~70質量%,更佳為25質量%~65質量%。若溶劑(F)的含有率處於所述範圍內,則塗佈時的平坦性變得良好,另外,例如在含有著色劑的情況下,在形成彩色濾光片時顏色濃度不會不足,因此顯示特性存在變得良好的傾向。
(調平劑G)
本發明的硬化性樹脂組成物可更含有至少一種調平劑。作為調平劑(G),可列舉矽酮系界面活性劑、氟系界面活性劑及具有氟原子的矽酮系界面活性劑等。該些亦可於側鏈具有聚合性基。
作為矽酮系界面活性劑,可列舉分子內具有矽氧烷鍵的界面活性劑等。具體而言,可列舉:東麗矽酮(Toray silicone)DC3PA、東麗矽酮(Toray silicone)SH7PA、東麗矽酮(Toray silicone)DC11PA、東麗矽酮(Toray silicone)SH21PA、東麗矽酮(Toray silicone)SH28PA、東麗矽酮(Toray silicone)SH29PA、東麗矽酮(Toray silicone)SH30PA、東麗矽酮(Toray silicone)SH8400(商品名,東麗道康寧(Toray Dow Corning)(股)製造)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化學工業(股)製造)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF4446、TSF4452及TSF4460(日本邁圖高新材料(Momentive Performance Materials Japan)有限責任公司製造)等。
作為所述氟系界面活性劑,可列舉分子內具有氟碳鏈的界面活性劑等。具體而言,可列舉:弗拉德(Fluorad)(註冊商標)FC430、弗拉德(Fluorad)FC431(住友3M(股)製造)、美佳法(Megafac)(註冊商標)F142D、美佳法(Megafac)F171、美佳法(Megafac)F172、美佳法(Megafac)F173、美佳法(Megafac)F177、美佳法(Megafac)F183、美佳法(Megafac)F554、美佳法(Megafac)R30、美佳法(Megafac)RS-718-K(迪愛生(DIC)(股)製造)、艾福拓(Eftop)(註冊商標)EF301、艾福拓(Eftop)EF303、艾福拓(Eftop)EF351、艾福拓(Eftop)EF352(三菱材料電子化成(股)製造)、沙福隆(Surflon)(註冊商標)S381、沙福隆(Surflon)S382、沙福隆(Surflon)SC101、沙福隆(Surflon)SC105(AGC(股)製造(原旭硝子(股)))及E5844((股)大金精細化學(Daikin Fine Chemical)研究所製造)等。
作為所述具有氟原子的矽酮系界面活性劑,可列舉分子內具有矽氧烷鍵及氟碳鏈的界面活性劑等。具體而言,可列舉美佳法(Megafac)(註冊商標)R08、美佳法(Megafac)BL20、美佳法(Megafac)F475、美佳法(Megafac)F477及美佳法(Megafac)F443(迪愛生(DIC)(股)製造)等。
在包含調平劑(G)的情況下,調平劑(G)的含有率相對於硬化性樹脂組成物的總量較佳為0.0005質量%~0.2質量%,更佳為0.0008質量%~0.1質量%。再者,該含有率不包括所述顏料分散劑的含有率。若調平劑(G)的含有率處於所述範圍內,則可使彩色濾光片等的平坦性良好。
(其他成分)
本發明的硬化性樹脂組成物根據需要可包含填充劑、其他高分子化合物、密合促進劑、2,2'-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)等抗氧化劑、光穩定劑、正十二烷基硫醇等鏈轉移劑等該技術領域中公知的添加劑。
<硬化性樹脂組成物的製造方法>
本發明的硬化性樹脂組成物例如可藉由以下方式來製備:混合樹脂(A)、及聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)、以及視需要使用的著色劑(D)、聚合起始助劑(E)、溶劑(F)、調平劑(G)及其他成分。
著色劑(D)可使用所述顏料分散液來製備。藉由在顏料分散液中以成為規定的濃度的方式混合剩餘的成分,可製備目標硬化性樹脂組成物。另外,混合後的硬化性樹脂組成物較佳為利用孔徑0.01 μm~10 μm左右的過濾器進行過濾。
<彩色濾光片的製造方法>
作為由本發明的硬化性樹脂組成物製造著色圖案的方法,可列舉光微影法、噴墨法、印刷法等。其中,較佳為光微影法。光微影法是將所述著色樹脂組成物塗佈於基板,加以乾燥而形成著色組成物層,並介隔光罩對該著色組成物層進行曝光、顯影的方法。於光微影法中,藉由在曝光時不使用光罩、及/或不進行顯影,可形成作為所述著色組成物層的硬化物的著色塗膜。如此形成的著色圖案或著色塗膜是本發明的彩色濾光片。
所製作的彩色濾光片的膜厚並無特別限定,可根據目的或用途等適當調整,例如為0.1 μm~30 μm,較佳為0.1 μm~20 μm,進而佳為0.5 μm~6 μm。
作為基板,使用石英玻璃、硼矽酸玻璃、氧化鋁矽酸鹽玻璃、對表面進行了二氧化矽塗佈的鈉鈣玻璃等玻璃板;或聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚對苯二甲酸乙二酯等樹脂板;矽;於所述基板上形成有鋁、銀、銀/銅/鈀合金薄膜等者。亦可於該些基板上形成其他的彩色濾光片層、樹脂層、電晶體、電路等。
利用光微影法來形成各顏色畫素可於公知或慣用的裝置或條件下進行。例如可以如下方式來製作。
首先,將著色樹脂組成物塗佈於基板上,藉由進行加熱乾燥(預烘烤)及/或減壓乾燥而將溶劑等揮發成分去除來加以乾燥,獲得平滑的著色組成物層。
作為塗佈方法,可列舉:旋塗法、狹縫塗佈法、狹縫及旋塗法等。
進行加熱乾燥時的溫度較佳為30℃~120℃,更佳為50℃~110℃。另外,作為加熱時間,較佳為10秒~60分鐘,更佳為30秒~30分鐘。
於進行減壓乾燥的情況下,較佳為於50 Pa~150 Pa的壓力下、以20℃~25℃的溫度範圍來進行。
著色組成物層的膜厚並無特別限定,只要根據目標彩色濾光片的膜厚來適宜選擇即可。
繼而,對著色組成物層介隔用於形成目標著色圖案的光罩來進行曝光。該光罩上的圖案並無特別限定,使用與目標用途相應的圖案。
作為曝光中使用的光源,較佳為產生250 nm~450 nm的波長的光的光源。例如,可對於小於350 nm的光,使用截止該波長範圍的濾波器進行截止,或者對於436 nm附近、408 nm附近、365 nm附近的光,使用取出該些波長範圍的帶通濾波器進行選擇性取出。具體而言,作為光源,可列舉水銀燈、發光二極體、金屬鹵化物燈、鹵素燈等。另外,作為365 nm的波長基準下的曝光量,較佳為50 J/cm
2~300 J/cm
2,更佳為60 J/cm
2~200 J/cm
2,進而佳為65 J/cm
2~180 J/cm
2。
為了可對曝光面整體均勻地照射平行光線、或者進行光罩與形成有著色組成物層的基板的準確的對位,較佳為使用遮罩對準器(mask aligner)及步進機(stepper)等曝光裝置。
藉由使曝光後的著色組成物層接觸顯影液來進行顯影,而於基板上形成著色圖案。藉由顯影,著色組成物層的未曝光部溶解於顯影液中而被去除。作為顯影液,例如較佳為氫氧化鉀、碳酸氫鈉、碳酸鈉、氫氧化四甲基銨等鹼性化合物的水溶液。該些鹼性化合物於水溶液中的濃度較佳為0.01質量%~10質量%,更佳為0.03質量%~5質量%。進而,顯影液亦可包含界面活性劑。
顯影方法可為覆液法、浸漬法及噴霧法等的任一種。進而亦可於顯影時將基板傾斜為任意的角度。
顯影後,較佳為進行水洗。
進而,較佳為對所獲得的著色圖案進行後烘烤。為了形成有機電致發光(electroluminescence,EL)顯示裝置中使用的彩色濾光片,後烘烤溫度可為200℃以下,較佳為170℃以下,更佳為150℃以下。本發明中,較佳為在更低溫、例如130℃以下的溫度下進行後烘烤。後烘烤溫度的下限值較佳為70℃以上,更佳為75℃以上。後烘烤時間較佳為1分鐘~120分鐘,更佳為5分鐘~60分鐘。
後烘烤後的塗膜的膜厚例如較佳為3 μm以下,更佳為2.5 μm以下。塗膜的膜厚的下限並無特別限定,通常為0.3 μm以上,亦可為0.5 μm以上。
除了彩色濾光片以外,保護膜或間隔物等亦可與所述同樣地藉由使本發明的硬化性樹脂組成物硬化來製造。本發明亦提供一種本發明的硬化性樹脂組成物的硬化物。根據本發明的硬化性樹脂組成物,可提供對製造適合於有機EL顯示裝置的彩色濾光片等有用的、能夠形成良好的圖案形狀的硬化性樹脂組成物。
[實施例]
以下,列舉實施例更詳細地說明本發明,當然本發明不受下述實施例限制。例中,除非另有說明,否則「份」是指「質量份」,「%」是指「質量%」。
<合成例1:顏料分散液(D1)的製備>
混合:
C.I.顏料紅291 8.5份
C.I.顏料黃139 3.6份
丙烯酸系顏料分散劑 3.9份
丙二醇單甲醚乙酸酯 84.0份,
並使用珠磨機使顏料充分分散,藉此獲得顏料分散液(D1)。
<合成例2:顏料分散液(D2)的製備>
混合:
C.I.顏料綠59 8.2份
C.I.顏料黃150 3.8份
C.I.顏料黃139 0.6份
丙烯酸系顏料分散劑 3.4份
丙二醇單甲醚乙酸酯 84.0份,
並使用珠磨機使顏料充分分散,藉此獲得顏料分散液(D2)。
<合成例3:顏料分散液(D3)的製備>
混合:
C.I.顏料藍16 9.1份
粉色基(Pink Base)(太陽精細化學(Fine Chemical)公司製造) 2.3份
丙烯酸系顏料分散劑 4.6份
丙二醇單甲醚乙酸酯 84.0份,
並使用珠磨機使顏料充分分散,藉此獲得顏料分散液(D3)。
<合成例4:樹脂(A1)的製備>
在作為反應槽的帶冷卻管的可拆式燒瓶中裝入丙二醇單甲醚乙酸酯36份、丙二醇單甲醚14份,進行氮置換後,升溫至90℃。另一方面,在滴加槽1中混合N-苄基順丁烯二醯亞胺4.5份、丙烯酸10份、過氧化-2-乙基己酸第三丁酯0.6份、丙二醇單甲醚乙酸酯2份、丙二醇單甲醚2份。另外,在滴加槽2中混合乙烯基甲苯15份、正十二烷基硫醇1份。
一邊將反應溫度保持在90℃,一邊花費4.0小時自滴加槽1及滴加槽2向反應槽中勻速滴加。滴加結束後,在保持90℃、30分鐘後,投入過氧化-2-乙基己酸第三丁酯0.1份,進而在90℃下繼續反應30分鐘。然後,將反應溫度升溫至115℃,繼續反應1.5小時。暫時冷卻至室溫後,投入甲基丙烯酸縮水甘油酯15份、2,2'-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)0.06份、三乙胺0.1份,一邊使調整為氧濃度7%的氮氣-空氣混合氣體起泡,一邊升溫至110℃,進行12小時反應。然後,冷卻至室溫,獲得包含樹脂(A1)的聚合物溶液1。
對所獲得的聚合物溶液1測定各種物性,結果利用以聚苯乙烯為標準物質的凝膠滲透層析法(Gel Permeation Chromatography,GPC)測定的樹脂(A1)的重量平均分子量為13,000,在真空下在160℃下乾燥而獲得的固體成分濃度為41%,利用滴定法求出的樹脂(A1)的相對於固體成分而言的酸價為55 mgKOH/g。
<合成例5:樹脂(A2)的製備>
在作為反應槽的帶冷卻管的可拆式燒瓶中裝入丙二醇單甲醚乙酸酯40份、丙二醇單甲醚16份,進行氮置換後,升溫至90℃。另一方面,在滴加槽1中混合N-苄基順丁烯二醯亞胺4份、丙烯酸12份、過氧化-2-乙基己酸第三丁酯0.5份、丙二醇單甲醚乙酸酯2份、丙二醇單甲醚2份。另外,在滴加槽2中混合乙烯基甲苯10份、正十二烷基硫醇1份。
一邊將反應溫度保持在90℃,一邊花費4.0小時自滴加槽1及滴加槽2向反應槽中勻速滴加。滴加結束後,在保持90℃、30分鐘後,投入過氧化-2-乙基己酸第三丁酯0.1份,進而在90℃下繼續反應30分鐘。然後,將反應溫度升溫至115℃,繼續反應1.5小時。暫時冷卻至室溫後,投入甲基丙烯酸縮水甘油酯12.7份、2,2'-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)0.06份、三乙胺0.1份,一邊使調整為氧濃度7%的氮氣-空氣混合氣體起泡,一邊升溫至110℃,進行12小時反應。然後,冷卻至室溫,獲得包含樹脂(A2)的聚合物溶液2。
對所獲得的聚合物溶液2測定各種物性,結果利用以聚苯乙烯為標準物質的GPC(凝膠滲透層析法)測定的樹脂(A2)的重量平均分子量為16000,在真空下在160℃下乾燥而獲得的固體成分濃度為37%,利用滴定法求出的樹脂(A2)的相對於固體成分而言的酸價為127 mgKOH/g。
<合成例6:顏料分散液(D4)的製備>
混合:
C.I.顏料綠59 7.7份
C.I.顏料黃150 3.8份
C.I.顏料黃139 0.5份
C.I.顏料紅177 0.6份
丙烯酸系顏料分散劑 3.4份
丙二醇單甲醚乙酸酯 84.0份,
並使用珠磨機使顏料充分分散,藉此獲得顏料分散液(D4)。
<合成例7:顏料分散液(D5)的製備>
混合:
C.I.顏料藍16 9.4份
粉色基(Pink Base)(太陽精細化學公司製造) 2.1份
丙烯酸系顏料分散劑 4.6份
丙二醇單甲醚乙酸酯 84.0份,
並使用珠磨機使顏料充分分散,藉此獲得顏料分散液(D5)。
<合成例8:樹脂(A3)的製備>
在包括攪拌裝置、滴加漏斗、冷凝器、溫度計及氣體導入管的燒瓶中,加入丙二醇單甲醚乙酸酯178.0份,一邊進行氮置換一邊進行攪拌,升溫至100℃。
其次,將在包含丙烯酸2-乙基己酯249.0份、甲基丙烯酸縮水甘油酯86.0份及甲基丙烯酸二環戊酯13.3份的單體混合物中添加47.1份的二甲基2,2'-偶氮雙(2-丙酸甲酯)而得到的物質自滴加漏斗經2小時滴加到所述燒瓶中。滴加結束後,在100℃下進一步攪拌30分鐘,進行共聚反應。
然後,將燒瓶內置換為空氣,投入丙烯酸43.8份、三苯基膦1.0份及二丁基羥基甲苯1.0份,在120℃下持續反應10小時,其次,向反應體系中加入丁二酸酐22.1份,進而持續反應1.5小時,獲得重量平均分子量6500的樹脂(A3)。樹脂(A3)的相對於固體成分而言的酸價為42.3 mgKOH/g。
<合成例9:樹脂(A4)的製備>
在包括攪拌裝置、滴加漏斗、冷凝器,溫度計及氣體導入管的燒瓶中,加入丙二醇單甲醚乙酸酯276.8 g,一邊進行氮置換一邊進行攪拌,升溫至120℃。
其次,將在包含丙烯酸2-乙基己酯92.4 g、甲基丙烯酸縮水甘油酯184.9 g及甲基丙烯酸二環戊酯12.3 g的單體混合物中添加35.3 g的過氧化-2-乙基己酸第三丁酯而獲得的物質自滴加漏斗經2小時滴加到所述燒瓶中。滴加結束後,在120℃下進一步攪拌30分鐘,進行共聚反應,生成加成共聚物。
然後,將燒瓶內置換為空氣,將丙烯酸93.7 g、三苯基膦1.5 g及對甲氧基苯酚0.8 g投入到所述加成共聚物溶液中,在110℃下持續反應10小時,藉由來自甲基丙烯酸縮水甘油酯的環氧基與丙烯酸的反應而將環氧基裂解,同時在聚合物的側鏈導入聚合性不飽和鍵。其次,向反應體系中加入24.2 g丁二酸酐,在110℃下持續反應1小時,使藉由環氧基的裂解而產生的羥基與丁二酸酐反應,在側鏈上導入羧基,獲得樹脂(A4)。樹脂(A4)的重量平均分子量為6400,相對於固體成分而言的酸價為35.4 mgKOH/g。
<實施例1~實施例7及比較例1~比較例2>
(1)著色硬化性樹脂組成物的製備
將表3中記載的各成分以成為表3中記載的調配量的方式進行混合,獲得著色硬化性樹脂組成物。再者,在製備著色硬化性樹脂組成物時,以著色硬化性樹脂組成物的固體成分成為15重量%的方式混合丙二醇單甲醚乙酸酯。表3中的各成分的調配量的單位為「質量份」,著色劑(D1)~著色劑(D5)、樹脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)、其他聚合起始劑(X)及調平劑(G)的各調配量為固體成分換算。另外,各組成物中的聚合性化合物(B)相對於硬化性樹脂組成物中所含的固體成分的總量的含量、以及聚合起始劑(C)的含量相對於聚合性化合物(B)的含量的質量比(C/B)如表4所示。
聚合性化合物(B)、聚合起始劑(C)、其他聚合起始劑(X)、及調平劑(G)如下所示。
聚合性化合物(B):二季戊四醇六丙烯酸酯-二季戊四醇五丙烯酸酯(新中村化學工業(股)製造、商品名「A-9550」)
聚合起始劑(C1):下述式所表示的化合物(NCI-831)、極大吸收波長370 nm
聚合起始劑(C2):下述式所表示的化合物(巴斯夫(BASF)(股)製造,商品名「豔佳固(Irgacure)OXE03」)、極大吸收波長360 nm
其他聚合起始劑(X):下述式所表示的化合物、極大吸收波長330 nm
調平劑(G):聚醚改質矽酮油(東麗道康寧(Toray Dow Corning)(股)製造的商品名「東麗矽酮(Toray Silicone)SH8400」)
[表3]
| 著色劑 | 分散劑 | 樹脂 | 聚合性 化合物 | 聚合起始劑 | 調平劑 | ||||||||||||||
| D1 | D2 | D3 | D4 | D5 | D1 | D2 | D3 | D4 | D5 | A1 | A2 | A3 | A4 | B1 | C1 | C2 | X | G1 | |
| 實施例1 | 56 | 18 | 31 | 25 | 19 | 1 | 2 | 0.2 | |||||||||||
| 實施例2 | 56 | 15 | 18 | 36 | 23 | 2 | 0.2 | ||||||||||||
| 實施例3 | 35 | 14 | 59 | 40 | 3 | 0.2 | |||||||||||||
| 實施例4 | 38 | 15 | 20 | 34 | 36 | 7 | 0.2 | ||||||||||||
| 實施例5 | 38 | 15 | 53 | 35 | 9 | 0.2 | |||||||||||||
| 實施例6 | 56 | 15 | 53 | 23 | 4 | 0.2 | |||||||||||||
| 實施例7 | 56 | 15 | 23 | 30 | 23 | 4 | 0.2 | ||||||||||||
| 比較例1 | 30 | 12 | 21 | 26 | 54 | 7 | 0.2 | ||||||||||||
| 比較例2 | 30 | 12 | 58 | 39 | 11 | 0.2 |
(2)圖案形成性的評價
於5 cm見方的玻璃基板(益格(eagle)2000;康寧(Corning)公司製造)上,藉由旋塗法塗佈著色硬化性樹脂組成物,之後於100℃下預烘烤3分鐘,形成著色組成物層。放置冷卻後,將形成有著色組成物層的基板與石英玻璃製光罩的間隔設為50 μm,使用曝光機(TME-150RSK;拓普康(Topcon)(股)製造),於大氣環境下以100 mJ/cm
2的曝光量(365 nm基準)進行光照射。作為光罩,使用形成有100 μm線與空間圖案者。藉由將光照射後的著色組成物層於包含非離子系界面活性劑0.12%與氫氧化鉀0.04%的水系顯影液中於24℃下浸漬顯影60秒鐘,進行水洗,而獲得著色圖案。
對於所獲得的著色圖案,使用掃描型電子顯微鏡(S-4000,日立高新技術(Hitachi High-technologies)(股)製造)觀察形狀。表4示出圖1所示的圖案端部處的插入量的結果。插入量越少,形狀越接近垂直,而存在不易發生自基底的剝離等的傾向。
[表4]
| B的量 [質量%] | C/B [%] | 插入量 (μm) | |
| 實施例1 | 12.5 | 5.3 | 0.19 |
| 實施例2 | 15.3 | 8.7 | 0.60 |
| 實施例3 | 26.5 | 7.5 | 0.18 |
| 實施例4 | 24.0 | 19.4 | 0.29 |
| 實施例5 | 23.3 | 25.7 | 0.54 |
| 實施例6 | 15.2 | 17.4 | 0.38 |
| 實施例7 | 15.2 | 17.4 | 0.75 |
| 比較例1 | 36.0 | 13.0 | 1.04 |
| 比較例2 | 26.0 | 28.2 | 2.01 |
在比較例1及比較例2中,插入量大,圖案形狀不良。相反,在實施例1~實施例7中獲得的圖案的插入量小,顯示良好的圖案形狀。
無
圖1是用以說明插入量的示意圖。
Claims (6)
- 一種硬化性樹脂組成物,包含:樹脂(A)、聚合性化合物(B)、及聚合起始劑(C), 聚合起始劑(C)在360 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長, 相對於硬化性樹脂組成物中所含的固體成分的總量,聚合性化合物(B)的含量為12質量%以上且27質量%以下,且, 聚合起始劑(C)的含量相對於聚合性化合物(B)的含量的質量比(C/B)為26%以下。
- 如請求項1所述的硬化性樹脂組成物,其中聚合起始劑(C)在370 nm~390 nm的範圍具有極大吸收波長。
- 如請求項1或請求項2所述的硬化性樹脂組成物,其中聚合起始劑(C)是具有咔唑骨架的化合物。
- 如請求項1至請求項3中任一項所述的硬化性樹脂組成物,其中聚合起始劑(C)是具有硝基的化合物。
- 如請求項1至請求項4中任一項所述的硬化性樹脂組成物,其中更含有著色劑(D)。
- 一種硬化物,其為如請求項1至請求項5中任一項所述的硬化性樹脂組成物的硬化物。
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