TW202135959A - 電極導引裝置及其放電加工裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種電極導引裝置，包括有第一流體軸承以及第二流體軸承。第一流體軸承具有第一電極通孔，用以提供一線電極通過。第一流體軸承內具有複數個第一引流通道與該第一電極通孔相連通，該複數個第一引流通道導引一流體作用於該線電極上。第二流體軸承，設置於該第一流體軸承的一側，該第二流體軸承具有第二電極通孔，與該第一電極通孔相對應，用以提供線電極通過。第二流體軸承內具有複數個第二引流通道，與第二電極通孔相連通，複數個第二引流通道導引流體作用於線電極上。在一實施例中，利用電極導引裝置，本發明更提供一放電加工裝置，達到減少電極震動與降低電極損耗的功效。

Description

電極導引裝置及其放電加工裝置

本發明為一種線電極導引技術，特別是指一種用以提升電極穩定性與減少加工時電極損耗的電極導引裝置及其放電加工裝置。

隨著科技的進步，在各個領域的產業中，都有零件微小化的生產製造需求，其中微型孔在微小化的零組件中扮演重要的角色。儘管微型孔可以廣泛的應用在不同的工業領域，特別是生技、光電半導體或醫療領域中，但如何對其加工的尺寸精度或粗糙度的控制，也牽動著製程方式的演進。

細孔放電加工是細孔或深孔加工的一種主要加工方式。細孔放電加工機藉由主軸上所設置的夾頭夾持管狀電極，透過旋轉管狀電極，並自該管狀電極中噴出高壓加工液，藉由對管狀電極通電以對工件進行放電加工，進而達到在工件上達成微孔與深孔加工的目的。

請參閱圖1所示，該圖為習用細孔放電加工機示意圖。線電極10一端被旋轉夾頭11挾持，而另一端則通過固定在主軸下方之眼模12。眼模12用以拘束線電極，避免其在轉動時過大的震幅擺動影響加工精度。儘管如此，由於線電極10當進行放電加工時，因為旋轉夾頭11的軸心與線電極10之軸心會有誤差，因此當旋轉夾頭11轉動時，會造成線電極10因離心作用產生振動變形 ，雖然有眼模12的夾持，但因為線電極10本身的長度增強離心振動 作用的效果，因此，線電極10的端部偏移是常見的問題。此偏移會造成加工後的孔位偏差以及孔徑加大等不良影響，加工穩定性係無法真正滿足微型小孔加工的需求。

此外，為了配合不同微孔尺寸，線電極10也會有不同的大小。為了配合不同尺寸的管狀電極，習用的加工機中，都會有刀具庫放置不同尺寸的線電極10，以便在加工過程中，進行更換。雖然線電極10可以自動更換，但是與線電極10相配的眼模12並沒有辦法自動更換，因此通常在更換線電極10之後，使用者必須要額外手動更換眼模12，如此會增加加工所需的時間，並且降低生產加工的效率。

綜合上述，因此需要一種電極導引裝置及其放電加工裝置來解決習用技術之不足之處。

本發明提供一種電極導引裝置及其放電加工裝置，透過雙層流體軸承結構導引流體，例如：液體或氣液混合的流體或氣泡、液體與粒子混合而成的流體，與線電極接觸，使得轉動中的線電極不會和導引結構(或稱眼模)接觸，減少磨耗以及電極震動的問題。此外，透過本發明提供的設計，在加工不同尺寸的細孔或深孔時，並不需要更換眼模，避免了習用技術因為手動更換眼模而停機，無法自動化而降低生產效率的問題。

在一實施例中，本發明提供了一種電極導引裝置，包括有第一流體軸承以及第二流體軸承。第一流體軸承具有第一電極通孔，用以提供一線電極通過。第一流體軸承內具有複數個第一引流通道與該第一電極通孔相連通，該複數個第一引流通道導引一流體作用於該線電極上。第二流體軸承，設置於該第一流體軸承的一側，該第二流體軸承具有第二電極通孔，與該第一電極通孔相對應，用以提供線電極通過。第二流體軸承內具有複數個第二引流通道，與第二電極通孔相連通，複數個第二引流通道導引流體作用於線電極上。

在另一實施例中，本發明提供一種放電加工裝置，包括有一電極挾持部以及電極導引裝置。電極挾持部，用以挾持一線電極並使該線電極轉動。電極導引裝置，設置於該電極挾持部之一側，用以導引該線電極，該電極導引裝置包括有第一流體軸承以及第二流體軸承。第一流體軸承具有第一電極通孔，用以提供一線電極通過。第一流體軸承內具有複數個第一引流通道與該第一電極通孔相連通，該複數個第一引流通道導引一流體作用於該線電極上。第二流體軸承，設置於該第一流體軸承的一側，該第二流體軸承具有第二電極通孔，與該第一電極通孔相對應，用以提供線電極通過。第二流體軸承內具有複數個第二引流通道，與第二電極通孔相連通，複數個第二引流通道導引流體作用於線電極上。

在一實施例中，本發明更提供一種放電加工裝置，包括有一第一電極捲輪模組、一第二電極捲輪模組以及一對電極導引裝置。該第一電極捲輪模組，用以提供一線電極。該第二電極捲輪模組，接收該線電極。該對電極導引裝置，相互對應且相距一特定距離，且分別對應該第一與第二電極捲輪模組，其中之一電極導引裝置由該第一電極捲輪模組接收該線電極，並將該線電極傳遞至另一電極導引裝置，而被該第二電極捲輪模組所接收，每一電極導引裝置包括有一第一流體軸承以及一第二流體軸承。該第一流體軸承，係具有一第一電極通孔，用以提供由該線電極通過，該第一流體軸承內具有複數個第一引流通道，與該第一電極通孔相連通，該複數個第一引流通道導引一第一流體作用於該線電極上。該第二流體軸承，具有一第二電極通孔，與該第一電極通孔相對應，用以提供該線電極通過，該第二流體軸承內具有複數個第二引流通道，與該第二電極通孔相連通，該複數個第二引流通道導引該第一流體作用於該線電極上。

在下文將參考隨附圖式，可更充分地描述各種例示性實施例，在隨附圖式中展示一些例示性實施例。然而，本發明概念可能以許多不同形式來體現，且不應解釋為限於本文中所闡述之例示性實施例。確切而言，提供此等例示性實施例使得本發明將為詳盡且完整，且將向熟習此項技術者充分傳達本發明概念的範疇。類似數字始終指示類似元件。以下將以多種實施例配合圖式來說明電極導引裝置及其放電加工裝置，然而，下述實施例並非用以限制本發明。

請參閱圖2至4所示，其中圖2為本發明之一電極導引裝置實施例示意圖，圖3為本發明之第一流體軸承俯視示意圖，圖4為圖1之電極導引裝置之AA剖面示意圖。在本實施例中，該電極導引裝置2包括有一第一流體軸承20以及一第二流體軸承21。該第一流體軸承20，其係具有一第一電極通孔200，用以提供一線電極22通過。本實施例中，該線電極22為具有中空通道220的管狀電極。其材料可以選擇為銅，但不以此為限制。在另一實施例中，該線電極22亦可為不具有該中空通道的實芯線電極。在一實施例中，線電極22的直徑可以在0.3mm~1mm之間，但不以此為限制。該第一流體軸承20內具有複數個第一引流通道201，與該第一電極通孔200相連通，該複數個第一引流通道201導引一第一流體90作用於該線電極22上。在本實施例中，該第一流體90可以為液體或氣體，或者是氣液混合的流體，其中氣體可以為空氣或者是惰性氣體，氣體也可以為氮氣或氧氣。在一實施例中，第一流體90內更可以包含有微米或奈米微氣泡或者是微米或奈米粒子，或者是前面氣泡及粒子混合的流體，其中液體與粒子的各種組合，可以參閱日本公開專利昭59-93239所公開的液體與粒子的種類。此外，如圖3所示之實施例中，該複數個第一引流通道201數量具有八個，以該第一電極通孔200為中心，等角均勻環設在該第一流體軸承20內部。要說明的是，第一引流通道201的數量並不以八個為限制，可以根據需求而定。該複數個第一引流通道201與一進氣通道23相連通，該進氣通道23連接可以提供該第一流體之流體供應源5。

再回到圖2所示，該第二流體軸承21，設置於該第一流體軸承20的一側，該第二流體軸承21具有一第二電極通孔210，與該第一電極通孔200相對應，用以提供該線電極22通過，該第二流體軸承21內具有複數個第二引流通道211，與該第二電極通孔210相連通，該複數個第二引流通道211導引該第一流體90作用於該線電極22上。本實施例中，該第二流體軸承21的結構與第一流體軸承20可以為相同的結構或者是不同，其差異容後再述。第二流體軸承21可以與該第一流體軸承20共用流體供應源或者是各自獨立設置流體供應源。

請參閱圖4，該複數個第一引流通道201之通道中心軸與該線電極22之中心軸具有一第一夾角θ1；該複數個第二引流通道211之通道中心軸與該線電極22之中心軸具有一第一夾角θ2。而線電極22為內部具有中空通道220的電極，可以提供一第二流體91通過。在本實施例中，該第二流體91可以為液體或氣體，或者是氣液混合的流體，其中氣體可以為空氣或者是惰性氣體，氣體也可以為氮氣或氧氣。在一實施例中，第二流體91內更可以包含有微米或奈米微氣泡或者是微米或奈米粒子，或者是前面氣泡及粒子混合的流體，其中液體與粒子的各種組合，可以參閱日本公開專利昭59-93239所公開的液體與粒子的種類。該第一夾角θ1或該第二夾角θ2可以大於90度或者是小於90度。

請參閱圖5A至圖5D所示，其係分別顯示在第一與第二流體軸承20與21內的第一與第二引流通道201與211的配置示意圖。在圖5A中，第一流體軸承20的第一引流通道201的第一夾角θ1與第二流體軸承21的第二引流通道211的第二夾角θ2皆為小於90度且為相同或者不同之角度。在圖5A的實施例中，在第一流體軸承20中，第一流體90沿著第一引流通道201流動，會在第一流體軸承20形成一合成流體93，其流向向下；而在第二流體軸承21中，第一流體90沿著與第二引流通道211流動，會在第二流體軸承21形成一合成流體94，其流向向下。在圖5A所示中，S1代表第一流體軸承20中沿著第一引流通道201流動的第一流體90和線電極22接觸的位置，構成的支撐線電極22的第一支撐點。S2代表第二流體軸承21中沿著第二引流通道211流動的第一流體90和線電極22接觸的位置，構成的支撐線電極22的第二支撐點。在圖5B中，第一流體軸承20的第一引流通道201的第一夾角θ1與第二流體軸承21的第二引流通道211的第二夾角θ2皆為大於90度且為相同或不同之角度。在圖5B的實施例中，在第一流體軸承20中，第一流體90沿著第一引流通道201流動，會在第一流體軸承20形成一合成流體93，其流向向上；而在第二流體軸承21中，第一流體90沿著與第二引流通道211流動，會在第二流體軸承21形成一合成流體94，其流向向上。在圖5B所示中，S1代表第一流體軸承20中沿著第一引流通道201流動的第一流體90和線電極22接觸的位置，構成的支撐線電極22的第一支撐點。S2代表第二流體軸承21中沿著第二引流通道211流動的第一流體90和線電極22接觸的位置，構成的支撐線電極22的第二支撐點。

在圖5C中，第一流體軸承20的第一引流通道201的第一夾角θ1為大於90度，而第二流體軸承21的第二引流通道211的第二夾角θ2為小於90度。在圖5C的實施例中，在第一流體軸承20中，第一流體90沿著第一引流通道201流動，會在第一流體軸承20形成一合成流體93，其流向向上；而在第二流體軸承21中，第一流體90沿著與第二引流通道211流動，會在第二流體軸承21形成一合成流體94，其流向向下。在圖5C所示中，S1代表第一流體軸承20中沿著第一引流通道201流動的第一流體90和線電極22接觸的位置，構成的支撐線電極22的第一支撐點。S2代表第二流體軸承21中沿著第二引流通道211流動的第一流體90和線電極22接觸的位置，構成的支撐線電極22的第二支撐點。在圖5D中，第一流體軸承20的第一引流通道201的第一夾角θ1為小於90度，而第二流體軸承21的第二引流通道211的第二夾角θ2為大於90度。在圖5D的實施例中，在第一流體軸承20中，第一流體90沿著第一引流通道201流動，會在第一流體軸承20形成一合成流體93，其流向向下；而在第二流體軸承21中，第一流體90沿著與第二引流通道211流動，會在第二流體軸承21形成一合成流體94，其流向向上。在圖5D所示中，S1代表第一流體軸承20中沿著第一引流通道201流動的第一流體90和線電極22接觸的位置，構成的支撐線電極22的第一支撐點。S2代表第二流體軸承21中沿著第二引流通道211流動的第一流體90和線電極22接觸的位置，構成的支撐線電極22的第二支撐點。與前面圖5A~5C所示的合成流體93與94的流向不同，在圖5D中合成流體93和合成流體94方向相對，因此兩流體93與94在第一流體軸承20與第二流體軸承21之間交會，對線電極22產生作用力，構成了支撐線電極22的第三支撐點。

請參閱圖6所示，該圖為本發明之電極導引裝置另一實施例示意圖，其中包含有導流裝置之剖面示意圖。圖6顯示出該第一流體軸承20與該第二流體軸承21之間更具有複數個支撐柱24，使該第一流體軸承20與該第二流體軸承21之間保持一間距。在一實施例中，該間距可以做為由該第一或第二流體軸承20與21噴出的流體逸放的空間。該電極導引裝置2係更具有導流裝置25設置於該第一流體軸承20之另一側，使該第一流體軸承20位於該第二流體軸承21與該導流裝置25之間。該導流裝置25具有一第三電極通孔250，與該第一電極通孔相對應，該第三電極通孔250用以提供該線電極22通過。在本實施例中，該導流裝置25更包括有一支撐座251、一導流管252以及一連接件253。該支撐座251設置於該第一流體軸承20上，該連接件253則將該導流管252連接於該支撐座251上。在本實施例中，導流裝置25作用的目的與原理在於透過第一與第二流體軸承20與21，藉由複數個第一與第二引流通道211導引的流體產生噴射壓力成形2個支點，可抑制電極振動。此外，因線電極22在第三電極通孔250往上延伸至挾持電極的位置，兩端的軸距很長，因此産生很大的振動，透過導流裝置25導引合成往上的噴流具有抑制線電極22振動的作用，因此可再一次穩定線電極的振動。

請參閱圖7A所示，該圖為本發明之放電加工裝置之實施例示意圖。在本實施例中，該放電加工裝置3為細孔放電加工裝置或深孔放電加工裝置，但不以此為限制。該放電加工裝置3驅動線電極22對一工件92進行鑽孔加工。該放電加工裝置3包括有一電極挾持部31以及一電極導引裝置2。該電極挾持部31與放電加工裝置3之一驅動部30耦接在一起。驅動部30具有驅動裝置300，例如：馬達，透過傳動元件，例如：皮帶、齒輪組等元件將驅動裝置產生的轉動動力傳遞到電極挾持部31。該電極挾持部31，用以挾持線電極22並藉由驅動裝置300產生的轉動動力使該線電極22轉動。該電極導引裝置2設置於該電極挾持部31之一側，用以導引該線電極22。線電極22由該電極挾持部31延伸至該電極導引裝置2。該電極導引裝置2的結構係如前圖2-圖6所述，在此不作贅述。

請參閱圖7B所示，在本實施例中，基本上與圖7A相似，差異的是本實施例的流體供應源5設置在放電加工裝置3內部，並非如圖7A設置在放電加工裝置3之外部。另外在圖7C的實施例中，基本上與圖7B相似，差異的是本實施例中驅動部30的驅動裝置300，例如：馬達，的輸出軸直接與電極挾持部31耦接在一起，直接驅動電極挾持部31轉動。如圖7D所示，本實施例基本上與圖7C相似，差異的是，在本實施例中，流體供應源5設置在放電加工裝置3內部且其管路經由連接件253與第一流體軸承20與第二流體軸承21的進氣通道23耦接。此外，要說明的是細孔放電加工裝置或深孔放電加工裝置的其他元件，例如供電、機體的結構或者是承載工件平台的驅動裝置等，雖然沒有在圖中顯示，其為本領域所熟知，在此不作贅述。

請參閱圖8所示，該圖為本發明之放電加工裝置之另一實施例示意圖。在本實施例中，放電加工裝置4為放電線切割裝置，其係具有一對電極導引裝置2與2’，相互對應且相距一特定距離，且分別與該第一與第二電極捲輪模組401與406相對應。 該第一電極捲輪模組401，用以提供一線電極1。本實施例中，該第一電極捲輪模組401包括有複數個導引滑輪42a~42e藉由線電極1和該電極導引裝置2以及捲線輪41耦接。第一電極捲輪模組401更包括有輸送滾輪44與壓輪44a與144b。捲線輪41用以供應加工所需的線電極1。線捲輪41與一第一驅動馬達43a耦接。捲線輪41接收第一驅動馬達43a所提供的轉動力轉動，而釋放捲於其上的線電極1。本實施例中，導引滑輪42a~42e將捲線輪41上的線電極1導引至壓輪44a，然後送至輸送滾輪44，在經由壓輪44b送至電極導引裝置2。

電極導引裝置2的結構係如圖6所示，其各元件之說明在此不作贅述。電極導引裝置 2導引線電極1通過加工件100而被另一電極導引裝置2’所接收。之後，線電極1經由第二電極捲輪模組406的導引進行回收。在本實施例中，第二電極捲輪模組406包括有滾輪45以及電極回收滾輪47a與47b。其中，滾輪45用以將通過電極導引裝置2’的線電極1導引至導引管結構46。而導引管結構16再將線電極1導引至電極回收滾輪47a與47b而被回收捲輪(圖中未示所接收)。控制單元48用以控制和捲線輪41耦接的第一驅動馬達43a、控制與輸送滾輪44耦接的第二驅動馬達43b，以及控制與其中之一回收滾輪耦接的第三驅動馬達43c的轉動。

此外，要說明的是線切割放電加工裝置的其他元件，例如供電、機體的結構或者是承載工件平台的驅動裝置等，雖然沒有在圖中顯示，其為本領域所熟知，在此不作贅述。

請參閱圖9所示，該圖為線電極在本發明之電極導引裝置與習用之眼模導引下，震動狀態曲線圖。在圖8中，圖9-(A)代表利用習用之眼模來導引線電極的震幅量測結果；圖9-(B) 代表沒有眼模來導引線電極的震幅量測結果；圖9-(C) ~(F)分別代表利用如圖5A、圖5C、圖5D以及圖5B之電極導引裝置來導引線電極的震幅量測結果；以及圖9(G) 代表利用圖6所示的電極導引裝置，其中第一流體軸承20與該第二流體軸承21內的第一引流通道與第二引流通道是利用圖5D的配置所得到的震幅量測結果。

從上述的結果可以清楚得之，利用本發明圖5A~5D或圖6加上圖5D組合的電極導引裝置的震幅相較於習用的眼模或者是沒有設置眼模的條件下，都有良好的震幅抑制效果，可見利用本發明之設計，也就是具有複數層的流體軸承，可以降低線電極的震動。此外，特別是對於圖5D中，第一流體軸承20的第一引流通道201的第一夾角θ1為小於90度，而第二流體軸承21的第二引流通道211的第二夾角θ2為大於90度的配置其相對於其他圖5A~圖5C的實施態樣而言，有更佳的減低線電極震動的效果，其主要因素是透過角度配置的放射狀的引流通道產生兩方向相對的合成流體93與94，在第一流體軸承20與第二流體軸承21之間交會，對線電極22產生作用力，構成了支撐線電極22的第三支撐點。透過三個支撐點S1~S3對線電極22的作用，有助於抑制線電極在轉動時的震幅。如果是採用圖6多了導流裝置25以及其第一引流通道201與第二引流通道211是採用圖5D的配置，則有更好的抑制震幅的效果，其原因是因為導流裝置25可以更進一步導引向上的合成流體往挾持線電極之位置流動，有助於穩定從挾持位置到電極導引裝置之間長距離的線電極因為轉動所產生的震幅。

綜合上述，本發明提供之種電極導引裝置及其放電加工裝置，透過具有流體導引的雙層軸承結構，特別是具有角度配置的放射狀的引流通道，產生了合成的流體（往上與往下的噴流），抑制線電極振動的作用，使得轉動中的線電極不會和電極導引結構接觸，減少磨耗以及電極震動的問題，如此可以達到提升加工孔徑的精準度，提升加工效率，降低電極與電極導引裝置損耗的問題。此外，透過本發明提供的設計，在加工不同尺寸的細孔時，並不需要更換電極導引結構，因為有了雙層流體軸承的輔助，導引線電極的開孔可以相較於習用技術而言增大，在不同直徑尺寸的線電極條件下，仍然可以提供良好的抑制線電極震幅的效果，如此可以避免了習用技術因為手動更換眼模而停機，無法自動化而降低生產效率的問題。

以上所述，乃僅記載本發明為呈現解決問題所採用的技術手段之較佳實施方式或實施例而已，並非用來限定本發明專利實施之範圍。即凡與本發明專利申請範圍文義相符，或依本發明專利範圍所做的均等變化與修飾，皆為本發明專利範圍所涵蓋。

1:線電極 2、2’、2a:電極導引裝置 20:第一流體軸承 200:第一電極通孔 201:第一引流通道 21:第二流體軸承 210:第二電極通孔 211:第二引流通道 22:線電極 23:進氣通道 24:支撐柱 25:導流裝置 250:第三電極通孔 251:支撐座 252:導流管 253:連接件 3、4:放電加工裝置 400:加工件 401:第一電極捲輪模組 406:第二電極捲輪模組 41:捲線輪 42a~42e:導引滑輪 43a:第一驅動馬達 43b:第二驅動馬達 43c:第三驅動馬達 44:輸送滾輪 44a~44b:壓輪 45:滾輪 46:導引管結構 47a~47b:電極回收滾輪 48:控制單元 5:流體供應源 90:第一流體 91:第二流體 92:工件 93~94:合成流體 S1~S3:支撐點

圖1為習用細孔放電加工機示意圖。 圖2為本發明之一電極導引裝置實施例示意圖。 圖3為本發明之第一流體軸承俯視示意圖。 圖4為圖1之電極導引裝置之AA剖面示意圖。 圖5A至圖5D係分別顯示在第一與第二流體軸承內的第一與第二引流通道的配置示意圖。 圖6為本發明之電極導引裝置另一實施例示意圖。 圖7A至圖7D為本發明放電加工裝置之各個不同實施例示意圖。 圖8為本發明之放電加工裝置之另一實施例示意圖。 圖9為線電極在本發明之電極導引裝置與習用之眼模導引下，震動狀態曲線圖。

2:電極導引裝置

20:第一流體軸承

200:第一電極通孔

21:第二流體軸承

210:第二電極通孔

22:線電極

Claims (23)

1. 一種電極導引裝置，包括： 一第一流體軸承，其係具有一第一電極通孔，用以提供一線電極通過，該第一流體軸承內具有複數個第一引流通道，與該第一電極通孔相連通，該複數個第一引流通道導引一第一流體作用於該線電極上；以及 一第二流體軸承，設置於該第一流體軸承的一側，該第二流體軸承具有一第二電極通孔，與該第一電極通孔相對應，用以提供該線電極通過，該第二流體軸承內具有複數個第二引流通道，與該第二電極通孔相連通，該複數個第二引流通道導引該第一流體作用於該線電極上。
2. 如請求項1所述之電極導引裝置，其中該第一流體軸承與該第二流體軸承之間更具有複數個支撐柱，使該第一流體軸承與該第二流體軸承之間保持一間距。
3. 如請求項1所述之電極導引裝置，其係更具有導流裝置設置於該第一流體軸承之另一側，使該第一流體軸承位於該第二流體軸承與該導流裝置之間，該導流裝置具有一第三電極通孔，與該第一電極通孔相對應，該第三電極通孔用以提供該線電極通過。
4. 如請求項1所述之電極導引裝置，其中該複數個第一引流通道之通道中心軸與該線電極之中心軸具有一第一夾角，該複數個第二引流通道之通道中心軸與該線電極之中心軸具有一第二夾角。
5. 如請求項4所述之電極導引裝置，其中該第一夾角大於90度與該第二夾角大於90度、該第一夾角小於90度與該第二夾角小於90度、該第一夾角大於90度與該第二夾角小於90度，或者是該第一夾角小於90度與該第二夾角大於90度。
6. 如請求項4所述之電極導引裝置，其中該第一夾角小於90度與該第二夾角大於90度時，該複數個第一引流通道導引該第一流體形成一第一合成流體，該複數個第二引流通道導引該第一流體形成一第二合成流體，其中該第一合成流體與該第二合成流體之流向相對且方向相反。
7. 如請求項1所述之電極導引裝置，其中該第一流體內含有微米或奈米微氣泡或者是微米或奈米粒子或者是前述氣泡及粒子混合的流體。
8. 如請求項1所述之電極導引裝置，其中該線電極為具有中空通道或者不具有中空通道實芯的電極。
9. 如請求項8所述之電極導引裝置，其係更具有一第二流體通過該中空通道，該第二流體含有微米或奈米微氣泡或者是微米或奈米粒子或者是前述氣泡及粒子混合的流體。
10. 一種放電加工裝置，包括有： 一電極挾持部，用以挾持一線電極並使該線電極轉動；以及 一電極導引裝置，設置於該電極挾持部之一側，用以導引該線電極，該電極導引裝置包括有： 一第一流體軸承，其係具有一第一電極通孔，用以提供一線電極通過，該第一流體軸承內具有複數個第一引流通道，與該第一電極通孔相連通，該複數個第一引流通道導引一第一流體作用於該電極上；以及 一第二流體軸承，設置於該第一流體軸承的一側，該第二流體軸承具有一第二電極通孔，與該第一電極通孔相對應，用以提供該線電極通過，該第二流體軸承內具有複數個第二引流通道，與該第二電極通孔相連通，該複數個第二引流通道導引該第一流體作用於該電極上。
11. 如請求項10所述之放電加工裝置，其中該第一流體軸承與該第二流體軸承之間更具有複數個支撐柱，使該第一流體軸承與該第二流體軸承之間保持一間距。
12. 如請求項10所述之放電加工裝置，其係更具有導流裝置設置於該第一流體軸承之另一側，使該第一流體軸承位於該第二流體軸承與該導流裝置之間，該導流裝置具有一第三電極通孔，與該第一電極通孔相對應，該第三電極通孔用以提供該電極通過。
13. 如請求項10所述之放電加工裝置，其中該複數個第一引流通道之通道中心軸與該電極之中心軸具有一第一夾角，該複數個第二引流通道之通道中心軸與該電極之中心軸具有一第二夾角。
14. 如請求項13所述之放電加工裝置，其中該第一夾角大於90度與該第二夾角大於90度、該第一夾角小於90度與該第二夾角小於90度、該第一夾角大於90度與該第二夾角小於90度，或者是該第一夾角小於90度與該第二夾角大於90度。
15. 如請求項13所述之放電加工裝置，其中該第一夾角小於90度與該第二夾角大於90度時，該複數個第一引流通道導引該第一流體形成一第一合成流體，該複數個第二引流通道導引該第一流體形成一第二合成流體，其中該第一合成流體與該第二合成流體之流向相對且方向相反。
16. 如請求項10所述之放電加工裝置，其中該第一流體內含有微米或奈米微氣泡或者是微米或奈米粒子或者是前述氣泡及粒子混合的流體。
17. 如請求項10所述之放電加工裝置，其中該線電極為具有中空通道或者不具有中空通道實芯的電極。
18. 如請求項17所述之放電加工裝置，其係更具有一第二流體通過該中空通道，該第二流體含有微米或奈米微氣泡或者是微米或奈米粒子或者是前述氣泡及粒子混合的流體。
19. 一種放電加工裝置，包括有： 一第一電極捲輪模組，用以提供一線電極； 一第二電極捲輪模組，接收該線電極；以及 一對電極導引裝置，相互對應且相距一特定距離，且分別對應該第一與第二電極捲輪模組，其中之一電極導引裝置由該第一電極捲輪模組接收該線電極，並將該線電極傳遞至另一電極導引裝置，而被該第二電極捲輪模組所接收，每一電極導引裝置包括有： 一第一流體軸承，係具有一第一電極通孔，用以提供由該線電極通過，該第一流體軸承內具有複數個第一引流通道，與該第一電極通孔相連通，該複數個第一引流通道導引一第一流體作用於該線電極上；以及 一第二流體軸承，具有一第二電極通孔，與該第一電極通孔相對應，用以提供該線電極通過，該第二流體軸承內具有複數個第二引流通道，與該第二電極通孔相連通，該複數個第二引流通道導引該第一流體作用於該線電極上。
20. 如請求項19所述之放電加工裝置，其係更具有一導流裝置設置於該第一流體軸承之另一側，使該第一流體軸承位於該第二流體軸承與該導流裝置之間，該導流裝置具有一第三電極通孔，與該第一電極通孔相對應，該第三電極通孔用以提供該電極通過。
21. 如請求項20所述之放電加工裝置，其中該複數個第一引流通道之通道中心軸與該電極之中心軸具有一第一夾角，該複數個第二引流通道之通道中心軸與該電極之中心軸具有一第二夾角。
22. 如請求項21所述之放電加工裝置，其中該第一夾角大於90度與該第二夾角大於90度、該第一夾角小於90度與該第二夾角小於90度、該第一夾角大於90度與該第二夾角小於90度，或者是該第一夾角小於90度與該第二夾角大於90度。
23. 如請求項21所述之放電加工裝置，其中該第一夾角小於90度與該第二夾角大於90度時，該複數個第一引流通道導引該第一流體形成一第一合成流體，該複數個第二引流通道導引該第一流體形成一第二合成流體，其中該第一合成流體與該第二合成流體之流向相對且方向相反。

Images