TW201930168A

TW201930168A - 基片輸送方法和裝置

Info

Publication number: TW201930168A
Application number: TW107145319A
Authority: TW
Inventors: 路茲瑞德曼
Original assignee: 德商約拿士及瑞德曼自動化工程有限公司
Priority date: 2017-12-15
Filing date: 2018-12-14
Publication date: 2019-08-01
Also published as: DE102017222963A1; WO2019115692A1

Abstract

本發明涉及尤其用於製造太陽能電池的基片的輸送方法和輸送裝置，其中，工藝舟透過機械手被裝載基片，及/或其中，基片透過機械手從該工藝舟被卸載，其中，所述至少一個工藝舟透過舟輸送裝置在該工藝舟透過機械手裝載及/或卸載期間被輸送經過機械手的裝載區域及/或卸載區域。

Description

基片輸送方法和裝置

發明領域
本發明涉及尤其用於製造太陽能電池的基片的輸送方法和裝置。

發明背景
由基片製造太陽能電池一般需要執行許多製造步驟。這樣的製造步驟可以尤其在所謂的工藝爐中進行。尤其知道了所謂的PECVD爐，在該爐中，基片且尤其是其表面被設置抗反射膜。但也存在達成基片化學及/或熱力學改變的其它製造步驟。這些也能在相應的裝置尤其是爐中進行。

即，為了製造太陽能電池，可能需要基片的抗反射塗覆。為此，基片可以透過相應的工藝舟被送入一工藝設備中。工藝舟一般由石墨構成。

但該工藝舟並不適於例如在兩個不同的工藝設備之間的長時間輸送或送出/送入倉庫。因此，經過處理的或未經處理的基片為了輸送也佈置在所謂的轉送載具中。

因此需要將基片從這樣的轉送載具轉裝入工藝舟或反之。

DE 10 2010 026 209 A1公開了一種工藝舟裝載裝置，其設置用於給半導體晶圓蒸鍍抗反射膜的工藝過程。

發明概要
因此，提出如下技術問題，提供尤其用於製造太陽能電池的基片的輸送裝置和方法，其縮短了尤其給一個工藝舟裝滿基片的裝載時間或者尤其完全卸載工藝舟基片的卸載時間，以便尤其提高工藝設備的物料流通量。

透過具有申請專利範圍1和13的特徵的主題得到該技術問題的解決。本發明的其它的有利實施方式來自從屬申請專利範圍。

在本文中，基片尤其表示半導體坯件。基片尤其可以用於製造太陽能電池且例如設計成板片狀。另外，基片可以具有矩形的、尤其方形的底面。

此外，載具以及工藝舟均表示可以“以單放方式”佈置基片的容器。容器此時可以是開口容器，尤其是向上敞口及/或向下敞口的容器。

載具和工藝舟是技術人員所已知的，例如從前述DE 10 2010 026 209 A1中。這樣的容器尤其可以例如在邊緣部具有或形成容置機構如縫來容納單獨的基片。優選地，容置機構也允許容納多個基片，尤其是容納“基片對”。容置機構此時可以沿容器的中心軸線/縱軸線以預定距離相鄰間隔佈置。

不同於載具，工藝舟可以用於輸送基片至及/或入用於執行基片生產或加工步驟的裝置且尤其是工藝設備。此外，一個工藝舟可以容納比一個載具更多的基片或基片對。另外，工藝舟的材料可以不同於載具的材料。

工藝舟尤其可以由石墨構成。但或者工藝舟也可以由玻璃、石英或陶瓷構成。工藝舟尤其可以包含多個石墨片，它們相互平行但間隔預定距離地佈置，例如有13-27個平行佈置的石墨片。在石墨片的表面上，例如在正面和背面，可以佈置用於支承基片的保持件。在兩個相鄰的石墨片之間可以設置墊塊。每個石墨片可以包括多個部分，在每個部分，在正面及/或背面可以分別佈置一個基片。但在靠外石墨片的一部分中只能在石墨片的朝內取向的一側佈置基片。

工藝舟在此可以被分為多個部段，例如7個或8個部段。這樣的部段可以分別包括每個平行安置的石墨片的一部分。因此，石墨片部分的數量可以對應於部段數量。如果在石墨片表面上佈置基片，則可佈置在一個部段中的基片的最大數量可以對應於平行佈置的石墨片的數量的兩倍。因此，可以在一個部段中佈置例如最多24-52個基片。

舟輸送裝置表示工藝舟可藉此沿著預定的舟運動軌跡運動的裝置。舟運動軌跡尤其可以是線性運動軌跡。最好但不一定地，舟輸送裝置可以包括輸送帶尤其是循環帶。

工藝設備表示用於執行生產步驟以由基片製造期望的最終產品的裝置，其尤其可以是PECVD塗覆設備。

機械手表示用於定位至少一個、但最好是多個基片的定位機構。在此情況下，機械手可以包括相應的末端效應器例如爪、更好是吸爪。爪可以是用於同時抓取多個基片以便裝載或卸載的多指抓。爪指的數量尤其可以對應於可佈置在工藝舟的一個部段中的基片的數量或者預定數量如一半數量。機械手例如能以六個相互獨立的運動自由度使末端效應器運動。機械手最好可以是關節臂機械手。機械手具有工作空間，在這裡，機械手在該工作空間內可以抓住、重新定位和放置至少一個基片。

以下，機械手的裝載區域及/或卸載區域表示工作空間的局部區域。裝載區域及/或卸載區域尤其可以設計成正方形。裝載區域及/或卸載區域此時小於機械手的工作空間。

止擋件表示可藉此固定工藝舟位置的最好機械式部件。因此當工藝舟抵靠止擋件即與之機械接觸時，工藝舟可以在止擋件啟動狀態中位於期望的預定位置。

定中機構表示用於尤其在裝載位置及/或卸載位置上將工藝舟對準方向的機構。透過工藝舟的對準方向，可以實現佈置在工藝舟內的基片的全部或一部分對準方向。例如可以僅使下述基片對準方向，所述基片佈置在要在相應裝卸位置及/或卸載位置上卸載的部段中。對準方向在此表示工藝舟或安置在其中的基片以期望的位置及/或以期望的定向來佈置。在此情況下，每個裝載位置及/或卸載位置可以配有一個或多個定中機構。

止擋件和定中機構容許以期望精度如±10微米精度，重複定位一個工藝舟的部段例如在預定位置上。

以下，供應機構表示如下機構，基片藉此可以被送入機械手的工作空間中。送走機構表示如下機構，基片藉此可以從機械手的工作空間被送出。該供應機構用於將基片從載具送入工作空間。送走機構用於將基片從工作空間送至載具。

供應和送走機構此時可具有在工作空間內的活動的基片用容置機構，尤其是可線性運動的容置機構如主軸行程盒。在容置機構中可以佈置預定數量的基片。可容納基片的數量最好對應於佈置或可佈置在工藝舟的一個部段中的基片的數量。另外，供應和送走機構可以包括載具裝載裝置及/或卸載裝置。透過所述機構，基片可以佈置在載具內或者從載具被取出。此外，供應和送走機構可以包括輸送機構用於在活動的容置機構與載具裝載裝置及/或卸載裝置之間輸送基片。例如基片可以從在工作空間內的活動的容置機構經輸送帶被一直送到裝載裝置及/或卸載裝置。

分析和控制裝置可以包括計算裝置或者被設計成計算裝置。計算裝置例如可以包括微控制器或被設計成微控制器。

提出一種基片輸送方法，其尤其用於工藝舟的裝載及/或卸載。

在此方法中，一個工藝舟透過機械手被裝載基片。替代地但最好附加地，基片透過該機械手從該工藝舟中被卸載。裝載及/或卸載此時能以分段方式進行。一個部段的裝載及/或卸載可以在機械手的一個或多個、尤其是兩個工序中進行。因此，例如可以在第一卸載工序中將佈置該部段中的基片的第一分量（例如一半）從該部段卸載出。在第二卸載工序中，另一分量例如餘下的基片可以從該部段被卸載出。另外，例如可以在第一裝載工序中將佈置在該部段中的基片的第一分量（例如一半）佈置在該部段中。在第二裝載工序中，可以將另一分量例如餘下的基片佈置在該部段中。在此情況下，可以輪流進行不同的裝載和卸載工序。

第一分量例如可以包括佈置在一個部段的石墨片的正面上的基片，其中，另一分量包括該部段的佈置在背面上的基片。

卸下的基片此時可以被轉交至一個或多個送走機構。

裝載時，基片例如可以從供應機構、尤其是供應機構的活動的容置機構中被取出並被放置在該部段中。基片的第一分量最好從第一供應機構被取出，基片的第二分量從第二供應機構被取出。在裝卸與卸載的每個工序中可能需要分別執行預定運動，以便可靠地將基片佈置在石墨片的保持件上或從中取出。

根據本發明，所述至少一個工藝舟透過舟輸送裝置在工藝舟的裝載及/或卸載期間被輸送經過機械手的裝載區域及/或卸載區域，尤其在裝載及/或卸載工藝舟的所有部段期間。

換言之，工藝舟在透過機械手裝載及/或卸載工藝舟所有部段所需的時間內尤其沿舟運動軌跡運動。因此，工藝舟可以在所述時間內例如執行至少兩個分運動。該運動透過舟輸送裝置引起或執行。

該工藝舟可以透過該運動而沿舟運動軌跡運動到在裝載區域及/或卸載區域內的一個或多個裝載位置及/或卸載位置。在這樣的裝載位置及/或卸載位置上，工藝舟可以不運動地佈置一定時間、即沒有透過舟輸送裝置而移動，尤其以便透過機械手來裝載及/或卸載。

在裝載及/或卸載期間的運動明顯不同於迄今的裝載及/或卸載方法，因為在該方法中該工藝舟在所有部段的裝載及/或卸載期間佈置在一個恆定空間位置上，尤其是固定在那裡。

透過用機械手輸送工藝舟經過裝載區域及/或卸載區域而有利地得到了：機械手為裝載及/或卸載所走過的路程可被縮短。由此又可以有利地做到：該工藝舟能更快速地裝載及/或卸載。這又有利地導致工藝設備具有更高的物料流通量，因為它們可以更快速地被供應未經處理的基片，或經過處理的基片可更快速地從其中被送走。

此時，用於裝載及/或卸載的機械手運動過程可以匹配於該固定的裝載位置及/或卸載位置。尤其是，該運動過程可被如此編程，即，基片以期望的方式能在這樣的裝載位置及/或卸載位置上從工藝舟的部段中被取出或被佈置到該部段中。

輸送方向此時也可以被稱為x方向。一個橫向於（尤其是垂直於）x方向的方向也可以被稱為y方向。x方向和y方向尤其可以限定出一個垂直於重力方向的平面。

在另一個實施方式中，至少一個止擋件被啟動，其中，該至少一個止擋件在啟動狀態中固定在裝載區域及/或卸載區域內的工藝舟的至少一個裝載位置及/或卸載位置。

最好可以啟動兩個止擋件，其中，該裝載位置及/或卸載位置透過兩個被啟動的止擋件被固定。一個止擋件例如可以包括活動件尤其是線性活動件。

該活動件的運動軌跡走向尤其可以平行於y方向。因此，例如該活動件可移出，其中，一個工藝舟在其沿x方向運動時在活動件移出狀態中抵靠活動件。另外，該活動件可以縮入，由此工藝舟沿舟運動軌蹟的運動又被放開。

在這種情況下可以設有多個止擋件，它們固定在裝載區域及/或卸載區域內的至少兩個或超過兩個的裝載位置及/或卸載位置。

由此有利地得到工藝舟可靠佈置在匹配於機械手運動過程的位置上。例如，用於裝載及/或卸載的機械手預定運動過程可以對應於一個預定的裝載位置及/或卸載位置。

在另一個實施方式中，工藝舟透過至少一個定中機構在裝載區域及/或卸載區域內被對準方向。

該定中機構也可以被置於啟動狀態，在這裡，於是在啟動狀態中建立期望的取向。可利用至少一個定中件平行於y方向的運動來執行該定中。

當工藝舟處於裝載位置及/或卸載位置時，該定中機構優選被啟動。但也可以想到的是，該定中機構在工藝舟輸送期間被啟動，即在連續運行中。由此有利地得到匹配於機械手運動過程的工藝舟定位。

在另一個實施方式中，至少一個工藝舟的位置及/或方向對準(取向)被測定。該位置及/或方向對準可以透過至少一個相應的檢測機構如位置傳感器或圖像採集機構來測定。該位置及/或方向對準可在全局參考坐標系中被測定。

所述位置及/或方向對準可以在輸送經過裝載區域及/或卸載區域期間被測定，尤其在裝載位置及/或卸載位置上。

另外，工藝舟透過機械手的裝載及/或卸載根據所測定的位置及/或方向對準來進行。尤其是，用於裝載及/或卸載的機械手運動依據所測定的位置及/或方向對準被控制。例如當工藝舟當前位置偏離預定期望的裝載位置及/或卸載位置時，可以改變對應於一個預定的裝載位置及/或卸載位置的預定的機械手運動過程。這種改變於是可以根據所述偏離情況。

由此有利地得到機械手運動進一步更好地匹配於工藝舟的當前位置及/或方向對準。這在所述位置及/或方向對準並非僅由止擋件及/或定中機構被固定時是尤其有利的。但在這種固定的情況下，也可以實現進一步更好地匹配機械手運動。

在一個優選實施方式中，所述至少一個工藝舟以節拍方式被輸送經過機械手的裝載區域及/或卸載區域。尤其是該工藝舟能以節拍方式運動到一個、最好是多個預定的裝載位置及/或卸載位置中。節拍方式可以是指工藝舟按照舟輸送節拍運動，其中，該運動在到達目的一定時間後被中斷，換言之，工藝舟停止。因此，在各不同的舟輸送節拍之間可以有運動間歇期。這樣的節拍有利地造成機械手運動控制與工藝舟運動控制之間的良好協調性，這又導致透過機械手可靠地裝載及/或卸載。

在另一個實施方式中，該工藝舟在一個舟輸送節拍中沿舟運動軌跡輸送預定路程。另外，該路程大於或等於工藝舟的部段長度並且小於工藝舟長度。部段長度或工藝舟長度此時可以沿著工藝舟的中央縱軸線被測量。換言之，工藝舟在一個輸送節拍中被移動一個或多個部段、但不到工藝舟的整個長度。此時，可以在時間上在輸送節拍之前及/或在時間上在輸送節拍之後進行裝載及/或卸載。

由此有利地出現了一個工藝舟的不同部段可以先後運動到固定的裝載位置及/或卸載位置中。在該裝載位置及/或卸載位置中，如前所述地可以進行可靠的部段裝載及/或卸載，但在這裡同時可減少為此所需的機械手運動。

在另一個實施方式中，該路程對應於工藝舟的一個部段的長度或一個部段的長度的多倍。由此有利地得到機械手運動和工藝舟運動之間的很好協調，這導致裝載時間及/或卸載時間的顯著縮短。

在另一個實施方式中，在前後相繼的舟輸送節拍中的路程是變化的。例如一個工藝舟可以在第一舟輸送節拍中被移動第一路程。隨後可以是一個運動間歇期。在該間歇期之後的第二舟輸送節拍中，工藝舟可以移動第二路程。它可以比第一路程更長或更短。

此時，在前後相繼的舟輸送節拍中的所走過的路程被確定為路程順序。例如可以在四個前後相繼的舟輸送節拍中進行2-2-2-2輸送順序，在這裡，前後相繼的輸送節拍可分別透過一個運動間歇期被中斷。在此順序中，工藝舟在四個前後相繼的輸送節拍的每一個中，移動了對應於兩個部段長度的路程。透過在前後相繼的工藝舟輸送節拍中改變路程，可以有利地實現進一步更好地匹配於機械手運動控制。由此可以又有利地在時間上進一步加速裝載及/或卸載。

在另一實施方式中，在兩個前後緊接的舟輸送節拍之間的時間即間歇時間對應於機械手的部段專屬的裝載時間及/或卸載時間。或者，該時間對應於部段專屬的裝載時間及/或卸載時間的多倍。在這裡，多倍可以是整數多倍，但或者也可以是非整數倍。例如該時間可以對應於部段專屬的裝載時間及/或卸載時間的2倍或2.5倍。

換言之，在一個(輸送)間歇期中可以裝載及/或卸載整數個部段，但也可以裝載及/或卸載非整數個部段。在(輸送)間歇期中，工藝舟可以佈置在其中一個裝載位置及/或卸載位置中。

部段專屬的裝載時間及/或卸載時間可表示如下時間，機械手需要該時間來完全裝載及/或完全卸載該部段。部段專屬的裝載時間及/或卸載時間此時也可以是裝載位置及/或卸載位置專屬的。即，因此可能可行的是，機械手在不同裝載位置及/或卸載位置需要不同時間來完全裝載及/或卸載一個部段。

由此可以進一步改善在機械手的運動控制和工藝舟輸送之間的協調，以縮短裝載時間及/或卸載時間。

在另一個實施方式中，在前後緊接的兩個舟輸送節拍之間的時間是變化的。換言之，間歇時間變化。也由此可以進一步改善機械手運動控制與工藝舟輸送之間的協調，以縮短裝載時間及/或卸載時間。

此外，在前後相繼的舟輸送節拍中的輸送速度也是可變的。即換言之，輸送距離、輸送速度及/或間歇時間即裝載/卸載時間是可變的。

在一個替代實施方式中，該至少一個工藝舟可藉助舟輸送裝置在連續運行中被輸送經過機械手的裝載區域及/或卸載區域。在這樣的場合中，可以不規定工藝舟在此在輸送經過裝載區域及/或卸載區域時停止不動的固定的裝載位置及/或卸載位置。由此可以有利地進一步提高物料流通量。

在另一個實施方式中，多個基片透過至少兩個供應機構被送入機械手的工作空間以便透過機械手裝載工藝舟。替代地但最好附加地，透過機械手從工藝舟卸載出的基片透過至少兩個送走機構被送出機械手的工作空間。

如前所述，可以在第一卸載工序中將從工藝舟的第一部段卸載的基片送至第一送走機構，藉此將基片送出機械手的工作空間。在另一個卸載工序中，其它基片可以從該工藝舟的第一部段或另一個部段或從另一個工藝舟的一部段被送至另一個送走機構，藉此將該基片送出該機械手的工作空間。

相應地，可以在第一裝載工序中將基片從第一供應機構送入該工藝舟的第一部段中。在另一個裝載工序中，其它基片可以從第二供應機構被送入工藝舟的第一部段或另一個部段或者另一個工藝舟的一個部段。

透過設置至少兩個供應機構及/或送走機構，可以有利地提高在載具和工藝舟之間轉運基片時的物料流通量。

還提出一種尤其用於太陽能電池製造的基片的輸送裝置。該裝置包括至少一個用於基片輸送的機械手和至少一個用於工藝舟輸送的舟輸送裝置。

根據本發明，所述至少一個工藝舟借助舟輸送裝置在工藝舟透過機械手裝載及/或卸載期間可以被輸送經過機械手的裝載區域及/或卸載區域。

借助該裝置，可以有利地執行根據本文所述的實施方式的方法。換言之，該裝置如此配置，即這樣的方法可利用該裝置來執行。

在另一個實施方式中，該裝置包括至少一個可啟動的止擋件，其中，該至少一個止擋件在啟動狀態中固定在裝載區域及/或卸載區域中的工藝舟的至少一個裝載位置及/或卸載位置。所述的和相應的優點如前所述。

在另一個實施方式中，該裝置包括至少一個可啟動的定中機構，其中，該至少一個定中機構在啟動狀態中根據預定位置將工藝舟對準方向。所述的和相應的優點如前所述。

在另一個實施方式中，該裝置包括至少兩個供應機構，其中，基片可以透過所述兩個供應機構被送入機械手的工作空間以便透過機械手裝載工藝舟。替代地或附加地，該裝置包括至少兩個送走機構，其中，透過機械手從工藝舟被卸載的基片透過至少兩個送走機構可從機械手的工作空間被送出。所述的和相應的優點如前所述。

在這裡，具有兩個供應機構及/或兩個送走機構的基片輸送裝置可以是與“在透過舟輸送裝置裝載及/或卸載時的工藝舟輸送”無關的發明。因此描述了尤其用於製造太陽能電池的基片的輸送方法和裝置，其中，工藝舟透過機械手被裝載基片，及/或其中，基片透過機械手從工藝舟被卸載。此外，基片透過至少兩個供應機構被送入機械手的工作空間以便裝載工藝舟。替代地或附加地，透過機械手從工藝舟卸載的基片透過至少兩個送走機構從機械手的工作空間被送出。由此可以有利地提高在載具與工藝舟之間輸送基片時的物料流通量。

較佳實施例之詳細說明
以下，用相同的附圖標記表示相同的或相似的技術特徵。

圖1示出本發明的工藝舟B的俯視示意圖。工藝舟B由石墨構成且包括多個相互平行但以預定間隔佈置的石墨片1。圖1舉例示出了四個石墨片1。在石墨片1的表面上，尤其不僅在正面也在背面設置多個基片2，其中為了概覽起見，僅一個基片2帶有附圖標記。為此，石墨片1可以具有用於支承基片2的保持件(未示出)。示出了在外石墨片1中僅在石墨片1的向內取向的一側設置一個基片2。

每個石墨片1包括多個部分，在這裡，圖1舉例示出了四個部分。在每個部分中分別恰好有一個基片2佈置在石墨片1的正面及/或背面上。工藝舟B包括多個部段S，其中，一個部段S分別包括四個平行佈置的石墨片1的每一個的一個部分。因此，工藝舟B包括四個部段S。在此示出了在每個部段S中設置六個基片2。所述部分和進而還有部段S沿著工藝舟B的中央縱軸線前後相繼佈置。

還示出了工藝舟B的長度L_B，其中，該長度L_B沿工藝舟B的縱軸線被測定。也示出了每個部段S的長度L_S，其中，該長度L_S也沿著工藝舟B的縱軸線被測定。

圖2示出了根據本發明的基片2輸送用裝置3(見圖1)的俯視示意圖。示出了裝置3包括設計呈關節臂機械手形式的機械手4。還示出了呈輸送帶、尤其是循環輸送帶形式的舟輸送裝置5。借助舟輸送裝置5，工藝舟B1、B2可以沿由箭頭6象徵的線性的舟運動軌跡運動。圖2舉例示出了各有四個部段S的第一工藝舟B1和第二工藝舟B2。

另外，裝置3包括第一對可啟動的止擋件7a、第二對可啟動的止擋件7b、第三對可啟動的止擋件7c和第四對可啟動的止擋件7d。可啟動的止擋件7a、7b分別包括活動件8，其在止擋件7a~7d的啟動狀態中被置入移出狀態並在停用狀態中被置入移入狀態。在移出狀態中如此佈置活動件8，一個工藝舟B1、B2在透過舟輸送裝置5輸送時能抵靠活動件8。如果工藝舟B1、B2抵靠，則透過啟動的止擋件7a~7d阻止工藝舟B1、B2沿舟運動軌跡繼續運動。

在此，圖2示出了成對的不同的止擋件7a~7d固定沿舟軌蹟的不同的尤其四個位置。止擋件7a~7d的數量和位置此時為單純示例性。尤其是，或多或少的止擋件7a~7d可以沿著舟運動軌跡也佈置在其它位置上。

在圖2中示出了在啟動狀態中的第一對止擋件7a，其中，當其抵靠止擋件7a的活動件8時，第一工藝舟B1處於第一裝載位置及/或卸載位置。

圖3示出了第一工藝舟B1在它抵靠第二對可啟動的止擋件7b的活動件8時處於第二裝載位置及/或卸載位置。

換言之，可以透過止擋件7a~7d固定沿舟運動軌蹟的用於工藝舟B1、B2的多個裝載位置及/或卸載位置。

還示出了裝置3包括多個定中機構9。每個定中機構9包括兩個定中爪，它們可以合攏以便定中。借助定中機構9，工藝舟B1、B2的石墨片1和進而還有佈置在其中的基片2可以被置於規定的期望取向。在此情況下，當它處於第一裝載位置及/或卸載位置時，一個工藝舟B1、B2可以在每個裝載位置及/或卸載位置中透過一個或多個定中機構9被定中。

圖2還示出了機械手4的工作區域10。透過機械手4，基片2可以從工藝舟B1、B2被取出或被佈置在工藝舟B1、B2的部段S中。基片2可以藉助機械手4佈置在工作空間10內或被輸送經過工作空間10。

還示意性示出了機械手4的裝載區域及/或卸載區域11。裝載區域及/或卸載區域11是機械手4的工作空間10的局部區域。示出了當工藝舟B1、B2透過輸送機構5被輸送時、尤其當工藝舟B1、B2處於裝載位置及/或卸載位置時，裝載區域及/或卸載區域可以包括一個或多個工藝舟B1、B2的預定數量的部段S。當工藝舟B1、B2處於裝載位置及/或卸載位置時，一個工藝舟B1、B2的至少一個部段S、多個但不是全部的部段S或全部的部段S處於裝載區域及/或卸載區域11中。

機械手4的裝載及/或卸載區域11在此表示如下區域，基片2在此透過機械手4從工藝舟B1、B2被取出，或者基片2在此透過機械手4佈置在工藝舟B1、B2的部段S內。

在這裡，圖2示出了工藝舟B1、B2的第一輸送狀態。示出了在第一輸送狀態中僅能裝載及/或卸載工藝舟B1的四個部段S中的三個。

圖3示出了圖2所示的裝置3處於工藝舟第二輸送狀態的俯視示意圖。尤其示出了，第一工藝舟B1透過舟輸送裝置5沿著由箭頭6象徵的直線運動軌跡被輸送了第一預定路程。箭頭6也表示x方向的x，其中，工藝舟B1、B2的輸送沿x方向進行。第一路程的長度對應於工藝舟B1、B2的兩個部段S的長度。此時示出了第一工藝舟B1在其輸送運動之後處於由第二對止擋件7b固定的第二裝載位置及/或卸載位置。也還示出了垂直於x方向取向的y方向。止擋件7a~7d的活動件8的運動方向此時可以平行於y方向取向。定中機構9a、9b的定中爪的運動方向此時也可以平行於y方向取向。

在第二裝載位置及/或卸載位置上，第一工藝舟B1的第三和第四部段S沿輸送方向處於佈置在第一裝載位置及/或卸載位置上的第一工藝舟B1的第一和第二部段S的位置上，即在輸送運動之前。相應地，第二工藝舟B2的第一和第二部段S處於佈置在第一裝載位置及/或卸載位置上的第一工藝舟B1的第三和第四部段S的位置上。

還示出了工藝舟B1、B2分別在活動件8上被不同的止擋件7b、7d止擋，因此沒有相互抵靠。

工藝舟B1、B2的輸送此時能以節拍方式進行。這可能意味著在一次輸送了預定路程後，進行一個輸送間歇期。在輸送間歇期後，可以在一個新輸送節拍中進行再次輸送運動。在隨後的輸送運動中，工藝舟B1、B2又可以沿著由箭頭6象徵的運動軌跡運動第二預定路程。第二路程可以等於第一路程，但或者也可以與之不同。

在輸送間歇期中，基片2可以從一個工藝舟B1、B2的一個部段S或一個工藝舟B1、B2的多個部段S或者不同的工藝舟B1、B2的多個部段S中被卸載。也可以給一個工藝舟B1、B2的一個部段S、一個工藝舟B1、B2的不同的部段S或者不同的工藝舟B1、B2的不同的部段S裝載基片2。此時，所述一個或多個工藝舟B1、B2處於裝載位置及/或卸載位置。

即，在一個輸送間歇期中，恰好一個部段S可被裝載及/或卸載。或者，在一個輸送間歇期中可以在裝載區域及/或卸載區域11中裝載及/或卸載整數個或非整數個部段S。可能的是，在各個輸送間歇期中裝載及/或卸載彼此不同數量的部段S。

圖4示出了本發明的裝置3的另一實施方式的俯視示意圖。在此情況下，圖4所示的裝置3基本上如圖2和圖3所示的裝置3那樣構成。因此可以參照相應的說明。圖4示出了第三對止擋件7c，其固定沿舟運動軌蹟的用於工藝舟B1、B2的第三裝載位置及/或卸載位置。相比於圖3所示的第一工藝舟B1在第二裝載位置及/或卸載位置上就位，第一工藝舟B1在圖4所示的狀態中沿由箭頭6象徵的舟運動軌跡運動了對應於兩個部段S的長度的第三路程，並且處於第三裝載位置及/或卸載位置。第二工藝舟B2將運動“兩個部段”，在此，其位置（對應於第一工藝舟B1的第一裝載位置及/或卸載位置）透過止擋件7a被固定。

在圖2-4所示的三個裝載位置及/或卸載位置的至少其中兩個中，此時可透過機械手4裝載及/或卸載一個工藝舟B1、B2的整數個或非整數個部段S。

還示出兩個供應機構12a、12b和兩個送走機構13a、13b。每個供應機構和送走機構12a、12b、13a、13b均包括用於從工藝舟B1、B2中卸載的或被裝載入工藝舟B1、B2的基片的活動的容置機構14。用於供應機構和送走機構12a、12b、13a、13b的基片2的活動的容置機構14佈置在機械手4的工作空間10內。

此外，每個供應機構12a、12b包括可藉此從載具C中取出基片2的載具卸載裝置15。此外，每個供應機構12a、12b包括呈輸送帶16狀的輸送機構，用於在載具卸載裝置15和活動的容置機構14之間輸送基片2。

每個送走機構13a、13b包括可藉此給載具C裝載基片2的載具裝載機構17。此外，每個送走機構13a、13b也包括用於在載具裝載機構17和送走機構13a、13b的容置機構14之間輸送基片2的輸送帶16。

還示出了呈輸送帶18形式的載具C用輸送機構。

可行的是，在第一卸載工序中，從其中一個工藝舟B1、B2的第一部段S中卸載出的基片2的第一分量透過機械手4被輸送至第一送走機構13a並佈置在其容置機構14內。在跟在第一卸載工序後的第一裝載工序中，透過機械手4從第一供應機構12a的容置機構14中取出的基片2可以佈置在部段S中。在隨後的第二卸載工序中，可以從該部段卸載另一分量的剩餘基片2並送至第二送走機構13b的活動的容置機構14並佈置在其中。在隨後的第二裝載工序中，另一分量的基片2可以透過機械手4從第二供應機構12b的活動的容置機構14被取出並佈置在部段S中。

可以在用於一個或多個工藝舟B1、B2的一個或多個部段S的輸送間歇期內進行卸載和裝載工序的順序或與之不同的順序。

圖5示出了根據本發明的基片2輸送方法的示意性流程圖。在第一步驟S1中，第一工藝舟B1(見圖2)借助舟輸送裝置4被送入在機械手4的裝載區域及/或卸載區域11內的第一裝載位置及/或卸載位置。為此，舟輸送裝置5可以被相應控制。此外，可以將止擋件如第一止擋件7a置於啟動狀態7a。

在第二步驟S2中，處於第一裝載和卸載位置中的工藝舟B1、B2被定中，尤其透過啟動一個定中機構9a。

在第三步驟S3中進行安置在第一裝載位置及/或卸載位置上的第一工藝舟B1的至少一個部段S、但不是所有部段S的裝載及/或卸載。在此情況下可裝載及/或卸載整數個或非整數個部段S。所述裝載及/或卸載透過機械手4進行。

如果其它工藝舟B2也處於機械手4的裝載區域及/或卸載區域11或裝載位置及/或卸載位置內，則可以在第三步驟S3中也裝載及/或卸載其它工藝舟B2的整數個或非整數個部段S。

在第四步驟S4中，第一工藝舟B1借助舟輸送裝置4被送入第二裝載位置及/或卸載位置。在第五步驟S5中，又可以進行在該第二裝載位置及/或卸載位置中的第一工藝舟B1的定中。

在第六步驟S6中又可以裝載及/或卸載第一工藝舟B1的整數個或非整數個部段S。如果其它工藝舟B2也處於裝載位置及/或卸載位置或者機械手4的裝載區域及/或卸載區域11內，則可以在第六步驟S6中也可以裝載及/或卸載其它工藝舟B2的整數個或非整數個部段S。

在此情況下，可以在第一步驟S1和在第四步驟S4中所進行的輸送之間的輸送間歇期中執行第二和第三步驟S2、S3。相應地，可以在第四步驟S4中的輸送之後的輸送間歇期內執行第五和第六步驟S5、S6。

1‧‧‧石墨片

2‧‧‧基片

3‧‧‧基片輸送裝置

4‧‧‧機械手

5‧‧‧舟輸送裝置

6‧‧‧箭頭

7a~7d ‧‧‧止擋件

8‧‧‧活動件

9、9a、9b‧‧‧定中機構

10‧‧‧工作空間

11‧‧‧ 裝載區域及/或卸載區域

12a、12b‧‧‧供應機構

13a、13b‧‧‧送走機構

14‧‧‧用於基片的活動容置機構

15‧‧‧載具卸載裝置

16‧‧‧ 輸送帶

17‧‧‧載具裝載機構

18‧‧‧用於載具的輸送帶

B、B1、B2‧‧‧工藝舟

C‧‧‧ 載具

L_S‧‧‧部段的長度

L_B‧‧‧工藝舟的長度

S‧‧‧部段

S1‧‧‧第一步驟

S2‧‧‧第二步驟

S3‧‧‧第三步驟

S4‧‧‧第四步驟

S5‧‧‧第五步驟

S6‧‧‧第六步驟

x‧‧‧方向

y‧‧‧方向

結合實施例來詳述本發明，附圖示出：

圖1示出工藝舟的俯視示意圖，

圖2示出根據本發明的基片輸送裝置處於第一輸送狀態的俯視示意圖，

圖3示出圖2所示裝置在第二輸送狀態中的俯視示意圖，

圖4示出本發明裝置的另一個實施方式的俯視示意圖，和

圖5示出本發明方法的示意流程圖。

Claims

一種尤其用於製造太陽能電池的基片的輸送方法，其中，工藝舟透過機械手被裝載基片，及/或其中，基片透過機械手從該工藝舟被卸載，其特徵是，所述至少一個工藝舟透過舟輸送裝置在該工藝舟透過機械手裝載及/或卸載期間被輸送經過機械手的裝載區域及/或卸載區域。
如請求項1所述的方法，其特徵是，至少一個止擋件被啟動，其中，該至少一個止擋件在啟動狀態中將該工藝舟的至少一個裝載位置及/或卸載位置固定在該裝載區域及/或卸載區域。
如請求項之一所述的方法，其特徵是，工藝舟透過至少一個定中機構在該裝載區域及/或卸載區域內被對準方向。
如請求項之一所述的方法，其特徵是，所述至少一個工藝舟的位置及/或取向被測定，其中，該工藝舟透過機械手的裝載及/或卸載是根據所測定的位置及/或取向進行的。
如請求項之一所述的方法，其特徵是，所述至少一個工藝舟以節拍方式被輸送經過該機械手的裝載區域及/或卸載區域。
如請求項5所述的方法，其特徵是，該工藝舟在一個舟輸送節拍中沿舟運動軌跡被輸送經過一個預定路程，其中，該路程大於或等於該工藝舟的一個部段的長度且小於該工藝舟的長度。
如請求項6所述的方法，其特徵是，該路程對應於該工藝舟的一個部段的長度或一個部段的長度的多倍。
如請求項6或7所述的方法，其特徵是，該路程在前後相繼的舟輸送節拍中是變化的。
如請求項5至8之一所述的方法，其特徵是，在兩個前後緊接的舟輸送節拍之間的時間對應於一個部段專屬的裝載時間及/或卸載時間，或者一個部段專屬的裝載時間及/或卸載時間的多倍。
如請求項5至9之一所述的方法，其特徵是，在兩個前後緊接的舟輸送節拍之間的時間是變化的。
如請求項1至4之一所述的方法，其特徵是，所述至少一個工藝舟借助該舟輸送裝置在連續運行中被輸送經過該機械手的裝載區域及/或卸載區域。
如請求項之一所述的方法，其特徵是，基片透過至少兩個供應機構被送入該機械手的工作空間以便透過該機械手裝載工藝舟，及/或透過機械手從該工藝舟卸載的基片透過至少兩個送走機構從該機械手的工作空間被送出。
一種尤其用於製造太陽能電池的基片的輸送裝置，其中，該裝置包括至少一個用於輸送基片的機械手和至少一個用於輸送工藝舟的舟輸送裝置，其特徵是，所述至少一個工藝舟借助該舟輸送裝置在透過該機械手裝載及/或卸載該工藝舟期間能被輸送經過該機械手的裝載區域及/或卸載區域。
如請求項13所述的裝置，其特徵是，該裝置包括至少一個可啟動的止擋件，其中，所述至少一個止擋件在啟動狀態中將該工藝舟的至少一個裝載位置及/或卸載位置固定在該裝載區域及/或卸載區域內。
如請求項13或14所述的裝置，其特徵是，該裝置包括至少一個可啟動的定中機構，其中，所述至少一個定中機構在啟動狀態中根據預定取向將工藝舟對準方向。