TW201828406A

TW201828406A - 基板固持件

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Publication number: TW201828406A
Application number: TW106141693A
Authority: TW
Inventors: 賽門勞; 雷波林登博克; 奧利佛厄爾曼; 克勞斯壬格; 海雷德梧絲特
Original assignee: 美商應用材料股份有限公司
Priority date: 2017-01-23
Filing date: 2017-11-29
Publication date: 2018-08-01
Also published as: JP2020505513A; KR102353238B1; TWI657532B; CN110168131A; KR20190110593A; WO2018133952A1; CN110168131B

Abstract

一種配置成附接到用於固持基板的載具的固持件。固持件包括配置成面對材料源或遮罩的一前部以及配置成背離材料源的一後部，其中後部包括具有傾斜表面的一斜面部分以及用於接收設置在前部和後部之間的基板的一凹槽。

Description

基板固持件

本揭露的實施例是有關於一種用於在處理（例如，用於層沉積）期間固持基板的固持件。本揭露的實施例特別是有關於一種配置成附接到載具的載具本體的固持件，用於在真空層沉積期間固持基板。具體而言，本揭露的實施例是有關於一種配置成附接到用於固持基板的載具的載具本體的固持件、一種用於固持一個或多個基板的載具以及一種用於將基板固定在具有載具主體的載具中的方法。

已知用於在基板上沉積材料的數種方法。例如，可以藉由物理氣相沉積（PVD）處理，化學氣相沉積（CVD）處理，電漿增強化學氣相沉積（PECVD）處理等來塗覆基板。通常，該處理在處理設備或處理腔室中執行，待塗覆的基板位於該處。在設備中提供一沉積材料。多種材料以及其氧化物、氮化物或碳化物可以用於沉積在基板上。此外，可以在處理室中進行其他處理動作，例如蝕刻、構造、退火等。

塗層材料可用於數種應用和數個技術領域。例如，應用在微電子領域，例如生成半導體元件。此外，用於顯示器的基板通常藉由物理氣相沉積（PVD）處理被塗覆。其他應用包括絕緣板，有機發光二極體（OLED）面板，具有薄膜電晶體（TFT）的基板、彩色濾光片等。

通常，玻璃基板可在其處理期間被支撐在載具上。載具支撐玻璃或基板並藉由處理機器驅動。也就是說，載具驅動玻璃或基板。載具通常形成一框架或一板子，其沿著基板周邊支撐基板，或者在後者的情況下支撐基板表面。

為了將基板固定在載具中，存在不同的固持裝置，例如玻璃固持件。由於增加的顆粒要求，例如對於薄膜電晶體（TFT）應用來說，避免產生粒子變得更重要。側面沉積在載具和固持件上，例如夾具，以及固持件內的玻璃運動，例如玻璃夾，是靠近玻璃表面的主要顆粒發生器。

鑑於上述，提供一種固持件，特別是配置成附接到用於固持基板的載具的固持件是有益的，其克服了本領域中的至少一些問題。

鑑於上述，提供一種配置成附接到用於固持基板的載具的載具本體的固持件、一種載具以及一種用於將基板固定在載具中的方法。本揭露的其它方面、優點和特徵從附屬項、說明書和所附圖式中顯而易見。

根據一個實施例，提供一種配置成附接到載具主體以用於固持基板的固持件。固持件包括配置成面對材料源或遮罩的一前部以及配置成背離材料源的一後部，其中後部包括具有傾斜表面的一斜面部分以及用於接收設置在前部和後部之間的基板的一凹槽。

根據另一方面，提供一種包括至少一固持件的載具。至少一固持件包括配置成面對材料源或遮罩的一前部以及配置成背離材料源的一後部，其中後部包括具有傾斜表面的一斜面部分以及用於接收設置在前部和後部之間的基板的一凹槽。

根據又一方面，提供一種用於將基板固定在具有載具本體的載具中的方法。該方法包括將基板裝載在載具上；使至少一固持件相對於載具主體朝向基板移動，所述至少一固持件包括斜面部分；以及利用斜面部分在槽的第一部分中引導基板。

為了能夠詳細理解本揭露的上述特徵的方式，可以藉由參考實施例來提供上面發明內容揭露的更具體的描述。所附圖式關於本揭露的實施例，並且描述如下：

現在將詳細參考本揭露的各種實施例，其中的一個或多個示例在圖式中描述。在圖式的以下描述中，相同的元件符號指示相同的組件。通常，僅描述關於各個實施例的差異。每個示例是藉由對本揭露的解釋來提供的，並不意味著對本揭露的限制。此外，做為一個實施例的一部分闡述或描述的特徵可以用在其他實施例上或與其他實施例結合使用，以產生又一個實施例。這意味著描述包括這樣的修改和變化。

根據本文描述的實施例，提供一種包括至少一個固持件的載具。所述至少一個固持件配置成固持或夾持基板。固持件包括斜面部分，以在具有小間隙（例如0.5mm或更小的間隙，例如大約0.1mm）的另一個凹槽部分中形成引導基板的凹槽的一部分。

根據可與本文所述的其他實施例組合的一些實施例，基板厚度可為0.1至1.8mm，並且固持件可適用於這種基板厚度。當基板厚度約為0.9mm或更小時，例如0.7mm或0.5mm或0.3mm，並且固持件特別適用於這種基板厚度時，這可能是特別有利的。固持件也可以適用於更小或更大的基板厚度。根據可以與本文描述的其他實施例組合的一些實施例，包括至少一個固持件的固持件或載具可以適用於特定的玻璃厚度。與特定玻璃厚度相比具有較小厚度的玻璃基板也可以由固持件或包括固持件的載具支撐。

根據可與本文所述的其它實施例結合的一些實施例，大面積基板可具有至少0.174m² 的尺寸。尺寸可以是約1.375m² 至約10m² ，更通常是約2m² 至約11m² 或甚至高達12m² 。通常，提供根據本文所述的實施例的遮罩結構、設備和方法的矩形基板是如本文所述的大面積基板。例如，大面積基板可以是第5代其對應於約1.4m² 基板（1.1m×1.3m）、第7代其對應於約4.39m² 基板（1.95m×2.25m）、第8.5代其對應於約5.5m² 的基板（2.2m×2.5m），甚至是第10代其對應於約8.7m² 的基板（2.85m×3.05m）。甚至更大的世代例如第11代和第12代以及相對應的基板面積可類似地實現。然而，本領域具有通常知識者可以理解，固持件可以用於任何基板尺寸，即甚至比以上概述的更小或更大的基板尺寸。

通常，基板可以由適合於材料沉積的任何材料製成。例如，基板可以由選自玻璃（例如鈉鈣玻璃，硼矽酸鹽玻璃等）、金屬、聚合物、陶瓷、複合材料、碳纖維材料或任何其他材料或可以藉由沉積處理而被塗覆的材料的組合。

第1圖繪示根據本文描述的實施例的載具100，並且具有至少一個固持件200。載具100配置成用於支撐基板101。如第1圖所示，基板101是設置在載具100內的一位置處，特別是在處理室中進行處理時。載具100包括一框架或一載具本體160。例如，載具本體可以定義一窗口或一開孔。根據典型的實施方式，載具本體160提供一基板接收表面。

第1圖進一步繪示可以配置在載具100的下部的導桿162，例如是一桿件。在操作期間，導桿162可以設置在載具本體160的下方。導桿可配置成與傳輸系統（例如滾輪裝置）接觸。載具100還可以包括上部導向裝置164。上部導向裝置164可以配置成用於支撐載具100與傳輸系統的上部的位置。

根據另外的實施例，載具可配置用於非接觸式傳輸，例如利用磁懸浮系統。用於非接觸式傳輸的載具的裝置可以在載具的上部具有磁性元件，該磁性元件是配置為與磁懸浮系統相互作用。載具的下部可以配置成用於載具的橫向穩定，或者載具本體160可以懸掛在非接觸式傳輸裝置中。

根據可以與本文所述的其他實施例組合的一些實施例，多個固持件200可以是可移動的，特別是可以在垂直於或基本上垂直於載具本體的邊緣的方向上移動。例如，載具的邊緣可以是由載具形成的開孔的邊緣。固持件可以在垂直於或基本上垂直於由固持件支撐的基板的各別邊緣的方向上移動。在第1圖中，固持件的移動由箭頭201表示。根據一些實施例，在載具本體的一側（左側或右側）的固持件200和在載具本體的頂側或底側的固持件200，特別是如第1圖所示在載具的頂側，可以移動。載具本體160包括第一側、第二側、第三側和第四側。在此，在第一側、第二側、第三側和第四側的每一側上可以設置至少八個固持件，特別是至少24個固持件，第四側至少八個固持件中的至少兩個相對應的固持件被安裝。固持件的至少兩個相對應的固持件可移動地安裝在第一側、第二側、第三側和第四側的兩個相鄰位置上。

固持件可以在載具的兩個相鄰的側面上移動，例如第1圖中的右側和頂側。移動固持件允許縮回固持件200。固持件200可以縮回以將玻璃基板裝載或卸載到載具本體中。藉由如第1圖中的箭頭201所示的那樣縮回固持件，分別由載具本體或固持件200形成的開孔增大。增加的開孔尺寸為玻璃基板的裝載或卸載提供了足夠的空間。

根據可與本文所述的其他實施例組合的一些實施例，載具本體160可由鋁、鋁合金、鈦、鈦鋁合金、不銹鋼等製成。對於比較小的大面積基板，例如第5代或以下，載具本體160可以由單件製成，即框架是一體成形的。然而，根據可與本文所述的其他實施例組合的一些實施例，載具本體160可包括兩個或更多個元件，例如頂桿，側桿和底桿。特別是對於非常大面積的基板，載具或載具本體可以製造成具有多個部分。載具本體的這些部分被組裝以提供用於支撐基板101的載具本體160。載具本體160是特別配置用於接收基板區域中的基板101。基板區域例如是載具的開孔。

第2圖繪示固持件20，其可以與普通的夾具相比較。固持件或夾具具有矩形剖面的基板接收部分或凹槽30，即矩形凹槽。固持件20具有後部216、前部和中間部分212。中間部分212連接前部214和後部216。前部214面向沉積材料或材料源。材料沉積的方向由箭頭25表示。後部216遠離沉積材料，使得在沉積材料和後部216之間提供基板101。

對於具有矩形基板接收部分30的固持件或夾具，在固持件或夾具與玻璃之間可存在相對較大的間隙，以便使玻璃容易進入固持件或夾具。例如，第2圖繪示後部216與基板101的玻璃之間的後部間隙21以及前部214與基板101的玻璃之間的前部間隙23。該間隙允許課程在固持件的凹槽內移動，即專利申請範圍。

如第2圖所示，沿著由箭頭25所示的方向沉積到基板101上的材料可能導致側面沉積50，即，在固持件20上不希望材料的沉積。側面沉積50可以特別蔓延到前部間隙23中。基板101和固持件之間的摩擦可能導致顆粒產生。玻璃遮罩間的間隙26例如由前部間隙23、在前部214處的固持件的寬度以及遮罩固持件間的間隙27提供。由於夾具內部的不確定的玻璃位置，玻璃遮罩間的間隙26可能相對較大，例如導致較大的前部間隙23。前部間隙23相對於固持件設置在固持件和玻璃之間。固持件或夾具可以彼此分離地設置，進而產生例如在固持件和遮罩70之間的遮罩固持件間的間隙27。由於固持件或夾持器不能以與遮罩70（例如去邊緣遮罩）相距不確定的距離被適當地覆蓋，所以積累了相當大量的側面沉積在固持件或夾具上。如第2圖所示，可能的是，側面沉積進入夾具的凹槽，即前部214和基板101之間的間隙。固持件內的玻璃運動使側面沉積鬆散，這進一步增加了顆粒的產生。

第3圖繪示根據本文描述的實施例的固持件200。固持件200包括前部214和後部216。可配置成用於將基板101插入固持件200中的凹槽300包括具有傾斜表面的斜面部分220。斜面部分220提供半V形固持器或夾具，即用於基板的凹槽的一側是V形的。用於基板的凹槽的另一側可以不是V形，即可以是直的。半V型夾具設計解決了上面已經描述的一些或全部缺點。中間部分212可連接前部和後部。

在一方面，基板的裝載或進給藉由大的固持件開口放到後部玻璃的後側。另一方面，固持件內部的玻璃移動受限於例如0.1 mm的小的間隙。具有小間隙的凹槽部分形成凹槽的第一部分。具有大的固持件開口的凹槽部分，即傾斜部分或半V形部分形成凹槽的第二部分。根據本揭露的實施例，可以提供具有形狀不同的第一凹槽部分和第二凹槽部分的固持件。

根據一些實施例，固持件或夾具可以根據使用的玻璃厚度定制，以具有小間隙的全部或大部分好處。或者，可以在處理系統中使用數個玻璃厚度，而無需更換載具的固持件，其中可以使用用於在處理系統中被處理的最厚的玻璃的固持件或夾具，甚至用於更薄的玻璃。

根據可與本文所述的其他實施例組合的本揭露的實施例，凹槽300可具有第一部分，例如第3圖中的下部。凹槽的第一部分可以具有基本上平行的表面，例如前部214的內表面和後部216的內表面。第一部分可以是平行部分。例如，第一部分可以在前部和後部的相對表面之間具有5°或更小，尤其是0°的第一角度。由於斜面部分220，凹槽300具有在相對表面之間具有大於第一角度的第二角度的第二部分。第二角度可以設置在斜面部分220的傾斜表面與前部的內表面之間。第二角度可以是10°或更大，例如大約15°。形成第一角度的前部214的內表面和形成第二角度的前部214的內表面可以是相同的內表面，即一個平坦表面。

根據本揭露的實施例，特別是在第一部分，例如凹槽300的底部（即在與中間部分212相鄰的凹槽部分處），小間隙可以進一步導致基板101的更好或更平直的玻璃邊緣。這也使得基板101的玻璃表面和遮罩70（例如去邊緣遮罩）具有較小間隙。玻璃和遮罩之間的較小間隙增加了均勻性並減少了在固持件或夾具上的側面沉積。此外，藉由夾具內被限定的玻璃位置，夾具的內部更好地防止側面沉積。玻璃遮罩間的間隙326由例如小的前間隙、在前部214處的固持件的寬度以及遮罩固持件間的間隙27提供。由於夾具內的玻璃位置，玻璃遮罩間的間隙326可以減小，例如導致一個小的前間隙。在第3圖中，與第2圖中的側面沉積50相比，來自沿著箭頭25沉積的材料的側面沉積250減少了。第3圖進一步繪示在材料沉積期間濺射目標材料期間可以如箭頭335所示可旋轉或旋轉陰極330。根據其他實施例，可以使用用於材料沉積的平面陰極或其他來源。

第4A圖至第5B圖繪示固持件200的另外的實施例。第4A圖和第5A圖繪示從前部214側面的側視圖。第4B圖和第5B圖繪示與第2圖和第3圖類似的側視圖。第4A圖和第4B圖繪示根據一個示例的固持件200，其可用來闡述可以與本揭露的實施例結合的修改。固持件具有後部216。例如，後部可以具有20至40mm的高度，例如約30mm。前部214沿著固持件200的長度延伸。根據一些實施例，長度（第4A圖中所示的從左到右的尺寸）可以是30到60mm，例如大約40mm。中間部分212可以具有5mm至15mm的寬度（第4B圖中所示的從左至右的尺寸），例如約7mm。凹槽300在第一部分412處具有寬度，例如，第4A圖至第5B圖中的底部，在凹槽300處，即在面對中間部分212的凹槽部分處。在固持件安裝在載具的頂側的情況下，第4A圖至第5B圖中的底部可以是凹槽的頂部。第一部分412的寬度對應於基板的厚度。通常，第一部分412的寬度可以比基板的厚度大0.05至0.2mm。例如，第一部分的寬度可以是0.6mm、0.7mm、0.8mm或1mm。根據可與本文所述的其它實施例組合的實施例，斜面部分220可具有10°至25°的傾斜角度，例如約13°或約15°。根據可與本文描述的其他實施例組合的一些實施例，斜面部分220或傾斜表面的高度可分別使得斜面部分的寬度為1.5 mm至5 mm，例如大約3 mm。斜面部分的寬度對應於凹槽的第二部分處的凹槽的寬度增加。

此外，第4A圖所示的固持件包括開口416。開口416配置成將固持件200安裝到載具。例如，開口416可以包括用於接收螺絲等的螺紋。開口416配置成將固持件200安裝到載具上。固持件可以如箭頭417所示的那樣可樞轉地安裝到固持件上。固持件的樞轉安裝具有的優點是固持件可以旋轉例如25°或更小，以使玻璃與凹槽的第一部分412完全接觸。可以在凹槽的地面上提供玻璃沿玻璃邊緣的完全接觸。這可以減少玻璃邊緣的應力。根據一些實施例，凹槽300的第一部分412可以在其側部彎曲。這對於輕輕地將基板裝載到固持件200中可能是有益的。彎曲曲線可以具有2 mm或更大的半徑。

第5A圖和第5B圖繪示根據一個示例的固持件200，其可以用於闡述可以與本揭露的實施例結合的修改。與第4A圖和第4B圖所示的固持件200相比，第5A圖和第5B圖中一個示例的固持件200可以具有例如7 mm至15 mm的高度減小的後部216。根據另外的或可替換的修改，前部214可以是具有兩個前部分段的前部分組件。在兩個前部分段之間可以存在間隙，使得當從前部的一側（即材料沉積側）看時，斜面部分220被暴露。考慮到後部216的高度減小而不是開口，提供盲孔516以將固持件200安裝到載具或載具本體上。

第6圖繪示在裝載臂602（例如機器人手臂）的裝載操作期間的載具100。如第6圖所示，載具本體160的四個側面中的第一側和第二側上的固持件200移動到縮回位置。示例性地，第6圖中的頂側和右側的固持件顯示處於縮回位置。由於固持件的移動而提供縮回位置，如第1圖中的箭頭201所示。例如，進入縮回位置和縮回位置之外的運動可以垂直於由固持件支撐的矩形基板101的邊緣。

隨著固持件200在頂側和右側的縮回位置，裝載臂602可以使基板101在固持件之間的區域中移動，因為固持件之間的基板接收區域被擴大。基板可以如箭頭603所示地移動，進而被支撐在例如第6圖中的下側和左側的固持件200中。根據可與本文所述的其他實施例組合的一些實施例，載具本體的兩個相鄰側上的固持件200可以是固定的，並且載具本體的四個側的其餘兩側上的固持件可以是可移動的。其餘兩側也可以是載具本體的相鄰側。

如上所述，固持件中的凹槽可以具有用於基板的第一部分，第一部分具有可比較小的間隙。第一部分鄰近固持件的中間部分。例如，第一部分可以是在載具本體160的底側上的固持件的凹槽的底部部分，並且可以是在載具本體的頂側上的固持件的凹槽的頂部部分。此外，固持件中的凹槽可以具有包括斜面部分的第二部分。斜面部分將固持件開口的尺寸增加到固持件的後側，即例如在基板上材料的沉積期間遠離材料源的一側。

為了將基板101裝載到載具100中，如箭頭603所示移動基板。包括斜面部分的溝槽的第二部分將基板引導到凹槽中。第二部分處的凹槽的增加的厚度允許基板順利地插入到固持件中。在沿著箭頭603移動之後，基板101被支撐在溝槽的第一部分中，其中第一部分為基板提供了與第二部分中的間隙相比更小的間隙。用於將基板固持在最終位置的減小的間隙減少了固持件處的側面沉積，為支撐位置中的玻璃基板提供了穩定性，和/或允許例如利用去邊緣遮罩進行遮蔽而具有減小的基板與遮罩距離。減小的基板與遮罩距離進一步減少了側面沉積。減少的側面沉積和增加的能力減少了在處理基板期間的顆粒產生。

在基板沿著箭頭603移動之後，第6圖中的頂側和右側的固持件200可以沿著箭頭603從縮回位置移動到未縮回位置。而且在固持件的移動期間，固持件的凹槽的第二部分將基板引導到正確的位置，並且固持件的凹槽的第一部分提供增加的穩定性並減少固持件的最終位置中的側面沉積。

根據不同的實施例，載具100可以用於物理氣相沉積處理，化學氣相沉積處理、基板結構化磨邊、加熱（例如退火）或任何類型的基板處理。如本文所述的載具的實施例和利用這種載具的方法，對於靜止的，即非連續的基板處理特別有用。通常，載具是設置用於處理垂直方向的大面積玻璃基板。

第7圖繪示根據本文描述的實施例的用於將基板101固定在具有載具本體160的載具100中的方法80的流程圖。在方框81中，基板101是裝載在載具100上。在方框82中，至少一個固持件200相對於載具本體160朝向裝載的基板101移動。至少一個固持件200包括斜面部分220，例如是固持件的凹槽300的第二部分的斜面部分。在方框83中，基板101在具有斜面部分的凹槽（即凹槽的第二部分的傾斜表面）的一部分中被引導。

具有直的內表面的固持件的前部部分允許減少固持件的側面沉積。凹槽的斜面部分的傾斜表面（即凹槽的第二部分）允許將基板順利地插入固持件中。與凹槽的第二部分相比，凹槽的第一部分中的基板的較小間隙允許減少顆粒產生。特別地，半V形，即單側V形允許這樣的優點的組合。

第8圖繪示根據本文描述的實施例的沉積室600的示意圖。沉積室600適用於沉積處理，例如物理氣相沉積（PVD）或化學氣相沉積（CVD）處理。基板101是繪示位於基板傳送裝置620上的載具100內或其上。用於沉積材料的材料源630設置在腔室612中，面向待塗覆的基板101的側面。材料源630提供待沉積在基板101上的沉積材料。

在第8圖中，材料源630可以是其上具有沉積材料的靶材或允許材料被釋放以沉積在基板101上的任何其他配置。通常，材料源630可以是可旋轉的靶材，即旋轉靶材。根據一些實施例，材料源630可以是可移動的以便定位和/或替換源。根據其他實施例，材料源可以是平面靶材。

根據一些實施例，沉積材料可以根據沉積處理和塗覆基板的稍後應用來選擇。例如，源的沉積材料可以是選自由諸如鋁、鉬、鈦、銅等的金屬、矽、氧化銦錫以及其他透明導電氧化物組成的群組中的一材料。通常，可以包括這樣的材料的氧化物層、氮化物層或碳化物層，這些材料可以藉由從源提供材料或藉由反應性沉積來沉積，即來自源的材料與來自氧、氮化物或來自一種處理氣體的碳。

通常，基板101設置在載具100內或載具100上。載具或載具組件還可以用作或包括去邊緣遮罩，特別是用於非靜止的沉積處理。虛線665示例性地繪示在沉積室600的操作期間沉積材料的路徑。根據可與本文所述的其它實施例組合的其它實施例，遮罩可由單獨的去邊緣遮罩提供，根據本文描述的實施例的載具對於靜止處理和非靜止處理可以是有利的。

根據可與本文所述的其他實施例結合的實施例，為了更容易地繪製圖式，固持件200是設置為沒有斜面部分，即半V形形狀，進而牢固地固持基板101的邊緣特別是在沉積過程中。實施例可以提供增加的基板穩定性並且因此減少基板破裂，特別是鑑於基板的長度和高度變大的事實。此外，特別是在基板附近的顆粒產生可以減少。

根據本文所述的可與本文所述的其他實施方式組合的實施例，可以在沉積過程中以垂直的方向（即基本上垂直的方向）提供基板和載具。當提及基板方向時，基本上垂直地被理解為允許從垂直的方向偏離20°或更低，例如10°或更低。可以提供例如這種偏差，因為與垂直方向有一些偏差的基板支撐可能導致更穩定的基板位置。或者，在相反方向上的偏離（基板朝下）可能導致基板上的顆粒數量減少。

雖然前述內容針對本揭露的實施例，但是可以在不脫離本揭露的基本範圍的情況下設計本揭露的其他和進一步的實施例，並且其範圍由隨後的申請專利範圍確定。

21‧‧‧後部間隙

23‧‧‧前部間隙

25‧‧‧箭頭

26、326‧‧‧玻璃遮罩間的間隙

27‧‧‧遮罩固持件間的間隙

30‧‧‧凹槽

50‧‧‧側面沉積

70‧‧‧遮罩

80‧‧‧方法

81、82、83‧‧‧方框

100‧‧‧載具

101‧‧‧基板

160‧‧‧載具本體

162‧‧‧導桿

164‧‧‧上部導向裝置

200‧‧‧固持件

201‧‧‧箭頭

212‧‧‧中間部分

214‧‧‧前部

216‧‧‧後部

220‧‧‧斜面部分

250‧‧‧側面沉積

300‧‧‧凹槽

330‧‧‧旋轉陰極

335‧‧‧箭頭

412‧‧‧第一部分

416‧‧‧開口

417‧‧‧箭頭

600‧‧‧沉積室

602‧‧‧裝載臂

603‧‧‧箭頭

665‧‧‧線條

第1圖繪示根據本文描述的實施例的載具並具有至少一個固持件的示意圖。第2圖繪示用於說明本揭露的實施例的改進的固持件的示意圖。第3圖繪示根據本文描述的實施例的固持件的示意圖。第4A圖和第4B圖繪示根據本文描述的實施例的另一固持件的不同視圖。第5A圖和5B繪示根據本文描述的實施例的另一固持件的不同視圖。第6圖繪示根據本文描述的實施例的具有固持件的載具具並且繪示以機器人手臂裝載的示意圖。第7圖繪示根據本文描述的實施例的用於將基板固定在具有載具本體的載具中的方法的流程圖。第8圖繪示根據本文描述的實施例的沉積室的示意圖。

Claims

一種固持件（200），配置成附接到用於固持基板（101）的載具的載具本體（160），該固持件（200）包括：一前部（214），設置成面對一材料源或一遮罩；一後部（216），設置成背向該材料源，其中該後部包括具有傾斜表面的一斜面部分；以及一凹槽，用於接收設置在該前部和該後部之間的基板。
如申請專利範圍第1項所述的固持件，其中該凹槽具有在第一相對表面之間具有5°或更小的第一角度的一第一部分，並且該凹槽具有在第二相對表面之間具有10°或更大的第二角度的一第二部分。
如申請專利範圍第2項所述的固持件，其中該第二角度設置在該斜面部分的該傾斜表面與該前部之間。
如申請專利範圍第2項所述的固持件，其中該第一角度是0°。
如申請專利範圍第3項所述的固持件，其中該第一角度是0°。
如申請專利範圍第2項所述的固持件，其中該第一相對表面是該前部的內表面和該後部的內表面，並且該第二相對表面是該前部的內表面和該斜面部分。
如申請專利範圍第3項所述的固持件，其中該第一相對表面是該前部的內表面和該後部的內表面，並且該第二相對表面是該前部的內表面和該斜面部分。
如申請專利範圍第4項所述的固持件，其中該第一相對表面是該前部的內表面和該後部的內表面，並且該第二相對表面是該前部的內表面和該斜面部分。
如申請專利範圍第5項所述的固持件，其中該第一相對表面是該前部的內表面和該後部的內表面，並且該第二相對表面是該前部的內表面和該斜面部分。
如申請專利範圍第6項所述的固持件，其中該凹槽包括半V形部分和平行部分。
如申請專利範圍第1至10項中任一項所述的固持件，其中該前部是具有至少兩個前部分段的前部分組件，該兩個前部分段之間具有間隙。
如申請專利範圍第1至10項中任一項所述的固持件，更包括：用於將該固持件安裝到載具本體上的開口或盲孔。
一種載具（100），包括如申請專利範圍第1至10項中任一項所述的至少一固持件（200）。
如申請專利範圍第13項所述的載具，進一步包括載具本體（160），該載具本體（160）包括第一側、第二側、第三側和第四側，其中該至少一固持件（200）為至少八個固持件，並且在該第一側、該第二側、該第三側和該第四側的每一側上安裝該至少八個固持件中的至少兩個對應的固持件。
如申請專利範圍第14項所述的載具，其中該至少一固持件（200）是至少24個固持件，並且在該第一側、該第二側、該第三側和該第四側的每一側上安裝該至少24個固持件中的至少兩個對應的固持件。
如申請專利範圍第14項所述的載具，其中該至少八個固持件中的該至少兩個對應的固持件可移動地安裝在該第一側、該第二側、該第三側和該第四側的兩個相鄰位置上。
如申請專利範圍第15項所述的載具，其中該至少24個固持件中的該至少兩個對應的固持件可移動地安裝在該第一側、該第二側、該第三側和該第四側的兩個相鄰位置上。
一種用於將基板（101）固定在具有載具本體（160）的載具（100）中的方法（80），包括：將基板（101）裝載到該載具（100）上; 相對於該載具本體（160）朝向該基板（101）移動（82）至少一固持件（200），該至少一固持件（200）包括一斜面部分（210）；以及利用斜面部分引導凹槽的一第一部分中的該基板。
如申請專利範圍第18項所述的方法，更包括：將該基板支撐在該凹槽的一第二部分中，其中該第二部分對該基板具有0.5mm或更小的間隙。
如申請專利範圍第19項所述的方法，其中該第二部分對該基板具有0.2mm或更小的間隙。