TW201813897A - 保管架 - Google Patents

Abstract

本發明提供能以簡單之構成來防止容器自擱板掉落之保管架。

保管架100係對在本體部5a之上部具有凸緣5b之容器5進行保管者，其具備有被配置在被載置於擱板10之容器5之本體部5a之上方且凸緣5b之前方，具有可供凸緣5b通過上方之空間K的防掉落構件30。

Description

保管架

本發明係關於保管架。

收容晶圓或光罩(reticle)等之FOUP(前開式晶圓盒；Front Opening Unified Pod)、SMIF Pod(標準機械介面晶圓盒；Standard Mechanical Interface)、光罩盒(Reticle Pod)等之容器，係保管於自動倉儲(stocker)等之保管架。保管架例如具有沿上下方向被配置之複數個擱板，並於各擱板載置而保管容器。於各擱板設有插入被設於容器底部之放射狀之複數個溝部的銷。各容器於底面具備有溝部，並藉由擱板之銷進入溝部被定位而被載置於擱板上。近年來，需要在地震等產生震動時，容器不會自擱板掉落之構成。於專利文獻1記載有在擱板具備有卡止於容器之底部凸緣之防掉落構件的構成。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2009-196748號公報

然而，前述之防掉落構件，為了共通地適用於底 部凸緣等之形狀不同的複數種容器，必須增大在取出或放入容器時用來容許容器通過的空間。其結果，底部凸緣與防掉落構件之間隙變大，在震動產生時容器大幅地傾斜，而存在有對容器造成較大的撞擊，甚至導致容器自擱板掉落之可能性。又，前述之防掉落構件由於較大地突出而被設於擱板上，因此容器之保管空間會隨之縮小，而使空間效率下降。

鑒於以上之實情，本發明之目的，在於提供能以簡單之構成來防止容器自擱板掉落之保管架。

本發明之保管架係對在本體部之上部具有凸緣之容器進行保管者，其具有防掉落構件，該防掉落構件係配置在被載置於擱板之容器之本體部之上方且凸緣之前方，具有可供凸緣通過上方之空間。

又，容器亦可具有可裝卸地被安裝於側面且上部自本體部朝上方突出之蓋部，防掉落構件係配置於蓋部之上部之後方。又，擱板亦可沿著上下方向設置有複數個，防掉落構件係以自上層之擱板垂下之方式被配置之L字形狀的構件。又，防掉落構件亦可藉由將上層之擱板之一部分彎折所形成。

又，防掉落構件亦可具有水平部、及自水平部之外側朝上方延伸而連接於上層之擱板的垂直部。又，水平部亦可被配置在與被載置於擱板之容器之凸緣相同或大致相同的高度。又，水平部其與凸緣對向之部分的形狀亦可對應於凸緣之形狀所形成。又，擱板亦可具備有將與前後方向正交之左右方向之中央部分切缺的缺口部，防掉落構件分別被設於上層之擱板之夾著缺口部的兩側。

本發明之保管架，在容器因地震等之震動而向前方側傾倒時，凸緣之前方會碰到防掉落構件而防止容器之偏移或傾倒。又，在容器向後方側傾倒之情形時，容器之一部分亦會碰到防掉落構件而防止容器之偏移或傾倒。藉此，能以簡單之構成來防止容器自擱板掉落。又，由於在上方具有供凸緣通過之空間，因此能避免在將容器移載至擱板時凸緣或容器之本體部與防掉落構件產生干涉之情形，而使防掉落構件不會成為容器移載之阻礙。

而且，於容器具有蓋部且防掉落構件被配置在蓋部之上部之後方之情形時，即便在容器朝背面側傾倒時，防掉落構件亦會碰到蓋部之上部或容器之本體部之上表面，而防止容器之偏移或傾倒，從而能確實地防止容器自擱板掉落。又，在擱板沿著上下方向設有複數個且防掉落構件為以自上層之擱板垂下之方式被配置之L字形狀的構件之情形時，能以簡單之構成來容易地形成防掉落構件。又，在防掉落構件係藉由將上層之擱板之一部分彎折所形成之情形時，可無需使用安裝工具等就容易地形成防掉落構件。

又，在防掉落構件具有水平部、及自水平部之外側朝上方延伸而連接於上層之擱板之垂直部之情形時，可利用垂直部容易地形成供凸緣通過之空間。又，於水平部被配置在與被載置於擱板之容器之凸緣相同或大致相同的高度之情形時，當容器朝前方傾倒時，可藉由水平部更確實地支撐凸緣。又，在水平部之與凸緣對向之部分之形狀對應於凸緣之形狀所 形成時，可將水平部配置於凸緣之附近。又，在擱板具備有將與前後方向正交之左右方向之中央部分切缺的缺口部且防掉落構件分別被設於上層之擱板之夾著缺口部的兩側之情形時，可藉由使用一對防掉落構件而更確實地防止容器掉落。

5‧‧‧容器

5a‧‧‧本體部

5b‧‧‧凸緣

5c‧‧‧蓋部

5d‧‧‧傾斜部

5e‧‧‧凸緣固定部

10‧‧‧擱板

11‧‧‧缺口部

12‧‧‧載置部

12a‧‧‧銷

13‧‧‧固定構件

20‧‧‧柱部

30‧‧‧防掉落構件

31‧‧‧垂直部

32‧‧‧水平部

32a‧‧‧突出部

32d‧‧‧傾斜支承部

40‧‧‧移載裝置

100‧‧‧保管架

H1、H2‧‧‧高度

K‧‧‧空間

X、Y、Z‧‧‧軸

圖1係顯示本實施形態之保管架之一例之圖。

圖2係保管架之側視圖。

圖3係保管架之前視圖。

圖4係保管架之俯視圖。

圖5係將防掉落構件之一例放大而顯示之立體圖。

圖6顯示將容器移載至保管架之作業之一例，圖6(A)係顯示容器通過防掉落構件之前之狀態之圖，圖6(B)係顯示容器通過防掉落構件之後之狀態之圖，圖6(C)係顯示載置有容器之狀態之圖。

圖7顯示被保管於保管架之容器，圖7(A)係顯示容器朝前方傾倒之狀態之圖，圖7(B)係顯示容器朝後方傾倒之狀態之圖。

以下，一邊參照圖式一邊對實施形態進行說明。又，於圖式中，為了說明實施形態，將一部分放大或強調而加以記載等，適當地變更比例來呈現。於以下之各圖中，使用XYZ座標系對圖中之方向進行說明。於該XYZ座標系中，將鉛垂方向設為Z方向，並將水平方向設為X方向、Y方向。X方向、Y方向及Z方向之各者，圖中之箭頭方向作為+方向，與箭頭方向相反之方向係作為-方向而進行說明。

圖1係概略性地顯示本實施形態之保管架100之一例之圖。圖2係保管架100之側視圖。圖3係保管架100之前視圖。圖4係保管架100之俯視圖。如圖1至圖4所示，保管架100例如為保管複數個容器5之自動倉庫、或者為被配置於處理裝置附近、或沿著高架搬送車之移行路徑被配置而保管容器5之保管裝置等。容器5雖圖示為例如收容被使用於半導體元件之製造的晶圓、或光罩等之物品的FOUP，但並不限定於此，亦可為SMIF Pod、光罩盒等。於本實施形態中，容器5具有本體部5a、凸緣5b及蓋部5c。

本體部5a係於內部具備有可收容物品之空間部的例如箱狀，並於前方側之側面具有開口部。於本體部5a，可經由開口部收容及取出物品。凸緣5b係配置於本體部5a之上部。凸緣5b係形成為例如矩形之板狀，且於角部設有傾斜部(倒角部或缺口部)5d(參照圖5)。凸緣5b係經由凸緣固定部5e而被固定於本體部5a之上表面。因此，成為於凸緣5b與本體部5a之間產生對應於凸緣固定部5e之高度的間隔之狀態。

蓋部5c係以封閉本體部5a之開口部之方式被安裝，且可相對於本體部5a進行裝卸。蓋部5c其上部自本體部5a朝上方突出。再者，於蓋部5c自本體部5a朝上方突出之情形時，覆蓋該突出部分之部分亦可被設於本體部5a。

如圖1至圖4所示，保管架100具備有複數個擱板10、柱部20及防掉落構件30。又，保管架100既可具備有當擱板10載置有容器5時對容器5內供給淨化氣體之未圖示之複數個淨化裝置，而且，亦可具備有用以移載容器5之移載 裝置(例如堆高起重機等)。

如圖2及圖3所示，擱板10係沿著上下方向(Z方向)排列而配置有複數層。各擱板10分別朝大致水平方向被配置，且沿著上下方向大致等間隔地被配置。再者，擱板10亦可沿著上下方向排列有複數層，且於橫向(X方向)亦排列而配置有複數個。又，擱板10亦可僅被設為一層。

如圖2所示，複數個擱板10係藉由螺栓等之固定構件13而被固定於柱部20。複數個擱板10分別具有缺口部11(參照圖1)、及載置部12。缺口部11係將擱板10中與前後方向(Y方向)正交之左右方向(X方向)之中央部分切缺而設置。缺口部11係設為可供移載裝置40(參照圖6)之一部分(載置容器5之部分)朝上下方向通過之大小。

如圖4所示，載置部12係沿著前後方向延伸，且夾著缺口部11被配置於左右。載置部12係由金屬等材料被形成為板狀，且左右方向之外側之端邊側朝下方(-Z方向)被彎折。夾著缺口部11之兩側的載置部12，可載置容器5。載置部12於上表面具有複數個銷12a。當容器5被載置於載置部12時，銷12a係插入被設在容器5之底部之複數個放射狀之溝部。各銷12a藉由分別被插入各溝部，而將容器5定位於擱板10(載置部12)。再者，載置部12亦可為擱板10之裏側(+Y側)之端部彼此沿著左右方向被連接之構成。於該情形時，銷12a亦可被設置於連接部分之上表面。

柱部20例如沿著X方向以固定間隔被設置。於該等柱部20之間，亦可形成有擱板10。柱部20係沿著上下方向(Z方向)延伸，並以夾著各擱板10之左右的方式被配置。柱部20支撐 擱板10中裏側(+Y側)之端部。再者，柱部20亦可以支撐擱板10之前側(-Y側)之側方的方式被配置。又，擱板10並不限定於由柱部20所支撐，例如亦可被安裝於平板(panel)等。

防掉落構件30當容器5向前方傾倒時，藉由支撐例如凸緣5b等之容器5之一部分，來限制容器5進一步朝前方傾倒，而防止自擱板10掉落之情形。如圖1或圖3、圖4所示，防掉落構件30分別被設於擱板10之夾著缺口部11之兩側載置部12。又，如圖1至圖3所示，防掉落構件30係以相對於載置有容器5之擱板10，自上層之擱板10垂下的方式被設置。防掉落構件30例如以將構成載置部12之板狀構件之一部分朝下方彎折的狀態被設置。

防掉落構件30具有垂直部31及水平部32。垂直部31係連接於擱板10之載置部12且朝下方(-Z方向)延伸的部分。水平部32係設於垂直部31之下端，平行或大致平行於水平面(XY平面)地被配置。2個水平部32係形成為彼此相對向。防掉落構件30係以若自前後方向觀察時自上層之擱板10垂下之方式被配置之L字形狀的構件。

如圖2所示，水平部32例如被配置於距載置部12之高度(Z方向之距離)與凸緣5b相同或大致相同之位置。因此，水平部32在容器5被載置於擱板10之載置部12之狀態下，位於本體部5a之上方(+Z側)且凸緣5b之前方(-Y側)。藉此，當容器5朝前方傾倒時，水平部32會碰到凸緣5b，而支撐容器5使其不會進一步朝前方側傾倒。

再者，垂直部31及水平部32之厚度(板厚)為任 意。但是，當容器5被移載時，水平部32必須容許本體部5a之上表面與凸緣5b之下表面之間的部分通過。因此，垂直部31及水平部32之厚度係設定為小於本體部5a與凸緣5b之間隔。

於水平部32之上方，形成有當容器5被收容至擱板10時、或容器5自擱板10被取出時，可供凸緣5b通過之空間K。藉由設置有空間K，能避免當容器5相對於擱板10被移載時，凸緣5b或本體部5a與防掉落構件30產生干涉之情形，而使防掉落構件30不會成為容器5之移載的阻礙。又，2個水平部32之間隔係設定為大於凸緣固定部5e之寬度。藉此，當凸緣5b通過水平部32上方之空間K時，凸緣固定部5e可通過2個水平部32之間，而可避免凸緣固定部5e與水平部32產生干涉之情形。

如圖4所示，水平部32具有朝擱板10之裏側(+Y側)突出之突出部32a。圖5係將防掉落構件30之一例放大顯示之立體圖。如圖5所示，突出部32a係與凸緣5b之一部分對向地被配置。突出部32a成為例如水平部32之內側之端部朝裏側(+Y方向)延伸的形狀。

於突出部32a中與凸緣5b之傾斜部5d對向之部分，形成有與該傾斜部5d對應之形狀的傾斜支承部32d。水平部32之傾斜支承部32d係與凸緣5b之傾斜部5d隔著既定間隙而被配置於附近，且被配置於與傾斜部5d相同或大致相同之高度。水平部32藉由具有突出部32a及傾斜支承部32d，而可更靠近凸緣5b而配置。但是，前述之既定間隙，考量到因容器5之個體差異所導致凸緣5b大小的誤差、及藉由移載裝置40移載容器5時之移載誤差等，且為了使凸緣5b與傾斜支承部32d不會產生干涉，而被設定為例 如數mm至數cm程度。

又，如圖4所示，2個防掉落構件30係相對於YZ面對稱地被設置。因此，各防掉落構件30分別具有傾斜支承部32d。例如，在容器5朝前方傾倒之情形時，凸緣5b之2個傾斜部5d分別由傾斜支承部32d所支承。藉此，成為限制容器5朝向前方傾倒且凸緣5b進入2個傾斜支承部32d之狀態，而抑制容器5沿著左右方向(X方向)移動之情形。

如此，藉由以2個傾斜支承部32d支承凸緣的5b之2個傾斜部5d，而在保管架100除了前後方向的搖動還被施加左右方向的搖動之情形時等，即便搖動方向產生變化，亦能抑制容器5傾倒之情形。但是，是否於防掉落構件30設置傾斜支承部32d為任意，亦可不設置傾斜支承部32d。

圖6係顯示在利用移載裝置40對前述之保管架100收容容器5時之動作之一例的圖。於圖6中，省略柱部20等一部分之構成。在收容容器5之情形時，首先，如圖6(A)所示，在移載裝置40載置有容器5之狀態下，將容器5插入上下之擱板10之間。

此時，容器5之高度位置(Z方向之位置)係以水平部32位於本體部5a之上表面(高度H1)與凸緣5b之下表面(高度H2)之間之方式被調整，而使容器5朝+Y方向移動。藉此，凸緣5b通過水平部32上方之空間K，且大致同時地凸緣固定部5e通過2個水平部32之間，使容器5朝裏側移動。如此，以容器5不會與防掉落構件30產生干涉之方式，結束於擱板10之上方容器5之插入。

在容器5被配置於插入位置之情形時，於Y方向，成為防掉落構件30之水平部32被配置於凸緣5b與蓋部5c之間之狀態。再者，如圖6(A)所示，容器5雖被載置於移載裝置40而被插入至擱板10之上方，但由於在擱板10，如上所述般銷12a朝上方突出，因此插入時之容器5之高度，係設定為容器5之下部不會與銷12a產生干涉之高度。

其次，如圖6(B)所示，使移載裝置40下降而使容器5通過缺口部11。藉由利用移載裝置40使容器5通過缺口部11，容器5係載置於擱板10之載置部12，而結束容器5自移載裝置40朝向擱板10之移載。再者，當容器5被載置於擱板10時，銷12a被插入被設在容器5之底部之未圖示之溝部，使容器5相對於載置部12於水平方向(X方向及Y方向)上被定位。又，由於容器5在水平部32被配置於凸緣5b與蓋部5c之間的狀態下下降，因此容器5以水平部32與容器5(凸緣5b等)不會產生干涉之方式，如圖6(C)所示般被載置於載置部12。

在容器5被載置於載置部12之狀態下，水平部32於Y方向上被配置於凸緣5b與蓋部5c之間，且被配置於與凸緣5b大致相同之高度(Z方向之位置)。再者，將容器5載置於載置部12後之移載裝置40，例如維持下降後之高度朝-Y方向移動而離開保管架100。

又，在利用移載裝置40取出被載置於載置部12之容器5時，進行與前述之說明相反之動作。例如，移載裝置40以低於對象之容器5之高度插入擱板10之下方。接著，使移載裝置40之一部分經由缺口部11而上升，藉此容器5自載置部12被移載至 移載裝置40。接著，移載裝置40於容器5之凸緣5b高於水平部32且水平部32高於本體部5a之上部的位置停止上升，一邊維持該高度一邊朝-Y方向移動，藉此成為圖6(A)所示之狀態，而可將容器5自保管架100取出。

圖7顯示被保管於保管架100之容器5，圖7(A)係顯示容器5朝前方傾倒之狀態之圖，圖7(B)係顯示容器5朝後方傾倒之狀態之圖。在保管架100因地震等原因而朝前後方向搖晃之情形時，由於容器5成為銷12a進入底面之未圖示之溝部且本體部5a之底部於水平方向上被固定於載置部12之狀態，因此以朝前方側或後方側傾倒之方式傾斜。例如，如圖7(A)所示，在容器5朝前方側傾倒之情形時，由於防掉落構件30之水平部32被配置於凸緣5b之前方，因此水平部32會碰到凸緣5b使容器5被支承。藉此，可防止容器5於載置部12上朝前方側偏移、或容器5朝前方傾倒而自擱板10掉落之情形。

又，例如，如圖7(B)所示，在容器5朝後方側傾倒之情形時，由於防掉落構件30之水平部32被配置於蓋部5c之上部之後方，因此水平部32會碰到蓋部5c之上部而使容器5被支承。藉此，可防止容器5於載置部12上朝後方側偏移、或容器5朝後方傾倒之情形。再者，於圖7(B)，雖顯示蓋部5c之上部碰到水平部32之例，但並不限定於此。亦可為容器5之本體部5a之上表面碰到水平部32。於該情形時，亦可與前述同樣地防止容器5朝後方傾倒之情形。

如此，根據本實施形態之保管架100，在容器5朝前方側傾倒之情形時，凸緣5b會碰到防掉落構件30，而可 防止容器5之偏移或傾倒。又，在容器5朝後方側傾倒之情形時，容器5之一部分亦會碰到防掉落構件30，而可防止容器5之偏移或傾倒。藉此，能以簡單之構成來防止容器5自擱板10掉落。又，由於具有供凸緣5b通過上方之空間K，因此可避免當相對於擱板10移載容器5時凸緣5b或容器5之本體部5a與防掉落構件30產生干涉之情形，而使防掉落構件30不會成為容器移載之阻礙。

又，本實施形態之保管架100，由於防掉落構件30被配置於容器5之蓋部5C之上部之後方，因此即便當容器5朝後方側傾倒時，防掉落構件30亦會碰到蓋部之5c上部或容器5之本體部5a之上表面，而可防止容器5之偏移或傾倒，而能確實地防止容器5自擱板10掉落。容器5亦可為蓋部5c之上部不自本體部5a之上部突出的類型。即便為如此之容器5，當容器5朝後方側傾倒時，亦可藉由本體部5a之上表面碰到防掉落構件30，而防止容器5之偏移或傾倒。

以上，雖已對本發明之實施形態進行說明，但本發明之技術範圍並不限定於前述之實施形態。例如，於前述之實施形態中，雖已以沿著上下設置有複數個擱板10之保管架100為例進行說明，但亦可為僅一層擱板10之保管架。又，雖已以防掉落構件30分別被配置於夾著缺口部11之兩側之載置部12的構成為例進行說明，但並不限定於此。亦可為例如防掉落構件30僅被配置於任一載置部12之構成。

又，在前述之實施形態中，防掉落構件30雖為以自上層之擱板10垂下之方式被配置之L字形狀的構件，但並不限定於此形狀，只要可配置在被載置於載置部12之容器5之凸緣5b之 前方，則形態為任意。例如，防掉落構件30既可被安裝於柱部20，亦可使用L字形狀以外之形狀(例如彎曲之形狀)。

又，於前述之實施形態中，防掉落構件30雖將上層之之擱板10之一部分彎折所形成，但並不限定於此。例如，與擱板10分開地被形成之金屬製或樹脂製等之防掉落構件30，既可藉由固定螺釘等之緊固構件被安裝於擱板10，亦可藉由焊接等被固定於擱板10。在利用固定螺釘等將防掉落構件30安裝於擱板10之情形時，亦可於防掉落構件30預先形成有長孔或複數個貫通孔，而可於水平方向上調整由固定螺釘等所固定之防掉落構件30之固定位置。藉此，能容易地調整2個防掉落構件30彼此之水平方向之間隔。

又，於前述之實施形態中，雖由防掉落構件30之垂直部31與水平部32形成空間K，但空間K之大小亦可為可變更。例如，如前所述，藉由調整防掉落構件30(垂直部31)之固定位置，可變更空間K之左右方向之寬度。又，藉由分開地構成垂直部31與水平部32，且使水平部32可相對於垂直部31移動，而可變更空間K之上下方向之間隔。

又，於前述之實施形態中，雖顯示在保管架100設有防掉落構件30之構成，但用以防止容器5掉落等之構造，亦可被附設於保管架100。例如，亦可為在保管架100設有防掉落構件30且於擱板10附設有卡止容器5之底部凸緣之構造，或者，亦可附設有使擱板10之載置部12之前方側朝上方傾斜之構造。藉由形成如上述之複數個防掉落對策，而確實地防止容器5掉落。

又，於前述之實施形態中，防掉落構件30之水平部32係配置在與被載置於擱板10之容器5之凸緣5b相同或大致相同的高度。其中，所謂大致相同的高度，係指例如，當容器5朝前方傾倒時，水平部32能碰到凸緣5b之高度。因此，水平部32之高度亦可由被載置於擱板10之容器5之凸緣5b與水平部32之間隔來決定。例如，水平部32既可高於凸緣5b之高度，或者，亦可低於凸緣5b之高度。

又，於前述之實施形態中，雖已以防掉落構件30之水平部32具備有與凸緣5b之傾斜部5d對向之傾斜支承部32d的構成為例進行說明，但並不限定於此。例如，傾斜支承部32d既可為其他形狀，亦可為不設置傾斜支承部32d之構成。

又，於前述之實施形態中，雖已以於防掉落構件30之水平部32設有突出部32a之構成為例進行說明，但並不限定為該構成，亦可為不設置突出部32a之構成。又，作為突出部32a，雖已以水平部32之一部分朝+Y側延伸之狀態所設置的構成為例進行說明，但並不限定為該構成，亦可為其他構成。又，只要在法令所允許之範圍內，可援用作為日本專利申請案之特願2016-196217、及本說明書所引用之所有文獻之內容，來作為本說明書之記載的一部分。

Claims (8)

1. 一種保管架，係對在本體部之上部具有凸緣之容器進行保管者；如此之保管架，其具備有：防掉落構件，其係配置在被載置於擱板之上述容器之上述本體部之上方且上述凸緣之前方，具有可供上述凸緣通過上方之空間。
2. 如請求項1之保管架，其中，上述容器具有可裝卸地被安裝於側面且上部自上述本體部朝上方突出之蓋部，上述防掉落構件係配置於上述蓋部之上部之後方。
3. 如請求項1或2之保管架，其中，上述擱板係沿著上下方向設置有複數個，上述防掉落構件係以自上層之上述擱板垂下之方式被配置之L字形狀的構件。
4. 如請求項3之保管架，其中，上述防掉落構件係藉由將上層之上述擱板之一部分彎折所形成。
5. 如請求項4之保管架，其中，上述防掉落構件具有水平部、及自上述水平部之外側朝上方延伸而連接於上層之上述擱板的垂直部。
6. 如請求項5之保管架，其中，上述水平部係配置在與被載置於上述擱板之上述容器之上述凸緣相同或大致相同的高度。
7. 如請求項6之保管架，其中，上述水平部其與上述凸緣對向之部分的形狀係對應於上述凸緣之形狀所形成。
8. 如請求項3之保管架，其中，上述擱板具備有將與前後方向正交之左右方向之中央部分切缺的缺口部，上述防掉落構件分別被設於上層之上述擱板之夾著上述缺口部的兩側。