TW201806839A - 用於選別雙基材的裝置及方法 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種用於選別雙基材的裝置及方法。該雙基材選別裝置包括一基材輸送裝置、一基材引導寬度調整裝置、一基材夾持器及一基材夾持器輸送裝置。該雙基材選別方法包括以下步驟：使該雙基材選別裝置移動至配置有一匣之一位置；改變基材引導構件以對應收納在該匣中之基材的尺寸以便調整寬度；調整夾持構件之寬度；向前移動以便藉由該等夾持構件夾持該等基材；移動以便為配置在一不同位置之匣提供該等基材；及釋放該等夾持構件之夾持狀態。

Description

用於選別雙基材的裝置及方法

相關申請案之交互參照 本申請案主張2016年8月17日在韓國智慧財產局申請之韓國專利申請案第10-2016-0104434號，其揭示在此加入作為參考。

發明背景 1.技術領域 本發明係有關於用於選別雙基材的裝置及方法，且更特別有關於用於選別配置在匣中之雙基材的裝置及方法。

2.相關技術之說明 通常，一半導體製造系統係構造成藉由一自動輸送裝置在用於儲存儲存複數個基材之多個匣的一儲料器與實施該等基材之單元處理的一單元處理裝置間輸送該等匣。該自動輸送裝置可依據一預設程式依序在該儲料器與該單元處理裝置之間輸送複數個匣。

韓國專利第10-1467523號(專利文獻1)揭露一種用於輸送基材之裝置，其包括：一梭單元，其由一側至另一側互相平行地輸送在相同高度上之至少一對基材；一緩衝單元，用以安置由一側至另一側互相平行地輸送通過該梭單元之該等基材；一選別器，其具有設置在該高度方向上之複數個擱架以便支持該等基材，使得該等基材安置在各擱架上且朝該高度方向裝載；一定位單元，其在輸送互相平行地安置之至少一對基材至該選別器時朝垂直方向堆積該等基材在各擱架上；及一控制單元，用以儲存裝載在該選別器之各擱架上之該等基材。在專利文獻1中，輸送及安置該等檢查後之基材在該緩衝單元120上的該梭單元110包括一第一軌道112、一第一滑件114及一拾取器116。此外，用於裝載由該定位單元130輸送之基材的專利文獻1之選別器160具有設置在該高度方向上之複數個擱架。因為各基材朝該高度方向一個一個地安置且裝載在各擱架上，所以該定位單元朝該垂直方向堆積且裝載平行地安置之該等基材在該選別器上。但是，因為該梭單元110之拾取器116是固定的，所以專利文獻1具有無法應付多種基材之一缺點。此外，因為無法檢查該等基材之一拾取狀態，所以專利文獻1具有無法免除當該等基材被吸取時產生之缺陷。

相關技術文獻 專利文獻

專利文獻1：在2014年11月25日核准之韓國專利第10-1467523號

發明內容 因此，本發明已有鑒於在習知技術中發生之上述問題作成，且本發明之一目的係提供一種用於選別雙基材的裝置及方法，其可自由地將多個基材放在多個匣中且將該等基材取出該等匣。

本發明之另一目的係提供一種用於選別雙基材的裝置及方法，其可在檢查該等基材之狀態時藉由一夾持構件將多個基材放在多個匣中及將該等基材取出該等匣，藉此增加工作效率。

為達成上述目的，依據本發明，提供一種用於選別雙基材的裝置，其配置在配置於一Y軸輸送單元上之一Z軸輸送單元的一側並側向地移動且夾持配置在一匣內之多個基材以便插入及取出該等基材，該雙基材選別裝置包括：一基材引導輸送裝置，其包括：一上板，其具有配置成互相分開一預定間距之第一直線運動軌道；一支持板，其配置在該上板下方且具有配置成互相分開一預定間距之第二直線運動軌道；多個移動板，各藉由一垂直框架與該支持板連接且具有與該第一直線運動軌道連接之第一直線運動引導件；一連接板，其與該等移動板連接且具有配置一滾珠螺桿之一側；一第一驅動源，其具有與該連接板之該滾珠螺桿連接的一側；及多個基材引導構件，其配置在該支持板下方且依據該支持板之一來回移動與該支持板一起移動；一基材引導寬度調整裝置，其包括：多個基材引導構件，其配置在該支持板下方且沿著該支持板之該等第二直線運動軌道朝側向與該支持板一起移動；多個連桿，其配置在與該等基材引導構件連接之該等調整板上；一旋轉板，其兩側與該等連桿分別地連接；及一第二驅動源，其與該旋轉板連接；一基材夾持器，其包括：一下板，其配置在該上板下方且具有配置成互相分開一預定間距之第三直線運動軌道；多個移動塊，各具有配置在該移動塊之下部且與該下板之各第三直線運動軌道結合的一第三直線運動引導件及配置在該移動塊之上部的一第四直線運動軌道；多個支持塊，各具有與該移動塊之該第四直線運動軌道連接的一第四直線運動引導件；多個夾持器缸，其與該等支持塊分別地連接；及多個夾持構件，其與該等夾持器缸分別地連接以便夾持該等基材；及一基材夾持器輸送裝置，其包括：一對第一與第二滑輪，其配置在配置於該下板上之該等第三直線運動軌道外側並互相分開一預定間距；多個皮帶，其嵌合在該等第一與第二滑輪之間；及多個第三驅動源，其與該等第一滑輪分別地連接。

本發明之另一方面提供一種用於選別雙基材的方法，其包括以下步驟：(S10)使一雙基材選別裝置移動至配置有一匣之一位置；(S20)操作一基材引導寬度調整裝置以對應收納在該匣中之基材的尺寸以便藉由改變基材引導構件來調整寬度；(S30)當完成藉由改變該等基材引導構件來調整寬度時，藉由操作該基材引導輸送裝置使該等基材引導構件向前移動；(S40)當完成該等基材引導構件之向前移動時使該基材夾持器之該等夾持構件向前移動；(S50)藉由該等夾持構件夾持收納在該匣中之該等基材；(S60)在夾持該等基材之狀態中使該等夾持構件向後移動；(S70)當完成該等夾持構件之向後移動時使該等基材引導構件向後移動；(S80)使該雙基材選別裝置移動至配置有一匣之另一位置；(S90)藉由操作該基材引導輸送裝置使該等基材引導構件向前移動；(S100)當完成該等基材引導構件之該向前移動時使夾持該等基材S之該等夾持構件向前移動；(S110)藉由夾持該等基材之該等夾持構件來為配置在多個不同位置之多個匣提供多個基材並釋放該等夾持構件之該夾持狀態；(S120)當解除該等夾持構件之該夾持狀態時，使該等夾持構件向後移動；及(S130)當完成該等夾持構件之該向後移動時使該等基材引導構件向後移動。

如上所述，依據本發明之較佳實施例的用於選別雙基材的裝置及方法可將至少一或多數基材連續地插入該等匣中及由該等匣中移除該等基材，藉此增加工作效率。

此外，即使它是一單一裝置，因為它可應付配置在各種匣上之各種基材，即，具有不同尺寸之基材，所以依據本發明之較佳實施例之用於選別雙基材的裝置及方法仍可實施各種功能，藉此減少製造成本。

詳細說明 以下，配合附圖說明依據本發明之一用於選別雙基材的裝置的示範實施例。

如圖4至6所示，該雙基材選別裝置300包括一基材引導輸送裝置350、一基材引導寬度調整裝置380、一基材夾持器450及一基材夾持器輸送裝置460。

如圖1至3所示，該雙基材選別裝置300係配置在配置於一Y軸輸送單元100上之一Z軸輸送單元200的一側並可側向地移動，且具有夾持、插入及取出配置在一匣M內之一基材S的功能。如圖4所示，該雙基材選別裝置300更包括設置在配置一上板302下方之一下板402一側的一基材狀態偵測裝置400以便偵測該基材S之狀態。可了解的是該基材狀態偵測裝置400係各具有一相機及一照明單元的一種偵測裝置。

如圖2所示，該Y軸輸送單元100包括一基板104、一移動板108、一滾珠螺桿110、一伺服馬達112及一對感測器114。直線運動軌道102配置在該基板104上並互相分開一預定間距，且與直線運動引導件106移動地結合，並且該等直線運動引導件106配置在該移動板108下方並互相分開一預定間距。該滾珠螺桿110配置在該基板104之直線運動軌道102之間，且具有與該移動板108連接之一側及與該伺服馬達112連接之另一側，並且該伺服馬達112係一驅動源。此外，一對感測器114配置在該等直線運動軌道102之兩側並互相分開，且該等直線運動軌道102配置在該基板104上。

該等感測器114係用於感測及檢查該移動板108之一移動狀態。

如圖3所示，該Z軸輸送單元200包括一連接板201、一基板204、一移動板208、一滾珠螺桿210、一伺服馬達212及一對感測器214。

該連接板2-1配置在該Y軸輸送單元100之移動板108上，使得該Z軸輸送單元200可依據該Y軸輸送單元100之移動來移動。該垂直基板204係垂直地配置在該連接板201上，且直線運動軌道202配置成互相分開一預定間距。該移動板208配置在該垂直基板204之上部上，且包括與該等直線運動軌道202分別地連接之直線運動引導件206。用於安置該雙基材選別裝置300之一支持構件205配置在該移動板208上。該滾珠螺桿210配置在該垂直基板204之直線運動軌道202之間，且該滾珠螺桿210具有與該移動板208連接之一側及與該伺服馬達212連接之另一側，且該伺服馬達212係一驅動源。此外，一對感測器214配置在該直線運動軌道202之兩側並互相分開，且該等直線運動軌道202配置在該基板204上。該等感測器214係用於感測及檢查該移動板208之一移動狀態。即，該感測器214感測及檢查該雙基材選別裝置300之移動狀態，且該雙基材選別裝置300與該移動板208連接並配置在該支持構件205上。

如圖4與5所示，基材引導輸送裝置350包括一上板302、一支持板306、移動板310、一連接板312、一第一驅動源330及基材引導構件332。

一矩形開口部(未圖示)形成在該上板302之中間，且第一直線運動軌道304配置在該開口部之兩側並互相分開一預定間距。該支持板306配置在該上板302下方，且具有配置成互相分開一預定間距之第二直線運動軌道324。

該等移動板310藉由一垂直框架307與該支持板306分別地連接，且包括與配置在該上板上之該等第一直線運動軌道304分別地連接的第一直線運動引導件308。該連接板312與該等移動板310連接且該滾珠螺桿314配置在該連接板312之一側。該滾珠螺桿314通過配置在該連接板312中間的一連接部315且旋轉地嵌合在一托架317中。因為該滾珠螺桿314之一側與該第一驅動源330連接且另一側嵌合在該托架317中，所以當操作該第一驅動源330時，該連接板312沿著該滾珠螺桿314移動，且該移動板310亦依據該連接板312之移動來移動。該第一驅動源330係使該等基材引導構件向前或向後移動之一伺服馬達。

該等基材引導構件332配置在該支持板306下方且當該支持板306向前或向後移動時與該支持板306一起移動。即，該等基材引導構件332係分別地結合在調整板320上，且各調整板320具有一第二直線運動引導件328，並且該第二直線運動引導件328嵌合在配置於該支持板306下方之該第二直線運動軌道324中。

當操作該第一驅動源330時，該連接板312沿著該滾珠螺桿314移動。當與該連接板312連接之該等移動板310沿著該等第一直線運動軌道304移動時，因為該等移動板310透過該等垂直框架307與該支持板306連接，所以當該等移動板310移動時該支持板306亦移動。此外，因為該等調整板320與該支持板306連接且該等基材引導構件332與該等調整板320一體地連接，所以該等基材引導構件332可用於引導該等基材S。

如圖4至6所示，該基材引導寬度調整裝置380包括該等基材引導構件332、連桿334、一旋轉板335及一第二驅動源340。

如圖4與5所示，該等基材引導構件332配置在該支持板306下方且組配成沿著該支持板306之第二直線運動軌道324朝側向移動。即，該等基材引導構件332與該等調整板320分別地連接且依據該等調整板320之移動而與該等調整板320一起移動，該等調整板320具有與該等第二直線運動軌道324分別地連接之該等第二直線運動引導件328，且該等第二直線運動軌道324在該支持板306下方互相分開。

如圖8所示，該等連桿334配置在與該等基材引導構件332連接之該等調整板320上。該等旋轉板335之兩側與該等連桿334分別地連接，且該旋轉板335與該第二驅動源340之一軸桿(未圖示)連接以便與該等連桿334一起旋轉。該第二驅動源340係用於依據該等基材S之種類來調整該等基材引導構件332之寬度的一伺服馬達。

在該基材引導寬度調整裝置380之情形中，當操作該第二驅動源340時，如圖8所示，該旋轉板335旋轉，且在此情形下，與該旋轉板335連接之該等連桿334亦旋轉。因為藉由該等連桿334之旋轉來調整該等調整板320之寬度，所以可調整與該等調整板320連接之該等基材引導構件332的寬度。

如圖4與6所示，該基材夾持器450包括一下板402、移動塊410、支持塊420、夾持器缸430及夾持構件440。

該下板402具有第三直線運動軌道404，該等第三直線運動軌道404藉由多數框架401互相連接在該上板302下方且配置成互相分開一預定間距。與該下板402之第三直線運動軌道404分別地接合之第三直線運動引導件406分別地配置在該等移動塊410下方，且第四直線運動軌道414分別地配置在該等移動塊410之上部並互相分開一預定間距。該等支持塊420分別地包括與該等移動塊410之第四直線運動軌道414分別地連接的第四直線運動引導件416。該等夾持器缸430與該等支持塊420分別地連接，且該等夾持構件440與該等夾持器缸430分別地連接以便夾持該等基材S。

該等夾持構件440配置在該等支持塊420上且具有該等第四直線運動引導件416之該等支持塊420沿著配置在該等移動塊410上之第四直線運動軌道414移動，使得該等夾持構件440之寬度可調整。此外，如圖7所示，為了避免在夾持該等基材S時互相干涉，該等夾持構件440配置在互相不同之高度以便個別地或同時地夾持該等基材S。即，當該等夾持構件440夾持該等基材S時，只有該等二夾持構件400中之一夾持構件可個別地移動或所有夾持構件440可同時移動。

該基材夾持器450係組配成使得配置有該等夾持構件440及該等夾持器缸430之該等支持塊420可沿著該等第三直線運動軌道404及該等第四直線運動軌道414朝來回方向及朝側向移動。該等夾持構件440同時操作該等夾持器缸430以便夾持該等基材S。換言之，當該等夾持器缸430在該等夾持構件440互相分開之狀態中操作時，在該等夾持構件440間之一間距減少使得該等夾持構件440可夾持該等基材S。在該等基材S移動至設置該匣M之一預定位置後，當該等夾持器缸430之操作停止時，該等夾持構件440返回其初始狀態。

同時，因為分別配置在該基材夾持器450之支持塊420上部上的滾珠軸襯422分別嵌合在與該等基材引導構件332之底側分別地且一體地連接之連接構件342的長孔344中，所以當調整該等基材引導構件332之寬度時，該等支持塊420亦沿著該等第四直線運動軌道414朝該側向(寬度方向)移動，使得該等夾持構件440之寬度亦可調整。

如圖4與6所示，該基材夾持器輸送裝置460包括一對第一與第二滑輪452與454、皮帶456及第三驅動源458。

該等第一與第二滑輪452與454分別配置在配置於該下板402上之第三直線運動軌道404外側並互相分開一間距。該等皮帶456分別嵌合在該等第一與第二滑輪452與454之間。該等第三驅動源458與該第一滑輪452分別地連接。

該基材夾持器輸送裝置460係組配成使得當操作該等第三驅動源458時，操作與該等第三驅動源458之軸桿(未圖示)連接的該等第一滑輪452。在此情形下，藉由該等第一滑輪452及該等皮帶456互相連接之該等第二滑輪454亦旋轉。藉此，該等移動塊410朝垂直方向(朝來回方向)沿著該等第三直線運動軌道404移動。即，因為配置在該等移動塊410上的該等支持塊420之夾持構件440朝垂直方向移動，所以該等夾持構件440可朝向配置在一預定位置之匣M內的該等基材S向前移動，且在夾持該等基材S後向後移動，並取出該等基材S。

以下，說明依據本發明之較佳實施例的雙基材選別裝置的操作關係。

如圖1至4所示，依據本發明之較佳實施例的雙基材選別裝置使用該Y軸輸送單元100及該Z軸輸送單元200移動至配置有該匣M之一預定位置。

當該雙基材選別裝置300移動至該預定位置時，它操作該基材引導輸送裝置350之第一驅動源330。當操作該第一驅動源330時，該連接板312沿著該滾珠螺桿14移動，且接著與該連接板312連接之移動板310沿著該等第一直線運動軌道304移動。此外，因為該移動板310透過該垂直框架307與該支持板306連接，所以當該移動板310移動時，該支持板306亦移動。因為該等調整板320與該支持板306連接且該等基材引導構件332與該等調整板320一體地連接，所以該等基材引導構件332向前移動以便引導該等基材S。

操作該基材引導輸送裝置350之第一驅動源330，且在同時或在一預定時間間隔後，操作該基材引導寬度調整裝置380之第二驅動源340。當操作該第二驅動源340時，該旋轉板335旋轉，且在此情形下，各有一側與該旋轉板335連接之連桿34亦旋轉。因為可藉由該等連桿34之旋轉調整該等調整板320之寬度，所以亦可調整與該等調整板320連接的該等基材引導構件332之寬度。

同時，因為該基材夾持器450係組配成使得配置有該等夾持構件440及該等夾持器缸430之該等支持塊420可沿著該等第三直線運動軌道404及該等第四直線運動軌道414朝該來回方向及朝該側向移動，所以該等夾持構件440可藉由操作該等夾持器缸430來夾持該等基材S。

因為分別地配置在該基材夾持器450之支持塊420之上部上的該等全軸襯422嵌合在與該等基材引導構件332之下部分別地且一體地連接之連接構件342的長孔344中，所以一調整該等基材引導構件332之寬度，該等支持塊420就沿著該等第四直線運動軌道414朝該側向(寬度方向)移動，使得該等夾持構件440之寬度亦可調整。

當操作該等第三驅動源458時，亦操作與該等第三驅動源458之軸桿(未圖示)連接的該等第一滑輪452。在此情形下，亦操作藉由該等第一滑輪452及該等皮帶456互相連接之該等第二滑輪454，且接著該等移動塊410沿著該等第三直線運動軌道404朝該垂直方向(朝該來回方向)移動。

以下，說明依據本發明之一較佳實施例的一用於選別雙基材的方法。

如圖9與10所示，該雙基材選別方法包括以下步驟：(S10)使該雙基材選別裝置300移動至配置有該匣M之一位置；(S20)操作該基材引導寬度調整裝置380以對應收納在該匣M中之基材S的尺寸以便藉由改變該等基材引導構件332來調整寬度；(S30)當完成藉由改變該等基材引導構件332來調整寬度時，藉由操作該基材引導輸送裝置350使該等基材引導構件332向前移動；(S40)當完成該等基材引導構件332之向前移動時，使該基材夾持器450之該等夾持構件440向前移動；(S50)藉由該等夾持構件440夾持收納在該匣M中之該等基材S；(S60)在夾持該等基材S之狀態中使該等夾持構件440向後移動；(S70)當完成該等夾持構件440之向後移動時，使該等基材引導構件332向後移動；(S80)使該雙基材選別裝置300移動至配置有一匣M之另一位置；(S90)藉由操作該基材引導輸送裝置350使該等基材引導構件332向前移動；(S100)當完成該等基材引導構件332之該向前移動時，使夾持該等基材S之該等夾持構件440向前移動；(S110)藉由夾持該等基材S之該等夾持構件440來為配置在多個不同位置之該等匣M提供多個基材S並釋放該等夾持構件440之夾持狀態；(S120)當解除該等夾持構件440之該夾持狀態時，使該等夾持構件440向後移動；及(S130)當完成該等夾持構件440之該向後移動時，使該等基材引導構件332向後移動。

如圖11所示，使該雙基材選別裝置300移動至配置有該匣M之位置的步驟(S10)包括以下步驟：(S12)使該雙基材選別裝置300移動至沿著該Y軸輸送單元100之一Y軸；及(S14)使該雙基材選別裝置300移動至沿著該Z軸輸送單元200之一Z軸。

在使該雙基材選別裝置300移動至沿著該Y軸輸送單元100之Y軸的步驟(S12)中，與配置在該Z軸輸送單元200下部之該連接板201連接的該移動板108移動，且配置在該基板104之兩側的該等感測器114感測該移動板108之移動。

在使該雙基材選別裝置300移動至沿著該Z軸輸送單元200之Z軸的步驟(S14)中，該雙基材選別裝置300配置在與該移動板208連接之支持構件205上，且在該雙基材選別裝置300配置在該支持構件205上之狀態中，該移動板208沿著該等直線運動軌道202移動。在此，當操作該伺服馬達212時，該移動板208依據該滾珠螺桿210之移動來移動。

如圖12所示，操作該基材引導寬度調整裝置380以對應收納在該匣M中之該等基材S的尺寸以便藉由改變該等基材引導構件332來調整寬度的步驟(S20)更包含以下步驟：(S22)操作該第二驅動源340以便操作與該第二驅動源340連接之該旋轉板336及該等連桿334；及(S24)藉由操作該等連桿334來操作與該等調整板320連接之該等基材引導構件332。

在操作該第二驅動源340以便操作與該第二驅動源340連接之該旋轉板336及該等連桿334的步驟(S22)中，當操作該第二驅動源340時，與該第二驅動源340之軸桿(未圖示)連接的該旋轉板336旋轉，且接著與該旋轉板336連接之該等連桿334亦旋轉。在藉由操作該等連桿334來操作與該等調整板320連接之該等基材引導構件332的步驟(S24)中，該等連桿334之狀態藉由該旋轉板336之旋轉而由一直線狀態改變成一傾斜狀態，使得與該等調整板320的該等基材引導構件332之寬度可調整。

如圖9與10所示，該雙基材選別方法更包括以下步驟：(S25)在實施操作該基材引導寬度調整裝置380以對應收納在該匣M中之該等基材S的尺寸以便藉由改變該等基材引導構件332來調整寬度的步驟(S20)後，依據具有對應於該基材S尺寸之已調整寬度的基材引導構件332，改變配置該等夾持構件440之該等支持塊420以便調整該等夾持構件440之寬度。即，當操作該第二驅動源340時，依據本發明之雙基材選別裝置的基材引導寬度調整裝置380使配置在該等調整板320上之旋轉板335及兩側與該旋轉板335連接之該等連桿334旋轉，藉此第一次調整該等基材引導構件332之寬度。此外，因為該等支持塊420之該等滾珠軸襯422嵌合在配置在該等基材引導構件332下方之該等連接構件342的長孔344中，所以一調整該等基材引導構件332之寬度，該等支持塊420就沿著該等第四直線運動軌道414朝該側向(寬度方向)移動，使得該等夾持構件440之寬度第二次被調整。

當改變該等基材引導構件332且完成該寬度調整時，如圖13所示，藉由操作該基材引導輸送裝置350使該等基材引導構件332向前移動的步驟(S30)包括以下步驟：(S32)操作該第一驅動源330以便操作與該第一驅動源330連接之滾珠螺桿314及使該連接板312及與該連接板312連接之該移動板310移動；及(S34)使透過該垂直框架307與該移動板310連接之該支持板306及與該支持板306連接之該等基材引導構件332移動。

在操作該第一驅動源330以便操作與該第一驅動源330連接之滾珠螺桿314及使該連接板312及與該連接板312連接之該移動板310移動的步驟(S32)中，當操作該第一驅動源330時，該連接板312沿著該滾珠螺桿314移動，且接著與該連接板312連接之該等移動板310沿著該等第一直線運動軌道304移動。

在使透過該垂直框架307與該移動板310連接之該支持板306及與該支持板306連接之該等基材引導構件332移動的步驟(S34)中，因為該移動板310透過該垂直框架307與該支持板306連接，所以當該移動板310移動時該支持板306亦移動。因為該等調整板320與該支持板306連接且該等基材引導構件332與該等調整板320一體地連接，該等基材引導構件332向前移動以便引導該等基材S。

如圖14所示，當完成該等基材引導構件332之向前移動時，使該基材夾持器450之該等夾持構件440向前移動的步驟(S40)包括以下步驟：(S42)決定是否使該等夾持構件440中之一或全部夾持構件向前移動；及(S44)操作該等第三驅動源458以使該等移動塊410移動至配置有該匣M之一位置。

在決定是否使該等夾持構件440中之一或全部夾持構件向前移動的步驟(S42)中，一控制單元(未圖示)決定是否使該等夾持構件440中之一或全部夾持構件向前移動。

如圖15所示，藉由該等夾持構件440夾持收納在該匣M中之該等基材S的步驟(S50)包括以下步驟：(S52)操作該等夾持器缸430以便藉由該等夾持構件440夾持該等基材S；及(S54)當該等夾持構件440夾持該等基材S時藉由該基材狀態偵測裝置400檢查該等基材S之夾持狀態。

因為藉由該等夾持構件440夾持該等基材S之步驟(S52)及檢查該等基材S之夾持狀態的步驟(S54)類似於該雙基材選別裝置300之操作關係，所以省略其詳細說明。

如上所述，依據本發明之較佳實施例的雙基材選別方法可藉由單一裝置實施各種操作，因為它可對應於各種基材之尺寸調整該等基材引導構件之寬度及調整該等夾持構件之寬度。此外，因為該等夾持構件配置在互不相同之高度以便避免互相干渉，所以該等夾持構件可個別地或同時地夾持該等基材。

依據本發明之用於選別雙基材的裝置及方法可廣泛地應用在用於製造半導體之領域中，例如插入多個匣及由多個匣取出之半導體設備中。

100‧‧‧Y軸輸送單元
102,202‧‧‧直線運動軌道
104,204‧‧‧基板
106,206‧‧‧直線運動引導件
108,208,310‧‧‧移動板
110,210,314‧‧‧滾珠螺桿
112,212‧‧‧伺服馬達
114,214‧‧‧感測器
200‧‧‧Z軸輸送單元
201,312‧‧‧連接板
205‧‧‧支持構件
300‧‧‧雙基材選別裝置
302‧‧‧上板
304‧‧‧第一直線運動軌道
306‧‧‧支持板
307‧‧‧垂直框架
308‧‧‧第一直線運動引導件
315‧‧‧連接部
317‧‧‧托架
320‧‧‧調整板
324‧‧‧第二直線運動軌道
328‧‧‧第二直線運動引導件
330‧‧‧第一驅動源
332‧‧‧基材引導構件
334‧‧‧連桿
335,336‧‧‧旋轉板
340‧‧‧第二驅動源
342‧‧‧連接構件
344‧‧‧長孔
350‧‧‧基材引導輸送裝置
380‧‧‧基材引導寬度調整裝置
400‧‧‧基材狀態偵測裝置
401‧‧‧框架
402‧‧‧下板
404‧‧‧第三直線運動軌道
406‧‧‧第三直線運動引導件
410‧‧‧移動塊
414‧‧‧第四直線運動軌道
416‧‧‧第四直線運動引導件
420‧‧‧支持塊
422‧‧‧滾珠軸襯
430‧‧‧夾持器缸
440‧‧‧夾持構件
450‧‧‧基材夾持器
452‧‧‧第一滑輪
454‧‧‧第二滑輪
456‧‧‧皮帶
458‧‧‧第三驅動源
460‧‧‧基材夾持器輸送裝置
M‧‧‧匣
S‧‧‧基材
S10,S12,S14,S20,S22,S24,S25,S30,S32,S34,S40,S42,S44,S50,S52,S54,S60,S70,S80,S90,S100,S110,S120,S130‧‧‧步驟

圖式簡單說明 本發明之上述及其他目的、特徵及優點可配合附圖由本發明之較佳實施例的以下詳細說明了解，其中：

圖1係簡單顯示依據本發明一較佳實施例之一用以選別雙基材的裝置的立體圖；

圖2係顯示依據本發明較佳實施例之雙基材選別裝置的一Y軸輸送單元的截面圖；

圖3係顯示依據本發明較佳實施例之雙基材選別裝置的一Z軸輸送單元的截面圖；

圖4係顯示依據本發明較佳實施例之用以選別雙基材的裝置的立體圖；

圖5係顯示依據本發明較佳實施例之雙基材選別裝置的一基材引導輸送裝置及一基材引導寬度調整裝置的立體圖；

圖6係顯示依據本發明較佳實施例之雙基材選別裝置的一基材夾持器及一基材夾持器輸送裝置的立體圖；

圖7係顯示依據本發明較佳實施例之雙基材選別裝置的基材夾持構件的截面圖；

圖8係顯示在該雙基材選別裝置之該基材引導寬度調整裝置之一旋轉板與多個連桿間之操作關係的截面圖；

圖9與10係流程圖，簡單顯示本發明一較佳實施例之一用於選別雙基材的方法；

圖11係流程圖，顯示使該雙基材選別裝置移動至配置有一匣之一位置的步驟；

圖12係流程圖，顯示操作該基材引導寬度調整裝置以對應收納在該匣中之基材的尺寸以便藉由改變基材引導構件來調整寬度；

圖13係流程圖，顯示當完成藉由改變該等基材引導構件來調整寬度時，藉由操作該基材引導輸送裝置使該等基材引導構件向前移動的步驟；

圖14係流程圖，顯示當完成該等基材引導構件之向前移動時，使該基材夾持器之該等夾持構件向前移動的步驟；及

圖15係流程圖，顯示藉由該等夾持構件夾持收納在該匣中之該等基材的步驟。

100‧‧‧Y軸輸送單元

200‧‧‧Z軸輸送單元

300‧‧‧雙基材選別裝置

M‧‧‧匣

S‧‧‧基材

Claims (16)

1. 一種用於選別雙基材的裝置，其配置在配置於一Y軸輸送單元上之一Z軸輸送單元的一側以便側向地移動並且夾持配置在一匣內之多個基材以便插入及取出該等基材，該雙基材選別裝置包含： 一基材引導輸送裝置，其包括：一上板，其具有配置成互相分開一預定間距之第一直線運動軌道；一支持板，其配置在該上板下方且具有配置成互相分開一預定間距之第二直線運動軌道；多個移動板，各藉由一垂直框架與該支持板連接且具有與該第一直線運動軌道連接之第一直線運動引導件；一連接板，其與該等移動板連接且具有配置一滾珠螺桿之一側；一第一驅動源，其具有與該連接板之該滾珠螺桿連接的一側；及多個基材引導構件，其配置在該支持板下方且依據該支持板之一來回移動與該支持板一起移動； 一基材引導寬度調整裝置，其包括：多個基材引導構件，其配置在該支持板下方且沿著該支持板之該等第二直線運動軌道在側向上與該支持板一起移動；多個連桿，其配置在與該等基材引導構件連接之該等調整板上；一旋轉板，其兩側與該等連桿分別地連接；及一第二驅動源，其與該旋轉板連接； 一基材夾持器，其包括：一下板，其配置在該上板下方且具有配置成互相分開一預定間距之第三直線運動軌道；多個移動塊，各具有配置在該移動塊之下部且與該下板之各第三直線運動軌道結合的一第三直線運動引導件及配置在該移動塊之上部的一第四直線運動軌道；多個支持塊，各具有與該移動塊之該第四直線運動軌道連接的一第四直線運動引導件；多個夾持器缸，其與該等支持塊分別地連接；及多個夾持構件，其與該等夾持器缸分別地連接以便夾持該等基材；及 一基材夾持器輸送裝置，其包括：一對第一與第二滑輪，其配置在配置於該下板上之該等第三直線運動軌道外側並互相分開一預定間距；多個皮帶，其嵌合在該等第一與第二滑輪之間；及多個第三驅動源，其與該等第一滑輪分別地連接。
2. 如請求項1之雙基材選別裝置，其中該Y軸輸送單元包含：一基板，該等直線運動軌道配置在該基板上且互相分開；一移動板，其配置在該基板上方且具有與該等直線運動軌道連接之多個直線運動引導件；一滾珠螺桿，其配置在該基板之該等直線運動軌道之間且具有與該移動板連接之一側；一伺服馬達，其與該滾珠螺桿連接；及一對感測器，其配置在配置於該基板上之該等直線運動軌道兩側並互相分開一預定間距。
3. 如請求項1之雙基材選別裝置，其中該Z軸輸送單元包含：一連接板，其配置在該Y軸輸送單元之該移動板上；一垂直基板，其垂直地配置在該連接板上且具有互相分開一預定間距之多個直線運動軌道；一移動板，其配置在該垂直基板之上部上且具有與該等直線運動軌道連接之多個直線運動引導件；一滾珠螺桿，其配置在該垂直基板之該等直線運動軌道之間且具有與該移動板連接之一側；一伺服馬達，其與該滾珠螺桿連接；及一對感測器，其配置在配置於該垂直基板上之該等直線運動軌道兩側並互相分開。
4. 如請求項1之雙基材選別裝置，更包含： 一基材狀態偵測裝置，其設置在配置於該上板下方之該下板的一側，用於偵測該等基材之狀態。
5. 如請求項1之雙基材選別裝置，其中該基材引導輸送裝置之該第一驅動源係用於使該等基材引導構件向前與向後移動之一伺服馬達，且該基材引導寬度調整裝置之該第二驅動源係用於調整對應於該等基材之種類的該等基材引導構件的寬度。
6. 如請求項1之雙基材選別裝置，其中該基材引導輸送裝置之該等基材引導構件與具有多個第二直線運動引導件之該等調整板分別地連接且依據該等調整板之移動而與該等調整板一起移動，並且該等第二直線運動引導件與在該支持板下方互相分開之該等第二直線運動軌道分別地連接。
7. 如請求項1之雙基材選別裝置，其中該基材引導寬度調整裝置之該等基材引導構件依據配置在該等調整板上之該旋轉板及該等連桿的移動而一起移動，且該等連桿之兩側與該旋轉板連接。
8. 如請求項1之雙基材選別裝置，其中該基材夾持器之該等夾持構件配置在該等支持塊上，且因為具有該等第四直線運動引導件之該等支持塊沿著配置在該等移動塊上之該等第四直線運動軌道移動，所以可調整該等夾持構件之寬度。
9. 如請求項1之雙基材選別裝置，其中為避免在夾持該等基材時互相干涉，該基材夾持器之該等夾持構件配置在互不相同之高度以便個別地或同時地夾持該等基材。
10. 一種用於選別雙基材的方法，包含以下步驟： (S10)使一雙基材選別裝置移動至配置有一匣之一位置； (S20)操作一基材引導寬度調整裝置以對應收納在該匣中之基材的尺寸以便藉由改變基材引導構件來調整寬度； (S30)當完成藉由改變該等基材引導構件來調整寬度時，藉由操作該基材引導輸送裝置使該等基材引導構件向前移動； (S40)當完成該等基材引導構件之向前移動時，使該基材夾持器之該等夾持構件向前移動； (S50)藉由該等夾持構件夾持收納在該匣中之該等基材； (S60)在夾持該等基材之狀態中使該等夾持構件向後移動； (S70)當完成該等夾持構件之向後移動時，使該等基材引導構件向後移動； (S80)使該雙基材選別裝置移動至配置有一匣之另一位置； (S90)藉由操作該基材引導輸送裝置使該等基材引導構件向前移動； (S100)當完成該等基材引導構件之該向前移動時，使夾持該等基材之該等夾持構件向前移動； (S110)藉由夾持該等基材之該等夾持構件來為配置在不同位置之該等匣提供多個基材並釋放該等夾持構件之夾持狀態； (S120)當解除該等夾持構件之該夾持狀態時，使該等夾持構件向後移動；及 (S130)當完成該等夾持構件之該向後移動時，使該等基材引導構件向後移動。
11. 如請求項10之雙基材選別方法，其中使該雙基材選別裝置移動至配置有一匣之一位置的該步驟(S10)包括以下步驟： (S12)使該雙基材選別裝置移動至沿著一Y軸輸送單元之一Y軸；及 (S14)使該雙基材選別裝置移動至沿著一Z軸輸送單元之一Z軸。
12. 如請求項10之雙基材選別方法，其中操作一基材引導寬度調整裝置以對應收納在該匣中之該等基材的尺寸以便藉由改變基材引導構件來調整寬度的該步驟(S20)包含以下步驟： (S22)操作一第二驅動源以便操作與該第二驅動源連接之一旋轉板及多個連桿；及 (S24)藉由操作該等連桿來操作與多個調整板連接之該等基材引導構件。
13. 如請求項10之雙基材選別方法，更包含以下步驟： (S25)在實施操作一基材引導寬度調整裝置以對應收納在該匣中之基材的尺寸以便藉由改變基材引導構件來調整寬度的該步驟(S20)後，依據具有對應於該基材尺寸之已調整寬度的該等基材引導構件，改變配置該等夾持構件之該等支持塊以便調整該等夾持構件之寬度。
14. 如請求項10之雙基材選別方法，其中當完成藉由改變該等基材引導構件來調整寬度時，藉由操作該基材引導輸送裝置使該等基材引導構件向前移動的該步驟(S30)包含以下步驟： (S32)操作該第一驅動源以便操作與該第一驅動源連接之一滾珠螺桿及使一連接板及與該連接板連接之一移動板移動；及 (S34)使透過一垂直框架與該移動板連接之一支持板及與該支持板連接之該等基材引導構件移動。
15. 如請求項10之雙基材選別方法，其中當完成該等基材引導構件之向前移動時，使該基材夾持器之該等夾持構件向前移動的該步驟(S40)包含以下步驟： (S42)決定是否使該等夾持構件中之一或全部夾持構件向前移動；及 (S44)操作多個第三驅動源以使該等移動塊移動至配置有該匣之一位置。
16. 如請求項10之雙基材選別方法，其中藉由該等夾持構件夾持收納在該匣中之該等基材的該步驟(S50)包括以下步驟： (S52)操作多個夾持器缸以便藉由該等夾持構件夾持該等基材；及 (S54)當該等夾持構件夾持該等基材時，藉由一基材狀態偵測裝置檢查該等基材之夾持狀態。