TW201715307A - 感光性組合物、圖案形成方法、硬化物、及顯示裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種對於曝光之感度充分，可藉由硬化而提供透過率充分之硬化物的感光性組合物、使用該感光性組合物之圖案形成方法、使用該感光性組合物所形成之硬化物、具備該硬化物之顯示裝置。 本發明之感光性組合物包含式(1)所表示之光聚合起始劑(A1)、及具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑(A2)。式(1)中，R1為氫原子或1價有機基，R2及R3分別為可具有取代基之鏈狀烷基、可具有取代基之環狀有機基、或氫原子，R2與R3亦可相互鍵結而形成環，R4為具有特定環狀結構之有機基，R5為氫原子、可具有取代基之碳原子數1～11之烷基、或可具有取代基之芳基，n為0～4之整數。其中，光聚合起始劑(A1)不具有硝基。□

Description

感光性組合物、圖案形成方法、硬化物、及顯示裝置

本發明係關於一種感光性組合物、使用該感光性組合物之圖案形成方法、使用該感光性組合物所形成之硬化物、以及具備該硬化物之顯示裝置。

於液晶顯示裝置之類的顯示裝置中，絕緣膜或間隔件之類的材料需要使自背光之類的光源所發出之光高效率地透過。因此，為了形成絕緣膜或間隔件之圖案，使用藉由曝光而提供透明之硬化膜的感光性組合物。藉由對此種感光性組合物選擇性地進行曝光，可形成透明硬化膜之圖案。 作為能夠形成透明之硬化膜之感光性組合物，例如提出有包含樹脂、聚合性化合物、特定結構之聚合起始劑、及溶劑之組合物(專利文獻1)。具體而言，於專利文獻1之實施例中揭示有包含如下者之感光性組合物：甲基丙烯酸與具有脂環式環氧基之丙烯酸酯之共聚物，二季戊四醇六丙烯酸酯，下述式之任意者所表示之聚合起始劑，以及包含3-甲氧基-1-丁醇、丙二醇單甲醚乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、及乙酸3-甲氧基丁酯之混合溶劑。 [化1]感光性組合物係藉由如下方式而硬化：作為其成分之一部分而含有之光聚合起始劑藉由曝光而產生自由基，該自由基使感光性組合物中所含之聚合性化合物進行聚合。因此，已知感光性組合物之感度根據其所含之光聚合起始劑之種類而受到影響。作為可使感光性組合物之感度良好之光聚合起始劑，於專利文獻2中提出有具有環烷基之肟酯化合物。於專利文獻2中所記載之實施例中，具體地揭示有下述化學式(a)及(b)所表示之化合物。 [化2][先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2012-58728號公報 [專利文獻2]中華人民共和國公開專利公報 第101508744號

[發明所欲解決之問題] 然而，專利文獻1或專利文獻2中所記載之感光性組合物對於曝光之感度並不充分，使用該感光性組合物所形成之硬化膜之透過率並不充分。 本發明係鑒於上述課題而成者，其目的在於提供對於曝光之感度充分，可藉由硬化而提供透過率充分之硬化物的感光性組合物、使用該感光性組合物之圖案形成方法、使用該感光性組合物所形成之硬化物、具備該硬化物之顯示裝置。 [解決問題之技術手段] 本發明者等人發現藉由於包含光聚合起始劑之感光性組合物中，使用具有特定結構之光聚合起始劑(A1)、具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑(A2)作為該光聚合起始劑，可解決上述課題，從而完成本發明。 本發明之第一態樣係一種感光性組合物，其包含下述式(1)所表示之光聚合起始劑(A1)、及具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑(A2)； [化3](R¹ 為氫原子或1價有機基，R² 及R³ 分別為可具有取代基之鏈狀烷基、可具有取代基之環狀有機基、或氫原子，R² 與R³ 亦可相互鍵結而形成環，R⁴ 為下述式(R4-1)或(R4-2)所表示之基，R⁵ 為氫原子、可具有取代基之碳原子數1～11之烷基、或可具有取代基之芳基，n為0～4之整數；其中，式(1)所表示之光聚合起始劑不具有硝基) [化4](式(R4-1)及(R4-2)中，R⁷ 及R⁸ 分別為1價有機基，p為0～4之整數，於R⁷ 及R⁸ 存在於苯環上之鄰接之位置之情形時，R⁷ 與R⁸ 亦可相互鍵結而形成環，q為1～8之整數，r為1～5之整數，s為0～(r＋3)之整數，R⁹ 為1價有機基)。 本發明之第二態樣係一種圖案形成方法，其係使用第一態樣之感光性組合物而形成塗膜或成形體，對該塗膜或成形體以特定圖案狀照射電磁波而進行顯影。 本發明之第三態樣係一種硬化物，其係使用第一態樣之感光性組合物而形成者。 本發明之第四態樣係一種顯示裝置，其具備第三態樣之硬化物。 [發明之效果] 藉由本發明可提供對於曝光之感度充分，可藉由硬化而提供透過率充分之硬化物的感光性組合物、使用該感光性組合物之圖案形成方法、使用該感光性組合物所形成之硬化物、具備該硬化物之顯示裝置。

≪感光性組合物≫ 本發明之感光性組合物包含上述式(1)所表示之光聚合起始劑(A1)、及具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑(A2)。以下，對感光性組合物中所含之各成分加以說明。 ＜光聚合起始劑(A)＞ 根據光聚合起始劑之種類，存在包含光聚合起始劑之感光性組合物之透過率、及使用該感光性組合物所形成之實施了後烘烤之圖案之透過率降低之情形。又，根據光聚合起始劑之種類，亦存在包含光聚合起始劑之感光性組合物之透過率降低之情形。然而，於使用包含上述式(1)所表示之光聚合起始劑(A1)(以下亦稱為「光聚合起始劑(A1)」或「(A1)成分」)之感光性組合物之情形時，難以產生因加熱所引起之圖案之透過率降低。同時，亦存在難以產生感光性組合物之透過率降低之情形。又，光聚合起始劑(A1)對於光為相對較高之感度。 另一方面，具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑(A2)(以下亦稱為「光聚合起始劑(A2)」或「(A2)成分」)對於光為高感度。 本發明之感光性組合物藉由光聚合起始劑(A1)與光聚合起始劑(A2)之組合而提供對於光之感度優異且維持較高之透過率之硬化物。因此，藉由使用本發明之感光性組合物，可以低曝光量而形成所需形狀之圖案，所形成之圖案具有較高之透過率。又，藉由使用感度優異之本發明之感光性組合物，可抑制形成圖案時之圖案剝落，且可抑制形成線圖案時於圖案之邊緣所產生之晃動之發生。 [式(1)所表示之光聚合起始劑(A1)] 本發明之感光性組合物含有上述式(1)所表示之光聚合起始劑(A1)。光聚合起始劑(A1)可單獨使用或將2種以上組合而使用。 式(1)中，R¹ 為氫原子或1價有機基。R¹ 係於式(1)中之茀環上，鍵結於與-CO-所表示之基所鍵結之6員芳香環不同之6員芳香環上。若滿足該條件，則於式(1)中，R¹ 相對於茀環之鍵結位置並無特別限定。於光聚合起始劑(A1)具有1個以上R¹ 之情形時，基於光聚合起始劑(A1)之合成容易等情況，較佳為1個以上R¹ 中之1個鍵結於茀環中之2位上。於R¹ 為複數個之情形時，複數個R¹ 可相同亦可不同。 於R¹ 為1價有機基之情形時，R¹ 只要為不阻礙本發明之目的之範圍，則無特別限定，可自各種1價有機基中適宜選擇。作為R¹ 為1價有機基之情形時之適宜例，可列舉烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯氧基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、及哌-1-基等。 於R¹ 為烷基之情形時，烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～6。又，於R¹ 為烷基之情形時，可為直鏈亦可為支鏈。作為R¹ 為烷基之情形時之具體例，可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於R¹ 為烷基之情形時，烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷基之例，可列舉甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。 於R¹ 為烷氧基之情形時，烷氧基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～6。又，於R¹ 為烷氧基之情形時，可為直鏈亦可為支鏈。作為R¹ 為烷氧基之情形時之具體例，可列舉甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基、第三丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、第二戊氧基、第三戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基、異辛氧基、第二辛氧基、第三辛氧基、正壬氧基、異壬氧基、正癸氧基、及異癸氧基等。又，於R¹ 為烷氧基之情形時，烷氧基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷氧基之例，可列舉甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙氧基等。 於R¹ 為環烷基或環烷氧基之情形時，環烷基或環烷氧基之碳原子數較佳為3～10，更佳為3～6。作為R¹ 為環烷基之情形時之具體例，可列舉環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。作為R¹ 為環烷氧基之情形時之具體例，可列舉環丙氧基、環丁氧基、環戊氧基、環己氧基、環庚氧基、及環辛氧基等。 於R¹ 為飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之情形時，飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之碳原子數較佳為2～21，更佳為2～7。作為R¹ 為飽和脂肪族醯基之情形時之具體例，可列舉乙醯基、丙醯基、正丁醯基、2-甲基丙醯基、正戊醯基、2,2-二甲基丙醯基、正己醯基、正庚醯基、正辛醯基、正壬醯基、正癸醯基、正十一醯基、正十二醯基、正十三醯基、正十四醯基、正十五醯基、及正十六醯基等。作為R¹ 為飽和脂肪族醯氧基之情形時之具體例，可列舉乙醯氧基、丙醯氧基、正丁醯氧基、2-甲基丙醯氧基、正戊醯氧基、2,2-二甲基丙醯氧基、正己醯氧基、正庚醯氧基、正辛醯氧基、正壬醯氧基、正癸醯氧基、正十一醯氧基、正十二醯氧基、正十三醯氧基、正十四醯氧基、正十五醯氧基、及正十六醯氧基等。 於R¹ 為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基之碳原子數較佳為2～20，更佳為2～7。作為R¹ 為烷氧基羰基之情形時之具體例，可列舉甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、異丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、第二丁氧基羰基、第三丁氧基羰基、正戊氧基羰基、異戊氧基羰基、第二戊氧基羰基、第三戊氧基羰基、正己氧基羰基、正庚氧基羰基、正辛氧基羰基、異辛氧基羰基、第二辛氧基羰基、第三辛氧基羰基、正壬氧基羰基、異壬氧基羰基、正癸氧基羰基、及異癸氧基羰基等。 於R¹ 為苯基烷基之情形時，苯基烷基之碳原子數較佳為7～20，更佳為7～10。又，於R¹ 為萘基烷基之情形時，萘基烷基之碳原子數較佳為11～20，更佳為11～14。作為R¹ 為苯基烷基之情形時之具體例，可列舉苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。作為R¹ 為萘基烷基之情形時之具體例，可列舉α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基)乙基、及2-(β-萘基)乙基。於R¹ 為苯基烷基或萘基烷基之情形時，R¹ 亦可於苯基、或萘基上進而具有取代基。 於R¹ 為雜環基之情形時，雜環基為包含1個以上N、S、及/或O之5員或6員之單環，或該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於雜環基為縮合環之情形時，所縮合之環數為3以下。雜環基可為芳香族基(雜芳基)，亦可為非芳香族基。作為構成該雜環基之雜環，可列舉呋喃環、噻吩環、吡咯環、唑環、異唑環、噻唑環、噻二唑環、異噻唑環、咪唑環、吡唑環、三唑環、吡啶環、吡環、嘧啶環、嗒環、苯并呋喃環、苯并噻吩環、吲哚環、異吲哚環、吲哚環、苯并咪唑環、苯并三唑環、苯并唑環、苯并噻唑環、咔唑環、嘌呤環、喹啉環、異喹啉環、喹唑啉環、酞環、 啉環、喹啉環、哌啶環、哌環、嗎啉環、哌啶環、四氫吡喃環、及四氫呋喃環等。於R¹ 為雜環基之情形時，雜環基亦可進而具有取代基。 於R¹ 為雜環基羰基之情形時，雜環基羰基中所含之雜環基與R¹ 為雜環基之情形相同。 於R¹ 為經1個或2個有機基取代之胺基之情形時，有機基之適宜例可列舉碳原子數1～20之烷基、碳原子數3～10之環烷基、碳原子數2～21之飽和脂肪族醯基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之碳原子數7～20之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之碳原子數11～20之萘基烷基、及雜環基等。該等之適宜之有機基之具體例與R¹ 同樣。作為經1個或2個有機基取代之胺基之具體例，可列舉甲基胺基、乙基胺基、二乙基胺基、正丙基胺基、二正丙基胺基、異丙基胺基、正丁基胺基、二正丁基胺基、正戊基胺基、正己基胺基、正庚基胺基、正辛基胺基、正壬基胺基、正癸基胺基、苯基胺基、萘基胺基、乙醯基胺基、丙醯基胺基、正丁醯基胺基、正戊醯基胺基、正己醯基胺基、正庚醯基胺基、正辛醯基胺基、正癸醯基胺基、苯甲醯基胺基、α-萘甲醯基胺基、及β-萘甲醯基胺基等。 作為R¹ 中所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基，可列舉碳原子數1～6之烷基、碳原子數1～6之烷氧基、碳原子數2～7之飽和脂肪族醯基、碳原子數2～7之烷氧基羰基、碳原子數2～7之飽和脂肪族醯氧基、具有碳原子數1～6之烷基之單烷基胺基、具有碳原子數1～6之烷基之二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌-1-基、鹵素原子、及氰基等。鹵素原子之具體例及適宜例如後所述。於R¹ 中所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，其取代基之個數只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無限定，較佳為1～4。於R¹ 中所含之苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。 於以上所說明之基中，於存在感度提高之傾向之方面而言，R¹ 較佳為R⁶ -CO-所表示之基。R⁶ 只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無特別限定，可自各種有機基中選擇。作為R⁶ 而適宜之基之例，可列舉碳原子數1～20之烷基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之萘基、及可具有取代基之雜環基。作為R⁶ ，於該等基中尤佳為2-甲基苯基、噻吩-2-基、及α-萘基。 又，於存在透明性變良好之傾向之方面而言，作為R¹ ，較佳為氫原子。再者，若R¹ 為氫原子且R⁴ 為下述之式(R4-2)所表示之基，則存在透明性變得更良好之傾向。 式(1)中，R² 及R³ 分別為可具有取代基之鏈狀烷基、可具有取代基之環狀有機基、或氫原子。R² 與R³ 亦可相互鍵結而形成環。該等基中，作為R² 及R³ ，較佳為可具有取代基之鏈狀烷基。於R² 及R³ 為可具有取代基之鏈狀烷基之情形時，鏈狀烷基可為直鏈烷基亦可為支鏈烷基。 於R² 及R³ 為不具有取代基之鏈狀烷基之情形時，鏈狀烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～10，尤佳為1～6。作為R² 及R³ 為鏈狀烷基之情形時之具體例，可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於R² 及R³ 為烷基之情形時，烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷基之例，可列舉甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。 於R² 及R³ 為具有取代基之鏈狀烷基之情形時，鏈狀烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～10，尤佳為1～6。於該情形時，取代基之碳原子數並不包含於鏈狀烷基之碳原子數中。具有取代基之鏈狀烷基較佳為直鏈狀。 烷基所亦可具有之取代基只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無特別限定。作為取代基之適宜例，可列舉氰基、鹵素原子、環狀有機基、及烷氧基羰基。作為鹵素原子，可列舉氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。該等中，較佳為氟原子、氯原子、溴原子。作為環狀有機基，可列舉環烷基、芳香族烴基、雜環基。作為環烷基之具體例，與R¹ 為環烷基之情形之適宜例同樣。作為芳香族烴基之具體例，可列舉苯基、萘基、聯苯基、蒽基、及菲基等。作為雜環基之具體例，與R¹ 為雜環基之情形之適宜例同樣。於R¹ 為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基中所含之烷氧基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。烷氧基羰基中所含之烷氧基之碳原子數較佳為1～10，更佳為1～6。 於鏈狀烷基具有取代基之情形時，取代基數並無特別限定。較佳之取代基數與鏈狀烷基之碳原子數相應地改變。取代基數典型為1～20，較佳為1～10，更佳為1～6。 於R² 及R³ 為環狀有機基之情形時，環狀有機基可為脂環式基，亦可為芳香族基。作為環狀有機基，可列舉脂肪族環狀烴基、芳香族烴基、雜環基。於R² 及R³ 為環狀有機基之情形時，環狀有機基所亦可具有之取代基與R² 及R³ 為鏈狀烷基之情形同樣。 於R² 及R³ 為芳香族烴基之情形時，較佳為芳香族烴基為苯基，或為複數個苯環經由碳-碳鍵進行鍵結而形成之基，或為複數個苯環縮合而形成之基。於芳香族烴基為苯基，或為複數個苯環鍵結或縮合而形成之基之情形時，芳香族烴基中所含之苯環之環數並無特別限定，較佳為3個以下，更佳為2個以下，尤佳為1個。作為芳香族烴基之較佳之具體例，可列舉苯基、萘基、聯苯基、蒽基、及菲基等。 於R² 及R³ 為脂肪族環狀烴基之情形時，脂肪族環狀烴基可為單環式亦可為多環式。脂肪族環狀烴基之碳原子數並無特別限定，較佳為3～20，更佳為3～10。作為單環式環狀烴基之例，可列舉環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、降 基、異 基、三環壬基、三環癸基、四環十二烷基、及金剛烷基等。 於R² 及R³ 為雜環基之情形時，雜環基為包含1個以上N、S、及/或O之5員或6員之單環，或該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於雜環基為縮合環之情形時，所縮合之環數為3以下。雜環基可為芳香族基(雜芳基)，亦可為非芳香族基。作為構成該雜環基之雜環，可列舉呋喃環、噻吩環、吡咯環、唑環、異唑環、噻唑環、噻二唑環、異噻唑環、咪唑環、吡唑環、三唑環、吡啶環、吡環、嘧啶環、嗒環、苯并呋喃環、苯并噻吩環、吲哚環、異吲哚環、吲哚環、苯并咪唑環、苯并三唑環、苯并唑環、苯并噻唑環、咔唑環、嘌呤環、喹啉環、異喹啉環、喹唑啉環、酞環、 啉環、喹啉環、哌啶環、哌環、嗎啉環、哌啶環、四氫吡喃環、及四氫呋喃環等。 R² 與R³ 亦可相互鍵結而形成環。包含R² 與R³ 所形成之環的基較佳為亞環烷基。於R² 與R³ 鍵結而形成亞環烷基之情形時，構成亞環烷基之環較佳為5員環～6員環，更佳為5員環。 於R² 與R³ 鍵結而形成之基為亞環烷基之情形時，亞環烷基亦可與1個以上之其他環縮合。作為亦可與亞環烷基縮合之環之例，可列舉苯環、萘環、環丁烷環、環戊烷環、環己烷環、環庚烷環、環辛烷環、呋喃環、噻吩環、吡咯環、吡啶環、吡環、及嘧啶環等。 作為以上所說明之R² 及R³ 中適宜之基之例子，可列舉式-A¹ -A² 所表示之基。式中，A¹ 為直鏈伸烷基，A² 為烷氧基、氰基、鹵素原子、鹵化烷基、環狀有機基、或烷氧基羰基。 A¹ 之直鏈伸烷基之碳原子數較佳為1～10，更佳為1～6。於A² 為烷氧基之情形時，烷氧基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。烷氧基之碳原子數較佳為1～10，更佳為1～6。於A² 為鹵素原子之情形時，較佳為氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，更佳為氟原子、氯原子、溴原子。於A² 為鹵化烷基之情形時，鹵化烷基中所含之鹵素原子較佳為氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，更佳為氟原子、氯原子、溴原子。鹵化烷基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。於A² 為環狀有機基之情形時，環狀有機基之例與R² 及R³ 所作為取代基而具有之環狀有機基同樣。於A² 為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基之例與R² 及R³ 所作為取代基而具有之烷氧基羰基同樣。 作為R² 及R³ 之適宜之具體例，可列舉乙基、正丙基、正丁基、正己基、正庚基、及正辛基等烷基；2-甲氧基乙基、3-甲氧基-正丙基、4-甲氧基-正丁基、5-甲氧基-正戊基、6-甲氧基-正己基、7-甲氧基-正庚基、8-甲氧基-正辛基、2-乙氧基乙基、3-乙氧基-正丙基、4-乙氧基-正丁基、5-乙氧基-正戊基、6-乙氧基-正己基、7-乙氧基-正庚基、及8-乙氧基-正辛基等烷氧基烷基；2-氰基乙基、3-氰基-正丙基、4-氰基-正丁基、5-氰基-正戊基、6-氰基-正己基、7-氰基-正庚基、及8-氰基-正辛基等氰基烷基；2-苯基乙基、3-苯基-正丙基、4-苯基-正丁基、5-苯基-正戊基、6-苯基-正己基、7-苯基-正庚基、及8-苯基-正辛基等苯基烷基；2-環己基乙基、3-環己基-正丙基、4-環己基-正丁基、5-環己基-正戊基、6-環己基-正己基、7-環己基-正庚基、8-環己基-正辛基、2-環戊基乙基、3-環戊基-正丙基、4-環戊基-正丁基、5-環戊基-正戊基、6-環戊基-正己基、7-環戊基-正庚基、及8-環戊基-正辛基等環烷基烷基；2-甲氧基羰基乙基、3-甲氧基羰基-正丙基、4-甲氧基羰基-正丁基、5-甲氧基羰基-正戊基、6-甲氧基羰基-正己基、7-甲氧基羰基-正庚基、8-甲氧基羰基-正辛基、2-乙氧基羰基乙基、3-乙氧基羰基-正丙基、4-乙氧基羰基-正丁基、5-乙氧基羰基-正戊基、6-乙氧基羰基-正己基、7-乙氧基羰基-正庚基、及8-乙氧基羰基-正辛基等烷氧基羰基烷基；2-氯乙基、3-氯-正丙基、4-氯-正丁基、5-氯-正戊基、6-氯-正己基、7-氯-正庚基、8-氯-正辛基、2-溴乙基、3-溴-正丙基、4-溴-正丁基、5-溴-正戊基、6-溴-正己基、7-溴-正庚基、8-溴-正辛基、3,3,3-三氟丙基、及3,3,4,4,5,5,5-七氟-正戊基等鹵化烷基。 作為R² 及R³ ，上述中適宜之基為乙基、正丙基、正丁基、正戊基、2-甲氧基乙基、2-氰基乙基、2-苯基乙基、2-環己基乙基、2-甲氧基羰基乙基、2-氯乙基、2-溴乙基、3,3,3-三氟丙基、及3,3,4,4,5,5,5-七氟-正戊基。 式(1)中，R⁴ は、下述式(R4-1)或(R4-2)所表示之基。 [化5](式(R4-1)及(R4-2)中，R⁷ 及R⁸ 分別為1價有機基，p為0～4之整數，於R⁷ 及R⁸ 存在於苯環上之鄰接之位置上之情形時，R⁷ 與R⁸ 亦可相互鍵結而形成環，q為1～8之整數，r為1～5之整數，s為0～(r＋3)之整數，R⁹ 為1價有機基) 關於式(R4-1)中之R⁷ 及R⁸ 之1價有機基之例與R¹ 同樣。作為R⁷ ，較佳為烷基或苯基。於R⁷ 為烷基之情形時，其碳原子數較佳為1～10，更佳為1～5，尤佳為1～3，最佳為1。即，最佳為R⁷ 為甲基。於R⁷ 與R⁸ 鍵結而形成環之情形時，該環可為芳香族環，亦可為脂肪族環。作為式(R4-1)所表示之基中的R⁷ 與R⁸ 形成環之基之適宜例，可列舉萘-1-基或1,2,3,4-四氫化萘-5-基等。上述式(R4-1)中，p為0～4之整數，較佳為0或1，更佳為0。 上述式(R4-2)中，R⁹ 為1價有機基。作為1價有機基，可列舉與關於R¹ 而說明之1價有機基同樣之基。1價有機基中，較佳為烷基。烷基可為直鏈狀亦可為支鏈狀。烷基之碳原子數較佳為1～10，更佳為1～5，尤佳為1～3。作為R⁹ ，可較佳地例示甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基等，該等中更佳為甲基。 上述式(R4-2)中，r為1～5之整數，較佳為1～3之整數，更佳為1或2。上述式(R4-2)中，s為0～(r＋3)，較佳為0～3之整數，更佳為0～2之整數，尤佳為0。上述式(R4-2)中，q為1～8之整數，較佳為1～5之整數，更佳為1～3之整數，尤佳為1或2。 式(1)中，R⁵ 為氫原子、可具有取代基之碳原子數1～11之烷基、或可具有取代基之芳基。作為R⁵ 為烷基之情形時所亦可具有之取代基，可較佳地例示苯基、萘基等。又，作為R¹ 為芳基之情形時所亦可具有之取代基，可較佳地例示碳原子數1～5之烷基、烷氧基、鹵素原子等。 式(1)中，作為R⁵ ，可較佳地例示氫原子、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、苯基、苄基、甲基苯基、萘基等，該等中更佳為甲基或苯基。 式(1)中，n為0～4之整數，較佳為0～2之整數，更佳為0或1，尤佳為0。 如上所述，光聚合起始劑(A1)不具有硝基。即，R¹ ～R⁵ 之任意者均不具有硝基。 光聚合起始劑(A1)之含量較佳為相對於感光性組合物之固形物成分而言為0.001～50質量%，更佳為0.01～30質量%，進而更佳為0.1～20質量%，尤佳為1～10質量%。光聚合起始劑(A1)之含量若為上述範圍內，則所獲得之組合物可維持對於曝光之良好之感度，由其組合物而獲得之硬化物之透過率容易變充分。 光聚合起始劑(A1)之含量例如若為相對於光聚合起始劑(A)全體而言為1～99.5質量%之範圍即可，較佳為50～99質量%，更佳為70～98質量%，進而更佳為80～97質量%。 光聚合起始劑(A1)之製造方法並無特別限定。光聚合起始劑(A1)較佳為藉由包含將下述式(2)所表示之化合物中所含之肟基(＝N-OH)轉換為＝N-O-COR⁵ 所表示之肟酯基之步驟的方法而製造。R⁵ 與式(1)中之R⁵ 同樣。 [化6](R¹ 、R² 、R³ 、R⁴ 、及n與式(1)同樣) 因此，上述式(2)所表示之化合物可用作光聚合起始劑(A1)之合成用中間物。 將肟基(＝N-OH)轉換為＝N-O-COR⁵ 所表示之肟酯基之方法並無特別限定。典型為列舉使肟基中之羥基與提供-COR⁵ 所表示之醯基之醯基化劑反應之方法。作為醯基化劑，可列舉(R⁵ CO)₂ O所表示之酸酐或R⁵ COHal(Hal為鹵素原子)所表示之醯鹵。 光聚合起始劑(A1)例如可依照下述反應流程而合成。於下述反應流程中，使用下述式(1-1)所表示之茀衍生物作為原料。於R¹ 為1價有機基之情形時，式(1-1)所表示之茀衍生物可藉由眾所周知之方法，將取代基R¹ 導入至9位經R² 及R³ 取代之茀衍生物而獲得。至於9位經R² 及R³ 取代之茀衍生物，例如於R² 及R³ 為烷基之情形時，如日本專利特開平06-234668號公報中所記載那樣，於鹼金屬氫氧化物之存在下，非質子性極性有機溶劑中，使茀與烷基化劑反應而獲得。又，於茀之有機溶劑溶液中，添加鹵化烷基之類的烷基化劑、鹼金屬氫氧化物之水溶液、四丁基碘化銨或第三丁醇鉀之類的相間轉移觸媒而進行烷基化反應，藉此可獲得9,9-烷基取代茀。 於式(1-1)所表示之茀衍生物中，藉由佛瑞德-克來福特醯基化反應而導入-CO-CH₂ -R⁴ 所表示之醯基，獲得式(2-1)所表示之茀衍生物。作為用以導入-CO-CH₂ -R⁴ 所表示之醯基之醯基化劑，較佳為式(1-8)所表示之羧醯鹵。式(1-8)中，Hal為鹵素原子。於茀環上導入醯基之位置可藉由適宜變更佛瑞德-克來福特反應之條件、於醯基化之位置之其他位置實施保護及去保護之方法而選擇。 其次，對式(2-1)所表示之化合物中之存在於R⁴ 與羰基之間之亞甲基進行肟化，獲得下述式(2-3)所表示之酮肟化合物。對亞甲基進行肟化之方法並無特別限定，較佳為於鹽酸之存在下使下述式(2-2)所表示之亞硝酸酯(RONO、R為碳數1～6之烷基)反應之方法。其次，可使下述式(2-3)所表示之酮肟化合物與下述式(2-4)所表示之酸酐((R⁵ CO)₂ O)、或下述式(2-5)所表示之醯鹵(R⁵ COHal、Hal為鹵素原子)反應，從而獲得下述式(2-6)所表示之化合物。再者，於下述式(1-1)、(1-8)、(2-1)、(2-3)、(2-4)、(2-5)、及(2-6)中，R¹ 、R² 、R³ 、R⁴ 、及R⁵ 與式(1)同樣。 又，於下述反應流程中，式(1-8)、式(2-1)、及式(2-3)所分別含有之R⁴ 可相同亦可不同。即，式(1-8)、式(2-1)、及式(2-3)中之R⁴ 亦可於作為下述反應流程而表示之合成過程中受到化學修飾。作為化學修飾之例，可列舉酯化、醚化、醯基化、醯胺化、鹵化、利用有機基取代胺基中之氫原子等。R⁴ 亦可受到之化學修飾並不限定於該等。 ＜反應流程＞ [化7]作為光聚合起始劑(A1)之適宜之具體例，可列舉以下之化合物。 [化8][化9][具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑(A2)] 本發明之感光性組合物含有具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑(A2)。光聚合起始劑(A2)可單獨使用或將2種以上組合而使用。 作為光聚合起始劑(A2)，若為具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑，則無特別限定，例如可列舉具有如下芳香環骨架之化合物，上述芳香環骨架鍵結有硝基與具有肟酯鍵之基。 上述芳香環骨架較佳為茀或咔唑骨架之一部分，亦可為茀或咔唑骨架之一部分之芳香環。 又，光聚合起始劑(A2)亦可為下述之式(A2-1C)所表示之化合物、式(A2-1N)所表示之化合物之類的硝基鍵結於伸芳基、伸雜芳基上之化合物。 於光聚合起始劑(A2)中，硝基較佳為直接(即，並不經由伸烷基等連結基)或經由伸烷基等連結基而鍵結於芳香環骨架上，更佳為直接鍵結於芳香環骨架上。上述具有肟酯鍵之基較佳為直接或經由羰基而鍵結於芳香環骨架上。作為上述具有肟酯鍵之基，例如可列舉下述式(3)所表示之基。 -C(R¹⁴ )＝N-O-C(R¹⁵ )＝O   (3) (式中，R¹⁴ 為1價有機基，R¹⁵ 為氫原子、可具有取代基之碳原子數1～11之烷基、或可具有取代基之芳基) 作為光聚合起始劑(A2)之具體例，可列舉下述式(a-1)所表示之化合物： [化10](R¹⁰⁰ 為下述式(a-2)： [化11](R¹¹ 為氫原子、硝基、或1價有機基，R¹² 及R¹³ 獨立為鏈狀烷基、環狀烴基、或雜芳基，R¹² 與R¹³ 亦可相互鍵結而形成螺環，n1為1～4之整數。其中，R¹¹ 之至少1個為硝基) 所表示之基、下述式(a-3)： [化12](R²⁰ 獨立為1價有機基、胺基、鹵素原子、硝基、或氰基，A為S或O，n2為1～4之整數。其中，R²⁰ 之至少1個為硝基) 所表示之基、或下述式(a-4)： [化13](R²¹ 為1價有機基，R²² 為氫原子、硝基、或1價有機基，n3為1～4之整數。其中，R²² 之至少1個為硝基) 所表示之基，R¹⁴ 為1價有機基，R¹⁵ 為氫原子、可具有取代基之碳原子數1～11之烷基、或可具有取代基之芳基，m為0或1)。 作為R¹⁴ 之適宜之1價有機基之例，可與下述之R¹¹ 同樣地列舉烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯氧基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、及哌-1-基等。 於R¹⁴ 為烷基之情形時，烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～6。又，於R¹⁴ 為烷基之情形時，可為直鏈亦可為支鏈。作為R¹⁴ 為烷基之情形時之具體例，可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於R¹⁴ 為烷基之情形時，烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷基之例，可列舉甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。 於R¹⁴ 為烷氧基之情形時，烷氧基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～6。又，於R¹⁴ 為烷氧基之情形時，可為直鏈亦可為支鏈。作為R¹⁴ 為烷氧基之情形時之具體例，可列舉甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基、第三丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、第二戊氧基、第三戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基、異辛氧基、第二辛氧基、第三辛氧基、正壬氧基、異壬氧基、正癸氧基、及異癸氧基等。又，於R¹⁴ 為烷氧基之情形時，烷氧基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷氧基之例，可列舉甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙氧基等。 於R¹⁴ 為環烷基或環烷氧基之情形時，環烷基或環烷氧基之碳原子數較佳為3～10，更佳為3～6。作為R¹⁴ 為環烷基之情形時之具體例，可列舉環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。作為R¹⁴ 為環烷氧基之情形時之具體例，可列舉環丙氧基、環丁氧基、環戊氧基、環己氧基、環庚氧基、及環辛氧基等。 於R¹⁴ 為飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之情形時，飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之碳原子數較佳為2～21，更佳為2～7。作為R¹⁴ 為飽和脂肪族醯基之情形時之具體例，可列舉乙醯基、丙醯基、正丁醯基、2-甲基丙醯基、正戊醯基、2,2-二甲基丙醯基、正己醯基、正庚醯基、正辛醯基、正壬醯基、正癸醯基、正十一醯基、正十二醯基、正十三醯基、正十四醯基、正十五醯基、及正十六醯基等。作為R¹⁴ 為飽和脂肪族醯氧基之情形時之具體例，可列舉乙醯氧基、丙醯氧基、正丁醯氧基、2-甲基丙醯氧基、正戊醯氧基、2,2-二甲基丙醯氧基、正己醯氧基、正庚醯氧基、正辛醯氧基、正壬醯氧基、正癸醯氧基、正十一醯氧基、正十二醯氧基、正十三醯氧基、正十四醯氧基、正十五醯氧基、及正十六醯氧基等。 於R¹⁴ 為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基之碳原子數較佳為2～20，更佳為2～7。作為R¹⁴ 為烷氧基羰基之情形時之具體例，可列舉甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、異丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、第二丁氧基羰基、第三丁氧基羰基、正戊氧基羰基、異戊氧基羰基、第二戊氧基羰基、第三戊氧基羰基、正己氧基羰基、正庚氧基羰基、正辛氧基羰基、異辛氧基羰基、第二辛氧基羰基、第三辛氧基羰基、正壬氧基羰基、異壬氧基羰基、正癸氧基羰基、及異癸氧基羰基等。 於R¹⁴ 為苯基烷基之情形時，苯基烷基之碳原子數較佳為7～20，更佳為7～10。又，於R¹⁴ 為萘基烷基之情形時，萘基烷基之碳原子數較佳為11～20，更佳為11～14。作為R¹⁴ 為苯基烷基之情形時之具體例，可列舉苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。作為R¹⁴ 為萘基烷基之情形時之具體例，可列舉α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基)乙基、及2-(β-萘基)乙基。於R¹⁴ 為苯基烷基或萘基烷基之情形時，R¹⁴ 亦可於苯基或萘基上進而具有取代基。 於R¹⁴ 為雜環基之情形時，雜環基為含有1個以上N、S、O之5員或6員之單環，或該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於雜環基為縮合環之情形時，可將環數設至3。雜環基可為芳香族基(雜芳基)，亦可為非芳香族基。作為構成該雜環基之雜環，可列舉呋喃、噻吩、吡咯、唑、異唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡、嘧啶、嗒、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚、苯并咪唑、苯并三唑、苯并唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞、 啉、及喹啉等。於R¹⁴ 為雜環基之情形時，雜環基亦可進而具有取代基。 於R¹⁴ 為雜環基羰基之情形時，雜環基羰基中所含之雜環基與R¹⁴ 為雜環基之情形同樣。 於R¹⁴ 為經1個或2個有機基取代之胺基之情形時，有機基之適宜例可列舉碳原子數1～20之烷基、碳原子數3～10之環烷基、碳原子數2～21之飽和脂肪族醯基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之碳原子數7～20之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之碳原子數11～20之萘基烷基、及雜環基等。該等適宜之有機基之具體例與R¹⁴ 同樣。作為經1個或2個有機基取代之胺基之具體例，可列舉甲基胺基、乙基胺基、二乙基胺基、正丙基胺基、二正丙基胺基、異丙基胺基、正丁基胺基、二正丁基胺基、正戊基胺基、正己基胺基、正庚基胺基、正辛基胺基、正壬基胺基、正癸基胺基、苯基胺基、萘基胺基、乙醯基胺基、丙醯基胺基、正丁醯基胺基、正戊醯基胺基、正己醯基胺基、正庚醯基胺基、正辛醯基胺基、正癸醯基胺基、苯甲醯基胺基、α-萘甲醯基胺基、及β-萘甲醯基胺基等。 作為R¹⁴ 中所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基，可列舉碳原子數1～6之烷基、碳原子數1～6之烷氧基、碳原子數2～7之飽和脂肪族醯基、碳原子數2～7之烷氧基羰基、碳原子數2～7之飽和脂肪族醯氧基、具有碳原子數1～6之烷基之單烷基胺基、具有碳原子數1～6之烷基之二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。於R¹⁴ 中所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，其取代基數於不阻礙本發明之目的之範圍內並無限定，較佳為1～4。於R¹⁴ 中所含之苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。 又，作為R¹⁴ ，亦較佳為環烷基烷基、亦可於芳香環上具有取代基之苯氧基烷基、亦可於芳香環上具有取代基之苯硫基烷基。苯氧基烷基、及苯硫基烷基所亦可具有之取代基與R¹⁴ 中所含之苯基所亦可具有之取代基同樣。 於1價有機基中，作為R¹⁴ ，較佳為烷基、環烷基、可具有取代基之苯基、或環烷基烷基、亦可於芳香環上具有取代基之苯硫基烷基。作為烷基，較佳為碳原子數1～20之烷基，更佳為碳原子數1～8之烷基，尤佳為碳原子數1～4之烷基，最佳為甲基。於可具有取代基之苯基中，較佳為甲基苯基，更佳為2-甲基苯基。環烷基烷基中所含之環烷基之碳原子數較佳為5～10，更佳為5～8，尤佳為5或6。環烷基烷基中所含之伸烷基之碳原子數較佳為1～8，更佳為1～4，尤佳為2。於環烷基烷基中，較佳為環戊基乙基。亦可於芳香環上具有取代基之苯硫基烷基中所含之伸烷基之碳原子數較佳為1～8，更佳為1～4，尤佳為2。亦可於芳香環上具有取代基之苯硫基烷基中，較佳為2-(4-氯苯硫基)乙基。 以上，關於R¹⁴ 而進行了說明，作為R¹⁴ ，較佳為下述式(R2-1)或(R2-2)所表示之基。 [化14](式(R2-1)及(R2-2)中，R¹⁷ 及R¹⁸ 分別為1價有機基，p1為0～4之整數，於R¹⁷ 及R¹⁸ 存在於苯環上之鄰接之位置上之情形時，R¹⁷ 與R¹⁸ 亦可相互鍵結而形成環，q1為1～8之整數，r1為1～5之整數，s1為0～(r1＋3)之整數，R¹⁹ 為烷基) 關於式(R2-1)中之R¹⁷ 及R¹⁸ 之有機基之例，與R¹⁴ 同樣。作為R¹⁷ ，較佳為烷基或苯基。於R¹⁷ 為烷基之情形時，其碳原子數較佳為1～10，更佳為1～5，尤佳為1～3，最佳為1。即，最佳為R¹⁷ 為甲基。於R¹⁷ 與R¹⁸ 鍵結而形成環之情形時，該環可為芳香族環，亦可為脂肪族環。作為式(R2-1)所表示之基中之R¹⁷ 與R¹⁸ 形成環之基之適宜例，可列舉萘-1-基或1,2,3,4-四氫化萘-5-基等。上述式(R2-1)中，p1為0～4之整數，較佳為0或1，更佳為0。 上述式(R2-2)中，R¹⁹ 為烷基。烷基之碳原子數較佳為1～10，更佳為1～5，尤佳為1～3。作為R¹⁹ ，可較佳地例示甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基等，該等中更佳為甲基。 上述式(R2-2)中，r1為1～5之整數，較佳為1～3之整數，更佳為1或2。上述式(R2-2)中，s1為0～(r1＋3)，較佳為0～3之整數，更佳為0～2之整數，尤佳為0。上述式(R2-2)中，q1為1～8之整數，較佳為1～5之整數，更佳為1～3之整數，尤佳為1或2。 式(a-1)中，R¹⁵ 為氫原子、可具有取代基之碳原子數1～11之烷基、或可具有取代基之芳基。作為R¹⁵ 為烷基之情形時所亦可具有之取代基，可較佳地例示苯基、萘基等。又，作為R¹⁵ 為芳基之情形時所亦可具有之取代基，可較佳地例示碳原子數1～5之烷基、烷氧基、鹵素原子等。 式(a-1)中，作為R¹⁵ ，可較佳地例示氫原子、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、苯基、苄基、甲基苯基、萘基等，該等中更佳為甲基或苯基。 式(a-2)中，R¹¹ 為氫原子、硝基或1價有機基。R¹¹ 鍵結於式(a-2)中之茀環上，與式(a-1)中之-(CO)_m -所表示之基鍵結之6員芳香環不同之6員芳香環上。若滿足該條件，則於式(a-2)中，R¹¹ 相對於茀環之鍵結位置並無特別限定。至於R¹¹ 相對於茀環之鍵結位置，自容易合成R¹⁰⁰ 為式(a-2)所表示之基的式(a-1)所表示之化合物等考慮，較佳為茀環中之2位。 於R¹¹ 為1價有機基之情形時，R¹¹ 只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無特別限定，可自各種有機基中適宜選擇。作為R¹¹ 為1價有機基之情形時之適宜例，可與R¹⁴ 同樣地列舉烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯氧基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、及哌-1-基等。該等基之具體例與關於R¹⁴ 而說明者同樣。 於以上所說明之基中，R¹¹ 若為硝基、或R^11a -CO-所表示之基，則存在感度提高之傾向而較佳。其中，R¹¹ 之至少1個為硝基。R^11a 只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無特別限定，可自各種有機基中選擇。作為R^11a 而適宜之基之例，可列舉碳原子數1～20之烷基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之萘基、及可具有取代基之雜環基。作為R^11a ，於該等基中，尤佳為2-甲基苯基、噻吩-2-基、及α-萘基。 又，若R¹¹ 為氫原子，則存在透明性變良好之傾向而較佳。再者，若R¹¹ 為氫原子且R¹⁴ 為上述之(R2-2)，則存在透明性變得更良好之傾向。 式(a-2)中，R¹² 及R¹³ 分別為鏈狀烷基、環狀烴基、或雜芳基。該等基中，R¹² 及R¹³ 較佳為鏈狀烷基。 於R¹² 及R¹³ 為鏈狀烷基之情形時，鏈狀烷基可為直鏈烷基亦可為支鏈烷基。於R¹² 及R¹³ 為鏈狀烷基之情形時，鏈狀烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～6。作為R¹² 及R¹³ 為鏈狀烷基之情形時之具體例，可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於R¹² 及R¹³ 為鏈狀烷基之情形時，鏈狀烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為碳鏈中具有醚鍵之鏈狀烷基之例，可列舉甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。 於R¹² 及R¹³ 為環狀烴基之情形時，環狀烴基可為脂肪族環狀烴基，亦可為芳香族環狀烴基。 於R¹² 及R¹³ 為芳香族環狀烴基之情形時，較佳為芳香族環狀烴基為苯基、或複數個苯環經由碳-碳鍵鍵結而形成之基、或複數個苯環縮合而形成之基。於芳香族環狀烴基為苯基、或複數個苯環鍵結或縮合而形成之基之情形時，芳香族環狀烴基中所含之苯環之環數並無特別限定，較佳為3以下，更佳為2以下，尤佳為1。作為芳香族環狀烴基之較佳之具體例，可列舉苯基、萘基、聯苯基、蒽基、及菲基等。 於R¹² 及R¹³ 為脂肪族環狀烴基之情形時，脂肪族環狀烴基可為單環式亦可為多環式。脂肪族環狀烴基之碳原子數並無特別限定，較佳為3～20，更佳為3～10。作為單環式環狀烴基之例，可列舉環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、降 基、異 基、三環壬基、三環癸基、四環十二烷基、及金剛烷基等。 於R¹² 及R¹³ 為雜芳基之情形時，雜芳基可為包含1個以上N、S、O之5員或6員之單環，或該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜芳基。於雜芳基為縮合環之情形時，可將環數設至3。作為構成該雜芳基之雜環，可列舉呋喃、噻吩、吡咯、唑、異唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡、嘧啶、嗒、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚、苯并咪唑、苯并三唑、苯并唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞、 啉、及喹啉等。 R¹² 與R¹³ 亦可相互鍵結而形成螺環。包含R¹² 與R¹³ 所形成之螺環之基較佳為亞環烷基。於R¹² 與R¹³ 鍵結而形成亞環烷基之情形時，構成亞環烷基之螺環較佳為5員環～6員環，更佳為5員環。 於R¹² 與R¹³ 鍵結而形成之基為亞環烷基之情形時，亞環烷基亦可與1個以上其他環縮合。作為亦可與亞環烷基縮合之環之例，可列舉苯環、萘環、環丁烷環、環戊烷環、環己烷環、環庚烷環、環辛烷環、呋喃環、噻吩環、吡咯環、吡啶環、吡環、及嘧啶環等。 n1較佳為1～3之整數，更佳為1或2，尤佳為1。 式(a-3)中，R²⁰ 獨立為1價有機基、胺基、鹵素原子、硝基、或氰基。於R²⁰ 為1價有機基之情形時，可於不阻礙本發明之目的之範圍而選自各種有機基。作為R²⁰ 為1價有機基之情形時之適宜例，可列舉碳數1～6之烷基；碳數1～6之烷氧基；碳數2～7之飽和脂肪族醯基；碳數2～7之烷氧基羰基；碳數2～7之飽和脂肪族醯氧基；苯基；萘基；苯甲醯基；萘甲醯基；經選自由碳數1～6之烷基、嗎啉-1-基、哌-1-基、及苯基所組成之群中之基取代之苯甲醯基；具有碳數1～6之烷基之單烷基胺基；具有碳數1～6之烷基之二烷基胺基；嗎啉-1-基；哌-1-基。 R²⁰ 中，較佳為苯甲醯基；萘甲醯基；經選自由碳數1～6之烷基、嗎啉-1-基、哌-1-基、及苯基所組成之群中之基取代之苯甲醯基；硝基，更佳為苯甲醯基；萘甲醯基；2-甲基苯基羰基；4-(哌-1-基)苯基羰基；4-(苯基)苯基羰基；硝基。其中，R²⁰ 之至少1個為硝基。 又，n2較佳為1～3之整數，更佳為1或2，尤佳為1。於n2為1之情形時，R²⁰ 之鍵結位置較佳為相對於R²⁰ 所鍵結之苯基與原子A鍵結之鍵結鍵而言為對位。 A較佳為S。 式(a-4)中，R²¹ 為1價有機基。R²¹ 可於不阻礙本發明之目的之範圍內選自各種有機基。作為R²¹ 之適宜例，碳數1～20之烷基、碳數3～10之環烷基、碳數2～20之飽和脂肪族醯基、碳數2～20之烷氧基羰基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之碳數7～20之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之碳數11～20之萘基烷基、可具有取代基之雜環基、及可具有取代基之雜環基羰基等。 於R²¹ 中，較佳為碳數1～20之烷基，更佳為碳數1～6之烷基，尤佳為乙基。 作為R²⁰ 或R²¹ 中所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基，可列舉碳數1～6之烷基、碳數1～6之烷氧基、碳數2～7之飽和脂肪族醯基、碳數2～7之烷氧基羰基、碳數2～7之飽和脂肪族醯氧基、具有碳數1～6之烷基之單烷基胺基、具有碳數1～6之烷基之二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。於R²⁰ 或R²¹ 中所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，其取代基數只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無限定，較佳為1～4。R²⁰ 或R²¹ 中所含之苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。 式(a-4)中，R²² 為氫原子、硝基、或1價有機基。R²² 與R¹¹ 同樣，R²² 之至少1個為硝基。 n3較佳為1～3之整數，更佳為1或2，尤佳為1。 式(a-1)所表示之化合物於m為0之情形時，例如可依照下述反應流程a1而合成。於反應流程a1中，使用下述式(a1-1)所表示之化合物作為原料。例如，於R¹⁰⁰ 為式(a-2)所表示之基之情形時，於反應流程a1中，使用下述式(a1-1-1)所表示之茀衍生物作為原料。於R¹¹ 為硝基或1價有機基之情形時，式(a1-1-1)所表示之茀衍生物可藉由周知之方法將取代基R¹¹ 導入至9位經R¹² 及R¹³ 取代之茀衍生物而獲得。至於9位經R¹² 及R¹³ 取代之茀衍生物，例如於R¹² 及R¹³ 為烷基之情形時，可如日本專利特開平06-234668號公報中所記載般，於鹼金屬氫氧化物之存在下、非質子性極性有機溶劑中，使茀與烷基化劑反應而獲得。又，於茀之有機溶劑溶液中，添加鹵化烷基之類的烷基化劑、鹼金屬氫氧化物之水溶液、碘化四丁基銨或第三丁醇鉀之類的相間轉移觸媒而進行烷基化反應，藉此可獲得9,9-烷基取代茀。 使用式(a1-2)所表示之鹵羰基化合物，藉由佛瑞德-克來福特反應對式(a1-1)所表示之化合物進行醯基化而獲得式(a1-3)所表示之酮化合物。式(a1-2)中，Hal為鹵素原子。R¹⁰⁰ 中所含之芳香環上之藉由式(a1-2)所表示之化合物而醯基化之位置可藉由如下方法而選擇：適宜變更佛瑞德-克來福特反應之條件、對該芳香環上之藉由式(a1-2)所表示之化合物而醯基化之位置之其他位置實施保護及去保護。 其次，藉由羥胺對所獲得之式(a1-3)所表示之酮化合物進行肟化而獲得下述式(a1-4)所表示之肟化合物。可使式(a1-4)之肟化合物與下述式(a1-5)所表示之酸酐((R¹⁵ CO)₂ O)、或下述式(a1-6)所表示之醯鹵(R¹⁵ COHal、Hal為鹵素原子)反應而獲得下述式(a1-7)所表示之化合物。 再者，於式(a1-1)、(a1-2)、(a1-3)、(a1-4)、(a1-5)、(a1-6)、(a1-7)、及(a1-1-1)中，R¹⁰⁰ 、R¹⁴ 、R¹⁵ 、R¹¹ 、R¹² 、及R¹³ 與式(a-1)及式(a-2)同樣。 ＜反應流程a1＞ [化15]式(a-1)所表示之化合物於m為1之情形時，例如可依照下述反應流程a2而合成。於反應流程a2中，使用下述式(a2-1)所表示之化合物作為原料。式(a2-1)所表示之化合物係藉由與反應流程a1同樣之方法，藉由佛瑞德-克來福特反應對式(a1-1)所表示之化合物進行醯基化而獲得。於鹽酸之存在下，使式(a2-1)所表示之化合物與下述式(a2-2)所表示之亞硝酸酯(RONO、R為碳數1～6之烷基)反應而獲得下述式(a2-3)所表示之酮肟化合物。其次，使下述式(a2-3)所表示之酮肟化合物與下述式(a2-4)所表示之酸酐((R¹⁵ CO)₂ O)、或下述式(a2-5)所表示之醯鹵(R¹⁵ COHal、Hal為鹵素原子)反應，可獲得下述式(a2-6)所表示之化合物。再者，於下述式(a2-1)、(a2-3)、(a2-4)、(a2-5)、及(a2-6)中，R¹⁰⁰ 、R¹⁴ 、及R¹⁵ 與式(a-1)同樣。 於m為1之情形時，存在可進而減低於使用含有式(a-1)所表示之化合物的感光性組合物所形成之硬化物中產生異物之傾向。 ＜反應流程a2＞ [化16]作為式(a-1)所表示之化合物之適宜之具體例，可列舉以下之化合物。 [化17][化18]又，作為光聚合起始劑(A2)，亦可使用下述式(A2-1C)所表示之化合物。 [化19](式(A2-1C)中，R¹ 表示硝基，R⁶ 為伸芳基或伸雜芳基，該伸芳基或伸雜芳基亦可為含有1個以上選自碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵之1個以上鍵之鏈狀脂肪族烴基組合而成之基。R² 及R³ 分別獨立地表示亦可經取代之烷基或氫原子，R⁴ 表示1價有機基、或氫原子，R⁵ 表示1價有機基或氫原子，n表示0或1) 於式(A2-1C)中之R⁶ 為伸芳基之情形時，該伸芳基若為自芳香族烴去除2個氫原子之基則無特別限定。伸芳基較佳為包含1個以上苯環之基。於伸芳基包含2個以上苯環之情形時，複數個苯環可藉由單鍵而相互鍵結，亦可相互縮合而形成萘環等縮合環。 伸芳基較佳為包含1～3個苯環，更佳為包含1或2個苯環。 作為伸芳基之適宜例，可列舉對伸苯基、間伸苯基、鄰伸苯基、萘-1,2-二基、萘-1,3-二基、萘1,4-二基、萘-1,5-二基、萘-1,7-二基、萘-1,8-二基、萘-2,3-二基、萘-2,6-二基、萘-2,7-二基、聯苯-4,4'-二基、聯苯-3,3'-二基、聯苯-2,2'-二基、聯苯-3,4'-二基、聯苯-3,2'-二基、及聯苯-2,4'-二基。 於式(A2-1C)中之R⁶ 為伸雜芳基之情形時，該伸雜芳基若為自芳香族雜環去除2個氫原子而成之基，則無特別限定。伸雜芳基較佳為包含5員或6員之芳香環之基中的含有至少1個5員或6員之芳香族雜環之基。 於伸雜芳基為包含5員或6員之芳香環之基中的甘油至少1個5員或6員之芳香族雜環之基之情形時，複數個5員或6員之芳香環可藉由單鍵而相互鍵結，亦可相互縮合而形成縮合環。 伸雜芳基較佳為含有1～3個5員或6員之芳香環，更佳為含有1或2個5員或6員之芳香環。 作為伸雜芳基之適宜例，可列舉自呋喃、噻吩、吡咯、唑、異唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡、嘧啶、嗒、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚、苯并咪唑、苯并三唑、苯并唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞、 啉、及喹啉等芳香族雜環化合物去除與碳原子鍵結之2個氫原子而成之基。 關於含有1個以上選自碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵之1個以上鍵之鏈狀脂肪族烴基，其碳原子數或碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵數只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無特別限定。 又，含有1個以上選自碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵之1個以上鍵之鏈狀脂肪族烴基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。 含有1個以上選自碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵之1個以上鍵之鏈狀脂肪族烴基之碳原子數較佳為2～10，更佳為2～6，尤佳為2～4。 鏈狀脂肪族烴基較佳為含有1個碳-碳雙鍵之伸烯基、或含有1個碳-碳三鍵之伸炔基。 作為含有1個以上選自碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵之1個以上鍵之鏈狀脂肪族烴基之適宜例，可列舉乙烯-1,2-二基、乙炔-1,2-二基、丙-1-烯-1,2-二基、伸炔丙基、伸戊炔基。 例如，作為伸芳基與含有1個以上選自碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵之1個以上鍵之鏈狀脂肪族烴基組合而成之基之較佳例，可列舉下述之2價基。 作為伸雜芳基與含有1個以上選自碳-碳雙鍵及碳-碳三鍵之1個以上鍵之鏈狀脂肪族烴基組合而成之基之較佳例，可列舉將下述之2價基中所含之伸芳基置換為各種伸雜芳基而成之基。 [化20]於式(A2-1C)中之R² 及R³ 為不具有取代基之烷基之情形時，該烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～10，尤佳為1～6。作為R² 及R³ 為烷基之情形時之具體例，可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。 於式(A2-1C)中之R² 及R³ 為具有取代基之烷基之情形時，烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～10，尤佳為1～6。於該情形時，取代基之碳原子數並不包含於鏈狀烷基之碳原子數中。具有取代基之烷基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。 烷基所亦可具有之取代基只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無特別限定。作為取代基之適宜例，可列舉氰基、鹵素原子、環狀有機基、烷氧基、及烷氧基羰基。 作為鹵素原子，可列舉氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。該等中，較佳為氟原子、氯原子、溴原子。 作為環狀有機基，可列舉環烷基、芳香族烴基、雜環基。 環烷基之碳原子數較佳為3～10，更佳為3～6。作為環烷基之具體例，可列舉環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。 作為芳香族烴基，可列舉苯基、萘基、聯苯基、蒽基、及菲基等。 雜環基係包含1個以上N、S、O之5員或6員之單環，或該單環彼此、或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於雜環基為縮合環之情形時，縮合之環數為3以下。雜環基可為芳香族基(雜芳基)，亦可為非芳香族基。作為構成該雜環基之雜環，可列舉呋喃、噻吩、吡咯、唑、異唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡、嘧啶、嗒、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚、苯并咪唑、苯并三唑、苯并唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞、 啉、喹啉、哌啶、哌、嗎啉、哌啶、四氫吡喃、及四氫呋喃等。於R² 及R³ 為雜環基之情形時，雜環基亦可進而具有取代基。 作為烷氧基，較佳為碳原子數1～10之烷氧基，更佳為碳原子數1～6之烷氧基，尤佳為碳原子數1～4之烷氧基。作為具體例，可列舉甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基、第三丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、第二戊氧基、第三戊氧基、及正己氧基。 烷氧基羰基中所含之烷氧基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。烷氧基羰基中所含之烷氧基之碳原子數較佳為1～10，更佳為1～6。作為具體例，可列舉甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、異丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、第二丁氧基羰基、第三丁氧基羰基、正戊氧基羰基、異戊氧基羰基、第二戊氧基羰基、第三戊氧基羰基、及正己氧基羰基。 於烷基具有取代基之情形時，取代基數並無特別限定。較佳之取代基數與鏈狀烷基之碳原子數對應地變化。取代基數典型為1～20，較佳為1～10，更佳為1～6。 式(A2-1C)中之R² 與R³ 亦可相互鍵結而形成環。包含R² 與R³ 所形成之環之基較佳為亞環烷基。於R² 與R³ 鍵結而形成亞環烷基之情形時，構成亞環烷基之環較佳為5員環～6員環，更佳為5員環。 於R² 與R³ 鍵結而形成之基為亞環烷基之情形時，亞環烷基亦可與1個以上其他環縮合。作為亦可與亞環烷基縮合之環之例，可列舉苯環、萘環、環丁烷環、環戊烷環、環己烷環、環庚烷環、環辛烷環、呋喃環、噻吩環、吡咯環、吡啶環、吡環、及嘧啶環等。 作為以上所說明之R² 及R³ 中適宜之基之例，可列舉式-A¹ -A² 所表示之基。式中，A¹ 為直鏈伸烷基，A² 為烷氧基、氰基、鹵素原子、鹵化烷基、環狀有機基、或烷氧基羰基。 A¹ 之直鏈伸烷基之碳原子數較佳為1～10，更佳為1～6。於A² 為烷氧基之情形時，烷氧基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。烷氧基之碳原子數較佳為1～10，更佳為1～6，尤佳為1～4。 於A² 為鹵素原子之情形時，較佳為氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，更佳為氟原子、氯原子、溴原子。 於A² 為鹵化烷基之情形時，鹵化烷基中所含之鹵素原子較佳為氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，更佳為氟原子、氯原子、溴原子。鹵化烷基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。 於A² 為環狀有機基之情形時，環狀有機基之例與R² 及R³ 作為取代基而具有之環狀有機基同樣。於A² 為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基之例與R² 及R³ 作為取代基而具有之烷氧基羰基同樣。 作為R² 及R³ 之適宜之具體例，可列舉乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正庚基、及正辛基等烷基；2-甲氧基乙基、3-甲氧基-正丙基、4-甲氧基-正丁基、5-甲氧基-正戊基、6-甲氧基-正己基、7-甲氧基-正庚基、8-甲氧基-正辛基、2-乙氧基乙基、3-乙氧基-正丙基、4-乙氧基-正丁基、5-乙氧基-正戊基、6-乙氧基-正己基、7-乙氧基-正庚基、及8-乙氧基-正辛基等烷氧基烷基；2-氰基乙基、3-氰基-正丙基、4-氰基-正丁基、5-氰基-正戊基、6-氰基-正己基、7-氰基-正庚基、及8-氰基-正辛基等氰基烷基；2-苯基乙基、3-苯基-正丙基、4-苯基-正丁基、5-苯基-正戊基、6-苯基-正己基、7-苯基-正庚基、及8-苯基-正辛基等苯基烷基；2-環己基乙基、3-環己基-正丙基、4-環己基-正丁基、5-環己基-正戊基、6-環己基-正己基、7-環己基-正庚基、8-環己基-正辛基、2-環戊基乙基、3-環戊基-正丙基、4-環戊基-正丁基、5-環戊基-正戊基、6-環戊基-正己基、7-環戊基-正庚基、及8-環戊基-正辛基等環烷基烷基；2-甲氧基羰基乙基、3-甲氧基羰基-正丙基、4-甲氧基羰基-正丁基、5-甲氧基羰基-正戊基、6-甲氧基羰基-正己基、7-甲氧基羰基-正庚基、8-甲氧基羰基-正辛基、2-乙氧基羰基乙基、3-乙氧基羰基-正丙基、4-乙氧基羰基-正丁基、5-乙氧基羰基-正戊基、6-乙氧基羰基-正己基、7-乙氧基羰基-正庚基、及8-乙氧基羰基-正辛基等烷氧基羰基烷基；2-氯乙基、3-氯-正丙基、4-氯-正丁基、5-氯-正戊基、6-氯-正己基、7-氯-正庚基、8-氯-正辛基、2-溴乙基、3-溴-正丙基、4-溴-正丁基、5-溴-正戊基、6-溴-正己基、7-溴-正庚基、8-溴-正辛基、3,3,3-三氟丙基、及3,3,4,4,5,5,5-七氟-正戊基等鹵化烷基。 作為R² 及R³ ，上述中適宜之基為乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、2-甲氧基乙基、2-氰基乙基、2-苯基乙基、2-環己基乙基、2-甲氧基羰基乙基、2-氯乙基、2-溴乙基、3,3,3-三氟丙基、及3,3,4,4,5,5,5-七氟-正戊基。 式(A2-1C)中之R⁴ 為1價有機基或氫原子。1價有機基只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無特別限定。 作為R⁴ 之適宜之有機基之例，可列舉烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯氧基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯氧基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之苯氧基羰基、可具有取代基之苯甲醯氧基、可具有取代基之苯基烷基、可具有取代基之苯氧基烷基、可具有取代基之苯硫基烷基、N-取代胺基烷基、N,N-二取代胺基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘氧基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之萘氧基羰基、可具有取代基之萘甲醯氧基、可具有取代基之萘基烷基、可具有取代基之萘氧基烷基、可具有取代基之萘硫基烷基、可具有取代基之雜環基、可具有取代基之雜環基羰基、經1個或2個有機基取代之胺基、嗎啉-1-基、及哌-1-基等。 又，作為R⁴ ，亦較佳為環烷基烷基、亦可於芳香環上具有取代基之苯氧基烷基、亦可於芳香環上具有取代基之苯硫基烷基。 於R⁴ 為烷基之情形時，烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～6。又，於R⁴ 為烷基之情形時，可為直鏈亦可為支鏈。作為R⁴ 為烷基之情形時之具體例，可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、異戊基、第二戊基、第三戊基、正己基、正庚基、正辛基、異辛基、第二辛基、第三辛基、正壬基、異壬基、正癸基、及異癸基等。又，於R⁴ 為烷基之情形時，烷基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷基之例，可列舉甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。 於R⁴ 為烷氧基之情形時，烷氧基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～6。又，於R⁴ 為烷氧基之情形時，可為直鏈亦可為支鏈。作為R⁴ 為烷氧基之情形時之具體例，可列舉甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、第二丁氧基、第三丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、第二戊氧基、第三戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基、異辛氧基、第二辛氧基、第三辛氧基、正壬氧基、異壬氧基、正癸氧基、及異癸氧基等。又，於R⁴ 為烷氧基之情形時，烷氧基亦可於碳鏈中含有醚鍵(-O-)。作為於碳鏈中具有醚鍵之烷氧基之例，可列舉甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙氧基等。 於R⁴ 為環烷基或環烷氧基之情形時，環烷基或環烷氧基之碳原子數較佳為3～10，更佳為3～6。作為R⁴ 為環烷基之情形時之具體例，可列舉環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。作為R⁴ 為環烷氧基之情形時之具體例，可列舉環丙氧基、環丁氧基、環戊氧基、環己氧基、環庚氧基、及環辛氧基等。 於R⁴ 為飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之情形時，飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯氧基之碳原子數較佳為2～21，更佳為2～7。作為R⁴ 為飽和脂肪族醯基之情形時之具體例，可列舉乙醯基、丙醯基、正丁醯基、2-甲基丙醯基、正戊醯基、2,2-二甲基丙醯基、正己醯基、正庚醯基、正辛醯基、正壬醯基、正癸醯基、正十一醯基、正十二醯基、正十三醯基、正十四醯基、正十五醯基、及正十六醯基等。作為R⁴ 為飽和脂肪族醯氧基之情形時之具體例，可列舉乙醯氧基、丙醯氧基、正丁醯氧基、2-甲基丙醯氧基、正戊醯氧基、2,2-二甲基丙醯氧基、正己醯氧基、正庚醯氧基、正辛醯氧基、正壬醯氧基、正癸醯氧基、正十一醯氧基、正十二醯氧基、正十三醯氧基、正十四醯氧基、正十五醯氧基、及正十六醯氧基等。 於R⁴ 為烷氧基羰基之情形時，烷氧基羰基之碳原子數較佳為2～20，更佳為2～7。作為R⁴ 為烷氧基羰基之情形時之具體例，可列舉甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、異丙氧基羰基、正丁氧基羰基、異丁氧基羰基、第二丁氧基羰基、第三丁氧基羰基、正戊氧基羰基、異戊氧基羰基、第二戊氧基羰基、第三戊氧基羰基、正己氧基羰基、正庚氧基羰基、正辛氧基羰基、異辛氧基羰基、第二辛氧基羰基、第三辛氧基羰基、正壬氧基羰基、異壬氧基羰基、正癸氧基羰基、及異癸氧基羰基等。 於R⁴ 為苯基烷基之情形時，苯基烷基之碳原子數較佳為7～20，更佳為7～10。又，於R⁴ 為萘基烷基之情形時，萘基烷基之碳原子數較佳為11～20，更佳為11～14。 作為R⁴ 為苯基烷基之情形時之具體例，可列舉苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。 作為R⁴ 為萘基烷基之情形時之具體例，可列舉α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基)乙基、及2-(β-萘基)乙基。 於R⁴ 為苯基烷基、或萘基烷基之情形時，R⁴ 亦可於苯基、或萘基上進而具有取代基。 於R⁴ 為苯氧基烷基、苯硫基烷基、萘氧基烷基、及萘硫基烷基之情形時，該等基中所含之伸烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～6。又，該伸烷基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。 作為苯氧基烷基之具體例，可列舉2-苯氧基乙基、3-苯氧基-正丙基、4-苯氧基-正丁基、5-苯氧基-正戊基、及6-苯氧基-正己基。 作為苯硫基烷基之具體例，可列舉2-苯硫基乙基、3-苯硫基-正丙基、4-苯硫基-正丁基、5-苯硫基-正戊基、及6-苯硫基-正己基。 作為萘氧基烷基之具體例，可列舉2-(α-萘氧基)乙基、3-(α-萘氧基)-正丙基、4-(α-萘氧基)-正丁基、5-(α-萘氧基)-正戊基、6-(α-萘氧基)-正己基、2-(β-萘氧基)乙基、3-(β-萘氧基)-正丙基、4-(β-萘氧基)-正丁基、5-(β-萘氧基)-正戊基、及6-(β-萘氧基)-正己基。 作為萘硫基烷基之具體例，可列舉2-(α-萘硫基)乙基、3-(α-萘硫基)-正丙基、4-(α-萘硫基)-正丁基、5-(α-萘硫基)-正戊基、6-(α-萘硫基)-正己基、2-(β-萘硫基)乙基、3-(β-萘硫基)-正丙基、4-(β-萘硫基)-正丁基、5-(β-萘硫基)-正戊基、及6-(β-萘硫基)-正己基。 於R⁴ 為苯氧基烷基、苯硫基烷基、萘氧基烷基、或萘硫基烷基之情形時，R⁴ 亦可於苯基、或萘基上進而具有取代基。 於R⁴ 為雜環基之情形時，雜環基為包含1個以上N、S、O之5員或6員之單環，或該單環彼此或該單環與苯環縮合而成之雜環基。於雜環基為縮合環之情形時，縮合之環數為3以下。雜環基可為芳香族基(雜芳基)，亦可為非芳香族基。作為構成該雜環基之雜環，可列舉呋喃、噻吩、吡咯、唑、異唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡、嘧啶、嗒、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚、苯并咪唑、苯并三唑、苯并唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞、 啉、喹啉、哌啶、哌、嗎啉、哌啶、四氫吡喃、及四氫呋喃等。於R⁴ 為雜環基之情形時，雜環基亦可進而具有取代基。 於R⁴ 為雜環基羰基之情形時，雜環基羰基中所含之雜環基與R⁴ 為雜環基之情形同樣。 於R⁴ 為N-取代胺基烷基、或N,N-二取代胺基烷基之情形時，作為與氮原子鍵結之取代基，較佳為有機基。 有機基之適宜例可列舉碳原子數1～20之烷基、碳原子數3～10之環烷基、碳原子數2～21之飽和脂肪族醯基、碳原子數2～21之飽和脂肪族醯氧基、可具有取代基之苯基、可具有取代基之苯甲醯基、可具有取代基之碳原子數7～20之苯基烷基、可具有取代基之萘基、可具有取代基之萘甲醯基、可具有取代基之碳原子數11～20之萘基烷基、及雜環基等。 N-取代烷基、或N,N-二取代胺基烷基中所含之伸烷基之碳原子數較佳為1～20，更佳為1～6。又，該伸烷基可為直鏈狀亦可為支鏈狀。 作為N-取代烷基之具體例，可列舉2-(甲基胺基)乙基、2-(乙基胺基)乙基、2-(正丙基胺基)乙基、2-(正丁基胺基)乙基、3-(甲基胺基)正丙基、3-(乙基胺基)正丙基、3-(正丙基胺基)正丙基、3-(正丁基胺基)正丙基、2-(甲基胺基)正丙基、2-(乙基胺基)正丙基、2-(正丙基胺基)正丙基、2-(正丁基胺基)正丙基、2-(乙醯基胺基)乙基、2-(丙醯基胺基)乙基、2-(乙醯氧基胺基)乙基、2-(丙醯氧基胺基)乙基、3-(乙醯基胺基)正丙基、3-(丙醯基胺基)正丙基、3-(乙醯氧基胺基)正丙基、3-(丙醯氧基胺基)正丙基、2-(乙醯基胺基)正丙基、2-(丙醯基胺基)正丙基、2-(乙醯氧基胺基)正丙基、及2-(丙醯氧基胺基)正丙基。 作為N,N-二取代胺基烷基之具體例，可列舉2-(N,N-二甲基胺基)乙基、2-(N,N-二乙基胺基)乙基、2-(N,N-二正丙基胺基)乙基、2-(N,N-二正丁基胺基)乙基、3-(N,N-二甲基胺基)正丙基、3-(N,N-二乙基胺基)正丙基、3-(N,N-二正丙基胺基)正丙基、3-(N,N-二正丁基胺基)正丙基、2-(N,N-二甲基胺基)正丙基、2-(N,N-二乙基胺基)正丙基、2-(N,N-二正丙基胺基)正丙基、2-(N,N-二正丁基胺基)正丙基、2-(N,N-二乙醯基胺基)乙基、2-(N,N-二丙醯基胺基)乙基、2-(N,N-二乙醯氧基胺基)乙基、2-(N,N-二丙醯氧基胺基)乙基、3-(N,N-二乙醯基胺基)正丙基、3-(N,N-二丙醯基胺基)正丙基、3-(N,N-二乙醯氧基胺基)正丙基、3-(N,N-二丙醯氧基胺基)正丙基、2-(N,N-二乙醯基胺基)正丙基、2-(N,N-二丙醯基胺基)正丙基、2-(N,N-二乙醯氧基胺基)正丙基、2-(N,N-二丙醯氧基胺基)正丙基、2-(N-乙醯基-N-乙醯氧基胺基)乙基、2-(N-丙醯基-N-丙醯氧基胺基)乙基、3-(N-乙醯基-N-乙醯氧基胺基)正丙基、3-(N-丙醯基-N-丙醯氧基胺基)正丙基、2-(N-乙醯基-N-乙醯氧基胺基)正丙基、及2-(N-丙醯基-N-丙醯氧基胺基)正丙基。 作為R⁴ 中所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時之取代基，可列舉碳原子數1～6之烷基、碳原子數1～6之烷氧基、碳原子數2～7之飽和脂肪族醯基、碳原子數2～7之烷氧基羰基、碳原子數2～7之飽和脂肪族醯氧基、具有碳原子數1～6之烷基之單烷基胺基、具有碳原子數1～6之烷基之二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。於R⁴ 中所含之苯基、萘基、及雜環基進而具有取代基之情形時，該取代基數只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無限定，較佳為1～4。於R⁴ 中所含之苯基、萘基、及雜環基具有複數個取代基之情形時，複數個取代基可相同亦可不同。 有機基中，R⁴ 較佳為烷基、環烷基、可具有取代基之苯基、或環烷基烷基、亦可於芳香環上具有取代基之苯硫基烷基。作為烷基，較佳為碳原子數1～20之烷基，更佳為碳原子數1～8之烷基，尤佳為碳原子數1～4之烷基，最佳為甲基。可具有取代基之苯基中，較佳為甲基苯基，更佳為2-甲基苯基。環烷基烷基中所含之環烷基之碳原子數較佳為5～10，更佳為5～8，尤佳為5或6。環烷基烷基中所含之伸烷基之碳原子數較佳為1～8，更佳為1～4，尤佳為2。環烷基烷基中，較佳為環戊基乙基。亦可於芳香環上具有取代基之苯硫基烷基中所含之伸烷基之碳原子數較佳為1～8，更佳為1～4，尤佳為2。亦可於芳香環上具有取代基之苯硫基烷基中，較佳為2-(4-氯苯硫基)乙基。 又，作為R⁴ ，亦較佳為-A³ -CO-O-A⁴ 所表示之基。A³ 為2價有機基，較佳為2價之烴基，更佳為伸烷基。A⁴ 為1價有機基，較佳為1價之烴基。 於A³ 為伸烷基之情形時，伸烷基可為直鏈狀亦可為支鏈狀，較佳為直鏈狀。於A³ 為伸烷基之情形時，伸烷基之碳原子數較佳為1～10，更佳為1～6，尤佳為1～4。 作為A⁴ 之適宜例，可列舉碳原子數1～10之烷基、碳原子數7～20之芳烷基、及碳原子數6～20之芳香族烴基。作為A⁴ 之適宜之具體例，可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、正己基、苯基、萘基、苄基、苯乙基、α-萘基甲基、及β-萘基甲基等。 作為-A³ -CO-O-A⁴ 所表示之基之適宜之具體例，可列舉2-甲氧基羰基乙基、2-乙氧基羰基乙基、2-正丙氧基羰基乙基、2-正丁氧基羰基乙基、2-正戊氧基羰基乙基、2-正己氧基羰基乙基、2-苄氧基羰基乙基、2-苯氧基羰基乙基、3-甲氧基羰基-正丙基、3-乙氧基羰基-正丙基、3-正丙氧基羰基-正丙基、3-正丁氧基羰基-正丙基、3-正戊氧基羰基-正丙基、3-正己氧基羰基-正丙基、3-苄氧基羰基-正丙基、及3-苯氧基羰基-正丙基等。 式(A2-1C)中，R⁵ 為1價有機基、或氫原子。作為1價有機基，例如為可具有取代基之碳原子數1～11之烷基、或可具有取代基之芳基。作為R⁵ 為烷基之情形時所亦可具有之取代基，可較佳地例示苯基、萘基等。 式(A2-1C)中，作為R⁵ ，可較佳地例示氫原子、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、苯基、苄基、甲基苯基、萘基等，該等中更佳為甲基或苯基。 又，式(A2-1C)所表示之化合物中，較佳為下述式(A2-1C-1)或式(A2-1C-2)所表示之化合物。 [化21](式(A2-1C-1)及式(A2-1C-2)中，R² 、R³ 、R⁴ 、R⁵ 、及n與式(A2-1C)所表示者同義) 又，作為光聚合起始劑(A2)，亦可使用下述式(A2-1N)所表示之化合物。 [化22](式(A2-1N)中，R¹ 、R² 、R⁴ 、R⁵ 、R⁶ 、及n與式(A2-1C)所表示者同義) 又，式(A2-1N)所表示之化合物中，較佳為下述式(A2-1N-1)或(A2-1N-2)所表示之化合物。 [化23](式(A2-1N-1)及式(A2-1N-2)中，R² 、R⁴ 、R⁵ 、及n與式(A2-1C)所表示者同義) 作為式(A2-1C)所表示之化合物及式(A2-1N)所表示之化合物之適宜之具體例，可列舉以下之化合物1～化合物71。 [化24][化25][化26][化27][化28]光聚合起始劑(A2)之含量較佳為相對於感光性組合物之固形物成分而言為0.05～2質量%，更佳為0.07～1.9質量%，進而更佳為0.1～1.7質量%，尤佳為0.15～1.5質量%。光聚合起始劑(A2)之含量若為上述範圍內，則所獲得之硬化物維持良好之透過率，所獲得之組合物對於曝光之感度容易變充分。 光聚合起始劑(A2)之含量例如若相對於光聚合起始劑(A)全體而言為0.1～50質量%之範圍即可，較佳為0.5～30質量%，更佳為1～20質量%，進而更佳為1.5～18質量%。 [其他光聚合起始劑(A3)] 感光性組合物亦可於不阻礙本發明之目的之範圍內視需要含有(A1)成分及(A2)成分以外之其他光聚合起始劑(A3)。其他光聚合起始劑(A3)可單獨使用或將2種以上組合而使用。 作為其他光聚合起始劑(A3)之具體例，可列舉1-羥基環己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、雙(4-二甲基胺基苯基)酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-1-酮、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基],1-(o-乙醯基肟)、2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦、4-苯甲醯基-4'-甲基二甲硫醚、4-二甲基胺基苯甲酸、4-二甲基胺基苯甲酸甲酯、4-二甲基胺基苯甲酸乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸丁酯、4-二甲基胺基-2-乙基己基苯甲酸、4-二甲基胺基-2-異戊基苯甲酸、苯偶醯-β-甲氧基乙基縮醛、苯偶醯二甲基縮酮、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、鄰苯甲醯苯甲酸甲酯、2,4-二乙基-9-氧硫 、2-氯-9-氧硫 、2,4-二甲基-9-氧硫 、1-氯-4-丙氧基-9-氧硫 、硫 、2-氯硫 、2,4-二乙基硫 、2-甲基硫 、2-異丙基硫 、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、偶氮雙異丁腈、過氧化苯甲醯、過氧化異丙苯、2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并唑、2-巰基苯并噻唑、2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(對甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2,4,5-三芳基咪唑二聚物、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4,4'-雙(二甲基胺基)二苯甲酮(即，米其勒酮)、4,4'-雙(二乙基胺基)二苯甲酮(即，乙基米其勒酮)、4,4'-二氯二苯甲酮、3,3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、苯偶醯、安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香異丙醚、安息香正丁醚、安息香異丁醚、安息香丁醚、苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、對二甲基苯乙酮、對二甲基胺基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、對第三丁基苯乙酮、對二甲基胺基苯乙酮、對第三丁基三氯苯乙酮、對第三丁基二氯苯乙酮、α,α-二氯-4-苯氧基苯乙酮、9-氧硫 、2-甲基-9-氧硫 、2-異丙基-9-氧硫 、二苯并環庚酮、4-二甲基胺基苯甲酸戊酯、9-苯基吖啶、1,7-雙(9-吖啶基)庚烷、1,5-雙(9-吖啶基)戊烷、1,3-雙(9-吖啶基)丙烷、對甲氧基三、2,4,6-三(三氯甲基)-均三、2-甲基-4,6-雙(三氯甲基)-均三、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-均三、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-均三、2-[2-(4-二乙基胺基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-均三、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-均三、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-均三、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-均三、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-均三、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-均三等。該等中，就感度之方面而言，尤佳為使用肟系之光聚合起始劑。 於感光性組合物含有(A1)成分及(A2)成分以外之其他光聚合起始劑(A3)之情形時，其他光聚合起始劑(A3)之含量只要為不阻礙本發明之目的之範圍，則無特別限定。於該情形時，其他光聚合起始劑(A3)之含量典型而言相對於感光性組合物中所含之光聚合起始劑之總量而言，較佳為99質量%以下，更佳為50質量%以下，進而更佳為30質量%以下，尤佳為0～10質量%。 ＜聚合性基材成分(B)＞ 本發明之感光性組合物亦可進而含有聚合性基材成分(B)。聚合性基材成分(B)(以下，亦記為「(B)成分」)係對感光性組合物賦予光聚合性與膜形成能力之成分。聚合性基材成分(B)只要為含有可藉由光聚合起始劑(A1)及(A2)而進行聚合之成分且其係能夠製備可形成膜之感光性組合物之成分，則無特別限定。聚合性基材成分(B)可單獨使用或將2種以上組合而使用。 聚合性基材成分(B)典型為包含光聚合性化合物、或光聚合性化合物與樹脂。光聚合性化合物可為低分子化合物，亦可為樹脂之類的高分子化合物。光聚合性化合物及樹脂各自可單獨使用或將2種以上組合而使用。 至於聚合性基材成分(B)，就光聚合性之方面而言，較佳為包含並非聚合物之低分子量光聚合性化合物(以下，亦記為「光聚合性單體」)、及/或含有交聯性基之樹脂。 又，於聚合性基材成分(B)包含樹脂之情形時，就顯影性之觀點而言，較佳為包含鹼可溶性樹脂。鹼可溶性樹脂亦可包含交聯性基。就光聚合性與鹼顯影性之兩者之觀點而言，較佳為包含交聯性基(包含交聯性基作為結構單元中之取代基)之鹼可溶性樹脂。 以下，依序對作為(B)成分中所含之適宜成分的光聚合性單體、含有交聯性基之樹脂、及鹼可溶性樹脂加以說明。 [光聚合性單體] 作為感光性組合物中所含有之光聚合性單體，可較佳地使用具有乙烯性不飽和雙鍵之化合物。該具有乙烯性不飽和雙鍵之化合物中存在有單官能單體與多官能單體。 作為單官能單體，可列舉(甲基)丙烯醯胺、羥甲基(甲基)丙烯醯胺、甲氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、乙氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、丙氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、丁氧基甲氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、N-羥甲基(甲基)丙烯醯胺、N-羥基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸、富馬酸、馬來酸、馬來酸酐、伊康酸、伊康酸酐、檸康酸、檸康酸酐、丁烯酸、2-丙烯醯胺-2-甲基丙磺酸、第三丁基丙烯醯胺磺酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基-2-羥基丙酯、鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯醯氧基-2-羥基丙酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、二甲基胺基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2,2,3,3-四氟丙酯、鄰苯二甲酸衍生物之半(甲基)丙烯酸酯等。該等單官能單體可單獨使用或將2種以上組合而使用。 另一方面，作為多官能單體，可列舉1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,12-十二烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三環癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-(甲基)丙烯醯氧基丙酯、二季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚(伸乙基-伸丙基)二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、2,2-雙(4-(甲基)丙烯醯氧基二乙氧基苯基)丙烷、2,2-雙(4-(甲基)丙烯醯氧基聚乙氧基苯基)丙烷、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-(甲基)丙烯醯氧基丙酯、乙二醇二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二甲酸二縮水甘油酯二(甲基)丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油聚縮水甘油醚聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯(即，甲苯二異氰酸酯)、三甲基六亞甲基二異氰酸酯及六亞甲基二異氰酸酯等與 (甲基)丙烯酸2-羥基乙酯之反應物、亞甲基雙(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯醯胺亞甲基醚、多元醇與N-羥甲基(甲基)丙烯醯胺之縮合物、三丙烯醯基縮甲醛、2,4,6-三側氧基六氫-1,3,5-三-1,3,5-三乙醇三丙烯酸酯、及2,4,6-三側氧基六氫-1,3,5-三-1,3,5-三乙醇二丙烯酸酯等。該等多官能單體可單獨使用或將2種以上組合而使用。 該等具有乙烯性不飽和雙鍵之化合物中，自獲得可提供強度、對基板之密接性優異之硬化物的感光性組合物之方面而言，較佳為3官能以上之多官能單體。 就控制玻璃轉移點(Tg)之觀點而言，可與3官能以上之多官能單體併用而使用單官能單體或2官能單體，該等中亦較佳為1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯。 光聚合性單體之含量為相對於感光性組合物之固形物成分而言較佳為5～60質量%，更佳為10～50質量%。藉由將感光性組合物中之光聚合性單體之含量設為上述範圍，存在容易獲得感光性組合物之感度、顯影性、及解像性之平衡之傾向。 [含有交聯性基之樹脂] 本發明之感光性組合物若含有含有交聯性基之樹脂，則存在變得更容易使用該感光性組合物而形成硬化物之傾向。含有交聯性基之樹脂係具有交聯性基之樹脂，較佳為包含源自具有交聯性基之(甲基)丙烯酸酯之單元者。作為交聯性基，若為主要可藉由加熱而進行含有交聯性基之樹脂之交聯之官能基，則無特別限定，較佳為環氧基、乙烯性不飽和雙鍵。交聯性基例如可藉由包含由源自具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元及具有乙烯性不飽和雙鍵之單元所組成之群中的至少1種而導入至含有交聯性基之樹脂中。 作為含有交聯性基之樹脂，較佳為包含源自具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元的樹脂。藉由具有該單元，亦可提高使用感光性組合物所形成之絕緣膜對基材上之密接性或機械強度。 具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯可為具有鏈狀脂肪族環氧基之(甲基)丙烯酸酯，亦可為如下述之具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯。 具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯亦可具有芳香族基。於本說明書中，芳香族基係具有芳香環之基。作為構成芳香族基之芳香環之例，可列舉苯環、萘環。作為具有芳香族基、且具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯之例，可列舉(甲基)丙烯酸4-縮水甘油氧基苯酯、(甲基)丙烯酸3-縮水甘油氧基苯酯、(甲基)丙烯酸2-縮水甘油氧基苯酯、(甲基)丙烯酸4-縮水甘油氧基苯基甲酯、(甲基)丙烯酸3-縮水甘油氧基苯基甲酯、及(甲基)丙烯酸2-縮水甘油氧基苯基甲酯等。 於使用感光性組合物所形成之膜要求透明性之情形時，具有環氧基之(甲基)丙烯酸較佳為不具有芳香族基者。 作為具有鏈狀脂肪族環氧基之(甲基)丙烯酸酯之例，可列舉(甲基)丙烯酸環氧基烷基酯、及(甲基)丙烯酸環氧基烷氧基烷基酯等之類的於酯基(-O-CO-)中之氧基(-O-)上鍵結有鏈狀脂肪族環氧基之(甲基)丙烯酸酯。此種(甲基)丙烯酸酯所具有之鏈狀脂肪族環氧基亦可於鏈中含有1個或複數個氧基(-O-)。鏈狀脂肪族環氧基之碳原子數並無特別限定，較佳為3～20，更佳為3～15，尤佳為3～10。 作為具有鏈狀脂肪族環氧基之(甲基)丙烯酸酯之具體例，可列舉(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸2-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧基丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧基庚酯等(甲基)丙烯酸環氧基烷基酯；(甲基)丙烯酸2-縮水甘油氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-縮水甘油氧基-正丙酯、(甲基)丙烯酸4-縮水甘油氧基-正丁酯、(甲基)丙烯酸5-縮水甘油氧基-正己酯、(甲基)丙烯酸6-縮水甘油氧基-正己酯等(甲基)丙烯酸環氧基烷氧基烷基酯。 作為具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之具體例，例如可列舉下述式(d2-1)～(d2-16)所表示之化合物。該等中，為了使感光性組合物之顯影性變適度，較佳為下述式(d2-1)～(d2-6)所表示之化合物，更佳為下述式(d2-1)～(d2-4)所表示之化合物。 又，關於該等各化合物，酯基之氧原子對於脂環之鍵結部位並不限於此處所示者，亦可包含部分位置異構物。 [化29]上述式中，R^d4 表示氫原子或甲基，R^d5 表示碳數1～6之2價之脂肪族飽和烴基，R^d6 表示碳數1～10之2價之烴基，n表示0～10之整數。作為R^d5 ，較佳為直鏈狀或支鏈狀之伸烷基，例如亞甲基、伸乙基、伸丙基、四亞甲基、乙基伸乙基、五亞甲基、六亞甲基。作為R^d6 ，例如較佳為亞甲基、伸乙基、伸丙基、四亞甲基、乙基伸乙基、五亞甲基、六亞甲基、伸苯基、伸環己基、-CH₂ -Ph-CH₂ -(Ph表示伸苯基)。 具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯若為如上所述之具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯，則與具有鏈狀脂肪族環氧基之(甲基)丙烯酸酯相比而言，含有源自該(甲基)丙烯酸酯之單元的含有交聯性基之樹脂、進而感光性組合物之保管穩定性優異，且於形成絕緣膜等時可預烘烤之溫度之範圍(預烘烤溫度餘裕)變廣，因此較佳。 含有交聯性基之樹脂而且亦可為包含具有乙烯性不飽和雙鍵作為交聯性基之單元的樹脂(於本說明書中，亦稱為「具有乙烯性不飽和雙鍵之樹脂」)。該乙烯性不飽和雙鍵較佳為構成(甲基)丙烯醯氧基之一部分。 作為具有乙烯性不飽和雙鍵之樹脂，例如可列舉具有(甲基)丙烯醯氧基之樹脂。 具有(甲基)丙烯醯氧基之樹脂例如可藉由如下方式而製備：使包含源自不飽和羧酸之單元的聚合物中所含之羧基之至少一部分，與上述具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯及/或上述具有鏈狀脂肪族環氧基之(甲基)丙烯酸酯反應。 於含有交聯性基之樹脂為具有乙烯性不飽和雙鍵之樹脂之情形時，亦可為具有光聚合性者。由於含有交聯性基之樹脂含有該具有乙烯性不飽和雙鍵之光聚合性樹脂，因此可使感光性組合物之硬化性提高，使圖案形成變容易。 於含有交聯性基之樹脂中，相對於該樹脂之質量而言，源自具有交聯性基之(甲基)丙烯酸酯的單元之量較佳為20～80質量%，更佳為30～70質量%，進而更佳為33～65質量%；源自具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元之量較佳為10～80質量%，更佳為15～70質量%，進而更佳為20～65質量%；具有乙烯性不飽和雙鍵之單元之量較佳為15～40質量%，更佳為20～35質量%。作為含有交聯性基之樹脂，較佳為選自(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸酯之1種以上單體之聚合物，於該聚合物之情形時，該聚合物中之源自具有交聯性基之(甲基)丙烯酸酯之單元之含量亦相對於樹脂之質量而言與上述同樣。 含有交聯性基之樹脂亦可為包含源自具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元、具有乙烯性不飽和雙鍵之單元之兩者之樹脂，但亦可為包含源自具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元或具有乙烯性不飽和雙鍵之單元之任一者之樹脂，較佳為僅僅包含源自具有環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元作為交聯性基之樹脂。 含有交聯性基之樹脂較佳為具有交聯性基之樹脂，且其係鹼可溶性樹脂。感光性組合物藉由調配該鹼可溶性樹脂，可對感光性組合物賦予鹼顯影性。 於本說明書中，所謂鹼可溶性樹脂係指藉由樹脂濃度為20質量%之樹脂溶液(溶劑：丙二醇單甲醚乙酸酯)而於基板上形成膜厚為1 μm之樹脂膜，於濃度為0.05質量%之KOH水溶液中浸漬1分鐘時，膜厚溶解0.01 μm以上者。 於含有交聯性基之樹脂亦為鹼可溶性樹脂之情形時，通常具有鹼可溶性基。作為鹼可溶性基，若為對含有交聯性基之樹脂賦予對於上述鹼之溶解性之官能基，則無特別限定，較佳為羧基或去保護而產生羧基之基，例如可藉由含有下述之源自不飽和羧酸之單元，而且藉由使包含賦予鹼可溶性基之(甲基)丙烯酸酯之單體聚合，可將其導入至含有交聯性基之樹脂。於本說明書中，賦予鹼可溶性基之(甲基)丙烯酸酯可設為並不含有上述具有交聯性基之(甲基)丙烯酸酯者。 作為含有交聯性基之樹脂，於亦為鹼可溶性樹脂之情形時，亦可為不具有如下官能基之樹脂，上述官能基係抑制或抑止含有交聯性基之樹脂對於上述鹼之溶解性之官能基(以下，有時稱為「鹼溶解抑止基」或「溶解抑止基」)，但較佳為具有鹼可溶性基及溶解抑止基之樹脂。至於溶解抑止基，於具有使含有交聯性基之樹脂對於鹼之溶解性降低之功能之方面而言，亦可稱為鹼難溶解性基。含有交聯性基之樹脂具有鹼可溶性基及溶解抑止基，因此可調整對於鹼之溶解性，藉此可調整感光性組合物之鹼顯影性。作為溶解抑止基，例如可列舉下述之苯乙烯或苯乙烯衍生物；不飽和醯亞胺類；具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯(其中，具有環氧基者除外)；(甲基)丙烯酸苄酯等具有芳香族基之(甲基)丙烯酸酯等。於本說明書中，賦予溶解抑止基之(甲基)丙烯酸酯並不包含上述具有交聯性基之(甲基)丙烯酸酯。 含有交聯性基之樹脂中，自製膜性優異之方面，或容易藉由選擇單體而調整樹脂之特性等考慮，較佳為具有乙烯性不飽和雙鍵之單體之聚合物。作為具有乙烯性不飽和雙鍵之單體，可列舉(甲基)丙烯酸；(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯醯胺；丁烯酸；馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、伊康酸、該等二羧酸之酸酐；乙酸烯丙酯、己酸烯丙酯、辛酸烯丙酯、月桂酸烯丙酯、棕櫚酸烯丙酯、硬脂酸烯丙酯、苯甲酸烯丙酯、乙醯乙酸烯丙酯、乳酸烯丙酯、及烯丙氧基乙醇之類的烯丙基化合物；己基乙烯基醚、辛基乙烯基醚、癸基乙烯基醚、乙基己基乙烯基醚、甲氧基乙基乙烯基醚、乙氧基乙基乙烯基醚、氯乙基乙烯基醚、1-甲基-2,2-二甲基丙基乙烯基醚、2-乙基丁基乙烯基醚、羥基乙基乙烯基醚、二乙二醇乙烯醚、二甲基胺基乙基乙烯基醚、二乙基胺基乙基乙烯基醚、丁基胺基乙基乙烯基醚、苄基乙烯基醚、四氫糠基乙烯基醚、乙烯基苯基醚、乙烯基甲苯基醚、乙烯基氯苯基醚、乙烯基-2,4-二氯苯基醚、乙烯基萘基醚、及乙烯基蒽基醚之類的乙烯醚；丁酸乙烯酯、異丁酸乙烯酯、三甲基乙酸乙烯酯、二乙基乙酸乙烯酯、特戊酸乙烯酯、己酸乙烯酯、氯乙酸乙烯酯、二氯乙酸乙烯酯、甲氧基乙酸乙烯酯、丁氧基乙酸乙烯酯、乙酸乙烯基苯酯、乙醯乙酸乙烯酯、乳酸乙烯酯、β-苯基丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、水楊酸乙烯酯、氯苯甲酸乙烯酯、四氯苯甲酸乙烯酯、及萘甲酸乙烯酯之類的乙烯酯；苯乙烯、甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、異丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、環己基苯乙烯、癸基苯乙烯、苄基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙醯氧基甲基苯乙烯、甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯、氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2-溴-4-三氟甲基苯乙烯、及4-氟-3-三氟甲基苯乙烯之類的苯乙烯或苯乙烯衍生物；乙烯、丙烯、1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、3-甲基-1-丁烯、3-甲基-1-戊烯、3-乙基-1-戊烯、4-甲基-1-戊烯、4-甲基-1-己烯、4,4-二甲基-1-己烯、4,4-二甲基-1-戊烯、4-乙基-1-己烯、3-乙基-1-己烯、1-辛烯、1-癸烯、1-十二烯、1-十四烯、1-十六烯、1-十八烯、及1-二十烯之類的烯烴；馬來醯亞胺、N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺等不飽和醯亞胺類。 於含有交聯性基之樹脂為具有乙烯性不飽和雙鍵之單體之聚合物之情形時，通常包含源自不飽和羧酸之單元。作為不飽和羧酸之例，可列舉(甲基)丙烯酸；(甲基)丙烯醯胺；丁烯酸；馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、伊康酸、該等二羧酸之酸酐。作為鹼可溶性樹脂而使用之具有乙烯性不飽和雙鍵之單體之聚合物中所含的源自不飽和羧酸之單元之量，若使樹脂具有所需之鹼可溶性，則無特別限定。作為鹼可溶性樹脂而使用之樹脂中之源自不飽和羧酸之單元之量係相對於樹脂之質量而言較佳為5～25質量%，更佳為8～16質量%，於含有交聯性基之樹脂具有下述之溶解抑止基之情形時，該等量特佳。於含有交聯性基之樹脂不具有下述之溶解抑止基之情形時，該樹脂中之源自不飽和羧酸之單元之量係相對於樹脂之質量而言較佳為50～80質量%，更佳為60～70質量%。 於作為選自以上所例示之單體之1種以上單體之聚合物的具有乙烯性不飽和雙鍵之單體之聚合物中，較佳為選自(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸酯之1種以上單體之聚合物。以下，關於選自(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸酯之1種以上單體之聚合物而加以說明。 選自(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸酯之1種以上單體之聚合物之製備中所使用的(甲基)丙烯酸酯只要為不阻礙本發明之目的之範圍則無特別限定，則可自公知之(甲基)丙烯酸酯中適宜選擇。 作為(甲基)丙烯酸酯之適宜例，可列舉(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸第三辛酯等直鏈狀或支鏈狀之(甲基)丙烯酸烷基酯；(甲基)丙烯酸氯乙酯、(甲基)丙烯酸2,2-二甲基羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、三羥甲基丙烷單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸糠酯；(甲基)丙烯酸苄酯等具有芳香族基之(甲基)丙烯酸酯；具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯。關於具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯之詳細如後所述。 又，於選自(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸酯之1種以上單體之聚合物中，自容易使用感光性組合物而形成透過率高之絕緣膜考慮，包含源自具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯之單元的樹脂亦較佳。於本說明書中，具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯並不包含上述具有交聯性基之(甲基)丙烯酸酯。 於具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯中，具有脂環式骨架之基較佳為具有脂環式烴基之基。構成脂環式骨架之脂環式基可為單環亦可為多環。作為單環之脂環式基，可列舉環戊基、環己基等。又，作為多環之脂環式基，可列舉降 基、異 基、三環壬基、三環癸基、四環十二烷基等。 作為具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯中的具有脂環式烴基之(甲基)丙烯酸酯，例如可列舉下述式(d1-1)～(d1-8)所表示之化合物。於該等中，較佳為下述式(d1-3)～(d1-8)所表示之化合物，更佳為下述式(d1-3)或(d1-4)所表示之化合物。 [化30]上述式中，R^d1 表示氫原子或甲基，R^d2 表示單鍵或碳原子數1～6之2價之脂肪族飽和烴基，R^d3 表示氫原子或碳原子數1～5之烷基。作為R^d2 ，較佳為單鍵、直鏈狀或支鏈狀之伸烷基，例如亞甲基、伸乙基、伸丙基、四亞甲基、乙基伸乙基、五亞甲基、六亞甲基。作為R^d3 ，較佳為甲基、乙基。 含有交聯性基之樹脂較佳為包含如下單元之樹脂：源自選自(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸酯之1種以上單體之單元、源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元。該樹脂亦可為進而包含源自具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯之單元之樹脂，於該情形時，樹脂中之源自具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯之單元之量可為10～35質量%，亦可為15～30質量%，亦可為20～25質量%。 又，包含源自具有脂環式骨架之(甲基)丙烯酸酯之單元的選自(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸酯之1種以上單體之聚合物中，較佳為包含源自(甲基)丙烯酸之單元、源自具有脂環式環氧基之 (甲基)丙烯酸酯之單元之樹脂。使用含有此種含有交聯性基之樹脂的感光性組合物所形成之膜對於基材之密接性優異。又，於使用此種樹脂之情形時，可能產生樹脂中所含之羧基與脂環式環氧基之自反應。因此，若使用含有此種樹脂之感光性組合物，則可藉由使用對膜進行加熱之方法等，產生羧基與脂環式環氧基之自反應，從而使所形成之膜之硬度之類的機械物性提高。 於含有源自(甲基)丙烯酸之單元(具有交聯性基者除外)、源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元的樹脂中，樹脂中之源自前者(甲基)丙烯酸之單元之量較佳為1～95質量%，更佳為10～70質量%。於含有該源自(甲基)丙烯酸之單元、源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元的樹脂中，樹脂中之源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元的量較佳為1～95質量%，更佳為10～50質量%。 於包含源自(甲基)丙烯酸之單元、源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元的選自(甲基)丙烯酸及(甲基)丙烯酸酯之1種以上單體之聚合物中，亦可為包含源自(甲基)丙烯酸之單元、源自具有脂環式烴基之(甲基)丙烯酸酯之單元、源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元的樹脂。 於包含源自(甲基)丙烯酸之單元、源自具有脂環式烴基之(甲基)丙烯酸酯之單元、源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元的樹脂中，樹脂中之源自(甲基)丙烯酸之單元之量較佳為1～95質量%，更佳為10～50質量%。於包含源自(甲基)丙烯酸之單元、源自具有脂環式烴基之(甲基)丙烯酸酯之單元、源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元的樹脂中，樹脂中之源自具有脂環式烴基之(甲基)丙烯酸酯之單元之量較佳為1～95質量%，更佳為10～70質量%。於包含源自(甲基)丙烯酸之單元、源自具有脂環式烴基之(甲基)丙烯酸酯之單元、源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元的樹脂中，樹脂中之源自具有脂環式環氧基之(甲基)丙烯酸酯之單元之量較佳為1～95質量%，更佳為30～80質量%。 含有交聯性基之樹脂之質量平均分子量(Mw：凝膠滲透層析法(GPC)之聚苯乙烯換算之測定值。於本說明書相同)較佳為2000～200000，更佳為2000～18000。藉由設為上述之範圍，存在容易獲得感光性組合物之膜形成能力、曝光後之顯影性之平衡之傾向。 感光性組合物中的含有交聯性基之樹脂之含量為於感光性組合物之固形物成分中較佳為15～95質量%，更佳為35～85質量%，尤佳為50～70質量%。 [鹼可溶性樹脂] 鹼可溶性樹脂可自先前起便調配於各種感光性組合物中之樹脂中適宜選擇。再者，於本說明書中，於鹼可溶性樹脂中不含上述之含有交聯性基之樹脂。雖然存在可藉由於感光性組合物中調配鹼可溶性樹脂而提高感光性組合物之鹼顯影性之情形，但本發明之感光性組合物即使不含鹼可溶性樹脂，亦可藉由使用亦為鹼可溶性樹脂之上述含有交聯性基之樹脂而具有鹼顯影性。 作為適宜之鹼可溶性樹脂，可列舉含有於主鏈具有環結構之結構單元的聚合物。再者，於本說明書中，於含有於主鏈具有環結構之結構單元的聚合物中，並不包含具有不飽和鍵之單體之聚合物。 以下，關於含有於主鏈具有環結構之結構單元的聚合物而加以說明。 (含有於主鏈具有環結構之結構單元的聚合物) 含有於主鏈具有環結構之結構單元的聚合物若為具有特定之環結構且具有特定之鹼可溶性之樹脂，則無特別限定。作為含有於主鏈具有環結構之結構單元的聚合物之適宜例，可列舉含有源自馬來醯亞胺之結構單元(以下，亦稱為「結構單元(A2a)」)之聚合物(以下，亦稱為「聚合物(A2)」)及含有下述式(A-1)所表示之結構單元(以下，亦稱為「結構單元(A1a)」)之聚合物(以下，亦稱為「聚合物(A1)」)。 作為聚合物(A2)所具有之源自馬來醯亞胺之結構單元(A2a)，若為使具有馬來醯亞胺骨架之單體聚合而獲得者，則無特別限定。作為具有馬來醯亞胺骨架之單體，例如可列舉N-苄基馬來醯亞胺、N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺等。 特別是包含聚合物(A1)之感光性組合物對於顯影液之溶解性良好，上述聚合物(A1)含有於主鏈具有環結構之結構單元(A1a)。 [化31]式(A-1)中，環A為具有1個氧原子作為環構成原子之碳數4～6之飽和脂肪族環式基。環A較佳為具有1個氧原子作為環構成原子之碳數4或5之飽和脂肪族環式基，更佳為四氫呋喃環或四氫吡喃環，進而更佳為下述式(A-3)所表示之結構單元(以下，亦稱為「結構單元(A1a1)」)中之四氫吡喃環或下述式(A-4)所表示之結構單元(以下，亦稱為「結構單元(A1a2)」)中之四氫呋喃環。 [化32]於主鏈含有上述式(A-1)所表示之結構單元的聚合物(聚合物(A1))通常於主鏈含有複數個上述式(A-1)所表示之結構單元(結構單元(A1a))。於複數個結構單元(A1a)中，各結構單元(A1a)中所含有之環A於構成聚合物(A1)之一個主鏈中可相互相同亦可不同。具體而言，構成聚合物(A1)之一個主鏈例如可僅僅具有上述式(A-3)所表示之結構單元作為該主鏈所含有之上述式(A-1)所表示之結構單元，亦可僅僅具有上述式(A-4)所表示之結構單元作為該主鏈所含有之上述式(A-1)所表示之結構單元，亦可並有上述式(A-3)所表示之結構單元與上述式(A-4)所表示之結構單元作為該主鏈所含有之上述式(A-1)所表示之結構單元。 上述式(A-1)、式(A-3)及式(A-4)中，R^b1 及R^b2 分別獨立為氫原子或-COOR^b3 ，R^b3 分別獨立為氫原子或可具有取代基之碳數1～25之烴基。R^b1 及R^b2 較佳為-COOR^b3 。於構成含有上述式(A-1)所表示之結構單元的聚合物(聚合物(A1))之一個主鏈含有複數個環A之情形時，與各環A鍵結之-COOR^b3 分別獨立，作為-COOR^b3 而相同或不同之基亦可鍵結於各環A上。 作為R^b1 及R^b2 所表示之可具有取代基之碳數1～25之烴基，並無特別限制。作為烴基之具體例，可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、第三戊基、硬脂基、月桂基、2-乙基己基等直鏈狀或分支狀之烷基；苯基等芳基；環己基、第三丁基環己基、二環戊二烯基、三環癸基、異 基、金剛烷基、2-甲基-2-金剛烷基等脂環式基；1-甲氧基乙基、1-乙氧基乙基等經烷氧基取代之烷基；苄基等經芳基取代之烷基等。 於R^b1 及R^b2 為烴基之情形時，烴基之碳原子數較佳為8以下。作為碳原子數為8以下之烴基，自難以由於酸或熱而脫離考慮，較佳為烴基所具有之單末端自由之鍵結鍵與一級碳原子或二級碳原子鍵結之烴基。作為此種烴基，較佳為碳原子數為1～8之直鏈狀或支鏈狀之烷基，較佳為碳原子數為1～5之直鏈狀或支鏈狀之烷基。 作為此種烴基之具體例，可列舉甲基、乙基、環己基、苄基等，較佳為甲基。 於構成含有上述式(A-1)所表示之結構單元(結構單元(A1a))之聚合物(聚合物(A1))的一個主鏈含有複數個結構單元(A1a)之情形時，各結構單元(A1a)上所鍵結之R^b1 及R^b2 於各結構單元(A1a)間可相同亦可不同。 於含有該各結構單元(A1a)間相同或不同之環A之情形時，R^b1 及R^b2 並不依存於所鍵結之各環A之種類而相互獨立。 具體而言，於構成聚合物(A1)之一個主鏈含有複數個上述式(A-3)所表示之結構單元(結構單元(A1a1))之情形時，各結構單元(A1a1)中之R^b1 及R^b2 於各結構單元(A1a1)間可相同亦可不同。 於構成聚合物(A1)之一個主鏈含有複數個上述式(A-4)所表示之結構單元(結構單元(A1a2))之情形時，各結構單元(A1a2)中之R^b1 及R^b2 於各結構單元(A1a2)間可相同亦可不同。 進而，於構成聚合物(A1)之一個主鏈含有上述式(A-3)所表示之結構單元(結構單元(A1a1))與上述式(A-4)所表示之結構單元(結構單元(A1a2))之情形時，各結構單元(A1a1)中之R^b1 及R^b2 與各結構單元(A1a2)中之R^b1 及R^b2 可相同亦可不同。 上述式(A-3)所表示之結構單元(結構單元(A1a1))亦可為下述式(A-5)所表示之重複單元(以下亦稱為「重複單元(ar1)」)之一部分。上述式(A-4)所表示之結構單元(結構單元(A1a2))亦可為下述式(A-6)所表示之重複單元(以下亦稱為「重複單元(ar2)」)之一部分。 [化33](式(A-5)及式(A-6)中，R^b1 及R^b2 分別獨立地與上述同樣) 作為提供上述式(A-5)及(A-6)所表示之各重複單元之單體，例如可列舉下述式所表示之1,6-二烯類。 [化34](上述式中，R^b3 分別獨立地與上述同樣) 於提供於主鏈含有上述式(A-1)所表示之結構單元(結構單元(A1a))之聚合物(聚合物(A1))的單體組合物中，提供含有結構單元(A1a)之重複單元(可含有上述結構單元(A1a1)及結構單元(A1a2))的單體(A1ma)之含有比例係相對於單體組合物中之單體之總量而言較佳為1質量%～60質量%，更佳為5質量%～50質量%，尤佳為10質量%～40質量%。 聚合物(A1)較佳為於側鏈具有酸基之重複單元(A1b)。聚合物(A1)若具有於側鏈具有酸基之重複單元(A1b)，則可獲得鹼顯影性優異之感光性組合物。作為變得構成於側鏈具有酸基之重複單元(A1b)的單體(A1mb)，例如可列舉(甲基)丙烯酸、2-(甲基)丙烯醯氧基乙基丁二酸、伊康酸、ω-羧基-聚己內酯單丙烯酸酯等具有羧基之單體；馬來酸酐、伊康酸酐等具有羧酸酐基之單體等。其中較佳為(甲基)丙烯酸。 於提供聚合物(A1)之單體組合物中，變得構成於側鏈具有酸基之重複單元(A1b)的單體(A1mb)之含有比例係相對於單體組合物中之單體之總量而言較佳為1質量%～50質量%，更佳為5質量%～40質量%，進而更佳為10質量%～35質量%。 較佳為聚合物(A1)具有於側鏈具有碳雙鍵之重複單元(A1c)。於側鏈具有碳雙鍵之重複單元(A1c)可藉由如下方式而獲得：以於側鏈具有酸基之重複單元(A1b)之酸基之一部分或全部(較佳為一部分)為反應點，加成具有碳雙鍵之化合物。 於側鏈具有酸基之重複單元(A1b)之酸基為羧基之情形時，作為具有碳雙鍵之化合物，可使用具有環氧基與雙鍵之化合物、具有異氰酸酯基與雙鍵之化合物等。作為具有環氧基與雙鍵之化合物，例如可列舉(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、鄰乙烯基苄基縮水甘油醚、間乙烯基苄基縮水甘油醚、對乙烯基苄基縮水甘油醚、丙烯酸4-羥基丁酯縮水甘油醚等。作為具有異氰酸酯基與雙鍵之化合物，可列舉(甲基)丙烯酸2-異氰酸酯基乙酯等。於側鏈具有酸基之重複單元(A1b)之酸基為羧酸酐基之情形時，作為具有碳雙鍵之化合物，可使用具有羥基與雙鍵之化合物。作為具有羥基與雙鍵之化合物，例如可列舉(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯等。 聚合物(A1)可進而具有其他重複單元(A1e)，上述其他重複單元(A1e)係源自可與上述單體(A1ma)、單體(A1mb)及/或單體(A1mc)共聚之其他單體(A1me)者。 作為其他單體(A1me)，例如亦可為進而具有於側鏈具有2個以上氧基伸烷基的重複單元者。作為於側鏈具有2個以上之氧基伸烷基的重複單元，例如可列舉下述式所表示之重複單元。 [化35]上述式中，R^b7 、R^b8 及R^b9 分別獨立為氫原子或甲基，較佳為氫原子。R^b10 為碳數為1～20之直鏈狀或分支狀之烷基、碳數為2～20之直鏈狀或分支狀之烯基或碳數為6～20之芳香族烴基，較佳為氫原子、碳數為1～20之直鏈狀之烷基、碳數為2～20之直鏈狀之烯基或碳數為6～20之芳香族烴基，更佳為碳數為1～10之直鏈狀之烷基或碳數為6～12之芳香族烴基，進而更佳為碳數為1～5之直鏈狀之烷基、苯基或聯苯基，尤佳為甲基、苯基或聯苯基。再者，烷基、烯基及芳香族烴基亦可具有取代基。AO表示氧基伸烷基。AO所表示之氧基伸烷基之碳數為2～20，較佳為2～10，更佳為2～5，進而更佳為2。於側鏈具有2個以上氧基伸烷基之重複單元可含有1種或2種以上氧基伸烷基。x表示0～2之整數。y表示0或1。z表示氧基伸烷基之平均加成莫耳數，為2以上，較佳為2～100，更佳為2～50，進而更佳為2～15。 於側鏈具有2個以上氧基伸烷基之重複單元係由於側鏈具有2個以上氧基伸烷基之單體而構成。作為該單體，例如可列舉下述式所表示之單體。 [化36](上述式中，R^b7 、R^b8 、R^b9 、R^b10 、AO、x、y及z如上述說明那樣) 作為上述於側鏈具有2個以上氧基伸烷基之單體，例如可列舉乙氧基化鄰苯基苯酚(甲基)丙烯酸酯(EO為2莫耳)、苯氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO為4莫耳)、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO為9莫耳)、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO為13莫耳)、甲氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、乙氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、丁氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基二丙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO為4-17莫耳)、壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯(PO為5莫耳)、EO改性甲酚(甲基)丙烯酸酯(EO為2莫耳)等。該等單體可單獨使用或將2種以上組合而使用。其中較佳為乙氧基化鄰苯基苯酚(甲基)丙烯酸酯(EO為2莫耳)、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO為9莫耳)、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯(EO為13莫耳)。進而更佳為乙氧基化鄰苯基苯酚丙烯酸酯(EO為2莫耳)、甲氧基聚乙二醇丙烯酸酯(EO為9莫耳)、甲氧基聚乙二醇丙烯酸酯(EO為13莫耳)。再者，於本說明書中，例如「EO為2莫耳」、「PO為5莫耳」等記法係表示氧基伸烷基之平均加成莫耳數。 作為其他單體(A1me)，而且例如可列舉(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸苯酯、 (甲基)丙烯酸聯苯酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、丁氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸聯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊基酯、(甲基)丙烯酸三環癸酯、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三環癸氧基乙酯、壬基苯氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基丙二醇、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、乙氧基化鄰苯基苯酚(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯類；(甲基)丙烯醯基嗎啉((甲基)丙烯酸嗎啉基酯)、(甲基)丙烯醯胺、N-甲基(甲基)丙烯醯胺、N-異丙基(甲基)丙烯醯胺、N-丁基(甲基)丙烯醯胺、N-異丁基(甲基)丙烯醯胺、N-第三丁基(甲基)丙烯醯胺、N-第三辛基(甲基)丙烯醯胺、雙丙酮(甲基)丙烯醯胺、N-羥基甲基(甲基)丙烯醯胺、N-羥基乙基(甲基)丙烯醯胺、N-環己基(甲基)丙烯醯胺、N-苯基(甲基)丙烯醯胺、N-苄基(甲基)丙烯醯胺、N-三苯基甲基(甲基)丙烯醯胺、N,N-二甲基(甲基)丙烯醯胺等(甲基)丙烯醯胺類；苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯等芳香族乙烯基化合物；丁二烯、異戊二烯等丁二烯或經取代之丁二烯化合物；乙烯、丙烯、氯乙烯、丙烯腈等乙烯或經取代之乙烯化合物；乙酸乙烯酯等乙烯酯類等。該等單體可單獨或將2種以上組合而使用。 於提供聚合物(A1)之單體組合物中，提供其他重複單元(A1e)之單體(A1me)之含有比例係相對於單體組合物中之單體之總量而言較佳為0質量%～55質量%，更佳為5質量%～50質量%，進而更佳為10質量%～45質量%。 聚合物(A1)可為無規共聚物，亦可為嵌段共聚物。作為聚合物(A1)，可單獨使用或將2種以上組合而使用。 聚合物(A1)之重量平均分子量較佳為藉由利用四氫呋喃(THF)溶劑之凝膠滲透層析法(GPC)所測得之值較佳為3,000～200,000，更佳為3,500～100,000，進而更佳為4,000～50,000。若為此種範圍，則可獲得確保耐熱性、且具有適合形成塗膜之黏度之感光性組合物。 聚合物(A1)可藉由任意適宜之方法使提供聚合物(A1)之單體組合物聚合而獲得。作為聚合方法，例如可列舉溶液聚合法。 提供聚合物(A1)之單體組合物可含有任意適宜之溶劑。作為溶劑，例如可列舉四氫呋喃、二烷、乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、丙二醇單甲醚等醚類；丙酮、甲基乙基酮等酮類；乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯等酯類；甲醇、乙醇等醇類；甲苯、二甲苯、乙基苯等芳香族烴類；氯仿；二甲基亞碸等。該等溶劑可單獨使用或將2種以上組合而使用。上述單體組合物聚合時之聚合濃度較佳為5質量%～90質量%，更佳為5質量%～50質量%，進而更佳為10質量%～50質量%。 提供聚合物(A1)之單體組合物可含有任意適宜之聚合起始劑。作為聚合起始劑，例如可列舉氫過氧化異丙苯、氫過氧化二異丙基苯、過氧化二第三丁基、過氧化月桂醯、過氧化苯甲醯、過氧化異丙基碳酸第三丁酯、過氧-2-乙基己酸第三戊酯、過氧-2-乙基己酸第三丁酯等有機過氧化物；2,2'-偶氮雙(異丁腈)、1,1'-偶氮雙(環己甲腈)、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮雙(2-甲基丙酸)二甲酯等偶氮化合物等。聚合起始劑之含有比例係相對於單體組合物中之所有單體100質量份而言較佳為0.1質量份～15質量份，更佳為0.5質量份～10質量份。 藉由溶液聚合法使聚合物(A1)聚合時之聚合溫度較佳為40℃～150℃，更佳為60℃～130℃。 於獲得具有於側鏈具有碳雙鍵之重複單元(A1c)的聚合物(A1)之情形時，於上述聚合後，於所獲得之聚合物上加成上述具有碳雙鍵之化合物。作為加成具有碳雙鍵之化合物之方法，可採用任意適宜之方法。例如，於聚合抑制劑及觸媒之存在下，使具有碳雙鍵之化合物與於側鏈具有酸基之重複單元(A1b)之酸基之一部分或全部(較佳為一部分)反應而進行，藉此可形成於側鏈具有碳雙鍵之重複單元(A1c)。 上述具有碳雙鍵之化合物之加成量係相對於上述聚合後之聚合物(即，加成具有碳雙鍵之化合物之前之聚合物)100質量份而言較佳為5質量份以上，更佳為10質量份以上，進而更佳為15質量份以上，尤佳為20質量份以上。若為此種範圍，則可獲得曝光感度優異之感光性組合物。若使用此種感光性組合物，則存在容易形成緻密之硬化塗膜，獲得基板密接性亦優異之圖案之傾向。又，具有碳雙鍵之化合物之加成量若為上述範圍，則可藉由具有碳雙鍵之化合物之加成而充分地生成羥基，獲得對於鹼性顯影液之溶解性優異之感光性組合物。上述具有碳雙鍵之化合物之加成量之上限係相對於上述聚合後之聚合物(即，加成具有碳雙鍵之化合物之前之聚合物)100質量份而言較佳為170質量份以下，更佳為150質量份以下，進而更佳為140質量份以下。具有碳雙鍵之化合物之加成量若為上述範圍內，則可維持感光性組合物之保存穩定性及溶解性。 作為聚合抑制劑，例如可列舉6-第三丁基-2,4-二甲苯酚等烷基酚化合物。作為觸媒，例如可列舉二甲基苄基胺、三乙基胺等三級胺。 以上所說明之鹼可溶性樹脂亦可與含有於主鏈具有環結構之結構單元的聚合物一同含有該聚合物以外之樹脂。 感光性組合物中之鹼可溶性樹脂之含量為相對於感光性組合物之固形物成分之質量而言較佳為40質量%以下，更佳為30～10質量%，尤佳為25～15質量%。又，聚合性基材成分(B)中之鹼可溶性樹脂之含量較佳為80質量%以下，更佳為60～20質量%，尤佳為50～30質量%。 ＜其他成分＞ 於本發明之感光性組合物中可視需要含有各種添加劑。具體而言，可例示溶劑、表面調整劑、增感劑、硬化促進劑、光交聯劑、光敏劑、分散助劑、填充劑、密接促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、凝聚抑制劑、熱聚合抑制劑、消泡劑、界面活性劑、鏈轉移劑等。任意之添加劑均可使用先前公知之添加劑。作為界面活性劑，可列舉陰離子系化合物、陽離子系化合物、非離子系化合物等。作為密接性促進劑，可列舉先前公知之矽烷偶合劑。作為熱聚合抑制劑，可列舉對苯二酚、對苯二酚單乙醚等。作為消泡劑，可列舉聚矽氧系化合物、氟系化合物等。 作為鏈轉移劑，可列舉硫醇系化合物、鹵素系化合物、醌系化合物、α-甲基苯乙烯二聚物等。藉由含有鏈轉移劑，可良好地控制圖案形狀(特別是孔圖案之CD變化、曝光餘裕)。其中，2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯(α-甲基苯乙烯二聚物)除了上述效果以外，於可減低昇華物或著色、臭氣之方面而言較佳。 作為本發明之感光性組合物中所使用之溶劑，例如可列舉乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇正丙醚、乙二醇單正丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單正丙醚、二乙二醇單正丁醚、三乙二醇單甲醚、三乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單正丙醚、丙二醇單正丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單正丙醚、二丙二醇單正丁醚、三丙二醇單甲醚、三丙二醇單乙醚等(聚)烷二醇單烷基醚類；乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯等(聚)烷二醇單烷基醚乙酸酯類；二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙醚、四氫呋喃等其他醚類；甲基乙基酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮類；2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯等乳酸烷基酯類；2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-側氧丁酸乙酯等其他酯類；甲苯、二甲苯等芳香族烴類；N-甲基吡咯啶酮、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺等醯胺類等。該等溶劑可單獨使用，亦可組合使用2種以上。 上述溶劑中，丙二醇單甲醚、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、環己酮、乙酸3-甲氧基丁酯對於上述(A1)成分及(A2)成分以及任意使用之(B)成分顯示出優異之溶解性，因此較佳；尤佳為使用丙二醇單甲醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯。溶劑之含量可根據感光性組合物之用途而適宜決定，作為一例，可列舉相對於感光性組合物之固形物成分之合計100質量份而言為50～900質量份左右。 ＜感光性組合物之製備方法＞ 本發明之感光性組合物可使用磁力攪拌器對上述各成分進行攪拌、混合溶解，視需要藉由0.2 μm膜濾器等過濾器進行過濾而製備。 作為本發明之感光性組合物，自所獲得之硬化物之透過率容易變充分考慮，藉由光程長度為3 μm所測得之對於波長為400 nm之光之透過率較佳為95%以上，更佳為98%以上。 ≪圖案形成方法、硬化物、及顯示裝置≫ 本發明之圖案形成方法除了使用上述感光性組合物以外，與使用感光性組合物所形成之先前之圖案形成方法相同。 使用上述感光性組合物而形成圖案之方法並無特別限制，可自先前所採用之方法中適宜選擇。作為適宜之圖案形成方法，可列舉包含如下步驟之方法：塗膜或成形體形成步驟，使用上述感光性組合物而形成塗膜或成形體；曝光步驟，對上述塗膜或成形體以特定圖案狀照射電磁波；顯影步驟，對照射過電磁波之塗膜或成形體進行顯影而形成圖案。 首先，於塗膜或成形體形成步驟中，例如於欲形成圖案之基板上，使用輥式塗佈機、反向塗佈機、棒式塗佈機等接觸轉印型塗佈裝置或旋轉器(旋轉式塗佈裝置)、淋幕式平面塗佈機等非接觸型塗佈裝置而塗佈本發明之感光性組合物，視需要藉由乾燥(預烘烤)將溶劑除去、及/或藉由公知之成形法將上述感光性組合物成形，而形成塗膜或成形體。 其次，將所形成之塗膜或成形體供於曝光步驟。於曝光步驟中，經由負型遮罩對塗膜或成形體照射ArF準分子雷射、KrF準分子雷射、F₂ 準分子雷射、極紫外線(EUV)、真空紫外線(VUV)、電子束、X射線、軟X射線、g射線、i射線、h射線等放射線或電磁波，將塗膜或成形體部分地曝光為特定圖案狀。曝光量根據感光性組合物之組成而異，例如較佳為10 mJ/cm² ～600 mJ/cm² 左右。 上述感光性組合物於曝光後不易過度地溶解於鹼性顯影液。因此，藉由使用上述感光性組合物，容易形成以曝光部為凸部、以未曝光部為凹部之良好形狀之圖案。 於顯影步驟中，藉由顯影液對照射過電磁波之塗膜或成形體進行顯影而形成特定圖案。顯影方法並無特別限定，可使用浸漬法、噴霧法等。作為顯影液之具體例，可列舉單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等有機系之顯影液，或氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、氨、四級銨鹽等之水溶液。 然後，視需要可對顯影後之圖案實施後烘烤而進行加熱硬化，藉此獲得硬化之圖案。後烘烤之溫度較佳為150～270℃。 本發明之硬化物係使用上述之感光性組合物而形成。上述硬化物較佳為絕緣膜、或積層於光阻膜上之保護膜。上述硬化物於製成厚度為3 μm(光程長度為3 μm)之試樣時對於波長為400 nm之光之透過率通常為95%以上、較佳為98%以上。如上所述，上述硬化物之透過率優異，因此可作為內嵌式觸控面板方式之液晶顯示裝置、UHA(Ultra High Aperture，超高孔徑)面板等之需要透明性優異之絕緣膜的顯示裝置用絕緣膜而適宜地使用。 [實施例] 以下，藉由實施例對本發明加以更詳細之說明，但本發明並不限定於該等實施例。 [感光性組合物之製備] 將含有交聯性基之樹脂65質量份、光聚合性單體35質量份、表1中所示之種類及量之光聚合起始劑、二乙二醇甲基乙基醚與丙二醇單甲醚乙酸酯之混合溶劑(質量比為55：45)加以混合而製成均一溶液，製備固形物成分濃度為24質量%之感光性組合物。再者，將含有交聯性基之樹脂及光聚合性單體之總量設為100質量份，於實施例11中光聚合起始劑之總量為4.5質量份，於實施例12中光聚合起始劑之總量為4質量份，於除此以外之實施例及所有比較例中光聚合起始劑之總量為5質量份。 又，於實施例1～12及比較例1～22中，使用以下所示之含有交聯性基之樹脂A，於實施例13及實施例14中，使用以下所示之含有交聯性基之樹脂B。 作為含有交聯性基之樹脂A，使用包含下述式所表示之結構單元之樹脂。結構單元彼此之質量比I-1：I-2：II-1：III-1為25：20：14：41。藉由凝膠滲透層析法(GPC)所求出之含有交聯性基之樹脂A之質量平均分子量(Mw)為7000。 [化37]作為含有交聯性基之樹脂B，使用包含下述式所表示之結構單元之樹脂。結構單元彼此之質量比I-3：II-1：III-2為71：12：17。藉由凝膠滲透層析法(GPC)所求出之含有交聯性基之樹脂B之質量平均分子量(Mw)為10200。 再者，作為結構單元I-3，使用包含以下所示之I-3之結構以及作為其部分位置異構物之I-3α之結構者。 [化38][化39]作為光聚合性單體，使用二季戊四醇六丙烯酸酯。 作為光聚合起始劑，準備下述式所表示之起始劑1～11，將起始劑1及3～11用於感光性組合物之製備、以及感度及透過率之評價與測定中。 光聚合起始劑(A1) ・起始劑1：下述式(A1-1)所表示之化合物 ・起始劑2：下述式(A1-2)所表示之化合物 [化40]光聚合起始劑(A2) ・起始劑3：下述式(A2-1)所表示之化合物 ・起始劑4：下述式(A2-2)所表示之化合物 ・起始劑5：下述式(A2-3)所表示之化合物 ・起始劑7：下述式(A2-4)所表示之化合物 ・起始劑9：下述式(A2-5)所表示之化合物 ・起始劑12：下述式(A2-6)所表示之化合物 [化41] 其他光聚合起始劑(A3) ・起始劑6：下述式(A3-1)所表示之化合物 ・起始劑8：下述式(A3-2)所表示之化合物 ・起始劑10：下述式(A3-3)所表示之化合物 ・起始劑11：下述式(A3-4)所表示之化合物 [化42]關於各實施例及比較例中所獲得之感光性組合物，依照以下之方法而進行感度及透過率之評價與測定。將評價結果記於表1中。 (感度) 於玻璃基板上，藉由旋轉器(Mikasa旋轉器IH-360S、Mikasa股份有限公司製造)而旋轉塗佈上述各實施例及比較例中所製備之感光性組合物後，於100℃下對塗膜進行100秒之乾燥而形成感光性樹脂層。其次，藉由曝光裝置(MPA600FA、佳能股份有限公司製造)，於每個實驗中使曝光量變動而對感光性樹脂層進行曝光。其次，使用四甲基氫氧化銨之濃度為2.38質量%之水溶液作為顯影液，於23℃下進行100秒之浸置式顯影，形成具有孔徑為10 μm之範圍內之孔的孔圖案。於顯影後，以230℃對圖案進行20分鐘之後烘烤。後烘烤後之圖案之膜厚為3 μm。圖案之膜厚係使用觸針式表面形狀測定器(Dektak 3st、ULVAC股份有限公司製造)而測定。將後烘烤處理之孔之底部之孔徑成為8 μm之曝光量判定為精確感度。於上述曝光量為35 mJ/cm² 以下之情形時，評價為感度良好；於上述曝光量超過35 mJ/cm² 之情形時，評價為感度不良。上述曝光量較佳為30 mJ/cm² 以下。 (透過率) 將曝光量固定為上述精確感度而對感光性樹脂層進行曝光，代替於每個實驗中使曝光量變動而對感光性樹脂層進行曝光，除此以外與感度之評價方法同樣地進行，形成進行了後烘烤之感光性組合物之硬化膜。硬化膜之膜厚為3 μm。使用MCPD-3000(大塚電子股份有限公司製造)測定所形成之硬化膜之波長400 nm之透過率。於上述透過率為95%以上之情形時，評價為透過率良好；於上述透過率未達95%之情形時，評價為透過率不良。上述透過率較佳為98%以上。 [表1] 根據表1可知，確認包含式(1)所表示之光聚合起始劑(A1)、及具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑(A2)之本發明之感光性組合物對於曝光之感度充分，藉由硬化而提供透過率充分之硬化物。

無

Claims (9)

1. 一種感光性組合物，其包含下述式(1)所表示之光聚合起始劑(A1)、及具有鍵結有硝基之芳香環骨架的光聚合起始劑(A2)， [化1](R¹ 為氫原子或1價有機基，R² 及R³ 分別為可具有取代基之鏈狀烷基、可具有取代基之環狀有機基、或氫原子，R² 與R³ 亦可相互鍵結而形成環，R⁴ 為下述式(R4-1)或(R4-2)所表示之基，R⁵ 為氫原子、可具有取代基之碳原子數1～11之烷基、或可具有取代基之芳基，n為0～4之整數；其中，式(1)所表示之光聚合起始劑不具有硝基) [化2](式(R4-1)及(R4-2)中，R⁷ 及R⁸ 分別為1價有機基，p為0～4之整數，於R⁷ 及R⁸ 存在於苯環上之鄰接之位置之情形時，R⁷ 與R⁸ 亦可相互鍵結而形成環，q為1～8之整數，r為1～5之整數，s為0～(r＋3)之整數，R⁹ 為1價有機基)。
2. 如請求項1之感光性組合物，其中上述芳香環骨架為茀或咔唑骨架之一部分或伸芳基或伸雜芳基。
3. 如請求項1或2之感光性組合物，其中上述光聚合起始劑(A2)之含量為上述感光性組合物之固形物成分之0.05～2質量%。
4. 如請求項1或2之感光性組合物，其進而含有聚合性基材成分(B)，上述聚合性基材成分(B)含有光聚合性化合物、或光聚合性化合物與樹脂。
5. 如請求項1或2之感光性組合物，其中以光程長度3 μm所測得之對於波長為400 nm之光的透過率為95%以上。
6. 一種圖案形成方法，其係使用如請求項1至5中任一項之感光性組合物而形成塗膜或成形體，對該塗膜或成形體以特定圖案狀照射電磁波而進行顯影。
7. 一種硬化物，其係使用如請求項1至5中任一項之感光性組合物而形成者。
8. 如請求項7之硬化物，其係絕緣膜、或積層於光阻膜上之保護膜。
9. 一種顯示裝置，其具備如請求項8之硬化物。