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TW201603977A - 搬運系統及搬運機器人之動作補正方法 - Google Patents

搬運系統及搬運機器人之動作補正方法 Download PDF

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TW201603977A
TW201603977A TW104106683A TW104106683A TW201603977A TW 201603977 A TW201603977 A TW 201603977A TW 104106683 A TW104106683 A TW 104106683A TW 104106683 A TW104106683 A TW 104106683A TW 201603977 A TW201603977 A TW 201603977A
Authority
TW
Taiwan
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horizontal arm
hand
unit
arm
arm portion
Prior art date
Application number
TW104106683A
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English (en)
Chinese (zh)
Inventor
井上久哉
浪江泰介
Original Assignee
安川電機股份有限公司
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Publication date
Application filed by 安川電機股份有限公司 filed Critical 安川電機股份有限公司
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
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    • H10P72/30—

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  • Automation & Control Theory (AREA)
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