TW201608233A - 光學薄膜檢查裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明是有關一種光學薄膜檢查裝置。本發明之光學薄膜檢查裝置備有:光源,其係從被移送薄膜之一側照射光;及攝像裝置,其拍攝前述薄膜;光所照射的前述薄膜之光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊;藉此僅以1個光源及攝像裝置,仍可容易觀測各個缺陷,且可獲得於各種攝像條件下拍攝的圖像,因此即便無複數個光源及攝像裝置,仍可容易檢測各種缺陷。
Description
本發明是有關一種光學薄膜檢查裝置。
圖像顯示裝置使用偏光器、TAC、相位差薄膜等各種光學薄膜。隨著圖像顯示裝置的進化,其所用的光學薄膜亦要求高品質。
然而,光學薄膜製造時,由於各種原因而產生瑕疵。包括例如於形成光學薄膜之樹脂組成物中混入異物的情況,於樹脂組成物之薄膜硬化時產生氣泡的情況,於多層構造薄膜形成時層間混入異物的情況,於薄膜表面產生刮痕的情況,於薄膜產生翹曲的情況等各種要因。
由於如前述引發瑕疵的各種要因,產生各種形狀的缺陷。例如若插入有異物,或產生氣泡,光學薄膜會於該當處所產生凹凸的缺陷,產生刮痕時,則於薄膜表面產生直線狀的缺陷。
於光學薄膜製造完成後,為了去除有該類缺陷產生的部分,備有檢測缺陷的步驟。作為檢測缺陷的方法之一,採用以攝影機器拍攝光學薄膜表面,並分析該圖像的方法。
然而,可容易觀測各種形狀的缺陷的攝像條件並不相同。因此,為了以高精度檢測各種形狀的缺陷,須設定各種攝像條件,因而須備有複數個光源及相機,故發生空間及經濟效益問題。
於韓國註冊專利第1082699號公報,雖揭示有一種光學薄膜用檢查裝置,但該系統也具有需要複數個光源及相機的問題。 先行技術文獻 專利文獻
[專利文獻1]韓國註冊專利第1082699號公報
發明所欲解決之問題
本發明之目的在於提供一種光學薄膜檢查裝置,其不需要複數個光源及攝像裝置,即能以高精度檢測各種缺陷。
本發明之目的在於提供一種光學薄膜檢查方法。 解決問題之技術手段
1.一種光學薄膜檢查裝置,備有:光源,其係從被移送薄膜之一側照射光;及攝像裝置,其拍攝前述薄膜;光所照射的前述薄膜之光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊。
2.如前述項目1之光學薄膜檢查裝置,其中前述光源及攝像裝置係於前述薄膜之移送方向相互離隔。
3.如前述項目1之光學薄膜檢查裝置,其中前述光源之光照射方向與攝像裝置之攝像方向呈平行。
4.如前述項目1之光學薄膜檢查裝置,其中前述光源之光照射方向與攝像裝置之攝像方向不呈平行。
5.如前述項目1之光學薄膜檢查裝置,其進一步備有:週期訊號產生部,前述攝像區域區分為因應薄膜之移送方向而具有不同照度範圍之2以上之子攝像區域,發出攝像週期訊號,以於每一前述子攝像區域,分別取得薄膜全體的圖像;及控制部,接收來自前述週期訊號產生部之攝像週期訊號,於每一攝像週期,對前述攝像裝置傳輸攝像訊號,從接收自前述攝像裝置之攝像圖像檢測缺陷。
6.如前述項目5之光學薄膜檢查裝置,其中前述子攝像區域具有互為相同的寬度;前述週期訊號產生部在每當薄膜被移送前述子攝像區域的寬度份量時,發出攝像週期訊號。
7.如前述項目5之光學薄膜檢查裝置,其中前述控制部係將接收自各子攝像區域之攝像圖像,依每一子攝像區域別予以結合,藉此就每一子攝像區域取得薄膜全體圖像,根據此檢測缺陷。
8.如前述項目1之光學薄膜檢查裝置,其中前述光照射區域包含光學薄膜之有效區域;前述光源係於前述有效區域,以薄膜之寬度方向具有同一照度之方式照射光的光源。
9.如前述項目5之光學薄膜檢查裝置,其中前述缺陷為異物缺陷、凹凸缺陷、或刮痕缺陷。
10.如前述項目9之光學薄膜檢查裝置,其中前述異物缺陷係與周邊正常區域之照度差為10灰階值以上的區域中,橫向、縱向的長度分別為30μm以上之黑色缺陷;凹凸缺陷係與周邊正常區域之照度差為10灰階值以上的區域中,橫向、縱向的長度分別為30mm以上之黑白缺陷;刮痕缺陷係與周邊正常區域之照度差為10灰階值以上的區域中,寬度30mm以上且長度為寬度3倍以上之缺陷。
11.一種光學薄膜檢查方法,其係從被移送薄膜之一側照射光,拍攝前述薄膜,檢測光學薄膜缺陷的方法;並使得光所照射的前述薄膜之光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊。
12.如前述項目11之光學薄膜檢查方法,其中前述光源及攝像裝置配置為在前述薄膜之移送方向相互離隔。
13.如前述項目11之光學薄膜檢查方法,其中前述光源之光照射方向與攝像裝置之攝像方向配置為平行。
14.如前述項目11之光學薄膜檢查方法,其中前述光源之光照射方向與攝像裝置之攝像方向配置為非平行。
15. 如前述項目11之光學薄膜檢查方法,其因應薄膜之移送方向,將前述攝像區域區分為具有不同照度範圍之2以上之子攝像區域,每當薄膜被移送前述子攝像區域的寬度份量時,拍攝薄膜,於每一子攝像區域,分別取得薄膜全體的圖像。
16. 如前述項目11之光學薄膜檢查方法,其中將接收自各子攝像區域之攝像圖像,依每一子攝像區域別予以結合,藉此就每一子攝像區域取得薄膜全體圖像。 發明之效果
由於本發明之光學薄膜檢查裝置即使僅以1個光源及攝像裝置,容易觀測各個缺陷,且可取得以各種攝像條件拍攝的圖像,因此即便無複數個光源及攝像裝置,仍可容易檢測各種缺陷。
用以實施發明之形態
本發明是有關一種光學薄膜檢查裝置,其備有:光源,其係從被移送薄膜之一側照射光;及攝像裝置,其拍攝前述薄膜;光所照射的前述薄膜之光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊;藉此僅以1個光源及攝像裝置,仍可容易觀測各個缺陷,且可獲得於各種攝像條件下拍攝的圖像,因此即便無複數個光源及攝像裝置,仍可容易檢測各種缺陷。
以下詳細說明本發明。
本發明之光學薄膜檢查裝置備有光源及攝像裝置。於第1圖概略表示本發明一具體例之光學薄膜檢查裝置。
檢查對象之光學薄膜10為若是光學系且可執行檢查之薄膜,其種類並未特別限制。光學薄膜10之更具體例可舉出偏光器、透明保護薄膜、於前述偏光片之至少一面附著有保護薄膜之偏光板、相位差薄膜等,但不限定於該等例子。
光學薄膜10一般採輥對輥方法提供,但由於輥狀薄膜因保管、運送、處理等,很有可能產生輥之末端部拉伸等損傷,因此作為製品使用時,不使用寬度方向全體長度,切斷寬度方向末端一部分,使用剩餘部分亦可。
所使用的前述剩餘部分可稱為光學薄膜10之有效區域。被切斷之末端部長度並未特別限定,亦可依所需之製品性能、製品之處理狀態等來適當選擇。
於本發明,光學薄膜10之後述光照射及攝像,對於光學薄膜10之全體區域或有效區域進行,或光照射區域及攝像區域包含有效區域均可。
光源100係從被移送之薄膜10的一側,具體而言從對於前述薄膜10的面之一側,於薄膜10照射光。
若可於薄膜10照射光,光照射角度並未特別限定。以下藉由具體例來說明於薄膜垂直照射光的情況,但不限定於該等情況。
若依據本發明一具體例,光源100亦可是於薄膜10之光照射區域110,以在薄膜10之寬度方向具有同一照度的方式照射光之光源100。如前述,光照射區域110亦可包含薄膜之有效區域,具體而言,僅對於光照射區域110中薄膜10之有效區域,以在寬度方向具有同一照射之方式照射光亦可,但不限定於此。
本發明所謂同一照度,不僅包含完全同一照度,亦包含實質上同一照度。實質上同一照度係指檢查裝置無法辨識其差距的程度,換言之,可舉例照度偏差為±10%、±5%、±1%、±0.1%、±0.01%、±0.0001%、±0.00001%的情況,但不限定於該等情況因此,光源100之長邊或短邊具有薄膜寬度以上之長度,或者在正四角形之光源100的情況下,1邊以上具有薄膜寬度以上之長度亦可。該情況下,由於不產生薄膜寬度方向之照度差,因此容易與後述之子攝像區域區分。
攝像裝置200拍攝薄膜10之面,與前述光源100同一側,或從薄膜10之另一側拍攝薄膜。
同樣地,攝像裝置200亦是可拍攝薄膜10均可,攝像角度並未特別限定。以下藉由具體例來說明垂直拍攝薄膜10,但不限制於此。
於本發明,光所照射的前述薄膜10之光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊。
使得區域重疊實現的方法並未特別限定,例如藉由光源100及攝像裝置200配置為在前述薄膜10之移送方向相互離隔來實現亦可。
第1圖係概略表示該具體例之本發明之光學薄膜檢查裝置之圖,第2圖係該光學薄膜檢查裝置之光源100及攝像裝置200之上視圖,如第1圖及第2圖所示,光源100及攝像裝置200係於薄膜之移送方向相互離隔,光所照射的前述薄膜之光照射區域110及拍攝之前述薄膜之攝像區域210的一部分重疊。
又,如第3圖及第4圖所示,亦可藉由調節光照射角度及攝像角度來實現。因此,以光照射方向與攝像方向不平行的方式來配置光源100及攝像裝置200亦可。第3圖係表示該一具體例之圖,如此,亦可配置為光照射方向與攝像方向不平行,且光照射區域110及攝像區域210之一部分重疊。
無須贅述,亦可藉由調節光照射角度及攝像角度,如第4圖所示,於光照射方向與攝像方向呈平行的狀態下,使得光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊。
如此,藉由光所照射的前述薄膜10之光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊,拍攝之薄膜10之攝像區域210會因應薄膜之移送方向產生照度差。
因此,本發明之光學薄膜檢查裝置係因應薄膜之移送方向,將前述攝像區域210區分為具有不同照度之2以上之子攝像區域210a、210b、210c,於每一子攝像區域210a、210b、210c分別獲得薄膜10全體之圖像,根據此檢測缺陷。
作為本發明之檢測對象之缺陷可大致分為異物缺陷、凹凸缺陷及刮痕缺陷。
異物缺陷如第5圖(a)所示,意味以黑色點狀出現的缺陷,可將與周邊正常區域之照度差為10灰階值以上的區域中,橫向、縱向的長度分別為30mm以上之黑色點狀的缺陷,分類作為異物缺陷。
凹凸缺陷如第6圖(b)所示,意味黑色及白色一起出現的缺陷,可將與周邊正常區域之照度差為10灰階值以上的區域中,橫向、縱向的長度分別為30mm以上之黑白缺陷,分類作為凹凸缺陷。
刮痕缺陷如第7圖(c)所示,意味細長線狀的缺陷,可將與周邊正常區域之照度差為10灰階值以上的區域中,寬度30mm以上且長度為寬度3倍以上之缺陷,分類作為刮痕缺陷。
該等缺陷可容易觀測缺陷的觀測條件分別不同。於第5圖~第7圖,(a)、(b)、(c)是分別於不同子攝像區域拍攝到的照片。(a)是於第一子攝像區域(亮區(Bright field)),(b)是於第二子攝像區域(灰區(Gray field)),(c)是於第三子攝像區域(暗區(Dark field))拍攝到的照片。
具體而言,第5圖之異物缺陷容易於第一子攝像區域(亮區(Bright field))觀測到,亦可於第二子攝像區域(灰區(Gray field))觀測到,但難以於第三子攝像區域(暗區(Dark field))觀測到。然後,第6圖之凹凸缺陷容易於第二子攝像區域(灰區(Gray field))觀測到,難以於第一子攝像區域(亮區(Bright field))及第三子攝像區域(暗區(Dark field))觀測到。又,第7圖之刮痕缺陷容易於第三子攝像區域(暗區(Dark field))觀測到,難以於第一子攝像區域(亮區(Bright field))及第二子攝像區域(灰區(Gray field))觀測到。
亦即,為了以高精度檢測該等缺陷全部,須設定適合各個缺陷之攝像條件,因此需要複數個攝像裝置及光源。
然而,由於本發明之光學薄膜檢查裝置是於各子攝像區域210a、210b、210c,分別獲得薄膜全體之圖像,根據此檢測缺陷,因此僅以1個光源100及攝像裝置200,仍能以高精度檢測各種種類的缺陷。
於第8圖例示因應薄膜之移送方向,將攝像區域210區分為具有不同照度之3個子攝像區域210a、210b、210c的情況,如此可將攝像區域210,區分為具有不同照度(灰階值)範圍之2以上之子攝像區域210a、210b、210c。
區分各子攝像區域210a、210b、210c之照度並未特別限定,亦可因應所需之製品性能、檢查水準、光源100之光度、光源100及薄膜10間之距離、光源100及攝像裝置200之離隔程度、攝像裝置200及薄膜10間之距離等,做出各種調節。
子攝像區域亦可依據薄膜之光照射區域及薄膜之攝像區域重疊的程度來劃分。
具體而言,薄膜之光照射區域亦可劃分為顯示光源100所欲實現之照度之主照射區域,及並非該照度之副照射區域。
若將攝像區域210區分為2個子攝像區域時,可將攝像區域210劃分為與主照射區域重疊的部位,及與副照射區域重疊的部位。
然後,若將攝像區域210區分為3個子攝像區域時,將攝像區域210中與主照射區域重疊的部位,視為第一子攝像區域(亮區(Bright field);210a),將副照射區域劃分為2個區域,將與攝像區域210中較多散射光及擴散光到達的部位,即與第一副照射區域重疊的部位,劃分為第二子攝像區域(灰區(Gray field);210b),較少散射光及擴散光到達的部位,即與第二副照射區域重疊的部位,劃分為第三子攝像區域(暗區(Dark field);210c)。
例如第一子攝像區域(亮區(Bright field);210a)為具有90灰階值以上~150灰階值以下,第二子攝像區域(灰區(Gray field);210b)為具有30灰階值以上~小於90灰階值,第三子攝像區域(暗區(Dark field)為具有小於30灰階值之照度之區域亦可,但不限制於此。
本發明之光學薄膜檢查裝置為了於各子攝像區域210a、210b、210c,分別取得薄膜全體之圖像,根據此檢測缺陷,進一步備有週期訊號產生部300及控制部400。
週期訊號產生部300發出攝像週期訊號,以便於每一子攝像區域210a、210b、210c,分別取得薄膜全體之圖像。
具體而言,各子攝像區域210a、210b、210c具有互為相同的寬度;前述週期訊號產生部300在每當薄膜被移送前述子攝像區域210a、210b、210c的寬度份量時,發出攝像週期訊號。然後,控制部400從前述週期訊號產生部300,接收攝像週期訊號,就各攝像週期傳輸對前述傳輸裝置200之攝像訊號。
子攝像區域210a、210b、210c之寬度係與攝像週期相關連,亦可於攝像區域內適當選擇。
若在每當薄膜被移送子攝像區域210a、210b、210c的寬度份量時拍攝薄膜,結果會於每一子攝像區域210a、210b、210c,拍攝被移送薄膜全體。
然後,前述控制部400將接收自各子攝像區域210a、210b、210c之攝像圖像,依子攝像區域210a、210b、210c別予以結合,藉此就每一子攝像區域210a、210b、210c取得薄膜全體圖像,根據此檢測缺陷。
於第9圖概略表示取得薄膜全體圖像的方法,如第9圖所示,將攝影區域210區分為3個子攝像區域210a、210b、210c,每當薄膜10被移送子攝像區域210a、210b、210c之寬度份量時拍攝薄膜,若綜合全體攝像圖像,可獲得被移送薄膜全體在第一子攝像區域210a、第二子攝像區域210b、及第三子攝像區域210c所有區域被拍攝的圖像。
然後,若僅將在第一子攝像區域210a拍攝的圖像連接起來,如第9圖(a)所示,可獲得於第一子攝像區域210a拍攝到薄膜全體的圖像,同樣將在第二子攝像區域210b拍攝的圖像連接起來,可獲得於第二子攝像區域210b拍攝到薄膜全體的圖像(第9圖(b)),將在第三子攝像區域210c拍攝的圖像連接起來,可獲得於第三子攝像區域210c拍攝到薄膜全體的圖像(第9圖(c))。
如以上,若就每一子攝像區域210a、210b、210c取得薄膜全體圖像,則存在容易於每一圖像觀測之特定缺陷,因此可容易檢測各種種類的缺陷。
又,本發明提供一種光學薄膜檢查方法。
本發明之光學薄膜檢查方法係從被移送薄膜之一側照射光,拍攝前述薄膜,檢測光學薄膜缺陷的方法;並使得光所照射的前述薄膜之光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊。
實現使得前述區域重疊的方法並未特別限定,例如藉由前述光源100及攝像裝置200配置為在前述薄膜10之移送方向相互離隔,或者亦可調節光照射角度及攝像角度來實現。因此,以光照射方向與攝像方向不平行的方式來配置光源100及攝像裝置200亦可。無須贅述,亦可藉由調節光照射角度及攝像角度,於光照射方向與攝像方向呈平行的狀態下,使得光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊。
如此,藉由使得前述薄膜10之光照射區域及拍攝之前述薄膜10之攝像區域的一部分重疊,於拍攝之薄膜之攝像區域210,會因應薄膜之移送方向產生照度差。
因此,本發明之光學薄膜檢查裝置係因應薄膜之移送方向,將前述攝像區域區分為具有不同照度範圍之2以上之子攝像區域,於每一子攝像區域分別獲得薄膜全體之圖像,根據此檢測缺陷。
每當薄膜被移送子攝像區域的寬度份量時,拍攝薄膜,可於每一子攝像區域,分別取得薄膜全體的圖像。
然後,將接收自各子攝像區域之攝像圖像,依每一子攝像區域別予以結合,藉此就每一子攝像區域取得薄膜全體圖像。
如以上,若就每一子攝像區域取得薄膜全體圖像,則存在容易於每一圖像觀測之特定缺陷,因此可容易檢測各種種類的缺陷。
以下,為了有助於理解本發明而表示較佳實施形態,但該等實施形態僅止於例示本發明,並不限制所附的申請專利範圍,對同業者而言,顯然於本發明的範疇及技術思想的範圍內,對於實施形態變更可為各式各樣,且可予以修正,該類變更及修正當然亦屬於所附的申請專利範圍。 實施例
利用Testo 545 LuxMeter,使用於距離照明表面1mm處所測定的光源為20萬lux的光源,從與被移送之偏光薄膜離隔1cm的距離,於薄膜垂直地照射光。於薄膜之光照射區域,未測定到薄膜寬度方向之照度差。
然後,於光學薄膜之另一側,從離隔12cm的距離,以Area scan camera(Balser acA2000-340km)垂直地拍攝薄膜。光源及相機的距離為13cm。
因應薄膜之移送方向,以照度為基準,將相機之攝像區域區分為亮區(bright field)、灰區(gray field)、及暗區(dark field)。屆時,各個區域之圖像照度係亮度為90灰階值以上~150灰階值以下,灰區為30灰階值以上~小於90灰階值,暗區為0灰階值以上~小於30灰階值。
之後,每當薄膜被移送前述子攝像區域之寬度份量時進行攝像,於第5圖表示對於觀測到之同一異物缺陷,於亮區、灰區及暗區拍攝到的照片,與此相同,對於凹凸缺陷亦表示於第6圖,對於刮痕缺陷亦表示於第7圖。
參考第5圖至第7圖,可確認於亮區容易觀察異物缺陷,於灰區容易觀察凹凸缺陷,於暗區容易觀察刮痕缺陷。
以往為了分別檢測所有該等缺陷,須備有3個光源及相機,亦即備有3個光學系統,但本發明以1個系統,即可檢測所有該等各個缺陷。
10‧‧‧光學薄膜
100‧‧‧光源
110‧‧‧光照射區域
200‧‧‧攝像裝置
210‧‧‧攝像區域
210a、210b、210c‧‧‧子攝像區域
300‧‧‧週期訊號產生部
400‧‧‧控制部
100‧‧‧光源
110‧‧‧光照射區域
200‧‧‧攝像裝置
210‧‧‧攝像區域
210a、210b、210c‧‧‧子攝像區域
300‧‧‧週期訊號產生部
400‧‧‧控制部
第1圖係概略表示本發明一具體例之光學薄膜檢查裝置。 第2圖係本發明一具體例之光學薄膜檢查裝置之光源及攝像裝置之上視圖。 第3圖係調節光源之光照射角度及攝像裝置之攝像角度之具體例。 第4圖係調節光源之光照射角度及攝像裝置之攝像角度之具體例。 第5圖係於本發明一具體例之光學薄膜檢查裝置,於各不相同之攝像區域(bright field(亮區)(a)、gray field(灰區)(b)、dark field(暗區)(c))拍攝同一缺陷之圖像。 第6圖係於本發明一具體例之光學薄膜檢查裝置,於各不相同之攝像區域(bright field(亮區)(a)、gray field(灰區)(b)、dark field(暗區)(c))拍攝同一缺陷之圖像。 第7圖係於本發明一具體例之光學薄膜檢查裝置,於各不相同之攝像區域(bright field(亮區)(a)、gray field(灰區)(b)、dark field(暗區)(c))拍攝同一缺陷之圖像。 第8圖係例示因應薄膜之移送方向,將攝像區域區分為具有不同照度之3個子攝像區域的情況。 第9圖係概略表示從在個別之子攝像區域取得之圖像,取得薄膜全體圖像的方法的圖。
10‧‧‧光學薄膜
100‧‧‧光源
110‧‧‧光照射區域
200‧‧‧攝像裝置
210‧‧‧攝像區域
300‧‧‧週期訊號產生部
400‧‧‧控制部
Claims (16)
- 一種光學薄膜檢查裝置,備有:光源,其係從被移送薄膜之一側照射光;及攝像裝置,其拍攝前述薄膜;光所照射的前述薄膜之光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊。
- 如申請專利範圍第1項之光學薄膜檢查裝置,其中前述光源及攝像裝置係於前述薄膜之移送方向相互離隔。
- 如申請專利範圍第1項之光學薄膜檢查裝置,其中前述光源之光照射方向與攝像裝置之攝像方向呈平行。
- 如申請專利範圍第1項之光學薄膜檢查裝置,其中前述光源之光照射方向與攝像裝置之攝像方向不呈平行。
- 如申請專利範圍第1項之光學薄膜檢查裝置,其進一步備有:週期訊號產生部,前述攝像區域區分為因應薄膜之移送方向而具有不同照度範圍之2以上之子攝像區域,發出攝像週期訊號,以於每一前述子攝像區域,取得薄膜全體的圖像;及控制部,接收來自前述週期訊號產生部之攝像週期訊號,於每一攝像週期,對前述攝像裝置傳輸攝像訊號,從接收自前述攝像裝置之攝像圖像檢測缺陷。
- 如申請專利範圍第5項光學薄膜檢查裝置,其中前述子攝像區域具有互為相同的寬度;前述週期訊號產生部在每當薄膜被移送前述子攝像區域的寬度份量時,發出攝像週期訊號。
- 如申請專利範圍第5項之光學薄膜檢查裝置,其中前述控制部係將接收自各子攝像區域之攝像圖像,依每一子攝像區域別予以結合,藉此就每一子攝像區域取得薄膜全體圖像,根據此檢測缺陷。
- 如申請專利範圍第1項之光學薄膜檢查裝置,其中前述光照射區域包含光學薄膜之有效區域;前述光源係於前述有效區域,以薄膜之寬度方向具有同一照度之方式照射光的光源。
- 如申請專利範圍第5項之光學薄膜檢查裝置,其中前述缺陷為異物缺陷、凹凸缺陷、或刮痕缺陷。
- 如申請專利範圍第9項之光學薄膜檢查裝置,其中前述異物缺陷係與周邊正常區域之照度差為10灰階值以上的區域中,橫向、縱向的長度分別為30mm以上之黑色缺陷;凹凸缺陷係與周邊正常區域之照度差為10灰階值以上的區域中,橫向、縱向的長度分別為30mm以上之黑白缺陷;刮痕缺陷係與周邊正常區域之照度差為10灰階值以上的區域中,寬度30mm以上且長度為寬度3倍以上之缺陷。
- 一種光學薄膜檢查方法,其係從被移送薄膜之一側照射光,拍攝前述薄膜,檢測光學薄膜缺陷的方法;並使得光所照射的前述薄膜之光照射區域及拍攝之前述薄膜之攝像區域的一部分重疊。
- 如申請專利範圍第11項之光學薄膜檢查方法,其中前述光源及攝像裝置配置為在前述薄膜之移送方向相互離隔。
- 如申請專利範圍第11項之光學薄膜檢查方法,其中前述光源之光照射方向與攝像裝置之攝像方向配置為平行。
- 如申請專利範圍第11項之光學薄膜檢查方法,其中前述光源之光照射方向與攝像裝置之攝像方向配置為非平行。
- 如申請專利範圍第11項之光學薄膜檢查方法,其因應薄膜之移送方向,將前述攝像區域區分為具有不同照度範圍之2以上之子攝像區域,每當薄膜被移送前述子攝像區域的寬度份量時,拍攝薄膜,於每一子攝像區域,分別取得薄膜全體的圖像。
- 如申請專利範圍第11項之光學薄膜檢查方法,其中將接收自各子攝像區域之攝像圖像,依每一子攝像區域別予以結合,藉此就每一子攝像區域取得薄膜全體圖像。
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