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TW201505199A - 製造具有背側鈍化層之光伏打電池的方法 - Google Patents

製造具有背側鈍化層之光伏打電池的方法 Download PDF

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TW201505199A
TW201505199A TW103116292A TW103116292A TW201505199A TW 201505199 A TW201505199 A TW 201505199A TW 103116292 A TW103116292 A TW 103116292A TW 103116292 A TW103116292 A TW 103116292A TW 201505199 A TW201505199 A TW 201505199A
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TW
Taiwan
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substrate
less
traces
electrode
emulsion
Prior art date
Application number
TW103116292A
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English (en)
Inventor
Wah Chung Wong
Hao Chen
Hua Gong
Annette Saenger
Original Assignee
Cima Nanotech Israel Ltd
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Publication date
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Abstract

本發明提供一種用於製成一光伏打電池之方法，該方法包含：提供具有一背側鈍化層之一半導體基板；及將包含玻璃料粒子之一自組裝乳劑塗佈至該背側鈍化層上。允許該乳劑自組裝成界定電池之跡線之一網路。在該網路上方形成一電極以形成一前驅物電池，然後燒製該前驅物電池以致使該網路燒穿該鈍化層並在該半導體基板與該電極之間建立電接觸。

Description

製造具有背側鈍化層之光伏打電池的方法 相關申請案之交叉參考
本申請案主張於2013年5月8日申請之美國臨時申請案第61/820,852號之權益。先前申請案之揭示內容視為本申請案之揭示內容之部分(且以引用方式併入本申請案之揭示內容中)。
本發明係關於製造太陽能電池。
具有一背側鈍化層之矽光伏打(例如，太陽能)電池已於(例如)US 2009/0301557、US 2013/0056060及US 2013/0061918中進行闡述，且包含局部背部表面場(LBSF)電池、經鈍化發射體後部接觸(PERC)電池及經鈍化發射體後部局部漫射(PERL)電池。背側鈍化可藉由減小載子損失(例如，表面複合)導致經增加光轉換效率，而且需要穿過介電鈍化層打開導電路徑，使得可在矽基板與背部電極之間建立電接觸。用於打開此等導電路徑(亦即，「通孔」或「穿孔」)之方法包含使用如在(例如)US 2013/0056060中闡述之雷射或如在(例如)US 2013/0061918中闡述之化學蝕刻。雷射開孔可將結構損壞引入至基板晶體，而可自化學蝕刻餘留下雜質，從而潛在地降低太陽能電池之可靠性。
在一項態樣中，闡述一種用於製成一光伏打電池之方法。該方法包含：提供具有一背側鈍化層之一半導體基板(例如，一矽基板)，並將包含玻璃料粒子之一自組裝乳劑塗佈至該背側鈍化層上。該背側鈍化層可選自由以下各項組成之群組：氧化鋁層、氧化矽層、氮化矽層及其組合。允許該乳劑自組裝成界定電池之跡線之一網路。在該網路上方形成一電極以形成一前驅物電池。在某些實施方案中，該電極對可見光不透明。然後燒製該前驅物電池以致使該網路燒穿該鈍化層並在該半導體基板與該電極之間建立電接觸。
使用自組裝成跡線與電池之一網路之一塗層提供用於穿過一鈍化層(例如，一背側鈍化層)打開導電路徑(亦即，「燒穿(burning through)」或「燒穿(firing through)」)之一經改良方法。該塗層含有具有在該燒製程序期間穿透該鈍化層之能力之奈米粒子(例如，玻璃料)。該塗層亦可含有金屬奈米粒子以進一步增強該背側電極與該矽基板之間的電接觸。適合金屬奈米粒子之實例包含銀奈米粒子、鋁奈米粒子、銀鋁奈米粒子及其組合。有益地，在通孔打開程序之後無需洗滌或移除塗層，此乃因殘留組分對可靠性不具有一不利影響。
在某些實施方案中，每一跡線具有小於10μm或小於5μm之一平均寬度。該網路可提供在該基板上小於10%或小於5%之一區域覆蓋。
在一第二態樣中，闡述一種光伏打電池，其包含：(a)一半導體基板，其具有一前側及一背側；(b)一電極，其在該基板之該前側上；(c)一層，其在該基板之該背側上，該層包括由互連跡線分離之鈍化區，其中該等個別跡線具有小於10μm之一平均寬度且該等互連跡線提供在該基板之該背側上小於10%之一區域覆蓋；及(d)一第二電極，其上覆於該層上並與該半導體基板電接觸。在某些實施方案中，該等互連跡線提供在該基板之該背側上小於5%之一區域覆蓋。在某些實施方案中，該等個別跡線具有小於5μm之一平均寬度。在又其他 實施方案中，該等個別跡線具有小於5μm之一平均寬度且該等互連跡線提供在該基板之該背側上小於5%之一區域覆蓋。
術語「背側」或「背部」以及「前側」或「前部」係指相對於光源(通常係太陽)之定向。「前側」係面向光源之側，而「背側」係與前側對置且背對光源之側。
如本文所用之術語「奈米粒子」係指小得足以分散在一液體中(到其可經塗佈並形成一均勻塗層之程度)之微細粒子。此定義包含具有小於約3微米之一平均粒子大小之粒子。舉例而言，在某些實施方案中，該平均粒子大小小於1微米，且在某些實施例中，粒子之至少一個尺寸之量度小於0.1微米。該等粒子可呈球形、棒形、線形、管形、片形及諸如此類之形式。
片語「對光透明」通常指示，在約370nm至770nm之波長範圍內，光透明度介於30%與95%之間。
附圖及下文說明中陳述了本發明一或多項實施例之細節。根據本說明書及圖式以及申請專利範圍，本發明之其他特徵、目的及優勢將變得顯而易見。
100‧‧‧太陽能電池
110‧‧‧前部電極
120‧‧‧半導體晶圓或基板/半導體基板
130‧‧‧背側鈍化層
140‧‧‧背部電極
150‧‧‧經自組裝網路/網路
200‧‧‧太陽能電池
210‧‧‧前部電極
220‧‧‧半導體晶圓或基板/半導體基板
230‧‧‧背側鈍化層
240‧‧‧背部電極
250‧‧‧經自組裝網路/網路
圖1係在燒製程序之前之一背側鈍化光伏打電池之一剖視圖。
圖2係在燒製程序之後之一背側鈍化光伏打電池之一剖視圖。
在各圖式中，相似參考符號指示相似元件。
含有玻璃料粒子之一液體乳劑獨自地或與金屬奈米粒子組合地用於形成一透明導電層，該透明導電層自組裝以在施加至一經鈍化半導體基板之背側之後形成界定電池之一系列互連跡線(例如，線)。有用半導體基板包含鍺、矽鍺磊晶層或矽，其中矽用於大多數太陽能電池。各種矽基板可用於背側經鈍化光伏打電池中，包含聚晶矽、多晶 矽及單晶矽。此等基板由摻雜有施體雜質(亦即，n型半導體層)或受體雜質(亦即，p型半導體層)之薄矽晶圓形成以提供具有所要電性質之層。通常，一太陽能電池由一p型基板製作，從而用n型雜質(諸如，磷)反向摻雜前側以形成一淺p-n接面。另一選擇係，若使用一n型基板，則可使用受體雜質(諸如，硼)摻雜前側以形成淺p-n接面。透過吸收光子並隨後產生移動電荷載子來將光轉換成電，將透過p-n型接面處之內部電位推動該等移動電荷載子且可收集該等移動電荷載子作為自太陽能電池產生之電流。
矽基板可在前側上塗佈有具有鈍化及抗反射功能之一介電層或多個層，但鈍化功能在背側上更重要。此等介電層可由經熱生長、濺鍍、汽相沈積或原子層沈積之材料(例如，金屬化合物及矽化合物，諸如氧化鋁、二氧化矽或氮化矽)形成。
經鈍化矽基板之前部表面及背部表面兩者皆塗佈有用作在矽與外部電路之間形成接觸之電極之金屬或高度導電材料。可藉由用金屬膏(例如，墨水)印刷、濺鍍塗佈、電鍍或藉由汽相沈積技術形成此等電極。前部電極(例如，若基板係p型，則其係負電極)必須很大程度上係透明的且可呈具有匯流條之細網格之形式以最小化光遮蔽。背部電極可完全覆蓋基板之背側或配置成所有背部接觸式太陽能電池結構之交錯指狀件。
施加至基板之乳劑包含一連續液相及與連續液相不混溶並在連續液相內形成分散域之一分散液相。在某些實施方案中，連續相比分散相更快地蒸發。一適合乳劑之一項實例係一油包水乳劑，其中水係分散液相且油提供連續相。該乳劑亦可呈一水包油乳劑之形式，其中油提供分散液相且水提供連續相。
連續相可包含一有機溶劑。適合有機溶劑可包含石油醚、己烷、庚烷、甲苯、苯、二氯乙烷、三氯乙烯、三氯甲烷、二氯甲烷、 硝基甲烷、二溴甲烷、環戊酮、環己酮或其任何混合物。較佳地，以此連續相使用之該溶劑或該等溶劑之特徵在於比分散相(例如，水相)高之揮發性。
用於分散液相之適合材料可包含水及/或水溶性溶劑(諸如，甲醇、乙醇、乙二醇、丙二醇、丙三醇、二甲基甲醯胺、二甲基乙醯胺、乙腈、二甲基亞碸、N-甲基吡咯烷酮)。
乳劑亦可含有至少一個乳化劑、黏合劑或其任何混合物。適合乳化劑可包含非離子及離子化合物，諸如市場上可購得之表面活性劑SPAN®-20(美國密蘇裡州聖路易斯市之西格瑪奧德裡奇公司(Sigma-Aldrich Co.))、SPAN®-40、SPAN®-60、SPAN®-80(美國密蘇裡州聖路易斯市之西格瑪奧德裡奇公司)、甘油單油酸酯、十二烷基磺酸鈉或其任何組合。適合黏合劑之實例包含改質纖維素(諸如，具有約100,000至約200,000之一分子量之乙基纖維素)及改質尿素(例如，由BYK-Chemie GmbH公司(德國維塞爾)生產之市場上可購得之BYK®-410、BYK®-411及BYK®-420樹脂)。
乳劑調配物之油相及/或水相中亦可存在其他添加劑。舉例而言，添加劑可包含(但不限於)反應性或非反應性稀釋劑、去氧劑、硬塗層組分、抑制劑、穩定劑、著色劑、顏料、IR吸收劑、表面活性劑、潤濕劑、均染劑、流量控制劑、觸變或其他流變性改質劑、滑動劑、分散助劑、消泡劑、保濕劑及腐蝕抑制劑。
乳劑含有用於燒穿鈍化層之粒子(例如，玻璃料粒子)。各種玻璃料粒子係可用的且可包含鉛或係無鉛的。玻璃料可包含金屬氧化物，諸如鉛、鋅、硼、鉍及碲。玻璃料之粒子大小可在自奈米大小至微米大小之範圍內，例如，多達5μm或多達10μm。較佳地，玻璃料粒子大小符合自組裝程序，使得玻璃料粒子自組裝成一網路。在較大玻璃料粒子之情形中，在組合粒子與乳劑之前，可採用用於減小粒子大小 之方法(諸如，研磨或碾磨)。玻璃料粒子可以自0.1wt.%至10wt.%之範圍內之濃度存在於乳劑中。
乳劑亦可包含與玻璃料粒子組合之金屬奈米粒子。金屬奈米粒子可包含導電金屬或金屬混合物，其包含選自(但不限於)由以下各項組成之群組之金屬合金：銀、金、鉑、鈀、鎳、鈷、銅、鋁、矽化物形成之金屬或其任何組合。金屬奈米粒子亦可含有摻雜劑，例如，來自週期表之第II組、第III組、第V組及/或第VI組之元素或化合物。較佳金屬奈米粒子包含銀、銀銅合金、銀鋁、銀鈀或其他銀合金，或由被稱為在美國專利5,476,535及7,544,229中闡述之冶金化學程序(MCP)之一程序生產之金屬或金屬合金。
適合乳劑之特定實例在美國專利第7,566,360號中闡述，該美國專利以其全文引用之方式併入。此等乳劑調配物大體包括40%與80%之間之一有機溶劑或有機溶劑混合物、0%至3%之一黏合劑、0%至4%之一乳化劑、2%至10%之金屬粉末及15%至55%之水或水溶性溶劑。
可藉由混合乳劑之所有組分來製備塗料組合物。可使用一超音波處理、高剪切混合、高速混合或用於預備懸浮液及乳劑之其他已知方法來使該混合物均勻化。
可使用棒攤開、浸沒、旋塗、浸漬、狹縫模具式塗佈、凹版塗佈、柔性板印刷、噴塗或任何其他適合技術來將該組合物塗佈至半導體基板上。在某些實施方案中，將經均勻化塗料組合物塗佈至半導體基板上直至達到約1微米至200微米(例如，5微米至200微米)之一厚度。
在將乳劑塗佈於基板上之前，可(例如)用一塗料預處理基板以改良特定性質。舉例而言，基板可具備一底漆層以改良基板與所塗佈乳劑之間之黏附。
在將乳劑施加至半導體基板之後，在施加或不施加熱之情況下蒸發乳劑之液體部分。當自乳劑移除液體時，奈米粒子自組裝成界定對光係透明之電池之跡線之一網路狀圖案。經自組裝網路較佳地提供低區域覆蓋(亦即，由網路覆蓋之基板之區域之面積或百分比)(包含小於10%或甚至小於5%之區域覆蓋)以最大化由鈍化層覆蓋之區域。由電池大小(亦即，網路中之開口)與線寬度(亦即，網路線之寬度)之一組合判定區域覆蓋。經自組裝網路可提供窄於典型印刷程序之平均線寬度(例如，小於10μm或甚至小於5μm)，因此提供較低區域覆蓋。
在某些實施方案中，電池隨機地經塑形。在其他實施方案中，進行該程序以形成具有一規則圖案之電池。此一程序之一實例在於2011年6月10日申請之標題為「Process for Producing Patterned Coatings」之WO 2012/170684中闡述，WO 2012/170684受讓於與本申請案相同之受讓人且特此以其全文引用之方式併入。根據此程序，組合物塗佈於半導體基板之一表面上並經乾燥以移除液體載體，同時在塗佈及/或乾燥期間施加一外力，以使分散域相對於連續相在基板之所選區中選擇性生長。外力之施加使非揮發性組分(奈米粒子)自組裝並形成呈一圖案之形式之一塗層，該圖案包含界定具有藉由外力之組態所判定之一規則間距(例如，一規則中心至中心間距)之電池之跡線。外力之施加可藉由(舉例而言)在基板表面上沈積組合物且然後使一邁耶棒(Mayer rod)在組合物上經過來達成。另一選擇係，可使用一凹版圓筒施加組合物。在另一實施方案中，可將組合物沈積在基板表面上，在此之後將一微影遮罩放置在組合物上方。在遮罩之情形中，當組合物乾燥時，遮罩迫使組合物採用對應於遮罩圖案之一圖案。
在每一情形中，外力決定圖案(具體而言，乾燥塗層中電池之間之中心至中心間距)。然而，界定電池之跡線之寬度並不直接由外力 控制。而是，乳劑之性質及乾燥條件係跡線寬度之主要決定因素。以此方式，可容易地製造實質上窄於外力之線，而無需費力且高費用地研發程序、母板及具有極細線寬之材料。可用乳劑及乾燥程序來產生細線寬。然而，可(容易地且低費用地)使用外力來控制網絡之電池之大小、間距及定向。
在液體移除及形成經自組裝層之後，可使用熱、雷射、紫外線、雷射或其他處理及/或曝露於化學物質(諸如，金屬鹽、鹼或離子液體)來燒結該層。
在液體移除、形成經自組裝層及任何選用燒結處理之後，可沈積(例如，用導電膏或墨水進行絲網印刷)一電極層。金屬導電膏包含鋁或銀膏。可完全覆蓋(例如，在太陽能電池之背側上)或可部分覆蓋電極以允許光通過電極(例如，太陽能電池之前側上之透明電極)。在經鈍化背側上之完全覆蓋電極之情形中，較佳的係金屬膏不含有燒穿組分(諸如，玻璃料)。在雙面太陽能電池之情形中，可在電池之兩個表面上提供部分覆蓋電極以允許自任一側之光穿透。
在電極沈積之後，在適度高溫處(在(例如)一帶式爐中)燒製或共燒物品以達成以下步驟中之一或多者：烘焙掉有機材料(例如，黏合劑或溶劑)、燒穿、燒結、退火及合金化以在層之間提供良好歐姆接觸。溫度可斜升或逐步提高至峰值溫度(例如，700℃至900℃)。峰值溫度通常保持數秒與一分鐘之間之短暫時期。
圖1展示燒製程序之前之一太陽能電池100。110係前部電極，120係半導體晶圓或基板，130係背側鈍化層，140係背部電極，且150係包括玻璃料及視情況導電金屬奈米粒子之經自組裝網路。太陽能電池之前部表面亦可具有一抗反射塗層(未展示)。在燒製程序之前，網路150在背側鈍化層130之表面上且在背部電極140與半導體基板120之間尚未建立電接觸。
圖2展示燒製程序之後之一太陽能電池200。210係前部電極，220係半導體晶圓或基板，230係背側鈍化層，240係背部電極，且250係包括玻璃料及視情況導電金屬奈米粒子之經自組裝網路。在燒製程序之後，網路250已穿透背側鈍化層230，因此在背部電極240與半導體基板220之間建立電接觸。
實例
實例1
自中國天威公司(Tianwei Corporation)獲得多晶矽晶圓(200um厚 度，156×156mm)。晶圓之前側已經表面紋理化、磷擴散以形成n層(具有70歐姆/平方之一薄片電阻)，且塗佈有一80nm氮化矽抗反射塗層。晶圓之背側已經塗佈(電漿增強化學汽相沈積)有一40nm氮氧化矽層，接著係一40nm氮化矽層。
使用一底漆溶液(99.1wt.%丙酮中0.6wt.% Synperonic NP-30及0.3wt.%聚[二甲基矽氧烷-共-[3-(2-(2-羥乙氧基)乙氧基)丙烷基]甲基矽氧烷])之一大致8um厚濕塗層為晶圓之背側塗底漆。用一邁耶棒施加底漆且允許底漆風乾。
藉由首先混合表1中展示之組分及進行聲處理直至均勻以形成溶液A來製備一乳劑。接著，將23.5克之一BYK-348溶液(去離子水中0.04wt%)添加至溶液A且對其進行聲處理直至均勻以形成溶液B。最後，將0.17g之BYK-106及0.32g之Disperbyk-2025溶液(甲苯中0.1wt.%)添加至溶液B且混合其以形成最後乳劑。
接著，用如上文所闡述之乳劑塗佈晶圓之塗底漆之背側。使用一邁耶棒塗佈乳劑達20um至30um之一濕塗層厚度，且允許塗層乾燥，在乾燥時間期間，網路自組裝。首先將經塗佈晶圓放置於一50℃烘箱中達約一分鐘，然後將其放置於一150℃烘箱中達20分鐘。
接著，使用銀膏絲網印刷背側匯流條且使用鋁膏絲網印刷一完全覆蓋鋁電極。使用銀膏印刷前側電極(H網格)。
接著使用一300℃至350℃烘焙步驟、一450℃至600℃有機燒盡及合金化步驟、一600℃至700℃預熱步驟及一800℃至900℃燒穿步驟來烘焙且共燒晶圓，短暫地維持最後溫度達小於60秒。最後，進行一雷射邊緣隔離蝕刻。
如上所述地處理並使用一太陽能模擬器藉助標準太陽能電池測試方法測試四個複製品，在表2中報告結果。該等結果論證乳劑能夠燒穿鈍化層，因此建立歐姆接觸。
實例2
如針對實例1所闡述地製備實例2，但不將P204銀奈米粒子粉末添加至乳劑。
為乳劑製備，混合且聲處理表3中展示之組分直至均勻以形成溶液A。然後，將9.5克之一BYK-348溶液(離子水中0.04wt%)添加至溶液A且對其進行聲處理直至均勻以形成溶液B。最後，將0.06g之BYK-106及0.1g之Disperbyk-2025溶液(甲苯中0.1wt.%)添加至溶液B且混合其以形成用於晶圓背側塗層之最後乳劑。
使用一太陽能模擬器藉助標準太陽能電池測試方法測試樣本，在表4中展示結果。該等結果論證無銀奈米粒子之乳劑能夠燒穿鈍化層，因此建立歐姆接觸。
實例3
如針對實例2所闡述地製備實例3，但將銀鋁奈米粒子添加至乳劑。
銀鋁奈米粒子製備
稱重840克之鋁丸粒(99.99%純度，標稱直徑0.95cm，美國得克薩斯州達拉斯市之C-KOE Metals L.P.公司)以加入至具有一石墨內部之一陶瓷坩堝中。將坩堝放置至一氬流(約1L/分鐘氬)下60%功率之一感應爐(意大利之Opticom公司之Opdel FS10感應爐)中直至所有鋁已熔融，約6分鐘至7分鐘。將360克之銀丸粒(銀顆粒，99.99%純度，比利時之Umicore N.V.公司)添加至熔爐內側之熔融鋁並使用一石墨攪拌器攪拌其數次直至銀已熔融(約3分鐘至4分鐘)以形成一均質熔體。將熔體立即澆鑄至一鋼鑄模中以形成250×115×15mm之一鑄塊。
第一熱處理：將鑄塊放置至設定在400℃處之一電爐(德國之德國賀利氏公司(Heraeus GmbH)之K750系列)中並使其保持在彼溫度處達2小時。關掉爐並允許鑄塊在移除之前慢慢冷卻。
使用一輥軋機(德國Carl Wezel KG公司之BW-250)，使鑄塊反覆通過輥輪，從而慢慢減小鑄塊之厚度以形成1mm條帶。將經輥軋條 帶切割成較短長度以用於進一步熱處理。
第二熱處理：將電爐設定在220℃處且將經輥軋條帶放置於爐中並使其保持在220℃處達4小時。自爐移除經熱處理條帶並將該等經熱處理條帶在25℃或更低之去離子水中快速淬火達10分鐘至20分鐘。
在與第二熱處理同一天，首先使用去離子水中5%(wt/wt)氫氧化鈉藉由浸沒條帶直至在表面上形成氣泡(約2分鐘至3分鐘)來表面清洗該等條帶。對於表面清洗及浸濾兩者，約2公升NaOH溶液用於大致62克條帶。立即移除條帶並用去離子水進行沖洗。接著，在大致室溫(由於程序之放熱性質，在整個程序中，液體溫度增加)下使用去離子水中25%(wt/wt)氫氧化鈉浸濾條帶8小時至10小時以形成一黑色粉末。反覆傾析並用去離子水替換浸濾溶液直至pH係大致中性的。然後在一40℃烘箱中乾燥該黑色粉末約24小時。然後透過一500um濾網篩濾經乾燥粉末以形成最後奈米粒子組合物。
由ICP判定之奈米粒子組合物之鋁含量按重量計係13.50%。
使用一太陽能模擬器經由標準太陽能電池測試方法測試樣本， 在表6中展示結果。該等結果論證具有銀鋁奈米粒子之乳劑能夠燒穿鈍化層，因此建立歐姆接觸。
已闡述本發明之若干項實施例。然而，將理解，可在不背離本發明之精神及範疇之情況下作出各種修改。
200‧‧‧太陽能電池
210‧‧‧前部電極
220‧‧‧半導體晶圓或基板/半導體基板
230‧‧‧背側鈍化層
240‧‧‧背部電極
250‧‧‧經自組裝網路/網路

Claims (14)

  1. 一種用於製成一光伏打電池之方法，其包括：(a)提供具有一背側鈍化層之一半導體基板；(b)將包括玻璃料粒子之一自組裝乳劑塗佈至該背側鈍化層上；(c)允許該乳劑自組裝成界定電池之跡線之一網路；(d)在該網路上方形成一電極以形成一前驅物電池；及(e)燒製該前驅物電池以致使該網路燒穿該鈍化層並在該半導體基板與該電極之間建立電接觸。
  2. 如請求項1之一方法，其中該乳劑包括玻璃料粒子及金屬奈米粒子。
  3. 如請求項2之方法，其中該等金屬奈米粒子係選自由以下各項組成之群組：銀奈米粒子、鋁奈米粒子、銀鋁奈米粒子及其組合。
  4. 如請求項1之方法，其中該半導體基板包括一矽基板。
  5. 如請求項1之方法，其中該背側鈍化係選自由以下各項組成之群組：氧化鋁層、氧化矽層、氮化矽層及其組合。
  6. 如請求項1之方法，其中該等跡線具有小於10μm之一平均寬度。
  7. 如請求項1之方法，其中該等跡線具有小於5μm之一平均寬度。
  8. 如請求項1之方法，其中該電極對可見光不透明。
  9. 如請求項1之方法，其中該網路提供在該基板上小於10%之一區域覆蓋。
  10. 如請求項1之方法，其中該網路提供在該基板上小於5%之一區域覆蓋。
  11. 一種光伏打電池，其包括：(a)一半導體基板，其具有一前側及一背側；(b)一電極，其在該基板之該前側上；(c)一層，其在該基板之該背側上，該層包括由互連跡線分離之鈍化區，其中該等跡線具有小於10μm之一平均寬度且該等互連跡線在該基板之該背側上提供小於10%之一區域覆蓋；及(d)一第二電極，其上覆於該層上並與該半導體基板電接觸。
  12. 如請求項11之光伏打電池，其中該等互連跡線提供在該基板之該背側上小於5%之一區域覆蓋。
  13. 如請求項11之光伏打電池，其中該等跡線具有小於5μm之一平均寬度。
  14. 如請求項11之光伏打電池，其中該等跡線具有小於5μm之一平均寬度且該等互連跡線提供在該基板之該背側上小於5%之一區域覆蓋。
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