TW201404577A - 防塵薄膜組件及其製造方法 - Google Patents

Abstract

提供用1次成膜工程就可以進行多個的防塵薄膜組件的製造的方法，以及使防塵薄膜的張力均一化，從而在進行防塵薄膜組件製造時，可以防止框架的撓曲和防塵薄膜的折皺的發生的方法。該防塵薄膜組件的製造方法是在被暫時貼附於暫用框21的1張防塵薄膜3上，結合分割框41貼附後，將防塵薄膜3切斷，將分割框41分離，在框架上貼附後，將分割框41取掉。

Description

防塵薄膜的製造方法

本發明，涉及製造LSI以及液晶顯示器的回路製造時，作為光刻用的光罩等的防塵罩使用的防塵薄膜組件的製造方法。

在LSI以及超LSI等的半導體製造或者液晶顯示器等的製造中，要進行對將半導體晶圓或液晶用原板進行光照射來進行圖案製作的光刻作業。此時，如在光罩或中間掩模上有灰塵附著的話，就會將灰塵轉印，如此就會發生圖案的變形，邊緣就會變的不整齊，並且基底髒汙等現象。由此該作業通常在無塵室中進行，但是即使如此要經常保持光罩的清浄也是困難的。如在例如在光刻時，將防塵薄膜組件在光罩上載置，這樣就可以在防止光罩上的異物附著。使焦點照準在光罩的圖案上進行曝光，就可以不受在防塵薄膜的上附著的灰塵的影響而轉印。

近年，防塵薄膜組件的低成本化變的需求強烈。在防塵薄膜組件的製造成本中，占最高比例的是防塵薄膜的製造工程。以往的防塵薄膜組件的製造工程中，防塵薄膜的成膜工程進行1 回的工程僅可以得到1張的防塵薄膜，並且該工程至少需要數小時。在專利文獻1中，有防塵薄膜的製造方法的記載。

另外，以框架的撓曲盡可能小為優選，不能使在該框架上貼附的防塵薄膜有折皺。在專利文獻2中記載了防塵薄膜的張力進行調整以將折皺的發生加以防止的方法。

【專利文獻1】日本特開2004-157229號公報

【專利文獻2】日本特開2011-158585號公報

用成膜工程得到的防塵薄膜，膜內的張力被要求均一。將用1回的成膜工程得到的1張防塵薄膜分割為多個的場合，其方向以及分布，或其任一方變為不均一。在張力的大的緊張邊存在的場合，由於張力的作用，框架會產生撓曲；另一方面，在張力小的鬆弛邊存在的場合，雖然不發生框架的撓曲，但是，只要向框架施加一點力，防塵薄膜就會產生折皺。該折皺發生的防塵薄膜組件，會使光學曝光品質變壞，以及帶來曝光區域減少的毛病。

本發明就是為了對上述的課題進行解決之發明。本發明的目的就是提供用1回的成膜工程進行多個的防塵薄膜組件製造的方法，以及通過去除防塵薄膜的張力的不均一，來防止使框架的撓曲以及防塵薄膜的折皺的發生的方法。

本發明的目的，可以通過下述技術方案來達到：

1.一種防塵薄膜組件的製造方法，其為將防塵薄膜在框架上繃緊貼附的防塵薄膜組件的製造方法，其特徵在於：將1張防塵薄膜貼附在暫用框上，將具有比該暫用框的內寸小的外寸的，多個並列結合的分割框，與暫用框上的防塵薄膜接著後，在將防塵薄膜沿分割框的外邊從暫用框上切離的同時，將結合的分割框分離，各個分割框上接著的防塵薄膜與框架貼附後，將分割框取掉。

2.一種防塵薄膜組件的製造方法，其為一種將防塵薄膜在框架上繃緊貼附的防塵薄膜組件的製造方法，其特徵在於：將成膜基板上的1張防塵薄膜，在多個並列結合的分割框上貼附，在將防塵薄膜沿著分割框的外邊，從成膜基板上切離的同時，將結合的分割框分離，各個的分割框上接著的防塵薄膜在框架上貼附後，將分割框取掉。

3.根據技術方案1或2的防塵薄膜組件的製造方法，其特徵在於：分割框上接著的防塵薄膜在框架上貼附時，在分割框上施加壓縮或拉伸的力，防塵薄膜貼附後，將所述力解除。

4．根據技術方案1或2的防塵薄膜組件的製造方法，其特徵在於：使分割框上接著的防塵薄膜在框架進行貼附時，在框架上施加壓縮或拉伸的力，在防塵薄膜貼附後，將所述力解除。

5.一種防塵薄膜組件，其特徵在於：所述防塵薄膜組件為藉由技術方案1~4的任一項的方法製造的。

根據本發明的防塵薄膜組件的製造方法，可以用1回的成膜工程得到多個的防塵薄膜。另外，將防塵薄膜在框架上接著時，使防塵薄膜的張力均一，由此在滿足框架的撓曲量被要求精度的同時，可以得到防塵薄膜不發生折皺的充分實用的防塵薄膜組件。

2‧‧‧框架

2a‧‧‧變形了的框架

3‧‧‧防塵薄膜

3a‧‧‧防塵薄膜材料溶液

4‧‧‧通氣孔

5‧‧‧夾具孔

6‧‧‧光罩接著層

7‧‧‧過濾器

8‧‧‧防塵薄膜接著層

9‧‧‧分離片

10‧‧‧防塵薄膜組件

21‧‧‧暫用框

22‧‧‧接著層

24‧‧‧成膜基板

31‧‧‧模

32‧‧‧加熱裝置

41‧‧‧分割框

42‧‧‧接著層

43‧‧‧夾子

45‧‧‧針

46‧‧‧位置決定孔

50‧‧‧膜貼附裝置

51‧‧‧載置臺

52‧‧‧固定部

53‧‧‧升降載置臺

54‧‧‧把持部

55‧‧‧壓縮拉伸裝置

56‧‧‧連結部

57‧‧‧測力傳感器

58‧‧‧臺

X-X、Y-Y‧‧‧分割框的分割線

F‧‧‧力

【圖1】用本發明的製造方法製造的防塵薄膜組件的一例的斜視圖。

【圖2】防塵薄膜的成膜工程的一例的工程圖。

【圖3】將分割框在防塵薄膜上接著後，對防塵薄膜分割的方法的一例進行說明的斜視圖。

【圖4】對將施加了壓縮或拉伸的力的分割框貼附於框架的貼附的方法的一例進行說明的斜視圖。

【圖5】對將分割框接著於防塵薄膜後，將防塵薄膜分割的方法的另一個例子進行說明的斜視圖。

【圖6】對在施加了拉伸力而變形了的框架上，將防塵薄膜貼附，防塵薄膜的各邊的張力的不均一進行了解除了的方法的一例進行說明的斜視圖。

以下，對本發明的優選實施方式進行詳細說明，但是本發明的範圍並不限於此。

由本發明的製造方法製造的防塵薄膜組件10的斜視 圖(圖1)。在框架2的上端面上由防塵薄膜接著層8形成，介於此，使防塵薄膜3繃緊貼附。框架2的長邊的側面上，形成通氣孔4和夾具孔5。通氣孔4中具有防灰塵的過濾器7。框架2的下端面上，具有為了將光罩進行裝著的光罩接著層6，進一步具有對光罩接著層6進行保護的分離片9。

圖2為本發明中使用的防塵薄膜的成膜工程的一個例子。如圖2中的(a)表示的那樣，在成膜基板24上使模31水平移動，將防塵薄膜材料溶液3a塗布。如圖2中的(b)中表示的那樣，將成膜基板24載置於加熱裝置32上，加熱使防塵薄膜材料溶液3a中含有的溶媒蒸發後，冷卻。如圖2中的(c)表示的那樣，在防塵薄膜3上，將接著層22在其一個端面塗布的暫用框21(一部分切掉的斷面)接著。如圖2中的(d)表示的那樣，將暫用框21提起，將防塵薄膜3從成膜基板24剝離，得到在暫用框21上暫時貼附的防塵薄膜3。

圖3中的(a)表示的分割框41，其由具有若干撓曲性的材料形成，在其一個端面上，接著層42形成。進一步多個並列，用針45和位置決定孔46(參照圖3中的(b))決定位置，用向內方向開口的夾子43來達成結合。結合的分割框41的外尺寸，以比暫用框21的內寸還要小。在暫用框21暫時貼附的防塵薄膜3上，介於接著層42將分割框41接著。用刀沿著分割框41的外邊將防塵薄膜3切斷，將其從暫用框21卸掉後，將夾子43卸掉，在分割線X-X，Y-Y切斷。如在圖3 中的(b)中表示的那樣，防塵薄膜3以與分割框41接著的狀態被分割。

圖4為，用膜貼附裝置50將防塵薄膜3在框架2上貼附的工程的斜視圖。框架2上具有在本圖中省略了的帶有光罩接著層6，防塵薄膜接著層8以及分離片9(參照圖1)。膜接著裝置50為四邊形狀，其包括：將分割框41載置的載置臺51，於其各角部中的至少1個所設置的固定部52，在載置臺51的內側設置的升降載置臺53以及在載置臺51的各邊中的至少1個上設置的壓縮拉伸裝置55。

分割框41藉由固定部52來進行位置決定，從而在載置臺51上載置。升降載置臺53的下面設置有升降機構(未圖示)，其上升使載置的框架2向上方移動，在防塵薄膜3上貼附。

壓縮拉伸裝置55在與分割框41各邊垂直的方向上可動，將用測力傳感器(load cell)57檢測的壓縮或拉伸的力，通過連結部56而施加於把持部54上。在此，所謂壓縮，是指施加力的方向對於框的邊為從外側向內側，所謂拉伸，為在實質相反的方向上施加力。二點以及線段構成的雙點畫線表示了施加力的狀態，對分割框41的一對的長邊施加壓縮的力，對短邊施加拉伸的力。防塵薄膜3的張力各邊不均一時，使臺58移動，向分割框41施加壓縮或拉伸的力，張力在各邊變為均一後，將框架2貼附於防塵薄膜3。其後將力解除，防塵薄膜3的多餘部分用切刀進行切除，圖1表示的防塵薄膜組件10完成。

圖5表示了本發明的防塵薄膜的分割方法的另一個實施方式。將分割框41與在成膜基板24上的防塵薄膜3上接著，從成膜基板24分離後，防塵薄膜3有分割框41來支持。然後，夾子43被卸下，防塵薄膜3被沿著分割線X-X，Y-Y和分割框41的外邊切斷，得到防塵薄膜3被接著的分割框41。根據本實施形態，由於不使用暫用框，與上述的實施形態相比工序少，具有防塵薄膜的分割可以迅速進行的優點。

圖4的防塵薄膜在框架上接著的工程中的另一個實施方式，為替代框架2，使用施加壓縮或拉伸的力使其變形的框架。

圖6表示了使框架變形，將防塵薄膜的張力的不均一解除的方法的例子。防塵薄膜的張力高的場合，對各邊施加拉伸的力使其成為向框架2a的外側成凸狀的圓弧形狀。如使防塵薄膜貼附後解除拉伸的力，各邊向內側返回的力F產生，變成直線狀，由此，防塵薄膜的張力減少，框架的撓曲就會被防止。作為施加力的手段，可以使用與圖4表示的壓縮拉伸裝置55同樣之物。用測力傳感器等的負荷檢測機構對框架的各邊施加的力的方向以及大小進行適宜調節，以消除防塵薄膜的張力的不均一。

另外，用圖4的膜接著裝置50使防塵薄膜的張力均一的方法以及使圖6的框架變形使防塵薄膜的張力均一的方法的任一個都可以，使兩方組合同時使用也可以。進而，將框架各邊對外側成凸狀的圓弧形狀那樣進行預先製作以及通過防塵薄膜的張力而成為略直線狀的方法進行組合也可以。

作為框架2的材質，可以使用鋁，不銹鋼，聚乙烯等。透光的防塵薄膜3可以使用硝化纖維素，醋酸纖維素或氟樹脂等。光罩接著層6可以使用聚丁烯樹脂，聚醋酸乙烯基樹脂，丙烯酸樹脂，矽樹脂等。

成膜基板24可以使用石英，低膨脹玻璃等。將防塵薄膜材料溶液3a進行塗布方法，可以使用狹縫塗布法，旋轉塗布法，狹縫以及旋轉法以及卷塗法。加熱裝置32可以使用熱板，紅外線燈以及烤箱等。

作為暫用框21和分割框41的有撓曲性的材料，可以使用鋁合金，鎂合金等的輕合金，不銹鋼，碳鋼，工具鋼等的鐵系合金，以及也可以使用GFRP，CFRP等的樹脂復合材料等。暫用框21，從使各邊的撓曲變少，使防塵薄膜3的張力變高的觀點，優選使用具有高剛性的不銹鋼。分割框41，由於使用集光燈進行異物檢査，優選輕量並且黒色塗色容易的鋁合金。

圖3以及圖5中，分割框41由4個形成，但是根據必要可以適宜地増減，例如2個，6個或更多也可以。

圖4中，把持部54為口字去掉左邊一豎的形狀或鉤形狀的夾具(jig)，為分割框41的各邊一個，多個設置也可。另外施加力的方向，並不僅限於圖示的方向，在相對的邊施加力的方向以及施加的力的大小不同也可以。

【實施例】

以下以實施例，對本發明進行具體地說明，但是本發明 不受它們的限制。

在級別10的無塵室內，用在圖2中的(a)~(d)中表示的工程進行防塵薄膜的製造。在圖2中的(a)中表示的成膜基板24上，用1220×1400mm的平滑研磨的石英基板，使被溶媒稀釋的氟樹脂(商品名：CYTOP旭硝子(株)製)構成的防塵薄膜材料溶液3a從模31邊吐出邊移動塗布。原封不動地在無塵室的氣流下將溶媒乾燥後，如圖2中的(b)那樣，在加熱裝置32(鋁合金製熱板)上將成膜基板24移動加熱，被塗布的防塵薄膜材料溶液3a中含有的溶媒完全蒸發，使防塵薄膜3成膜。

成膜基板24被冷卻到室溫後，如圖2中的(c)那樣，在防塵薄膜3上將暫用框21介於接著層22接著。然後如圖2中的(d)那樣，用除電手段(未圖示)邊進行除電邊將暫用框21慢慢的向上方提起，從成膜基板24剝離，暫用框21上貼附防塵薄膜3。

將與上述的防塵薄膜3在暗室內用集光燈進行異物檢査後，如圖3中的(a)那樣，用支架(未圖示)保持垂直。在多個並列結合的分割框41(外寸1190×1360mm)的一端面上將接著層42塗布，使其與防塵薄膜3接著。其後，將夾子43全部卸下，如圖3中的(b)那樣在分割框41的外邊，沿分割線X-X，Y-Y用刀將防塵薄膜3切斷。

在上述的4個構成的防塵薄膜3接著的分割框41之 中，用1個進行防塵薄膜組件的製作。如圖4表示的那樣，在分割框41的各邊中央安裝鉤形狀的把持部54，在載置臺51載置，由壓縮拉伸裝置55施加壓縮或拉伸的力。該施加的力，用事前的實驗來求值。在保持施加力的狀態下，將框架2貼附在防塵薄膜3，將周圍的多餘膜用刀切斷。框架2為鋁合金製，外寸353×592mm，內寸340×580mm，高4．8mm，表面進行了黒色氧化膜處理。作為防塵薄膜接著層8和光罩接著層6(參照圖1)，用矽粘著劑(信越化學工業(株)製)，在光罩接著層6的表面上用PET薄膜製的分離片9進行覆蓋，以便進行保護。另外，在通氣孔4，PTFE製的膜過濾器7，介於丙烯酸接著層被設置。

如此，完成圖1表示的防塵薄膜組件10。該防塵薄膜組件10，在測量器上對框架2的撓曲量進行測定。其結果，對邊的撓曲量0．3mm以及0．25mm，相鄰的另一對邊的撓曲量為0．2mm以及0．23mm，在撓曲量處於允許範圍的同時，相對的邊幾乎具有同程度的撓曲量。在對防塵薄膜組件10進行處理時，框架2上接著的防塵薄膜3上折皺發生等的毛病都沒有觀察到。

【比較例】

由上述實施例同樣的工程來進行防塵薄膜的成膜，其後在防塵薄膜的張力不均一的條件下，進行上述實施例同樣，進行防塵薄膜組件的製作。

對完成防塵薄膜組件，進行框架的撓曲量的測定，得知對邊的撓曲量為0．9mm以及0．1mm，相鄰的另一對邊的撓曲量為0．5mm以及0．15mm。該值處於不能允許的狀態的同時，為非常不整齊的撓曲狀態。進一步，如使該防塵薄膜組件垂直站立，使撓曲量為0．1mm的長邊朝上，防塵薄膜的長邊中央附近可以觀察到數條的折皺。從框架的形狀和防塵薄膜發生的折皺的狀態，其作為防塵薄膜組件是不能使用的。

【產業上的利用可能性】

印刷基板用，IC封裝用或半導體製造用的防塵薄膜可以使用將1張液晶製造用的大型防塵薄膜分割成的小型薄膜。

3‧‧‧防塵薄膜

21‧‧‧暫用框

22‧‧‧接著層

41‧‧‧分割框

42‧‧‧接著層

43‧‧‧夾子

45‧‧‧針

46‧‧‧位置決定孔

X-X、Y-Y‧‧‧分割線

Claims (5)

1. 一種防塵薄膜組件的製造方法，其為一種將防塵薄膜繃緊貼附於框架的防塵薄膜組件的製造方法，其特徵在於：將1張防塵薄膜貼附在暫用框上，將具有比該暫用框的內寸小的外寸的多個並列結合的分割框，與暫用框上的防塵薄膜接著後，在將防塵薄膜沿分割框的外邊從暫用框上切離的同時，將結合的分割框分離，並且於各個的分割框上接著的防塵薄膜貼附在框架後，將分割框取掉。
2. 一種防塵薄膜組件的製造方法，其為一種將防塵薄膜繃緊貼附於框架的防塵薄膜組件的製造方法，其特徵在於：將成膜基板上的1張防塵薄膜貼附在多個並列結合的分割框，在將防塵薄膜沿著分割框的外邊從成膜基板上切離的同時，將結合的分割框分離，並且於各個的分割框上接著的防塵薄膜貼附在框架後，將分割框取掉。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的防塵薄膜組件的製造方法，其中：使分割框上接著的防塵薄膜在框架進行貼附時，對分割框施加壓縮或拉伸的力，並且 在防塵薄膜貼附後，將所述力解除。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的防塵薄膜組件的製造方法，其中：使分割框上接著的防塵薄膜在框架進行貼附時，對框架施加壓縮或拉伸的力，並且在防塵薄膜貼附後，將所述力解除。
5. 一種防塵薄膜組件，其特徵在於：該防塵薄膜組件為藉由如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的方法製造的。