201200865 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種板狀透明體之缺陷檢查裝置及缺陷檢 查方法。 【先前技術】 先前’作為對FPD(Flat Panel Display ’平板顯示器）用玻 璃基板等板狀透明體之内部或表面所產生之缺陷部位進行 檢測之裝置，已知有如專利文獻丨所揭示之利用邊緣照明法 之缺陷檢查裝置。 專利文獻1之缺陷檢查裝置係如下者：自玻璃基板之側面 (端面）’以於玻璃基板之内表面進行全反射之方式傾斜地入 射於一個方向具有指向性之照明光，以此對玻璃基板之内 部進行照明，利用受光部檢測因玻璃基板之内部或表面之 缺陷而散射之散射光。 專利文獻1之上述受光部係由平行地配設之複數台線感 測器相機構成’對於沿上述照明光之射出方向之玻璃基板 之寬度方向的整個區域進行拍攝。又，複數台線感測器相 機之受光方向與玻璃基板之表面之法線方向之間的角度設 定為〇°。即，複數台線感測器相機之受光方向設U㈣ 璃基板之表面正交之方向。 [先行技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]曰本專利第3329233號公報 【發明内容】 156905.doc 201200865 [發明所欲解決之問題] 卜玻璃基板之表面於玻璃基板之搬送中有時會與附 著在搬送輥上之麵屑接觸之情形，從而存在因與該玻璃 屑之接觸而使上述表面產生長徑1〇，左右之微細的凹 ’艮釗離痕（以下，將該等統稱為微細痕）之情形。於FpD用 璃土板_因上述微細痕引起之良率之下降被視作問題。 ^利文獻1所揭示之缺陷檢查裝置係將存在於玻璃基板 内。P之長徑50 _以上之大小的泡等缺陷作為檢測對象，故 無法檢測上述微細痕。即，其原因在於，長徑5()㈣以上之 缺陷之散射光之亮度較大，但微細痕之散射光遠遠小於上 述缺陷之7C度，於專利文獻丨之裝置中，未進行用以檢測此 種微細痕之散射光之研究。為了檢測微細痕，考慮到進行 顯微鏡細查，但當藉由顯微鏡細查而獲得具有統計意義之 資料、例如對微細痕之產生頻度進行特定之資料而言，需 要極大之時間與費用。 本發明係鑒於此種情況完成者，其目的在於提供一種無 需進行顯微鏡細查而可檢測出板狀透明體之表面上存在之 長控10 μιη左右之微細痕的板狀透明體之缺陷檢查裝置及 缺陷檢查方法。 [解決問題之技術手段] 為了達成上述目的，本發明提供一種板狀透明體之缺陷 檢查裝置’其係對板狀透明體之第丨表面上存在之缺陷照射 光並使光散射從而對上述缺陷進行檢查者，其包含：第1 投光器’其對上述板狀透明體之第1側面照射光；第2投光 156905.doc 201200865 器’其對與上述板狀透明體之第1側面相對向之第2側面照 射光；第1受光器，其接受藉由來自上述第1投光器之光所 產生之前方散射光；及第2受光器，其接受藉由來自上述第 2投光器之光所產生之前方散射光；且，上述第1受光器之 受光方向與對向於上述板狀透明體之第1表面之第2表面之 法線方向之間的角度Θ!為〇。<01 S 60。，上述第2受光器之受 光方向與上述法線方向之間的角度02為〇。<02 $ 6〇。。 為了達成上述目的’本發明提供一種透明板狀體之缺陷 才欢查方法，其係對板狀透明體之第1表面上存在之缺陷照射 光並使光散射從而對上述缺陷進行檢查者，且自第1投光器 對上述板狀透明體之第1側面照射光，自第2投光器對與上 述板狀透明體之第1側面相對向之第2側面照射光，藉由第1 受光器接受由照射於上述第1側面之光所產生之第丨前方散 射光，藉由第2受光器接受由照射於上述第2側面之光所產 生之第2前方散射光，上述第1受光器之受光方向、與上述 板狀透明體之第1表面相對向之第2表面之法線方向之間的 角度01為〇°<0|$6〇。，上述第2受光器之受光方向與上述法 線方向之間的角度02為0ο<θ2$60ο。 又，較佳為，於本發明之板狀透明體之缺陷檢查裝置中 包含：控制機構，其以於自上述第丨側面至上述第2側面之 觀測區域内，使到達上述第丨受光器及上述第2受光器之觀 察部位之光量為恆定之方式，控制上述第丨投光器之照明光 之輸出強度及上述第2投光器之照明光之輸出強度；及算出 裝置，其預先記憶與上述第1受光器及上述第2受光器之總 156905.doc
S 201200865 文光量之積分值相對應的上述缺陷之深度，算出上述第1 受光器及上述第2受光器之總受光量之積分值，基於該積分 值算出上述缺陷之深度。 又’較佳為，於本發明之板狀透明體之缺陷檢查方法中， 以在自上述第1側面至上述第2侧面之觀測區域内，使到達 上述第1受光器及上述第2受光器之觀察部位之光量為恆定 之方式’對上述第1投光器之照明光之輸出強度及上述第2 投光器之照明光之輸出強度進行控制，算出上述第1受光器 及上述第2受光器之總受光量之積分值，基於該積分值算出 上述缺陷之深度。 又，較佳為’於本發明之板狀透明體之缺陷檢查裝置中， 上述板狀透明體為FPD用玻璃基板。 又，較佳為’於本發明之板狀透明體之缺陷檢查裝置中， 上述第1受光器之受光方向、與上述板狀透明體之第1表面 所相對向之第2表面之法線方向之間的角度A為 30° S $ 45° ’上述第2受光器之受光方向與上述法線方向 之間的角度θ2為30。$ θ2$ 45。。 又，較佳為’於本發明之板狀透明體之缺陷檢查方法中， 上述板狀透明體為FPD用玻璃基板。 又’較佳為’於本發明之板狀透明體之缺陷檢查方法中， 上述第1受光器之受光方向、與上述板狀透明體之第1表面 相對向之第2表面之法線方向之間的角度01為 30 $θ1$45°’上述第2受光器之受光方向與上述法線方向 之間的角度92為3〇。$02$45。。 156905.doc 201200865 。。本發明之特徵在於’相對於專利文獻ι之裝置，變更受光 益之受光方向，將受光器之受光方向設定為對板狀透明體 之第ι表面上存在之微細痕具有較強之受光感度的受光角 度θ(0°<θ$6〇。’較佳為3〇。_45。）。又以到達受光器 之觀察部位之照明光之光量為怪定之方式，控制投光器側 之輸出強度，藉此補充受光器側之動態範圍不足，從而可 無需於受光器側進行信號修正而實現微細痕之檢測。進 而，藉由實驗發現對由雙方之受光器所檢測到之總受光量 (亮度）進行積分所得的值與微細痕之深度具有相關關係（正 比關係）’根據該見解’基於受光信號強度算出微細痕之深 度0 於本發明中，亦可檢測存在於板狀透明體内部之長徑5〇 μηι以上之大小之泡等缺陷，但因該缺陷產生之前方散射光 之亮度遠遠大於微細痕之前方散射光之亮度。藉此，容易 根據亮度位準來判別泡等缺陷及微細之缺Β，因此無需對 雙方之缺陷進行判別之細查。因此，藉由使亮度位準具有 閾值，可僅抽出微細痕進行檢測。又，可基於受光信號強 度算出微細痕之深度，因此亦可及時掌握各個深 頻度等資料。 生 本發明之具體之構成係自板狀透明體之相對向之第j側 面、第2側面，藉由第ι投光器、第2投光器投入於一個方向 具有指向性之強力的片狀照明光，使該照明光於板狀透明 體之内表面進行全反射而對板狀透明體之内部進行照明。 而且，於觀察部位上，藉由第丨受光器、第2受光器，將特 156905.doc
S 201200865 化成板狀透明體之内部及表面上存在之痕（泡、微細痕）之前 方散射光作為缺點信號進行捕捉。 此時，抑制附著於板狀透明體上之污垢等之誤判，並且 將受光器之受光方向設定為對板狀透明體之表面之微細痕 具有較強之受光感度之受光角度θ(0〇<θ$ 60。，較佳為 30〇$ 45。）。 又’於邊緣照明法中’已知有如下情形：隨著觀察部位 遠離技入照明光之板狀透明體之側面，到達觀察部位之照 明光之光量（密度）按指數函數規律而減少。先前，藉由於受 光器側修正感度，以到達觀察部位之照明光之光量恰好相 同之方式進行調整，但於本案中，以到達觀察部位之光量 不依賴於觀察部位之位置（與照明光之投入位置之距離）而 為相同之方式，控制投光器側之輸出強度，藉此補充受光 器側之動態範圍不足。例如，無論於哪一個觀察部位，口 要以到達之光量成為恆定之方式控制第i及第2投光器之輸 出強度即可。 藉此，根據本發明，即便對長徑10μιη左右之微細痕，亦 可維持檢測感度而與觀察部位之位置無關。又可某於與 微細痕之深度有關之信號強度獲得微細痕之深度。藉此 本發明可檢測微細痕而無需進行顯微鏡細杳 — 又，可貫現 微細痕之產生頻度之特定、及微細痕之深度之頻度之特定。 再者，較佳為應用線感測器相機作為第丨、第2成光w 其原因在於’當將該線感測器相機之配置 ° 且々间设為與第j、 第2投光器之照明光之射出方向正交之 J〈 It形時可維 156905.doc 201200865 持檢測感度，故較佳。 [發明之效果] 以上，根據本發明之板狀透明體之缺陷檢查裝置及缺陷 檢查方法，可檢測微細痕而無需進行顯微鏡細查。 【實施方式】 以下，根據隨附圖式’對本發明之透明板狀體之缺陷檢 查裝置及缺陷檢查方法之較佳的實施形態進行詳細說明。 圖1係表示本發明之實施形態之板狀透明體之缺陷檢查 裝置10的整體構成之立體圖。如圖1所示，經切斷、或具有 經倒角之側面之玻璃基板G藉由導引親11、11、…而於搬送 路徑上搬送’且被投入至缺陷檢查裝置1〇。於玻璃基板G 為液晶顯示器用之情形時’板厚為〇_7 mm以下，大小可為 G10 尺寸（2850x3050 mm)或 G8 尺寸（2160x2460 mm)等。缺 陷檢查裝置10係將加工成矩形狀之FPD用玻璃基板g作為 檢查對象，特別是如圖2般用以檢查玻璃基板G之下表面（第 1表面）G1上所存在之微細痕12、14之裝置。再者，於圖2 中’對厚度為0.7 mm以下之玻璃基板G，誇大地表示長徑1〇 μηι左右之微細痕12、14。又，於圖1中，將於水平方向上 正交之雙軸之方向表示為X方向、γ方向。 圖1所示之缺陷檢查裝置10由平台16、投光器18(第1投光 器）、投光器20(第2投光器）、受光器22(第1受光器）、受光 器24(第2受光器）、具備自動聚焦透鏡26之附電子相機之顯 微鏡28等構成。又，構成缺陷檢查裝置1〇之上述各構件 18~28藉由圖 3所示之CPU(Central Processing Unit，中央處 •10- 156905.doc
S 201200865 理單疋）（控制機構）30而統括控制。關於利用該cpu 3〇之控 制，於下文敍述。 如圖1所示，玻璃基板G之作為檢查對象之下表面G1 (參 照圖2)係水平地載置於平台16上。又，該玻璃基板〇藉由未 圖示之保持構件而水平地定位且保持於平台16上。 才又光器18係使形成於其外殼32上之狹縫狀之射出口 32A 與保持在平台16上之玻璃基板G之圖1中的左側面（第1側 面）G2相對向配置。因此，自射出口 32A所射出之片狀之照 明光向玻璃基板G之左端面G2射出。該照明光自玻璃基板〇 之左側面G2入射至玻璃基板G之内部，於玻璃基板g之内表 面進行全反射’並且於圖1之X方向上，自左方向右方傳播。 藉此’玻璃基板G之内部藉由上述照明光而照明。 又’如圖4之側視圖、圖5之俯視圖所示，於投光器1 8之 外I又32内收納有發射高亮度之光之LED(Light Emitting Diode，發光二極體）光源34、光導36、及柱狀透鏡38。藉 此’來自LED光源34之高亮度之照明光經由光導36、及柱 狀透鏡38而成為平行光，且自射出口32A向玻璃基板G之左 端面G2射出。再者，LED光源34藉由圖3所示之由CPU 30 進行ΟΝ/OFF控制的電源40而點亮/熄滅。 如圖1所示’投光器20係使形成於其外殼42上之狹縫狀之 射出口 42A與保持在平台16上之玻璃基板G的圖1中之右側 面（第2側面）G3相對向配置。因此，自射出口 42A所射出之 片狀之照明光向玻璃基板G之右端面G3射出。該照明光自 玻璃基板G之右側面G3入射至玻璃基板G之内部，於玻璃基 156905.doc -11 - 201200865 板G之内表面經全反射，並且於圖1之X方向上，自右方向 左方傳播。藉此，玻璃基板G之内部藉由上述照明光而照明。 又，於投光器20之外殼42内，收納有圖4、圖5所示之發 射高亮度之光之LED光源44、光導46、及柱狀透鏡48。藉 此，來自LED光源44之高亮度之照明光經由光導46、及柱 狀透鏡48而成為平行光且自射出口 42A向玻璃基板G之右 側面G3射出。LED光源44與LED光源34相同地，亦藉由圖3 之由CPU 3 0進行ΟΝ/OFF控制之電源50而點亮/媳滅。 又’圖1所示之外殼32、42係以各自之射出口 32A、42A 於X方向上相對向之方式搭載於γ方向移動部52上。 Y方向移動部52構成為包含樑部54及一對腳部56、58之門 型，且以於X方向上跨及平台16之方式，立設於支樓平台 之基台60上。外殼32固定於腳部56，並且外殼42固定於腳 部58。於腳部56、58之下部安裝有未圖示之滾珠螺母，該 等滾珠螺母分別螺合於沿γ方向配設在基台6〇上之螺桿（滾 珠螺桿)62、64。該等螺桿62、64旋轉自如地支撐於基台6〇 上並且連結於藉由圖3之CPU 3 0而同步控制之伺服馬達 66、68。因此，藉由伺服馬達66、68而使螺桿“、64同時 且向相同之方向而且以相同之速度進行旋轉，藉此，γ方向 移動部52相對於基台6〇沿γ方向移動。藉由該動作，外殼32 沿玻璃基板G之左側面〇2移動，而且外殼42沿右側面㈣ 動’對玻璃基板G之指定之觀察部位進行照明。再者，圖5 之玻璃基板G所示之〇記號ρ為觀察部位。 再者’ LED光源34、44係藉由cpu 3〇控制輸出強度，以 156905.doc
S •12- 201200865 使到達後述受光器22、24之相同之觀察部位p的照明光之光 量無論於哪一個觀察部位均為恆定。藉此，可補充受光器 22、24側之動態範圍不足，從而可實現圖2所示之微細痕 12、14之檢測，而無需於受光器22、24側進行信號修正。 圖1、圖4所示之受光器22係接受藉由來自投光器18之照 明光所產生之前方散射光、即因玻璃基板(；}之下表面⑴之 觀察部位P上存在之微細痕14而散射之前方散射光。又，受 光器24係接受藉由來自投光器20之照明光所產生之前方散 射光、即因玻璃基板G之下表面G1之觀察部位p上存在之微 細痕12而散射之前方散射光。再者，受光器22、之觀察 部位P為一個部位，當該觀察部位P上存在微細痕Μ之情形 時，其前方散射光會被受光器22捕捉，又，當觀察部位p 上存在微細痕12之情形時，其前方散射光會被受光器24捕 捉。 圖2之微細痕12、14之形狀不同，例如當僅存在微細㈣ 之情形時，有時無法根據其痕形狀之特徵而由受光器^捕 捉微細痕12之前方散射光（圖2之箭頭A)。同樣地，當僅存 在微細痕！4之情形時，有時無法根據其痕形狀之特二而由 受光器24捕捉微細痕14之前方散射光（圖2之箭頭b)。即 當僅在玻璃基板G之一側設置有投光器盥 /、又尤盎之情形 時，因微細痕12、14之痕形狀會發生檢測遺漏。 對此，於實施形態中，將投光器18、 υ及跫光器22、 24設置於玻璃基之兩側，因此，可不依賴於微細痕… 14之形狀而檢測出形狀不同之微細痕12、。 义 156905.doc -13- 201200865 受光器22、24係安裝於懸掛支撐在圖}之丫方向移動部52 之樑部54的板70上。又，受光器22、24以圖4之一點劃線所 表示之各個受光方向、與玻璃基板G之下表面G1相對向之 上表面（第2表面）G4之法線方向之間的角度0】、02成為25。之 方式，傾斜地固定於板70上。再者，各個受光方向交叉之 位置為觀察部位Ρ。又，上述角度θι、h並不限定於25。，如 下文所述般為（^〈θ^όΟ。、〇。<02$6〇。，較佳為 30 S Θ! $ 45°、3 0°$ θ2$ 45°。進而，亦可將㊀丨與θ2設定為 不同之角度。 於實施形態中，作為受光器22、24，應用多個受光元件 排列成直線狀之線感測器相機。該線感測器相機之多個受 光元件之排列方向設定為與由投光器18、2〇之照明光之射 出方向（X方向）正交的γ方向。藉此，觀察部位ρ作為與受光 元件之數量對應之線段之範圍被捕捉，且以將該線段連接 之方式，投光器18、20、及受光器22、24藉由γ方向移動部 52而移動。藉此，玻璃基板G之特定之χ方向位置上的沿γ 方向之觀察部位ρ之微細痕丨2、丨4得以進行缺陷檢查。 另方面，如圖1所示，於板70之上部之平坦部70A安裝 有未圖不之滾珠螺母，該滾珠螺母螺合於沿X方向配設在樑 邛54上之螺桿（滾珠螺桿）72。該螺桿旋轉自如地支撐於樑 P 4並且連結於藉由圖32Cpu3〇控制之伺服馬達μ。因 i〗用伺服馬達74使螺桿72旋轉，藉此，使圖1之板7〇 方向移動。藉由該動作，設定玻璃基板G之χ方向位置 上之觀察部位ρ。 156905.doc 201200865 又，於板70上安裝有具備電子相機之顯微鏡28。該顯微 鏡28之聚焦透鏡26配置於觀察部位卩之鉛垂方向之上方，藉 由聚焦透鏡26所獲得之觀察部位p之放大像由上述電子相 機而拍攝。來自電子相機之拍攝信號藉由内置於圖3之CPU 30中之圖像彳s號處理裝置進行圖像處理，且將經圖像處理 之觀察部位的高倍率之放大影像顯示於監視器76上。再 者，由受光器22、24所捕捉之觀察部位p之圖像均顯示於監 視器76上。又，聚焦透鏡26為自動聚焦透鏡。 其次，對如上所述般構成之缺陷檢查裝置1〇之特徵進行 說明。 實施形態之缺陷檢查裝置10之特徵在於：相對於專利文 獻1之裝置’變更受光器22、24之受光方向，將受光器22、 24之受光方向設定為對玻璃基板g之下表面⑴上存在之微 細痕12、14具有較強之受光感度的受光角度θ]、 、0〇<θ2$60。，較佳為 3〇。$01$45。、 30〇$ θ2$ 45。）。 圖6之圖表中，橫軸為受光器22、24之視野入射角度（受 光角度θ!、Θ2)，左側之縱轴為對藉由單側之受光器22(戍受 光器24)所接受之亮度進行積分而獲得之累計值，右側之縱 軸為對藉由雙方之受光器22、24所接受之亮度進行積分而 獲得之累計值的和。即’意味著累計值越高，微細痕12、 14之檢測感度越高。 根據圖6之圖表，視野入射角度處於〇〇<θι $ 6〇0、 〇。<02$6〇。之範圍内，累計值之峰值約為38。。當視野入射 156905.doc 15 201200865 角度為〇。之情形時，由於累計值較小，故檢查感度較差； 當視野入射角度超過60。之情形時亦相同…若視野入射 角度超過60 ’則存在 <光||22、24過於接近玻璃基板g而 與玻璃基板G接觸之情形，故不佳β根據該觀點，受光角度 θ,、θ2必需設定為〇。<046〇。、〇〇<02各6〇〇。又較佳為， 於欲獲得較高之檢測感度之情形時，根據圖6之圖表設定為 30°^θ,^45° ' 30°^θ2^45° 〇 又，實施形態之缺陷檢查裝置1〇之特徵在於：以使到達 受光器22、24之觀察部位之照明光的光量為恆定之方式， 藉由CPU 30控制投光器18、2〇側之輸出強度，藉此補充受 光器22、24側之動態範圍不足，可實現微細痕12、14之檢 測而無需於受光器22、24侧進行信號修正。 進而，藉由實驗發現，實施形態之缺陷檢查裝置中， 對藉由雙方之受光器22、24所檢測到之總受光量（亮度）進行 積分所得之值與微細痕12、14之深度具有相關關係（正比關 係），根據該見解，基於受光信號強度算出微細痕之深度。 圖7之圖表中，縱軸為對藉由受光器22、24所檢測到之總 受光量（亮度）進行積分所得之值，橫軸表示微細痕12、14 之深度。根據圖7之圖表，可知亮度積分值總和與微細痕之 深度之關係為正比關係。 另一方面，於實施形態之缺陷檢查裝置1〇中，亦可檢測 存在於玻璃基板G内部之長徑50 μιη以上之大小的泡等缺 陷，但因該缺陷產生之前方散射光之亮度遠遠大於微細带 12、14之前方散射光之亮度。藉此，容易根據亮度位準來 156905.doc •16- 201200865 判別泡等缺陷及微細之缺陷，田丄卜 因此無需對雙方之缺陷進行 判別之細查。因此，可僅抽屮外 僅抽出彳政細痕12、14而進行檢測。 又，於CPU 30之記憶部記憶有與 丹對圖7之圖表之上述總受光 量（亮度）進行積分所得之值相應 馬的彳政細痕12、14之深度。 CPU 30基於自受光器22 ' 24輪, 4輸出之受光信號強度而算出微 細痕12、14之深度。藉此，亦γ & $ & > / 力J及時掌握各個深度之產生 頻度等資料。 另外，於邊緣照明法中，隨著觀察部位P遠離投入有照明 光之玻璃基板G之側面G2、G3’到達觀察部位p之照明光之 光量（被度）按指數函數規律而減少。於先前之裝置中，係於 受光器側修正感度，但於實施形態之缺陷檢查裝置1〇中， 以到達觀察部位P之光量為相同之方式，由CPU 3〇對投光器 18、20側之輸出強度進行控制，藉此補充受光器22、以側 之動態範圍不足。例如，無論於哪一個觀察部位P，只要CPU 30以使到達之光量為恆定之方式對投光器丨8、2〇之輸出強 度進行控制即可。 即’如圖8所示之圖表之橫軸所示，隨著觀察部位p遠離 投光器，使投光器1 8、20之輸出如圖表之縱軸般增加。與 此相對’隨著觀察部位P接近投光器，使投光器丨8、2〇之輸 出減少。藉此，使到達觀察部位P之光量始終為恆定。 即，於CPU 30之記憶部中，記憶有與自左側面G2至右側 面G3之X方向上之觀察部位P對應的各投光器18、20之輸出 值。若自未圖示之輸入機構（例如，鍵盤）輸入有觀察部位 P，則CPU 30對伺服馬達66、68、74進行驅動控制，將受光 156905.doc 17 201200865 器22、24之觀察部位移動至與所指定之觀察部位？對應之位 置，並且分別對投光器18、2〇之輸出進行控制使該觀察 部位P上之光量成為相同。 藉此，根據本發明，即便對長徑1〇 μηι左右之微細痕12、 14，亦可維持檢測感度而與觀察部位ρ之位置無關。又，可 基於與微細痕12、14之深度有關之某信號強度而獲得微細 痕12、14之深度。 如上所述，實施形態之缺陷檢查裝置1〇可檢測微細痕 12、14而無需進行顯微鏡細查，又’可實現微細痕12、14 之產生頻度之特定、微細痕12、14之深度之頻度之特定。 再者，搭載於缺陷檢查裝置1〇上之顯微鏡28並非缺陷檢 查裝置ίο中必需者，但於確認藉由受光器22、24所檢測到 之微細痕12、14之情形時有效。 又，作為受光器22、24，應用線感測器相機，且將該線 感測器相機之受光元件之排列方向設為與由投光器丨8、2〇 之照明光之射出方向正交的方向，因此可維持檢測感度。 進而’於實施形態中，係檢測玻璃基板G之下表面⑴之 微細痕12' 14之裝置，但於檢測玻璃基板G之上表面g4之 微細痕12、14之情形時’在玻璃基板g之下方設置相同之構 成的投光器18、20與受光器22、24即可。 又進而’於實施形態令，已對玻璃基板G之缺陷檢查裝置 10進行了說明，但作為檢查對象之板狀透明體並不限定於 玻璃基板G，可對例如樹脂製等板狀透明體應用實施形態中 之缺陷檢查裝置10。 •18· 156905.doc
S 201200865 又’於實施形態中，照明光源係使用LED光源34、44， 但並不限定於此，例如亦可使用金屬函化物燈、或射出雷 射等高亮度照明光之光源。圖9(A)係使用光纖光導78之投 光器18A之上表面圖，圖9(B)係其側視圖。即，亦可使用光 纖光導78來取代圖5所示之光導36。對投光器20而言亦相 同。 又進而，於實施形態中，係將玻璃基板G載置於平台16 上’但若將玻璃基板G之平面位準維持在受光器22、24之景 深之容許範圍内，則可省略平台丨6。 以上對本發明詳細地、且參照特定之實施態樣進行了說 明’但業者應當瞭解，可在不脫離本發明之範圍與精神之 範圍内進行各種修正或變更。 本申請案係基於201 0年6月24曰申請之曰本專利申請 2010-143889，其内容以參照之形式併入本文中。 【圖式簡單說明】 圖1係實施形態之板狀透明體之缺陷檢查裝置之整體立 體圖； 圖2係將玻璃基板之主要部分放大之縱剖面圖； 圖3係表示圖1所示之缺陷檢查裝置之構成之方塊圖； 圖4係表示投光器及受光器之構成之側視圖； 圖5係圖4之俯視圖； 圖6係表示受光器之視野入射角度依賴性之圖表； 圖7係表示亮度積分值總和與微細痕之深度之間的關係 之圖表； I56905.doc •19- 201200865 圖8係說明#光器對於觀察部位之位置的光量控制之圖 表；及 圖9(A)及9(B)係作為投光 成圖。 器使 用光纖光導之 情形時之構 【主要元件符號說明】 10 缺陷檢查裝置 11 導引輥 12、 14 微細痕 16 平台 18、 18A ' 20 投光器 22 ' 24 受光器 26 自動聚焦透鏡 28 顯微鏡 30 CPU 32、 42 外殼 32A 、42A 射出口 34、 44 LED光源 36、 46 光導 38 ' 48 柱狀透鏡 40、 50 電源 52 Y方向移動部 54 樑部 56、 58 腳部 60 基台 •20· 156905.doc
S 201200865 62 、 64 、 72 螺桿（滚珠螺桿） 66 、 68 、 74 伺服馬達 70 板 70A 平坦部 76 監視器 78 光纖光導 A、B 箭頭 G 玻璃基板 G1 玻璃基板G之下表面 G2 玻璃基板G之左側面 G3 玻璃基板G之右側面 G4 玻璃基板G之上表面 P 觀察部位 X、Y 方向 Θ i、Θ2 角度 156905.doc -21 -