TW201132566A - Glass substrate conveyance case and glass substrate conveyance carriage - Google Patents

Description

201132566 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 “士Ϊ發明係關於一種用以運$玻璃基板的容器以及台車，更詳 =，j ’係關於—種在用以運送大型玻璃基板特別有效的運送技 =大型玻璃基板係在製造液晶顯示11等時偶防塵裝置所使 用之嘁影用防塵薄膜組件之製造用基板。 【先前技術】 ^大型積體電路等之半導體裝置或是液晶顯示器等的製造 光照射將齡於光罩賴鍵印至晶贼是原板。若有 !!2^粒_在此_光微影步驟中所使用之光罩，因為此等 艰收曝光的光，或使光折射。其結果，引起轉印圖案變 j®U邊緣的清晰度降低等，而影響到圖案的尺寸、品質、外 觀等，此皆為其問題點。 、 —鑑於此類問題，與光微影相關的步驟通常是於無塵室内進 :塵tm'難以常保光罩之清潔。因此，於光罩表面貼附 ===崎嫌歡娜靖，並使用此狀 ’因為異物不會直接附著於光罩的表面上，而是附 者於防，，驗件上’故在微影時若紐焦點對準於鮮之圖案 上，防塵薄膜組件上的異物就不會影響到轉印。 /、 件係將以具有良好透紐的石肖化纖維素、 iiii if巧所構成的透’塵薄膜，貼附或黏著在 乙烯等所構成的防塵薄膜组件框架的上端 面^ ’在防塵溥膜崎框架下端，設有用以裝著在光之 以及目的為保遽黏者層之脫離層(分離部）。 薄目t組件在貼附於光罩後，對於異物從外部附著於 身’則該異物有附著在光罩上之疑慮。因此，； 201132566 ^須為潔淨者’且《製造防麟騎使料大型麵基板 尚潔淨性。 一 [習知技術文獻] [專利文獻] 專利文獻1 :日本特開2007 — 250688號公報 【發明内容】 [發明所欲解決的問題] ㈣吾要求用於保管或運送防塵薄膜製造等所 使用的大型玻璃基板之容器，具有維持收納 面之潔淨性且不損傷基板的構造。 j㈣減衣 广iLti—種容器：由抗靜電性能佳、即使於摩 所構成，具有盡量防止基板與構成零件 腳於的方法’係使用安袭於基板運i容器的 而垂直運达之方法，在運送姻玻璃基板時會與天花板發 大型i垂ί運送等’而雜收納於基板運送容器内^ 會對基板造細傷而進行保管以及運 士於Εί事只上難明已充分滿足之(例如參照專利文獻U。 運’其目的在於提供—種運送用容器以及 用保管或運微影用防塵薄膜組件的製造等所使 時，雜触域大财縣板喊淨性且不 [解決問題之技術手段] 邊邊玻璃基板運送用容器，係1 的運送用容H，其特徵為3為1G麵以上的大型矩形玻璃基扳 體，;基板，及矩形的上部本 5亥下部本體具有：下外框部，設置在周邊部；下歲合部，設 201132566 S 了 S!該置ϊ置在4邊的各個周邊部;基板固 與該4邊的各周邊部ΐ彼此對，其為 設置的夾且摩駐却^ j j z遠之周邊部分別互相面對面 直，，部之夹具安裝部的 合部逆工合部’藉由該上嵌 具安裝部的旋触錢可裝卸。 下之心.切於該夾 基板^ί^ϊϊϊί^ΐ用台車，係用以運送本發明之玻璃 具有： °σ玻肖基板運_台車，該麵基板運送用台車 容安裝部之旋触具的支持部；以及用以維持該 水平面所形成的傾斜角之傾斜肢定部。 定於tto^flT。輕絲運顧轉，細斜岭基準可 [發明之功效] 2邊板f送岭糾4邊的各周邊料對向的 容哭羋祕/ ’分別設有用以使在收納玻璃基板的狀態之 ：；：:s: 因此，如你二「之士具所支持’能在既定的角度範圍傾斜。 而運、# 以及莧度方向皆受限制的通道亦可使容器傾斜 對 S造 【實施方式】 璃基進Ξ本發明之玻璃基板運送用容器以及玻 圖1係顯示玻璃基板收納於本發明的玻璃基板運送用容 §§ 的 201132566 I部♦體的狀態之-態樣之俯她略圖。玻璃基板η係i邊邊長 ^OOOmm以上，厚度為10mm以上的大型矩形玻璃基板，此玻 =土坂11載置於基板載置部15之上，該基板載置部15設於玻璃 ，板運容器的矩形的下部本體12的4叙各蝴邊部(周緣 土’以旋紹6從上方將設於該各個基板載置部ls的基板固定部 基^反固定具)14鎖緊，藉此固定破璃基板η。在此圖中，顯示基 板载置部15設於4邊的各周邊部的3個地方的例子。 射^ 設於4邊的各周邊部中的相鄰2邊的周邊部端之基板 有央具(基板定位部)13，其用以進行收納於下部本 體12内的狀態的玻璃基板u的定位。此基板定位部13，係在使 未^示)將玻璃_ 11载置於基板載置部15上時，用以 修正位置，例如轉鮮件與金屬製的歡構件所構成。 J者，4邊的各周邊部之中對向的 別^旋轉想18a、b的安裝部17a、b，_轉 二使：納玻T基板11的狀態之容器能對水平面傾 士二？互相面對面的狀態固定於此等安裝部％、b。因:匕連 狀夾具版與18b的直線，成為 部17a、b之旋轉夾具18a、b，係可裝卸。 杈人八扃 因為基板固疋部14 ’會接觸到涵斑其把11 AA 士 膜組件成膜的面，所以將面亦即防塵薄 的部分(邊糊之位置。此量靠端部 配麵數，或是其形狀，係按照在载置或是= 所用之搬運臂(未圖示)的形狀等 ^^玻喊板u時 發明的圖示所例示之形態。㈣田以即可，亚不限定於本 圖2係沿著圖1中^虛線八之 在周邊部(周緣部），設置具有下嵌人；；下°卩本體12， 部20，與形成於上外框部26的上&部^ = 2合 内部，該上外框部26設於密封交哭 口藉此k封各器 的周邊部。為了防止異物從外形的上部本體21 卜義入，欲合部的間隙宜盡可能的 201132566 觸而產生灰塵，體21與下部本體！2的歲合部因接 再者，為了提高容器内：的緣部埋人密合墊(未圖示）。 圖示?5，蝴料搭扣的=翻^將上下本體轉著膠帶(未 容器的下部本體12 基板定位部13、基板载置二==置於下部本體12的 龍或聚縮醛等之工鞀朔來、丨士 、'广板口疋°卩14的材質’可從尼 所造成的異物附著，、適當選擇。另外，為了減少由靜電 顏色，宜為黑色以便於電材料。又’此等樹脂構件的 別設^用^ = 2本體21的上面以及下部本體12的背面，分 " 方止受形的補強材22、23。又，因為在使容哭傾 裝载於運送用刍鱼拄，认n 口々社便谷為傾斜而 荷，所以於 ^；於成為下方侧之下部本體12的側面承載負 件(未圖示;八丨f 2 _面設有補強材24。若以搭扣的底座零 補強计的、^ :補強材23、24，則能提升作為補強材的剛性。 基板運送用容料^ 擇鐵鋼合金寺，但從維持玻璃 強声大的肺3度且錢_總重量之無來看，宜使用比 又大的材抖。另外，圖中符號25表示容ϋ的腳部。 面槪=’分別為沿著圖1中的虛線Β以及虛線C之剖 邱太濟;9二圖3所不，於基板載置部15 ’設有用以將收納於下 4本體12⑽狀態之玻璃基板11 S位之基板定位部13。 圖j係顯示將本發明的玻璃基板運送用容器裝載於運送用台 車巧態之立體圖。關於將運送容器運送時的姿態，吾人可設^ ^容器，主面於水平狀態下運送或於垂直豎立的狀態下運送，^ W者f高度方向有限制的情形有利，另一方面，在寬度方向有限 情形則，不利；後者則與其相反。在設置有空氣浴塵室或是 ^造裝置之實際的無塵室内的運送通道中，高度以及寬度方向皆 限制的^況並不少見。因此’宜可使玻璃基板運送用容器1〇傾 斜而運送’俾於在即使高度以及寬度方向皆受限制之情況下，亦 能運送。 圖5所示之態樣的運送用台車30,於框體31的柱部的頂部的 201132566 斜角決定央部並可裝卸，於此支持部32，設有傾 構）機構(亦即，使容111Q傾斜時的固定機 ί的翰屬、線、螺紋旋紐、搭扣等扣具。另外，從安全 οΐΐϋ看’宜财即使在傾斜角蚊機構脫落的情形下料 =不會旋轉的止動部(未圖示）。再者，於框體31的；設^; 哭持部32設有樹脂製輥(未圖示），能容易地使容 i送通，1G的傾斜可能範酬斜絲圍），係按照 之任二*丨及見度做適當設計即可，並*受到此圖的形態 赫α二 纟’在—般的運送通道，此傾斜肖細水平面為 基準，宜可維持於〇〜90度的範圍。 [實施例] 以下說明本發明的實施例，但本發明不限於此。 使用聚丙烯睛系的非晶性熱可塑性樹脂板(商品名： un arex ’二協化成(股)製造），藉由黏接製成圖丄至圖4所示之容 器下部本體12以及上部本體21。上部本體12與下部本體21的 内寸為1940mmxl800mm，組合各個本體的容器1〇的外型尺寸為 2020mmxl880mm，厚度為195mm。另外，此外型尺寸，係包含 補強材’但不包含突起部之值。 i補材22、23、24係將銘合金製擠製材料組合使用，採用防 止變形之高剛性的構造。又，玻璃基板n的大小，為 1780mmxl620mm，厚度為 17mm。 基板載置部15、基板固定部14以及基板定位部13，係將耐 磨耗性、抗靜電性能優良的超高分子量聚乙烯(商品名：U—PE^O， Nippon Polypenco Limited製造)以機械加工方式製成，配置於圖i 所不之玻靖基板11的周圍各邊的3個地方。 又’製成如圖5所不之運送用台車3〇，其容器1〇與水平面的 201132566 最大傾斜角度為65度，始古许,1n^ 麵酿，框舰高度(c)=):力1920麵，前後距離_ 部13^^於下方。預先使基板定位 運臂寺將玻璃基板11置於基板載置部15卜 =基板植部13㈣紋部，以顧玻璃基板11 _面來修正 的邊ίί來i鱗13糧卿蝴基板η H 基板定位部13鎖緊，固定玻璃基板11。 月圍'林體21與下部本體12重疊，以黏著膠帶穷封 周圍，亚以搭扣將上部本體21與下部本體12鎖緊。 山封 ^下來’將旋轉夹具18a、18b安裝於容^的對向的 点！_ 將巧轉夾具载置於設於運送用台車30的頂部之旋鏟 ^羹即螺2 ’亚將容器1G傾斜至既定的角度’而以傾斜角決定 機構即螺效旋轉容器1〇鎖固於運送用台車30。 肖夬疋 [產業上利用性] 刑上述’根據本發明’可提供—種確保收納於容器内的* I玻璃基板之潔淨性且不會對基板造成損傷之保管以及運 【圖式簡單說明】 圖1係顯示玻璃基板收納於容器的下部本體的狀態之— 之俯視概略圖。 心k 圖2係沿著圖1中的虛線A之剖面概略圖。 圖3係沿著圖！中的虛線b之剖面概略圖。 圖4係沿著圖1中的虛線c之剖面概略圖。 圖5係顯示將本發明的玻璃基板運送用容器裝載於 車的狀態之立體圖。 、用〇 【主要元件符號說明】 :玻璃基板運送用容器 10 201132566 11 :玻璃基板 12 :下部本體 13 :基板定位部 14 :基板固定部(基板固定具) 15 :基板載置部 16 :旋鈕 17a、b :安裝部 18a、b :旋轉夾具 19 :下外框部 20 :下嵌合部 21 :上部本體 22、23、24 :補強材 25 :腳部 26 :上外框部 27 :上嵌合部 30 :運送用台車 31 :框體 32 :旋轉夾具支持部 33 :車輪 a :總焉度 b:前後距離 c:框體最低高度

Claims (1)

1. 201132566 七、申請專利範圚 一種玻璃基板運送用容哭，朽 為1〇麵以上的大型矩形破璃基以上，厚度 具有：矩形的下部本體，恭 用奋态，其特徵為， 體’為礙合於該下部本如密細’及_的上部本 該下部本體具有：下外框部，設二 於該下外框部；基板载置部，設置在4 ;下歲合部，設 定部，設置在該各個基板载置部；個周邊部；基板固 與該4邊的各周邊部中彼此對 二轉夾具的安裝部，其為 設置的夾具絲部，以連邊部分啦相面對面 直線為旋熱，能韻叙纽安裝部的 s 亥上部本體，具有上外框部，苴 _人 ft與該下嵌合部之後合而密封該容器内部 上嵌 、其„利範圍第1項之玻璃基板運送用容器，包含： 部之iiiii卜其設於該4邊的各周邊部中之相鄰2邊的周邊 3 H專m圍ΐ或2項之玻璃基板運送用容器，其中， 文哀於5亥夾具文裝部的旋轉夹具係可裝卸者。 3項運ff台車，其肋運送如申__第1至 、 員之玻螭基板運达用容器，該玻璃基板運送用台車具 =‘夹具的支持部，安裝於該夾具安裝部；以及傾斜角決定 口、’用巧維持該容器的主面與水平面所形成的傾斜角。 、如申請專利範圍第4項之玻璃基板運送用台車，其中， °亥傾斜角係以水平面為基準可定於0〜90度的範圍。 八、圖式：