HK1113121B - 防护薄膜组件收纳容器 - Google Patents

Description

防护薄膜组件收纳容器

技术领域

本发明是关于一种防护薄膜组件收纳容器，其可收纳、保管、输送在吾人制造半导体装置、印刷基板或是液晶显示器等产品时作为防尘器使用的微影用防护薄膜组件。

背景技术

在LSI、超LSI等半导体或是液晶显示板等产品的制造中，用光照射半导体晶圆或液晶用原板以制作形成图案，惟若此时所使用的光罩或初缩遮罩(以下仅称光罩)有灰尘附着的话，由于该灰尘会吸收光，使光弯曲，故除了会使转印的图案变形、使边缘变粗糙以外，还会使基底污黑，并损坏尺寸、品质、外观等。

因此，该等作业通常是在无尘室内进行，惟即使如此欲经常保持光罩清洁仍相当困难。于是，发明人在光罩表面贴附作为防尘器之用的防护薄膜组件后再进行曝光。此时，异物并非直接附着于光罩表面上，而是附着于防护薄膜组件上，故只要在微影步骤中将焦点对准光罩图案上，防护薄膜组件上的异物就不会对转印造成影响。

一般而言，该防护薄膜组件用透光性良好的硝化纤维素、醋酸纤维素或氟系树脂等物质构成透明防护薄膜，并以铝、不锈钢、聚乙烯等物质构成防护薄膜组件框架，将该防护薄膜贴附黏着于该防护薄膜组件框架的上端面。接着，在防护薄膜组件框架的下端设置为装着于光罩上而由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯酯树脂、丙烯酸树脂等物质所构成的黏着层，以及保护黏着层的脱模层(隔离部)。

然而，在将防护薄膜组件贴附于光罩上后其所形成的封闭空间虽然具有防止异物从外部侵入内部的效果，惟若异物是附着于防护薄膜组件本身且在封闭空间内部时，便难以防止光罩表面附着异物。因此，除了要求防护薄膜组件本身的高度清洁性以外，更强烈要求保管、输送时使用的防护薄膜组件收纳容器也具有维持该清洁性的性能。具体而言，要求其防止静电性能优异，并由受摩擦时发尘量少的材质所构成，且形成能尽量防止防护薄膜组件与构成零件间的接触的构造，以及施加外力时能够防止变形的高刚性构造。

防护薄膜组件收纳容器通常是将丙烯腈-丁二烯-苯二烯共聚物(Acrylonitrile Butadiene Styrene，ABS)树脂、丙烯酸等树脂以射出成形或是真空成形等方式制造而成。利用该等成形方法，具备表面平滑故异物附着或发尘的疑虑较少、一体成形无接缝故发尘或异物侵入的疑虑较少、即使物品形状复杂也能轻易制造、量产性优异、成本低廉等优点。

半导体用或印刷基板用的防护薄膜组件收纳容器，其外形边长大约200～300mm左右，该等容器通常是利用射出成形方式制造而成。如前所述，为了保持防护薄膜组件收纳容器的干净，而要求其具有即使外力施加时也难以变形的高刚性，惟对该等边长200～300mm的防护薄膜组件收纳容器而言少有刚性的问题存在。原本，小型容器就比较容易确保其刚性，且用射出成形的方式改变局部部位的厚度，便可轻易补强重要部位的壁厚。

另一方面，主要用于液晶用防护薄膜组件而边长超过500mm的大型防护薄膜组件收纳容器，一般是对ABS、丙烯酸等合成树脂片材以真空成形方式所制造而成。这是因为，若使用从一个地方或是数个地方的闸门将树脂以高速注入模具内的射出成形方式，其树脂流动距离太长而会造成制作上的困难。真空成形方式，是在模具上覆盖加热过的树脂片材，再以真空吸引成形，故即使大型物品也能轻易制得。

然而，真空成形方式无法形成厚壁，虽可用肋部作某些程度的补强，惟基本上只是弯曲相同板厚的片材所制成的而已，故使用该方式仍很难制得高刚性的物品。

该等肋部之例，就容器本体而言，如专利文献1等所例示的。

现有所用的补强用肋部，如图5所示的，基本上是设置于连结外形的对角线54a、54b的方向上的X字型构件。然而，该相互交叉的X字型的肋部，与预期相反，因为其交叉部(连续部)59的存在，造成扭转方向的刚性很低，托盘如图6所示的沿任何一方对角线扭转弯曲，使相对顶点靠近。

在以真空成形法所制作的该等肋部中，肋部因折曲的纵方向面而确保刚性，惟交叉(接续)的其他肋部切断了该纵方向面。然后，该肋部不仅切断对象肋部而扼杀了效果，其自身还变成弯曲点(线)，使变形度增大。

因此，仅靠肋部无法确保足够刚性，如专利文献2所示的，必须与其他补强体连结以确保刚性。

[专利文献1]特开2000-173887号公报

[专利文献2]特愿2005-081533号

发明内容

发明所欲解决的问题

如上所述，利用其他补强体时，虽能获得足够强度，但在运用上会产生各种不良的情况。其中最严重的是重量的增加，为了确保足够的刚性，在几乎所有的情况下补强体会比容器本体还重。然后，由于重量增加，对捆包、运搬等处理造成极大的不方便。

又，不仅补强体本身而已，还需要用来将补强体连结到容器本体上的零件，以及将其安装于容器本体上的工作流程，故比起仅有容器本体的情况而言成本大幅增加。又，其他尚有补强体与容器本体之间的间隙洗净困难等关于干净度的问题存在。

然而，目前并未存在一种未使用补强体而仅靠容器本体便具有足够刚性的防护薄膜组件收纳容器。

依以上所述，本发明的目的在于提供一种轻量化且低成本的防护薄膜组件收纳容器，其未使用其他补强体，便具有能承受保管、输送中的外力冲击，防止异物附着于内部收纳的防护薄膜组件的足够刚性。

解决问题的技术手段

本发明的防护薄膜组件收纳容器，是由下列构件所构成：容器本体，其载置防护薄膜组件；盖体，其被覆防护薄膜组件，并与容器本体以周缘部互相嵌合卡止，其特征为：容器本体是以树脂片材成形，且在容器本体上设置了多个的肋部，该肋部横切容器本体外形的对角线，而每个肋部均未与所述多个肋部中的其他肋部交叉，且每个肋部与所横切的对角线所夹的角度在30度以上(方案1)。

在此，该肋部与所横切的对角线所成角度宜在30度以上(方案2)。叉，该肋部不可与其他肋部交叉，但端部可与其他肋部或载置防护薄膜组件的台座连接(方案3)。

然后，若在该肋部的各个之中，肋部高度不一样，具有不同高度区域(方案4)的话，便能形成可发挥该肋部效果最大限度刚性的优异形状。

对照先前技术的功效

若依本发明，藉由适当的肋部配置，无须使用补强体也能显著提高容器本体的刚性，特别是扭转方向的刚性，故能以低成本制得轻量且具备高刚性的防护薄膜组件收纳容器。

本发明适用于一边长超过500mm的大型防护薄膜组件收纳容器时特别具有效果。然而，其大小并非限定要件，只要是以树脂片材成形而成的防护薄膜组件收纳容器，即使是一边长200mm的小型容器也能适用。虽然小型容器较无刚性的问题，但只要能藉由构造更进一步提高刚性的话，便能使片材厚度更薄，跟大型容器一样轻量化，降低成本。

附图说明

图1是表示本发明的防护薄膜组件收纳容器本体其肋部构造一实施例的概略图。

图2是表示本发明的防护薄膜组件收纳容器其全体构造的立体图。

图3是表示本发明的防护薄膜组件收纳容器本体其肋部构造的其他实施形态的平面图(a)，以及(a)的A-A线剖面图(b)。

图4是表示本发明的防护薄膜组件收纳容器本体其肋部构造的立体图。

图5是表示现有防护薄膜组件收纳容器本体其肋部构造一实施例的平面图。

图6是表示说明现有防护薄膜组件收纳容器本体的变形态样的立体说明图。

图7是表示使用现有铝制补强体的防护薄膜组件收纳容器本体其一实施例的平面图。

图8是表示本发明的防护薄膜组件收纳容器本体其一实施例的平面图。

图9是表示使用现有肋部构造的防护薄膜组件收纳容器本体其一实施例的平面图。

主要附图标记说明

11防护薄膜组件收纳容器本体

12防护薄膜组件载置台

13肋部

14容器本体外形的对角线

a肋部与所横切的对角线所成角度

21防护薄膜组件收纳容器本体

22盖体

23夹具

31防护薄膜组件收纳容器本体

32防护薄膜组件载置台座

33a、33b、33c、33d肋部

34肋部

35容器本体外形的对角线

41肋部

42段差部所产生的平面

51防护薄膜组件收纳容器本体

52防护薄膜组件载置台

53a、53b肋部

54a、54b容器本体外形的对角线

55、56、57、58容器本体角落部

59肋部的交叉部

71防护薄膜组件收纳容器本体

72防护薄膜组件固定插销

73插销支撑部

74补强体固定具

75铝合金制补强体(短)

76铝合金制补强体(长)

77防护薄膜组件

81防护薄膜组件收纳容器本体

82防护薄膜组件载置台

83肋部

84肋部

85(防护薄膜组件用)固定插销

86插销支撑部

87防护薄膜组件

91防护薄膜组件收纳容器本体

92防护薄膜组件载置台

93肋部

94防护薄膜组件固定插销

95插销支撑部

96防护薄膜组件

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明的防护薄膜组件收纳容器一实施形态。

图1是表示本发明的防护薄膜组件收纳容器(本体)一实施例的概略图，图2是防护薄膜组件收纳容器全体的立体图。又，图5是具备现有所用肋部构造的容器本体，图6是表示抬起图5的容器本体的角部时的变形态样。

在现有防护薄膜组件收纳容器本体51(图5)中，朝扭转方向施加外力时，例如，施加将角部57朝上方抬起的力量时，该容器本体51会沿对角线54b曲折。

此时，本来肋部53b应对抗该扭转变形，惟因交叉肋部53a在交叉部59之处将该肋部切断，故无法发挥充分的抵抗力。

而且，因为交叉肋部53a与对角线54b几乎一致，故该肋部本身变得最容易弯曲，如图6所示的成为变形基准点。

本发明即是有鉴于此而经过各种形状试作并比较检讨之后所完成的。

在图2中，防护薄膜组件收纳容器本体21上载置防护薄膜组件(未经图示)，并由盖体22所覆盖。然后，盖体22与容器本体21，以黏贴胶带等(未经图示)密封固定，或是以夹具23等连结工具固定。

容器本体21以及盖体22可用树脂板材黏接制作而成，惟若考量清净度、量产性等面向，则宜用真空成形法制作为佳。

又，盖体、容器本体的材质可从丙烯酸、ABS、PVC等树脂中选择适当材质，惟为了减少静电所造成的异物附着，宜使用可防止静电的材料。然后，盖体宜为透明或半透明以便于确认内部情况，容器本体宜为黑色以便确认是否有异物附着。

盖体22嵌合于容器本体21的周缘部上，该间隙宜尽量缩小，以防止异物从外部侵入。然后，容器本体21宜设置多个个如图1所示横切容器本体外形的对角线14，且未与其他肋部交叉的肋部13。在图1的例中，该等肋部13设置了4根，惟设置4根以上也没有关系，只要因应容器本体大小或外形形状适当设置即可。

又，此时肋部13与对角线14所成角度a宜在30度以上，更宜尽量接近90度为佳。在扭转方向的外力作用于容器本体的情况下，肋部横切对角线的角度为90度时能发挥最大的抵抗力，若在30度以下则不仅效果变得极小，肋部本身也容易变成扭转变形的弯曲线。

图3表示该肋部配置的其他实施形态。其与图1相同，也设置了横切对角线35的肋部33a、33b、33c、33d，该等肋部虽未与其他肋部交叉，但端部与防护薄膜组件载置台座32以及其他肋部连接。在肋部的端部连接，几乎不会造成刚性降低的问题。

一般使用的防护薄膜组件其外形长边与短边的比率，在几乎所有的情况下，以该等方式设计稳定性较好，也比图1之例实用。

再者，在图3(a)的肋部33c中，如A-A剖面端视图(图3(b))或是图4那样，肋部的高度并非一定，宜具有不同高度的区域为佳。

肋部扭转变形时，如图4以及图6所示那样其自身容易变成变形的弯曲线，惟若在肋部41中另设置其他表面(因段差部所产生的平面42)，便能减少肋部本体的变形量。换言之，该表面42亦可说是构成用来补强肋部41的其他补强肋部。

然后，该等肋部的宽、高度、配置、根数、剖面形状等，因应所需要的容器本体刚性以及成形性适当设置即可，在该等图示的形态中并未作任何限定。

实施例

以下，说明本发明的实施例，惟本发明并非仅限于此。用防止静电ABS(黑色)片材，以真空成形法制作出如图8所示形状的防护薄膜组件收纳容器本体81。

该收纳容器本体81的大小为外形690×540mm、高度30mm、片材厚度3mm。各肋部的宽为20mm。除了横切对角线的肋部83以外，更为了补强而在中央部设置与肋部83几乎平行配置的肋部84。

肋部83设置与图4立体图相同的段差，肋部全体高度为30mm，段差部高度为20mm。

肋部83朝天面与段差面的连接角度宜为直角，惟考虑成形性则设置成60度。又，配置于中央部的肋部84，为了防止输送中防护薄膜摇晃接触，高度降低到20mm。

然后，为了将防护薄膜组件固定于该容器本体内，配合收纳的防护薄膜组件的位置将聚苯硫(polyphenylene sulfide，PPS)制的固定插销85以及ABS制的插销支撑部86用螺栓(未经图示)安装好。固定插销85插入插销支撑部86中，以便受到支撑，并形成可利用锁定机构脱开的构造。

固定插销85的前端形成可插入设置在防护薄膜框架87侧面上的夹具穴(未经图示)的构造，且在与防护薄膜框架87接触的面上安装了用来防止发尘的环状的viton(杜邦公司制氟化橡胶的商标)制的缓冲构件(未经图示)。

之后，在无尘室内用清净的纯水洗净，实际将防护薄膜组件87载置于准备完成的防护薄膜组件收纳容器本体81的防护薄膜组件载置台82上，并用固定插销85固定。

然后，将容器本体81置于水平固定盘上，试着朝上方稍微抬起本体的1个角落部。结果，容器本体81几乎没有扭转变形，又，所载置的防护薄膜组件仍牢牢的固定在容器本体81的表面上，并未发现任何变化。

又，卸开固定插销85，观察防护薄膜框架87上固定插销85插入的夹具孔，并未发现任何污染。然后，该容器本体重量为1.38kg。

比较例1

与上述实施例相同，以真空成形法制作如图9所示形状的防护薄膜组件收纳容器本体91，并在该容器本体91上安装固定插销94以及插销支撑部95。之后，在无尘室内用清净的纯水洗净，并实际将防护薄膜组件96载置于准备完成的容器本体91的防护薄膜组件载置台92上，用固定插销94固定。

评价方式与上述实施例相同，将该容器本体91水平静置后，试着稍微朝上方抬起容器本体的1个角落部。结果，该容器本体91沿肋部93产生如图6所示的曲折。

此时，观察载置于防护薄膜组件载置台92上的防护薄膜组件96，发现其沿该方向(对角线方向)产生与容器本体变形相同的弯曲，且在防护薄膜的一部份上产生皱折。又，从防护薄膜组件96的夹具孔将固定插销94拔出后，发现夹具孔内因为插销强力摩擦而产生很多即使在萤光灯下也能立即辨认出来的异物附着，其就保持干净度的要求而言是完全无法容许的事情。

比较例2

上述实施例，与比较例1相同，以真空成形法制作如图7所示形状的防护薄膜组件收纳容器本体71，并安装固定插销72以及插销支撑部73。

又，补强用的6000是铝合金棒状补强体75、76(宽40mm×厚度5mm)以日字型组合于该容器本体71外侧，ABS树脂制的插销支撑部73、补强体固定具74以及容器本体71以螺栓(未经图示)牢固的连结在一起，容器本体便准备完成。

之后，在无尘室内用清净的纯水洗净，实际将防护薄膜组件77载置于准备完成的容器本体上，并用固定插销72固定。

然后与上述实施例、比较例1相同，将防护薄膜组件收纳容器本体71水平置于固定盘上，试着将本体的1个角落部朝上方稍微抬起。

结果，容器本体几乎没有扭转变形，又，所载置的防护薄膜组件仍牢牢的固定在容器本体表面上，并未发现任何不良变化。

然后，从防护薄膜组件77的夹具孔将固定插销72拔出，在暗室内用卤素灯观察，发现夹具孔周边仍然很清净。

然而，该容器本体的重量为2.96kg，与上述实施例比较是2倍以上的重量。

Claims (3)

1.一种防护薄膜组件收纳容器，包含：

容器本体，用以载置防护薄膜组件；

盖体，用以覆盖防护薄膜组件，且与容器本体以周缘部互相嵌合卡止，

其特征为：

容器本体以树脂片材成形而成，且在容器本体上设置了多个肋部，这些肋部横切容器本体外形的对角线，而每个肋部均未与所述多个肋部中的其他肋部交叉，且每个肋部与所横切的对角线所夹的角度在30度以上。

2.如权利要求1所述的防护薄膜组件收纳容器，其中，

所述肋部的端部与其他肋部或载置防护薄膜组件的台座连接。

3.如权利要求1或2所述的防护薄膜组件收纳容器，其中，

在各个所述肋部中，肋部的高度并非一定，而具有不同高度的区域。