TW201131800A - Groove machining tool for use with a thin-film solar cell - Google Patents

Description

201131800 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種溝加工工具，特別是保持在失具， 連同夾具在沿積體薄膜電池基板之刻劃預定線上相對移動 而形成溝者。 【先前技術】 在製造積體型薄膜太陽電池（integrated type thin-fiim s〇lar cell)時，需刻劃（scribe)去除形成在基 板上之薄膜，彳于以形成為絕緣之條紋（stripe)狀溝。為形 成此溝之工具’有使用如專利文獻i之工具。該專利文獻 1所示之工具為’具有針_«刀尖。如是將此工具向 形成溝方向移動’即可形成條紋狀溝。 盘該專利文獻1所示之工具，當刀尖磨損而呈圓形時， ^刻劃線接觸之膜端部附近會掀開，以致影響溝加工之品 買。 此直如是’Γί利文獻2之工具及製造方法之提議。於 此專利文獻2之製造方法， 形成溝用工具及剝離用工具為在薄祕成條紋狀溝，採用 形成 '溝用工具’為在a 工目办 在加工時之工具移動方向成正交之 具寬度之兩化，具有2彳π „ Λ 個二角錐狀之凸部。而在該2個 凸部之間形成向上方凹入夕Α 具具有略與溝同寬之平垣刀尖4凹心而且’剝離用工 向移首先將形成溝用工具向溝形成方 田。冓寬度方向兩端部形成2個條紋狀 322597 4 201131800 溝。其次，剝離用工具同樣向溝形成方向移動，而剝離殘 — 留於2個條紋狀溝間之薄膜。 • 專利文獻1 :日本實開昭63-16439號公報 專利文獻2 :日本特開2002-33498號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 使用專利文獻2之溝形成用工具進行溝加工時，雖能 抑制溝端部之膜剝離，但是對加工品質難能滿意。在溝加 工時無法充分抑制膜剝離，無法正確形成圖形，影響太陽 電池基板之發電效率。 又，於專利文獻2所示之方法，首先以溝形成用工具， 先形成2條溝，再將殘留之膜用剝離用工具來剝離，而為 形成溝要有2加工步驟。如是加工費時。且為形成溝需要 有溝形成用與剝離用之2種工具。 本發明之目的為提供一種溝加工工具，能在形成溝時 可抑制溝端部之膜剝離，獲得高品質加工，且能以簡單的 加工步驟進行溝加工者。 (解決問題之方法） 本發明之第1種薄膜太陽電池用加工工具，係由夾具 所保持，連同夾具沿積體型薄膜太陽電池基板上之刻劃預 定線相對移動用以形成溝者。此溝加工用工具，係具備： 工具主體，被保持在夾具；及刀尖部，形成在工具主體之 前端部。刀尖部具有在工具移動方向一端之前端，朝向與 工具移動方向交差之方向延伸之刀刃，而刀刃係自刀尖部 5 322597 201131800 =:=;r;r第1端之-部分 傾斜。 成正交之方向’朝向工具移動方向之後方 具工工具’其刀尖部之刀刀為自底面看之，對工 工 ° ’向工具移動方向之後方傾斜。因此將此溝加 了基板相對移動以形成溝時，溝端將被刀口所切 二：此’溝端部係受強大剪斷力所切斷，而可抑制溝以 卜°!5刀之膜剝離。又因刀刀俾自笛 第知向第2端傾斜，在 去除之膜能沿刀刀之傾斜面向溝中央部順暢地排 二如疋’可抑制經去除之膜影響切斷性能，而能穩定進 订向品質之溝加工。也不必如前使用兩種工具。 本發明之第2種薄膜太陽電池用加工工具為，在第1 種發明之溝加工工具中’刀尖部之刀刃為自底面看之，從 第1端至橫跨第2端以相同角度傾斜。 &此時’在刀刀之第1端方去除之薄膜可順暢排出至第 2端方而溝之加工品質至為穩定。 本發明之第3種薄膜太陽電池用加工工具為，在第j ，發明之溝加I工具中，刀尖部之刀刀係具有形成在第1 端與第2端之-對刀口，及形成在一對刃口間而向内凹入 之退餘部。 在此，由一對刃口去除溝寬度方向兩端部之同時，溝 中央部則由退餘部去除。如此，只要向溝形成方向移動溝 加工工具’即能切除溝寬度方向之兩端與中央部，僅由單 加工步驟即能進行溝加工。又，即使刃口磨損，因形成 322597 6 201131800 在一對刃口間之退餘部為向内凹入而可抑制整體刀尖變越 -圓。如是可長時間維持良好之溝加工品質。 ’ 本發明之第4種薄膜太陽電池用加工工具為’在第3 種發明之溝加工工具中，刀尖之一對刃口及包含退餘部下 端緣之面’在加卫姿勢上係與薄膜表面成為平行。 此時如同第3種發明，只要向一個方向移動工呈， 即可以高度加工品質切斷溝寬度方向之兩端。 ’、 本發明之第5種薄膜太陽電池用加工 種:明之溝加工工具中，刀尖部在工具移動方向之另在一第方 1 由：有向與工具移動方向交差之方向延伸之刀刀。 底面看，自第1端至第2端之至少包含第 1 &之一口p刀，係對和工且 具移動方向後方射;卜〃 ° U方向’朝向工 此時於工具之刀尖部，刀刃係形 當工具移動方向-端之刀刀磨損時，二= 女裝方向而使用工具移動方向之另 ^更工具 之工具移動方向一端之 又如將刀尖部 刃之傾斜方向作成相反方向時具:動方向另-端之刀 向移動時’可形成良好之高品質溝在時與復動時之兩方 種發為’在第5 刀，與工具移動方:以之工具移動方向—端之刀 一方向傾斜。另—％方刀刃，係以同一角度朝向同 此時工具移動方向一端之刀刀磨損時，可變更工具安 322597 7 201131800 裝方向，使用工具移動方向後 本發明之第7插— 叙刀刀。 種發明之溝加、太陽電池用加卫工具為，在第5 刀，與工具移動方^刀尖σ卩之工具移動方向-端之刀 反方向傾斜。向另一端之刀刀，係以同一角度朝向相 良好I::時’與復動時之雙方向之移動時，可形成 種發二d8種薄膜太陽電池用加工工具為，在第1 ，發月之溝加工卫具中，刀尖部係沿著薄膜 向，以相同寬度延伸至工具主體全寬度。㈣成方 此即2’沿著溝形成方向以相同寬度延伸。因 此即使刀尖磨損，僅雲出攸τ上 使用原工具。 >正加工形成退餘部，即可繼續 本發明之第9種薄膜太陽電池用加工工具為，在第i 種至第8種發明之溝加工工具中，工具主體形成為矩形。 於本發明之工具，有必要在溝加工時固^工具之姿 勢。即，例如對於形成溝之方向，工具安裝在夹具成為傾 斜時，就無法以所欲之溝寬度劃線，由工具前端對溝端部 之切斷性能也會降低。 如上所述，為防止工具安裝角度之錯誤所發生之問 題’在替換X具時’有需要調整工具安裝角度之作業。以 往為此調整係f要將I具與夾具安裝在另備之卫具角度調 整用裝置，並利用顯微鏡確認工具之安裝角度。如此調整 作業至為費工且費時而麻煩。 322597 8 201131800 如是，在本第9發明，工具主體為矩形。而夾具也形 — 成矩形溝，將工具嵌入該矩形溝，即可規制工具之安裝角 - 度。因此，將溝加工工具安裝在夾具時，至為簡易且安裝 姿勢也正確。 (發明之效果） 依據本發明之薄膜太陽電池之溝加工，在形成溝時， 特別可抑制溝端部之膜剝離。又，膜能以單一工具確實去 除，且可保持形成品質穩定之溝。 【實施方式】 第1圖為採用本發明實施方式之積體型薄膜太陽電池 用刻劃裝置之外觀透視圖。 實施方式1 [刻劃裝置之整體構造] 本裝置具備：機台（table)l，可裝載太陽電池基板W ; 夾具組裝體（holder assembly)3，設在刻劃頭（scribe head)2 ;及各有2個照像機4與監視器5。 機台1在水平面内可如第1圖之Y方向移動。又，機 台1在水平面内可旋轉向任意角度。 刻劃頭2，係由移動支撐機構6在機台1之上方可向 X、Y方向移動。至於X方向係如第1圖所示，在水平面内 與Υ方向正交之方向。移動支撐體6係具有：一對支撐柱 7a、7b;導向桿8，跨設在一對支撐柱7a、7b間；及馬達， 為驅動形成在導向桿8上之導軌9。刻劃頭2沿導軌9如 上述可向X方向移動。而在此刻劃頭設有未圖示之氣缸。 9 322597 201131800 由此氣缸使夾具組裝體3沿線性導軌可上下移動 2«像機分別固定在台座12。各台座匕可沿設在支 樓台13之向X方向延伸之導軌14移動。2部照像機4能 上下動’由各照像機4所拍之圖像將顯示在所對應之 器5。在此，在太陽電池基板w之表面設有特定位置:對 準標記。此對準標記經由2部照像機4拍攝，對準標記之 位置受特定。如是，依據受特定之對準標記位置即^檢測 裝載在機台1上之太陽電池基板w之方向偏移。 [夾具組裝體] 爽具組裝體3固定在刻劃頭2之一面。 3連同刻劃頭2可向W方向移動，也可對刻劃頭2向上 下移動。另標示夾具組裝體3於第2圖與第3圖。第2圖 為夾具組裝體3之正面圖，第3圖為其側面圖。 夹具組裝體3具備：夾具15，固定在刻劃頭2;溝加 工工具16，保持在夾具15;及固定板別。 〈夾具〉 夾具15為板狀構件’具有要安裝在刻劃頭2之第工 主面17與在相反面之第2主面18。又，在失具15在上下 形成2個貫穿孔19，分別由穿過貫穿孔以2支螺检別 將夾具15固定在刻劃頭2。又，在夹具15自下方向上方 形成有固定長度之溝2卜溝21形成在第2主面Μ，為一 種有固定深度之矩形狀。又在此溝21上部形成阻擋件 在此阻擔面21a阻擋有溝加工工具16之上端面。因 此溝加工工具16之向上方移動受規限。 322597 10 201131800 〈溝加工工I> 溝加工工具16係插入在夾具15之矩形溝21 ,又，如 上述，溝加工工具16之上端面擋接於矩形溝21之阻擋面 21a。溝加工工具16係由超硬合金或燒結鑽石等硬質材料 所形成，由工具主體22與刀尖部24所構成。 ’ 工具主體22對應於夾具15之矩形溝21形成為矩形。 又，工具主體22之下部，即連接刀尖部24之部分，自工 具移動方向（第2圖右侧）看，成為愈向下方愈細之傾斜 面。於是，刀尖部24在工具主體22之刀尖部盥工且 22形成為一體。 八 第4圖（a)至第4圖（d)為刀尖部24之詳細圖。但是第 4圖（b)為放大第4圖（a)之一部分者，第4圖（(：）為自底面 看刀尖24之圖。又，第4圖（d)為在加工時工具姿勢之放 大圖。 刀尖部24具有：底面24a;前面24b與後面24c ;及相 對之第1侧面24d與第2侧面24e。 在底面24a之長度方向之一端部，形成為對底面24a 傾斜固定角度0 1之刀尖面25a。此刀尖面25a在溝加工工 具16安裝在刮線頭2之加工姿勢下為和機台丨之表面，即 和基板W之表面成平行。又，前面24b及該前面24b之前 端邊緣之刀刃25’對工具移動方向Μ正交之假想線n向工 具移動方向後方傾斜角度α。此傾斜角度α，以5。以上35 以下為佳。如此使前面24b與刀刀25傾斜，可在刀刃寬 度方向（刀尖部24之厚度方向）之兩端形成一對刃口 25b、 11 322597 201131800 25c。於是，自底面看-邊之刀口姊係形成祕角，而自 底面看另一邊之刃口 25c則形成為銳角。 兹舉刀尖面25a與前面24b之一例如下。 刀災面25a之長度L:5至15//m 前面25b之高度至〇·7πμ 再者，此等數值僅為一例，因薄膜之材質及工具之材 質等得有各種變化。 使用如上之溝加工工且 具16來加工時，如第4圖（d)所 示’對太陽電池基板W，裳膝π小 &將刀A部24之前面24b及後面 24c對基板表面固定為傾斜角度&。將溝加工工具16固 疋成如此姿貝J可如上述在加工時，刀尖面心能與基 板W表面平行。由於在如此加工姿勢下，因刀尖面脱與 基板W之表面為平行，包含—對刀〇 之下端及刀 刃25(前面部24b之前端刃口）之面也與基板⑻之表面平 行。 再者’角度θ2ιΧ65。至75。為佳。以 裝溝加工工具16來加工，則 寻1貝卄減女 膜。 了抑制溝成形時剝離多餘之 〈固定板〉 如第2圖與第3圖所示，固定柄 之2個貫穿孔27。*是固定成橫方向並排 板26係由2支螺栓穿過各貫 穿孔27旋人與夾具15對應之螺栓孔28而固定於爽具15 之第2主面18。如是，固定板26將覆蓋插入在夾具15之 矩形溝21之溝加工工具16上方約1/3。 '、 322597 12 201131800 ^ 1 7 翁貫穿之螺栓孔26a。螺栓孔脱 在固疋板26固定在夹具15之狀態設在臨下溝加工工且16 之位置。於是對此螺栓孔26a旋入螺栓構件3〇，螺检構件 3〇之前端將溝加工工具16減在矩形溝21之底面。由此 可防止溝加工工具16自矩形溝21脫落。 <溝加工工具之安裝〉 要在基板W之薄膜上形成溝時，設定成為使溝加工工 具16之刀刀面25a能與基板¥之表面平行，使溝加工工具 16沿溝形成方向移動。為此，f要對夾具15以恰當角度 安裝溝加工工具16。 於此實施方式，因工具主體22為矩形狀，且在夹且 15形成有矩形溝2卜可將矩形狀之工具主體以嵌入矩形 溝21，即能以恰當角度將溝加工工具16固定在夾具15。 又，包含此溝加工工具16之夾具組裝體3,工具主體 對太陽電池基板w之表面以規定角度（例如7(Γ)傾斜固定。 [動作] 為使溝加工工具16能成為如上之加工姿勢而固定刻 劃頭2。於是，每次使機台丨向γ方向移動規定間距，使 夾具組裝體3下降，將溝加工工具16之刀尖25推壓到太 陽電池基板W之表面。然後使爽具組裝體3向χ方向移動 即可在太陽電池基板W之表面形成沿χ方向之溝。 [實驗例] 第5圖（a)至（b)為使用本實施方式之溝加工工具去除 薄膜時之監視圖像。第5圖（a)係使用刀刀25之傾斜角度 322597 13 201131800 lOO^/sec^OO^/sec ^ 800 mm/sec，所加工者❶ 傾斜角度α =20。之工具第5圖⑹係使用刀刃％之 圖(伽刀"Λ:樣移，工者。第5 動速度加工者。X，C30之工具，以同樣移 色部分為薄臈殘留部乂。而 部分為溝加工部分，黑 Λρ 24 ' 刀而於各溝，在圖上方端部為刀尖 ρ 24之第2側面24e所接觸部分。 於各圖可知，主A、莫工 0時在溝兩端之薄膜被去除成為波 工品質不佳。另一方_20。與_30。時，溝上 為銳角之刀口 25c所接觸部分）加工成較為直 綠狀，加工品質較佳。 由以上實驗結果可知： 可因= 刀刀25傾斜向與工具移動方向成正交方向，即 因形成為銳角之刃口而提高剪斷效果。 斜而Γ屮由刀刀25之刀口部分所去除之膜，因刀刃5之傾 [第1實施方式之特徵] 有不利之影響。 方向(二刀：4:25係自底面看為傾斜向工具移動 …剪:=成溝時’在溝寬度方向端之 部分=果會―是可抑制絲― (2)在溝加工時所去除之膜， 之前面她自溝-端順暢排出至溝°中^ 所去除之膜阻礙切斷性能，得以維持穩定高品質因之 322597 14 201131800 (3)將矩形之工具主體22插入於夾具15之矩形溝，用 以規制溝加工工具16之安裝角度。因此能以簡單構成且可 簡易安裝作業，將溝加工工具16保持固定姿勢安裝在夾具 15。也因此可由此溝加工工具16所形成之溝之加工品質至 為穩定。 又，溝加工工具16之刀尖部24，係沿著形成溝之方 向，以相同寬度連續延伸到工具主體2之整體長度。因此 即使刀刃25純’也僅需修正加卫刀纟即能簡易地回復剪 斷效果，保持工具耐久。 [第1實施方式之變形例] 在此，沿所刻劃作溝加工時，有（A)溝之單邊容許膜剝 離時，與（B)溝兩邊均需抑制膜剝離時之兩種情形。在 々It形下使用如上之溝加工工具16進行溝加工，即可得所 欲品質之溝。另-方在⑻之情形下，則使用如第4圖之溝 加工工具無法獲得能滿足之溝品質。 〜於是’在（B)之情形，則由第6圖所示之構成，才能獲 得所欲品質之溝。即，可使用刀尖部之傾斜角度相反之一 對溝加工工具來進行溝加工即可。但是第6圖所示2组溝 加工工具’僅為自底面看刀尖部之形狀之模式圖。 】 係使用如同第1實施方式之第1溝加工工且 16,及使用與此第i溝加工1具16之刀㈣度相反之第1 溝加工工具16。又對夾具固定此等2組溝加工工具16、 此日夺方之清加工工具16 $ W *設置在較另一 方之溝加工工具之工具移動方向之上游方。 322597 15 201131800 如此使用溝加工卫具16、16，，即可提高溝兩端部之 加工品質。 第2實施方式 在第1實施方式係僅在刀尖部24之工具移動方向之〆 端設刀刃5，但是亦可如第7圖⑷、（b)所示，在刀尖部 34、34’之工具移動方向兩端設刀刀。再者，第7圖⑷、 (b)為自底面看刀尖部34、34，之圖。 具體而言，第7圖(a)所示之刀尖部34為如同第u 施方式具有底面34a、前面34b、背面34c、及相對之第】 側面34d與第2侧面34e。於是刀尖部34之前面34b及背 面34c，分別在其下端具有與工具移動方向M交差之方向 延伸之刀刃35a、35b。刀尖部34之刀刃35a、3北對與工 具移動方向Μ正交之方向相同方向傾斜相同角度。 第7圖（b)所示刀尖部34,亦有大致相同之構成。即， 具有底面34a’、前面34b，、背面34c，、及相對之第i侧 面34d，與第2侧面34e’。於是前面34b，及背面34c，分別 在其下端具有刀刃35a，、35b，。又，於此第7圖（匕）所示’ 於刀尖部34,之刀刃35a，、35b，係朝向與刀刃35a與刀刀 35b相反之方向傾斜相同角度。 使用如此具有刀尖部34、34,之溝加工工具，即使一 方之刀刃35a、35a，磨損，只要變換各溝加工工具之安裝 方向，可由另一方之刀刃35b、35b，繼續加工。 第3實施方式 [溝加工工具] 322597 16 201131800 第8圖（a)、（b)為由第3實施方式之往復機頭用溝加 工工具。第8圖（,a)、（b)係自底面看刀尖部之圖。 在此「往復機頭用溝加工工具」為在往復移動之往動 時及復動時之雙方向移動時，可加工溝一端部之工具。 詳細言之，工具一邊之刀尖部44具有底面44a、前面 44b、背面44c及相對面之第1側面44d與第2側面44e。 而分別在刀尖部44之前面44b與背面44c下端，有朝向與 工具移動方向Μ交差之方向延伸之刀刃45a、45b。刀尖部 44之刀刃45a與45b，對與工具移動方向Μ正交之方向相 反之方向傾斜相同角度。 使用如此刀尖部44之溝加工工具進行溝加工時，首先 在往復移動之往動時，由一方之刀刃45a加工溝。此時溝 之一端部係被刀刃45a之刃口部分切割，因此溝之一端之 加工品質良好。又，在復動時，安裝有溝加工工具之機頭 位置發生移動，而將連接於先前己被加工之溝之一端部， 由刀刃45b加工。此時，如同先前之加工，溝之一端部係 由刀刀45b所切斷，因此溝一端部有良好之加工品質。 至於另一方之溝加工工具之刀尖部44’也有同樣構 成，僅有和另一方工具之刀尖部44，僅有刀刃45a’、45b’ 之傾斜方向不同。 [往復機頭] 如上述，加工時需要將工具對基板表面傾斜固定。於 是，裝設有如第8圖（a)、（b)所示之工具之機頭，支撐工 具需搖動自如以便在往動時與復動時能切換工具之傾斜角 17 322597 201131800 度。 =上之機頭構造為第9圖所示 板狀失具m，搖動構件㈣及^ 下方向二未圖示之導軌’支撐在基座116能對其上 i Ί。失具117具有夾具主體122、及支f槿 件123,固定在失且 克役構 板狀，在其上部有;體22表面。失具主體⑵形成為 你丹上。p有開口 122a。支撐 矩形狀構件，形成貫穿礼m ^ 3為秩向較長之 118。 ⑨貫穿孔123a’在内部可穿通搖動構件 搖動構件118具有在下部之工具安裝部124，及自工 具安裝部124·上方延伸㈣成之延長 = 裝部124形成有溝， 广： 將工具固定在溝內如 丹由固疋板124a H夕太二 在延長部125下部之水平方向，與形 , °交之方向貫穿形成孔125a。於是以貫穿此 二插銷26為中心，摇動構件118構成為;= 孔 在延長部125上端部m動自如。 •，各規—二^ 體122之作為阻播件(―之筒狀構件，及插= 構件之彈菁。而且由於各彈菁之前端撐接於延長部= 上端部腿，搖動構件方能如第9圖所示維持在令立位 置。又’搖動構们18搖動而推餘—彈簧，使延長部⑵ 之上端部125b擋接於筒狀構件，而規限搖動角度。 氣缸119係固定在氣紅支揮部13〇之上面。氣缸支撐 部130係設置在夾具117之上面，而固定在基座116。^ 322597 201131800 缸支撐部130形成有向上下方向貫穿之孔，氣缸119之活 • 塞桿（未圖示）穿過此貫穿孔，而連桿前端連結於夾具117。 ， 又，在基座116上部設有彈簧支撐構件131。彈簧支 撐構件131與夾具117之間設有彈簧132，由此彈篑132 將夾具117向上彈壓。因此彈簧132幾可抵消夾具117本 身之重量。 夹具117之左右兩邊設有一對空氣供給部134a、 134b。該一對空氣供給部134a、134b之構造相同、各具連 結部35與喷嘴136。 [溝加工動作] 使用上述裝置進行溝加工時，驅動氣缸119降下夾具 117及搖動構件118,使工具前端接觸薄膜。此時工具對薄 膜之加壓力，可由供給至氣缸119之空氣壓力調整。 其次，沿刻劃預定線移動機頭103。往動時因工具之 刀刃與基板上薄膜之接觸阻力，使搖動構件118以插銷126 為中心朝時鐘方向搖動。此搖動因搖動構件118上端部 125b擋接於右邊之規限構件127a而受規限。如是工具乃 照規定之角度傾斜姿勢移動而形成溝。 隨後使機頭103對基板相對移動，使工具移動至接下 來要下降之刻劃預定線上。並且如同上述，將工具推壓在 基板上之薄膜，與上述相反方向移動機頭103。 於此復動時，因工具之刀刃與基板上薄膜之接觸阻 力，使搖動構件118以插銷126為中心朝反時鐘方向搖動。 此搖動因搖動構件118上端部125b擋接於左邊之規限構件 19 322597 201131800 127b而受規限。如是工具2相反於往動時之傾斜姿勢移動 而形成溝。 由如上動作，可在工具之往復移動時進行溝加工。再 者，在往復機頭，為切換搖動構件118之搖動角度，可另 設氣缸等之驅動機。 第4實施方式 如第6圖所示，在第1實施方式之變形例，係使用2 組溝加工工具對溝兩端部由個別工具之刃口部分加工，但 是也可由1組溝加工工具對溝兩端部由工具之刃口部分加 工。此時之溝加工工具有如第10圖所示。此第4實施方式 之溝加工工具，僅有刀尖部之形狀與第1實施方式不同。 第10圖所示之溝加工工具216之刀尖部224,具有底 面224a、前面224b、背面224c，及第1側面224d與第2 側面224e。 底面224a形成為長方形。背面224c與底面224a正交 而朝向上方延伸，而與工具主體222之面在同一平面。第 1與第2側面224d、224e係由底面224a之長邊與底面224a 正交而朝向上方延伸，形成為互相平行。再者，在工具主 體222之下部連結第1與第2側面224d、224e之部分，有 如第1實施方式，成為愈向下方愈細之傾斜面。 又，溝加工工具216之刀刃部224沿著形成溝之方向， 以同樣寬度橫跨工具主體222之整體長度連續延伸。 於如上之刀尖部224，在底面224a與前面224b之下 端部分之角度形成刀刃面225a。以下說明刀刃面225a之 20 322597 201131800 詳細情形。第ι()圖⑹為放大第10圖（a)之一部分者而 第10圖（C)為放大加工時之工具姿勢之圖。 在底面224a之長度方向之一端部，形成對底面2恤 僅傾斜規定角度0 1之刀尖面225a。此刀刃面225a，在此 溝加工工具216安裝在機頭之加工姿勢時，與機台丨之表 面亦即是與基板W之表面成平行之面。又，前面_及此 前面224b之前端刃口之刀刃225，形成為向内邊凹入之曲 面部。因形成此曲面部，可在刀刀寬度方向（刀尖部224 之厚度方向）之兩端形成一對刃口 225b、225c，而在此一 對刃口 225b、225c之間形成向内邊凹入之退餘部 (relief)(前面 224d)。 在此’舉刀刃2 5之一例如下。 刀尖面225a之長度L:5至15/zm 前面（刀刃及退餘部）之高度Η: 〇·5至ο.?咖 前面（曲面部==退餘部）之深度D : 3至5/z m 此等數值僅為一例，因薄膜材質或工具之材質等而可 有種種變化。 使用如上所述之溝加工工具216進行加工時，係如第 10圖（c)所示對太陽電池基板w將刀尖部224之前面224b 及背面224c對基板表面固定為傾斜角度θ。以此姿勢固定 溝加工工具216，則如上述在加工時刀尖面225a將與基板 W成為平行。以如此加工姿勢，刀尖面225a與基板W之表 面成為平行，因此包含構成刀刃25之一對刃口 225b、225d 及刀刃225(前面224ib之前端刃口）面將與基板W之表面成 322597 21 201131800 平行。 再者，角度θ 2以65。至75。為宜。溝加工工具216以 如此角度安裝加工，則在形成溝時可抑制剝離多餘之膜。 [第4實施方式之特徵] 、 於本實施方式，係以一對刃口 225b、225c及刀刀225 能與基板表面平行之加工姿勢刻劃薄膜。因此，可用單一 加工步驟’在溝端部附近形成少有剝離或掀開之加工品質 良好之溝。又，由於具有一對刃口 225b、225c及退餘°部， 即使刀口 225b、225c磨損而刀尖整體鈍圓，也可長期形成 穩定品質之溝。 ’ [第4實施方式之變形例] 於上述實施方式之刀刃部分，自底面看係形成為u字 形狀，但是自底面看為V字形也可獲得同樣效果。 [其他實施方式] 本發明並不受限於上述實施方式，在不脫離本發明之 範圍可有種種變形或修正。 (a) 在上述實施方式之工具主體為矩形，但是工具主體 由圓棒形成亦可。此時之刀尖部與刀尖亦形成如前實施方 式，則如同前實施方式，能以單一加工步驟形成加工品質 良好之溝。 (b) 刀尖之具體實施例並不限定於上述例，可隨薄膜材 質或工具材質等規格能有種種變形。 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明之一種實施方式所採用之刻割裝置透 322597 22 201131800 視圖。 立體正面圖 第2圖係第1實施方式之夾具組裝 第3圖係第2圖之側面圖。 第4圖（a)至⑷係溝加工工具之外觀透視圖其—部 放大圖、底面圖。 第5圖（a)至（c)係溝加工實驗例圖。 第6圖係第1實施方式之變形例之溝加工例圖。 第7圖（a)及（b)係第2實施方式之溝加工工具之底面 第8圖（a)及（b)係第3實施方式之溝加工工具之底面 圖0 第9圖係安裝有第3實施方式之溝加工工具之往復機 頭之正面圖。 第10圖（a)至（c)係第4實施方式之溝加工工具之外觀 透視圖與一部放大圖。 【主要元件符號說明】 15 、 117 夾具 16、16’、216 溝加工工具 22 、 222 工具主體 24、34、34’ 刀尖部 24a 底面 24b 前面 24c 後面 24d 第1側面 23 322597 201131800 24e 第2側面 25、35a、35b、35a’、35b’ 刀刃 25a 刀尖面 25b 、 25c 刃口 44、44，、224 刀尖部 45a、45b、45a’、45b’、225 刀刃 a 角度 D 深度 H 度 L 長度 M 工具移動方向 N 正交之假想線 W 太陽電池基板 Θ H Θ1 角度 24 322597

Claims (1)

1. 201131800 七、申請專利範圍： 1·二臈太陽電池用溝加工工具，係由夾具所保持，連 具沿著積體型薄臈太陽電池基板之預定刻割 之線上相對移動而用以形成溝者，係具備： 一 工具主體，被保持在上述夾具；及 尖。卩肜成在上述工具主體前端部，其中 上述料料具有紅具移財向—狀 向與工具移動方向交差之方向延伸之刀刃， ^述刀77係由上述刀尖部之底面看之，自第i端至 ▲ ^之至）匕含第1端之—部分，對工具移動方向正 二方向’朝向工具移動方向之後方傾斜。 。月專利範圍第1項所述之薄膜太陽電池 工具，其中， 述刀大#之刀刀為自底面看之，從上述第1端橫 至上述第2端以相同角度傾斜。 申π專利範圍第1項所述之薄膜太陽電池用溝加工 工具，其中， 、十、势述刀大〇P之刀刃係具有形成在上述帛1端與上 端之一對刀口，及形成在上述-對刀口間而向内 凹入之退餘部。 申叫專利靶圍第3項所述之薄膜太陽電池用溝加工 工具’其中， 述刀尖之一對刀口及包含退餘部下端緣之面，在 加工姿勢上係與上述薄膜表面成為平行。 322597 1 201131800 申月專利feu第1項所述之薄膜太陽電池用溝加工 工具，其中， 述刀尖。卩在工具移動方向之另一方之前端，具有 月向與工具移動方向交差之方向延伸之刀刃， 、 述刀刀自上述刀尖部底面看，自上述第1端至上 返第2端之至少包含上述第1端之一部分，係對與工具 移動方向正交之方向，朝向工具移動方向後方傾斜。 .如申睛專利範圍第5項所述之薄膜太陽電池用溝加工 工具，其中， 过·刀尖σ卩之工具移動方向之一端之刀刃，與工具 ^動方向另i之利，係間—角度朝向相同方向傾 7. 如申請專利範圍第5項所述之薄膜太陽電池用溝加工 工具，其中， 上述刀尖部之工具移動方向之一端之刀刀，與工具 移動方向另-端之刀刃，係以同—角度朝向相反方向傾 斜0 8. 如申請專利範圍第丨項所述之薄膜太陽電池用溝加工 工具，其中， 上述刀尖部，係沿著上述薄膜上之溝形成方向，以 相同寬度延伸至工具主體之全寬度。 9. 如申請專利範圍第】至8項中任—項所述之薄膜太陽電 池用溝加工工具，其中， 上述工具主體係形成為矩形。 322597 2