CN102130217A - 薄膜太阳电池用槽加工工具 - Google Patents

Abstract

本发明提供薄膜太阳电池基板用槽加工工具，在集成型薄膜太阳电池基板的槽形成时，能够抑制槽端部的膜剥离、能够高品质地进行加工、且能够以简单的工序进行槽加工。该槽加工工具(16)是由保持器(15)保持、用于与保持器(15)一起在集成型薄膜太阳电池基板上沿着预定切割线相对移动而形成槽的工具。该槽加工工具(16)具备：由保持器(15)保持的工具主体(22)；以及形成于工具主体(22)的末端部的刀锋部(24)。刀锋部(24)在工具移动方向一端侧的末端具有在与工具移动方向交叉的方向延伸的刀刃(25)，从刀锋部(24)的底面观察，刀刃(25)相对于与工具移动方向正交的方向朝工具移动方向后方倾斜。

Description

薄膜太阳电池用槽加工工具

技术领域

本发明涉及槽加工工具，特别地，涉及由保持器保持、并用于与保持器一起沿着预定切割线在集成型薄膜太阳电池基板上相对移动从而形成槽的槽加工工具。

背景技术

当制造集成型薄膜太阳电池时，将形成于基板上的薄膜切割除去，由此形成用于进行绝缘的带状的槽。作为用于形成该槽的工具，使用如专利文献1中所示的工具。该专利文献1所示的工具具有针状或者扁凿状的刀锋。进而，通过使该工具在槽形成方向移动而形成带状的槽。

在该专利文献1所示的工具中，当刀锋由于磨损而变圆时，与切割线相邻的膜的端部附近的翘曲变大，槽的加工品质下降。

因此，提供有如专利文献2所示的工具及制造方法。在该专利文献2所记载的制造方法中，为了在薄膜形成带状的槽，使用槽形成用的工具以及剥离用的工具。

槽形成用工具在与加工时的工具移动方向正交的工具宽度方向的两端具有2个三棱锥状的凸部。进而，在这2个凸部之间形成有朝上方凹陷的圆弧状的凹部。并且，剥离用工具具有宽度与槽大致相同的平坦的刀锋。

进而，当形成槽时，首先使槽形成用工具在槽形成方向移动，由此在与槽的宽度方向两端部相当的部位形成2条带状的槽。接着，使剥离用工具同样在槽形成方向移动，从而将残留在2条带状的槽之间的薄膜剥离。

[专利文献1]日本实开昭63-16439号公报

[专利文献2]日本特开2002-33498号公报

在使用文献2所示的槽形成用工具进行槽加工的情况下，虽然能够抑制槽端部的膜剥离，但是很难说得到了充分的加工品质的槽。当在进行槽加工时未能充分地抑制膜剥离的情况下，无法准确地形成图案线，会产生太阳电池基板的发电效率下降的问题。

并且，在专利文献2所示的方法中，首先使用槽形成用工具预先形成2个槽，然后利用剥离用工具将残留的膜剥离，因此，为了形成槽需要进行2个工序。因此，加工时间变长。并且，为了形成槽，需要槽形成用工具和剥离用工具这2个工具。

发明内容

本发明的课题在于，得到一种能够抑制槽形成时的槽端部的膜剥离、能够高品质地进行加工、并且能够以简单的工序进行槽加工的槽加工工具。

第一方面所涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具是由保持器保持、并用于与保持器一起在集成型薄膜太阳电池基板上沿着预定切割线相对移动而形成槽的工具。该槽加工工具具备：工具主体，该工具主体由保持器保持；以及刀锋部，该刀锋部形成于工具主体的末端部。刀锋部在工具移动方向一端侧的末端具有在与工具移动方向交叉的方向延伸的刀刃，从刀锋部的底面观察，刀刃的从第一端朝向第二端侧的至少包括第一端的一部分相对于与工具移动方向正交的方向朝工具移动方向后方倾斜。

对于该槽加工工具，从底面观察，刀锋部的刀刃相对于工具移动方向朝工具移动方向后方倾斜。因此，当使该槽加工工具相对于基板相对移动而形成槽时，槽的端部由边缘切断。因此，槽的端部由更强的剪切力切断，能够抑制槽以外的部分的膜剥离。并且，由于刀刃从第一端朝向第二端侧倾斜，因此，槽端部的被除去的膜沿着刀刃的倾斜面朝槽中央部侧顺畅地被排出。因此，能够抑制被除去的膜使切断性能劣化的情况，能够进行稳定的高品质的槽加工。另外，无需像以往的方法那样使用2个工具。

对于第二方面所涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具，在第一方面的槽加工工具中，从底面观察，刀锋部的刀刃从第一端直到第二端以相同的角度倾斜。

在该情况下，能够将由刀刃的第一端侧除去的薄膜朝第二端侧排出，槽的加工品质稳定。

对于第三方面所涉及的薄膜太阳电池用加工工具，在第一方面的槽加工工具中，刀锋部的刀刃具有：形成于第一端和第二端的一对边缘；以及凹陷部(逃げ部)，该凹陷部形成于一对边缘之间，且朝内侧凹陷。

此处，槽的宽度方向两端部由一对边缘除去，且槽的中央部由凹陷部除去。这样，仅通过使槽加工工具在槽形成方向移动，槽的宽度方向的两端和中央部被切割，能够利用一个工序加工槽。并且，即便边缘磨损，由于形成于一对边缘之间的凹陷部朝内侧凹陷，因此，能够抑制刀锋整体变圆的情况。因此，能够长时间地使槽的加工品质良好。

对于第四方面所涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具，在第三方面的槽加工工具中，包括刀锋的一对边缘和凹陷部的下端缘的面在加工姿态下与薄膜表面平行。

在该情况下，与第三方面同样，仅通过使工具朝一个方向移动就能够以高加工品质将槽的宽度方向的两端切断。

对于第五方面所涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具，在第一方面的槽加工工具中，刀锋部在工具移动方向另一端侧的末端具有在与工具移动方向交叉的方向延伸的刀刃。进而，从刀锋部的底面观察，刀刃的从第一端朝向第二端侧的至少包括第一端的一部分相对于与工具移动方向正交的方向朝工具移动方向后方倾斜。

在该情况下，在工具的刀锋部，在工具移动方向的两端形成有刀刃，因此，在工具移动方向一端侧的刀刃磨损的情况下，能够改变工具的装配方向而使用工具移动方向另一端侧的刀刃。并且，在使刀锋部的工具移动方向一端侧的刀刃和工具移动方向另一端侧的刀刃的倾斜为相反方向的情况下，能够在去往移动时和返回移动时这两个方向的移动时形成加工品质良好的槽。

对于第六方面所涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具，在第五方面的槽加工工具中，刀锋部的工具移动方向一端侧的刀刃和工具移动方向另一端侧的刀刃朝相同的方向以相同的角度倾斜。

在该情况下，在工具移动方向一端侧的刀刃磨损的情况下，能够改变工具的装配方向而使用工具移动方向后方另一端侧的刀刃。

对于第七方面所涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具，在第五方面的槽加工工具中，刀锋部的工具移动方向一端侧的刀刃和工具移动方向另一端侧的刀刃朝向相反的方向以相同的角度倾斜。

在该情况下，能够在去往移动时和返回移动时这两个方向的移动时形成加工品质良好的槽。

对于第八方面所涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具，在第一方面的槽加工工具中，刀锋部沿着薄膜上的槽所形成的方向以相同的宽度跨越工具主体的整个宽度延伸。

此处，刀锋部沿着槽形成方向以相同的宽度延伸。因此，即便刀锋磨损，仅通过借助修正加工形成凹陷部就能够继续使用同一工具。

对于第九方面所涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具，在第一方面至第八方面中的任一方面的槽加工工具中，工具主体形成为矩形。

在本发明的工具中，需要固定槽加工时的工具的姿态。即，例如，在工具相对于保持器安装成相对于槽的形成方向倾斜的情况下，无法以期望的槽宽度进行切割、或者基于工具末端的槽端部的切断性下降。

为了防止如上所述的由工具的安装角度的紊乱产生的不良情况，在工具更换时等，需要进行工具安装角度的调整作业。以往，该调整以下述方式进行：将工具和保持器安装于用于进行工具角度调整的另外的装置，一边利用显微镜确认工具的安装角度一边进行调整。这种调整作业非常麻烦，需要很长的作业时间。

因此，在该第九方面中，将工具主体形成为矩形。在该情况下，在保持器侧形成矩形的槽，仅通过将工具主体嵌入该矩形的槽就能够限制工具的安装角度。因此，当将槽加工工具安装于保持器时，能够通过简单的作业以准确的姿态进行安装。

在如上所述的本发明中，在薄膜太阳电池的槽加工中，当形成槽时，能够抑制特别是槽端部的膜剥离。并且，能够利用一个工具可靠地将膜除去，并且始终能够形成稳定的品质的槽。

附图说明

图1是采用了本发明的一个实施方式的切割装置的外观立体图。

图2是第一实施方式的保持器组装体的主视图。

图3是图2的侧视图。

图4是槽加工工具的外观立体图及其局部放大图、以及仰视图。

图5是示出槽加工的实验例的图。

图6是示出第一实施方式的变形例的槽加工的例子的图。

图7是第二实施方式的槽加工工具的仰视图。

图8是第三实施方式的槽加工工具的仰视图。

图9是用于装配第三实施方式的槽加工工具的往复头的主视图。

图10是第四实施方式的槽加工工具的外观立体图及其局部放大图。

标号说明

15、117：保持器；16、16’、216：槽加工工具；22、222：工具主体；24、34、34’、44、44’、224：刀锋部；25、35a、35b、35a’、35b’、45a、45b、45a’、45b’、225：刀刃。

具体实施方式

图1中示出采用了本发明的一个实施方式的集成型薄膜太阳电池用切割装置的外观立体图。

-第一实施方式-

[切割装置的整体结构]

该装置具备：工作台1，该工作台1用于载置太阳电池基板W；保持器组装体3，该保持器组装体3设置于切割头2；2个照相机4；以及2个监视器5。

工作台1能够在水平面内在图1的Y方向移动。并且，工作台1能够在水平面内旋转至任意的角度。

切割头2能够借助移动支承机构6在工作台1的上方在X、Y方向移动。另外，如图1所示，X方向是在水平面内与Y方向正交的方向。移动支承机构6具有：一对支承柱7a、7b；引导杆8，该引导杆8跨越一对支承柱7a、7b之间设置；以及电动机10，该电动机10用于驱动形成于引导杆8的引导部9。切割头2能够沿着引导部9如前面所述在X方向移动。进而，在该切割头2设置有未图示的气缸，保持器组装体3能够借助该气缸沿着直线引导部(linear guide)上下移动。

2个照相机4分别固定于基座12。各个基座12能够沿着引导部14移动，该引导部14设置于支承座13，且沿X方向延伸。2个照相机4能够上下移动，由各个照相机4拍摄的图像显示于对应的监视器5。此处，在太阳电池基板W的表面设置有用于确定位置的对准标记。通过利用2个照相机4拍摄该对准标记来确定对准标记的位置。进而，根据确定了的对准标记的位置检测载置于工作台1的太阳电池基板W的方向偏移。

[保持器组装体]

保持器组装体3固定于切割头2的一面。该保持器组装体3能够与切割头2一起在X、Y方向移动，并且能够相对于切割头2在上下方向移动。将保持器组装体3抽出而在图2和图3中示出。图2是保持器组装体3的主视图，图3是其侧视图。

保持器组装体3具备：保持器15，该保持器15固定于切割头2；槽加工工具16，该槽加工工具16由保持器15保持；以及固定板26。

<保持器>

保持器15是板状的部件，具有安装于切割头2的第一主面17以及位于相反侧的第二主面18。并且，在保持器15的上下形成有2个贯通孔19，保持器15通过贯通各个贯通孔19的2根螺栓20固定于切割头2。并且，在保持器15中从下方朝向上方形成有预定长度的槽21。槽21形成于第二主面18，且是具有预定深度的矩形形状。并且，在该槽21的上部形成有止挡面21a。槽加工工具16的上端面抵接于该止挡面21a。由此，限制槽加工工具16朝向上方的移动。

<槽加工工具>

槽加工工具16插入于保持器15的矩形槽21，并且，如前面所述，槽加工工具16的上端面抵接于矩形槽21的止挡面21a。槽加工工具16由超硬合金或者烧结金刚石等硬质材料形成，且由工具主体22和刀锋部24构成。

工具主体22与保持器15的矩形槽21对应地形成为矩形。并且，从工具移动方向(图2的右侧)观察，工具主体22的下部、即与刀锋部24相连的部分形成为随着朝向下方而变得尖细的倾斜面。进而，刀锋部24在工具主体22的末端部与工具主体22形成为一体。

图4的(a)～(d)示出刀锋部24的详细情况。另外，图4的(b)是将图4的(a)的局部放大示出的图，图4的(c)是从底面侧观察刀锋部24的图。并且，图4的(d)是将加工时的工具的姿态放大示出的图。

刀锋部24具有底面24a、前表面24b、后表面24c、以及对置的第一侧面24d和第二侧面24e。

在底面24a的长度方向的一端部形成有刀锋面25a，该刀锋面25a相对于底面24a倾斜预定的角度θ1。在槽加工工具16被安装于切割头的加工姿态下，该刀锋面25a是与工作台1的表面、即基板W的表面平行的面。并且，前表面24b以及该前表面24b的末端边缘即刀刃25相对于与工具移动方向M正交的假想线N朝工具移动方向后方倾斜角度α。该倾斜角度α优选为5°以上、35°以下。通过以这种方式使前表面24b和刀刃25倾斜，从而在刀刃宽度方向(刀锋部24的厚度方向)的两端形成一对边缘25b、25c。进而，一方的边缘25b从底面侧观察形成为钝角，另一方的边缘25c从底面侧观察形成为锐角。

此处，以下示出刀锋面25a以及前表面24b的一例。

刀锋面25a的长度L：5μm～15μm

前表面24b的高度H：0.5mm～0.7mm

另外，上述数值是一个例子，能够根据薄膜的材质或工具的材质等以各种各样的方式变更。

如图4的(d)所示，在使用如上所述的槽加工工具16进行加工的情况下，刀锋部24的前表面24a和后表面24c设置成，相对于太阳电池基板W的基板表面倾斜角度θ2。通过以这种姿态设置槽加工工具16，如前面所述，当进行加工时，刀锋面25a与基板W的表面平行。由于在这种加工姿态下刀锋面25a与基板W的表面平行，因此，包括一对边缘25b、25c的下端和刀刃25(前表面24b的末端边缘)的面与基板W的表面平行。

另外，作为角度θ2优选为65°～75°。通过以这种倾斜角度安装槽加工工具16来进行加工，能够抑制形成槽时过量的膜被剥离。

<固定板>

如图2和图3所示，在固定板26形成有沿横向排列的2个贯通孔27。进而，固定板26借助2根螺栓29固定于保持器15的第二主面18，所述2根螺栓29贯通各贯通孔27并与保持器15的对应的螺纹孔28螺合。这样，固定板26覆盖插入于保持器15的矩形槽21中的槽加工工具16的上方的大致1/3。

并且，在固定板26形成有贯通的螺纹孔26a。螺纹孔26a设置于在固定板26被固定于保持器15的状态下面对槽加工工具16的位置。进而，通过将螺纹部件30螺合于该螺纹孔26a，从而螺纹部件30的末端将槽加工工具16按压于矩形槽21的底面。由此来防止槽加工工具16从矩形槽21落下。

<槽加工工具的安装>

当在基板W的薄膜上形成槽的情况下，槽加工工具16的刀锋面25a以与基板W的表面平行的方式设置，并使槽加工工具16沿着槽形成方向移动。因此，需要相对于保持器15以适当的安装角度装配槽加工工具16。

在该实施方式中，由于工具主体22为矩形、且在保持器15形成有矩形槽21，因此，通过将矩形的工具主体22嵌入矩形槽21就能够相对于保持器15将槽加工工具16固定成适当的角度。

并且，包括该槽加工工具16的保持器组装体3以刀具自身相对于太阳电池基板W的表面倾斜预定的角度(例如70°)的方式设置。

[动作]

槽加工工具16以形成如上所述的加工姿态的方式设置于切割头2。进而，每当使工作台1在Y方向以预定间距移动时，就使保持器组装体3下降，将槽加工工具16的刀锋25按压于太阳电池基板W的表面。进而，通过使保持器组装体3在X方向移动，从而在太阳电池基板W的表面形成沿着X方向的槽。

[实验例]

图5的(a)～(c)示出使用本实施方式的槽加工工具将薄膜除去的情况下的监视器图像。图5的(a)是使用刀刃25的倾斜角度α＝0°的工具、并使移动速度为100mm/sec、400mm/sec、800mm/sec进行加工的情况下的监视器图像。并且，图5的(b)是使用刀刃25的倾斜角度α＝20°的工具以同样的移动速度进行加工的情况下的监视器图像，图5的(c)是使用刀刃25的倾斜角度α＝30°的工具以同样的移动速度进行加工的情况下的监视器图像。并且，在各图中，以白色表示的部分是进行了槽加工的部分，以黑色表示的部分是残留有薄膜的部分。进而，在各槽中，图中上侧的端部是与刀锋部24的第二侧面24e接触的部分。

从各图可以看出，在α＝0°的情况下，在槽的两端，薄膜呈波状地被除去，槽的加工品质下降。另一方面，在α＝20°和30°的情况下，槽的上侧的端部(与形成为锐角的边缘25c接触的部分)被加工成比较直的直线状，加工品质良好。

从以上的实验结果可以清楚以下事项。

(a)通过使刀刃25从与工具移动方向正交的方向倾斜，能够利用形成为锐角的刀边(knife edge)提高剪切效果。

(b)由刀刃25的边缘部分除去的膜借助刀刃25的倾斜顺畅地被排出，能够抑制被除去的膜对加工赋予的不良影响。

[第一实施方式的特征]

(1)从底面观察，刀锋部24的刀刃25相对于工具移动方向倾斜。因此，当利用该槽加工工具形成槽时，由于刀边的存在，槽的宽度方向的端部的剪切效果提高。因此，能够抑制槽端部处的槽以外的部分的膜剥离。

(2)槽加工时被除去的膜沿着形成于刀刃25的上方的前表面24b从槽的一端朝槽中央部侧顺畅地排出。因此，能够抑制被除去的膜使切断性能劣化的情况，能够进行稳定的高品质的槽加工。

(3)将矩形的工具主体22插入于保持器15的矩形槽21，限制槽加工工具16的安装角度。因此，能够以非常简单的结构、并且以简单的安装作业将槽加工工具16始终以恒定的姿态安装于保持器15。因此，利用这种槽加工工具16形成的槽的加工品质稳定。

并且，槽加工工具16的刀锋部24沿着槽所形成的方向以相同的宽度遍及工具主体22的整体长度连续地延伸。因此，即便刀刃25磨损，也能够通过刀锋的修正加工简单地使切断效果恢复，能够延长工具寿命。

[第一实施方式的变形例]

此处，在沿着切割线进行槽加工的情况下，存在以下两种情况：(A)能够允许槽的一端侧的膜剥离的情况；以及(B)需要在槽的两端抑制膜剥离的情况。在(A)的情况下，能够通过使用如前面所述的槽加工工具16进行槽加工而得到期望的品质的槽。另一方面，在(B)的情况下，利用图4所示的槽加工工具无法得到满足的品质的槽。

因此，在(B)的情况下，能够利用图6所示的结构得到期望的品质的膜。即，使用刀锋部的刀刃的倾斜角度相反的一对槽加工工具进行槽加工即可。另外，图6所示的2个槽加工工具仅示意性地示出从底面侧观察刀锋部的形状。

此处，使用与第一实施方式同样的第一槽加工工具16和刀刃的角度与该第一槽加工工具16的刀刃角度相反的第二槽加工工具16’。并且，这2个槽加工工具16、16’相对于保持器固定。在该情况下，一方的槽加工工具16或者16’配置在比另一方的槽加工工具靠工具移动方向上游侧的位置。

通过使用这种槽加工工具16、16’，能够使槽的两端部的加工品质良好。

-第二实施方式-

在第一实施方式中，仅在刀锋部24的工具移动方向一端侧设置刀刃25，但是，也可以如图7的(a)、(b)所示，在刀锋部34、34’的工具移动方向两端侧设置刀刃。另外，图7的(a)、(b)是从底面侧观察刀锋部34、34’的图。

具体地说，图7的(a)所示的刀锋部34与第一实施方式同样，具有底面34a、前表面34b、后表面34c、以及对置的第一侧面34d和第二侧面34e。进而，在刀锋部34的前表面34b和后表面34c的各自的下端具有在与工具的移动方向M交叉的方向延伸的刀刃35a、35b。刀锋部34的刀刃35a、35b相对于与工具移动方向M正交的方向朝相同方向倾斜相同的角度。

图7的(b)所示的刀锋部34’也是大致同样的结构。即，具有底面34a’、前表面34b’、后表面34c’、以及对置的第一侧面34d’和第二侧面34e’。进而，在前表面34b’和后表面34c’的各自的下端具有刀刃35a’、35b’。并且，在该图7的(b)所示的刀锋部34’中，刀刃35a’、35b’朝与刀刃35a、35b的倾斜方向相反的方向倾斜相同的角度。

通过使用具有如上所述的刀锋部34、34’的槽加工工具，当一方的刀刃35a、35a’磨损时，能够使各槽加工工具的安装方向相反，利用另一方的刀刃35b、35b’继续进行加工。

-第三实施方式-

[槽加工工具]

图8的(a)、(b)中示出第三实施方式的往复头用的槽加工工具。另外，图8的(a)、(b)是从底面侧观察刀锋部的图。

此处，所谓“往复头用的槽加工工具”是指，能够在往复移动时的去往移动时和返回移动时这两个方向的移动时对槽的一端部进行加工的工具。

更详细地说，一方的工具的刀锋部44具有底面44a、前表面44b、后表面44c、以及对置的第一侧面44d和第二侧面44e。进而，在刀锋部44的前表面44b和后表面44c的各自的下端具有在与工具的移动方向M交叉的方向延伸的刀刃45a、45b。刀锋部44的刀刃45a、45b相对于与工具移动方向M正交的方向彼此朝相反的方向倾斜相同的角度。

在使用具有这种刀锋部44的槽加工工具进行槽加工的情况下，首先，在往复移动时的去往移动时利用一方的刀刃45a加工槽。此时，槽的一端部被刀刃45a的边缘部分切断，因此，能够使槽的一端部的加工品质良好。并且，当返回移动时，装配有槽加工工具的头的位置移动，与刚才加工的槽相邻的槽的一端部由刀刃45b加工槽。此时，与刚才的加工同样，槽的一端部由被刀刃45b的边缘部分切断，因此，能够使槽的一端部的加工品质良好。

另外，另一方的槽加工工具的刀锋部44’也是同样的结构，仅刀刃45a’、45b’的倾斜方向与一方的工具的刀锋部44的刀刃45a、45b的倾斜方向不同。

[往复头]

此处，如前面所述，当进行加工时，需要使工具自身相对于基板表面倾斜而进行设置。因此，装配有如图8的(a)、(b)所示的工具的头将工具支承为摆动自如，在去往移动时和返回移动时需要切换工具的倾斜角度。

图9中示出如上所述的往复头的构造。该往复头103具有：板状的基座116；保持器117；摆动部件118；以及气缸119。

保持器117经由未图示导轨被支承为相对于基座116在上下方向滑动自如。保持器117具有保持器主体122和固定于保持器主体122的表面的支承部件123。保持器主体122形成为板状，且在上部具有开口122a。支承部件123是横向较长的矩形状的部件，且在内部形成有供摆动部件118贯穿插入的贯通孔123a。

摆动部件118具有下部的工具装配部124和从工具装配部124朝上方延伸而形成的延长部125。在工具装配部124形成有槽，工具插入于该槽，并进一步利用固定板124a将工具固定在槽内。在延长部125的下部形成有在水平方向、且与槽形成方向正交的方向贯通的孔125a。进而，摆动部件118以贯通该孔125a的销126为中心摆动自如。在延长部125的上端部125b的左右两侧设置有一对限制部件127a、127b。各个限制部件127a、127b具有固定于保持器主体122的作为止挡件的筒状部件和插入于筒状部件的内部的弹簧。进而，各个弹簧的末端抵接于延长部125的上端部125b，由此，摆动部件118被维持在如图9所示的中立位置。并且，摆动部件118摆动而按压某一个弹簧，且延长部125的上端部125b抵接于筒状部件，由此来限制摆动角度。

气缸119固定于气缸支承部件130的上表面。气缸支承部件130配置在保持器117的上部，并固定于基座116。在气缸支承部件130形成有在上下方向贯通的孔，气缸119的活塞杆(未图示)贯通该贯通孔，且活塞杆末端与保持器117连结。

并且，在基座116的上部设置有弹簧支承部件131。在弹簧支承部件131与保持器117之间设置有弹簧132，保持器117由该弹簧132朝上方施力。能够利用该弹簧132大致抵消保持器117的自重。

在保持器117的左右两侧设置有一对空气供给部134a、134b。一对空气供给部134a、134b都形成为相同的结构，且分别具有接头135和空气喷嘴136。

[槽加工动作]

在使用如上所述的装置进行槽加工的情况下，驱动气缸119而使保持器117和摆动部件118下降，使工具的末端抵靠于薄膜。此时的工具相对于薄膜的加压力由对气缸119供给的空气压力调整。

接着，使往复头103沿着预定切割线移动。当去往移动时，摆动部件118借助工具的刀刃与基板上的薄膜之间的接触阻力以销126为中心朝顺时针方向摆动。该摆动通过摆动部件118的上端部125b抵接于右侧的限制部件127a而被限制。因此，工具以倾斜预定的角度的姿态移动，从而形成槽。

然后，使往复头103相对于基板相对移动，使工具移动至下一次应当下降的预定切割线上。进而，与前面所述同样，将工具按压于基板上的薄膜，使往复头103朝与前面所述的移动方向相反的方向移动。

当该返回移动时，摆动部件118借助工具的刀刃与基板上的薄膜之间的接触阻力以销126为中心朝逆时针方向摆动。该摆动通过摆动部件118的上端部125b抵接于左侧的限制部件127b而被限制。因此，工具2以朝与去往动作时的倾斜方向相反的方向倾斜的姿态移动，从而形成槽。

通过如上所述的动作，能够在工具的往复移动时进行槽加工。另外，也可以在往复头中设置用于切换摆动部件118的摆动角度的气缸等致动器。

-第四实施方式-

在图6所示的第一实施方式的变形例中，使用2个槽加工工具而利用各个工具的边缘部分加工槽的两端部，但是，也可以通过一个槽加工工具而利用工具的边缘部分加工槽的两端部。图10中示出该情况下的槽加工工具。该第四实施方式的槽加工工具仅刀锋部的形状与第一实施方式不同。

图10所示的槽加工工具216的刀锋部224具有底面224a、前表面224b、后表面224c、第一侧面224d、以及第二侧面224e。

底面224a形成为长方形。后表面224c与底面224a正交地朝上方延伸，且与工具主体222的面为同一平面。第一侧面224d和第二侧面224e从底面224a的长边以与底面224a正交的方式朝上方延伸，且彼此平行地形成。另外，与第一实施方式同样，工具主体222的下部中与第一侧面224d、第二侧面224e相连的部分形成为随着朝向下方而变得尖细的倾斜面。

并且，槽加工工具216的刀锋部224沿着槽所形成的方向以相同的宽度遍及工具主体222的整体长度连续地延伸。

在如上所述的刀锋部224中，在底面224a与前表面224b的下端部分的角部形成有刀刃225。以下对该刀刃225进行详细说明。另外，图10的(b)是将图10的(a)的一部分放大示出的图，图10的(c)是将加工时的工具的姿态放大示出的图。

在底面224a的长度方向的一端部形成有相对于底面224a倾斜预定的角度θ1的刀锋面225a。该刀锋面225a是在该槽加工工具216安装于头的加工姿态下与工作台1的表面、即基板W的表面平行的面。并且，前表面224b以及该前表面224b的末端边缘即刀刃225形成朝向内侧凹陷的曲面部。通过形成该曲面部，在刀刃宽度方向(刀锋部224的厚度方向)的两端形成有一对边缘225b、225c，在一对边缘225b、225c之间形成有朝内侧凹陷的凹陷部(前表面224b)。

此处，以下示出刀刃225的一例。

刀锋面225a的长度L：5μm～15μm

前表面(刀刃以及凹陷部)的高度H：0.5mm～0.7mm

前表面(曲面部＝凹陷部)的深度D：3μm～5μm

另外，上述数值是一个例子，能够根据薄膜的材质或工具的材质等以各种各样的方式变更。

如图10的(c)所示，在使用如上所述的槽加工工具216进行加工的情况下，刀锋部224的前表面224b和后表面224c设置成，相对于太阳电池基板W的基板表面倾斜角度θ2。通过以这种姿态设置槽加工工具216，如前面所述，当进行加工时，刀锋面225a与基板W的表面平行。由于在这种加工姿态下刀锋面225a与基板W的表面平行，因此，包括刀刃225(前表面224b的末端边缘)以及构成刀刃225的一对边缘225b、225c的面与基板W的表面平行。

另外，作为角度θ2优选为65°～75°。通过以这种倾斜角度安装槽加工工具216而进行加工，能够抑制形成槽时过量的膜被剥离。

[第四实施方式的特征]

在本实施方式中，在一对边缘225b、225c以及刀刃225与基板表面平行的加工姿态下切割薄膜。因此，能够利用1个工序形成在槽端部附近膜的剥离或翘曲少的加工品质良好的槽。并且，由于一对边缘225b、225c以及凹陷部的存在，即便边缘225b、225c磨损，刀刃整体也难以变圆，能够长时间地形成稳定的品质的槽。

[第四实施方式的变形例]

在前面所述的实施方式中，从底面观察，刀刃的部分形成为U字形状，但是，即便从底面观察形成为V字形状也能够得到同样的效果。

[其他的实施方式]

本发明不限定于如上所述的实施方式，能够不脱离本发明的范围进行各种变形或者修正。

(a)在前面所述的各个实施方式中，工具主体的整体形成为矩形，但是，也可以将工具主体形成为圆棒。在该情况下，对于刀锋部和刀锋，只要以与前面所述的实施方式同样的方式形成即可，与前面所述的实施方式同样，能够利用1个工序形成加工品质良好的槽。并且，能够长时间地形成稳定的品质的槽。

(b)刀锋的具体实施例并不限定于前面所述的例子，能够根据薄膜的材质或者工具材质等的规格进行各种变形。

Claims (9)

1.一种薄膜太阳电池用槽加工工具，所述槽加工工具由保持器保持，用于与所述保持器一起在集成型薄膜太阳电池基板上沿着预定切割线相对移动，从而形成槽，

所述薄膜太阳电池用槽加工工具的特征在于，

所述薄膜太阳电池用槽加工工具具备：

工具主体，该工具主体由所述保持器保持；以及

刀锋部，该刀锋部形成于所述工具主体的末端部，

所述刀锋部在工具移动方向一端侧的末端具有在与工具移动方向交叉的方向延伸的刀刃，

从所述刀锋部的底面观察，所述刀刃的从第一端朝向第二端侧的至少包括所述第一端的一部分相对于与工具移动方向正交的方向朝工具移动方向后方倾斜。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，

从底面观察，所述刀锋部的刀刃从所述第一端直到所述第二端以相同的角度倾斜。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，

所述刀锋部的刀刃具有：形成于所述第一端和所述第二端的一对边缘；以及凹陷部，该凹陷部形成于所述一对边缘之间，且朝内侧凹陷。

4.根据权利要求3所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，

包括所述刀锋的一对边缘和凹陷部的下端缘的面在加工姿态下与所述薄膜表面平行。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，

所述刀锋部在工具移动方向另一端侧的末端具有在与工具移动方向交叉的方向延伸的刀刃，

从所述刀锋部的底面观察，所述刀刃的从第一端朝向第二端侧的至少包括所述第一端的一部分相对于与工具移动方向正交的方向朝工具移动方向后方倾斜。

6.根据权利要求5所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，

所述刀锋部的工具移动方向一端侧的刀刃和工具移动方向另一端侧的刀刃朝相同的方向以相同的角度倾斜。

7.根据权利要求5所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，

所述刀锋部的工具移动方向一端侧的刀刃和工具移动方向另一端侧的刀刃朝向相反的方向以相同的角度倾斜。

8.根据权利要求1所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，

所述刀锋部沿着所述薄膜上的槽所形成的方向以相同的宽度跨越工具主体的整个宽度延伸。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，

所述工具主体形成为矩形。

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