201042052 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用於電早愛杜 Έ子零件之連接的無鉛焊料合金 具有焊料球及焊料凸塊的電子元件。 L先前技術】 在内藏於電子機器之電子回路基板中 用於基板與電子零件之接人祕电 坪接^贋之 Ο 午之接合。做為焊接時使用之焊料合 二從:往，含有錫與，之成份系被廣泛使用至今。然而， 宝物^^的㈣問題以及別（歐盟）的喊指令_危 i地門：：含有錯’也就是所謂無錯焊料合金被廣 之“·貫用化。做為無錯焊料合金，有以錫為主成分 —銅系、錫—銀—鋼系、錫-録系、錫- 1各箱人鋅系’以及在這些再適當添加其他添加元素者。 适t各種合金系，係各右具考 ❹ 用。 有長處短處，根據用it而被分別使 近年來，隨著電子零件的高密度實裳化，除了以 1=的手：、在焊料嘴流中使零件與基板的接合部份 回焊也變地被歧使肖。/；^ 料膏的 格陣列)讀片型封裝使用焊料球之獅 晶片模組）等高機能化之表面實狀自動結合）、則（多 變地㈣泛使用。 ^零件（以下總稱為關也 BGA係内藏半導體積體回路⑽，在單面上，通常以 3 201042052 置電極’在各電極上連接著被稱為烊料凸塊之 之焊料⑽：：切下的形狀之焊料合金塊。為形成如此 之^凸塊’有數種方法’但以使用焊料球為一般的方去 在此’簡單制使料料球之焊料凸塊的形成方法。首先， 在BGA的電極上塗布具有黏著性之助焊劑或是錫膏，在該 塗布電極部上以搭載梦罟氺 ^ 、 戰裝置來搭載焊蚪球。之後，將該搭載 了焊料球之BGA在回焊爐内加熱，焊料球溶融，實現電極 與焊料球的接合，而做為焊料凸塊。 做為以焊接來接合時所要求的品質•特性，要求接合 “員性南是不用說的，#外觀也很重要，必須顯示健全的 口金色調W BGA做為最終商品出貨的情況，做為出貨前 的部品檢查，會使用畫像辨識裝置來進行焊料&塊之外觀 檢察。因A，若色調有變化，會被誤認為有沒形成焊料凸 塊的不良，在檢查工程上是不佳的。 【參考文獻】 【專利文獻】 【專利文獻1】日本國專利3925554號公報 【專利文獻2】日本國專利4144415號公報 【專利文獻3】日本國專利特開_卜2隨3號公報 【發明内容】
成分之無鉛焊料合金來進行焊接 色成黃色（黃變）的情況。在BGA 【發明所欲解決之課題】 在使用上述以錫為主 的情況時，焊料表面有變 201042052 的情況， 的情況’如此之黃變會在藉由畫像辨識裝置來確認 料凸塊之檢查時成為障礙。更且，在BGA的情況， 凸塊形成後會進行被稱為預燒試驗之高溫動作試驗 認有無焊 在焊料 。預燒 試驗係為了去除BGA零件之初期不良之試驗，例如，在1U C之氣氛中以12小時之長時間來確認有無動作不良，而判 定是否為初期不良品。在如此之試驗後，即使沒有做為零 件之動作不良，若焊料凸塊黃變，也無法做為最終製品出 貨，成 1 π θ α f α Α …一 〇檢查，
而作業員介入自動工程來確認有無焊料凸塊之必要，因此 會使工程的效率顯著低下。 本發明，係有鑒於上述問題來做成，以提供在焊接後、 預燒試驗後，也不會黃變之無鉛焊料合金、具有焊料球及 ¥料凸塊之電子元件為目的。 ； 【用以解決課題之手段】 〇 本發明者們，對於焊接後之焊料表面的變色、在βγα
來就呈黃色。 5 201042052 因此’藉由對於凸塊添加各種元素，調查黃變的狀況， 發現防止黃變的元素與添加量，而完成本發明 發明之要旨如以下。 亦即’本 與申請專利範圍第1項有關之無錯焊料 在於:係添加合計！質量卿以上。」質量，其特徵 2種以上之從鐘、納、鉀、齊、鈹、鎮、 μ種或 素、鈦、錯、铪、銳、组、钥 、鑭系元 匕、ee * 法石録、ίΚΐ 所、出之添加元素，_ 、矽、链 ^下#伤為含有40質量％以 ”申請專利範圍第2項有關之無錯焊料 之錫。 在於：前述無鉛焊料合金為錫 I，其特徵 么 、 x ^ m —鋼条 、、錫一銻系，或是錫—銀一鋼系。 ’、、錫一鉍 與申請專利範圍第3項有關之無錯焊料 :二前述，加元素内，關於皱、鎮、軒，其=其特徵 里為1質1 ppm以上50質量ppm以下 J之添加 與申請專利範圍第4項有關之無錯焊料 在於：前述添加元素内，關於辞、銘 :金’其特徵 其分別之添加量，為丨f旦 ·*、矽、錳， 里為1質里ppm以上1〇質 與申請專利範圍第5項有關之無錯焊料^以下。 :::前述無錯焊料合金為錫—銀〜鋼系，銀:金’其特徵 貝ΐ/。以上5質量％^下，銅 ’、有量為〇1 質量％以下。 置為〇.01質量〜上15 在於6項㈣之“焊料合金 、1述無錯焊料合金含有錄 …其特徵 以上0.5質量％以下。 有置為0.005質量％ 201042052 丄 一料合金，复蛀外 前述無錯焊料合金含有銀、銅㈣，銀含有量為〇 8 男里％以上1.5質量％以下，銅含有量 ’、，，. ^ „ η/ _ υ.υΰ貝里％以上 質她下，錄含有量為0.01質量%以上 " 與申請專利範圍第8項有關之無錯焊料合金，。H 在於：前述無鉛焊料合金含有銻， 〃、徵 以上U質《以下。 3有！為〇.。。5質量% 〇 肖”專利範圍第9項有關之焊料球，其特徵在於. 係由申請專利範圍第卜8 、 焊料球，球徑為丄_以下。 合金來形成之 與申請專利範圍第10項有關之電子元件，並特徵在 ^係具有使料請專利範圍第卜8項之任—無錯焊料合 金來形成之焊料凸塊。 與申請專利範圍第11項有關之電子元件，其特徵在 於：係具有使用申請專利範圍第9項之焊料球來形成之焊 Q 料凸塊。 【發明效果】 ^根據本發明，可防止在焊接後之焊料表面、在BGA之 焊料凸塊形成後之凸塊表面、以及在BGA之預燒試驗後之 焊料凸塊表面之黃變。 θ若可防止黃變’則可除去在藉由畫像辨識裝置來確認 =料凸塊有無的檢查之障礙。又，也可防止預燒試驗後之 、變也不會有黃變而無法做為最終製品出貨、而成為不 良品使良率低下的問題。又，在自動工程内之檢查，也不 7 201042052 會有圖像辨識不良的發生，彳防止卫程效率的低下。 【實施方式】 以下，對於本發明之無鉛焊料合金來詳細說明。 無銘焊料合金若要黃變，是在合金成份内不含有較錫 令易氧化的合金成份之情況，且大量含有錫的情況，例如， 錫為40質置％以上的情況。因此，以錫為質量％以上之 無鉛焊料合金的黃變防止為目的。 本發明之無錯焊料合金，係添加合計i質量_以上 °·1質量%以下之1種或2種以上之從鐘、納、鉀、舞、鈹、 鎮、銳、紀、鑭系元素、鈦、錯、給、銳、组、銷、鋅、 曰鎵I□石夕、錳所選出之添加元素之物，若未滿1質 量_，則改變表面氧化膜之色調的效果低，無法防止黃 變、另方面’若超過°· 1質量％，則會發生濡濕性低下、 二良好地進仃悍接、或是所形成之凸塊表面的性狀變粗 等不良。黃變防止之詳細機制雖仍在檢討中，但藉由在表 面的錫氧化膜上添加元素之氧化物複合，表面氧化膜會從 結晶質變化為微紝曰，弋θ , ^ …日日或疋微結晶與非晶質。藉由此，表 面氧化膜之光學特性變彳卜 . 、 ，表面即使同樣的厚度被氧化， 也被認為不至於色調變化 …^ 頁變。因此，添加元素並非成 為氧化物而做為介在物來在 在，而疋以金屬元素存在於無 ¥料合金中為佳。 較錫容易氧化的元去絲从、丄 素雖然有很多’但其中，添加1種 或2種以上上述之鋰、鈉、 鉀、鈣、鈹、鎂、銳、釔、鑭 201042052 系元素、鈦、锆、铪、鈮、钽、鉬、鋅、鋁、鎵、銦、矽、 錳的情況，而可得到充分的黃變防止效果。 錫—鋅系等，在充分含有較錫容易氡化的元素之無紹 焊料合金不容易發生黃變，因此，若在純㈣ 素之合金系的錫—銀系、錫—銅系、錫—鉍系、錫—銻系、 或是錫—銀—銅系中添加前述添加元素則更可有效地得 到黃變防止效果。 Ο Ο 前述添加元素中，關於鈹、鎮、約，其分別的添加量 以在1質量卿以上50質量Ppm以下為佳。若未滿丄質量 刚，則黃變防止效果不充分，若超過50質量卿，則凸 塊形成後之表面氧化膜變的強固，在之後的工程之焊接成 為障礙的可能性變高。特別是添加這些元素的情況，使表 面氧化膜變化成微結晶與非晶質之混合物的效果大，又， 也可抑制由於預燒試驗之氧化膜厚的增加。 又，前述添加元素内，關於辞、鋁、鎵、銦、矽、錳， 其分別之添加量為在1質量卿以上1G質量卿以下為 佳。若未滿1質詈，目卩立 ^ PP則頁變防止效果不充分，若超過 、量Ppm貝j凸塊形成後之表面氧化膜變的強固，在之 後的工程會成為焊接的障礙，或是漂濕性劣化，凸塊形成 無法健全地實施的可能性變高。χ，若超過8質量卿， 則凸塊形成後之表面凹凸變大，有畫像難以辨識的情況， 因此在8質量ppffl以下更佳。 無錯焊料合金中的添加元素的分析方法，例如可藉由 感應輕合電漿放射（iCP)分析法或是輝光放電f譜⑽ 9 201042052 法來進行，而可決定添加元素的添加量。 ^述各種無鉛焊料合金内，對於標準的 合金來使用之錫—銀—銅系，在 ；“枓 下’銅含有量為°·。1質《以U質〜時， =洛下衝擊特性的提昇變的顯著，且關於 金之熱疲勞特性或i妒煜粗入么从$ ^ ° 性也變… 的霜濕性等其他接合信賴 也k的更優良，上述添加 這此特”種類及添加量並不會使 二特Μ化。又，銀的含有量若低 鉛锃人a 貝里/0，則產生無 知鲜枓合金之熱疲勞 超斯曰 低卜之不良情況。，銀含有量若 雙過5貝置％，則在益如捏 卜料合金内形成粗大的Ag3Sn，有 吏接口仏賴性低下之情況。更佳 皙θ。， 1的潰况為，銀含有量在〇· 8 、置％以上1.5質量％以下。銅含有 盔纽μβ , 』3有1右未滿〇. 01質量％則 ~料合金的濡濕性有變差 秀雯差的傾向。又，若超過1.5質 0 4 ,、.、錯焊料合金變硬，接人彳丄紹α 士 .^ 接13仏賴性有低下之傾向。更佳 的情況為〇 0 5曾署〇/ I、/ I· 1 Λ b貝1/°以上h0質量％以下為佳。 在錫一銀一銅系盔令L、度斗立人 .,^ 矛…、鈍谇枓合金中，藉由使鎳在錫中存 ’有抑制無鉛焊料合金盥雷 人私、 /、電極之介面上形成的金屬間化 σ物成長的效果。其结杲― 俨、、果 M耐洛下衝擊特性為首之接合 15賴性顯著提升。特別是， π ς ^ 螺含有ΐ以在0· 005質量％以上 • b違量％以下，接人^士鐽 晷。/ σ L賴性詖升效果大。若未滿0. 005質 0 ’則有難以發現前述放要认& ^， 引边政果的情況。又，若超過0. 5質量 貝J無錯焊料合金變硬，而右# & &， f 而有使接合信賴性低下的情況。 的情況為’°.01質《以上(M質量%以下。上述添加 〜之種類及添加量’不會使這些特性劣化。 10 201042052 錫銀銅系無絡焊料合金中，録存在於錫中 在錫中分散，而有提升無錯焊料合金内之对缺陷成長特性 的效果，其結果，熱疲勞 ^ η 贫将棱升。特別是，銻之含有量 以在0.005質量％以上i 〇 ,置 里/0以下，前述熱疲勞特性提 升效果大。若未滿0.005 臭ΐ /〇則有難以發現前述效果的愔 況。又’若超過1·〇皙吾G/ 。，則‘，、、錯焊料合金變硬，而有使 接合信賴性低下的情況。 更佳的情況為，0.02質量％以上 0.5質以下。上沭夭 __ Ο Ο 上边添加兀素之種類及添 些特性劣化。 使k 一般而言，上诚分各认Α λ 攻几素的組合，可藉由κρ分析法 GD—MS分析法等來測定而決定。 一 本發明之無鉛焊料合全， π ^ 金在業界一般所使用之錫爐用 知料或疋回焊用焊料，焊料 知抖線等任一種焊料合金形態中， ^可發現該效果，更且，人古 3有烊料粉之焊料膏、 也可發現該絲。㈣是，在窄間㈣裝連接所使用之1 ==料球中，使用該無錯谭料合金是有效果的。因此， 具有使用這些無鉛焊料合 σ I灭形成之焊料凸塊的電子元 件，在預燒試驗中可防止黃變。 無錯焊料合金，或是製作焊料球之氣氛， 非活性氣體等非氧化氣氛為佳。 ^做為從前述無料料合金來㈣焊料球 可，割法或是氣體中造粒法等。線割法，係將溶解後 4:金一疋拉絲，使其成線狀後，切斷成—定的 長度 藉由在油中使装，交點 jr 使其命融，而藉由利用表面張力使其球 201042052 狀化來製作谭料球。又’氣體中造粒法，係將溶融後之益 料料合金從小孔上一邊振動一邊噴出，藉由在真空中或、 是氣體氣氛中之振動波，來將該溶融後之無錯焊料合金切 斷’藉由表面張力來使其球狀化而可製作焊料球。 使用根據本發明之無錯焊料合金來製作焊料凸塊的方 法’-般而言有藉由網板印刷的方法與藉由焊料球之方 法。網板印刷法，係將前述無錯焊料合金以喷霧做 微細的焊料粉後’與助焊劑混合而成為焊料膏後，在電極 上使用金屬遮罩來塗布，使一定量之焊料膏置於電極上 後’可藉由回焊來形成焊料凸塊。又，藉由焊料球之方法， 係在塗布了助焊劑之電極上將前述焊料球排列好，而可藉 由回焊來形成焊料凸塊。 3 以下，藉由實施例來更具體說明本發明效果。 【實施例】 (實施例1) 所厂在主成分中，使與本發明有關之添加元素成為表卜5 解It各成分’來秤量各純金屬，使用碳坩鍋藉由高頻融 八/製作無料料合金。製作好之無料料合金的組合 I::係藉由ICP發光分析、1CP質量分析、或是GD-MS 2去來進仃。使用前述所製作之各無鉛焊料合金，藉由 礼中造粒法來製作直徑3〇〇 # m之焊料球。 之尺做為貫裝焊料球的印刷電路基板，係使用—1(_) 電極：。、Γ極為°· 5_間距’電極表面處理係直接使用銅 或疋在鋼電極上施以鍍鎳及鍍金後之銅/鎳/金層積 201042052 電極之基板。在基板上搭载焊料球回焊後，形成ΜΙ 焊劑，係使用水溶性助焊劑。又，回桿溫度，係以溶融(液 相線）溫度+ 30°為條件。 將形成了凸塊後的基板，放 处八保持在大氣氣氛、150。 之爐内15小時’從爐取出後，以 ^ Μ目視觀察凸塊表面是否有 黃變，幾乎沒有黃變者為◎，有龙 有θ變但不會使畫像辨識產 生不良者為◦，黃變顯著者為X。 . L ^ A 属濕性，係在上述印刷 Ο Ο 電路基板之回焊後’以不完全，'愛 凡主屬4之電極數在〇.〇1%以下 者為◎，超過〇·〇1%而在〇 上上 隹以下者為〇，超過0,1%而在 1%以下者為△，超過1%者為X。 做為實裝了耐落下衝擊辑w 牮将险砰價用之焊料球的試料，
在零件端，係使用ο. 5ππη間距，雷姑^A ,PCD 門距電極墊數為324插角的10_ 見方之CSP。此CSP的電極表 甘1 衣面為銅。又，做為印刷電路 基板，係使用 Q , (mm)尺寸，電極表面處理 銅〜〇SP(有機護銅劑製程） ” ”，、 ^ 」之基板。百先，在CSP上搭載焊 科球後回焊，形成焊料凸 板h 後將csp實裝在印刷電路基 板上。使用水溶性助焊劑。 Ο Λ 〇 . y.. 回焊溫度為以溶融溫度+ 30為條件。此實裝品 又十 定回路的電阻值，而Λ ^㈤⑷，藉由測 的IP . 進仃破斷的判定。耐落下衝擊特性 的汗價’係根據JEDEC規格 _生 行，— 之」ESD 22—Bill之方法來進 初期值之9拉士 f之零件的電阻值’當電阻值成為 〜4值之2倍之時間點之 门 右主/ 人數疋義為破斷。相對於僅 有主成分的特性的愔潢从& T m ’’右為同等以上之愔、戈兔付 授士 超過〇%〜m以下的特性决m 兄為◎，僅有 子Μ化之情況為〇，被認為有超過 13 201042052 m之特性劣化之情況為χ。 熱疲勞特 H i ~r~ 擊特性試驗用之⑽施評價，使用相同於落下询 "Ο尺寸，電極表：Μ基板，使用5隱 品，以】小時^ = 為銅〜^之基板。對於實裝 j时马1週期，施以在_4 保持20分鐘之”” C保持20分鐘，在125 "理< /皿度溫度週期。έ 阻值，在点益1体 、，且成莉鍊串連之回路的電 成為3平仏開始前之電阻值2倍 斷，藉由計測到達破斷 。$ 8 ”判定為破 < 血—低溫之反覆呤貉r舢、田 期數）來評價。相對於僅有φ +八 夂覆-人數（熱週 m 有成分之特性的情況，若為间算 =之情況為◎，僅有超過。%，以下的特性劣化= 被認為有超過1G%之特性劣化之情況為X。月， 關於潘濕性、耐落下衝擊 於僅有m夕降 …彼旁特性’實施了相對 有主成刀之情況之比較之結果示於表卜表“ 下衝2 1〜表5所示’根據本發明，不會使潔濕性、耐落 擊特性、熱疲勞特性劣化，而可防止黃變。 201042052 ο Ο 【I ί 備考 丨比較例丨 5 鑑 JJ 比較例 5 繇 1比較例1 5 嚭 Jj 5 -Ο 辑 ίΚ 赵 截 比較例 5 5 嫁 5 馨 λ3 -Ο 5 截 5 ^ΒΙζ 5 诺 5 u Jj Jj 5 5 省 5 -Ο 5 窗 Jj 5 截 省 ίΚ 5 比較例 5 兹 Jj s< Jj 熱疲勞特性1 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 耐落下衝擊性i ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 itaP 銅/鎳/金: ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X 銅電極 ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X ◎ ◎ ◎ 〇 X •錄/金 X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ 〇 X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ 銅電極 X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ 〇 X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ OJ 添加量 (質量ppm) i <=5 (Ν1 C3 LO czj ◦ g s LO 元素 悔 添加量 (質量PDffl) CD LO 1—( 1 1000 「1100 ! 〇 LO 〇 t—Η 1 1000 ί 1 1100 1 ο LO <=> Τ· 1 1 1000 1 Γ 1100 1 ο LO Ο 1—Η 「1000 1 丨 1100 1 <=> CO ο LQ CZ3 o s o s o LO ο 1—^ ,1000 ] 1100 1 ο LO cri r—H 1000 1 1100 1 o in o 1000 1 1100 1 元素 蓊 焊蚪合金之主成分組合 (質量％) 珑 1 踢一3. 5銀 1 _1 錫一0. 7銅 錫一58叙 錫一7録 1_ I 錫一3. 0銀一0. 5銅 j 1 i 錫一1.0銀一0. 5銅 錫一0. 3銀_ 0. 7銅 6^ T " < CNJ CO LO ς〇 卜 οο cn> C5 1'·^ <ΝΙ CO LJO CO 卜 ΟΟ CT> (Ν1 CO (NI OJ LO OJ CO ΟΟ Cv] CD Οί CO οα CO CO CO CO LO CO CO CO CO 00 CO Οϊ CO - 201042052 1備考 ί 比較例| 比較例 實施例 i實施例| 實施例 實施例 比較例 實施例| ί實施例1 f實施例I 實施例| 比較例| 實施例I 實施例I 實施例| 實施例1 實施例I 實施例I 實施例I 實施例 ,熱疲勞特性 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 1耐落下衝擊性 ! ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 1 濡滿性 銅/鎳/金 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 銅電極 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 黃變 ，銅/鎳/金 1 X X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 銅電極 X X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 添加元素2 |添加量 丨（質量ppm) LO <=> LO CNI <=> LO LO LO 素 窠 添加元素1 |添加量 i (質量_) 〇 LO C5 1 '1 〇 g 〇 LO 〇 τ· 4 ο r—Η ο LO LO 〇 τ—i r—^ S L〇 LO 〇 LO in LT> 元素 窠 織 焊蚪合金之主成分組合（質量％) 錫一1. 2 銀一0. 5 銅一0. 05 錄 0^ CS1 C£5 xr 〇〇 C75 C5 LO - C<l LO CO LO LO LO LO CO LO I>- L〇 oo LO C75 LO o C£5 201042052 【co^】 備考 比較例 1實施例1 1實施例1 1實施例1 比較例I 1實施例1 實施例 實施例 比較例 !實施例I i實施例1 1實施例I 比較例 實施例 實施例 實施例 比較例 實施例 實施例 實施例 比較例 實施例 實施例 實施例 熱疲勞特性 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 耐落下衝擊性 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 濡濕性 銅/鎳/金 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 銅電極 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 銅/鎳/金 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 銅電極 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 X 〇 〇 〇 添加元素2 添加量 (質量 f)pm), 元素 添加元素1 添加量 (質量ppm) LO 〇 Γ-Η C5 τ-Η s m o* CD in o <=> ο CVJ lh> CD 〇 ^—1 LO C5 r—^ 〇 1 1 LO 〇 1—Η 〇 元素 頌 缞 場 域 焊蚪合金之主成分組合（質量％) 錫一1. 2 銀_0. 5 銅一0. 05 錄 ^6 1—^ ς〇 CD CO C0 CO LO CD CO CD £ 〇〇 CO CD CO 1—1 卜 c^a CO LO CO c^- 〇〇 § 〇〇 (Ν1 00 CO 00 00 - 201042052 【二】 備考 i比較例1 5 -Ο 5 邊 5 5 5 馨 _〇 5 嫁 ipc 5 ¥ 5 5 5 5 1比較例1 5 赵 5 5 5 ¥ 5 镩 1比較例1 5 雀 ik 5 崔 5 比較例1 5 5 邊 ΐΚ 私ί IpnC 5 ^88( 5 達 省 省 Ik 熱疲勞特性 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ i耐落下衝擊性 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 濡濕性 1 銅/鎳/金 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 銅電極 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 銅/鎳/金 X 〇 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ fx X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ 銅電極 X 〇 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ X X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ X 〇 ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ CN1 _D 3 1添加量 (質量ppm) LO CNJ s LO ID 元素 1—Η -δ 暗 1添加量 (質 ii>pn〇 〇 LO 〇 T—Η ο S 〇 卜 LO CD CZJ S 〇 卜 LO 〇 ◦ S 〇 LO c=> Τ-Η C3 S 〇 LO ο* CD s Ο LO ◦· τ—Η ο LO LO (Nl LO LO 元素 窠 窠 **)</ 欺 suli' 2¾ <却 ft 錫一1.2 銀一0.7 銅一0.01 鎳 ^ 錫一1.2銀_1.0 鋼一0. 05 錄 LO 〇〇 CO 〇〇 〇〇 〇〇 00 CD 00 § S CS1 CD CO LO CT5 CO CD σ； 〇〇 05 〇 C5 » < G5 g ρ·* CO Τ—< S r—· LO 1 1 g r 1 卜 F 1 〇〇 o CD C5 C3 — ' f 1 CN) τ—Ι CO 1—^ ς〇 卜 00 1 ___ < CT5 S 1—t 201042052 οο 【s<】 備考 比較例 1實施例| |實施例 !- 實施例 實施例 熱疲勞 特性 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ Κ Si ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 濡濕性 銅/鎳/金 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 銅電極 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 黃變 銅/鎳/金 X 〇 ◎ ◎ ◎ 銅電極 X 〇 ◎ ◎ ◎ 添加元素2 添加量 (質量rom) 〇 LO 〇 LO 〇 LO LO m> 窠 添加元素1 添加量 (質量ppm) 〇 LO C5 LO OJ 〇 m ιΛ m 元素 _1 焊蚪合金之主成分組合（質量％) 1_ 錫一1.2 銀一1.0 銅一0.01 錄一0. 3 録 1 6^ 产1 OJ 严1 CNI CN1 1—1 CO CV3 1—^ Lit) (Nl r 1 ^ 201042052 (實施例2) 表6所不成分來製作焊料膏，使用同 印刷電路基板 m列1之 實 更用CSP以網板印刷法來形成焊料凸塊 傻夏把冋於實施例1夕h , ,^ 之s平價。其結果併記在表6。 如表6所示，根 擊特性 '執疲& 發明，不會使濡濕性、耐落下衝 …屣勞特性劣化， 且可防止黃變。 ❹ 20 201042052
比較例 比較例 實施例 實施例 1 實施例 1 |比較例 !- 1比較例 1 ,實施例 1 ,實施例 1 實施例 1 實施例 熱疲勞 特性 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 财落下 衝擊性 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 濡濕性 銅/銻/金 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 銅電極 ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 黃變 銅/鎳/金 X X 〇 〇 〇 X X 〇 ◎ ◎ ◎ 銅電極 X X 〇 〇 〇 X X 〇 ◎ ◎ ◎ 添加元素2 添加量 (質量ppm) 元素 添加元素1 添加量 (質量ppm) 〇 LO LO CZ? ο g ο 元素 vulK 2¾ 焊蚪合金之主成分組合（質量％) 1 锡 一1.2 銀一0.5 銅一0. 05 錄 錫 一 1. 2 銀一1. 0 銅 一 0. 05 錄 ^6 CO r—( 〇〇 (NI 1——( 1—^ CO OJ CO CO eo CO LO CO CO CO 201042052 【圖式簡單說明】 益 【主要元件符號說明】 M. 22