TW201007874A - Retainer and substrate storage container provided with same retainer - Google Patents

Description

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, I TW5424PA 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種保持半導體晶圓、光罩破壤、薄 膜附著之光罩玻璃、薄膜等之基板之保持器，以及包括保 持器之基板收納容器。 ' 【先前技術】 做為基板之輸送使用之基板收納容器，已知有特許 • 獻一、二所揭示之基板收納容器。如此之基板收納容器， 係包括例如在前側之正面形成開口部而在内部收納基板 之容器本體、可開閉該容器本體之開口部之蓋體、以及 該蓋體之内壁面安裝，保持基板之前部周緣，與容器本體 之間夾持基板之保持器。該保持器係在保持基板之保持 在前端部形成之複數彈性片，對應於基板而設置各一對， 該對彈性片係沿基板配置。又，為對應必要，也有對應於 單一彈性片而形成複數保持溝之結構，或是蓋體之中央部 • 侧形成其他彈性片以及保持溝之結構等。又，蓋體係手^ 或由蓋體開閉裝置嵌合於容器本體或拆除。又，保持器係 設有例如卡止突起或卡止凹部等卡止部。由將保持器之卡 止部嵌入對方側之卡止部，保持器固定於蓋體（或容器本 體）。 先行技術文獻 特許文獻1 :日本特開2002-353301號公報 特許文獻2 :日本特開2005-320028號公報 3 201007874

TW5424PA 【發明内容】 ^ " 發明所欲解決之課題 上述習知技術中，例如以裝置自動搬送時，由作業員 手動搬送時，由落下等對基板收納容器施加大衝擊時，彈 性片大幅撓曲，反之隨著彈性片之變動’基板從保持溝向 外而破損，即使未破損之基板也會與基板收納容器之磨擦 而產生微粒而造成污染。 ” 又，做為衝擊施加之際之對策，將保持溝之形狀做成 例如V字形，溝之深度加深，以及溝之寬度變窄係為有效， 然而，如此基板與保持溝接觸而磨擦變多，有基板容易污 染之問題，基板夾在保持溝之問題也可能發生。 本發明之目的係為解決該課題而做成，提供一種保持 器係鑑於上述實情，提供一種可將基板安定保持，並可降 低基板污染之虞之保持器，以及包括該保持器之基板收 容器。 解決課題之手段 本發明之保持器，係設置在收納基板之基板收納容 器，在板厚度方向沿上下方向以一定間隔整列而保持支持 之基板，包括：筐體，具有在上下方向延伸之一對上下方 向部以及與該對上下方向部正交而在左右方向延伸之一 對左右方向部；彈性片，從該上下方向部向内侧突出，可 =制該基板之位置；連結片，在上下方向延伸，且兩端部 2於該左右方向部；以及突出部，在與該基板交又之^ °傾斜而可抵接於該基板之周緣之傾斜面形成，從該連择 201007874

• ‘ TW5424PA 片向該基板收納容器之内側突出。 根據如此之保持器’由從筐體之上下方向部向内側突 出之彈性片，可限制基板之位置，在基板之位置偏移之場 合，也可由彈性片將基板之位置復歸至原來位置。又包 括與筐體之左右方向部連結而在上下方向延伸之連結 片，在該連結片形成向基板收納容器之内側突出之突出 部。該突出部係具有為與基板交又之方向傾斜而可抵接於 該基板之周緣之傾斜面之結構，由該傾斜面’可容易引導 • 基板，降低基板之磨擦，可限制基板之位置。 又，該突出部係在上下方向在鄰接之基板間配置，且 該傾斜面係具有與在上端形成之一基板可抵接之第一傾 斜面，以及與在下端形成之另一基板可抵接之第二傾斜面 較佳。根據如此之結構，由在基板間配置一突出部，可引 導在上下方向鄰接之兩基板。 又，該突出部係在上下方向在基板兩侧設置，且在基 板兩側設置之該突出部係在上下方向配置在形成較基板 參 之板厚度大之間隙較佳。根據如此之結構，可使在基板整 列配置之通常狀態中，基板與突出部不會抵接，只有在基 板移動之場合，基板與突出部抵接，可使基板與突出部之 磨擦降低，而抑制微粒之產生。 又，在基板兩側設置之該突出部係在左右方向不同之 位置配置較佳。如此，在基板兩侧設置之突出部不會夾住 基板。 又，也可更包括從該連結片向外側突出，與該筐體安 裝之壁體可抵接，且限制該連結片之移動之接受部。又， 201007874

TW5424PA 接受部係在該連結片之中央形成，且由該筐體向該壁體侧 之外方突出較佳。如此，可限制連結片之移動，且限制突 出部之位置。 又’本發明之基板收納容器，係包括：容器本體，且 有開口部以收納基板；蓋體，閉鎖該開口部；以及如上ς 述之保持器，安裝於該容器本體之内壁或該蓋體。 根據如此之基板收納容器，由從筐體之上下方向部向 内侧突出之彈性片，可限制基板之位置，在基板之位置偏 移之場合，也可由彈性片將基板之位置復歸至原來位置。 又，包括與筐體之左右方向部連結而在上下方向延伸之連 釔片，在該連結片形成向基板收納容器之内侧突出之突出 部。該突出部係具有為與基板交叉之方向傾斜而可抵接於 該基板之周緣之傾斜面之結構，由該傾斜面，可容易弓！導 基板’降低基板之磨擦，可限制基板之位置。 發明之效果 根據本發明’可提供一種可降低基板之磨擦，限制基 ^之位置，將基板安定保持，並可降低基板污染之虞之保 持器，以及包括該保持器之基板收納容器。 為讓本發明之上述内容能更明顯易懂，下文特舉一較 佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下： 【實施方式】 以下清參…、圖式，說明本發明之保持器以及包括 =之基，納容器之具體實施例。χ，圖式之說明^，、 目问或相當之70件係以相同符號標示，並省略重複之說 201007874

. * TW5424PA 明。第1圖係本發明第一實施形態之基板收納容器之分解 立體圖’第2圖係第1圖所示之基板收納容器沿Π—II線 之橫剖面圖。 如第1圖以及第2圖所示之基板收納容器i ,係收容 一或複數枚（例如6、13、25枚）基板W，基板W之輸送、 搬送、保管等使用之收納容器。基板收納容器！係包括在 正面形成將基，W在前後方向γ可出人之開口部3、在上 ❿ 板3列收納之容器本體2、以 蓋體4係在“^體4 ° J後方向Υ具有既定之厚度，將在問 = 止之卡止機構(加鎖機構 可將在開口部3^ 5係根據從蓋體4外部之操作出沒， 之周緣，裝著有：封：蓋體4加鎖。又，在蓋體4之侧壁 片16之蓋體4安#塾片16(參照第3圖）。將裝著密封整 將基板收納容器】在開口部3 ’由卡止機構加鎖，可 面側（基板收納容^内成為密閉狀S。又，在蓋體4之背 方向水平並排之内面）’安裝有將複數基板W在上下 如後所述。、之保持器8°又’保持器8之詳細說明 釐之1内收容之基板w，係例如直徑公 工。美板w :晶®，基板W之餘兩㈣分別鏡面加 狀離t在=專用之機器手臂在左右之側部周緣夾持之 " 器本體2内出入。在基板w之周緣， =判I,整列容易之溝㈣參照第6緣= N，在平面視圖中，係例如形成半圓形。圖）該溝槽 7 201007874

TW5424PA 基板收納容器i之中，容器本體 緣7、以及握把10等’可使用例如聚兩烯、環烯聚合體、 聚碳酸醋、聚對笨二甲酸乙酯、聚對笨二甲酸丁二醋、 二醚酮、聚甲媒、聚_亞胺等之合成樹脂了』此入 =:可？/性體也可適量添加帶電防止劑， 性附者劑（碳、金屬纖維）、紫外線吸收劑 纖維、碳纖維）等添加劑。 用涵评八坂場 等既Γ之器= 係，性或高剛性優良之聚碳酸醋 =器本體2係在正面開口之正面開口 十。在谷器本體2之兩側魏之 將基板W水平支持之齒17。㈣係如圖=上^^成 以間距複數配列。由齒Π，基板W以水平狀離:上 下方向Z並排整列收納。 以水千狀態在上 做為：Γ二係:支：基在板w之結構 开KV字开η Ϊ 在平面視圖中為長方形、「<」字 形^子形）、半圓弧形狀等。 <」子 緣形成之棚部、以及在該棚部基板W之周 有平坦面之基板接觸部。 Μ與基板W接觸而具 署夕二ί # 17之開口部3側，形成有限制美拓W之位 置之位置限制用段差18。 双有限制基板W之位 容器本體2之内侧(與開口部;制用段差18、以及 側壁21之㈣㈣分， ^反侧）與基板W可抵接之 前後方向Y之動作。 限制谷器本體2内之基板W之 如此結構之齒17,可與容 利用蚊元件，或是使用11本體2 _體形成’也可 ⑦卡σ ’將齒17安裝於容器 201007874

• TW5424PA 本體2。由齒Π = W之側部周緣係 且水平支持’防止基板W在上下方向Z傾斜，由機器手; 之又容易進行基板W之出人。 1 之彳面，形成冑對應於既 疋裝置（例如加工基板之加μ置等）進行位置決定之位 置決定部。位置決定部係設置三個，成γ字形配置。又， 在位置決定部，形成有V字溝（凹部卜又，位置決定部之 斷面形狀並不限於於V字形，例如可形成Μ字形，逆乂字 形’逆Υ字形或凹陷之橢圓形等。 在容器本體2之頂板22之外面，形成有在平面 中成矩形狀之機器凸緣7。該機器凸緣7可與容器本體2 一體形成，也可做為其他元件而形朗容器本體2可著脫 ^结構。基板收納容器！係由機器凸緣7之稱為起重機 (0ΗΤ)之未圖示之自動搬送裝置保持，在卫場内搬送。 ❿ 以下詳細說明保持器8。第3圖係第丄圖中之保持器 :裝：蓋體之背面圖。第4圖係第3圖中之保持器之立體 圖。第5圖係第3圖所示之保持器擴大顯示之正視圖。第 線之剖面圓。第7圖係顯示在容器 it蓋體、安裝於該蓋體之保持器、以及基板收納 令器内保持之基板之部分剖面圖。 如第3圖〜第5圖所示’保持器8係包括形成矩形之 ::之筐體32,該筐體32具有互相對向而在上下方向z 方向部34,以及互相對向而在左右方向X 延伸之一對左右方向部36。 保持器8可由聚丙稀、聚碳酸醋、聚對苯二甲酸乙 9 201007874

TW5424PA 醋、聚對苯二甲酸丁二醋、聚二醚_、聚甲酿、聚謎酿亞 胺等之合成樹脂，或是聚酯系熱可塑性彈性體、聚苯乙烯 系熱可塑性彈性體、聚氨酯系熱可塑性彈性體等各種熱可 塑性彈性體形成。又，這些樹脂或熱可塑性彈性體可適量 添加帶電防止劑、碳或金屬纖維等帶電性附著劑、紫外線 吸收劑、玻璃纖維或碳纖維等補強劑等添加劑。 上下方向部34係如第4圖及第5圖所示，具有在上 下方向Z延伸之平板狀之板狀片34a，與從板狀片恤在 前後方向γ突出之複數側壁34b。板狀片34a係連結於一 2左右方向部36之長方向之兩端部，將板厚度方向做為 前後方向γ而配置。侧壁34b係沿板狀片34a之上下方向 z在外侧之端部交又，將板厚度方向做為左右方向X而形 成，在上下方向Z以既定之間距複數形成。例如，板狀片 34a係在侧壁34b之前後方向γ略中央交又。又，板狀片 34a之未形成側壁34b之部分，形成有向左右方向χ之内 側凹陷之切欠部34c。該切欠部34c係在保持器8安裝於 蓋體4時，喪合於蓋體4形成之突起部，可將保持器8固 定於既定之位置。又’侧壁34b與切欠部—係為左右對 稱之配置較佳。又，切欠部34c以及在蓋體形成之突起部 係做為在保持器安裝於蓋體時進行位置決定之位置決定 部之功能。 又’在保持器8,如第4圖〜第6圖所示，從板狀片 34a在左右方向χ之内侧突出，可限制基板w之前後方向 Y之位置之彈性片（板狀彈簧）38，係在上下方向z以既定 之間距複數形成。彈性片38係例如形成短冊狀（橫長形 201007874

1 TW5424PA 狀）’長度方向係在左右方向X延伸。彈性片38係如第6 圖所示，由在板狀片34a連結之基端部38b侧之前端側 38a，向基板收納容器1之内侧定位而對左右方向χ傾斜 配置。又，彈性片38係在上下方向Z對應於基板w位置 之位置配置而且左右對稱配置。 在彈性片38之刖端部38a，設有略成直方體，在與 基板W對面之面形成保持基板胃之保持溝之保持部4〇。 又，保持器8係包括在上下方向z延伸且長度方向之 • 兩端部連接於左右方向部36之連結片42。該連結片42係 成平板狀，將板厚度方向做為前後方向γ ,主面與基板W 之周緣對面而配置。又，連結片42係在左右方向χ配置 於保持器8之中央。 又，在連結片42之基板W側之主面，形成有向基板 W侧突出之複數凸肋片（突出部）44A、44B。凸肋片44A、 44B係在侧面視圖中’例如成山型（略成台座型）。該凸肋 片44A、44B係在上下方向z鄰接之基板w間分別配置》 參 凸肋片44A、44B係成平板狀’板厚方向成左右方向χ而 配置’上下方向Z之端面係成與對基板w交叉方向傾斜之 傾斜面44e、44f之結構。亦即，凸肋片44A、44B之上端 面之傾斜面44e(第一傾斜面）係凸肋片44A、44B之前端側 (基板收納容器1之後方側）由凸肋片44A、44B之基端側 (連結片42側）在上下方向向下方位置傾斜。又，凸肋片 44A、44B之下端面之傾斜面44f(第二傾斜面）係凸肋片 44A、44B之前端侧（基板收納容器1之後方侧）由凸肋片 44A、44B之基端侧（連結片42侧）在上下方向向上方位置 201007874 TW5424PA 欢 fc 傾斜。 又，在上下方向Z鄰接之凸肋片44A、44B係在左右 方向X不同位置配置。具體而言，凸肋片44A係在基板收 納容器1之中央如圖示之右側（參照第5圖）而配置，凸肋 片44B係在基板收納容器1之中央3 6如圖示之左側而配 置。亦即，如第6圖所示，凸肋片44A、44B係在左右方 向X分離，在上下方向Z與基板W之溝槽N不重疊之位置 配置。又，右侧配置之凸肋片44A以及左側配置之凸肋片 44B係在上下方向交互配置，如第5圖所示，分別在同一 直線上配列。 又，保持器8係如第7圖所示，基板W在既定之位置 整列配置之通常狀態中，凸肋片44A、44B之傾斜面44e、 44f係配置於與基板W不會抵接之位置。具體而言，在上 下方向Z鄰接之凸肋片44A、44B之間隔P係較基板W之 板厚t大。又，如第4圖所示，最上段配置之凸肋片45A， 係在上下方向Z中半割之形狀，具有向下方之傾斜面44f， 最下段配置之凸肋片45B’係在上下方向Z中半割之形狀， 具有向上方之傾斜面44e。又，凸肋片44A、44B之前端部 係如第6圖所示，通常時，在上下方向Z與基板W之周緣 一部分重疊而設置。 其次，對如此結構之保持器8說明基板W之位置限 制。通常狀態中，基板W係如第2圖所示，由齒17支持 左右方向X之周緣部，在基板收納容器1内水平保持。此 時，基板W係由位置限制用段差18限制向前方之移動， 由側壁21之内壁面部分19限制向後方之移動。又，該通 201007874

. ，TW5424PA 常狀態中’基板W係如第6圖所示，由彈性片38支持之 保持部40保持前方侧之周緣部，限制向前方側之移動。 又’基板W係如第8圖所示’在上下方向z配置於凸助片 44A、44B之間，與凸肋片44A、44B成未接觸之狀態。 在此’例如在基板收納容器1向前方側（保持器8侧） 傾斜之場合，將基板W向前方移動之力作用時，基板W係 由彈性片38之復原力，向後方壓回，而復歸與通常狀態 相同之位置。 ® 又’如第7圖所示，在基板W向前方側移動之場合中， 基板W係與保持器8之連結片42之基板w侧之主面抵接， 如上所述，由彈性片38之復原力，向後方壓回，而復歸 與通常狀態相同之位置。 又’在基板W之前方側向上方傾斜之場合中，基板W 係與保持器8之連結片42之凸肋片44A、44B之傾斜面44f 抵接。又，基板W係由傾斜面44f限制移動，在上下方向 Z引導至鄰接之凸肋片44A、44B之中間位置，而復歸與通 • f狀態相同之位置。 同樣地，在基板W之前方側向下方傾斜之場合中，基 板W係與保持器8之連結片42之凸肋片44A、44B之傾斜 面44e抵接。又，基板W係由傾斜面44e限制移動，在上 下方向Z引導至鄰接之凸肋片44A、44B之中間位置，而 復歸與通常狀態相同之位置。 包括如此之保持器8之基板收納容器1，由從筐體32 之上下方向部34向内側突出之彈性片38，可限制基板W 之前後方向之位置，在基板W之位置偏移之場合，可由彈 13 201007874

TW5424PA 性片38將基板W之位置復歸至原來位置。又，保持器8 ’ 係包括在筐體32之左右方向部36連結於長度方向彳圖示 上下方向z)之兩端部而在上下方向z延伸之連結片42， 在該連結片42形成向基板收納容器1之内側突出之稽^數 凸肋片44A、44B。該凸肋片44A、44B係具有可抵接於該 基板W之周緣之傾斜面44e、44f之結構，由該傾斜面44e、 44f，可容易引導基板W至與通常狀態相同之位置，降低 基板W之磨擦，可限制基板W之位置。 — 又，凸肋片44A、44B在上下方向2在鄰接之基板w ⑩ 間配置，由一個凸肋片44A、44B，可引導上下方向z鄰接 之兩基板W。如此，可減少元件個數，達到簡化之結構， 可抑制製造成本。 又，凸肋片44A、44B在上下方向z形成較基板双之 板厚度t大之間隙而配置，可使在基板？整列配置之通常 狀態中，基板W與凸肋片44A、44B不會抵接，只有在基 板W移動之場合’基板w與凸肋片44A、44B抵接。如此 之配置可使基板W與凸肋片44A、44B之磨擦降低，而抑 ® 制微粒之產生。 又’將基板W夾持而在上下方向z之兩侧設置之凸肋 片44A、44B係在左右方向不同之位置配置，在上下方向A 鄰接之凸肋片44A、44B不會夾住基板w。 在此，請參照第13圖，說明第一實施形態之變形例。 在彈性片38之前端部38a設置之保持部72之保持溝，係 可如第一實施形態之保持部40之保持溝之v字上之外 部’包括如第13圖所示之二段傾斜面之形狀。此時，保 14 201007874

• . TW5424PA 持溝之開口部侧面對之傾斜面72a之角度0 1，為限制基 板w之位置，設定為100。〜120。之範圍較佳。角度 在1〇〇°以上時，可從保持溝將中心偏移之基板w在廣範 圍導入至保持溝内。又，角度Θ1在120。以下時，基板w 在傾斜面之途中不會掛住而可確實引導至保持溝内。

又，保持溝之内部之傾斜面72b之角度02，係為可 安定保持基板W而設定為35。〜55。之範圍較佳。角度θ 2在35°以上時，可防止基板w在保持溝夾持而解除蓋體 4時基板W由保持器7〇引出。又，角度02在55。以下時， 可在振動等時基板w從保持溝飛出較少。 又，保持溝之深度h係基板半徑之1· 5%〜3. 0%之深 度較佳。例如，半徑150公釐（直徑300公愛）之基板#之 場合’深度h係設定為2· 25公爱〜4 5公璧。深度h在 2少在振動等時基板w從保持溝飛出較 又在4·5么釐以下時，可防止保持部72從蓋體4 之表面飛出且不損失彈性片38之彈性。 姓哭請參照第8圖，說明本發明第二實施形態之保 圖係顯示本發明第二實施形態之保持器、蓋體、 面圖。該第二實施形態之保持器50與第- 實“之保持器8不同之點’在於具有從連結片42向 前方突出之接受部52。 接受部52,具體而言，係在連結片42與蓋體4對向 之主面形成’向蓋體4突出。該接受部52係在側面視圖 中成例如台形’在上下方向z以既定之間距複數設置。在 上下方向z，對應於凸肋片44A之位置設置。又接受部 15 201007874

TW5424PA 方!!x配置於連結片42之中央。又，接受部 不限疋，總之，可抵接於蓋體4即可。 ,如此之第一實施形態之保持器50可達到與第一實施 =態相同之作用效果。特別是，在第二實施形態之保持器 由形成從連結片42在前方突出之接受部52 ,接受部 Μ與蓋體4抵接，可限制連結片42向前方移動。如此。， 可抑制連結片42向前方移動，將基板W之移動更適當限 制’可降低基板W之磨擦。又，接受部52係由保持器5〇 之側壁34b向前方側（壁體4側）突出之結構較佳。如此， 可將連結片42之前後方向γ之移動量更加降低。又，由 接受部52之高度（前後方向γ之長度）變更，可將連結# 42之前後方向γ之位置適當調節。又，接受部52從前後 方向Y視之，可為圓形、矩形、平板狀，也可為其他形狀。 其·^ S參照第9圖，說明本發明第三實施形態之保 持器。第9圖係顯示本發明第三實施形態之保持器、蓋體、 基板之部分剖面圖。該第三實施形態之保持器54與第二 實施形態之保持器50不同之點，在於接受部56之形狀不 ❹ 同。 接受部56 ’具體而言，係在連結片42與蓋體4對向 之主面形成，向蓋體4突出。該接受部56係在上下方向z 中央部56a之高度（前後方向γ之長度）最高，上下方向z 之兩端部傾斜而形成斜邊56b。如此之結構中，可適當限 制前後方向Y之移動量最大之中央部56a之位置。又，取 代在侧面視圖中直線狀之斜邊56b，也可做為弯曲形狀。 其次，請參照第10圖’說明本發明第四實施形態之 16 201007874

• [ I 保持器。第10圖係顯示本發明第四實施形態之保持器之 部分正視圖。又，保持器之正面係為基板w侧之面。第四 實施形態之保持器58與第一實施形態之保持器8不同之 點，在於具有與凸肋片44A、44B形狀以及位置不同之凸 肋片（突出部）60A、60B。 具體而言，第四實施形態之保持器58之凸肋片60A、 6〇B係形成塊狀’較第一實施形態之凸肋片44A、44B在左 春 右方向X具有寬度。又，凸肋片60A、60B之侧面形狀， 係與凸肋片44A、44B相同之形狀，例如形成山型（略成台 座型）°又，上下方向Z之端面構成有與基板W交叉之方 向傾斜之傾斜面60e、60f。亦即，凸肋片60A、60B之上 端面之傾斜面60e(第一傾斜面）係凸肋片60A、60B之前端 侧（基板收納容器 1之後方侧）由凸肋片60A、60B之基端 侧（連結片42侧）向下方位置傾斜。又，凸肋片60A、60B '^下端面之傾斜面60f(第二傾斜面）係凸肋片60A、60B之 鲁 Μ端侧（基板收納容器1之後方侧）由凸肋片60A、60B之 ^侧（連結片42侧）向上方位置傾斜。 又，凸肋片60Α、60Β係沿上下方向Ζ兩列配置，凸 肋片6〇α係配置於圖示右側，凸肋片60Β配置於圖示左 側。又’凸肋片60Α、60Β係從上下方向Ζ所視，在左右 方向X—部分重疊配置。例如，在左右方向X約一半重曼 而配置。又，凸肋片60Α、60Β之傾斜面60e、60f係較在 f板W形成之溝槽N(參照第6圖）之左右方向X寬度廣之 範圍而形成較佳。如此構成之第四實施形態之保持器58 也可達到與第一實施形態之保持器8相同之作用效果。 17 201007874

TW5424PA TZV11 * 保符Is第11圖係顯示本發明笫π . A ^ 6fc 部分正視困。該第五實施形二==器之 態之保持器8不同之點’在於支持 、= ::::::構支持之保持部4。，_由二同支 第五實施形態之保持器，係包括

==:4。之連結彈性片6心連結彈性片6:係::: 方向X延伸…端部64a連結於連結片42，另」 持部.又，保持部4〇係、由彈性片 = 從左右方向X之兩侧支持。如此構成之第及五連實 ::::保持器62也可達到與第一實施形態之保持 相同之作用效果。 ^荔8 /、-欠’請參照第12圖，說明本發明變形例之保持 第12圖係顯*本發明變形例之保持器之正視圖 。 〇 之保持器66與第-實施形態之保持器8不同之點，二 包括取代連結片42之在左右方向X鄰接而連結保么 之連結彈性片68,凸肋片碰、_係在上下方向跨 接之兩個連結彈性片68而固定。如此結構之場合中， 限制向凸肋片44A、44B前方之移動，形成有從連結彈性 片68向蓋體4突出之接受部（52、56)較佳。 以上對本發明根據實施形態進行具體說明，然而，本 發明並不限定於上述之實施形態。上述實施形態中，係將 本發明之基板收納容器做為收納半導體晶圓之裝置而進 行說明，然而收納物之基板並不限定為半導體晶圓，光罩 18 201007874

• · TW5424PA 玻璃等其他精密基板也可以。又，收容之基板大小不限定 於300公釐，例如450公釐等其他大小也可以β又，收納 枚數並不限於1〜25牧，26枚以上也可以。 又，上述實施形態中，係將保持器8安裴於蓋體4之 背面側之基板收納容器1，然而保持器8之安裝位置也可 以在容器本體2之侧壁21之内壁面，背面壁之内壁面。 又，將保持器8安裝於蓋體4時之位置決定部之位置 決定突起及位置決定凹部，係在筐體32之上下方向部34 _ 左右對稱之位置設置，然而也可形成左右不對稱之位置決 疋部。如此形成左右不對稱之位置決定部之場合安裝保 持器8時，為在上下方向ζ出現方向性，可將基板w與形 成保持部40之保持溝之壁面精度良好抵接。又，包括左 右對稱之位置決定部之場合，特別是形成非對稱之位置決 定部，也可防止在上下方向安裝錯誤。 、 又，蓋體與保持器之位置決定部，或是保持器之卡止 爪，係在不只一侧壁，而在另一側壁形成也可以。又，在 筐體之一部具有向上方可彎曲之彎曲部之結構，可使保持 器之安裝或拆除容易。 '' 又，取代保持器50、54之背面侧設置之接受部52、 56，也可將接受部在蓋體4之背面（保持器侧之主面）形 成，限制向連結片42 ,凸肋片44A、44B前方之移動。 [實施例] 其次以實施例對本發明做更詳細之說明，然而，本發 明並不限定於實施例。 19 201007874

TW5424PA 〈第一實施例〉 首先，準備包括第—實施形態之保持器8(參照第4 圖）之基板收納容器i，在該基板收納容器1收納25枚基 板w。收納之各基板w係由齒17水平支持。 然後將如此收納各基板#之基板收納容器 1之底面

從基準面向上舉起1Q公分，在底面向下之狀態將基板收 納容器1垂直落下，確認從保持器8之基板w掉出或基板 W之破知有無。又’至從保持器8之基板w掉出或基板w 之破損發生為止’每次提高10公分之落下高度，同樣落 下，以確認所能承受之最大落下高度。 〈第二實施例〉 第一實施形態之變形例之保持器7〇，其保持溝具有 兩段傾斜面72a、72b之保持部72(參照第13圖），準備包 括保持器70之基板收納容器，與第一實施例相同，在基 板收納容器收納25牧基板W。然後，對該基板收納容器進 行與第一實施例相同之落下試驗。 〈第三實施例〉 準備包括第二實施形態之保持器50之基板收納容器 (參照第8圖），與第一實施例相同，在基板收納容器收納 25牧基板W。然後’對該基板收納容器進行與第一〜第二 實施例相同之落下試驗。 〈第四實施例〉 準備包括第三實施形態之保持器54之基板收納容器 (參照第9圖），與第一實施例相同，在基板收納容器收納 25牧基板W。然後’對該基板收納容器進行與第一〜第三 20 201007874 • i VTJW/l 實施例相同之落下試驗。 〈第五實施例〉 準備包括第四實施形態之保持器58之基板收納容器 (參照第10圖）’與第一實施例相同，在基板收納容器收 納25枚基板W。然後，對該基板收納容器進行與第一〜第 四實施例相同之落下試驗。 〈第六實施例〉 翁 準備包括第五實施形態之保持器62之基板收納容器 (參照第11圖），與第一實施例相同，在基板收納容器收 納25枚基板W。然後，對該基板收納容器進行與第一〜 五實施例相同之落下試驗。 <比較例〉 鬌 β將從第一實施形態之保持器8取下連結片42之保 =做為比較用保持器’準備包括該保持器之基板收納容、 t然後，對該基板收納容器進行與第施 J之落下試驗。 ^ 後如矣一 AtL —

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如表一所示，包括比較用保持器（沒有連結片42之保 持器）之基板收納容器中，在落下高度3〇公分之落下試驗 中基板？從保持溝掉出，隨著掉出破損也在基板w發生。 對此，第一〜第六實施例之基板收納容器中，在落下高度 r/rt至80公分之落下試驗中基板w也不會從保持^ 之良好」係表示基板w沒有掉出之意思因此， 根據本實_態之簡ii，相較於比較狀保持H，可承G 受三倍以上之^下高度，較能安定保持基板[ 綜上所述，雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並 :用：限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識 者，在不脫離本發明之精神和範圍内，當可作各種之更動 因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範 圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 22 201007874 . ， 1 v? 第1圖係本發明第一實施形態之基板收納容器之分 解立體圖。 第2圖係第1圖所示之基板收納容器沿II-II線之橫 剖面圖。 第3圖係第1圖中之保持器安裝之蓋體之背面圖。 第4圖係第3圖中之保持器之立體圖。 第5圖係第3圖所示之保持器擴大顯示之正視圖。 φ 第6圖係第3圖沿VI-VI線之剖面圖。 第7圖係顯示在容器本體裝著之蓋體、安裝於該蓋體 之保持器、以及基板收納容器内保持之基板之部分剖面 圖。 第8圖係顯示本發明第二實施形態之保持器、蓋體、 基板之部分剖面圖。 第9圖係顯示本發明第三實施形態之保持器、蓋體、 參 基板之部分剖面圖。 第10圖係顯示本發明第四實施形態之保持器之部分 正視圖。 第11圖係顯示本發明第五實施形態之保持器之部分 正視圖。 第12圖係顯示本發明變形例之保持器之部分正視 圖。 第13圖係顯示本發明第一實施形態之變形例之保持 23 201007874 TW5424PA ^ . 器之部分侧視圖。 【主要元件符號說明】 1基板收納容器 2容器本體 3開口部 4蓋體 7機器凸緣 8、50、54、58、62、70 保持器 10握把 15卡止機構(加鎖機構） β 16密封墊片 17齒 18位置限制用段差 21侧壁 32筐體 34上下方向部 34a 板狀片 34b 侧壁 34c 切欠部 36左右方向部 ❿ 38彈性片 40、72 保持部 42連結片 44A、44B、60A、60B 凸肋片（突出部） 44e、60e傾斜面（第一傾斜面） 44f、60f傾斜面（第二傾斜面） 52、56 接受部 24

Claims (1)

1. 201007874 t ，TW5424PA 七、申請專利範圍： 1. 一種保持器’設置在一收納基板之一基板收納容 器’在板厚度方向沿上下方向以一定間隔整列而保持支持 之一基板，包括： 一筐體’具有在上下方向延伸之一對上下方向部以及 與該對上下方向部正交而在左右方甸延伸之一對左右方 向部； 一彈性片，從該上下方向部向内側突出’可限制該基 • 板之位置； 一連結片，在上下方向延伸，立兩端部連接於該左右 方向部；以及 一突出部，在與該基板交叉之方向傾斜而可抵接於該 基板之周緣之傾斜面形成，從該連結片向該基板收納容器 之内側突出。 2·如申請專利範圍第1項所述之保持器，其中： 該突出部係在上下方向在鄰接之基板間配置； • 該傾斜面係具有： 與在上端形成之一基板可抵接之一第一傾斜面；以及 與在下端形成之另一基板可抵接之一第二傾斜面。 3·如申請專利範圍第1項所述之保持器，其中： 該突出部係在上下方向在基板兩側設置； 在該基板兩側設置之該突出部係在上下方向配置在 形成較基板之板厚度大之間隙。 4·如申請專利範圍第2項所述之保持器，其中： 該突出部係在上下方向在基板兩側設置； 25 201007874 ^ 身 , TW5424PA ， 在該基板兩側設置之該突出部係在上下方向适 在 形成較基板之板厚度大之間隙。 5·如申請專利範圍第3項所述之保持器，其中在該 基板兩側設置之該突出部係在左右方向不同之位裏配置。 6.如申請專利範圍第4項所述之保持器，其中在該 基板兩側設置之該突出部係在左右方向不同之位裏配置。 7·如申請專利範圍第1至第6項中任一項所述之保 持器，更包括從該連結片向外侧突出，與該筐髏安裝之壁 體可抵接，且限制該連結片之移動之一接受部。 鬌 8.如申請專利範圍第7項所述之保持器，其中該接 受部係在該連結片之中央形成，真由該筐體向該聲體侧之 外方突出。 9· 一種基板收納容器，包栝： 一容器本體，具有開口部以收納基板； 一蓋體’閉鎖該開口部；以及 如申請專利範圍第1項炱第6項中任一項所述之保持 器，安裝於該容器本體之内璧或該蓋體。 〇 10· —種基板收納容器，包括· 一容器本體，具有開口部以收納基板； 一蓋體，閉鎖該開口部；以及 如申請專利範圍第7項所述之保持器，安裝於該容器 本體之内壁或該蓋體。 11. 一種基板收納容器，包栝· 一容器本體，具有開口郄以收納基板； 一蓋體’閉鎖該開口部；以及 26 201007874 , · TW5424PA 如申請專利範圍第8項所述之保持器，安裝於該容器 本體之内壁或該蓋體。 ❹

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