TW201006739A - Carrier of reticle pod and the fixing element thereof - Google Patents

Description

201006739 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種光罩盒之承載盒，特別係有關於一種於光罩盒之承載盒 中配置複數個固定件，用以固定承載盒中的光罩盒。 【先前技術】 近代半導體科技發展g + H微影技術(Optical Lithogmphy)扮演重 要的角色’只妓關於_(pattem)定義，皆需仰航學微影技術4學微影技 術在半導體的應用上，是將設計好的祕製作成具有特定形狀可透光之光罩 (photo mask)。利用曝光原理’則光源通過光罩投影至石夕晶圓⑽ic⑽观㈣可曝 光顯示特定圖案。由於任何附著於光罩上的塵埃顆粒(如微粒、粉塵或有機物) 都會造成投影成像的品質劣化，用於產生圖形的光罩必須保持絕對潔淨，因此 $般的晶圓=程都提供無塵室(clegn r〇〇m)的環境以避免空氣中的顆粒污 '.....而目别的無塵至也無法達到絕對無塵狀態。現代的半導體製程皆利用 抗污染的光罩細idep()d)断光罩_存與，贿光罩保持潔淨。 參 的運送光罩方式，通常是先將單—個光罩存放於單一個光 :: 將個光罩盒一同放置於一個光罩盒之運輸盒，並於光罩盒之運 棉、_約，減少光罩盒之~間隙，並 的震動，』避_盒之運散於運送光μ途中所產生 供丄:=的光罩而導致光罩之摩擦或損壞。然而，就光罩 :·、、。時除了需將光罩盒固定安置於光罩盒之運輸各内以外，以 Τ人工方式將軟性物質充填於光罩盒之運 隙；就光罩需求方而言 ㈣-内不會有過多侧 盒之運輸盒盒⑽概㈣ 也_先以人卫方式觀填於光罩 充填用的軟性物質加以處裡 需針對這些用來 裝與拆卸以外，若將這些使用過的軟性物質直接丢棄而不重複 201006739 使用，這些無法自行分解的軟性物質又將對環境造成污染。 【發明内容】 為了解決上賴題，本發明之主要目的在於提供—種 光罩盒之承载盒中，用關定承㈣光罩盒，以使 ^ 較佳之防震與倾效果。 罩五具有 本發明之P主要目的在概供—触罩紅承妓，其峡 防止光罩摩擦或損壞，並減少塵粒的產生。 、另双1主& 本發明之X-线目的在_供_顧定件，其具雜佳 效釋放應力。 服.，σ構了有 本發明之射4要目的姐提供_姻定件，其具有較觸單 式’可易於單一固定件之拆換更替。 本個之再-主要目的在於提供—種鮮盒之承載盒，另具有—氣密塾圈可 提供較佳之氣密效果。 本發明之再-目的在於提供-種光罩盒之承載盒，另具有_止滑墊可避免光 罩盒之滑動，而造成光罩的震動。 依據上述目的，本發供_難置於光罩红承載盒巾_餅。此光罩 ❹盒之承載盒包含-上蓋體…下蓋體、複數片隔板以及複數細定件，上蓋體 與下蓋體大致對應以形成-容置空間，下蓋鱧具有數對導軌設於下蓋體兩相對 之内表面側面上，隔板係由導軌嵌入於下蓋體内，將容置空間分割成複數個容 置空間用以存放數個光件則係設置於上蓋體内表面之頂面，此固定 件具有一頂部，此頂部兩侧各配置有向外側傾斜延伸之一對翼部，此對翼部於 一適當轉折部彎曲向下以使此對翼部之自由端形成夾持部，並於此對翼部之轉 折部再向此對翼部之自由端内麵斜延伸形成—抵壓部，其中抵麼部與頂部間 保持一第^一間距。 因此，當承載盒之上蓋體蓋合於下蓋體時，上蓋體之每一個固定件皆可對應 存放於承載盒中的每一個光罩盒，固定件之夾持部可夾持光罩盒，固定件之抵 201006739 壓部可頂持光罩盒’以避免承載盒於運送光罩盒途中所產生的震動，影響存放 於光罩盒巾縣罩_致光罩之雜或㈣，·具有健切震與保護效 果，並可減少塵粒的產生。 【實施方式】 由於本發明係揭露一種光罩盒之承載盒，特別是一種於光軍盒之承載盒中 配置複數侧定件’並藉由這些@定件來目定承載盒巾的光罩盒。由於，:發 明所利用到的-些光罩或光罩盒之詳細製造或處理過程，係利用現有技術來達 成’故在下述朗中，並*作完整描述^而且τ述内文中之圖式亦並未依據 實際之相關尺寸完整繪製，其作用僅在表達與本創作特徵有關之示意圖。 第1圖係根據本發明固定件之一較佳實施例示意圖，此固定件丨具有一頂 部二〇，並配置一鎖固孔104於頂部10之頂面上，以供一鎖固件(未示於圖中） 固疋此固疋件1，頂部10兩側各配置有向外側傾斜延伸之一對翼部12 ,這對翼 部12於-適當轉折部122彎曲向下以使這對翼部12之自由端各形成一夹持部 14 ’並且又於這對翼部12之轉折部122再向這對翼部12之自由端内側分枝並 傾斜延伸以形成-抵壓部16，其中抵壓部16與頂部1〇間保持一第一間距〇， 可於頂部10受到施壓時形成一緩衝空間。 • 承上所述’抵壓部16之形狀近似一 V形結構，且於整體結構中兩端之厚度 較中央部位為薄，而頂部10與翼部12側傾斜延伸所形成之一第一夾角A1 = 一鈍角，其角度為約100度〜170度’而其較佳之設計為約12〇度〜16〇度；此外^ 翼部12於轉折部122傾斜延伸所形成抵壓部16之一第二夾角^為一銳角，其 角度為約1〇度〜75度，而其較佳之設計為約2〇度〜6〇度；另外，並於每一轉折 部122與自由端之間形成-第-圓弧凹槽124,故此固定件i具有較佳之彈性钟 構，可有效釋放應力。很明顯地，固定件i之頂部1〇、翼部12、轉折部12= 失持部14與抵壓部16係為-體成形之結構，其係由彈性材質所製成，而所製 成之材料可由以下材料中選出：高分子材料、塑膠材料、聚乙稀(pE)材料或聚丙 烯(PP)材料，其中聚乙烯(PE)是一種耐磨之材質。 7 201006739 第2圖係根據本發明固定件之另一較佳實施例示意圖，此固定件丄具有一 頂部10，配置一鎖固孔1〇4於頂部1〇之頂面上，以供一鎖固件(未示於圖中） 固定此固定件1，另配置一圓柱頂體102於頂部1〇，此圓柱頂體1〇2為一甲空 頂體，頂部10兩侧各配置有向外側傾斜延伸之一對翼部12，這對翼部η於一 適當轉折部122彎曲向下以使這對翼部12之自由端各形成一夾持部14，並且又 於這對翼部12之轉折部122再向這對翼部12之自由端内側分枝並傾斜延伸以 形成一抵壓部16，其中抵壓部16與圓柱頂體1〇2間保持一第二間距C2，可於 頂部10受到施壓時形成一緩衝空間，且圓柱頂體1〇2之長度可為頂部1〇與抵 ❿壓部16最低處之距離的1/4〜3/4’或亦可為頂部10與抵壓部16最低處之距離的 一半。 承上所述’抵壓部16之形狀近似一 V形結構，且於整體結構中兩端之厚度 較中央部位為薄，而頂部10與翼部12側傾斜延伸所形成之一第一夾角八丨為 一鈍角，其角度為約100度〜170度，而其較佳之設計為約120度〜160度；此外， 翼部12於轉折部122傾斜延伸所形成抵壓部16之一第二夾角…為一銳角，其 角度為約10度〜75度’而其較佳之設計為約20度~6〇度；另外，並於每一轉折 部122與自由端之間形成一第一圓弧凹槽124,故此固定件1具有較佳之彈性钟 構’可有效釋放應力。頂部10、翼部12、轉折部122、夾持部Μ與抵壓部16 ®係為一體成形之結構，其係由彈性材質所製成，而所製成之材料可由以下材料 中選出：高分子材料、塑膠材料、聚乙烯(PE)材料或聚丙稀(PP)材料，其中聚乙 烯(PE)是一種耐磨之材質。很明顯地，上述之固定件丨具有較為簡單之結構，可 使用一般的射出成形方式一體成形，故其製造之成本非常低。 第3圖係根據本發明固定件之又一較佳實施例示意圖，此固定件丨具有一 頂部10，配置一鎖固孔104於頂部1〇之頂面上，以供一鎖固件(未示於圖中） 固定此固定件1，另配置一圓柱頂體102於頂部1〇 ’此圓柱頂體1〇2為一中办 頂體，頂部10兩側各配置有向外侧傾斜延伸之一對翼部丨2，這對翼部12於— 適當轉折部122彎曲向下以使這對翼部12之自由端各形成一夾持部14，並且又 8 201006739 形Lil12之轉折部122再向這對翼部12之自由端内側分枝並傾斜延伸以 1卩16，咖14與觸16之__—娜^，其 18 與紐部16連接紅厚絲切部18其鱗份為薄，且支撐部 門保、梏連接處具—第二18弧凹槽182，其中抵壓部16與®柱頂趙1〇2 /〇2之县—^Γ㈣，可於頂部10受到施壓時形成一緩衝空間，且圓柱頂體 雜愿^ 部1G與抵壓部16最低處之轉的1/4〜3/4，或亦可為頂部10 ί冓造。° i低處—半，故此固定件1具有較為堅固且有較佳之彈性 ®私占上所述，抵壓部16之形狀近似一 V形結構，且於整體結構中兩端之厚度 央π位為薄’而頂部1G與翼部12麵斜延伸所形成之—第—夾角Μ為 鈍角，其角度為約1GG度〜170度，而其較佳之設計為約12{)度〜16G度；此外， 翼部12於轉折部122傾斜延伸所形成抵壓部16之一第二夹請為一銳角，其 角度為約1〇度〜75度，而其較佳之設計為約20度〜60度；另外，並於每一轉折 部122與自由端之間形成一第一圓弧凹槽124，故此固定件i具有較佳之彈性结 構，可有效釋放應力。頂部10、翼部12、轉折部122、夾持部14、抵壓部^ 與支樓部18係為-體成形之結構，其係由彈性材質所製成，而所製成之材料可 由以下材料中選出：高分子材料、塑膠材料、聚乙稀(pE)材料或聚丙烯㈣材料， ®其中聚乙烯(PE)是一種耐磨之材質。 第4圖與第5圖係根據本發明承載盒之一較佳實施例示意圖此承載盒2 包括-具有容置空間之上蓋體2〇及一具有容置空間之下蓋艘22 ,故可將上蓋體 20與下諸22大賴應卿成—可容_件(例如光罩幻之容置㈣；此外， 於下蓋體22之容置空間中’配置至少一隔板24,且至少一對導軌22〇配置於下 蓋體22之容置空間中的兩相對之内表面麻上，以提供隔板24 |人，用以將 承載盒2之容置空間分割成複數個容置光罩盒之空間28。 此外，承載盒2另具有數個扣合元件2如與數個扣合邊部2处，扣合元件 26a係設於下蓋體22之外側之侧邊上，扣合邊部2你則係設於上蓋體2〇之外側 9 201006739 之側邊上’扣合元件26ab與扣合邊部26係設置於相互對應之不同蓋體上；此 外，上蓋體20與下蓋體22之一側邊係以絞鍊30方式相互接合，並具有一氣密 墊圈32設於下蓋體之蓋體開口處，可提供承載盒2達到較佳之氣密效果，而另 具有一止滑墊34鋪設於下蓋體内之底面，可避免放置於承載盒2中的光罩盒滑 動，而造成光罩的震動。 第6圖係根據本發明承載盒之一較佳實施例示意圖，此承載盒2包括一具 有容置空間之上蓋體20及一具有容置空間之下蓋體22，故可將上蓋體2〇與下 蓋體22大致對應以形成一可容納光罩盒之容置空間；此外，於下蓋體22之容 @置空間中’配置至少一隔板24’並進一步於上蓋體2〇之容置空間的内側頂面上 配置至少一固定件1 ;此外，於下蓋體22之容置空間中，且至少一對導執22〇 配置於下蓋體22之容置娜巾的兩姆之内表賴面上，以提供酿24嵌入， 用以將容置空間分割成複數個容置空間28。 如上所述，本發明之固定件i係設置於上蓋體2〇之容置空間的内側頂面 上。固定件1具有-頂部1〇，頂部1〇兩侧各配置有向外侧傾斜延伸之一對翼部 12，這對翼部12於-適當轉折部122 f曲向下以使這對翼部12之自由端各形 成夾持部I4 ’並且又於這對翼部12之轉折部122再向這對翼部12之自由端 内側刀枝並傾斜延伸以形成一抵壓部16，其中抵壓部Μ與頂部間保持一第 ❹-間距C卜可於頂部1()受到施壓時形成—緩衝空間。 配置一鎖固孔104於頂部10之頂面上，市 1可利用黏膠接合方式固定於承載盒2上; ，此外，本發明另提供數種將固定件1固定於上蓋體20内表面之頂面上之方 弋如固疋件i可利用鎖固件(未示於圖中)固定於於承載盒a上因此固定件1

，而鎖固件可為一螺絲元件；或是固定件 t;或是固定件丨係與承載盒2 —體成型 ”有較為簡單之裝設方式，可易於單-固定件之拆換更 第7圖係根據本發明之承載盒月 光罩盒3之承載盒2包括一具有容置 用於承載光罩盒之一較佳實施例示意圖，此 I空間之上蓋體2〇及一具有容置空間之下蓋 201006739 體22，故可將上蓋體20與下蓋體22大致對應以形成一可容納光罩盒之容置空 間；此外’於下蓋艘22之容置空間中，配置至少一隔板24，並進一步於上蓋= 20之容置空間的内側頂面上配置至少一固定件丄；此外，於下蓋體22之容置命 間中，且至少-對導軌22〇配置於下蓋體22之容置空間中的兩相對之内表面側 面上’以提供隔板24欽，用轉容置郎侧成複數個容置空間28。 當複數個光罩盒3依序放置於承載盒2之容置空間烈後，當上蓋體2〇蓋 合於下蓋體22時’上蓋體2G之每-個固定件丨皆可對應存放於補盒2中的 每-個光罩盒3，因此，固定件丨之錄部14可絲鮮盒3，並且可再藉由 ⑩固定件1之抵壓部16頂持住光罩盒3 ’骑免核盒2於運送光衫3途中所 產生的震動，影響存放於光罩盒3中的光罩，而導致光罩之雜或損壞，因此 具有較佳之防震與保護效果，並可減少塵粒的產生。 以上所述僅為本發明之較佳實施例，並非用以限定本發明之權利範圍； 以上的描述，對於熟知本技術領域之專門人均刊瞭及實施因此其他未脫 離本發明所揭示之精神下所完成的等效改變或_，均應包含在下述之申嗜專 【圖式簡單說明】 Φ 第1圖係固定件之一較佳實施例示意圖。 第2圖係固定件之另一較佳實施例示意圖。 第3圖係固定件之又一較佳實施例示意圖。 第4圖係光罩盒之承載盒之侧視圖。 第5圖係光罩盒之承載盒之上視圖。 第6圖係承載盒之側視圓。 第7圖係光罩盒之承載盒之透視圖。 【主要元件符號說明】 固定件 201006739

10 頂部 102 圓柱頂體 104 鎖固孔 12 翼部 122 轉折部 124 第一圓弧凹槽 14 央持部 16 抵壓部 18 支撐部 182 第二圓弧凹槽 2 承載盒 20 上蓋體 22 下蓋體 220 導軌 24 隔板 26a 扣合元件 26b 扣合邊部 28 容置光罩盒之空間 3 光罩盒 30 絞鍊 32 氣密墊圈 34 止滑墊 A1 第一夾角 A2 第二夾角 Cl 第一間距 C2 第二間距 201006739 C3 夾持部與夾持部間之距離 C4 盒體寬度

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Claims (1)

1. 201006739 十、申請專利範圍·· I. 種固定件’包括—卿，該頂部兩側各配置有向外側傾舰伸之—對翼部， 該對翼，於—適當騎部彎曲向下以使該對翼部之自由端形成姚部，並於 〜子翼。卩之轉折部再向該對翼部之自由端_丨分枝並傾斜延伸以形成一抵壓 部，其中該抵壓部與該頂部間保持一第一間距。 2’如申明專利範圍第丨項所述之固定件，其進—步於配置—圓柱頂體於 該頂部。 3·如申請專利範圍第2項所述之固餅，其中該圓柱頂體係為一中空頂 體。 參 j. 4. 如申凊專利範圍第2項所述之固定件，其中該抵壓部與該圓柱頂體間保 持一第二間距。 5. 如申請專利範圍第2項所述之固定件其中該圓柱頂體長度為該頂部 與該抵壓部其最低處之距離的1/4-3/4。 6. 如申請專利範圍第2項所述之固定件其中該圓柱頂體長度為該頂部 與該抵壓部其最低處之距離的一半。 7. 如申請專利範圍第丨項所述之固定件，其中該頂部與該翼部側傾斜延 伸所形成之一第一失角為一純角。 ® 8.如申請專利範圍第7項所述之固定件，其中該鈍角之角度為120〜160度。 9.如申請專利範圍第丨項所述之固定件，其中該翼部於該轉折部傾斜延伸 所形成該抵壓部之一第二夾角為一銳角。 1〇_如申請專利範圍第9項所述之固定件，其中該銳角之角度為2〇〜6〇度。 II. 如申請專利範圍第1項所述之固定件，其中該抵壓部係形成一近似V形 結構。 12. 如申請專利範圍第u項所述之固定件，其中該抵壓部於整體結構中， 其兩端之厚度較中央部位為薄。 13. 如申請專利範圍第1項所述之固定件，其中每一該轉折部與該自由端 之間形成一第一圓弧凹槽。 201006739 14. 如申請專利範圍第1項所述之固定件，其中該頂部、該翼部、該轉折 部、該夾持部與該抵壓部係一體成形結構。 15. 如申請專利範圍第1項所述之固定件，其中該頂部、該翼部、該轉折 部、該失持部與該抵壓部所製成之材料係由以下材料中選出：高分子材料、 塑膠材料、聚乙烯(pE)材料或聚丙烯(PP)材料。 16. 如申請專利範圍第1項所述之固定件，其中該頂部、該翼部、該轉折 部、該夾持部與該抵壓部係由一彈性材質所製成。 17·如申請專利範圍第1項所述之固定件’其進一步於該夾持部與該抵 壓部之間設有至少一支樓部。 18·如申請專利範圍第17項所述之固定件，其中該支撐部與該抵壓部連接 處之厚度較該支撐部其他部份為薄。 19.如申請專利範圍第η項所述之固定件，其中該支撐部與該抵壓部連接 處具一第二圓弧凹槽。 2〇.如申請專利範圍第17項所述之固定件’其中該頂部、該翼部、該轉 折部、該夹持部、該抵壓部與該支樓部係一體成形結構。 21. 如申請專利範圍第17項所述之固定件’其中該支撐部所製成之材料係 由以下材料中選出：高分子材料、塑膠材料、聚乙烯(PE)材料或聚丙烯(pp) 材料。 22. 如申請專利範圍第17項所述之固定件，其中該支撐部係由一彈性材質 所製成。 23. 如申請專利範圍第1項所述之承載盒’該頂部之頂面配置一鎖固孔，以 供一鎖固件固定該固定件。 24. 一種承載盒’包括一具有第一容置空間之上蓋體及一具有第二容置空間之下 蓋體’該上蓋體與該下蓋體蓋合後形成一第三容置空間，其中該下蓋體之容 置空間之兩相對之内表面上配置至少一對導軌，以提供至少一隔板嵌入，用 以將容置空間分割成複數個容置空間，並進一步於上蓋體之容置空間的内侧 15 201006739 頂面上配置至少一固定件。 25. 如申請專利範圍第24項所述之承載盒’進一步包含至少一扣合元件設於 該上蓋體或該下蓋體之侧邊。 26. 如申請專利範圍第25項所述之承載盒’另具有至少一扣合邊部設於該上 蓋體或該下蓋體之側邊，且該扣合邊部係設於與該扣合元件相互對應之不同 蓋體上。 27. 如申請專利範圍第24項所述之承載盒’其中該上蓋體與該下蓋體之一側 邊係以絞鍊方式相互接合〇 28. 如申請專利範圍第24項所述之承載盒，另具有一氣密墊圈設於該下蓋體 之蓋體開口處。 29·如申請專利範圍第24項所述之承載盒’另具有一止滑墊鋪設於該下蓋體 内之底面。 30. —種承載盒，包括一具有第一容置空間之上蓋體及一具有第二容置空間之下 蓋體，該上蓋體與該下蓋體蓋合後形成一第三容置空間，該下蓋體之容置空 間之兩相對之内表面上配置至少一對導軌，以提供至少一隔板嵌入，用以將 容置空間分割成複數個容置空間，並進一步於上蓋體之容置空間的内側頂面 上配置至少一固定件，其中該固定件之特徵在於 該固定件具有一頂部，該頂部兩側各配置有向外侧傾斜延伸之一對翼 部，該對翼部於一適當轉折部彎曲向下以使該對翼部之自由端形成夾持部， 並於該對翼部之轉折部再向該對翼部之自由端内侧傾斜延伸形成一抵壓 部，其中該抵壓部與該頂部間保持一第一間距。 31. 如申凊專利範圍第3〇項所述之承載盒該頂部之頂面另具一鎖固孔， 以供一鎖固件固定該固定件。 32. 如申吻專利範圍第31項所述之承載盒其中該鎖固件係一螺絲元件。 如申凊專利範圍第3〇項所述之承載盒，其中該固定件係以黏膠接合方 式固定於該承載盒上。 16 201006739 u 34.如申請專利範圍第30項所述之承載盒，其中該固定件係與該承載盒一 體成型所製成。 35.—種光罩盒之承載盒，其包括： 一上蓋體，其具有第一容置空間； 一下蓋體，其具有第二容置空間，並與該上蓋體大致對應以形成一第三 容置空間，且該下蓋體具有至少一對導軌設於該下蓋體兩相對之内表面側面 上； 至少一隔板，由該導軌嵌入於該下蓋體之該第二容置空間内，將該第二 容置空間分割成複數個第四容置空間； 至少一固定件，設置於該上蓋體内表面之頂面；以及 至少一光罩盒，係放置於該個第四容置空間中； 當該承載盒之該上蓋體與該下蓋體蓋合時，可藉由該上蓋體上的該些固 定件接觸並固定該些光罩盒。 36.如申請專利範圍第35項所述之承載盒，其中該固定件具有一頂部，該頂 部兩側各配置有向外側傾斜延伸之一對翼部，該對翼部於一適當轉折部彎曲 向下以使該對翼部之自由端形成夾持部，並於該對翼部之轉折部再向該對翼 部之自由端内側傾斜延伸形成一抵壓部，其中該抵壓部與該頂部間保=一第 〇 一間距。 37.如申請專利範圍第3 5項所述之承載盒’其中設於上蓋體之顧定 下蓋體之複數個容置空間之位置為大致對應。 、 3^申請專利範圍第35項所述之承載盒，其中該鱗部與夾持部間之距離 大致與該光罩盒之盒體寬度相等。 39.-種光罩红承妓，包括一具有第-容置空間之上蓋體及—具 空間之下蓋體，該上蓋體與該下蓋趙蓋合後形成一第三容置 2置 j體之容置空間之兩相對之内表面上配置至少―對導軌，以提供至少 嵌入，用以將容置空間分割成複數個容置空間。 ^隔板 17