TW200903488A - Memory cell array and method of controlling the same - Google Patents
Memory cell array and method of controlling the same Download PDFInfo
- Publication number
- TW200903488A TW200903488A TW097122126A TW97122126A TW200903488A TW 200903488 A TW200903488 A TW 200903488A TW 097122126 A TW097122126 A TW 097122126A TW 97122126 A TW97122126 A TW 97122126A TW 200903488 A TW200903488 A TW 200903488A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- voltage
- line
- memory cell
- electrode
- cell array
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 14
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 claims 2
- 241000282376 Panthera tigris Species 0.000 claims 1
- 230000035807 sensation Effects 0.000 claims 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 121
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 235000003642 hunger Nutrition 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 101100373025 Arabidopsis thaliana WDL1 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 1
- 238000011022 operating instruction Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 210000002325 somatostatin-secreting cell Anatomy 0.000 description 1
- 239000010902 straw Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/408—Address circuits
- G11C11/4085—Word line control circuits, e.g. word line drivers, - boosters, - pull-up, - pull-down, - precharge
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/4074—Power supply or voltage generation circuits, e.g. bias voltage generators, substrate voltage generators, back-up power, power control circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/02—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store with means for avoiding parasitic signals
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/409—Read-write [R-W] circuits
- G11C11/4097—Bit-line organisation, e.g. bit-line layout, folded bit lines
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/18—Bit line organisation; Bit line lay-out
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Dram (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Description
200903488 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域] 本發明有關於記传胎卩φ 5丨 # c胞陣列及其控制方法,藉由簡單的 配置可增加動態隨機存取印愔栌r H . π廿取 體(dynamic random access mem〇ry,DRAM)之記憶胞陣列中記憶胞的儲存電荷數量 以改善記憶胞陣列的操作邊界(〇perat丨叩margin)。 2007年6月21曰所提出日本專利申請第 號所主張優先權的ψ請專利範圍係作為本發明的參考文 件。 【先前技術】 热二此技S之人士皆瞭解透過使用脈衝驅動可提供 於D R A Μ記憶胞陣列中記憶胞電容之共同電極(電極板)(也 就是板驅動機制(plate_driving scheme)),因而增加儲 存電荷數量(例如參照專利文獻丨與2以及非專利文獻丨,2 與3) 〇 專利文獻1 :曰本未經審核的專利申請第一版第 S58-48294 號。 專利文獻2 ·曰本未經審核的專利申請第一版第 H11-260054 號。 非專利文獻1 : Fujishima等人於1982年1〇月所發 行之IEEE固態電路期刊第SC-17卷第5期所發表,,具有 字元線延遲補償之儲存節點增壓隨機存取記憶體 (RAM)” 。 2162-9755-PF 5 200903488 非專利文獻2 : M. AQki等人於1 989年1q月所發行 之IEEE固態電路期刊第24卷第5期所發表”適用於以電 池為基礎之應用產品的丨· 5伏特DRAM”。 、 —非專利文獻3·· T. Yamauchi等人於2〇〇〇年8月所發 仃IEEE固態電路期刊第35卷第8期 ,^ ^知衣適用於低電 力i、應的高效能嵌入式S〇 I DRAM結構,,。 一 一般來說’使用板驅動機制(簡稱為板驅動)可捭加邏 輯高位準⑻信號的儲存電荷量以及邏輯低位準(以號 的储存電荷量。值得注意的是,在下列說明中,邏輯高^ 準(H)簡稱為”高位準,,,而 门 準”。 、科m伹旱α)間稱為”低位 在傳統技術中,差動輸入感應 1,0 differential / t sense affiplliler)係感應從位元線讀出 — —穴將财子電何置放大,因此需要參考電璧來 貝料為尚位準資料或低位準資料。 Λ 、 -般來說係將參考電屋設定為讀 信號時的電壓盥&敌彳☆-紹 兀 泉上尚位準 . 几線上低位準信號時的雷輝” '間電壓,以確保不論讀取什麼資料皆具有曰 邊界。當還沒執行版驅動時 目同的感應 號電愿與位元唆… 兀線上的高位準信 為參考電壓。你丨4 .. 力的中間電壓做 哼W例如,稭由將被放大為高 被放大為低位準的位兀線以及 這樣的參考電壓。 ' …路可相對輕易地產生 然而,當執行板驅動時會增加高 干1〇琥的储存電荷
2162-9755-PF 200903488 量或是低位準信號的儲存電荷量。因此,參考電壓大大的 從中間電壓偏移。基於此理由係、增加先前技術^冗餘胞 來產生參考電壓。 例如,第7圖(專利文獻!的第3圖)與第8圖(非專 利文獻3的第3圖)顯示先前技術中透過板㈣可增加對 應至低位準資料的儲存電荷量,因此可藉由使用冗餘胞來 调整差動輸人感應放大器的參考電壓,使冑參考電壓相當 於讀取高位準資料之電壓以及讀取低位準資料之電壓: 中間值。 餘胞的電流消耗 冗餘胞損壞時, conf igureation ^而,使用几餘胞可能會增加驅動冗 且設置冗餘胞會增加晶片區域。此外,當 由於無法藉由使用冗餘配置(redundancy 進行復原,因此產量(y i e丨d )會降低。 【發明内容】 有鏗於上述情況,本發明提供一種記憶胞陣列及其控 制方法,透過簡單配置增加記憶胞之儲存電荷量可改盖 DRAM中記憶胞陣列的操作邊界,並在不增加電力消耗以及 /或晶片面積的情況下允許冗餘胞為非必要來改善DRAM的 操作邊界。 為了解決傳統技術中择& & Bs 糸生的問碭,本發明提供一種記 憶胞陣列,包括福數车开始.、— 、在’设數位元線,與字元線相交; 複數記憶胞,設置於字亓妗纟 、子兀、'泉與位兀線相交處,每個記憶胞 包括選取M0S電晶體以及資帝
貝。屯何儲存電容,選取M0S電 2162-9755-PF 7 200903488 日日具有連接至字元線的閘極電極,源極電極以及汲極電 極,源極電極與汲極電極之一者係連接至一位元線,其他 的源極电極與汲極電極係連接至資訊電荷儲存電容之〜 電極’貝sfL電荷儲存電容之其他電極係、連接至共同板線; 複數感應放大器,分別連接至位元線;當字元線電壓為使 八欠為取狀態的第二電壓時,將共同板線的電壓從第一 電壓轉變為低於第一電壓之第二電壓;以及將字元線的電 壓轉變為使記憶胞變為未選取狀態之第四電壓,其中第四 電壓低於第三電壓且高於使字元線變為未選取狀態之第 五電壓’並且當字元線的電壓轉變為第四電壓之後,將共 同板線的電壓從第二電壓轉變為第一電壓。 在本發明的記情始卩鱼而1 tb 一 U I陴列中,當字元線電壓為使其變為 選取狀恶的第三電壓時,$ p^ 土 τ δ己胞之共同板線的電壓從第一 電壓轉變為第二電壓。接下氺 ^ ^ ^ 接下來’子TL線的電壓轉變為使其 變為未選取狀態的第四雷壓告 电& ® έ己憶胞設置於未選取狀態 之後’共同板線的電壓從第二電壓回到第一電壓。 當南位準貢料寫入資畔雷共Μ — & 貝Λ電何儲存電容時,第四電壓具 有使選取M0S電晶體為關胡灿能+ 局關閉狀態的電壓位準,而當低位準 資料寫入資§fl電荷儲存電定昧,、理① 电合寻遠取M0S電晶體為導通狀 態。 因此’透過間早配詈可择—々以 置了 s加g己丨思胞之儲存電荷量,炎 且可改善έ己丨思胞陣列的接你邊與 ]知作邊界。另外,冗餘胞可以為# 必要。基於此理由,在不辦力常 不a加電力消耗以及/或晶片面積 的情況下可改善DRMA的驿柞详畀 的絲作邊界。另外,產量因避免損 2162-9755-PF 8 200903488 壞的冗餘胞而降低。 在本發明記憶胞陣列中,位元線的電壓偏移於對應至 低位準負料的基極電壓與對應至高位準資料的第六電壓 之間’且在字元線設置於選取狀態之前係將位元線預充電 至基極電壓。 在本發明記憶胞陣列中,在預充電終止時段之前(也 就是讀取/寫入操作的初始時段)係將位元線預充電至基 極電壓。 因此可在不準備參考電壓的情況下讀取來自記憶胞 的資料。 在本1¾明έ己憶胞陣列中,每個感應放大器皆包括第— NM0S電@體,具有電性連接至位元線的閑極電@ ,接收基 極電堡供應的源極電極,以及電性連接至每個感應放大器 之輸出節點的汲極電極。 牡枣發明記憶胞陣列中 的 ’々丨〜川吊一财1U6電晶體 放大電路,具有連接至位^的閉極⑽, 的源極電極’以及連接至輸出節點的沒極電極。: =’對讀取至位元線之記憶胞電容的電《行反相 厂:過苐一醜電晶體執行放大,並且輪出反相與放1電 位準資料與低位準資 参考電壓的情況下透 陣列為設置於位元線 口此 了以對s己憶胞的資料(高 料)執行反相與放大,並且在不使用 過簡單配置輸出反相與放大電壓。 在本發明記憶胞陣列中,記憶胞
2162-9755-PF 9 200903488 方向之複數記憶胞陣列之一 列中複數感庫放…n 在包3於每個記憶胞陣 η位詈“間對應至設置於字元線方向中相 全域位元線/感應放大器的輸出節點係連接至共同 在本叙明5己憶胞陣列中, μ — 的相同位置之位元…、f [、至-置於位讀方向中 门入… 線的感應放大器輸出節點係連接至丘 同全域位7L線。 /、 因此’在本發明記憶 提祖诘奴卢 于N T J逍過共同全域位元線 撫i、稷數感應放大器的輸出。 在本發明g己憶胞陣列, — 虛妓+ π r 域位兀線係連接至全域感 ^ ^ ^ 或位兀線上的信號,並將放大信號 輸出至項取資料绩、, 甘將… 亚且用來放大寫入資料線上的信號, 並將放大丨§號輸出至全域位元線。 在本毛明5己fe胞陣列中,每個全域位元線係透過全域 感應放大器連接至讀 ' '貝料線與寫入資料線。 b _在本|明記憶胞陣列中可透過全域感應放大器 /、王/位兀、.泉對來自記憶胞的資料執行讀取操作並且執 行寫入操作而將資料寫入記憶胞。 在本發明記憶胞随丨 歹J中’電性連接至每個位元線之記 憶胞的數量為6 4或更少。 因此,在本發日貝^ 5己‘fe胞陣列中可透過單端感應放大器 放大位元線上的作缺 乡 °並且可降低位元線之寄生電容的影 在本七月。己隐胞陣列中,當共同板線的電壓為第二電
2162-9755-PF 10 200903488 壓時,字元線的電壓轉變為第四電壓,且在共同板線的電 壓轉變為第一電壓之後’字元線的電壓從第四電壓轉變為 第五電壓。 在本發明記憶胞陣列中’當共同板線的電壓為第二電 壓時,字元線的電壓轉變為使字元線變為選取狀態之第三 电壓與使字元線變為未選取狀態之第五電壓之間的第四 電壓。接下來,共同板線的電壓轉變為第一電壓,接且字 几線的電壓從第四電壓轉變為第五電壓。 - 』丁 一-=—、…丁 1工ψ_」秌仰〜增加記憶 胞㈣存電荷量,因而改善記憶胞陣列的操作邊界並且消 除冗餘胞。因此,可以在不增加電力消耗以及/或晶片面 積的情況下改善DRAM的操作邊界。 在本發明記憶胞陣列中,第五電塵低於基極電壓。 因此,即使在共同;&線的f t 板驅動的實施例㈠,也可能對連接至字元線 體的選取狀態不產生影響。 、&取電晶 在本發明記憶胞卩車丨巾 差里箄… 基極電壓與第五電壓之間的 差“於或大於第一電麼與第二電壓之間的差異。 口此’即使在共同板線的電壓改變的 a 對連接至字开始+子中,也可能 本發明:=1=取狀態不產生影響。 列’記憶胞陣列包括··複數字元線工:=明的記憶胞陣 線相交;複數記憶胞,設置於字元線座位立^線’與字元 個記憶胞包括選取M0S電晶體以及/、 相交處’每 體以及貧訊電荷錯存電容’選
2162-9755-PF 200903488 取M〇S電晶體具有連接至-字元線的間極電極’源極電極 乂及汲極電極,源極電極與汲極電極之一者係連接至一位 兀線其他的源極電極與汲極電極係連接至資訊電荷儲存 電容的電極,資訊電荷儲存電容之其他電極係連接至共同 板線複數感應放A器、,分別連接至m,線,上述方法包 括.當子凡線的電壓為使其變為選取狀態的第三電壓時, 將=同板線的電壓從第一電壓轉變為低於第一電壓之第 一電壓;以及將字元線的電壓轉變為使記憶胞變為未選取 狀恶的第四電壓,其中第四電壓低於第三電壓並高於使字 =線變為未選取狀態的第五電壓,當字元線的電壓轉變為 第四電壓之後’共同板線的電壓從第二電壓轉變為第一電 壓。 $ 在本發明記憶胞陣列控制方法中包括上述步驟,當字 兀線為使其變為選取狀態的第三電壓時,記憶胞之共同板 線的電壓從第一電壓轉變為第二電壓。接下來,字元線的 電壓轉變為使記憶胞變為未選取狀態的第四電壓,且當記 隐月L 置於未述取狀恶之後,共同板線的電壓從第二電壓 回到第一電壓。 因此,可透過簡單配置來增加記憶胞的儲存電荷量。 因此’可改善記憶胞的操作邊界並且允許冗餘胞為非必 要。基於此理由,可以在不增加電力消耗以及/或晶片面 積的情況下改善DRAM的操作邊界。另外,產量因^免損 壞之冗餘胞的緣故而降低。 如上所述’本發明實施例係透過板驅動與使用單端感 2162-9755-PF 12 200903488 應放大器之簡單配置來增加 改善記憶胞陣列的操作邊界 基於此理由’在不增加電力 下可改善DRAM的操作邊界 餘胞的緣故而降低。 §己憶胞的儲存電荷量。因此可 。另外’冗餘胞變為非必要。 '消以及/或晶片面積的情况 。再者’產量因避免損壞之冗 【實施方式】 、和優點能更明 所附圖式,作說 為讓本發明之上述和其他目的、特徵 顯易憧,下文特舉出較佳實施例,並配合 明如下: σ 實施例·· 一在本發明記憶胞陣列中,於字元線變為未選取狀態之 =共同板線(C0_ piate ilne)的電愿從低電位轉變 為间電位,因而增加對應至高位準資料的儲存電荷量。另 -:面,在讀取操作中對位元線進行預充電使其電壓變為 低電位。因此,當讀取低位準資料時不會改變位元線的電 壓’而當言買取高位準資料時位元線的電屡為高位準。 另外,使用具有單端配置的感應放大器,其中放大電 晶體之開極電極連接至位元線’放大電晶體之源極電極連 接至基極電力供應(basey),而放大電晶體 之汲極电極連接至感應放大器的輸出。設定位元線電容、 纪憶胞電容、位元線電壓的振幅以及板驅動電壓的振幅, 使得田嗔取低位準資料時會關閉(tf f)放大電晶體, 2162-9755-pp 13 200903488 而當讀取高位準資料時會導通(turn on)放大電晶體。 以下將說明本發明實施例之半導體記憶裝置的配置。 第1圖顯示本發明實施例之DRAM記憶胞陣列的電路 配置。 在第1圖之記憶胞陣列中的32*m個記憶胞1每個皆 包括串聯之選取電晶體(select transistor)Qs與電容 C,6又置於m個位元線BL(BL0,BL1,...,BLm-1)與32個字 元線WL (WLO,WL1,…,WL31)的交叉點處。 另外’屬於一記憶胞陣列一i (ARRAYj,驅動共同板線 的單位)之每個32*πι個記憶胞中的電容◦之反電極 (counter electrode)係連接至共同板線PL_i (其中丨為〇 或自然數)。負基極電麼VBB提供至選取電晶體qs的其 底。值得注意的是’在接下來的說明中係將”共同板線” 簡稱為”板線”。 另外,在選取字元線WL之後,板線電壓ypL會 被預定電壓△ VPL拉低。之後,字元線WL的電壓變為用來 取代未選取狀態中選取電晶體Qs的中間電壓(此中間電壓 之後稱為第四電壓)。因此,選取電晶體Qs位於未選取狀 悲中。之後,板線PL—i的電壓從電壓(VPL_A VpL)回到恭 壓VPL,以增加擁有高位準資料之記憶胞的儲存電荷旦电 下將會詳細說明)。 里以 第2圖顯示本發明實施例之記憶胞陣列的整體配 列 士第2圖所不’單端感應放大器SA設置於 (ARRAY—◦)的兩端。 &'跑陣
2162-9755-PF 14 200903488 第2圖中的位疋線BL(BL〇-BLm-l)係選擇性地連接至 左與右感應放大器SA之放大電晶體q1(nm〇s電晶體)的閘 極電極。接地電位(基極電位base p〇tential)vss供應2 放大電晶體Q1之源極電極,且放大電晶體Q1之汲極電極 作為全域(global)位元線的輸入/輸出節點。 位元線BL0經由PM0S電晶體Q2連接至對應於記憶胞 陣列ARRAY—0之感應放大器驅動控制線RS〇。另外,接地 電位vss經由預充電電晶體Q3(NM0S電晶體)與位元線驅 動電晶體Q4(NM0S電晶體)供應至位元線BL〇。當預充電電 晶體Q3與位元線驅動電晶體q4兩者皆導通時,位元線bl〇 會被預充電至接地電位vss。 值得注意的是,由於位元線BL0讀取的信號會被單端 感應放大器放大,因此必須將記憶胞讀取信號的電壓設定 為大於電晶體Q1之臨界值Vt的電壓。因此,為了將每個 位元線的寄生電容(parasitic capacitance)維持於低 值,期望連接至單一位元線的記憶胞數量為6 4或更少, 最佳記憶胞數量約為32。 另外’設置於位元線方向的感應放大器之輸入/輸出 節點係共同連接至全域位元線/GBL0(符號,’ /”代表邏輯 反相符號logic inversion sign),且全域位元線/Gbl〇 係連接至全域感應放大器(Global Sense Amplifier,GSA) 的輸入/輸出節點。 全域感應放大器GSA包括PM0S電晶體Q5-Q10與反相 器(邏輯反相元件 logic inverting element)INV。 2162〜9755-PF 15 200903488 電晶體Q5具有連接至全域位元線/GBL〇的汲極,電源 供應電壓VDL係供應至其源極,以及連接至預充電信號線 /PCG的閘極。電晶體q5為將全域位元線/gbl預充電至高 位準的電晶體。t晶體Q 6具有連接至全域位元線G b l 〇的 汲極,電源供應電壓VDL係供應至其源極。使用反相器inv 對全域位兀線/GBL0上的信號執行邏輯反相而取得之信號 係供應至電晶體Q6的問極端。因此,電晶體⑽係將全域 位元線/GBL0上的信號維持在高位準。 電晶體Q7的源極端係接收來自電源供應電壓的 電力供應,閘極端係連接至全域位元線/GBL〇並作為反相 放大器。PM0S電晶體Q8係插入讀取資料線RI)L〇與電晶體 Q7之間,且其導通/關閉(〇N/〇FF)係受到連接至電晶體⑽ 之閑極端的選取信號線/YS0上信號的控制。全域位元線 /GBL0上的信號係藉由電晶體…與Q8執行反相,且所取 得之反相信號係輸出至讀取資料線RDL 〇。 電曰曰體Q9與Q1 〇係串聯設置於全域位元線與寫 入資料線/ W D L 0之間。電晶體q 9之閘極端係連接至控制信 號線/WE,電晶體Q9的導通/關閉係受到控制信號線"Ε 上信號的控制。電晶體Q1 〇之閘極端係連接至選取信號線 /YS0,且電晶體Ql〇的導通/關閉係受到選取信號線/ys〇 上信號的控制。 如上所述,複數胞之每個胞皆包括單一記憶胞陣列以 及重複設置於位元線方向的左/右感應放大器,全域感應 放大器GSA係設置於其兩端,因而構成單一記憶庫(mem〇ry 2162-9755-PF 16 200903488 bank) ° 第2圖說明記憶胞陣列的操作。 (1)從選取記憶胞讀取高位 準肩料以'及將低位準資料宜 k取§己憶胞的操作說明。 、’·寫入 第3圖顯示第2圖之番 之電路配置中讀取操作盥寫 的操作波形(wavef打m)。 ”罵知作 第3圖顯示在從選& 士 璉取5己憶胞讀取高位準資料並且 位準資料寫入選取記憶胞之4。从ώ 十工且將低 之刼作中的信號波形。第3阍ώΑ 正體操作被分為七個時段Τ卜τ 7。 勺 在第3圖中,時段τ ] 又11代表預充電終止期間,時段 代表胞選取期間,時段TCj 12 丁仅^代表感應期間,時段τ4代 取期間’時段T5代表寫入细„ ± 、項 舄入期間,時段T6代表胞選取缘u 期間,且時段T 7讲# ; 、止 弋表預充電起始期間。另外,電壓v
代表記憶胞陣列之電源供雍+ L 电你仏應包歷,正電壓νρΑ與 VKK代表字元線WL i的驅動雷没 、电堡 -1的驅動電壓,且負電壓VBB代表纪 胞陣列之基底電壓(參照第】圖)。 思 …在此實知例中,上述第三與第五電壓分別對應至用於 字元線的正電壓VPA與負電壓νκκ,第一電壓對應至用於 共同板線的電壓VPL,第二電壓對應至” vpL—AvpL,,,且 第六電壓對應至電源供應㈣飢。另外,上述基極電麻 係應至接地電位VSS。 之 參,¾第3圖,在直到預充電終止期間T1的時段會對 位元線BL0與全域位元線/GBL0進行預充電,因此位元 2162-9755-PF 17 200903488 BL0為低位準且全域位元線/GBL0為高位準。在預充電終 止期間T1 ’為了終止對位元線BL0進行預充電,預充電信 號線PC0從高位準轉變為低位準’且為了終止對全域位元 線/GBL0進行預充電,預充電信號線/pCG從低位準轉變為 高位準。 在胞選取期間T2,對應至選取記憶胞陣列array_〇 的感應放大器驅動控制線RS0被設定為高位準。因而啟動 感應放大器SA。在此實施例中,對應至未選取記憶胞陣列 之預充電信號線PC(例如PC1)係維持於高位準,而對應至 未選取記憶胞陣列之感應放大器驅動控制線R s (例如Μ丄) 係維持於低位準。 另外,遥取字το線WL0的電壓從負電壓νκκ增加為正 電壓VPA。負電壓VKK被設定為低於低位準(接地電位 VSS)。正電壓VPA被設定為高於高位準(電源供應電谭 飢)。因此可讀取設置於字元線WLQ與位元線则交又點 之記憶胞所保持之高位準信號。讀取出的信號係輸入至威 應放大器SA’且位元'線BL0之電壓係增加至預定電位。〜 +此時,位元線BL〇的預定電位會被設定為大於咖 二:!:Q1之臨界值範圍剛3圖之陰影部分臨界電 ^圍h是分散的以具有反應溫度不平均與處理不平 的預定電壓寬度。 干句 P接下纟’在感應㈣T3’全域位元線舰0的電“ 由導通的_3電晶體Q1從高位準降低為低位準。 面’由於連接至全域位元線/GBL◦的pM〇s電晶體⑽間極 2162-9755-pf 18 200903488 端為導通的,因此位元線BL0的電壓係從預定電位放大至 電源供應電壓VDL。 在讀取期間T4,連接至選取全域感應放大器GSA的選 取信號線/YS0被設定為低位準,使得PM0S電晶體Q8與 Q10是導通的。透過PM0S電晶體Q7與Q8對全域位元線 /GBL0上的低位準信號執行反相,並且讀取反相信號,使 得記憶胞維持的高位準信號輸出至讀取資料線RDL0。因而 完成DRAM的讀取操作。在此實施例的讀取期間T4,預充 電信號線PC0的電壓返回高位準。接下來,NM0S電晶體 Q3維持導通狀態。因此,PM0S電晶體Q2與NM0S電晶體 Q4作為反相電路。 接下來進入同一記憶胞的寫入操作。首先,在寫入期 間T5,控制信號線/WE從高位準轉變為低位準,使得全域 感應放大器GSA中的PM0S電晶體Q9被導通’且寫入貢料 線/WDL0連接至全域位元線/GBL0。 另外,由於執行控制使得寫入資料線/WDL0的電壓被 設定為透過對對應至寫入資料的低位準信號執行反相而 取得之高位準,因此全域位元線/GBL0轉變為高位準。另 一方面,位元線BL0由於PM0S電晶體Q2與NM0S電晶體 Q 4的反相操作而轉變為低位準。因此,透過位元線B L 0 將低位準資料寫入選取記憶胞。 在胞選取終止期間T6,選取字元線WL0的電壓從正電 壓VPA降低為負電壓VKK。選取信號線/YS0被設定為高位 準,使得寫入資料線/WDL0與全域位元線/GBL0分離。因 2162-9755-PF 19 200903488 而完成DRAM的寫入操作。 在預充電起始期間T7,預充電信號線/PCG轉變為低 位準來對全域位元線/GBL〇進行第二次預充電。對應至選 取記憶胞陣列ARRAY—0之感應放大器驅動控制線轉變 為低位準。因此,感應放大器SA會停止運作。 第4圖顯示代表第2圖記憶胞陣列之板驅動操作的操 作波形圖。圖中的重點在於選取記憶胞之儲存節點SN的 (又叫做選取SN)操作,未選取記憶胞之儲存節點SN (H)(又 4做未遥取SN (Η))持有高位準資料,未選取記憶胞之儲存 即點SN(L)持有低位準資料(又叫做未選取SN(L)),選取 字元線係屬於記憶胞陣列ARRAY —〇之共同板線pL_〇。 在第4圖中,在假設接地電位(基極電壓)vss為零的 情况下,將I νκκ |設定為等於或大於△ VPL,且丨VBB丨被設 定為等於或大於△ VPL,並且維持vpL=(VDL+AvpL)/2的 關係。 〜以W八利馮芏向位毕貧料之位元 線電壓VDL的電壓。在胞選取期間T2,當選取字元線時將 儲存電荷釋放至位元線BL(),使得位元線blg顯示高位準 U。當感應放大器、SA放大高位準信號之後,於寫入期 間T5將低位準資料寫入選取SN。 之後開始胞選取中斷期間T6的胞選取中斷操作,且 板線PL—0的電壓被降低△ vpL。 L因此,低位準資料所寫入 之選取SN的電壓以及經歷耦人 _ D之位凡線BL0的電壓使得 这些電壓在負方向擺動。然
由於感應放大器SA的NM0S 2162-9755-PF 20 200903488 電晶體⑽與Q4在導通狀態,因此這些電壓會回到接地電 位 VSS。 ^接下來,字元線WL0的電壓降低至中間電壓(第四電 壓)’且第二次將板線PL—0的電壓降低△ VPL而回到電壓 VPL。此時,選取SN正遭受正轉合'然而,由於選取電晶 體Qs為導通狀@ ’因此選取SN的電壓第二次回到接地電 位vss。接下來,字元線㈣的電壓降低為負電位VKK5 並且將低位準資料寫入選取記憶胞。 由於選取電晶體Qs永遠在關閉狀態,因此未選取 卿)與未選取嶋受到板線^〇的輕合。因此,= 兩者的電壓皆降低一次而回到原本的電屢。基於此理由, 错存電荷量維持不變。 ⑵從選取記憶胞讀取低位準資料以及將高位準資料 逵取§己憶胞的操作D ' 接下來’第5圖顯示從選取記憶胞讀 將=準資料寫入選取記憶胞之操作中的信號波形= 靖的基本控制操作約相同於第3圖中的操作,只有: 波形(例如位元線BLG與全域位元線卿)稍;
由於在胞選取期間T2讀出記憶胞的低位 此位元線副係維持於低位準。在感應期間丁3,全因 線臟維持在透過對低位準之位元線bu執行反=元 得之高位準。因此’在讀取期間T4,低位準係輸出至讀: 2162-9755-PF 21 200903488 資料線RDU。 準,轉變為低位 轉變為^ ①線观G轉變為低位準,且位元線 ==準。在預充電起始期間T7,全域位元線画 Γ電 彳似BUE7_m分職預 作波=圖=代表第2圖記憶胞陣列之板驅動操作的操 Γ: 點在於選取記憶胞之儲存節,竭選 進次枓以, 胞之儲存郎點s咖持有高位
=未選取_)’未選取記憶胞之儲存 持有低位準資料(未選取SN 陣列卿―。的共同板線。L_。選取子-線屬於記憶 選取於低位μ料的接地電位版係維持於 處。即使在胞選取期間丁2選擇字元線動,由於 =線⑽的預充電電壓等於接地電位似因此不會發生 換。基於此理由,位元線则的電麼不會改變。因 此係S買出低位準信號。 Μ接下來,在寫入期間Τ5係將高位準資料寫入選取記 憶胞。 、π < 一在胞選取終止期間Τ6,板線PLJ的電塵降低△肌。 貢料寫入的選取训以及經歷箱合的位元線BL0使 ^塵在負方向擺動。然而,由於感應放大器SA的電曰 體⑽為導通狀態’其電虔係回到電源供應電請。曰 接下來’在字元線η〇的電塵降低為中間電壓(第四
2162-9755-PF 22 200903488 電壓)之後,共同板線PL —0的電壓係增加△ VPL,因此共 同板線PL—0的電壓回到電壓vpl。 此日寸’由於選取電晶體qs在關閉狀態’因此選取⑽ 係經歷正向耦合。因此,選取SN的電壓增加至大於電源 供應電壓VDL約△ VPL的電壓。接下來,字元線WL〇的電 壓降低至負電位VKK,且高位準資料係寫入選取記憶胞。 與藉由正常電壓VDL裝置寫入儲存電荷的例子相比,在此 方法中,大量的储存電荷係作為高位準資料寫入記憶胞。 因而改善DRAM的操作邊界。 由於選取電晶體永遠都在關閉狀態,因此未選取 SN(H)與未選取SN(L)係與共同板線pLj產生稱合。基於 此理由’儲存電荷量不會改變。 如上所述,在本發明之記憶胞陣列中,記憶胞的儲存 電荷量可透過版驅動以及使用單端感應放大器之簡單配 置裝置而增加。另外,可縮短區域位元線(1〇cal Hne) 亚且可降低板線的驅動負載。此彳,由於冗餘胞為非必要 的’因此可以再不增加電力消耗以及/或晶片面積的情況 下改善記憶胞陣列的操作邊界。基於此理由,可避免損壞 的冗餘胞來降低產量。因此’可在不增加成本的情況下改 善dram的操作邊界。 本發明雖以較佳實施例揭露如上,然其並非用以限定 本發明的範圍,任何熟習此項技藝者,在不脫離本發明之 精神和範圍内,當可做些許的更動與潤飾,因此本發明之 保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 2162-9755-PF 23 200903488 【圖式簡單說明】 第1圖顯示本發明記憶胞陣列的電路配置圖。 第2圖顯示本發明記憶胞陣列的整體配置圖。 第3圖顯示讀取操作與寫入操作的操作波形圖 讀取與” L”寫入)。 的操作波 第4圖顯示在讀取操作與寫入操作中板驅動 形圖(“H”讀取與” L”寫入)。 第5圖顯示讀取操作與寫 讀取與” H”寫入)。 入刼作的操作波形
中板驅動的操作波 第6圖顯示在讀取操作與寫入操作 形圖(“L”讀取與,’ H”寫入)。 第 第 圖顯示傳統技術中— 圖顯示傳統技術中另 几餘胞的示意圖。 几餘胞的示意圖 【主要元件符號說明】 1 ~記憶胞 ARRAY—i〜記憶胞陣列 BL、BLO-BLm-1〜位元線 Ο電容 GBLO-GBLm-卜全域位元、線 GSA〜全域感應放大器 INV〜反相器 PC0、PCI、PCG〜預奋 φ & 1 了貝兄%線號線 PL_ i〜共同板線
2162-9755-PF 24 200903488 Q1、Q3、Q4〜NM0S電晶體 Q2、Q5-Q10~PMOS 電晶體
Qs〜選取電晶體 RDLO、RDL卜讀取資料線 RSO、RS1〜感應放大器驅動控制線 S A ~感應放大器 SN〜儲存節點 T1-T7〜時段 VBB〜負基極電壓 VDL〜電源供應電壓 VKK〜負電壓 VPA〜正電壓 VSS〜接地電位
Vt〜臨界值範圍 WDL0、WDL1〜寫入資料線 WE〜控制信號線 WL、WLO-WL31〜字元線 YSO-YSm/2-:l〜選取信號線 2162-9755-PF 25
Claims (1)
- 200903488 十、申請專利範園: 1 · 一種記憶胞陣列,包括: 複數字元線; T數位元線’與上述字元線相交,· 複數記憶胞,設置於上述 處,每個上述圮情於勺乜 + 、線與上述位元線相交 〜 選取廳電晶體以及-資訊電 何储存電容,上述選取M〇 至-字μ %曰曰體具有—閉極電極,連接 子疋線,-源極電極以及一汲極電極 與汲極電極之—者係^ 原極電極 極線,其他的上述源極電 極,、及極電極係連接至上 <貝0代电何储存電容之一雷 極’上述資訊電荷儲在蕾 电 線; 储存電谷之其他電極係連接至一共同板 ?感應:大器,分別連接至上述位元線; 一银__ 4置’ * —子70線為使上述字元線變為選取狀態的 一二電壓時將上述共同板線的電壓從-第-電壓轉變 為低於上述第一電壓之第二電壓;以及 -裝置’將上述字元線的電壓轉變為使上述記憶胞變 士未ϋ取狀態之—第四電壓,其中上述第四電壓低於上述 ::电壓且冋於使上述字元線變為未選取狀態之一第五 毛塵’亚且當上述字元線的電壓轉變為上述第四電壓之 後將上述共同板線的電壓從上述第二電壓轉變為上述第 一電壓。 汝申明專利範圍第1項之記憶胞陣列,其中上述位 元線的電壓偏移於對應至低位準資料之一基極電壓與對 2162-9755-PF 26 200903488 應至高位準資料之一第六電壓之間。 3.如申请專利範圍第!項之記憶胞陣列,其中每個 述感應放大器包括—第—_電晶體,具有電性連接至 上述位讀的-間極電極,受到上述基極電㈣應之 極電極,以及電性連接至每個上述感應放大器之輸出節: 的一汲極電極。 P ,W占 4·如申請專利範圍第3項之記憶胞陣列,其 憶胞陣列為設置於位元線方向的複數記憶胞陣列之二 者’且在包含於每個上述記憶胞陣财複數感應放大 間對應至設置於一字元線方向中相同位置的位元線之感 應放大為的輸出節點係連接至一共同全域位元線。 5·如申請專利範圍第4項之記憶胞陣列,其中上述入 域位元線係連接至—全域感應放大器,用來放=上述= 位7L線上的信號並將放大信号虎輸出至_讀#資料線,並且 用來放大-寫人資料線上的信號並將放大信號輸出至上 述全域位元線。 6. 如申請專利範圍第5項之記憶胞陣列,其中電性連 接至每個上述位元線之記憶胞的數量為64或更少。 7. 如申請專利範圍第丨項之記憶胞陣列,其中當上述 :同板線的電壓為上述第二電壓時,上述字元線的;壓: 變為上述第四電壓,且在上述共同板線的電壓轉變為上述 第一電壓之後,上述字元線的電壓從上述第四電壓轉變為 上述第五電壓。 8. 如申凊專利範圍第7項之記憶胞陣列,其中上述第 2162-9755-PF 27 200903488 五電壓小於上述基極電壓。 9.如申請專利範圍第8項之記 極電壓與第五電磨之間的 J -中上述基 與第二電壓之間的差異。“於或大於上述第-電壓 。二種:制方法,用來控制-記憶胞陣列,上述記 k胞陣列包括:複數 ^ 相六.、g 子70線,複數位元線,與上述字元線 户Ί5己憶胞’設置於上述字元線與上述位元線相交 二’::亡述記憶胞包括一選取M〇s電晶體以及一資訊電 電谷’上述選取廳電晶體具有一間極電極,連接 源極電極以及—汲極電極,上述源極電極 與汲極電極之一者传造s __ ,、接至一位元線,其他的上述源極電 極與没極電極係連接至上述資訊電荷儲存電容之一: : 訊電荷儲存電容之其他電極係連接至-共同板 、在,複數感應放大器,分別連接至上述位元線, 上述方法包括: § 一予TG線的電壓為其變為選取狀態的一第三電壓 時將上述共同板線的電塵從一第一電屋轉變為低於上述 第一電壓之一第二電壓;以及 將上述予70線的電壓轉變為使上述記憶胞變為未選 取狀態的-第四電壓’上述第四電壓低於上述第三電壓並 冋於使上述字儿線變為未選取狀態的-第五電壓,當上述 字元線的電壓轉變為上述第四電壓之後,上述共同1線的 電壓攸上述第二電壓轉變為第一電壓。 2162-9755-PF 28
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007163639A JP2009004026A (ja) | 2007-06-21 | 2007-06-21 | メモリセルアレイ、およびモリセルアレイの制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW200903488A true TW200903488A (en) | 2009-01-16 |
Family
ID=40092719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW097122126A TW200903488A (en) | 2007-06-21 | 2008-06-13 | Memory cell array and method of controlling the same |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7719877B2 (zh) |
| JP (1) | JP2009004026A (zh) |
| DE (1) | DE102008028514A1 (zh) |
| TW (1) | TW200903488A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI560549B (en) * | 2013-02-07 | 2016-12-01 | Winbond Electronics Corp | Access system |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7848131B2 (en) * | 2008-10-19 | 2010-12-07 | Juhan Kim | High speed ferroelectric random access memory |
| US10347322B1 (en) * | 2018-02-20 | 2019-07-09 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses having memory strings compared to one another through a sense amplifier |
| JP7332343B2 (ja) * | 2019-05-28 | 2023-08-23 | キオクシア株式会社 | 半導体記憶装置 |
| JP7278426B2 (ja) | 2019-10-23 | 2023-05-19 | 長江存儲科技有限責任公司 | メモリデバイスをプログラムする方法および関連するメモリデバイス |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5848294A (ja) | 1981-09-16 | 1983-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | Mosダイナミツクメモリ |
| EP0148488B1 (en) * | 1983-12-23 | 1992-03-18 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor memory having multiple level storage structure |
| JP2765856B2 (ja) * | 1988-06-17 | 1998-06-18 | 株式会社日立製作所 | メモリ回路 |
| JP2796311B2 (ja) * | 1988-09-07 | 1998-09-10 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
| JPH0334188A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-14 | Hitachi Ltd | メモリ回路 |
| JP2959036B2 (ja) * | 1990-03-28 | 1999-10-06 | 日本電気株式会社 | 半導体メモリ |
| JPH04129088A (ja) * | 1990-09-18 | 1992-04-30 | Nec Corp | 半導体メモリ装置 |
| JPH1139872A (ja) * | 1997-05-19 | 1999-02-12 | Fujitsu Ltd | ダイナミックram |
| JPH11260054A (ja) * | 1998-01-08 | 1999-09-24 | Mitsubishi Electric Corp | ダイナミック型半導体記憶装置 |
| EP1727147B1 (fr) * | 2005-05-23 | 2011-07-13 | STMicroelectronics (Crolles 2) SAS | Amplificateur de lecture pour mémoire dynamique |
| JP5062802B2 (ja) | 2005-12-12 | 2012-10-31 | 信越ポリマー株式会社 | 無端ベルトとその製造方法、およびこれを備えた電子写真装置 |
-
2007
- 2007-06-21 JP JP2007163639A patent/JP2009004026A/ja active Pending
-
2008
- 2008-06-13 TW TW097122126A patent/TW200903488A/zh unknown
- 2008-06-16 DE DE102008028514A patent/DE102008028514A1/de not_active Withdrawn
- 2008-06-19 US US12/142,133 patent/US7719877B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI560549B (en) * | 2013-02-07 | 2016-12-01 | Winbond Electronics Corp | Access system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102008028514A1 (de) | 2009-01-08 |
| JP2009004026A (ja) | 2009-01-08 |
| US7719877B2 (en) | 2010-05-18 |
| US20080316839A1 (en) | 2008-12-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR900008936B1 (ko) | Cmos 다이내믹램 | |
| KR0177776B1 (ko) | 고집적 반도체 메모리 장치의 데이타 센싱회로 | |
| JPS6032911B2 (ja) | 半導体記憶装置 | |
| JPH04119597A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置のセンスアンプ | |
| JP2012064264A (ja) | 半導体装置及びその制御方法 | |
| TWI259467B (en) | Semiconductor memory device and precharge control method | |
| TW574708B (en) | System and method for early write to memory by holding bitline at fixed potential | |
| TW200951977A (en) | Semiconductor device having single-ended sensing amplifier | |
| US9171606B2 (en) | Semiconductor device having complementary bit line pair | |
| TW200903488A (en) | Memory cell array and method of controlling the same | |
| US5666306A (en) | Multiplication of storage capacitance in memory cells by using the Miller effect | |
| JPS63288497A (ja) | 半導体メモリ装置のレベルシフト回路 | |
| JPS61158094A (ja) | ダイナミツク型メモリのセンスアンプ駆動回路 | |
| JP3112685B2 (ja) | 半導体メモリ装置 | |
| JP2003272383A (ja) | Dramアレイ用ビット線プリチャージ手法およびセンスアンプ、ならびにdramアレイを組込んだ集積回路装置 | |
| US6940743B2 (en) | Semiconductor memory devices for outputting bit cell data without separate reference voltage generator and related methods of outputting bit cell data | |
| JP4865121B2 (ja) | 少なくとも一つのメモリーセルにカップリングされたシングルビットラインを有する強誘電体メモリ素子 | |
| US5995410A (en) | Multiplication of storage capacitance in memory cells by using the Miller effect | |
| TWI287793B (en) | Increasing a refresh period in a semiconductor memory device | |
| JP2009020952A (ja) | 半導体記憶装置 | |
| US7106645B2 (en) | Semiconductor memory device having a word line drive circuit and a dummy word line drive circuit | |
| JP2000195276A (ja) | 半導体記憶装置 | |
| JPH0381232B2 (zh) | ||
| JPS6236798A (ja) | ダイナミツクランダムアクセスメモリ | |
| JPH0713869B2 (ja) | データ伝送回路 |