TW200906746A - Scribing head, scribing device, and scribing method - Google Patents

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200906746 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於為了對使用在液晶面板所代表之FPD(平 面面板顯示器）之玻璃基板等之脆性材料基板進行劃線而使 用的劃線頭、使用該劃線頭之劃線裝置及劃線方法。 【先前技術】 作為FDP用面板基板所使用之脆性材料基板，通常藉 由以劃線裝置將大片母基板劃線，然後分割成既定之大小 來製is·。用以對玻璃基板進行劃線而使用之劃線裝置，例 如’已揭示於專利文獻1 (日本特開2〇〇2 — 201 33號公報）。 圖17係表示專利文獻1所揭示之劃線裝置。圖丨7所 丁之J線咸置，具備.平台8 !，將被形成劃線之玻璃基板 70以水平狀態保持；複數個劃線頭82，對保持於該平台η 上之玻璃基板（母玻璃基板）70進行劃線；及跨接板83，具 有將各劃線頭82安裝成能滑動之導軌83a。 以水平狀態保持玻璃基板7〇之平台8丨，能沿相對導 軌83a為正交方向之丫方向滑動，且能以保持玻璃基板 於水平狀態之狀態繞垂直軸旋轉、即沿圖17所示之0方 向旋轉。跨接板83’以跨越平台81之方式架設，導軌…， ::水平狀態配置於平台81之上方。安裝於導軌…之各劃 :頭82 ’能藉由線性馬達機構分別滑動於沿導執8 邊方向之X方向。 贫 於各劃線頭82之下部分別設置刀輪片仏 82a ’藉由劃線頭之升降機構能移動於上下方向 各刀輪片 藉由被壓 200906746 81上之破璃基板 相對玻璃基板70移 藉此，形成劃線於玻璃 接於保持在平台 動，以對玻璃基板70進行劃線。 基板70。 又’於圖1 7所示之書丨丨綠骷¥ 成甘 線裝置’設置有用以拍攝設於玻 璃基板70之對準標記的一 對攝衫機84、以及用以顯示藉 由各攝影機84所拍攝之景彡德沾&描 如像的衫像顯示裝置85等。 圖1 8係表示使用於圓7 7 _ '圖17所不之劃線裝置之劃線頭82 之一例的立體圊。該劃綾菔 、'員82 ’係藉由對玻璃基板70之 表面進行劃線來形成割飨 水々风剷綠者，具有：設置於上部之伺服馬 達82m、及藉由伺服馬達 /σ上下方向滑動之刀具機構 …，於刀具機構82η之下端部設有刀輪片仏。於籠馬 達心之旋轉軸安裝凸輪82p，於凸輪叫之凸輪面，藉 由螺旋彈簧Mr壓接設置於刀呈她 i设又罝P刀具機構82n之滾輪狀之凸輪 從動件82q。 圖17所示之㈣H若於平台81上保持玻璃基板 7〇,各劃線頭82之刀輪片82a則對向於玻璃基板7〇之既 定之γ方向劃線開始位置，其後分別將刀輪片82a下降， 以使刀輪尖82a壓接於玻璃基板7〇之γ方向之劃線開始 位置。形成如此狀態後，藉由使平台81往γ方向移動， 各劃線頭82之刀輪片82a，則同時形成沿γ方向之劃線。 在此情形，各劃線頭82之刀輪片82a，藉由饲服馬達 82m之正反旋轉壓接於玻璃基板7〇。且，藉由使刀輪尖 對玻璃基板70調整為既定之劃線負載，於玻璃基板7〇形 成既定深度之垂直裂痕。 200906746 又’於國際公開03/01 1777號公報（專利文獻2)，已揭 示如下之構成’即，將刀具機構之上下方向之移動，藉由 飼服馬達82m正反旋轉的齒輪、及螺合於此齒輪之垂直狀 態的齒輪來進行，又，已揭示如下之構成，即，將對玻璃 基板70之刀輪片82a之劃線負載，設定於伺服馬達82ηι 對刀輪尖82a之壓入位置（以玻璃基板70之表面為基準， 在玻璃基板70不存在之狀態下藉由伺服馬達82m設定之 刀輪尖82a之下方位置）來控制。 [專利文獻1]曰本特開2002- 20133號公報 [專利文獻2]國際公開〇3/〇1 1777號公報 【發明内容】 以往之劃線頭82，能藉由伺服馬達82ιη，使刀輪片82a 成為壓接玻璃基板70之狀態。然而，因設置刀輪片82a之 刀具機構82η整體沿上下方向滑動，刀具機構82n整體之 自重施加於玻璃基板70，產生使對玻璃基板7〇之劃線負 載，不容易調整為小於刀具機構82n整體自重之負載的問 題。因此，有無法精密調整玻璃基板7〇之劃線負載之虞。 使用為FPD用之玻璃基板之厚度，從以往之主要尺寸 〇.7ππη厚度，漸漸轉移至使用於手機等用途之主要尺寸 〇.4mm〜〇.3mm厚度或此厚度以下，有越來越薄之趨勢，要 對如此薄之玻璃純70進行劃線時，若無法將對玻璃基 板之劃線負載以良好精度控制在較以往設定小之負载範圍 内’即會因刀輪片82a使大劃線負载施加於玻璃基板7〇, 產生於劃線時使玻璃基;70破損，或以相對既定之劃線 200906746 預定線偏移之狀態形成劃線之虞。 本發明係用以解決如上述之問題，其目的在於，提供 -種劃線頭、劃線裝置及劃線方法，可使對脆性材料基板 之劃線動作時所要求之刀具機構之負載範圍，小於施加於 保持刀具機構之保持手段之負戴，藉此保證劃線負載值在 車乂以在小之範圍内的劃線動作，其結果，可避免使脆性材 料基板破損，且能精度良好地進行劃線動作。 本發明之劃線頭，具備：保持手段，係保持對脆性材 料基板之表面進杆書，丨錄+ β , > —之刀具機構；及驅動手段，係驅動 。玄保持手&以使該刀具機構壓接於該脆性材料基板之表 面；，保持手段，係能使該刀具機構對該脆性材料基板表 面之I缘負载小於施加於該保持手段之負載； =持手段，最好具有：滑塊’構成為能藉由該驅動 Γ=:Γ亥刀具機構璧接於該脆性材料基板之表面之第 第 及平衡塊’構成為能藉由該驅動手段使其往 興邊弟1方向相反之第 由該驅動手段使該滑塊往° ’該平衡塊，可對應藉 手段移動於該第2方向。方向之移動’而藉由該驅動 較佳構成為，該驅動 進一步具有：滚珠螺捍，該保持手段， 帽構件，螺合於料珠服料之旋轉軸；螺 條，與該滑塊-體滑動:而一體構成於該滑塊’1 1齒 旋轉；及第2 I # 齒輪，藉由該第1齒條之滑動 木Ζ齒條，藉由姑 條之滑動方向 、小齒輪之旋轉而往與該第1齒 相反的方向與該平衡塊-體地滑動。 200906746 對螺帽構件之另一方與該平衡塊-體構成 ^構件分別以反螺紋狀態螺合於該滾珠螺桿。

沪叙乂佳構成為’該滑塊，構成為能沿滑軸往該第1方产 私動广衡塊’構成為能沿該滑轴往該第2方向移J 覆甚。又佳構成為，該滑軸、該滑塊及該平衡塊藉由支架! 構件，^伺服馬達，安裝具有該滑軸之支架 …月意之下端部較該支架構件向下方延伸，該支架 件’具有覆蓋該滑塊之下端部之内部罩。 ;較佳構成為，進一步具備覆蓋該刀具機構之刀具罩， :刀具罩’具有嵌合於該内部罩之外周面的重疊部，該重 a。卩與该罩之外周面具有間隙。

進一步且^成為，相動手段係'伺服馬達；該保持手段， -對螺帽構件滾t螺捍’連結於該飼服馬達之旋轉軸；及 成，該二對螺帽構件之-方與該滑塊-體構 該 於該滑塊，設置使空氣從該刀具機構之周圍向下方喷 出的噴出機構。 車乂佳構成為，該保持手段進—步具有一對保護滾輪， 該-對保護滾輪之各下端部，相對該刀具機構之下端部位 ;既疋距離上方’該—對保護滾輪’係'隔著該刀具機構配 置於該刀具機構之兩側。 壯本發明之劃線裝置，具備：劃線頭支撐手段，至少安 衣1個s亥劃線頭；基板支撐手段，支樓該脆性材料基板； 及滑動機構，使該劃線頭支料段㈣該基板支料段滑 200906746 動，以使該基板支撐手段所支撐之脆性材料基板之上面藉 由該刀具機構被劃線。 又’本發明，係使用劃線頭之劃線方法，包含：藉由 控制該驅動手段使該刀具機構位於較該脆性材料基板之表 面下方之位置，來控制該刀具機構對該脆性材料基板之表 面之劃線負載的步驟；及在該劃線負載被控制之狀態下， 藉由該刀具機構對該脆性材料基板之表面進行劃線的步 驟。藉此達成上述目的。 ’ &本發明之劃、㈣，係才冓成為#由伺服馬達等之驅動手 ’又使刀具手段對玻璃基板等之脆性材料基板壓接，因能 使對脆I·生材料基板之劃線負载小於施加於保持刀具機構之 保持手段之負冑’故能使對薄玻璃基板之負載值設定於較 以往小之範圍來進行劃線動作。藉此，即使薄玻璃基板等 之脆性材料基板’能避免損傷，保證精度良好之劃線動作。

^發明之劃線装置及劃線方法，因藉由使用此種劃線 頭广減輕刀具手段對脆性材料基板之劃線負冑，故能避 免損傷，保證精度良好之劃線動作。 【實施方式】 丨八撕_ A詋明本發明之實施形態。 圖1係表示本發明之劃線裝置之概略構成的俯視圖， 圖2係其側視圖，冑3係其前視圖。此靠|置，係為了 玻璃基板7"割成既定大小之複數片玻璃基板 而用以形成劃魂去 士文 機構10 明之劃線裝4，具有：基板支樓 分割之母玻璃基板70以水平狀態载置；複 11 200906746 數個劃線頭20，用以形成劃線於載置在基板支撐機構ι〇 之母玻璃基板70 ;劃線頭支撐部3〇，安裝有各複數個劃 線頭20 ;線型馬達機構4〇，使劃線頭支撐部3〇往既定方 向（垂直於呈直線狀態之劃線頭支揮部3G之安裝方向（直線 方向）的方向）滑動。 基板支撐機構1G，具有分別彼此平行配置於機殼12 内的複數個帶式運送機U。於機殼12内例如將7台帶式 運I機11彼此相隔適當間隔而配置。各帶式運送機11， 配置於水平狀態倍盆t # A Μ .更八阿度為繞回移動之各運送皮帶之上面 係彼此相等高度，因此’母玻璃基板70以水平狀態載置 於各運达皮帶之上面上。各帶式運送機u同步驅 母玻璃基板70搬人於各帶式運送機u之既定位置上 定位於既定狀態。然後，將母玻璃以7Q使用高浸透刀 大（能於基板之厚度方向形成 夂器4…害1， 取木I罝裂痕）進仃劃線，藉由 " 栈 使母玻璃基板7〇搬出至下步驟。 ^線頭支撐部30,於各帶式運送機u上，構成心 與各Y式運送機1丨正交 口 立俨邱m 〇 向水平梁狀，於該劃線頭 於：1 安裝6個劃線頭2〇。各劃線頭20,配置 於使其位在設置於基板支 她己置 之間。 < / 口各帶式運送機11 =於各帶式運送機η上之劃線 :置=二滑動之線型馬達機構4。，具有：軌部二 上；及：f動構Γ切领11左右兩•機殼12之側面部 工’及/月動構件42，分 Λ 叫# J δ又置於劃線頭支撐部30之各端 12 200906746 β而能分別沿各轨部41滑動。 二的側視圖，圖，)係其前視圖，圖 視圖，…沿圖=成::7^^ 2〇均係同樣構造，如圖所:：載面圖。各劃線頭 置於上部；滑塊25，藉由有：飼服馬達21，設 方精由該伺服馬達21之正反轉沿上下 平衡塊27，伴隨滑塊25之滑動往與滑塊^之 :動方向相反的方向滑動；及支架構件 及平衡塊27使之能、VL μ 丁七a a ^ ^ ,± . 〜上下方向h動。於滑塊25之下端部 ==具機構26,因此，滑塊25構成保持刀具機構％ 1乐ί寻手段。 又，於支架構件24，如圖4所示，將覆 25及平衡塊27之支架罩叫設置於外周部。…月免 圖6⑷係伺服馬達21的立體圖，圖啊係祠服馬達幻 的别視圖。伺服馬達21，々圖ς 本體部…，配置成垂直狀能所示’具有：馬達 狀怎，及釭轉軸21b，從該馬達本 °下方延伸。於伺服馬達21之旋轉軸21b，藉由 :結益22連結滾珠螺桿23。滚珠螺桿23，係與飼服馬達 轉之旋轉軸21b同軸狀態’使之與旋轉轴2ib成為一體旋 圖5所不’於馬達本體部2ja之下側，安裝有支架 =:圖叫係支架構件24的立體圖’ W7(b)係其前 支架構件24，具有··水平之上板部24a，使與馬達 本體部2U之下面相對；側板部糾，於上板部％之一 13 200906746 :緣：：下方垂直安裝；及下板部％，於侧板部糾之 端J女裝成與上板部24a對向 藉由螺栓固定於弓達…21广狀態’使上板部24a “ 馬達本體部21a之下面。上板部24a與下 反4 24c，分別構成為同樣之正方形之薄板狀。 2 ;支木構件24之上板部24a之中央部分設置開口部 叫’伺服馬彡21之旋轉軸21b插通於該開口部叫。連 ^伺服料21之旋轉軸21b與滾珠螺桿以聯結器& Si t2構件Μ之上板部Μ下板部A之間，安裝於 :'。為之滾珠螺桿23,亦位於支架構件24之上板部％ ，、下板部24c之間。於支架構件24之下板部 設有開口部24e。 刀 於支架構件24之上板部24a與下板部％之間，以垂 直狀態配置4支滑軸24f。各料24f，其個狀上端部及 下端部位於上板部24a與下板部24c之各自之開口部… 及W周圍，安袭於上板部％與下板部％ «。於各料24f較上下方向之中央部若干上方位^ 女裝有構成正方形框狀之框構件24g。各滑軸W，分別插 通於框構件24g之各隅角部附近部分，框構件…之各隅 角部附近部分，固定於各滑# 24f之上下方向之大致中央 部·。於框構件24g之前面側框體及背面側框體，以分別能 自由旋轉之狀態安裝有垂直狀態之小齒輪2处。 於支架構件24之各滑軸24f，如圖5所示，安裝能於 框構件24g下側沿上下方向滑動之滑塊25，又，安裝能於 忙構件24g上側沿上下方向滑動的平衡塊27。 14 200906746 f 圖8係將滑塊25與保持於其下端部之刀具機構26 — 起表不的立體圖，圖9(a)係其側視圖，圖9(b)係其前視圖， 圖9(c)係沿圖9(^之A_ a線的截面圖。滑塊25，具有： 直方體形狀之滑塊本體部25a，設置於該各滑轴24f而能 /月動，及圓筒狀之連結部25b，以從該滑塊本體部25a延 伸於下方之方式設置。如圖5所示，該各滑軸24f ,插通 於/fl塊本體部25a之隅角部附近部分且能沿上下方向滑 動，滑塊本體部25a，可藉由各滑軸24f而在不旋轉於以 垂直軸為中心之水平方向的狀態下沿上下方向滑動。 士圖9(c)所不，於以各滑軸24f包圍之滑塊本體部& 中央。卩叹置沿上下方向貫通之貫通孔，該貫通孔25c 連通於圓筒狀之連結部25b内部。於滑塊本體部ha之貫 ^孔25C内，設置與滑塊本體部25a結合成—體之螺帽構 :25d’該螺帽構件25d螺合於連結在飼服馬u之旋轉 川之旋轉使滾珠螺/ 23此，#由伺服馬達21之旋轉軸 # ，、干方疋轉，與滑塊本體部25a(藉由各 =防止旋轉)構成為一體之螺帽構件25d， 向螺轉移送，藉此，滑地成& 乃 滑動於上下方向。5之滑塊本體部…沿各滑轴冰 於滑塊本體部25a夕 分別設置沿上下方白延t 側面及背面側之側面， 一圖5(b二=伸之下側齒條…。各下側齒條 刀另1嚙合於設置在滑塊本體部25a上 万之框構件24g之夂，丨、i 上 上方讲私 w輪24h，藉由滑塊本體部25a向 “動，各小―朝既定方向旋轉，藉由向下方： 15 200906746 動’各小齒輪24h朝相反方向旋轉。 圖1 〇係平衡塊2 7的立體圖，該平衡塊2 7，於框構件 24g之上側，安裝於支架構件24之各滑軸24f而能沿上下 方向滑動，圖11(a)係其側視圖，圖n(b)係其俯視圖，圖 1 1 (c)係其前視圖。平衡塊27，具有··直方體形狀之平衡塊 本體部27a，設置於該各滑軸24f而能滑動；及上側齒條 27b，分別設置於該平衡塊本體部2乃之前面側之側面及背 面側之側面。 於平衡塊本體部27a之水平方向之中央部分，形成有 用以插通滾珠螺桿23之貫通孔27c，插通於貫通孔27c之 滾珠螺桿23，如前述，螺合於配置在平衡塊下方之滑塊 之螺帽構件25d。於平衡塊本體部27a之隅角部附近部分， 插通支架構件24之各滑軸24f而能沿上下方向滑動，因此， 平衡塊本體部27a，可藉由各滑軸24f而在不旋轉於以垂 直軸為中心之水平方向的狀態下沿上下方向滑動。 前面側及背面側之各上側齒條27b，延伸至平衡塊本 體部27a T方而分別鳴合於設置在平衡塊本體部27&下側 的前面側及背面側之各小齒輪24h。前面側及背面侧之各 上側齒條27b，如圖5(b)所示，與設置於滑塊υ之前面側 及背面側之各下側齒條25χ，挾持各小齒％ 2仆而形成各 窗輪部彼此對向之狀態，因此，各上側齒冑Μ及各下側 齒條25x分㈣合於相對各小齒輪24h之水平方向兩侧之 各側部。 如前述’各小齒輪24h，若藉由下側齒條25χ(與平衡 16 200906746 塊本體部2 7 a成為一體、. 乂巧體/月動）往既定方向旋轉，嚙合於久丨 齒請之上側齒條27b，則與下側齒條 動： 相反方向（即，與平衡塊本體部27a之滑動方向相方向 滑動。因此’滑塊25與平衡塊27,朝彼此接近方向及:) 此離開方向滑動。又’平衡塊27之重量，係大致等於施 加在保持刀具機構26之滑塊25的全負載。 ' 滑塊25’雖藉由以驅動手段之伺服馬達η 珠螺桿23沿上下方向滑動’但當滑塊25沿上下方向滑動 時、，因平衡塊27朝相反方向滑動，故施加在滚珠螺桿23 之滑塊25之負載會減輕平衡塊27之重量部分。立沾果 可減輕施加於伺服馬達21(用以使滑塊25沿上下方向。滑動） 之β塊25等的負載。在此情形，由於施加在包括滑塊U 之保持手段之全負載，大致等於平衡& 27之全重量，故 能使對玻璃基板7〇之表面之負載（劃線負載，係刀具機構 ^之刀輪片所產生）減輕為「〇」。其結果，飼服馬達21， 能精由其伺服控制以高精度定位滑塊25之上下方向位置。 如上述’能藉由平衡塊27、下側齒條25Χ及上側齒條 27b、小齒輪24h等，減輕施加於滑塊25等之負載。 又，滾珠螺桿23之導程角，較佳為設定於45。，以使 滑塊25之滑塊本體部…對上方及下方之兩方向之負載傳 達效率相等，但通常構成為30〜40。。 又，因於支架構件24,設置圖4所示之支架罩Μ』， ，防止塵埃等進入支架構件24之内部。因此，不需擔憂 猎由塵埃附著於各滑轴24f，阻礙滑塊25及平衡塊27沿 17 200906746 :::向滑動，滑塊25及平衡塊27則沿各滑轴w圓滑 …藉此’能使伺服馬達21之伺服控制的滑塊25之 上下方向位置的定位精度穩定而維持高精度。 :’若於玻璃基板70之表面存在凹凸之情形，由於割 減輕且㈣25圓滑地沿上下方向_，因此能 子玻璃基板7G之表面之凹凸對應性良好地跟隨。 圖二係設置於滑塊25之連結部25b之下端部的截面 。、、、° °卩25b之下端部，插通於設置在支架構件24之 =2:之開口部24e内，於其下端部，藉由刀具保持 =保持刀具機構26。於連結部以之下端部内插入 呆持構件25h之上部’該刀具保持構件25h之上邻， 精由設置於連結部25b内之軸承25g保持成能相對連結部 讣叙轉。刀具保持構件咖，從連結部…向下方延伸。 刀具機構26，保持於刀具保持構件2讣 罩24”内部罩叫，以同心狀態設置於設在下板部24c :開口部24e周圍’連結部25b之下端面位於内部罩％ 佯持：Γ構26,具有：刀輪片夾持具26a，保持於刀具 持=件25h之下端部内；及刀輪片26b，於該刀輪片爽 符八26a之下端部設置成能藉由水平 構成為以等間隔埋設刃片於圓板狀碟體之外周二:，：由 碟體之旋轉，使設置於碟體之外周緣部之各刀片依序壓接 於玻璃基70,隨著於基板内部之垂直裂痕之產生而沿玻 18 200906746 璃基板70之表面形成劃線。具有碟體之刀輪片㈣，如前 述，，各劃線頭透過刀輪片夾持具26a保持於滑塊〜 “安裝於支架構件24之下板部…之圓筒狀内部罩24i， 覆盖滑塊2 5之遠姓邮9 < k ~τ* 逑、，，°。卩25b之下端部及刀具保持構件25h 的周圍。刀具保持構件25h 干h之下端部，從内部罩24i向下 方延伸。X，於滑塊25之連結部25b之下端部，安裝刀 具罩25j，用以覆蓋從内部罩 I早^41向下方延伸之刀具保持構 件25h之下端部。 圖13係刀具罩25j的立體圖，圖14(a)係刀具罩25j 的側視圖’圖14⑻係其仰視圖，圖14⑷係其前視圖。如 圖12〜圖14所示，刀具罩冲具有：圓柱狀之罩本體ΙΑ 重疊部 25m， 以與該 罩本體 攻 之外周 面形成— 定之間 隔之狀態對罩本體25k成為嵌合狀態。罩本體2讣之底面， 連結於重疊部25m之底面。安裝於滑& 25之連結部2% 之下端部的内部罩24i，插入於罩本體25k與重疊部心 之間隙内。於罩本體25k之外周面與内部罩叫之内周面 形成適當之間隙，於罩本體25k之外周面與重疊部Mm之 内周面之間亦形成適當之間隙，罩本體25k與内部罩2心 之内周面之間隙，及重疊部25m與内部罩24i之外周面之 間隙成為彼此連通之狀態。 如圖12所示，刀具保持構件25h插通於刀具罩之 罩本體部25k内，刀具保持構件25h之下端部，從罩本體 部25k之底面向下方延伸。於罩本體2讣之底面，設置保 護滾輪構件25P。如圖Π及圖14所示，保護滚輪構件25?， 19 200906746 具有圓筒狀之保護罩部2 伸之刀具保持構件25h之下端:：罩…分向下方延 插入刀具保持構件2 、保護罩部25q之内部 下方延伸之刀輪片、保持構件25h之下端部向 片夾持26a之下端邻 罩部—之開…5t(參照：二=在保護 於開口部25t鱼刀輪M 士# a 2)向下方延伸。又， 如圖13^ %之間形成適當之間隔。 如圖13及圖14所示， ^'1 5 ^ J?'J ^ W 4Λ. 、、 邛2 5 q之水平方向兩 惻刀別5又置滾輪保持部 ^ 盥舻罢# + 士 各/袞輪保持部25r，設置於 與配置成垂直狀態之刀輪片 ：置於 片26b之移動方軸方向正父的方向（刀輪 置藉由水平軸保持輪保m5r，分別設 神保持成4轉之保護滚輪25”因此 護滾輪25s，分別盥刀於 各保 刀乃b、刀輪片26b成為平行之狀態， 於刀輪片26b在玻璃武相7Λ々生 .^ m .ψ ^ 土 之表面轉動時之前方及後方。 、’、Ή 5S之各下端部，相對刀輪片26b之下端部， 以離開待劃線之玻璃基 ° r . ^ u 做70之尽度Μ下之間隔例如0‘5mm 程度之間隔之狀態位於上方。 如圖9(e)所示，於滑塊25 <滑塊本體25a及連結部 25b,设置供壓縮空氣流通之空氣流路25w。當壓縮空氣汽

入設置於滑塊25之空氣法 ^ "L 虱机路25w時，通過沿上下方向設 置於連結冑25b之周壁部之空氣流路25w，從連結部2;b 之下端面流入保護罩部25q之罩本體部投與插入該罩本 體部2 5 k内之刀呈仅&碰/ 之刀具保持構件25h的間隙内。然後，流 本體部25k血刀且保垃战nr1 ” 保持構件25h之間隙内之壓縮空 通過設置於保護罩冑25q底面之開口部放與刀輪片爽持 20 200906746 具26a之間的間隙向下方喷出。 且機^6於上述之實施形態’飼服馬達21 ’構成用以使刀 構之刀輪片抓虔接於玻璃基板7。之驅動手段， 滑塊25、平衡塊27、支架構件24構成用以 保持刀具機構26之保持手段。 說明使用如此構成之本發明之劃線裝置 劃線的動作。 ’土攸川 Λ於基板支撐機構1G之各帶式運職1!上，以水平狀 ㈣入厚度例如之破璃基& 70,各帶式運 剌步驅動，使《基板7()運送至各帶式運送機〗 疋位置。此後’玻螭基板7〇，被 之既 11上之既定位置。 破疋位成位於各帶式運送機 :後：停止伺服馬達21之旋轉，使安裝各 之錢頭支心"〇’藉由線型馬達機構4〇，沿 达機U之長邊方向移動’各劃線頭2〇之刀輪：運 為與玻璃基板70上面之側緣部對向之狀態。119 成 成為上述狀態後，於各劃線頭2〇’1轉驅動祠服㈠ 21。藉此，連結於伺服馬達21之旋轉轴21b之滾珠螺=達 =走轉軸21b成一體朝同方向旋轉。於滾珠干螺 合有螺帽構件25d，但由於螺帽 3雖螺 25a成-體，滑塊本體部25 糸與滑塊本體部 α J精由4支滑站+ :珠螺桿23之旋轉而旋轉之狀態下沿上下方向滑動不： 螺合於滾珠螺桿23之螺帽構件25d向 因 使其與滑塊本體部25卜起向下方滑動。 送’ 21 200906746 藉由滑塊本體部…沿各滑軸24f向下方滑動，安裳 於；月塊本體部25a之各下側齒條25χ亦成為—體向: 動。藉此，嗔合於各下側齒條25χ之各小齒輪糾朝既= 方向疑轉。且’藉由各小齒冑24h朝既定方向旋轉，嚙人 於各小錢24h之平衡塊27之各上侧齒條爲向上方二 動。藉此’平衡塊27,沿各滑軸24f，以相等於滑塊25: 下降速度的上升速度向上方滑動。 如此，藉由滑塊25之下降時使平衡塊27上升，且平 衡塊27之負载大致等於加在滑塊25之全負載，而能使劃 線負載（即刀輪片26b所產生之對玻璃基板7〇表面之 力）大致成為「〇」。 又，因不對用以下降滑塊之滾珠螺桿23施加滑塊Μ 之負載’故藉由飼服馬彡21之词服控制，能以高精度調 正/月塊25之上下方向位置。因此，藉由伺服馬達η之伺 服控制’能以高精度定位滑,免25之上下方向位置，即滑 塊25下端部之刀具機構26中刀輪片26b之下端位置。 又，因能以高精度定位刀輪片26b之下端位置，故對 玻璃基板7〇之劃線負載，與從玻璃基板70被劃線之表面（上 面）的下降距離成正比。因此，藉由伺服馬達21之伺服控 制，使刀輪片26b之下端位置，成為從玻璃基板7〇之表 面下降既定之距離之狀態，能將對玻璃基板70表面之刀 輪片26b之劃線負載控制為既定值。 田刀輪片26b成為壓接玻璃基板7〇表面之狀態時，伺 服馬達2 1 ’係以如上述將刀輪片2仙之下端位置控制成從 22 200906746 玻璃基板70 I面下降既定距離的_ 頭20夕意丨丨始涵w * 女展有各劃線 員〇之劃線頭支擇部3〇藉由词服馬達機構4〇 運迓機11之長邊方向移動。藉由 Ρ 各刀輪片26b，以預先設定之既 支? 3。之移動， 板70之狀態，使玻璃基板70之表 接於玻璃基 長邊方向轉動。藉此，㈣璃基板70,藉由各tlj線頭2〇 之刀輪片26b分別形成沿各帶式運送 劃線。 之長邊方向的

面存在凸凹時，刀輪 隨，能進行穩定之劃 在此情形，若於玻璃基板7〇之表 片26b，對其凸凹能對應性良好地追 線動作。 於如上述之劃線步驟，從各刀具機構26之刀輪片夾 具26a與設置於保護滾輪構件25p底面之開口部⑸之門 向下方喷出壓縮空氣。藉此，因刀輪片加對玻璃基板7B〇 劃線所產生的粉塵會吹向周S，刀輪片⑽，不必擔心因 附著於玻璃基板70之粉塵使劃線方向變化，能以沿既定 之劃線預定線之狀態正確地形成劃線。 在此情形，由於在支架構件24設有用以覆蓋内部之滑 塊25、平衡塊27及滑軸24f之支架罩24j，藉由該支架^ 24j，防止粉塵進入支架構件24之内部。並且，由於在各 劃線頭20之下端部設置内部罩24i及77呈罢0 < · 干 久刀具卓25J，且内部 罩24ι與刀具罩25j之重疊部25m成為重疊狀態，因此不 必擔心被吹走之粉塵從支架構件24之下側進入内部。其 結果，不必擔心滑塊25及平衡塊27之滑動被附著於支架 23 200906746 構件24之各滑轴24f之粉塵阻礙，能圓滑地滑動。 在此情形，因内部罩24i設置於支架構件24，刀具罩 25j叹置於滑塊25，故兩者會彼此滑動，但因内部罩2“ 配置為相對刀具罩25j形成適當之間隔之狀態，故不必擔 心阻礙滑塊25之圓滑之滑動。 入 f

;各$彳線頭20之下端部設置保護滚輪構件25p， 於刀輪片26b之轉動方向之前方配置保護滾輪25s，因此 即使於刀輪>;26b之劃線方向之前方，玻璃基板7〇之— J刀藉由已成為被去除之狀態而存在段差之情形，藉由保 k穿輪25s $為接觸於玻璃基板7〇下侧之運送皮帶上面之 f態’防止刀輪片勘從玻璃基板7〇之表面脫落。藉此， 能防止玻璃基板7G之側緣部等被刀輪片⑽破損。 又’於上述實施形態，為要使平衡塊27對滑塊^朝 相反方向滑動，係使用下側齒條25x及上侧㈣27b、小 w輪24h之構成’但不限於此等構成，亦可藉由滾珠螺桿 2之旋轉，使平衡塊27相對滑塊㈣相反方向滑動。例 如，如圖1 5所示，不佶用下相,丨奋技μ 小使用下側齒條25χ及上側齒條27b、 ::輪⑽，使螺合於滾珠螺桿23之第2螺帽構件— 甘欠合於平衡塊27之平衡塊本體％之貫通孔…，使於平 衡塊本體27a之下端部與平衡塊本體…成為—體構造。 在此情形，第2螺帽構件27d，士 構件⑺成為與設置於滑塊25之螺 :構件⑽（以下當作第丨螺帽構件叫反螺紋構造，構成 藉由滾珠螺桿23之旋轉，朝與第 向螺送。 ^構件25d相反方 24 200906746 又，於圖；5所示之劃線頭2〇之構成，將平衡塊27及 滑塊25分別形成二角柱狀，設置於支架構件^之 典 軸24f而能滑動。其他構成，係與圖4〜圖 ： 頭20同樣之構成。 即使係上述構成之劃線頭2〇 ’ W田以何服馬達21旋 轉之滾珠螺桿2 3 ’使第1螺帽構件 傅1千25d及第2螺帽構件27d 往相反方向螺轉移送，能減輕劃線負載（即刀輪片2⑼對玻 (

璃基板70表面之壓接力）。因此，藉由伺服馬達η之飼服 控制(用以使滑塊25沿上下方向滑動)能以高精度定位滑塊 25之上下方向位置。 又’於上述實施形態，說明藉由齒條及小齒輪，或藉 由滾珠螺桿與一對反螺紋構造之螺帽構件，使構成保料 段之滑塊25及平衡塊27，朝相反之方向滑動的構成。但 疋，本發明，不限於此種構成。本發明，只要係藉由驅動 手段之伺服馬達21使滑塊25對應於使刀具機構％往壓 接於玻璃基板70表面之第！方向之移動，使平衡塊”藉 由驅動手段之伺服馬達21朝相反方向之第2方向移動的 構成’可具有任意構成。 再者’保持手段，不限於藉由驅動手段之伺服馬達2!， 使滑塊25及平衡塊27分別移動於第丨方向及第2方向的 構成。保持手段’只要能使刀具機構26對玻璃基板70之 表面之劃線負載小於施加於保持手段之負載’保持手段可 具有任思、構成。 又’形成劃線之脆性材料基板70，不限於1片破螭基 25 200906746 又’亦 '、可係將對玻璃基板貼合之貼合玻璃基板 可非玻璃基板。 再者’ ▲劃線裝置2G，雖係設置多數個劃線頭於劃線 頭支撐部3G，對玻璃基板7()同時形成複數個劃線之構成， 然可僅設置！個。再者’如圖16⑷及⑻所示， 亦可係設置一對劃線頭2〇於劃線頭支撐苔使各劃線 頭2〇沿劃線頭支撐部3〇滑動之構成。又，此劃線裝置，

於各劃線頭20之下方’設有用以保持玻璃基板7〇下面之 劃線之兩側部分的輔助滾輪50。 圖6所示之劃線裝置，能特別適宜地使用於形成劃線 在貼合玻璃基板。該劃線裝置，藉由以各劃線帛20之刀 輪片26b形成劃線，同時以配置於下方之輔助滚輪5〇將 貼口玻璃基板以既定之壓接力保持，能使構成劃線之垂直 裂痕向下方伸展，藉此能使劃線形成為從貼合玻璃基板之 上側玻璃基板之上面達到下面之狀態。 於此種劃線裝置，由於貼合玻璃基板之上側玻璃基板， 同時於靠之形成成為被分狀㈣，因此有上側玻璃基 板之不要部分會脫落之疑慮。然而，即使在此情形，相對 脫落之部分’配置於刀輪片26b前方之保護滾輪25s成為 接觸於下侧玻璃基板之上面之狀態，能防止刀輪片從 上側玻璃基板脫落，能確實防止刀輪片26b所帶來之上側 玻璃基板及下側玻璃基板之損傷等。 又，於貼合玻璃基板之各基板形成劃線時，亦可於貼 合玻璃基板之下侧設置同樣之劃線頭，以將貼合玻璃基板 26 200906746 之上下之各基板同時劃線。 以上’雖使用本發明之較佳實施形態來例示本發明， 但本發明，不應限於本實施形態解釋。本發明，應暸解僅 根據申請專利範圍解釋其範圍。該技術領域中具有通常知 識者，從本發明之具體較佳實施形態之記載，根據本發明 之記載及技術常識能實施均等範圍。本申請書所引用之專 利、專利中請及文獻’應瞭解其内容本身與具體說明於本 申請書同樣，將其内容引用為對本申請書之參考。 本發明，於為了要對使用於液晶面板等之玻璃基板等 跪性材料基板進行劃線所使用的劃線頭，能使對脆性材料 基板之刀具機構的劃線負載’較施加於用以保持刀具機構 之保持手段的負載減輕。 【圖式簡單說明】 圓係表示本發明之劃線裝置之概略構成的俯視圖。 圖2係表示本發明之劃線裝置之概略構成的側視圖。 ;3係表示本發明之劃線裝置之概略構成的前視圖。 圖4(a)係使用於本發明之查 圖，（b)係其前視圖。 S、、<劃線頭的側視 圖 前視圖 5(a)係表示該劃線頭之内 門。Μ冓成的侧視圖 ’（c)係（a)之沿A—Α線的截面圖。 ’（b)係其 圖 圖6(a)係使用於本發明 (b)係其前視圖。 之劃線頭之伺服馬 達的立體

圖？（a)係使用於本發明之劃線頭 (b)係其前視圖。 之支架構件的 立體 27 200906746 圖8係使用於本發明之劃線頭之滑塊的立體圖。 圖9⑷係該滑塊的侧視圖，（b)係其前視圖 之沿A — A線的截面圖。 y'(a) 圖Π)係使用於本發明之劃線頭之平衡塊的立體圖。 圖n⑷係該平衡塊的側視圖，（b)係其俯視圖 前視圖。 （）係 圖 圖 圖 前視圖 12係設置於滑塊之連結部之下端部的截面圖。 13係設置於滑塊之刀具罩的立體圖。 14⑷係該刀具罩的側視圖，（b)係其仰視圖，⑷係 〇 ^圖b(a)係表示本發明之劃線頭之另外例的立體圖，（b) 係其前視圖。 圖16⑷係表示本發明之劃線裝置之另外例的俯視圖， (b)係其前視圖。 圖17係表示以往之劃線裝置之概略構成的立體圖。 圖18係表不設置於該劃線裝置之劃線頭之構成的立體 【主要元件符號說明】 10 基板支撐機構 20 劃線頭 21 伺服馬達 22 聯結器 23 滾珠螺桿 24 支架構件 28 200906746

24f 滑轴 24g 框構件 24h 小齒輪 25 滑塊 25a 滑塊本體部 25b 連結部 25d 螺帽構件 25h 刀具保持構件 25j 刀具罩 25p 保護滾輪構件 25x 下側齒條 26 刀具機構 26a 刀輪片夾持具 26b 刀輪片 27 平衡塊 27a 平衡塊本體部 27b 上侧齒條 27d 第2螺帽構件 30 劃線頭支撐部 29

Claims (1)

1. 200906746 十、申請專利範圍： 1 · 一種劃線頭，具備： 保持手段，係保持對脆性材料基板之表面進行劃線之 刀具機構；及 —、 驅動手段，係驅動該保持手段以使該刀具 該脆性材料基板之表面； 該保持手段’係能使該刀具機構對該脆性材料基板表 面之劃線負载小於施加於該保持手段之負載。

   該脆性材料基板之表面；

   驅動手段使該滑塊往第 移動於該第2方向。 秒動；該平衡塊，可對應藉由該 方向之移動，而藉由該驅動手段 項之劃線頭，其中，該驅動手 而一體構成於該滑塊； 3.如申請專利範圍第 段係伺服馬達；

   該保持手段 滾珠螺桿， 螺帽構件， 30 200906746 第1齒條，與該滑塊一體滑動； j齒輪，藉由該第丨齒條之滑動旋轉；及 ^第2齒條，藉由該小齒輪之旋轉而往與該第1齒條之 滑動方向相反的方向與該平衡塊一體地滑動。 4.如申請專利範圍帛2項之劃線頭，其中，該驅動手 段係伺服馬達； 邊保持手段，進一步具有：

   滾珠螺桿，連結於該伺服馬達之旋轉軸；及 對螺帽構件’該—對螺帽構件之—方與該滑塊一體 對螺帽構件之另一方與該平衡塊一體構成，該 、螺帽構件分m纟以㈣合於該滾珠螺桿。 :如申請專利範圍第…項之劃線頭，其中，該滑 :為能沿滑軸往該第丨方向移動；該平衡塊，構成 為此&該滑轴往該第2方向移動。 奸申請專利範圍帛5項之劃線頭，其中，該滑軸、 X'月鬼及5亥平衡塊藉由支架罩覆蓋。 7. 如申請專利範圍…之劃線頭，其中，於該词服 I竿構=具有該滑軸之支架構件，該滑塊之下端部較該 ⑺之下方延伸，該支架構件，具有覆蓋該滑塊之下 *而部之内部罩。 8. 如申請專利範圍第7項 蓋嗲77" 矛肖之劃線碩，其進一步具備覆 ”機構之刀具罩，該刀具罩， 之冰田I 卓具有嵌合於該内部罩 之外周面的重疊部，該重疊部盥 Q , ^ ”。亥罩之外周面具有間隙。 申請專利範圍第2項之劃線頭，其中，於該滑塊， 31 200906746 設置使空氣從該刀具機構之周圍向下方噴出的嘴出機構。 10.如申請專利範圍第1項之劃線頭，其中，該保持手 段進一步具有一對保護滾輪，該一對保護滾輪之各下端 部，相對該刀具機構之下端部位於既定距離上方，該一對 保濩滾輪，係隔著該刀具機構配置於該刀具機構之兩側。’ 11 ·—種劃線裝置，具備： 劃線頭支撐手段，至少安裝i個申請專利範圍第i項 之劃線頭；

   土板支撐手段，支撐該脆性材料基板；及 滑動機構，使該劃線頭支撐手段相對該基板支撐手段 :動’以使該基板支樓手段所支樓之脆性材料基板之上面 藉由該刀具機構被劃線。 芽重使用申凊專利範圍帛1項之劃線頭之劃線方 法’其包含： 美1控制該驅動手段使該刀具機構位於較該脆性材料 : 表面下方之位置’來控制該刀具機構對該脆性材料 土板之表面之劃線負載的步驟；及 月产線負載破控制之狀態下’ #由該刀具機構對該 脆性材料基板之表面進行劃線的步驟。 十一、圓式： 如次頁 32