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TW200828451A - Manufacturing method of liquid crystal display panel and liquid crystal display panel - Google Patents

Manufacturing method of liquid crystal display panel and liquid crystal display panel Download PDF

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TW200828451A
TW200828451A TW096131557A TW96131557A TW200828451A TW 200828451 A TW200828451 A TW 200828451A TW 096131557 A TW096131557 A TW 096131557A TW 96131557 A TW96131557 A TW 96131557A TW 200828451 A TW200828451 A TW 200828451A
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liquid crystal
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TW096131557A
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TWI349971B (zh
Inventor
Yoshikazu Yoshimoto
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Future Vision Inc
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Description

200828451 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種液晶顯示裝置等半導體裝置，尤其是 關於一種主動矩陣型液晶顯示面板之製造方法及以該方法 製造之液晶顯不面板。 【先前技術】 此種液晶顯示裝置係將液晶顯示面板與驅動電路及背光 等周邊裝置進行組合而構成。圖13係說明典型的縱向電場 型（所謂TN型）液晶顯示裝置之概略構成例之剖面模式圖。 通常，構成主動矩陣型液晶顯示裝置之液晶顯示面板，係 於由第1基板（主動矩陣基板或者薄膜電晶體基板：TFT基 板）構成之第1面板PNL1與由第2基板（對向基板或者彩色濾 光片基板· CF基板）構成之第2面板PNL2之間，封入液晶 LC而形成。 於構成第1面板PNL1之第1基板SUB1的内面，具有薄膜 電晶體TFT及以該薄膜電晶體tft驅動之像素電極ρχ，且 於最上層成膜有第1配向膜〇RI 1，以賦予液晶配向控制能 力。又’於外面（背面）貼附有第1偏光板p〇L1。另一方 面，於構成第2面板PNL2之第2基板SUB2的内面，具有彩 色濾光片CF、將鄰接像素與彩色濾光片之間加以劃分的遮 光層（黑色矩陣）BM、對向電極Ct，且於最上層成膜有第2 配向膜ORI2 ’以賦予液晶配向控制能力。又，於外面（表 面）貼附有偏光軸與第1偏光板POL 1之偏光軸正交配置的第 2偏光板POL2。再者，對細小構成省略圖示。 123903.doc 200828451 於在第1基板SUB 1上製作薄膜電晶體TFT的製造步驟 中，於該基板上首先形成包含鉻等之金屬膜的平行配置之 複數個閘極佈線以及自該各閘極佈線延伸至每個像素的閘 極電極。閘極電極之寬度通常較閘極佈線之寬度 r • 後，形成絕緣層、主動層（矽半導體層）、資料佈線、資料 • 電極（源極·汲極電極）、像素電極、保護膜、配向膜等，賦 予配向膜以液晶配向控制能力，來形成第1基板。於第1基 板SUB 1之背面設置背光BLK。再者，並未圖示用以驅動 該液晶顯示面板之電路。 圖14係對圖12中所說明之液晶顯示面板的丨像素之構成 以及構成該像素之薄膜電晶體的構成加以說明之圖。即， 圖14(a)係像素之平面圖，圖14(b)係沿圖i4(a)之A-A，線的 剖面圖。如圖14(a)所示，薄膜電晶體TFT配置於閘極佈線 GL與資料佈線DL之交又部。又，構成像素之像素電極ρχ 通過接觸孔TH而連接於薄膜電晶體丁!7丁之源極電極（或者 V 沒極電極）SD1，又，在與辅助電容佈線CL之間形成辅助 電容。 於圖14(b)中，薄膜電晶體TFT係於形成於第！基板suBl 之表面的基礎膜UW上，形成自閘極佈線GL延伸之閘極電 極GT以及用來覆蓋該閘極電極GT的閘極絕緣膜GI。於該 閘極絕緣膜GI上依序積層作為主動層之矽（si)半導體層SI 與歐姆接觸層（n+ Si)NS、源極電極SD1及汲極電極SD2。 基礎膜UW係由氮化矽及氧化矽之積層膜而形成。
使氮化石夕（石夕·氮化物：SiNx)成膜為較佳的閘極絕緣膜GI 123903.doc 200828451 而覆蓋該閘極佈線GL以及閘極電極GT，於閘極絕緣膜GI 上形成與閘極佈線GL交叉之複數個資料佈線DL。再者， 於形成該資料佈線DL之同時，於同一層形成源極電極（或 者汲極電極）SD1及汲極電極（或者源極電極）SD2。 該像素於全彩顯示之情形時，成為各單色（紅、綠、藍） 之副像素，此處僅稱為像素。構成像素之薄膜電晶體丁FT 係如上所述，由閘極電極GT、於該閘極電極上被圖案化 之石夕半導體膜SI、分離成石夕半導體膜上層而形成之歐姆接 觸層（n+矽）NS、連接於所分離之各歐姆接觸層上的源極電 極（汲極電極）及汲極電極（源極電極）構成。 於該薄膜電晶體之上層成膜有保護膜PAS，於其上圖案 化有較佳的是ITO之像素電極ρχ，藉由保護膜Pas上所打 開之接觸孔TH而連接於源極電極（或者汲極電極）SD丨上。 再者’覆盍像素電極ρχ而成膜為第1配向膜（參照圖13)。 另方面，於未圖示之另一個基板上，於全彩之情形 時，經由3色之彩色濾光片及平滑層（保護層，圖13中未表 示）而形成對向電極（參照圖13)。並且，覆蓋對向電極而成 膜為第2配向膜（參照圖13)，與上述的一個基板即主動矩陣 基板重疊’於其間隙中封入液晶。 於專利文獻1中揭示有以喷墨法形成上述主動矩陣基板 之佈線等者。於專利文獻1中，記載有使用含有導電材料 液體材料，利用喷墨法來形成薄膜電晶體TFT之閘極電 :又，使用含有半導體材料之液體材料，利用喷墨法來 成薄膜電ag體TFT之源極電極及汲極電極。再者，專利 123903.doc 200828451 文獻3係揭示後述之無光罩曝光的文獻例。 [專利文獻1]曰本專利特開2003·318193號公報 [專利文獻2]曰本專利特開2000-249821號公報 [專利文獻3]曰本專利特表2002-520840號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題]
一般認為，藉由使用利用有噴墨法（IJ方式）的導電性油 墨之直接描繪方法（以下，亦稱為U直描），來代替以金屬 膜濺鍍與光微影步驟之組合來形成液晶顯示面板之薄臈電 曰曰體的閘極佈線或閘極電極、源極·沒極電極等的習知方 法，可期待降低設備投資及製造成本，並且大幅提高生產 效率。又，隨著顯示之高精細化，必須薄膜電晶體之高精 細結構化。然而，於以LF直描來形成金屬佈線之情形時， 目前難以形成如30 μηι寬度以下之微細佈線圖案。尤其於 伴隨高精細化之薄膜電晶體中，閘極電極要求1〇 寬度 以下。此種窄幅閘極電極之形成中無法使用u直描。又 又，並非僅限於液晶顯示面板之薄膜電晶體的閘極電極 的進-步窄幅化’對於其他的佈線或電極，或者形成為各 構成層圖案、⑪基板等之各種半導體裝置的佈線或電極的 進一步窄幅化，亦同樣地難以使用π直描。 因此’為形成使用有噴墨方式之窄幅佈線或電極等，典 型而言是為形成薄膜電晶體之閘極佈線或閘極電極，代替 IJ直描’所謂疏親液對比圖案法受到關注。該疏親液對比 圖案法’例如係如下方法：預純基板上之閘極佈線形成 123903.doc 200828451 e及閘極電極形成部成為親液性圖案，使除此以外的部分 成為疏液性，閘極電極以π法滴下導電性油墨，而注 親液性閘極佈線形成部及閘極電極形成部。再者，亦已知 有如下方法：使用觸排來形成親液性間極佈線形成部及閘 極電極形成部，以1;法滴下導 同下導電性油墨使其注入(專利文獻 Ό 但，於疏親液對比圖案法中，若親液性圖案中有寬 同之圖案，則會於窄幅圖案之前端產生未注入導電性:墨 之部分，或者產生寬度狹窄之圖案側的膜厚變薄之現象。 又，於使用觸排之方法中’必需用以形成觸排之光 程以及用以製作疏親液性圖案之製程，難以削減步驟數。、 本發明之目的在於提供一種可如間極佈線及閑極電極 般以較少的製程數來高精度地形成佈線或電極之寬度 (圖案寬度）不同之極細佈線或者極細電極的液晶顯示面= 之製造方法以及以該方法製造之液晶顯示面板。 [解決問題之技術手段] 為達成上述目的，本發明之製造方法係於第i基板與第2 土板之間夾持液晶’且於上述第i絕緣基板側將具有薄膜 電晶體之像素配置成矩陣狀的液晶顯示面板之製造方法，、 其製造方法係以如下順序包括以下步驟： 疏親液性處理步驟，其係使形成上述薄膜電晶體之上述 第1基板的表面包括可以導電性油墨之直接描繪形成的寬 幅導電膜形成部分的大部分為疏液性，使無法以導電性油 土之直接&纟㈣成的窄幅導電膜形成部分為親液性； 123903.doc Ο
200828451 窄幅導電部油墨膜形成步驟，其係於上述窄幅導電膜形 成部分滴下導電性油墨’於该窄幅導電膜形成部分注入上 述親液性之導電性油墨’獲得用以形成所需膜厚之窄幅導 電膜的油墨膜； 寬幅導電部油墨膜形成步驟，其係於上述寬幅導電膜形 成4为’利用直接描緣來塗佈導電性油墨，獲得用以形成 所需膜厚之寬幅導電膜的油墨膜；及 油墨膜焙燒步驟，其係將上述窄幅導電部油墨膜及上述 寬幅導電部油墨膜進行焙燒，製成上述窄幅導電膜及上述 寬幅導電膜。 又’本發明t製造彳法可將上料幅導電心由墨膜形成 步驟與寬幅導電部油墨臈形成步驟的順序調換。 並且，本發明之製造方法的特徵為：於在上述窄幅導電 部油墨膜之形成步㈣進行利用±述導電性油墨之直接描 繪的上述寬幅導電部油墨膜形成步驟的情形時，藉由使該 導電性油墨之一部分重疊於上述窄幅導電冑油墨膜之一部 分上H在上料料電部油墨膜之形成步驟後進行 上述寬幅導電部油墨膜形成步驟的情形時，藉由使該導電 性油墨之-部分重疊於上述寬幅導電部油墨膜的一部分 上，而於上述油墨餘燒㈣巾將上料幅導電膜與上述 寬幅導電膜製成一體之導電性膜。 又，本發明之製造方法的特 墨之直接描繪的上述寬幅導電 窄幅導電部油墨膜形成步驟中 倣為：於利用上述導電性油 部油墨膜形成步驟或者上述 ，藉由控制該導電性油墨的 123903.doc -10- 200828451 塗佈量或者滴下量，而使上述油墨膜焙燒步驟中所得之寬 幅導電膜與上述窄幅導電膜的膜厚相等。 又，本發明之液晶顯示面板的特徵為：其閘極佈線係於 被給與上述第1基板内面的疏液性部，以導電性、、由黑之直 * 接描繪圖案化而得者； . 閘極電極係於親液性部以導電性油墨之滴下進行圖案化 而得者，該親液性部係被給與於第丨基板之内面和閘極佈 ( 線連結一端而向主動層區域延伸之長方形圖案； 閘極電極之電極寬度與閘極佈線之佈線寬度不同，兩者 的膜厚大致相等。 [發明之效果] 根據本發明，可以較少的製程數來高精度地形成佈線或 電極之寬度（圖案寬度）不同之極細佈線或者極細電極，且 藉由應用至液晶顯示面板，於該製造方法及以該方法製造 之液晶顯示面板中，可以較少的製程數來高精度地形成自 L / 其薄膜電晶體之閘極佈線延伸的微細寬度之閘極電極，可 獲得高精細顯示之液晶顯示面板。 【實施方式】 以下’就本發明之實施形態加以說明。以下，就於液晶 …員示面板之薄膜電晶體中應用本發明之例加以說明。首 先，參照使用有疏親液對比圖案與喷墨法之組合的油墨塗 佈特性之驗證’來說明達成本發明之經過。 圖1係對利用疏親液對比圖案及喷墨來形成閘極佈線及 閉極電極加以說明之模式圖。第i基板suB1係包含構成液 123903.doc 200828451 晶顯示面板之玻璃板的薄臈電晶體基板。於該第丨基板 SUB 1之内面，阻止來自玻璃之離子潘出，成膜為用以進 行表面平滑化之基礎膜（或者基礎層）uw。通常，基礎膜 UW係由氮化矽及氧化矽構成。 • 如圖1⑷所示’使基礎膜UW之表面的大部分成為疏液
- 性RA ’使閘極佈線形成部分GLA及閘極電極形成部分GTA 成為親液性FA。閘極電極形成部分GTA之佈線寬度^較 (' 閘極佈線形成部分GLA之佈線寬度Wgl狹窄（Wgt<Wgl)。 自噴墨喷嘴NZ將導電性油墨滴？_1&滴下至該親液性？八部 刀’進仃塗佈(圖1(b))。將其進行焙燒，形成由閘極佈線 GL以及自閘極佈線GL延伸之閘極電極gt所形成的閘極佈 線/閘極電極圖案。 圖2係對利用疏親液對比圖案及噴墨來形成電路圖案之 課題加以說明之模式圖。圖2(a)、化）之左側表示平面，右 側表不沿Y-Y’線之剖面。加入至成為親液性之區域的液體 ^) 量，於原理上由在疏液部液體接觸時之接觸角來決定。因 此，膜厚變得薄於寬度狹窄之部分（細線部：窄幅部），如 圖2(a)所不，液體不流至箭頭A所示之閘極電極GT的前端 部分，又，於面積較大的以箭頭0所示之與閘極佈線^乙之 連接部的角部，液體被引至寬度較大之閘極佈線部，產生 因液體湧起而造成的溢出。 又，如圖2(b)所示，即使液體注入至疏親液對比圖案之 整個區域，閘極電極GT部分之膜厚亦變薄，且於如圖2(匕） 之右側所示的閘極佈線GL與閘極電極之連接部分，膜 123903.doc •12- 200828451 厚變得厚於閘極佈線gl部分。 圖3係對利用疏親液對比圖案及噴墨之電路圖案形成 中使閘極電極形成部成為單獨之親液性的情形時的液體 流入狀態加以說明之圖。此處，如圖3(a)所示，僅對使整 - 個區域成為疏液性RA之薄膜電晶體基板SUB1的基礎膜1；貿 之閘極電極形成部GTA單獨賦予親液性。於成為親液性之 閘極電極形成部GTA上以喷墨之噴fNZ滴下適量的導電性 C： 油墨^沒後，如圖3(b)所示，即使寬度狹窄，親液油墨F_ IK亦確實/主入閘極電極形成部gta之全部區域。 圖4係對利用疏親液對比圖案及噴墨之電路圖案形成 中，使閘極佈線形成部成為單獨之親液性的情形時的液體 /瓜入狀悲加以說明之圖。此處，如圖4(a)所示，僅對使整 個區域成為疏液性RA之薄膜電晶體基板SUB1的基礎膜口臀 之閘極佈線形成部GLA單獨賦予親液性。於成為親液性之 閘極佈線形成部GLA上以喷墨之噴嘴Nz滴下適量的導電性 ^ 油墨^氓後，如圖4(b)所示，確實注入閘極佈線形成部 GLA之全部區域。 圖5係對利用疏親液對比圖案及噴墨之電路圖案形成 中，將閘極佈線形成部與閘極電極形成部連結而使閘極佈 線/閘極電極成為親液性之情形時的液體注入狀態加以說 明之圖。此處，如圖5(a)所示，對使整個區域成為疏液性 RA之薄膜電晶體基板SUB丨的基礎膜uw之閘極佈線形成部 GLA及閘極電極形成部GTA賦予親液性FA。兩者之寬度為 Wgt<Wgl。 123903.doc -13- 200828451
C 僅於成為親液性之閘極電極形成部gta上，以噴 嘴NZ滴下導電性油墨㈣。將導電性油墨⑽之^位置 以圓點線TP表示。其結果為’導電性油㈣K之大部分注 入寬度較大之閘極佈線形成部GLA側，如圖抑）之箭頭A 所不，於寬度狹窄之閘極電極形成部gta上產生未塗佈油 墨之部分。又，於將導電性油墨㈣滴下至閘㈣極形成 部GTA，繼而滴下至閑極佈線形成部gla之情形，亦產生 如圖2所說明之塗佈不均或膜厚變化。 根據以上驗證，液體(油墨)之注入，於限定為相同線寬 度之面積區域内，確實是實現了如預期之平衡穩定化。 但’-般認為存在如下傾向：如閘極佈線及與其連接之間 極電極般’於線寬度不同或者每單位長度之面積不同之圖 案上首先於獲彳于更大之親液部面積的部位使液體一體 化，藉此使表面能及表面自由能兩者大幅降⑹，而使其稃 定化。 “ 〇 其次，對於進—步添加之液滴的行為，-般認為係如下 推進原理：⑷伴隨表面能之增加，向含有閘極電極部之親 液邛方向擴散，藉此所產生之表面能降低者在能量方面穩 • 疋，或者（b)與隨著液體流向親液部而表面能降低相比，停 止於現狀之表面附近，僅將表面積儘量減小而降低表面自 由能者在能量方面穩定。 再者，為了使基板表面具有疏液性，於該表面之形成材 為氮化矽之情形時，直接利用氮化矽本身之疏液性。於基 板表面為有機樹脂之情形時，使該樹脂中含有含氟官能基 123903.doc -14- 200828451 Ο 添加劑。或者，塗佈樹脂後，進行使用以四氟化 :之j亂系氣體的電漿處理。對以如此方式成為疏液 以光照射或者電子束照射，以所期望之寬度及 進讀液化處理。將該處理稱為疏親液化處理。 為了確實形成寬幅部與窄幅部連接之圖案，例如圖_ 不之所期望的閘極佈線/間極電極圖案，上述⑷之推進 、幫助#x大。此亦與更大之疏親液對比以及稱為液體之 if生阻力的動力學有關。現狀下，疏親液對比達到極限位 準。又’就金屬含有率之觀點而言，黏性阻力亦達到最低 極限。於如此極限狀態下’推測即使施加少量上述⑻作用 之情形時，亦易於產生圖3中所說明之現象。 [實施例1] 圖6係對本發明之液晶顯示面板之製造法的實施例丨加以 說明之模式圖。於實施例i中，如圖6(a)所示，使薄膜電晶 體基板SUB1之基礎膜UW的表面之大部分成為疏液性ra， 僅使閘極電極形成部GTA成為親液性FA(閑極佈線形成部 GLA亦成為疏液性ra)。該疏親液化處理係以上述方法進 行，此處，尤其是以後述使用數位微鏡裝置 micromirror device，DMD)之光掃描來賦予親液性。藉由 使用光掃描，可形成以喷墨直接描繪無法形成之窄幅親液 性圖案。 於親液性FA之閘極電極形成部GTA上滴下導電性油墨 (例如，於溶劑中混入銀粒子而得之金屬油墨ρ_ΙΚ)，所滴 下之油墨膜均勻擴散於閘極電極形成部GTA後，於疏液性 123903.doc -15· 200828451 RA之閘極佈線形成 6⑻)。再去…GLA上以1J直描形成閘極佈線(圖 1::::此時，若於微觀上觀察，咖 部GTA之^的油墨之端部的—部分重疊於閘極電極形成 ;德㊁^部的一部分的上層。閘極電極形成部GTA與閘 極佈線：成部GLA之油墨膜的膜厚，▼由各自部分之油墨 :滴下里來控制’可使培燒後側液晶顯示面板上所得之兩 者的膜厚相等。
U 根據實施例1 ’可確實獲得與閘極電極形成部GTA及閘 極佈線形成部GLA之各個部位的油墨滴下量對應的所期望 之閉極佈線/閘極電極圖細6(e))e因此，閘極佈線仙與 閘極電極GT形成為電氣性—體者，亦無需如先前的光微 影製程，作為整體而以低成本獲得高精細之液晶顯示面 板0 [實施例2] 圖7係對本發明之液晶顯示面板之製造法的實施例2加以 說明之模式圖。於實施例2中，如圖7⑷所示，使薄膜電晶 體基板SUB1之基礎膜UW的表面之大部分成為疏液性ra， 僅使閘極電極形成部GTA成為親液性FA(閘極佈線形成部 GLA亦成為疏液性ra)。疏親液性處理與上述實施例相 同。首先’於疏液性RA之閘極佈線形成部GLA上以IJ直描 來形成閘極佈線。其後，於親液性FA之閘極電極形成部 GTA上滴下與實施例丨相同之導電性油墨，將所滴下之油 墨膜均勻塗佈於閘極電極形成部GTA上（圖7(b))。 此時，若於微觀上觀察，則以IJ之滴下而塗佈之油墨的 -16- 123903.doc 200828451 一部分’係重疊於以JJ首γ 山 田滴下之閘極佈線部的油墨之 立而。卩的一部分上。又， ΓΤΑ. ^ 、實轭例2中，閘極電極形成部 GTA及閘極佈線形成部GLA之油墨臈的膜厚，亦可由各自 ^之油墨的滴下量來控制，可使培燒後所得 =:其結果為’可彻得與閉極電極形成部㈣及 :極佈線形成部GLA之各個部位的油墨滴下量對應的所期 望之閘極佈線/閘極電極圖案（圖7(c))。 Ο 於上述本發明之實施m、實施例2中，一般認為，於圖 案見度^大之大面積疏液性部（閘極佈線形成部）上的油墨 與圖案寬度較小之小面積親液性部(間極電極形成部)上的 油墨進行-體化之情料’因閘極佈線部之疏錢部已且 有較大的表面能，故於該表面能部位引人親液性部閘極電 極側之油墨，在能吾f τ^ b里方面不利。因此，於此種圖案形成法 中’即使油墨液一體化’各油墨液亦不會相互向對方移 動0 為了進行實施例！、實施例2中所說明的本發明之親液性 賦予，-般使用如下方法：錢具有特定開口圖案之曝光 光罩，此處使用具有與閘極電極形成部對應之開ρ圖案的 曝光光罩’對成為全面疏液性之基礎膜照射光。但，此種 +光光罩其本身j貝格昂責，因此專利文獻3中揭示有如下 之光罩曝光來作為削減成本之一種方法：對塗佈有光觸媒 之基板，以使用數位微鏡裝置（DMD)之光掃描來賦予親液 性0 但，於用於電視影像接收機等之大型液晶顯示面板中， 123903.doc -17- 200828451 為以使用DMD之掃描來使其閘極佈線及閘極電極的整體成 為親液性’需要大量時間，因此無法將其實用化。對此， 於本發明中，為使基板上成為親液性之面積僅為閘極電極 形成部，應曝光之面積需絕對狹窄。 • [實施例3] 圖8及圖9係對本發明之液晶顯示面板之製造法的實施例 3加以說明之模式圖。於實施例3中，如圖8所示，於全面 塗佈有光觸媒之薄膜電晶體基板SUB 1上，以使用數位微 鏡裝置（DMD)之光掃描來賦予閘極電極形成部GTA以親液 ί±邛FA。GLA係閘極佈線形成部，使包括該閘極佈線形成 部，且除閘極電極形成部GTA以外之部分成為疏液性化八之 狀態。 如图9所示，於閘極電極形成部GTA上以IJ來滴下 導電丨生/由墨，於親液性部FA中注入閘極電極GT之導電性 油墨，繼而於閘極佈線形成部GLA上以1;直描來塗佈導電 I ^油墨，進行焙燒，形成與閘極電極GT連接之閘極佈線 GL圖9係表不將閘極佈線GL之油墨膜自該圖之右方直接 . 描π至左方而注入的過程。於以該順序形成之情形時，閘 極佈線GL之一部分成為重疊於閘極電極GT之一部分上 者再者亦可首先於閘極佈線形成部GLA上以IJ直描來 塗:導電性油墨，其後於閘極電極形成部GTA上以IJ來滴 下^電f生油墨，將閘極電極GT之導電性油墨注入至親液 1卩FA °亥松形時，閘極電極GT之一部分成為重疊於閘 極佈線GL之一部分上者。 123903.doc -18- 200828451 以上述方式，僅將薄膜電晶體基板之閘極電極形成部 GTA，以使用DMD之掃描來選擇性曝光，藉此即使於大型 液晶顯示面板中，亦可以短時間使必要部分成為親液性， 且可實現液晶顯示面板之成本大幅降低。 - [實施例4] 、 圖10及圖11係對本發明之液晶顯示面板之製造法的實施 例4加以說明之模式圖。於實施例4中，如圖1〇所示，首 f) 先，於薄膜電晶體基板SUB 1之閘極電極形成部GTA的周圍 及閘極佈線形成部GLA上以IJ來塗佈光觸媒。然後，以使 用數位微鏡裝置（DMD)之光掃描來賦予閘極電極形成部 GTA以親液性部FA。使包括閘極佈線形成部且除閘極電極 形成部GTA以外之部分成為疏液性ra狀態。 其後，如圖11所示，於閘極電極形成部GTA上以π來滴 下導電性油墨，將閘極電極GT之導電性油墨注入至親液 性部fa。繼而，於閘極佈線形成部GLA上以π直描來塗佈 t) 導電性油墨，進行焙燒，形成與閘極電極GT連接之閘極 佈線GL。再者，於閘極佈線形成部GLA上以IJ直描來塗佈 • 導電性油墨時，所塗佈之導電性油墨以其推進力而與閘極 電木GT連接。圖11係表示將閘極佈線gl之油墨膜自該圖 之右方直接描繪至左方而注入的過程。 於以該順序形成之情形時，閘極佈線GL之一部分亦成 為重疊於閘極電極GT之一部分上者。再者，亦可首先於 閘極佈線形成部GLA上以1;直描來塗佈導電性油墨，其後 於閘極電極形成部GTA上以Ijr來滴下導電性油墨，將閘極 123903.doc -19- 200828451 電極GT之導電性油墨注入至親液性部Fa。兮 1 邊h形時，閘 極電極GT之一部分成為重疊於閘極佈線GL之—部分上 者。 以上述方式，於本實施例中，亦為僅於薄膜電晶體基板 之閘極電極形成部GTA附近，以IJ來塗佈光觸媒，以使用 • DMD之掃描使閘極電極形成部GTA選擇性曝光者因此光 觸媒之塗佈操作時間及其塗佈量為少量即可，且即使於大 〇 龍晶顯示面板中，亦可以更短時間使必要部分成為親液 性’可實現液晶顯示面板之成本大幅降低。 再者，於上述實施例3、4中，說明為於光觸媒之塗佈中 使用IJ者，但本發明並非限定於此，亦可使用旋塗或絲網 印刷等方法。 圖12係對主動矩陣型液晶顯示裝置之等效電路加以說明 之圖。圖12(a)係液晶顯示面板整體之電路圖，圖i2(b)係 圖12(a)中之像素部PXL的放大圖。於圖12(^中，於顯示面 〇 板PNL中，多數像素部PXL排列成矩陣，各像素部PXL藉 由閘極佈線驅動電路GDR來選擇，根據來自資料佈線 稱為源佈線）驅動電路DDR之顯示資料信號而點亮。 即，與藉由閘極佈線驅動電路GDR來選擇的閘極佈線 • GL對應，將顯示資料（電壓）自資料佈線驅動電路1)0尺，通 過資料佈線DL而供給至液晶顯示面板pNL之像素部pxL中 的薄膜電晶體TFT。 如圖11(b)所示，構成像素部PXL之薄膜電晶體打丁，係 設置於閘極佈線GL與資料佈線DL之交又部。薄膜電晶體 123903.doc -20- 200828451 TFT之閘極電極GT連接於閘極佈線GL上，於薄膜電晶體 TFT之汲極電極或者源極電極（此刻為汲極電極）SD2上，連 接有資料佈線DL。 薄膜電晶體TFT之汲極電極或者源極電極（此刻為源極電 極）SD1連接於液晶（元件）LC之像素電極PX上。液晶lc位 於像素電極PX與共用電極CT之間，由供給至像素電極ρχ 之資料（電壓）來驅動。再者，用以暫時保持資料之辅助電 容Ca連接於汲極電極SD2與輔助電容佈線CL之間。 於實施例3、實施例4中，較理想的是使閘極電極〇丁之 電極寬度與閘極佈線GL之佈線寬度不同，且使兩者的膜 厚大致相專。具體而言，閘極電極GT之電極寬度比閘極 佈線GL之佈線寬度狹窄。
本發明之液晶顯示面板，成為上述圖13之閘極佈線GL 及閘極電極GT由上述本發明之實施例中任一者而形成 者。 “本發明不僅可應用於液晶顯示面板之薄膜電晶體的閘極 電極之進一步窄幅化，並且同樣亦可應用於其他佈線或電 極，或者形成為各構成層圖案、矽基板等之各種半導體裝 置的佈線或電極的進一步窄幅化。 【圖式簡單說明】 圖（a) (b)係對利用疏親液對比圖案及噴墨的閘極佈線 及閘極電極之形成加以說明之模式圖。 圖2(a)、(b)係對利用疏親液對比圖案及噴墨來形成電路 圖案之課題加以說明之模式圖。 123903.doc -21 - 200828451 之=:、，:)=利用疏親液對比圖案及噴墨的電路圖案 的=入極形成部成為單獨之親液性之情形時 π狀餸汪入狀悲加以說明之圖。 之=、=對利用疏親液對比圖索及喷墨的電路圖案 ''二：：佈線成為單獨之親液性之情形時的液想 /主入狀悲加以說明之圖。 () 之=二)係對利用疏親液對比圖案及噴墨的電路圖案 閑極佈線形成部及閉極電極形成祕 佈=電極成為親液性之情形時的液體注加 以言兄明之圖。 6⑷（b)'⑷係對本發明之液晶顯示面板之製造法的 只％例1加以說明之模式圖。 圖（）（b) (c)係對本發明之液晶顯示面板之製造法的 實施例2加以說明之模式圖。 圖8係對本發明之曰 從曰日顯不面板之製造法的實施例3加以 說明之模式圖。 圖9係對本發明之 a _ 饮曰曰顯示面板之製造法的實施例3加以 說明之圖8的後續模式圖。 圖10係對本發明夕 心液曰曰顯示面板之製造法的實施例4加 以說明之模式圖。 圖11係對本發明夕、六n <液晶顯示面板之製造法的實施例4加 以說明之圖10的後續模式圖。 圖 12(a)、（b)# 4 ’、對主動矩陣型液晶顯示裝置之等效電路 加以說明之圖。 123903.doc -22- 200828451 之 圖13係對典型的縱向電場型（所謂ΤΝ型）液晶顯示裝置 概略構成例加以說明之剖面模式圖。 圖l4(a)、（b)係對圖I3中所說明之液晶顯示面板的1像素 之構成及構成該像素之薄膜電晶體的構成加以說明之圖。 【主要元件符號說明】 F-IK 導電性油墨 FA 親液性部 GL 閘極佈線 GLA 閘極佈線形成部 GTA 閘極電極形成部 GT 閘極電極 GI 閘極絕緣膜 NZ 噴嘴 RA 疏液性部 SUB1 第1基板（薄膜電晶體基板） SUB2 第2基板（彩色濾光片基板） UW 基礎膜 Ο 123903.doc •23-

Claims (1)

  1. 200828451 十、申請專利範圍： !•-種液晶顯示面板之製造方法，其特徵在於：該液晶顯 不面板係於第1基板與第2基板之間夾持液晶，且於上述 第1絕緣基板側將具有薄膜電晶體之像素配置成矩陣 狀，其製造方法係以如下順序包括以下步驟： 疏親液性處理步驟，其係使形成上述薄膜電晶體之上 述第1基板的表面包括可以導電性油墨之直接描緣形成 之寬幅導電膜形成部分的大部分為疏液性，使無法以導 電性油墨之直接描繪形成之窄幅導電膜形成部分為親液 性； 窄幅導電部油墨膜形成步驟，其係於上述窄幅導電膜 形成部分滴下導電性油墨，於該窄幅導電膜形成部分注 入上述親液性之導電性油墨，獲得所需膜厚之用以形成 窄幅導電膜的油墨膜； 寬幅導電部油墨膜形成步驟，其係於上述寬幅導電膜 形成部分以直接描繪來塗佈導電性油墨，獲得所需膜厚 之用以形成寬幅導電膜的油墨膜；及 、油墨膜焙燒步驟，其係將上述窄幅導電部油墨膜及上 述寬幅導電部油墨膜焙燒，來製成上述窄幅導電膜及上 述寬幅導電膜。 2·如請求項丨之液晶顯示面板之製造方法，其中於利用上 述導電性油墨之直接描繪的上述寬幅導電部油墨膜形成 〔驟中，藉由使該導電性油墨之一部分重疊於上述窄幅 V電部油墨膜之一部分上，而於上述油墨膜焙燒步驟中 123903.doc 200828451 將上述窄幅導電膜與上述寬幅導電膜製成一體之導電性 膜0 3·如凊求項1之液晶顯示面板之製造方法，其中於利用上 述導電性油墨之直接描繪的上述寬幅導電部油墨膜形成 y驟中’藉由控制該導電性油墨之塗佈量，而製成與上 述油墨膜焙燒步驟中所得之上述窄幅導電膜膜厚相等的 導電性膜。 4·如請求項丨之液晶顯示面板之製造方法，其中於上述疏 親液性處理步驟中，於上述第丨基板之表面層使用具^ 疏液性且以光照射成為親液性的母材，對上述窄幅導電 膜形成部分照射光，使其成為親液性。 5·如請求項2之液晶顯示面板之製造方法，#中上述寬幅 導電膜係上述薄膜電晶體之閘極佈線，上述窄幅導電膜 係閘極電極。 6· -種液晶㈣面板之製造方法，其特徵在於：該液晶顯
    示面板係於第1基板與第2基板之間爽持液晶，且於上述 第1絕緣基板侧將具有薄臈電晶體之像素配置成矩陣 狀，其製造方法係以如下順序包括以下步驟： 疏親液性處理步驟，苴# #形 、你使形成上述薄膜電晶體之上 述第1基板的表面包括可以道 一、， 估了以蛤電性油墨之直接描繪形成 之寬幅導電膜形成部分的大邮八头 扪大邛分為疏液性，使無法以導 電性油墨之直接描緣形A w φ Μ 攻的乍恢導電膜形成部分為親液 性； 其係於上述寬幅導電膜 見幅導電部油墨膜形成步驟 123903.doc 200828451 形r分以直接描繪來塗佈導電性油墨 之用以形成寬幅導電臈的油墨膜； 厂予 二：導:部油墨膜形成步驟，其係於上述窄幅導電膜 刀滴下導電性油墨，於該窄幅導電膜形成部分注 *上述親液性之導電性油墨，獲得所需膜厚之用以形成 乍幅導電膜的油墨膜；及 土膜L k步驟’其係將上述窄幅導電部油墨膜及上 Cl 述寬幅導電部油墨膜培燒，來製成上述窄幅導電膜及上 述寬幅導電膜。 、 7.如請求項6之液晶顯示面板之製造方法，其中於利用上 述導電性油墨之直接描緣的上述寬幅導電部油墨膜形成 步驟中’藉由使該導電性油墨之一部分重疊於上述窄幅 ‘電邛油墨膜的一部分上，而於上述油墨膜焙燒步驟中 將上述寬巾§導電膜與上述窄幅導電膜製成—體之導電性 膜。 8·如請求項6之液晶顯示面板之製造方法，其中於利用上 述V電性油墨之直接描繪的上述寬幅導電部油墨膜形成 _ 步驟中，藉由控制該導電性油墨之滴下量，來製成與上 述油墨膜焙燒步驟中所得之上述窄幅導電膜膜厚相等的 • 導電性膜。 9·如請求項6之液晶顯示面板之製造方法，其中於上述疏 親液性處理步驟中，於上述第丨基板之表面層使用具有 疏液性且以光照射成為親液性的母材，對上述窄幅導電 膜形成部分照射光，使其成為親液性。 123903.doc 200828451 10·如請求項7之液晶顯示面板之製造方法，其中上述寬幅 導電膜係上述薄膜電晶體之閘極佈線，上述窄幅導電膜 係閘極電極。 11 · 一種液晶顯示面板，其特徵在於包括··第1基板，其形 成有具備自複數個閘極佈線延伸至主動層區域之閘極電 極的薄膜電晶體；第2基板，其形成有彩色濾光片層及 對向電極；及液晶層，其被封入形成於上述第丨基板之 内面最上層的第1配向膜與形成於上述第2基板之最上層 的第2配向膜之間； 上述閘極佈線係於被給與上述第丨基板内面的疏液性 部，以導電性油墨之直接描繪圖案化而得者； 上述閘極電極係於親液性部以導電性油墨之滴下進行 圖案化而得者，該親液性部係被給與於上述第丨基板之 内面和上述閘極佈線連結一端而向上述主動層區域延伸 之長方形圖案；
    上述閘極電極之電極寬度與上述閘極佈線之佈線寬度 不同，兩者的膜厚大致相等。 12·如睛求之液晶顯示面板，其中於上述閘極電極與上 述閘極佈線之連結部，上述閘極電極端部的一部分位於 上述閘極佈線端部的下側。 13. 14. 如"月求項11之液晶顯示面板’其中於上述閘極電極與上 述閘極佈線之連結部，上述閘極佈線端部的一部分2於 上述閘極電極端部的下側。 如明求項11之液晶顯示面板’其中上 工逆弟1基板之内面 123903.doc 200828451 係上述閘極佈線部之區域，上述疏液性部被形成為比上 述閘極電極寬之區域的疏液區域包圍。 1 5 ·如睛求項14之液晶顯示面板，其中於上述閘極電極與 述閘極佈線之連結部，上述閘極電極端邻的_ 、 σ丨的一。卩分位於 上述閘極佈線端部的下側。 16·如請求項14之液晶顯示面板，其中於卜冰扣， 上逃閘極電極盘上 述閘極佈線之連結部，上述閘極佈線姓Α 一 鳊邻的一部分位於 Ο 上述閘極電極端部的下側。 ' 123903.doc
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