TW200811316A - Device and method for electrolytic coating - Google Patents

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200811316 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 ^㈣關於-種電解鍍覆至少_料電基板或一非導 電基板上之結構化或全表面導電表面之裝置，#包括至少 個冷槽、一個陽極及一個陰極’該浴槽包含一含 二金屬㈣解質溶液’金屬離子自該電解質溶液沈積 基板之*電表面上從而形成—金屬層。 【先前技術】 本發明另關於一種用於電解鍍覆至少-個基板之方法， 該方法在-«本發明料u巾進行。 電解鑛覆方法可用於(例如)_電基板或一非導電基

板上之結構化或全表面導電I ，千 表面。舉例而言，該等方法可 導體軌跡，太陽電池上之導涛金购上之 ¥體軌跡，且可電解鍍覆諸如二 維物體(例如，成形塑膠部件)等其他產品。 的ΓΒΠ：3 42 512係揭示—種在待處理條狀物體之表面上 目互n緣之導電結構進行電解處理之裝置及方法。此 2待處理之物體係在—輸送路徑上且沿_輸送方向連續 接^运'，f處理之物體與—佈置於電解區域外之接觸電極 接觸，以便將一負電壓施加至該 域中’來自處理液體之全屬料2構。在該電解區 :以形成-金屬層。由於金屬僅沈積於導電結構二： 2㈣電極接觸），故僅能夠錄覆如位於該電解區域内 且同，接觸電解區域外側之待鐘覆導電結構般大小之尺 120l0s.doc 200811316 寸。 於肌A 102 34 705揭示了 ―種其接觸單元佈置 二你“槽内之鍍鋅設備。在此闡述之鍍鋅設備適用於 =後佈置於-條形支撐物上且經形成已具有導電性之社 的=情形Γ該接觸係藉由與該等導電形成結構接觸 …末進仃。由於該等輥位於該電解質浴槽中 槽之：屬同樣可沈積於其上。該等輕係由各節: 構接觸# =便月b再次移除金屬，該等節段只要與待處理結 冓=糸陰極連接’而當_與該導電結 在：觸時係陽極連接。然而，此佈置之—缺點為對子 同樣+ 短⑽地轭加電壓，而對於 的 看去長度較長之結構則會施加_好 的時間。因此，在長結構上 ^達很長 短結構上的層。 層θ顯者地大於沈積於 先别技術中習知方法之一缺點為該等方法 極短之結構-尤其沿基：用末鑛- 缺點係需要諸多串列連接6二白看去極短之結構。另- 以致需要^ Ε t以產生足夠長之接觸時間， 双而要一極長之裝置。 【發明内容】 本發明之一目的係 m 8# π Ϊ ' ，、種即使對於短結構亦可確保接 觸¥間足夠長之裝置- 』隹保接 金屬層。 /、’、"為紐結構提供一足夠厚之 该目的係藉由一電解铲 . -非導電基板上之結構：戈：：個導縣 -王表面導電表面之裝置來達 120105.doc 200811316 成’其包括至少一個叹揭、— -含有至少—絲θ、一 ％極及-陰極’該浴槽包含 心屬鹽之電解質溶液。將金屬離子自竽電 解質溶液沈積於該基板 韓子自及電 此，使w 夺屯录面上以形成-金屬層。為 穿過=二Γ極與該基板表面接觸而同時輸送基板 曰x據本發明，該陰極包括至少一個且 個導電區段之停帶，jA 固具有至少一 該等軸植能右導電部分經引導圍繞兩可旋轉軸。 亥專軸組恶有1配於各自基 該等軸設計成圓柱形，且可（例如广置右地， 條帶運轉於其中之凹样j如干該至少—個 一者較佳地餘極該條帶，該等轴之至少 面傳導至該停；：：軸經組態以使電流自軸之表 中之凹样日士 ^當该等轴設置有至少一個條帶運轉於其 亦可僅^等可同時經由轴及條帶來接觸該基板。然而， 、-緣材料製成，以防止該基 由 觸。該等軸之““ H，二由㈣軸形成電接 使用任： 可經由(例如)滑環來發生，但亦可 -他適合之能將電流傳導至旋轉軸之裝置。 由於該陰極包括至少一個且 送方向看去# 、、°冓之基板（尤其自基板之輸 層。由於根據本發明將陰 鍍 電姓槿玄叮u 4 柽構k成一條帶，故即使短的導 長術之習知方法中的情形接觸陰極達更 接鍍覆組態為一條帶之陰極倚靠在其上以便進行 12〇]〇5.d〇〇 200811316 平乂 Ί 土吧，孩怖 怖置至少兩個條帶 弟一^帶之後的第二條帶可接觸該區域（當與該第一條帶 接觸日守金屬沈積於該區域上）内之導電結構。為獲得鍛層 之較大厚度，較佳地將兩個以上條帶串列連接在一起。曰 在貫施例中，偏置佈置之相應連續條帶係經由至少一 個^用軸來引導。當該等條帶各自經由兩個 於此種情形下，自 時亦伤笙 乃n有去，弟一條帶之後軸同 ，方係弟二條帶之前^此佈置之優 :置可浴槽保持較短。除可經由至少-個共用轴來 之相應連績條帶外，還可經由 u 等遠蜻欲嬰 目的獨立轴來引導該 等軸進行組態以使其可自基板上:升有 即，只要該等軸與該等條帶係陰極地連接 ::於該等帶及轴上。為再次移除，需:::： 接该等轴與條帶。當將該等條帶各自：極地連 時，則可自基板抬升各個條帶及陽置於軸上 而同時位於抬升條帶之前及之後的帶：n'=地連接， 板及位於該基板上之導可同時地接觸該基 該條帶及軸移除沈：心續可在連續操作期間自 僅提供-組偏置串二m法抬升該等軸時’或當 連續條帶係經由至少：w ^'(其令偏置佈置之相應 暫停期間移除沈㈣mz來以），㈣可於生產 在進-步實施例中，言!二Γΐ屬。 該網狀結構之條可具有一網狀結構。 係·錢帶僅分別覆蓋該基板上待锻覆 i20l05.doc -J0- 200811316 之導電結構之枝 °σ或。鍍後發生於該網狀結構的孔内。為 了即使在該等條帶# ” °又计成一網狀結構之情形下，亦可鍍覆 5亥網狀結構倚靠^:甘 〆 /、上之區域内之導電結構，有利的做法 係分別將至少兩個條盤 丄 仏v佈置成串列偏置亦可將設計為網 狀t構之兩個條帶直技 1接串列連接，則該等網路結構可各自 具有不同之網格寬度及/或不同網格形狀’以便可鍍覆前

網狀結構倚靠於1上之s l 復月J ，、上之£域。另外，亦可能提供一組態為 網狀結構之條帶，# w ^ 4心、▼具有不同網格寬度及/或不同網 才口幵> 狀之區域。在本發 月之上下文中，應將其内形成有孔 之條π亦理解為一網狀結構。 =為同狀、、、σ構形式之條帶的優點係、該網狀結構可在整 •車見度上延伸。無需將複數個設計為網狀結構之狹窄條 帶佈置成彼此鄰近。 八 為了亦可在该基板上μ覆如印刷電路板製&中所要求之 =月Μ、之導電結構（亦即，甚至小於5〇〇叫之結構），當 σ π卫非成網絡結構形式時，可將各個條帶之寬度 擇為儘量地窄。在此情形下，該等條帶之寬度相依於i造 可能性。若可將條帶形成得越窄’則可鐘覆之導電結構便 越小。小間距的狹窄條帶之優點係：極小結構之接觸概率 因而大於具有少數寬條帶之概率。由於條帶之接觸表面合 因覆盍條帶正下方之結構而阻止沈積，故狹窄條帶可最小 化5亥覆盍作用係有利。同時，由於 丨、旦才自於大里較小表面之接觸比 ^九條帶之少量表面之接觸多，故待金屬化之表面電解 質生產量更均勻。 120105. doc 200811316

彼此鄰近佈置之條帶齡I 仏苹數里相依於該基板之寬度。當待铲 =靖交寬時’相應地必須佈置更多的彼此鄰彻 二ί“ ，各帶間分別保持-自由間隙，於該間 Γ孟屬可沈積於該導電基板或基板之結構化或全表面導 2分別串列偏置佈置至少兩個條帶時，彼此鄰

近佈置之兩個條帶間之間隙I Μ之間隙車乂佳地與後面偏置佈置之條帶 見度相同。由於在條帶組態成-網狀結構形式之情形下， 鏟覆會在該網狀結構之各孔所曝露之基板位置發生，故在 此亚非絕對需要以彼此鄰近之形式佈置複數個狹窄停帶。 2此情訂’❹―財_整個寬度上㈣之條帶可足 夠0 在進-步實施例中，該至少一個條帶交替 =:電區段。在此情形下，可另外I繞至少一= 賴軸地引導該條帶，但應注意該等導電區段之長度小於 陰極連接軸及一鄰近陽極連接軸間之距離。以此方 式I與待鐘覆基板接觸之條帶區域係陰極地連接’而不與 5亥土板接觸之條帶區域係陽極地連接。此連接之優點係. 移除在陰極連接斯間沈積:該= —^屬。為移除陰極連接時沈積於條帶上之所有金屬， A#乂么地長於或至少等長於該陰極連接區 域◊此可以下兩方面炎 大於陰極連接轴之直:達:另：，該陽極連接軸具有 “而另H可藉由使用等長或 Γ、從之陽極連接軸來設置至少與陰極連接細樣多之 〶極連接轴，陰極連接軸間距較佳地與陽極連接軸間距相 120J05.doc -12- 200811316 问大小。 二在條帶與基板之導電表面(其中導電表面上安置有導 :結構)接觸時達成條帶無間斷之陰極連接，該等導Ϊ: 二長於:等於兩:相鄰陰極連接軸之間的 、、 / V電結構與條帶陰極連接區段之第一次 接觸開始，該基板導雷 反¥電結構上發生鍍覆，直至條帶之陰極 連接區段與基板上之導電結構接觸為止。 …由於條帶具有交替之導電及非導電區段，舉例而言，故 可使用其中各鏈節（例如） 據該等導電區段所需之長Γ;二之鍵接條帶。根 電鏈節。為產二:=買地安裝對應數量之導 品又可將至少一個非導電鏈 插入兩個導電鏈接之間。除作為一鏈接鏈條之結構外’選 I提供至少—個非導電撓性條帶作為支撐物，其包括以預 疋距㈣此絕緣裝配之導電區段。此處’適合之導電材料 ^例Γ)纏繞於該切物上之導線或m其他撓性或 ㈣u ’_性或剛性箔片（例如）可提供成網狀結構之 形式或具有.若干連接至該支撐物的孔。舉例而言，可使用 黏結劑進行至該支撐物之連接。除每條帶具有-單個支^ 之實㈣外’亦可（例如）佈置複數個彼此鄰近且由^ 電區段連接在4之支撐。此情形下，較佳地在各個支= 間形成H另外’該#支#亦可包含孔或 形式之結構。 狀 當該條帶具有一網狀結構(例如，其中-導電網狀結構 連接至-非導電網狀結構以形成該料電部區段及非導電 I20105.doc 200811316 區段）時，可（例如）借助一引導穿過該網狀結構之各個網格 之導線將網狀結構形式之導電區段連接至一非導電部分之 網格。 除此處所述之實施例外，該條帶還可具有任一其他藉由 其可父替產生導電及非導電區段之結構。

在進-步實施例巾，電解鍍覆裝置進一步包括一可旋轉 基板之裝置。當意欲藉由旋轉對準沿基板輸送方向看去一 開‘係見並短之導電結構以便其在旋轉後沿欲輸送方向看 去係狹窄並長時，該可旋轉基板之裝置之轴線垂直於待鐘 覆基板表面佈置。該旋轉可補償由於在該導電結構與陰極 連接條帶第—次接觸時已發生鐘覆之事實而引起之不同鍍 為在基板之複數個侧面上進行鍍覆，較佳地可在旋轉基 板之裝置中旋轉基板以便在旋轉後，待鐘覆之表面首先指 向鍍覆之方向。 為同時鍍後基板之上側及下側，在進—步實施例中分別 佈置至少兩個條帶以引導待鑛覆之基板穿過其間，且該等 條帶分別接觸基板之上側及下側。 為鑛覆剛性結構’電解鐘覆裝置之結構較佳地係如此以 «板之輸送平面用作一鏡像平面。當意欲鐘覆長度超過 才曰長度的泊片（其被稱為環落）時，首先將其自-捲展 二，、引：穿過該電解鍍覆裝置且然後再次捲起，亦可(例 、字$或以圍繞複數個根據本發明之電解鐘覆裝置之 婉虫延形式引導古女I 、 〜片牙過浴槽，然後可（例如）彼此疊·放 120l05.doc -14- 200811316 或鄰近地佈置該等電解鑛覆裝置。可分別將該等裝置以任 -合意之角度對準在該浴槽中。當彼此疊放地佈置該等泰 解鍵覆裝置時，亦可藉由以下步驟來同時鍍覆落片之上: 及下側：分別引導fl片自接觸笛片上側及下側之兩個裝置 之間穿過，且然後當該等落片穿過後使其脫離其中一個 置以便可引導其自該裝置與另一佈置於該裝置上方或下方、 之裝置之間穿過。 藉由根據本發明之裝置及根據本發明之方法，可進一牛 鍵覆基板内所包含之通孔，例如，孔或槽或甚至諸如盲:L 的凹陷。在淺深度通孔之情形下，由於沈積在上側及下側 之金屬層會在該孔中—同成長，故鐘覆可得以進行。在過 深而金屬層無法生長在—起的孔中，至少部分地提供—根 據本發明方法鑛覆之導電孔壁。以此方式，然後亦可鑛覆 :孔之整個壁。若並非所有孔壁均導電，則此處可藉由金 層同生長在來再次鍍覆該整個孔壁。 ❿ 為了亦可在電錢«輯作期間再切除沈積於該等 陰，連接軸及/或條帶上之金屬，在—較佳之實施例中既 可％極地連接該等軸亦可陰極連接該等軸，且可將 降至該基板上或自該基板上抬升。當自該基板抬升該等轴 而:與基板接觸時，可陽極連接該等軸。當陽極連接該等 2，可再次自其移除沈積於其上之金屬。同時，繞該轴 轉之至少—個條帶亦係陽極連接，以便沈積於其 屬可再次自其移除。經由該至/丨、^ ^ 至 係陰極連接。—個條帶與基板接觸的轴 120105.doc -15 - 200811316 中施!1中，該等轴亦可包含複數個導電區域，其 带 者係陰極連接。在此情 接使：條帶同樣在該軸之陰極連接區域内陰極連 ㈣電基板或該基板之結構化或全表面導電表面 -欠同時可自該轴及/或該至少一個條帶再 τ , ^ ^ ^ * μ之非合思材料。在此情形 :等;需要具有彼此電絕緣之區段，該等區段佈置於 陽二=該條帶之導電區域不會同時接觸在該軸上之 %極_域及陰極連接區域，以避免短路。 除藉由使轴極性反轉進行清 刊、 里外，亦可存在其他清理變 1，（例如）化*學或機械清理。 5亥至少一個條帶之導電區段盥 ^ , 一该至 >'一個條帶接觸之 軸表面或軸區域較佳地係由一 ^ ^ w ^ ¥電材枓製成，該導電材料 於裂置#作期間不進入電 液中。用於製造條帶導電 口口又及契該至少一條帶接觸之軸 係（例如）金屬、石墨、諸如聚夷、ι f轴區域之適合材料 瞅、〃入省如聚基吩之導電聚合物或金屬/塑. 腹5材料。不_及/或鈦係較佳的材料。 對於該等軸不同之還原，一 方面，該等陽極連接軸可用 作)¼極，而另一方面，可在浴柃 Μ ^ ^ ^ ^ 9中棱七、頜外的1%極。當僅 =、陰極連接軸及盤時，則需要在浴槽中佈置額外之陽 ::κ地將5亥寺陽極盡可能地靠近待鍍覆結構佈 / 而言’該等陽極可分別佈置於兩個陰極連接軸之 Γ。一方面，任何熟習此項技術者所習知用於不可溶解陽 極之材料皆適合作為陽極材料。舉例而言，不銹鋼、石 120105.doc •16- 200811316

墨、鉑、鈦或金屬/塑膠複合材料在此係較佳。另— 面，亦可提供可溶解陽極。然後，該等陽極較佳地包含^ 解沈積至該等導電結構之金屬。然後，該等陽極可採壬 一為熟習此項技術者所f知之合意形狀。舉例而言，可壬 用扁平棒作為陽極，該等扁平棒在裝置操作期間位於2 板表面最小的距離處，且其可沿該等軸的軸線方向自該^ 置收回。亦可使用扁平金屬作為陽極，該扁平金屬可在^ 的各位移之間豎直向上或向下折疊9〇。。$外—種可能： 係提供彈性導線作為陽極，例如，螺旋導線，其可自該裝 置中向上或向下抽出或自纏繞/展開裝置插入該裝置中。 該電解鑛覆裝置可用於任何傳統之金屬鑛覆。在此情形 下用於鍍覆之電解質溶液之成分相依於該基板上之導電 結構所意欲鑛覆之金屬。藉由電解鑛覆沈積至導電表面之 習用金屬係(舉例而言)金、鎳、免、始、銀、錫、銅或 鉻。 热白此項技術者可自（例如）Wer㈣川吨GUSU mi%

Handbuch der ? Leiterplattentechnik [handbook of printed —UU teChn〇1〇gy]，Eugen G· Leuze Verlag，2003，第 4捲， 罘332至352頁之内容知曉可用於導電結構電解鍍覆之適合 電解質溶液。 刀2 =解鍍覆該基板上之導電結構，首先將基板傳送至電 解貝’合液/谷槽。然後，將該基板輸送穿過該浴槽，該陰極 ^個條帶倚靠在該基板上且因此接觸該等導電結 構忒條▼較佳地以一對應於引導基板穿過浴槽之速度之 120105.doc -17- 200811316 循環速度來運動。可使 知之輸送裝置，將基·& i =為熟習此項技術者所習 該鐘覆裝置以使該基浴槽。然而’亦可佈置 上，且由該條帶之運動輪個=連接之條帶 之悟形及· 牙❿4，合槽。特定而言，右剎 ^ ·無論何時擬鍍覆該基 鍍覆褒置之至少_個”上側及下側，皆將該 穿過浴槽。在此w、 輸运裝置以將該基板輪送 由另-穿置下’該基板倚靠在一個裝置上而同時 等帶之運基板所倚靠之裝置上。然後，藉由該 平t運動將该基板輸送穿過該裝置。 除該等條帶外，舉例而+， 佳地由-電絕緣材料电成)；τ7 外之輸物較 少一個條帶與至少-個額外輸;衫過該浴槽。至 送==數$相㈣㈣覆基板之大小。必須選擇該等輸 用^日距以使至少—個輸送輥始終與基板接觸，除非使 =進行輸送。為電解鐘覆環繞之基板，亦可使用較佳 :;冷槽外側之纏繞及展開單元來進行輸送。 者當該等轴設置有至少一個條帶在其中運轉之凹槽時，則 田驅動㈣轴及條帶時，其便可輸送該基板。 為了-方面使基板不會自電解鑛覆裝置抬升及/或另— 。®自*7 t Μ住該裝置’因而可同時確保基板與陰極連接 品3、良好接觸，幸父佳地可為單側式鍍覆設置至少一個將 土板^[纟陰極連接區域上之壓力輕或壓力條帶。 /、可藉由忒等軸（條帶圍繞軸運轉）之重量將條帶按壓在 基板上來達成陰極連接條帶與待鍍覆基板之間的良好接觸 I20105.doc -18- 200811316 帶。f可藉由為該等轴安裝彈簧將條帶按塵在基板上來產 生頭外之施加壓力。 較佳地，在浴槽外側驅動該等軸。於一較佳實施例中， 驅動所有的站 妙、 __ 然而，亦可僅驅動其中某些軸。當提供一 獨立於陰極之# UD 士 輸I旋置％，可藉由與其接觸之基板來驅動 呑亥專條帶，而I μ恶 、 不叹置任何可自身驅動的軸（條帶繞該轴運 轉）:Μ ^ ’亦可藉由至少—個繞其運轉之軸額外地驅動 。亥條T D 4 了使所有條帶達成-致之速度，該等轴較佳地 經由「共用驅動單元來驅動。較佳地，該驅動單元係一電 …達軚铨地，该等軸經由一鏈條或皮帶傳動連接至該 焉區重^导> 凡 〇 铁而 _χ _ …而，亦可分別為該等軸提供彼此嚙合之齒 輪,，經由該等齒輪可驅動該等軸。除此處所述之可能性 亦可使用任一其他為熟習此項技術者所習知用於驅動 轴之適合驅動裝置。 在一較佳實施例中，經由該至少一個條帶繞其運轉之軸 ^ /個條▼供應電壓。在此情形下，該等軸可在全 t 面H導電°然而，亦可藉由一絕緣材料 來I造該等轴，且接批“ 且拎仏（例如）佈置於各軸之間的接觸構 ^該等接觸構件可（例如）係與該條帶導電區段接觸之電 席然而，較佳地經由該等轴來實“ :，軸的電壓供應較佳地發生於浴槽外側。用於將電流傳 合構件係(例如一^ =:基板上接觸表面之長度相同之條帶，亦可 僅使某些軸導電而剩餘的軸電絕緣。在該情形下，亦可使 120I05.doc -19- 200811316 二：陽：連接及一個轴陰極連接’而使其他軸絕緣。 ^ 須注意’錄極連接轴與㈣極連接車由之 間的距離大於該條帶導電接觸區域之長度。 之 為使陰極連接軸及（視情況而定）條帶去金屬化 t積於其上之金屬，可在生產暫停期間陽極連接該等^ 條帶，或將其自該基板抬升且然後陽極連接。 二 屬化時’有必要使軸與待·結構之間不發生田接觸。金 之:構將!!樣被陽極連接’且已沈積於其上: 陽極物個條帶係， 建而成時，在—較佳方法之變型中，自二刀，地構 連接軸以進行去㈣化而㈣將該陽極連接 == Π:該轴轉換的同時，先前陰極連接的轴成二 :轴=自其移除沈積於其上之材料，而先前陽極連接 構=為陰極連接，因此可在該基板上進—步鍵覆 :^該陰極連接之條帶區段並未實際接觸任何待鑛覆I 舞’較佳地進行該種轴轉換。然而，亦亀^ =絕緣的輛作為-張緊轴’因此，對於轴轉換而言，首 上，:斤有軸陰極連接，然後將先前陽極連接的軸降至基板 =該基板抬升先前陰極連接的軸，且將其 後便 先:★接的轴而隨後成為陽極連接’且相對於基板抬升 ^轉接的㈣隨後成為陰輯接。t提仙外的絕 緣輸痛緣緊㈣，似降τ與抬㈣及極 120105.doc -20- 200811316 時發生。 除反轉該等軸之極性以移除沈積於其上之金屬外，豹 在陰極連接軸上提供可減少軸上金屬沈積之遮罩層。舉例 而該遮罩層係該等軸之非導電覆蓋層，其覆蓋該等轴 之與電解質液接觸之區域，該覆蓋層位於距軸表面極小之 Γ離處’且該等軸僅在接觸基板及/或條帶之位置處成曝 蕗狀態。 2進-步方法變型中’在通過電解鑛覆裝置後，旋轉待 、又復之基板達-就角度。旋轉後，基板第二次通過該裝 f ’或通過1二對應裝置。基板所旋轉之角度較佳地係 竭1〇。至m。之範圍，更佳地介於自5〇。至14〇。之範 =’而言介於自8〇。至1()()。之範圍，且最佳地基板所旋 轉：角度實質上係9。。。實質上為90。係意指該基板所旋轉 ^角度自，。相差不超過5。。可料於旋轉基板之裝置佈 置於浴槽内側或外側。為再次鑛覆基板之相同側以（例如 達成層厚度更大之金屬層’該旋轉轴線可垂直於待鐘覆之 欲鑛覆基板之另-表㈣，應佈置該旋轉轴線以 便在疑轉後，該基板定位成接下來 該陰極之方向。鐘覆之表面指向 根據本發明之方法沈積於該導:電結構上之金屬層層尸产 相依於接觸剌及裝置m電“度，軸觸時^ ^ 基板通過裝置之速度及串敎位之條帶的㈣.來給定^ 例而言，可藉由將複數個根據本發明之裝置串列地連: 至少一個浴槽中來達成較長之接觸時間。 在 120105.doc 200811316 ::實施例中，複數個根據本發明之裝置分別 槽内。因此，每-浴槽中可容納不同之電解P 液以在該等導電結構 解貝洛 在裝飾應甩中或對於f ^ =不同之金屬°此（例如） 擇生產量速度及具有有利。此處’可藉由選 應層的厚度。 51解請液之裝置數量來調節相 無淪是意欲在一非導電基板上一 互絕緣之導電紝a比 疋在一王表面上鍍覆相 的導電表面。較佳地，將 i月之4置鐘覆所有 之導電結構，例如，如傳2用於鑛覆一非導電支撐上 傳、、先上用於印刷電路於 ，聚合物，材料、玻璃1、紡。以二 生產之電解鍍覆導電姓 此方式 電社槿可Mb )導體執跡。待鐘覆之導 電、4可由（例如）印刷於線路板上之導電 = 電結構較佳地包含任何幾形 >成遠蛤 適合矩陣之微粒，或實質上=電材料製造之呈- 電材料係（例如）碳或石黑A属V電材料組成。適合之導 战戈墨、金屬(較佳地係鋁、鐵、八 鎳、銀及/或合金或包含至少該等金屬盆中之一的入至、 合物)、導電金屬錯合物 有人 -屬混 物。 方恢禝口物或導電聚合 百先可能需要_預處理以使該等結構 此可涉及諸如適合清理之仆爯m 牛例而言， ▲ 機械預處n此方式， 舉例而，，將破壞電解鍍覆之氧化層搓前万式 而’可藉由任何其他為熟習此項技術者所習：之=將然 鍍覆之導電結構施加至該等印刷電路… 120105.doc -22- 200811316 板可（例如）安裝於諸如以下產品上··電腦、電話、電視、 用於汽車之電部件、鍵盤、無線電、視訊、CD、CD-ROM 及DVD播放機、遊戲控制臺、量測及控制設備、感測器、 廚房電設備、電子玩具等。 亦可藉由根據本發明之裝置來鍍覆撓性電路支撐物上之 導電結構。該等撓性電路支撐物（例如）係其上印刷導電結 構，聚合物薄膜，例如，聚亞醯胺薄膜、册薄膜或聚烯 烴薄膜等。根據本發明之裝置及根據本發明之方法進一步 適於製造RFID天線、轉發機天線、或其他形式之天線、晶 圓卡模組、扁平電纜、座椅加熱器、箱片 伽卿員示營幕導體軌跡等；或適於製造任=之也 電解鍍覆產品’例如，薄金屬落片、在—側或兩側上覆蓋 =-界定層厚度金屬之聚合物支樓、3D模製互連裝置 還適於製造產品上之用於(例如)遮罩電磁輻射、導敎或包 裝之裝飾或功能表面。還可進―步在—積體電子經件上製 造接觸位點或接觸墊或互連、 在離開電解鍍覆裝置後，可根據熟習此項技術者習知之 :有步驟對基板做進-步處理。舉例而言，可藉由清洗自 基板移除剩餘之電解殘留物且/或可將基板乾燥。 根據本發明之用於電解鍍覆導電基板或非^電基核上 電結構之裝置可根據詩配練何為_柄^ 習 知之辅助裝置。該等輔助裝置（例如）係幫、声时 n 口 雨 過濾器、化 子為⑽之供應工具、纏繞及展開工具等。 可使用熟習此項技術者所習知之所有 汀有處理電解質溶液之 120105.doc -23- 200811316 方法來縮短維修間隔。舉例而言，該等處理方法亦係電解 質溶液自我再生之系統。

根據本發明之裝置亦可使用（例如）自Werner Jillek，GustI

Keller, Handbuch der Leiterplattentechnik [handbook of printed circuit technology], Eugen G. Leuze Verlag, 2003； 4, pages 192, 26〇, 349, 351，352, 35种習知之脈衝 方法來運作。 根據本發明裝置及根據本發明方法之優點係：相比於使 用先前技術所習如之輥的情形，該至少一個條帶可提供使 用更大之接觸面積及因而每單位面積更長之接觸時間。因 此，可在一較短距離内達成合意之導電結構層厚度，因此 該等設備亦可製作得更短或可高生產量運作，從而達成更 低之運作成本。另—實質性優點係：相比較Μ前技術 習知^昆系統可達成之效果，現在可快速地、更全面控制 地且最重要地再生能力更高地及層厚度均勻地製造㈤如） 印刷電路板製造中需要之彼等極短結構。 上文已借助®示對本發料行了哥細的轉）該等圖示 分別以實例之方式僅顯示一個可能之實施例。除於所述之 實施例外’本發明自錢可進行於另外之實施财或於此 専實施例之组合中。 【實施方式】 圖1顯示一根據本發明設計之陰極的平面圖，其中複數 個條帶係串列偏置佈置。 —陰極1包括複數個經由兩個軸3引導之條帶2。在此情 120105.doc -24- 200811316 形下，彼此鄰近的帶2經佈置以致其間形成一間隙4。在此 情形下，間隙4之寬度較隹地大於或等於一條帶2之寬度。 以此方式，可引導偏置地佈置於一列條帶2之後的條帶2穿 過忒間隙。於圖1所不之實施例中，在此情形下，一個軸3

係分別用作-第-列條帶2之後軸而调第二列條帶2之前 軸3 H方式’肖_其中圍繞兩個分離軸來引導該偏置 佈置於-列後方之料之佈置相，可有效地制轴及空 間。於圖1所示之實施例中，只要欲鑛覆之該等導電結構 由一條帶2接觸，則條帶2間之間隙4内便會發生鐘覆。 圖2顯示圖1中佈置之側視圖。 於圖2所示之側視圖中可見，條帶2分別經 ::。在此情形下，該等軸係連續地串列 應八：：：上侧5或以下侧6接觸陰極1。在此情形下， 心刀另J注思，待錢覆 違^ 娃 之丨、 V電…構應面朝條帶2。當沿陰才 Η 5引導待鍍覆之基板時，& 巾张——f k極1可同時用作一如a 不之輸迗裝置。當沿下侧6引導待| 供一π等得鍍覆之基板時， ，、付加4置，可使用該裝置將該基板貼靠地 册 以使陰極1之下側6與待鍍覆之基板之間 接、’ 佳地，該，罢及（間形成一電接觸。」 輸送輪。ι 輸送裝置。該等|置係（例如）傳送帶, 於圖1及2所+々^ 運轉之至少晴’為電接觸㈣^ 轴增極連接。㈣別地陰極連接。另外，亦可使每- 為達成電解錢覆，除陰極】之外，還… ^〇I05.do, 卜還必須在浴槽中提供 -25- 200811316 陽極31。可將陰極31佈置在圖2所示的㈣之 佈置於帶2上方或下方。 1或可將其 圖3之侧視圖及圖4之平面圖 .士 置，該裝置具有倚靠於轴3上之條帶二 而圍繞兩個#由3。由於軸為”…刀別經引導 倚靠在該等輕上。此處可 生。與此對照，圖5代表_^ 藉由條帶而發 只轭例之側視圖而圖6代表苴平 面圖，於該實施例中條帶 口代表/、千 地’凹之寬度對應於條 對應於條帶2之厚度。藉由將停帶2固二 〇之洙度 备饮册。士土 肘“ T2固持在凹槽30中，可避 二上之軸向位移。在其令凹槽 對於 =此倚靠在該基板 口此，可經由軸3發生額外的接觸。 的進 視«示根據本發明之電解錄覆裝 步的貫施例。 ，圖7所示之實施例中’使用-根據本發明設計之裝3 :一 8上之導電結構7。該裝…^ =引導圍繞複數個你轴3佈置成—上部列9及吾 下部列1〇之輛係陰極連接，而上部列9之輛係· 連接。下部列1 〇之陰極 • 連接軸的電壓經由條帶2傳_ 導電結構7同樣帶負電荷以沈積電解質潘 中谷』有基板8及該褒置)的金屬離子從而形成-金屬 層0由於下部列1 〇之砉由q芬 朴 軸3及下部列10區域中之條帶2帶負、 何，故金屬離子同樣會沈積於其上。為了可再次移除制 120l05.doc -26 ‘ 200811316 Ύ上之i屬’可陽極地連接上部列9。藉此，使條帶2 在上部列9之區域中帶正電荷，且金屬離子會返回至該電 解質溶液中。電解質溶液浴槽之液位由參考編號偏^ 且由一實線表示。 除上部列9之陽極連接㈣，可將陽㈣佈置於此處所 不之陰極之間。陽油（例如）設計為扁平棒。 ：帶2中不存在短路’可如圖δ所示來構建圖7所示 ^ 1之條▼ 2。此處，條帶2包括導電區段12及非導電 (即絕緣區段13)。較佳地，一導電區段U之長度L大 ^或^於兩個陰極連接轴3之間的距離h。然而，為避免短

， 導電區段12之長度L必須小於自产托々A 陽極連接㈣之㈣d。 ^自陰極連㈣至相鄰 上基^之厂輸送方向以箭頭14表示。為將基㈣在條帶2 上可將壓力輥21佈置於美杯s τ ^ ^ 力㈣靖= 絲帥導穿㈣ 方面，可错由固定地安裝壓力輥 =以彈菁方式安裝輛3(條帶2繞轴3運轉）並將其按基 可固定地安裝軸3且"動方式來安 輪1且在所需之塵力下抵靠基板8移動。若咅Η 上部列9及下部列1〇之軸3能夠轉換其位置,Μ:人i ,Γ使用一條帶來替代圖7所示之各屋力㈣^ 繞軸運轉且（例如)槎衰 省條π 電。 建成如圖2所示之陰極那樣，但不導 120] 05.doc -27- 200811316 在進-步實施例中，可將另—電解鑛覆裝置佈置在基板 δ下方來取代壓力輥21。在此情 土 «之上側及傷。 ’，、、射同時鐘覆基 圖9顯示另一實施例中之根據本發明設計之裝置的 圓0 於圖9所示之實施例中’陽極連 不列9的軸相對於 部列1G的軸偏置钸置°分別對兩個陽極連接 軸間或兩個陰極連接軸間之距離}1進行選擇，以便可將一 %極連接軸引導穿過兩個相鄰陰極連接轴之間，而將一声 ㈣兩個陽極連接軸之間。圖9令之箭㈣表二 。升了部列之軸且可降下上部列9之軸。此使得可甚 =在製造操作中亦可將沈積於陰極連接輛上之金屬移 ^為^如箭頭15所示抬升下部列H)之陰極連接軸，而 性sir所示降下上部列9的抽。同時，該等轴之極 ::轉’因此在降下上部列9後，該等軸成為陰極連 被轉換=下部I10後、’該等轴成為陽極連接。由於極性 、現在，金屬會沈積在先前為陽極連接之上部 的軸（其現在形成下部列10且 ' 降搞、4拉 且知刼極連接）上，而只要先前 ▲=下部列1()形成上部列9且係陽極連接，則金屬 «自先則陰極連接之下部列1〇的軸移徐。 除圖3及5所示之苴中卜都 /、中上π列9之所有軸係陽極連接而下 列9、10之第一及/或最後—個軸 提供至：：有軸!、陰極連接之實施例外，亦可在每-列中 7 >個非^電之輪送轴。較佳地，該輸送軸分別為 U ^ -这 / 士 JIL jh 120105.doc -28- 200811316 為能自轴3及條帶2再次移除所有金屬，陽極連接的軸3 與陰極連接的軸應至少同夕。 ' V夕。較^土地，陽極遠旦 多於陰極連接祕量。為m a & ㈣連接軸數里 …達成此目的’（例如）在圓9所示之 貝％例中，上部列9之第— 其位置内。幸始〜保持陽極連揍且保持於 圖1_示在另L中之電解鍍覆裝置。 在圖ίο所不之裝置中，同時鍍覆基板&之上側及下侧。 二此^基板8引導穿過-上部裝置17與-下部裝置18之 4。對上部裝置17與下部裝置1δ之間的距離進行選擇以使 其精確地對應於基板8之厚度。 、於此處所示之實施财，鄰近基板之㈣係分別經陰極 連接而遂離基板之軸2{)係經陽極連接。同樣於圖所示 之實施例中，可較佳地自基板8抬升軸19,而將軸2〇降至 土板8上同呀该等軸之極性反轉·，因此軸2〇 一旦接其 板8便成為陰極連接，且—旦自基板8抬升轴19便成為陽極 連接。於此處所示之實施例中，複數個條帶2串列地佈置 於基板8之上側及下側上。條帶2分別繞單獨的軸而導向。 連續佈置的條帶2較佳地彼此偏置佈置。 圖11中所不之實施例大致對應於圖10中所示之實施例。 ^而 陰極連接的軸19及一陽極連接的軸20分別形成一 條帶2之後軸而同時形成另一條帶22之前軸，其於此處以 虛線表示在平面視圖中，條帶2及以虛線表示之另一條 喷之佈置對應於圖1中所示之佈置。此處，條帶22分別 偏置佈置於條帶2之後。 120105. doc -29- 200811316 ® ^ J ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ f f ^ ^ ^ ^ ^ a 圖’该條▼具有導電區段及非導電區段。. 構：L示意ί示之條帶2由各導電節段23及非導電節段24 構把而成。各節段23'24分別藉由卡扣25彼此緊固。導電 區段之長度係由緊固在一起之導電節段23的數量確定。一 非導電μ在任何情況下皆係佈置在兩個導電區段之間。

般=5 ’對於非導電區段僅使用-個非導電節段24已足 夠。然而，亦可串列地佈置複數個非導電節段Μ。 26 =顯：：帶2之另一實施例。條帶2係由—撓性支撐物 。衣 導電導線27纏繞於該支撐物上以產生一導電 區段12。一適合之撓性支撐物％係(例如)一非導電塑膠條 帶，視情況而定其可由一彈性體製成。舉例而言，可將；； 導電羯片纏繞在撓性支撐物26上來替代圖13所示之導電導 線27以產生導電區段12。 條▼ 2之另一實施例示意地描述於圖14之平面圖及圖 ^之侧視Β巾。此處表示之條帶2包括兩個撓性非導電支 =物26，其上各導電區段32以一規則之間距緊固。導電區 丰又32可（例如）藉由黏結而緊固至導電支撐物26。導電區段 32可係剛性或撓性。在剛性導電區段u情形下，其寬度較 也、工^擇以便其可繞軸3運轉。為此，需要導電區段32 之見度小於軸3之半徑。若擬將導電區段Μ製作的較寬， 則其較佳地由該種撓性材料製成。舉例而言，一適合之材 料係具有同樣撓性之金屬箔片。條帶2之非導.電支撐物26 及/或‘電區段32亦可設置有孔或設計成鋼狀結構之形 120l05.doc ~ 30 - 200811316 式。 除如圖12至15中所示之呈右道，广 之伙册0 一 /、有V電區段12及非導電區段13

之條帶2之實施例外，孰 电仅U 由其可產生-/M技術者f知之任何其他藉 r /、有又替導電及非導電區段之條帶之法槿比 係可能。舉例而言，可接 贡之、⑽構白 網狀結構連接至-非導構作為條帶2一導電 按主非泠包鱗狀結構、導 以形成導電區段12及非導電區戈κ 口物支撐物 卷[4又13。舉例而古 缺从 助一引導穿過網狀灶爐 ° w後可仏 式之導電區ρ 之¥線將呈-網狀結構形 v電e# 又連接至一非導電部分之網格。 圖w顯示-根據本發明設計 # ώ夂道_ + μ 置之男知例，其中軸3 "、由各*電卽段35與非導電節 與非導電節段36係交替佈置。此使 二二電… 祕碡拉 τ t 于 ^笔即段3 5可陰極 也連接，而與陰極連接節段35相隔一 導雷銪b 電即#又3 6之相鄰 V電即奴35可陽極地連 在 帶2必需組態有導電區段^二繞轴3運轉的條 電區段13必須婉佈置 ^又13。條帶2之非導 段％上。藉##在^之—非導電節 條帶2之陰極、ΓΛ 轉_將該㈣陰極連接節段35及 其上之全眉。了達成移除沈積於 ”。第-滑動觸點37係用作一陽極點 作一跨榀〇 ^ 而弟一滑動觸點38用 " ，、要一導電節段35與第一滑動觸 總 節㈣成為陽極連接，而第〜^占37接觸，則 則其成為陰極連接μ二—n動觸㈣接觸， 外，還 連接。除於此處闇述之滑動觸點37、38之 任何其他不妨礙軸3旋轉且藉由其導電節段 】2〇H)5.doc -31 - 200811316 =能夠選擇性崎極連接及陽極連接之觸點。陽極η與陰 、“^間的距心須足夠大，以防謂極P及陰極％與一 V電節段3 5同時接觸。 連接之導電節段35’在圖16所示之實施例中， ' 門（^提（、進—步料之附加陽極。然而，可在軸3之 間（例如）以扁平棒之形式佈置另外之陽極。 圖17顯示在電解鍍覆期間陽極之側視圖。 籲之=顯示當轴Μ此處其未顯示）轉換其位置時陽極所處 若：除陽極連接軸3或軸3之導電節段以外還 31，則可（例如）如圖17及骑示來構建該等陽極。 二:覆：程期間，陽極31處在其使用位置内。對於同 上方二下ΓΙ側之基板8 ’則可將該等陽極佈置在基板8 佈置在"㈣覆基板8H職佳地將陽極31 •不接::鍍覆側。在此情形下’應注意，陽㈣並 ，：：：：板。否則’一方面’當該陰極接 導電結構時會發生短路，而另一方面，先前沈積於二 上之金屬會在與陽極31接觸期間被再次移除。 為了可對該等袖進行轉換’可如圖18之雙箭㈣所干平 '基板牙過冷槽之方向發生。此使得可移除陽極而同 3:轉換其位置。藉此’可避免陽極31及轴3之損壞 處所示之實施例中，陽極31係由一撓 、 可將陽極分別缠繞在所分配之陽極缠繞/ 120105.doc -32- 200811316 自其展開。如此虚一 置於浴槽上方或下不二陽極纏繞/展開裝置4〇較佳地饰 製造成撓性金屬# I、，等可纏繞及可展開之陽極（例如） 性螺旋製成，則較螺方疋之形式。若該等陽極由彈 【圖式__1可彼此鄰近崎固複數個螺旋。 該裝置具 =示-根據本發明設計之裝置之平面圖 有複數個_列偏置佈置之條帶， • 目2顯示根據圖1之裝置之侧視圖， 該裝置具 圖，示-根據本發明設計之裝置之側視圖 有倚罪於該軸上的條帶， 圖4顯示-根據圖3之裝置之平面圖， 該裝置具 圖5顯示一根據本發明設計之裝置之側視圖 有^可罪在该轴之凹槽内之條帶， 圖6顯示一根據圖5之裝置之平面圖， 該裝置具 圖7顯示-根據本發明設計之裝置之側視圖 φ 有陰極及陽極連接之軸， 圖㉙示（例如）在圖7中使用之條帶之詳圖，， 圖9顯示一根據本發明設計之裝置之詳圖，其中可抬升 或降下陽極及陰極連接的軸， ° 圖10顯示-根據本發明設計之裝置，其中可鐘覆一基板 之上側及下側， 圖巅示衣置’使用該裝置可鍍覆一基板之上側及下 側，其中條帶係串列偏置佈置， 圖12顯示一第一實例中一條帶之詳圖之放大圖， 120105. doc -33 - 200811316 圖u,示一第二實例中-條帶之詳圖之放大圖， “调不於一繁二眚/ 圖15論— 一彳中一條帶之詳圖之平面圓， 、示根據圖1 4之條帶之側 圓16%〜 ▼足儀ί視圖， ‘、、、貝本根據本發明一且古八饥& ^ 圖1 7 有刀*又軸之裝置的側視圖 同/、不電解鍍覆期間之陽極之側視 圖 I 8¾ < ”、，、根據圖1 7之陽極在軸轉換時之側視圖。 要元件符號說明】 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 陰極 條帶 輛 間隙 上側 下側 導電結構 基板 上部列 下部列 液位 陰極連接部分 非導電部分 輸送方向 軸運動方向 軸運動方向 上部裝置 I20105.doc -34- 200811316

18 下部裝置 19 陰極連接軸 20 陽極連接轴 21 壓力輥 22 帶 23 導電節段 24 非導電節段 25 卡扣 26 撓性支撐物 27 導線 30 凹槽 31 陽極 32 導電部分 35 導電節段 36 非導電節段 37 滑動觸點 38 ，滑動觸點 40 纏繞/展開裝置 41 雙箭頭 120105.doc -35

Claims (1)

1. 200811316 十、申請專利範圍: 1.

   2. 3· 於f解翁似少—料電基板(m料電基板 —結構化或全表面導電表面之裝置，該裝置包括 人 個洛槽、一個陽極及一値陰極（1)，該浴槽包含一 含有至=一種金屬鹽之電解質溶液，當該陰極⑴與該基 t ()^違待鍍覆表面接觸且該基板被輸送穿過該浴槽 金屬離子自該電解質溶液沈積至該基板（8)之導電表 面上’而形成一金屬層，其中該陰極⑴包括至少一個具 有至> ~個導電區段之條帶(2)，該條帶係經引導而圍繞 至少兩個可旋轉軸（3, 19)。 2請求項1之裝置，其中該等軸（3, 19, 2〇)之至少一者係 ^電的’電壓供應經由軸（3, 19, 20)提供。 士明求項1之裝置，其中複數個條帶（2)係串列地偏置佈 置。 4·如請求項3之裝置，其中偏置佈置之連續條帶（2)分別經 由至少一個共用軸（3)引導。 5·如請求項！之裝置，其中至少一個條帶（2)係設計成網狀 結構之形式或具有孔洞。 6·如請求項5之裝置，其甲設計成網狀結構形式之該條帶 包括不同網格寬度及/或網格形狀及/或偏置網格之區 段。 " 7·如請求項5之裝置，其中該設置有孔洞之條帶包括具有 不同大小的孔洞及/或不同形狀的孔洞及/或偏置孔洞之 若干區段。 120105.doc 200811316 8·如請求項！之裝置，其中該條帶（2)之至少一者包括交替 的導電區段（I2)及非導電區段(13)。 9·如請求項8之裝置，其中該條帶（2)另經引導而圍繞至少 一個陽極連接軸(3, 20)。 10·如請求項9之裝置，其中該等導電區段（12)之長度（1〇大 於或等於該至少兩個陰極速接軸之間的距離作），且小於 陰極連接軸與其相鄰陽極連接軸之間的距離（句。

   U·如明求項1之裝置，其中該裝置進一步包括一裝置，藉 由，、使基板(8)可被旋轉，該裝置可佈置於該浴槽內側或 外侧。 12· ^明求項1之裝置，其中至少兩個條帶（2)經佈置以使得 該待鍍覆之基板（8)經引導而穿過其間，且該等條帶（2) 分別接觸該基板（8)之上側及下側。 13· ά明求項！之裝置，其中該等軸既可陰極連接亦可陽 卜連接，且可將其降至該基板上或自該基板（8)抬 升0 14·=求項〗之裝置，其中至少一個該條帶⑺之該等導 區1又〇2)及該等軸表面係由一導電材料製成，該導電 ;斗在4虞置之操作期間不穿過進人該電解質溶液。 # ^ $貝1之裝置’纟中為鑛覆自第-輥展開並纏繞 弟一輥上之撓性支撐物，將複數個裝置、複數個經引 而圍繞至少兩個軸（3)之條帶（2)彼此疊放或鄰近地 置^亥撓性支撐物以一婉蜒之方式通過該等條帶⑺。 I員1之裝置’其中該等軸⑺由複數個導電節 120I05.doc 200811316 (36)八^而成，該等導電節段彼此分別由非導電節段 刀 '該等導電節段⑼既可陰極連接亦可陽極連 (13)構f少一個該條帶（2)由導電區段〇2)及非導電區段 、广^成’且定位於該等軸(3)上，以使該條帶(2)之 、部分（13)倚靠在輛（3)之一非導電節_)上。 . 之導電電解^覆至少—個導電基板.或—非導電基板上 '义面之裝置，該裝置包括複數個如 # 置，該等裝置係串列地連接。員1之裝 18· 一種用於電解鐘覆 钱电… /㈣基板之方法，該方法係在如 明求項1之裝置中進 上且韻娜引導㈣於鑛覆之基板 循環。 土板牙過洛槽之速度的循環速度來 凊求項18之方法，其中至少一個 供應電壓。 ^ 個條▼ 2〇·如請求項18之方法，直 _ 陽钰、鱼拉 ，、中抬升该專陰極連接的軸且使其 瞻％極連接以使其去金屬化。 ’ 21.如請求項18之方法，其中在_f 該等轴以進行去金屬化。、暫U間，陽極連接 IS求=之方法，其中該條帶圍繞至少-個另外的軸 非導；：係陽極’該條帶具有交替的導電及 陰極的軸之間的距離，且該條帶藉由兩軸 料。… 基板麵1條姆㈣區職為陰極 120105.doc 200811316 23·ΓΓ項22之方法，其μ升料陰極連雜且使复陽 極連接以使苴去今n ’、纺 其陰極連接 "^降下料陽極連接軸且使 24.==之方!;：中該基板在通過該⑽ 、又且紋後第一次通過該裝置或通過一第一 解鍍覆裝置。^^ 25=二18之方法，其中為調節該導電基板或非導 =導電結構所鐘覆之金屬層的層厚度，藉由增加或 ^產量速度及/或如請求们之連續連接裝置的數量 來调郎該接觸時間。 % 一錢用如請求们之裝置以電解鑛覆至少—個導電基 、:或-非導電基板上之結構化或全表面導電表面之方 法0 法八係使用如請求項1之裝置以製造印刷電路 、™天線、轉發機天線或其他天線結構、晶片卡模 、、且、扁平電纟覽、庙将 抑 掎…态、箔片導體、太陽電池内或 Γ 螢幕内之導體轨跡，或用於製造任何形式 之電解鍍覆產品。 28·=使用如請求項1之裝置以製造產品裝飾性或魏 “之方去’該等裝体性或功能性表面係用於遮罩電墙 輪射、用於熱傳導或作為包裝。 29.屬求項1… 屬之薄金屬箱片或聚合物支樓物之方法。 120105.doc