TW200819211A - Circulated-recycling process of liquid - Google Patents

Description

200819211 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種液體回收製程，特別是指一種將 待回收液在生產線上處理、回收後，並直接將檢測合格的 待回收液於線上再度利用的液體循環回收製程。 【先前技術】 一般產業界製作彩色濾光片、液晶板等元件時，其過 程需要利用旋轉塗佈的方式，在一塊基板上披覆一層例如 光阻劑、貴重溶劑等藥液’而為了使藥液可以均勾地旋轉 塗佈在基板上’業者會先於基板上塗抹大量的藥液，使其 旋轉後藥液能夠均勾披覆在整個基板上，然而要完整披覆 一片基板貫際上只需要少量的藥液即可，所以過多的藥液 將錢轉塗佈的過程中直接被排入廢液槽，所以使用大量 的藥液來塗佈基板將造成浪費，同時亦會衍生出生產成I 南的缺失。 此外為了避免浪費藥液，另—作法則是在旋轉塗佈 的過程中’將旋轉难出的藥液利用回收桶裝起來回收，但 是’如此將增加設置回收桶的成本， ： 空間並造成空間浪費。同時，礙於現行技術問題’回=子 樂液必需送回原供應廠商進行再生處理，才能拿回來再度 使用：雖然這種作法可以避免藥液的浪費，但是再生處ς 後的藥液需要另外花費購買’如此亦會增加生產成本。而 且需要注意的是，將藥液運送回原廉作再生處理不—定都 可以成功地回收’因為待回收藥液在運送至原廠的過程中 5 200819211 不便 、離生產線的無塵每境，如此反而容易使原本就品質不 穩定之待回㈣液在運送時遭受環境污染，或因儲存不當 而變質’造成藥液送至原廠時反而無法順利作再生處理， 士此來’不旦無法達到節省藥液之目的，反而造成許多 【發明内容】 因此，本發明之目的，即在提供一種於線上作業時就 直接回收、處理待时液，並將處局的待回收液送回一 機台循環使用的液體循環回收製程。 於是，本發明液體循環回收製程是利用一液體循環回 收裝置來連接該機台，並將該機台所排放出的待回收液作 回收再生處理，所述液體循環回收製程包含： (1) 收集自該機台排放出的待回收液； (2) 檢測所述待回收液，當待回收液檢測合格時就作 回收利用；當待回收液檢測不合格時，在待回收液中加入 一調和液’並重新檢測該待回收液；及 (3 )將檢測合格的待回收液送回該機台重覆使用。 藉由在生產線之線上（in-line )作業時，就將待回收液 於線上檢測’並與調和液混合再生處理以立即回收使用， 使本發明兼具有避免浪費藥液、降低生產成本等優點。 其中’在步驟（1 )中是利用一重量計來測量該待回收 液的重量，當待回收液收集至一定的重量後，再繼續進行 步驟（2 )。 所述步驟（2 )中，必需先將該待回收液與調和液授拌 200819211 句勺並靜置一段時間後再進行檢測’而且在檢測時，是 檢測待回收液的黏度與溫度，並根據待回收液之種類不同 ’將有不同的黏度合格標準。 【實施方式】 有關本發明之前述及其他技術内容、特點與功效，在 、下配5♦考圖式^ —個較佳實施例的詳細說明中，將可 /月邊的呈現。在本發明被詳細描述之前，要注意的是，在 以下的說明内容中’類似的元件是以相同的編號來表示。 多閱圖1、2，本發明液體循環回收製程是利用一液體 循％回收裝置來連接_機台2，並將該機台2排放出的待回 收液作回收再生處理，所述機台2上設置有一基板21， 基板21上塗佈有光阻劑或貴重溶劑等藥液，並藉由機台 運轉使藥液均勻披⑽基板21 i，？餘的藥液即成為待 收液並自機台2排出。 而 2 回 咏，從媸僱裱回收裝置包含：一回收桶11、一連接機台2 …亥回收桶11之-側的第_連接單i 12、—連接機台2與 回收桶11之另一側並使該機台2與該回收桶n _ 環迴路的第二連接單元…-設置在該回收桶η上的檀: :的回收桶11的調和單元15、安裝在該回收桶 U度計16與—溫度計17，及—連接在機台2 收桶U間的新液單元18。其中該第一 括 條第一導管121，以及—個嗖晉為楚匕括— -幫浦122,該第二連接置在弟，121管路上的第 以及-設置在第括一條第二導管131， 在弟…131管路上的第二幫浦132。該等調 7 200819211 牙早=15與新液以18亦是藉由導管與幫浦來輸送液體 ，此夕，在該回收桶u、調和單元15與新液單& Μ上， 都設有—用於測量液體重量的重量計m、151、181。 本發明液體循環回收製程之第—較佳實施例包含 步驟： )進仃步驟31收集待回收液：利用該第一幫浦122 將機台2運轉後產生的待回收液，經由該第一導管i2i輸 送至相收桶1卜而且將該機㈠在多次運轉後產生的待 回收液皆先暫時儲存於該回收桶u中。 7 (2)進行步驟32檢測待回收液：利用重量計111測量 /寺回收液的重里，s相收桶丨丨内的待回收液達到一定的 重量時即可進行檢測。所述一定的重量是視回收桶U之容 量設計與實際作業情形而可自由調整，例如回收桶u之最 大谷夏設計為3公斤時，可以在待回收液達到1公斤或2 公斤時即開始進行檢測，當然、，在實際實施時並不限於上 述重量。檢測時先使用_ 14_待回收液，使待回 收液均勻並靜置-段時間，再湘溫度計17與黏度計Μ 分別檢測待回收液的溫度及黏度。當該待回收液的檢測結 果合格，就將其暫時保存於該回收桶u中。#待回收液的 檢測結果不合格，則需要進一步處理該待回收液。 一般而s，黏度是該待回收液在回收使用時，影響其 品質最重要的因f，而待回收液的溫纟、流速與整個液體 的分佈’都會影響黏度，所以必需要均勻攪拌並等到待回 收液靜止時再測量其黏度。此外，待回收液在機台2中使 8 200819211 用後，部份成分會揮發而造成待回收液黏度過 所以當檢測不合格時，即進行步驟 可 先儲存於該調和單元15中的哺* + τ 、 的5周和液，、經由該幫浦152 Μ 流量，並輸送至回收桶U中盥待 " τ "侍回收液混合以 。在混合時亦必需利用授拌器、14 汸俨，、，+、 便待回收液與調和 ’于刀且均勻地混合，攪拌後靜置-段時間，再重葙 檢測動作。 丁』丹重復 ㈤要說明的是’本發明是依據待回收液種類來決定選 用何種調和液’當該待时液為正型光阻劑時，具體例如 :丙二醇甲醚醋酸醋（PGMEA)為主要溶劑所製成的正型 一阻劑’與其配合的調和液為環己酮（c6H10〇)和丙二醇 甲喊醋酸醋（PGMEA)的混合溶液；當該待回收液為負型 光阻劑時’所述調和液是以二甲苯為主所製成的溶液。 (3 )進行步驟33將檢測合格的回收液送回該機台2 : 使用第二幫浦132及第二導管131，將檢測合格的回收液輸 运回機台2，以供機台2運轉時再利用。 更具體而言，前述待回收液與調和液混合及檢測的動 作可以重複多次，如果待回收液在多次處理及檢測後仍然 無法達到合格標準，就無法回收使用並成為廢液，此時進 /亍v驟322，將所述廢液經由回收桶丨丨的一個排廢口（圖 未不）排出。接著再自該新液單元18補充新的藥液於回收 桶U中，以運輸回機台2使用，且在補充新的藥液之前， 要將該液體循環回收裝置内部的桶壁、管路等等清洗乾淨 ，避免殘留的廢液污染新的藥液。當然，亦可將新的藥液 200819211 蝴入機台2使用，直到機台2作業後又累積有一定重 =待回收液，就可以再繼續利用本發明之回收製程來進 订待回收液的回收檢測工作。 •由以上說明可知，本發明主要是藉由在生產線之線上 (in-lme)作業時’就將待回收液於線上經過檢測，以及盥 調和液混合的再生處理以立即回收使用，如此可以避免浪 費藥液’以及藥液收回後需要送回原廠作再生處理的各種 缺失’故本發明液體循環时製程確實能夠達到降低生產 成本之優點。 —4閱圖2 3，本發明液體循環回收製程之一第二較佳 :鞑例’亦是配合一液體循環回收裝置來使用，該液體循 %回收裝置與前述第_較佳實_所提供之結構大致相同 ，不同之處在於：該第-連接單元12是增加設置—第一暫 存桶123 ’該第二連接單元13是增加設置-第二暫存桶 133，而本貫施例之新液單元18是連接該第二暫存桶133。 本κ知例之回收製程亦包含：步驟3 i收集自該機台2 排放出的待回收液、步驟32檢騎述待时液，以及步驟 33將檢測合格的待回收液送回該機台2等步驟。其中，在 v驟31中，疋將機台2運轉所產生的待回收液，暫時儲存 ^ 4第暫存桶123中，直到累積一定的量時，再輸送至 回收桶11檢測及回收，且在檢測待回收液之同時，仍可繼 續自機台2排放新的待回收液至第一暫存桶123中存放。 而檢測合格的回收液則輸送並暫存於該第二暫存桶133，當 该機台2需要補充藥液時，再輸送回該機台2使用。 10 200819211 給要5兄明的是，去住 ,丨人坆碑淮士 田收液在多次處理後仍然無法这 1 口 成為廢液並由該回收桶u排 利用原先即暫存於第：暫存们33 應機台2使用，如果第ms ” ⑶收液束持續供 如果弟一暫存桶133中已沒有 收液，就直接自新液單A丨 — 子的相 Η文早7L 18 k供新的藥液至第二 Z後送往機台2’如此同樣可以隨時供應機台2作業= 亦即’本實施之回收製程是將尚未檢測、檢測中，及 檢測合格的待时液分_存，讀高檢測合格的回收液 之保存品質，故本實施樣具有在線上直接再生處理待 回收液、避免藥液浪費，以及降低生產成本等優點。 惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不 能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利 範圍及發明說明内容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍 屬本發明專利涵蓋之範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1是一液體循環回收裝置的設備簡圖； 圖2是本發明液體循環回收製程之一第一較佳實施例 的流程圖；及 圖3是一液體循環回收裝置的設備簡圖，且該設備是 與本發明液體循環回收製程之一第二較佳實施例配合使用 200819211 【主要元件符號說明】 1卜…· …，回收桶 151 * .....*重量什 111… •…重量計 152 · ……幫浦 12 …·· •…第 一連接單元 16… ••…·黏度計 m… …·第 一導管 17… >孤度δ十 122… ，…第 一幫浦 18… ......新液單元 13 ….· •…第 二連接單元 18卜 ……重量計 131… …·第 二導管 2.…· ......機台 132… •…第 二幫浦 21… ……基板 133… •…第 二暫存桶 31、 32 、 33 、 3 14 * * * * * •…攪拌器 ……步驟 15 •…·…·調和單元 322 12

Claims (1)

1. 200819211 十、申請專利範圍： 1 · 一種液體循環回收製程，處理並回收自一機台排放出的 待回收液，包含： (1 )收集自該機台排放出的待回收液； (2 )檢測所述待回收液，當待回收液檢測合袼時就 作回收利用；當待回收液檢測不合格時，在待回收液中 加入一調和液，並重新檢測該待回收液；及 (3 )將檢測合格的待回收液送回該機台重覆使用。 2·依據申請專利範圍第丨項所述之液體循環回收製程，其 中’在步驟（2 )中是檢測待回收液的黏度。 3.依據申請專利範圍第丨項所述之液體循環回收製程，其 中’在步驟（2 )中是檢測待回收液的黏度及溫度。 4·依據申4專利範圍帛1項所述之液體循環回收製程，其 中，在步驟（2 )中是將該待回收液與調和液攪拌均勻後 再進行檢測。 5·依據中請專利範圍第1項所述之液體循環回收製程，其 中，5亥待回收液是以丙二醇曱醚醋酸酯為主要溶劑所製 、、&光阻劑’该調和液是環己酮和丙二醇曱鱗醋酸 酯的混合溶液。 13