TW200817668A - Optical apparatus - Google Patents

Description

200817668 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及一種通過由發光源所產生的透射光及反射光，來 檢驗被測物的光學裝置。 【先前技術】 習知LCD檢驗裝置僅藉由透射光來對被測物進行檢驗。這種 檢驗裝置中，具有透明底面的玻璃基板下方設有光源，而藉由這 一光源所產生的光透過該玻璃基板後透射光，來對被測物進行檢 驗0 第一圖表示這種習知光學裝置。如第一圖所示，習知光學裝 置包括發光單元（100)及測光器（200)，其中，由所述發光單元（1〇〇) 所透射的光經過玻璃基板(B)和被測物（A)後射入測光器（2〇〇)。 即’由發光單元（100)所透射的光透過玻璃基板(B)及被測物（A) 後，可藉由測光器（200)觀察到該透射光。即，在這種習知光學裝 置中’只利用透射光來檢驗被測物（A)。 但是，這種習知光學裝置中並不存在用於支援玻璃基板的部 件，因此作為底面來使用的玻璃基板，由於其具有嚴重變形的特 性，因此，無法在部分領域中觀察到透射光。 此外，如果在该玻璃基板的底面設置支樓部件，則不能像習 知光學裝置那樣利用透射光進行檢驗。 μ 於㈣基板的底面設置支撐部件時，不能僅利用反 射先來對被測物進行準確的檢驗。 【發明内容】 其把問題’本發明的目的是提供—種包含用於支援玻璃 基扳的反射盤之光學裝置。 的反另—目的是提供—種即使在包含用於支援玻璃基板 裝置。、i〜兄下’也摘湘透射光及反射光進行檢驗的光學 5 200817668 為了解決上述課題，本發明採取如下技術手段，即本發明包 括·· 第一發光單元，其用於產生及照射具預定大小波長的第一光 線； 分光鏡，其配置在所述第一發光單元的一側，用於反射或透 射所入射的光線； 光4*透鏡’其配置在所述分光鏡的下方，用於使入射光透過； =二發光單元，其配置在所述光學透鏡下方的侧面，用於產 生及照射具預定大小波長的第二光線； 遮光部件，其具有遮光壁，所述遮光壁設置在第二發光單元 ，圍，^阻隔第二發光單元和*學透鏡之間，以防丄由所述 第二發光單元照射㈣第二光在制物歧射後，射人所述光學 透鏡； >反射片’其位於所述遮光部件的下方，並從所述遮光部 開設置，用於反射透過所述被測物的光； 反射盤，其位於所述反射片的下方；以及 光鏡=器’其配置在所述分光鏡的上方，祕接收透過所述分 其中，所述反射片最好採用棱鏡片。 此时，所述遮光部件最好设成开^。 可以等 門距發明光學裝置中’以所述光學透鏡為中心 間距叹置兩飢X上所述第二發光單元及遮光 而且，本發明光學裝置中，以所述

設置所述第二發光單元及遮光部件。“為中一啊形連接 【實施方式J 下面結合附圖，詳細說明本發明光學 願發明的各輸嫩，物崎本 6 200817668 實施例1 : 下面參照第二圖至第五圖，來說明本發明光學裝置的第一實 施例。 首先說明本發明光學裝置的結構。如第二圖所示，本發明光 學裝置包括第一發光單元（10)、分光鏡(20)、光學透鏡(30)、第 二發光單元(40)、遮光部件(50)、反射片（6())、反射盤（7〇)、測 光器（80)。 其中，第一發光單元（1〇)用於產生並照射具一定大小波長的 第一光線，所照射的第一光線射入分光鏡(2〇)。 分光鏡(20)位於所述第一發光單元（1〇)的一側，其用於反射 所射入光的一部分，而另一部分入射光則被分光鏡（2〇)透射。 被反射的第一光線射入像濾光片或TFT等被測物(A)，而射入濾光 片或TFT等的第一光線則在其表面反射或透過。 光學透鏡（30)配置在分光鏡（2〇)的下方，其用於聚集入射 光’並將其透過。 第一發光單元(40)配置在所述光學透鏡(3〇)下方的一側，其 用於產生及照射具預定大小波長的第二光線。由所述第二發光單 元(40)所產生的第二光線射入濾光片或TFT。射入濾光片^ TFT 的第二光線在其表面反射或透過。 遮光部件（50)設置在第二發光單元(4〇)的周圍，其上設有遮 光壁，所述遮光壁用於阻隔第二發光單元（4〇)和光學'透鏡（3〇“） 之間，以防止由所述第二發光單元（4〇)照射出的第二光線在被 測物處反射後，射入所述光學透鏡（30)。 為了有效地圍住第二發光單元(40)的周圍，所述遮光部件(5 〇)可設成” 型，或者也可設成半圓形或平板狀。 一反射片（6〇)位於所述遮光部件（50)的下方，並從遮光部件（5〇) 隔開設置。所謂反射片（60)是用於反射透過濾光片或τρτ、玻璃基 板的光線的片體。本實施例中反射片（6〇)可以是棱鏡片。第五圖 7 200817668 中示出棱鏡片，射入棱鏡片的光線將根據不同的波長，向不同的 方向反射出。所述棱鏡片可以是圓錐形，也可以是三角錐形。 反射盤（70)固定在反射片（60)的下方。反射盤（7〇)用於穩定 地固定濾光片或TFT等被測物(A)及附著有被測物的玻璃基板⑻。 本實施例中’可通過配置在分光鏡(20)上方的測光器（8〇)， 觀察到透過濾光片或TFT等被測物，或者由所述被測物反射的光。 下面，參照第三圖及第四圖，來看一下通過本發明光學裝置， 利用反射光及透射光對被測物進行檢驗的方法。 首先，參照第三圖說明利用第一發光單元（10)所引起的反射 光來檢驗被測物的方法。如第三圖所示，由第一發光單元（1〇)所 產生的第一光線(K)在分光鏡(20)反射，並射入光學透鏡(3〇)。而 透過光學透鏡(30)的第一光線(K)則到達濾光片或TFT(B)等被測 物。濾光片或TFT(B)具有反射大部分的光，而只透過一部分光線 的特性。因此，只要弟一光線(K)的強度不是很大，大部分的光線 (L)被反射，而重新回到光學透鏡(3〇)。這些反射光(l)中的一部 分將透過分光鏡(20)後到達測光器（80)。如此，利用第一發光單 元（10)所引起的反射光，可觀察到濾光片或TFT(B)的表面狀態。 此時’濾光片的反射影像利於檢查濾光片中凸出的部分（即將此叫 作黑（black)缺陷）。 其次，參照第四圖說明利用第二發光單元(4〇)所引起的透射 光來檢驗被測物的方法。如第四圖所示，由第二發光單元（4〇)所 產生的弟一光線直接射入濾光片或TFT(B)。如上述說明，在濾光 片中大部分光線被反射，因此為了利用透射光，需要讓第二發光 ，元（40)產生遠大于第一發光單元（1〇)所產生的光線之強度的 光。在濾光片或TFT(B)處被反射的光(M)則被遮光部件（5〇)擋住而 免於進入光學透鏡(30)。在此，可適當選擇遮光部件（5〇)的位置， 以免反射光(M)進入光學透鏡(30)。由濾光片或吓吖幻透過的光(N) 將透過玻璃基板(β)後，到達反射片（6〇)。本實施例中，反射片（6〇) 8 200817668 是棱鏡片，在第五圖中示出光的前進方向。如第五圖所示，所進 入的光根據不同的波長，被反射而分散於不同的方向。其中，一 部分光線重新透過玻璃基板(B)及濾光片或TFT(B)，並射入光學透 鏡(30)。這些透射光(N)將透過分光鏡(2〇)後，到達測光器（8〇)。 如此，可利用第二發光單元（4〇)所引起的透射光來觀察濾光片或 TFT(B)的狀態。此時，濾光片的透射影像利於檢查濾光片中凹進 的部分（即將此叫作白（white)缺陷）。 這樣，在檢驗附著於玻璃基板上的濾光片或TFT的雜質時， 可通過選擇利用第一發光單元所引起的反射光或第二發光單元所 引起的透射光，來準確地觀察濾光片或TFT的全般領域。另外， 在利用第一發光單元所引起的透射光時，可通過增加遮光部件， 以防止受到反射光的干擾。 實施例2 卜曲，芩妝弟六圖說明本發明光學裝置的第三實施例 省略說明和實施例1相同的結構。 第六圖表示本發明另一實施例中的遮光部件。 乂一ΐ第六圖所示，在光學透鏡(30)的周圍配置有兩個以上第二 I光單元(40)及遮光部件（5〇)。如第六圖所示，第二發光單元(仙） ^遮光部件⑽可以有4個，但也可配置其他數目。從業人員也 應該可以理解職了防止由第二發光單元㈤所產生的光線直 被測物膜片上反射後進入光學透鏡（30 )，所述遮光部件(50) 在第二光源(4G)的賴可設置具—定深度的遮光壁。 ，可在光學透鏡（3Q)關圍配置多數第二發光單元(4〇)及 =光。卩件（50)’由此更加有效地通過反射光（第四圖中符號n)來進 行對濾光片的觀察及檢驗操作。 實施例3 Μ ’參照第七圖說明本發明光學裝置的第三實施例。在此， 9 200817668 也省略說明和實施例1相同的結構。 置。遮光部件⑼)以光學透鏡_=先= 部件⑽可設成如_所』=He，光 ，形狀。遮光部件⑽的内部可配置多個或 有贱财祕光（帛四_賴獅^==觀 利範====上；實施例φ而在後述的申請專 的發明=式。在不脫射請專利範圍中記載 π” 、靶圍内，從業者所能進行的各種修飾及變更也應該 屬於本發明的保護範圍。 ，發明的光學裝置和f知技術不同，即使在玻璃基板被反射 ίίΐ= 下’也可以通過其他光源所引起的透射光’來檢驗 外’本發明的光學裝置可麵綱透射光及反射光，由此 =確地觀^慮光片或TFT的全般區域。 ^夕’利用第二發光單元所引起的透射光的情況下，可增加使用 遮光部件，由此可防止受到反_的干擾。 200817668 【圖式簡單說明j f一圖是習知光學裝置的剖視圖。 ^士圖是根據本發明第一實施例的光學裝置剖視圖。 第三圖表示根據本發明第一實施例的光學裝置中第一光線的 前進方向。

第四圖表示根據本發明第一實施例的光學裝置中第二光線的 前進方向。 V 第五圖是本發明的第一實施例中反射片的俯視圖。 第六圖是本發明的第二實施例中遮光部件的俯視圖 第七圖是本發明的第三實施例中遮光部件的俯視 【主要元件符號說明】 (共計16項元件符號或編號） 10:第一發光單元 2〇:分光鏡 3〇:光學透鏡 40:第二發光單元 50:遮光部件 ⑼：反射片 70:反射盤 80:測光器 100:發光單元 200:測光器 A:被測物 B:玻璃基板 K:第一光線 L:光線 M:反射光 N:透射光

Claims (1)

1. 200817668 十、申請專利範圍： 1·、一種通過對被測物照射光，以檢驗被測物的光學裝置，其 包括： ’、 •第一發光單元，其用於產生及照射具預定大小波長的第一光 線， 刀光鏡，其配置在所述第一發光單元的一側，用於反射或透 射所入射的光； — ，學透鏡，。其配置在所述分光鏡的下方，用於使入射光透過； 第一發光單元，其配置在所述光學透鏡下方的側面，用於產 生及照射具預定大小波長的第二光線； 遮光部件，其具有遮光壁，所述遮光壁設置在第二發光單元 ί周圍，，於阻隔第二發光單元和光學透鏡之間，以防止由所述 第二發光單元照射出的第二光在制物處反射，並射人所述光風 透鏡； 千 反射片，其位於所述遮光部件的下方，並從所述遮光部件隔 開設置’用於反射透過所述被測物的光； 同 反射盤，其位於所述反射片的下方；以及 測光器，其配置在所述分光鏡的上方，用於接收透過所述 光鏡的光。 2、如申請專利範圍第1項所述之光學裝置，其中， 所述反射片是棱鏡片。 ^ 3、 如申請專利範圍第1項或第2項所述之光學裝置，其中， 所述遮光部件呈“[”，用於圍住第二發光單摘周圍。’ 4、 如申請專利範圍第3項所述之光學裝置，其中， π以所述光學透鏡為中心，等間距配置有兩個以上 光單元及遮光部件。 一七 5、如申請專利範圍第4項所述之光學裝置，其中， 以所述光學透鏡為中心，環形連接配置有所述'第二發光單元 12 200817668 及遮光部件。